JP2003527641A - 光学的エラーを補償する露光装置および方法 - Google Patents

光学的エラーを補償する露光装置および方法

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Abstract

(57)【要約】 本発明は電子的に記憶された版下の画像を敷物、特に印刷版１に露光する露光装置に関するものであり、画像データが記憶できる画像処理電子装置２と、画像処理電子装置２で電子的に制御できる光変調器７、特にＬＣＤ画面７またはマイクロミラーアレイと、光変調器７を照明する照明装置８，９と、光変調器７を敷物１に投影する投影レンズ１１とで構成される。本発明によると、露光装置の光線路の光学的エラーおよび／または誤差を補償する補償装置４，５を含む画像処理電子装置２によって装置が改善される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は、敷物、特に印刷板に電子的に記憶された版下の画像を露光するため
、画像データの記憶可能な画像処理電子装置と、画像処理電子装置によって電子
的に制御可能な光変調器、特にＬＣＤ画面またはマイクロミラーアレイと、敷物
上に光変調器を投影する投影レンズを有する露光装置に関する。さらに本発明は
このような露光装置の光線路における光学的エラーおよび／または誤差を補正す
る方法に関する。
【０００２】 印刷板を露光するため紫外線を使用するこの種の露光装置は、例えば、ＤＥ１
９５４５８２１Ａ１で公知である。投影される版下はコンピュータを使用して部
分画像に分解され、部分画像は次々と電子的に制御可能な光変調器、例えば光を
発するＬＣＤ画面またはマイクロミラーアレイに運ばれる。それから露光装置は
次第に露光される印刷板上に移動するが、このとき光変調器はそれぞれ付属して
いる部分画像によって制御される。マイクロミラーアレイやデジタルミラーデバ
イス（略してＤＭＤと呼ばれる）は電子チップ面の上に数ミクロンの辺長を有す
る微小な鏡の配列で構成される。個々の鏡はいずれも電子制御によってそれぞれ
傾斜可能であるので、入射光線は傾斜角に応じて投影対象物に導かれるかまたは
対象物から外れるように導かれる。
【０００３】 露光装置の光線路の光学的エラーや誤差によって、露光される敷物、特に印刷
板上に露光された画像は電子版下と相違してしまう。特に、個々の画像の辺およ
び角で暗い部分が生じる。
【０００４】 そのため、本発明の課題は、いわゆるこの種の露光装置または方法において、
露光装置の光線路の光学的エラーおよび／または誤差を補正できるようにするこ
とである。
【０００５】 本発明によると、いわゆる露光装置において、露光装置の光線路の光学的エラ
ーおよび／または誤差を補償する補償装置を画像処理電子装置に含めることによ
って課題が解決される。この電子的補償装置の利点は、好ましくはコンピュータ
としての画像処理電子装置は通常すでに利用可能であり、コストが増加すること
もないので、簡単な手段と有利なコストでほぼソフトウエアをベースに実現可能
であることである。
【０００６】 本発明の好ましい実施形態では、露光中、補償装置を使用して、露光される敷
物のいずれの点に当たる全光量も変調できるようになっている。露光の作用、す
なわち、露光される敷物上で最終的に引き起こされる光化学作用は、それぞれの
点の濃度で写真投影するとき、最も簡単な場合、強度と作用時間の積としての一
定の光強度が生じる全入射光量にほぼ依存する。露光される敷物のいずれの点も
個々に変調可能であるので、全体としてほぼ完全な補正が投影のきわめて詳細な
ところまで行なわれる。
【０００７】 本発明の実施形態では、露光中、記憶された版下の位置に依存する強度変調の
ため電子的に記憶された濃度マスク（グレイマスク）を備えている。濃度マスク
は個々の画像点のいずれに対しても一組の乗法係数で構成される。露光中、記憶
された乗法係数に応じて、光変調器を通った個々の画像点の強度はいずれも増加
あるいは減少するので、照明装置および／または投影レンズのエラーおよび／ま
たは誤差によって故意ではなく発生した濃度差はなくなる。光変調器としてＬＣ
Ｄ画面を使用する場合は、ＬＣＤ画面を適切に制御し、回転偏光する光の回転角
を変更することで行なわれる。
【０００８】 マイクロミラーアレイの場合は、マイクロミラーが固定された２つの傾斜位置
に調節されるので強度変調は可能ではなく、個々の点の強度は１００％にされる
かまたは完全にスイッチオフされるかである。敷物を露光する間、個々の点に入
射する全光量の変調はいずれも個々のマイクロミラーの「スイッチオン時間」の
変更によってのみ行なわれる。したがって、本発明による別の実施形態では、位
置に依存した光量変調を行なうため、光変調器の個々の画素のスイッチオン時間
は、露光中、電子的に記憶された濃度マスクに応じて変更できるようになってい
る。
【０００９】 適切な濃度マスクを簡単に発生させるため、照明光線路のすべてのエラーだけ
でなく、濃度歪に影響を及ぼす印刷板、ガンマ曲線、使用現像液や類似要素の影
響をも補正する本発明による方法がさらに提案される。この方法によると、電子
的に記憶された濃度マスクを発生させるために印刷板の試験露光を行ない、光変
調器のすべての画素を中間濃度値（中間グレイ値）で制御する。そして印刷板を
現像した後に生じる印刷板上の濃度歪を画像処理電子装置に入力し、好ましくは
個々の画素の濃度階調を反転させることによって、電子濃度マスクを発生させる
。
【００１０】 画像処理電子装置への現像された試験印刷板の濃度歪の入力は、電子カメラあ
るいは電子スキャナーを使用して印刷板をデータ走査する簡単な方法で行われる
。デジタル化された濃度値のデータは画像処理電子装置に簡単に入力され、そこ
で適当な方法で濃度マスクのデジタル値に処理されて記憶される。
【００１１】 電子濃度マスクを発生させる場合、印刷板に対する階調はそのつど使用される
露光スペクトルおよびそのつど使用される現像液と関連して厳密に考慮される。
濃度歪へのその他のあらゆる影響が「計算され尽くされる」。このような他の要
素として例えば、照明強度、露光時間、現像時間、および現像液の組成、温度、
液濃度、製造後の日数（古さ）および汚染度、または印刷板の感光性被膜の温度
、古さ、組成あるいは前処理が考慮される。印刷板の露光の際に濃度歪に及ぼす
、考えられるすべての影響は本発明による方法を使用して、１回のみの較正で発
生させた電子濃度マスクによって補償される。
【００１２】 本発明の実施例は図面に基いて以下に詳細に説明する。 印刷板１に投影される版下は画像処理電子装置２として使用されるコンピュー
タの画像メモリ３に記憶される。電子濃度マスクを発生させるために使用するオ
ーバーレイデータはオーバーレイメモリ４に記憶される。補償装置５には画像メ
モリ３からの画像または全体画像の部分画像が入力されて、オーバーレイメモリ
４からのオーバーレイデータで画素が１つ１つ補正される。すなわち、個々の画
素のいずれも光強度および／または露光時間を制御するために備えられた制御デ
ータは所望の補正に基いたオーバーレイデータの補正値を乗じることによって修
正される。通常その値は増加または減少される。その後、補正された画像または
部分画像はデータ導線６を通って光変調器、ここでは光線を通過させるＬＣＤ画
面に至り、この画像面で本来の画像が生じる。
【００１３】 光変調器７を照明する照明装置は、光源８と集光装置９から構成される。光源
８から発した光は集光装置９によって光変調器７上に集光する。光変調器７で変
調された後、変調された光はミラー１０に当たり、光線路が下方向に曲げられて
投影レンズ１１に向かう。投影レンズ１１によって光変調器７の画像面は印刷板
１上に投影される。
【００１４】 別の実施形態では、ミラー１０は光変調器として使用されるマイクロミラーア
レイに置き換えることができる。この場合、ＬＣＤ画面７は省略できる。 照明装置８、９、投影レンズ１１または他の光学要素７，１０の光学的エラー
により引き起こされる露光装置の光線路のエラーは、上述の電子濃度マスクによ
って補償されるので、印刷板１上には広範囲に渡りエラーのない、濃度再現に関
して電子版下の均等な画像が生じる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の露光装置の概略的な図である。
【符号の説明】
１ 印刷板 ２ 画像処理電子装置 ３ 画像メモリ ４ オーバーレイメモリ ５ 補償装置 ６ データ導線 ７ 光変調器／ＬＣＤ画面 ８ 光源 ９ 集光装置 １０ ミラー １１ 投影レンズ

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 敷物、特に印刷板（１）上に電子的に記憶された版下の画像を露光する露光装
    置であって、画像データが記憶可能な画像処理電子装置（２）と、画像処理電子
    装置（２）によって電子制御可能な光変調器（７）、特にＬＣＤ画面（７）また
    はマイクロミラーアレイと、光変調器（７）を照明する照明装置（８、９）と、
    光変調器（７）の画像を敷物（１）上に投影する投影レンズとを有する露光装置
    において、 画像処理電子装置（２）には、露光装置の光線路の光学的エラーおよび／また
    は誤差を補償する補償装置（４，５）が含まれることを特徴とする。
  2. 【請求項２】 補償装置（４，５）を使用して、露光中に、露光される敷物（１）の各点に当
    たる全光量が変調可能であることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
  3. 【請求項３】 露光中、記憶される版下の位置に依存した強度変調のため、電子的に記憶され
    た濃度マスクが備えられることを特徴とする請求項１または２記載の露光装置。
  4. 【請求項４】 位置に依存した光変調をするため、露光中に、記憶された濃度マスクに応じて
    光変調器（７）の個々の画素のスイッチオン時間は変更可能であることを特徴と
    する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の露光装置。
  5. 【請求項５】 露光装置の光線路の光学的エラーおよび／または誤差を補償する方法であって
    、画像処理電子装置（２）に記憶された版下の画像を敷物、特に印刷板（１）上
    に露光し、その際、画像処理電子装置（２）によって制御される光変調器、特に
    ＬＣＤ画面（７）またはマイクロミラーアレイを照明装置（８，９）によって照
    明し、そして投影レンズ（１１）を使用して露光される敷物（１）上に投影する
    方法において、 露光中、光線路の光学的エラーおよび／または誤差に基く露光差を露光される
    敷物上で解消するように、敷物（１）の各点に当たる全光量を変調することを特
    徴とする。
  6. 【請求項６】 露光中、記憶された版下の位置に依存した強度変調を電子的に記憶された濃度
    マスクで行なうことを特徴とする請求項５記載の方法。
  7. 【請求項７】 位置に依存した光量変調を行うため、露光中、光変調器の個々の画素のスイッ
    チオン時間を電子的に記憶された濃度マスクに応じて変更することを特徴とする
    請求項５または６に記載の方法。
  8. 【請求項８】 電子的に記憶された濃度マスクを発生させるため印刷板（１）の試験露光を行
    ない、この際、光変調器（７）のすべての画素を中間濃度値で制御し、かつ印刷
    板（１）の現像の後に発生する印刷板（１）上の濃度歪を画像処理電子装置（２
    ）に入力して、好ましくは個々の画素の輝度階調を反転させることで電子濃度マ
    スクを発生させることを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１項に記載の方
    法。
  9. 【請求項９】 現像された試験印刷板（１）の濃度歪を入力するため、電子カメラまたはスキ
    ャナーを使用することを特徴とする請求項８記載の方法。
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