JP2003523613A - 強化されたセンサ - Google Patents
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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Abstract
Description
は、特許・商標局の特許ファイルまたは記録に掲載される特許あるいは特許開示
を誰が複写しても異議はないが、それ以外の場合は、いかなることであっても全
著作権を留保する。
の光学的センサシステムに関するものであり、そのシステムは、電子部品上の「
リードトィーズ」(lead tweeze)、対象物上の特定のフィーチャー(特徴:fea
ture)の高さ、対象物上の特徴間の距離、あるいは対象物の予測される特徴の有
無などの対象物の物理的状態を報知するシステムを含む。
数の光学的方法がある。報告される可能性のある様々な変数は、部品の角度的な
方位、部品上の特徴の位置(例えば、捕捉位置のずれ)、カッドフラットパック
(Quad Flat Pack:QFP)部品における曲がったリード線(リードトィーズ)
などの部品の品質表示、あるいはボールグリッドアレイ(Ball Grid Array:B
GA)部品の球の高さなどの部品の底に位置された特徴の測定を含む。これらの
変数を確認するためのシステムは、部品を捕捉(pick up)し、部品の適当な方
位および捕捉ずれ(offset)を決定した後に、部品をプリント回路基板上に位置
決めする捕捉・位置決め機に一般的に装備される。
プロセスにおいて、一般的には捕捉・位置決め機の運動制御システムを利用する
。これらの方法のいくつかは、カメラを用いて部品の像を表わすデータを収集し
、その他の方法では、部品の輪郭をあらわすデータを収集する。すべての方法は
、収集されたデータを分析するある種のプロセッサを有し、そのプロセッサは、
部品の辺や部品のリード線の先端などの、部品のいくつかの特定の部分を確認、
識別する。
おいて、基準に対する対象物の角度的位置を示すために用いられる。ある対象物
について用いられる単語「位置」、およびその形態は、本明細書において、公称
の(x,y)基準位置に対する対象物の(x,y)位置を示すために用いられる
。
には、捕捉・位置決め機は、「オンヘッド」(on-head)か「オフヘッド」(off
-head)のどちらかとして特徴付けられることができる。オンヘッドセンサシス
テム(ホストの捕捉・位置決め機と一緒に考えられる)は、部品が目標の回路基
板へ運ばれる間、部品の方位および捕捉位置ずれを感知し、補正する。オンヘッ
ドシステムは、部品を基板上に位置決めする時間を短縮するので好ましく、その
ことによって捕捉・位置決め機の処理量(スループット)は増大する。
のデータ収集機能を有する。オフヘッドシステムを用いるとき、中空軸は、最初
に部品を専用の位置(dedicated station)に移動し、その像を取得した後に、
部品を目標の回路基板上へ運んで位置決めしなければならない。オフヘッドシス
テムは、典型的には、ヘッドの停止回数が増えるか、または移動距離が長くなっ
て機械の処理量が低減するが、それらは廉価で、ヘッド上で運ばれる質量を低減
し、一つのセンサが多数の中空軸に対応できるという理由で用いられる。
することである。部品上のある特定の特徴を正確に見出すために用いられるセン
サの様式にかかわらず、捕捉・位置決め機のホストプロセッサは、部品の予定の
配置場所を有する。センサ、観察カメラ、あるいはその他の手段からの位置情報
は、典型的には、RS−422ポートを介してホストプロセッサへ返送される。
センサ出力と所望の部品配置位置に基づいて、ホストプロセッサは、角度補正値
(θ)と捕捉位置ずれ(x,y)を含む方位補正値(x,y,θ)を計算する。
方位補正信号に基づいて、ホストプロセッサは、捕捉・位置決め機の動作制御シ
ステムに補正移動を実行するように指示し、動作制御システムが応答すると、ホ
ストプロセッサは、捕捉・位置決め機が部品を位置決めするように指示する。
め機12の電子ブロック図および概略の作動原理を示す。センサシステム8は3
つの部分、すなわち、(図示されないセンサヘッド上に配置される)センサ2、
制御モジュール4、およびセンサ2を制御モジュール4に接続する2線式同軸ケ
ーブル6で構成される。センサ2は捕捉・位置決め機12のセンサヘッド上に配
置されるが、制御モジュール4は、別の電子回路ケース内か、そうでなければ機
械12内に配置される。システム8の動作は捕捉・位置決め機12のプロセッサ
10によって制御される。プロセッサ10は、一般的には、機械12の動作を制
御し、典型的には、RS−232やRS−422のシリアルコミュニケーション
プロトコル内のコミュニケーションバス14を介して制御モジュール4に命令を
出す。
れぞれセンサヘッドのx、y、z、およびθ方向の移動を制御する。それぞれの
モータは付属エンコーダ24,26,28、および30を個々に有し、それらの
エンコーダは、それぞれ捕捉・位置決め機12のセンサヘッドのx、y、z、お
よびθの位置の変化を表わす信号を出力するように適応される。捕捉・位置決め
機12は、また、典型的には、本発明によって提供される、部品の像を観察する
か、またはオプションとして、機械12の動作の総合結果を調査するための陰極
線管(CRT)を含む。電源34は捕捉・位置決め機12内に配置され、バス1
4を通過し、制御モジュール4を通り、さらにセンサ2へ通ずる2線式同軸ケー
ブル6を介して、センサ2によって要求されるすべての動作電力を供給する。
ノズル42あるいは類似物を介してセンサヘッド(図示されず)に固定される。
多数の光線44は、部品40の一方側から部品40を照射し、部品40の反対側
のリニア影像検出器46が部品40の影を表わすデータを捕らえる。センサ2は
光44のためのレーザダイオード源48を具備するように図示されるが、光が可
干渉性か否かに関わらず、他のどのような高強度の光源も用いられることもでき
る。回転式モータ22のあらかじめ選択されたいくつかの角度位置で、センサ2
は、部品40の影を表わすデータを検出器から収集する。部品の種類に合うよう
に、あらかじめ選択された角度位置が360度にわたって等間隔である必要はな
く、また部品40が一定の角速度で回転するように要求されることもない。
対して、検出器上の部品の影像の幅および影像の中心の位置を計算する。長方形
の部品が180度回転される場合、影像の幅対角度をプロットすると、2つの最
小値、すなわち部品の幅に対応する値と部品の長さに対応する値とを生成するで
あろう。2つの最小幅、それらに対応する角度、および影像の中心が分かると、
部品40上の特徴の位置が(捕捉・位置決め機の内部(x,y)基準に関連して
)計算されることができる。特徴の位置と捕捉・位置決め機の内部(x,y)基
準が分かると、捕捉ずれ量が計算される。このシステムは、影像の辺からは得ら
れないような情報は供給しないので、BGA(ボールグリッドアレイ)やフリッ
プチップ上の球の配置の誤りおよび球の喪失は確認することはできず、QFP(
カッドフラットパック)やTSOPなどのリード線のある部品のリード線の位置
の誤りを確認することもできない。
poration)に譲渡されたスカンズ(Skunes)他の米国特許第5,278,634
号に示される。投影式システムの他の用法は、部品が傾けられている間に、部品
上を光が照射するのを可能にするので、限定的な輪郭よりもむしろ部品のリード
線についての情報を識別することができる。投影手法は捕捉・位置決め機12に
あらかじめ備えられた運動制御システムを十分利用し、その運動制御システムは
、ノズル42の角度位置を報知するための極めて正確な回転式モータ22および
エンコーダ30を有する。
結合されたセンサがあるので、異なる型のセンサが装備されるたびに電子回路基
板を変えることは面倒である。さらに、捕捉・位置決め機内でセンサと結合され
た電子回路基板は貴重な基板空間(スペース)を要求し、付加的な通信オーバー
ヘッドが付加的なセンサ/電子回路基板組合せに関連して発生する。加えて、基
板、センサ、および(一般的には、センサ電子回路基板などと同じカードケージ
には接続されない)ホストプロセッサ間のケーブル組立体によって占められる空
間の総量が多大であるので、空間のさらなる有効利用が所望されている。つまり
、過度な不稼動期間なしに捕捉・位置決め機に装備される得る多種のセンサであ
って、捕捉・位置決め機内の計算および通信の機能をより有効に供給し、占有空
間の総量を低減する、新しい互換性のあるセンサが必要とされている。
グ内に光源からの光を受ける検出器を有する。検出器は、捕捉・位置決め機のノ
ズル上に装備されて、部品の輪郭を表わす出力を供給する。センサはまた、その
ハウジング内に、捕捉・位置決め機内のモータエンコーダに接続された受信回路
を有し、そのエンコーダはノズルの回転位置を表わす出力をセンサに供給する。
センサ内の計算回路は、ノズルの多数の回転位置で、エンコーダからの出力と検
出器からの出力との関数として、部品の輪郭の幅を計算し、その回路は、補正信
号と呼ばれることがある、部品の幅が最小となる位置でのエンコーダからの出力
値を提供する。センサ内の回路の好ましい実施例では、捕捉・位置決め機に補正
信号を順次に送信するために、ユニバーサル非同期受信トランシーバ(UART
)が用いられる。
られることが好ましい。本発明は、検出器からの検出可能信号を供給するために
十分な強度の、可干渉性の光および非干渉性の光を含む、あらゆる種類の光源と
共に用いられることができる。多ノズルセンサの場合のように、付加的部品のた
めにハウジングが広げられる時には、センサ内の一つのノズルに一つのチャネル
が対応するように、ノズルの数分のチャネルが装備可能である。本発明は、本明
細書に開示される特定のセンサ、制御回路、および捕捉・位置決め機に限定され
ない。例えば、本発明は、検出器と一体化されたスマート(smart)カメラおよ
び同じ物理的パッケージ内の影像処理回路を介して部品の位置を検出するオフヘ
ッドセンサと共に用いられることができる。
のブロック図である。 図2は、レーザ・アライン(LaserAlign:登録商標)センサの動作方法の概略
図であり、光線の中で回転する部品と検出器上に見られる当該部品の影を示す。 図3は、本発明のセンサ、捕捉・位置決め機、および部品の間に形成された制
御ループのブロック図である。 図4は、本発明の捕捉・位置決め機の概略図である。 図5は、本発明のセンサ内の電子回路の詳細なブロック図である。 図6A−Dは、本発明の4チャネルセンサの様々な機械的および電気的形態を
示す図であり、図6Aはセンサの機械的配置の概略図、図6Bは前記センサの側
断面図、図6Cは4チャネルの内の一つのセンサの概略動作を示す図、図6Dは
センサの分解図である。 なお、便宜上、図面内の同一符号の要素は、同じ要素であるか、または同一あ
るいは類似の機能を有する。
ル104および電源ケーブル106を介して捕捉・位置決め機102に接続され
る。ケーブル104は、捕捉・位置決め機102内の動作制御システム108か
らの通信信号およびモータエンコーダ信号を伝達し、一方ノズル202上の部品
200の角度方位および(x,y)位置を表わす、センサ100からの信号を反
対方向に伝送する。捕捉・位置決め機102は、電源110、オペレータインタ
フェース120、プロセッサ122、および動作制御システム108を含む。中
央バス124は、オペレータインタフェース120と動作制御システム108、
プロセッサ122、および外部センサヘッド50とを接続する。電源110はケ
ーブル106を介してセンサ100に給電する。
z、およびθ方向に動かす一組のモータ126,128,130、および132
を有し、適当な方向でヘッド50の位置を表わす出力を供給するために各モータ
に接続された一組のエンコーダ134、136、138、および140をそれぞ
れ有する。センサ100ためのデータ収集プロセスの役割として、動作制御シス
テム108は、光源52が励起されている間、ノズル202を角度的に回転する
ように、センサヘッド50に命令を送り、そのことによって、部品200の輪郭
の影を検出器54に投影する。
を有するならば、いかなる形式の光源であってもよいが、光が充分に可干渉性で
あるように作動されるレーザダイオードであることが好ましい。センサ100は
、データ収集命令、あるいは投影像の幅およびノズル202の関連角度位置につ
いてのデータを報告するという特定の命令などの動作命令を、バス104を介し
て機械102から受信するという点で、スレーブ式(slave-like)デバイスであ
る。センサ100、捕捉・位置決め機102、および部品200の間に、閉塞さ
れた制御ループが形成される。
は、部品200を捕捉するための真空ノズル202を含む。センサ100は、部
品200上に光を照射し、同じハウジング内で部品200を検出することができ
る構成として図示されるが、本発明が、図示されたとおりのセンサ100の構成
に限定されないことは理解されるであろう。例えば、検出器用電子部品に関して
、他の構成の光源が使用できるが、これも本発明の範囲内に含まれることが理解
されるべきである。コンベアシステム(図示されず)は、機械102の内外へ、
プリント回路(PC)基板(図示されず)を運搬する。センサヘッド50は、3
方向(x,y,z)に直線的に移動可能であり、動作制御システム108を介し
て部品200を角度的に回転させることができる。
(shredded shaft)を回すことによって、他のモータから独立して回転する。そ
のシュレッデッドシャフトは、適当なガントリ(gantry)やスライド(slide)
、例えば、基準指示器56、58としてそれぞれ示される(x,y)ガントリや
スライドに沿って、ヘッド50を移動させる。図2に示される種類の捕捉・位置
決め機は、典型的にはリードスクリュー(lead screw)捕捉・位置決め機と呼ば
れるが、リードスクリューではなく、バルブあるいはリニアモータを有する他の
種類の捕捉・位置決め機が本発明の方法および装置に利用可能である。
内の主電子回路基板は、いくつかのコネクタを有するが、他の実施例が、様々な
方法で電子回路内に機能的に結合できることは理解されるべきである。電源コネ
クタ204は結線106を介して電源110に接続されることを意図されている
。電圧変換回路214は、+18ボルト(V)の供給電力から+5Vと+12V
の2つの供給電圧に変換する方式で、電子回路基板101上のすべての回路に適
当な電力を供給する。
とを意図されている。検出器54は2つの出力を供給する種類なので、CCD検
出器からのより高速な影像読み出しを提供するために、2チャンネルのアナログ
処理回路216、218が図示される。FIFO回路220は、2重回路216
、218からの出力を結合し、検出器54内に収集された影像の強度を表わすデ
ータを、共通データバス221を介して、デジタル信号プロセッサ(DSP)2
36に送る。
0からのパルス幅符号化された位置情報を受信し、差動受信器222を通り、エ
ンコーダカウンタ回路226を介して、デジタル信号を供給する。エンコーダカ
ウンタ226は、受信されたパルスの数を適切に数える。一組の回路222、2
26は、チャネル毎に用いられる。例えば、図6Aに示される実施例においては
、センサ300内に4つのデータチャネルがあるので、差動受信器とエンコーダ
の組合わせが4組必要とされる。回転モータ132のθ位置を符号化するエンコ
ーダ140は、角度とエンコーダからの2つのクロックの位相との関数としての
周波数出力を有し、モータ132がノズル202をどちらの方向に回転させてい
るかを表示する。レーザダイオードコネクタ210は電力を受けて、センサ10
0内のレーザダイオード52に独立のレーザダイオード用電源を供給する。
2から、電源34用を除く、命令とその関連データとを受信し、センサ100か
らのデータがプロセッサ122に送信されることを可能にする。その他の、どの
ような標準化されたプロトコルも結線104に装備されることができるが、ほと
んどのパラレルプロトコルは特定の製品のために、ある程度の特殊性を要するの
で、本発明のセンサの互換性を維持するためには、接続はシリアル(直列)であ
ることが好ましい。部品200の所望の配置位置は、コネクタ212を通ってホ
スト122からDSP236へ送られる。
、CCD206、アナログ処理装置216、218、およびFIFOメモリ22
0の作動のために所望されるクロッキング信号を供給し、またDSP236をエ
ンコーダカウンタ226、FIFO220、UART238、およびEEPRO
M234などの種々のデバイスに接続するために、デバイス復号化論理および制
御信号をも供給する。DSP236は、センサ100内のすべてのデータ取得お
よび処理の機能を果たし、影像データおよびその他の暫定情報を蓄積する組込み
(ビルトイン)型の装置を含む。DSP236を作動するのに必要なプログラム
は、不揮発性のEEPROM234に記憶され、EEPROMはまた較正用およ
び配列(構造)データも記憶する。
リに記憶され、DSP236は、それらの記憶されたデータから、いくつかの標
準的基準位置に関する、部品200の方位θおよびオフセットすなわちずれ(x
,y)を計算する。DSP236は、機械102からの所望の位置信号およびD
SP236によって計算された方位情報を演算処理し、x、y、およびθの移動
補正の総量を表わす補正信号を計算する。前記補正信号は、部品200を所望の
配置点に位置決めする機能を果たす。
受信する。データは、前述の基準(例えばRS−422)にしたがって順次に伝
送され、製造会社や形式に関わらず十分に互換可能なセンサを供給し、さらにセ
ンサと捕捉・位置決め機との間の接続数を低減する。
のセンサハウジング300は、4つの分離したチャネルを含み、各チャネルは、
4個の部品の内の一つのx、y、θ方位を感知するように適合される。センサハ
ウジング300は、電子回路基板302(図示されず)、およびハウジング30
0に通じる開口部322を含む。開口部304は、少なくとも4つの部品に用い
られるように適合され、図6Aは、ノズル314、316、318、320にそ
れぞれ固定された部品306、308、310、312を示す。
7mmの間隔で4つのノズルを収容するので、いずれのノズルも対角線の長さが
35mmの部品を操作することができる。コンデンサ(集光)光学系322は、
開口部304を通して投影される部品の影像をCCD検出器324上に形成し、
視界よりも狭い検出器324が使用されるのを可能にする。検出器324は、典
型的には、Sony ILX 510 CCDアレイ検出器であり、それは、ピ
クセルのピッチおよび高さがそれぞれ7ミクロンの、5150ピクセルのリニア
アレイで構成される。全アレイ324の幅は約36mmである。
符号326の位置に配置され、平行にされた光を窓状のスロット326を通して
部品306〜312上に照射する。光源326からの光を遮断して形成される部
品の影は、レンズ系322を通って検出器324上に結像される。断面図6Bは
、2つの光学系窓328、329を含むセンサ300の内部の側断面図であり、
それらの窓はハウジング300内へ埃の粒子などが侵入するのを防止する。
ズル314〜320を駆動するモータから4チャネルの回転エンコーダ出力を受
信することを除いて、センサ300にも適用される(4つのチャネルはそれぞれ
4つの部品306〜312の内の一つに対応する)。DSP236は、表1に示
される基本的な命令の組を含む、影像取得、データ処理、捕捉・位置決めホスト
機との通信、およびセンサ300の制御を実行する。センサ300から報告され
る3つの有効な変数は、捕捉・位置決め機のxあるいはy軸の部品の長辺の配列
に対応する回転角度θ、あらかじめ選択されたθ値での、部品の投影影像の中心
位置、およびあらかじめ選択されたθ値での部品の投影影像の幅である。
定される時のノズルの中心点)のずれ量を決定する際に機械102で利用すると
有効である。また特に、検出器324上の影像が点x2とx1との間にあるなら
ば、その中心点は、次式で求められる2点の平均値である。
に、部品の幅は点x2とx1との差に等しく、これが捕捉・位置決め機に一旦報
告されると、位置決めされようとしている部品の部分の型式、測定されている部
分が正しい部分であるか、あるいは正しい部分が誤った辺で誤って捕捉されてい
るかを確認するのに有効である。
影像の幅のグラフである。影像幅のデータの点330〜338は、互いに異なる
角度θで収集され、その結果はオペレータインタフェース120を介してこのよ
うなグラフに表わされることができる。図6Cのグラフの最初の最小値は、部品
310の最小の寸法、w1(幅)に対応し、2番目の最小値は、同じ部品の最大
の寸法、w2(長さ)に対応する。
強度の差をとって、レーザの筋(stripe)の質を表わす信号を計算し、機械10
2に送ることもでき、そのことによって、検出器の窓328、329上に埃やそ
の他の遮光物体が存在することを示すことができる。その情報は、センサ投影シ
ステム300の適当な管理計画に役立つ。図6Dは、センサ300の分解図であ
り、4つの部品を収納するのに充分な長さのスロット322を示す。センサ30
0内の光学的部品は、図6Dでは、スロット322の右側に配置され、電子部品
および検出器は、スロット322の左側に配置される。
置信号とDSP236によって計算された方位情報との関数として、部品を位置
決めするために要求されるx、y、およびθの移動補正値の量を表わす補正信号
を計算することである。本発明においては、独立型のセンサ300と捕捉・位置
決め機102との間の直接通信に撚り線対を用いることが可能である。捕捉・位
置決め機102とセンサ100との間の通信プロトコルは、現在も使用可能なレ
ーザ配列センサに用いられているものと類似であり、RS−232あるいはRS
−422インタフェースを適当に使用することができるので、ある型式のセンサ
300を、機械102から電子回路基板を取り外すことなく、他の型式のものに
交換することができる。
改善される。本発明の互換可能なセンサによって、捕捉・位置決め機の不必要な
保守およびそれに関連する不稼動期間が回避され、複合投影式センサは、製品に
関わらず、単にセンサを取換えて、センサからのケーブルを捕捉・位置決め機の
外部にあるコネクタに接続するだけで交換(swapped in and out)することがで
きる。
することなく詳細や形式上の変更が可能なことは、当業者には理解できるであろ
う。例えば、センサや捕捉・位置決め機の光学的な部分に対するわずかな変更だ
けでなく、電子回路の構成に対する非本質的な変更も、本発明の本質を変更する
ことではない。最後に、本発明は、捕捉・位置決め機の分野にのみ用いられるも
のではなく、投影式センサを利用する、表面輪郭の決定、プリント回路検査シス
テム、ハンダペースト検査システム、一般的な部品位置決めシステム、映像補助
レーザトリミングシステム、および最終組立検査システムにも用いられることが
できる。
ク図である。
、光線の中で回転する部品と検出器上に見られる当該部品の影を示す。
のブロック図である。
投影式センサ、102…捕捉・位置決め機、104…ケーブル、106…電源ケ
ーブル、108…動作制御システム、110…電源、120…オペレータインタ
フェース、122…プロセッサ、124…中央バス、200…部品、202…ノ
ズル
Claims (15)
- 【請求項1】 基板上の所望の位置に部品を配置する方法であって、 a)捕捉・位置決め機上のノズルで部品を捕捉する段階、 b)所望の位置の関数として、部品を基板の方へ運ぶ段階、 c)センサ内で、ノズルに関する部品の方位を感知し、補正指示を計算す
る段階、 d)補正指示を捕捉・位置決め機へ伝える段階、および e)補正指示の関数として、部品を位置決めする段階を含む方法。 - 【請求項2】 基板上の所望の位置に部品を配置する方法であって、 a)捕捉・位置決め機上のノズルで部品を捕捉する段階、 b)検査のための固定位置ステーションに部品を運ぶ段階、 c)センサ内で、ノズルに関する部品の方位を感知し、補正指示を計算す
る段階、 d)補正指示を捕捉・位置決め機へ伝える段階、および e)補正指示の関数として、部品を位置決めする段階を含む方法。 - 【請求項3】 捕捉・位置決め機への補正信号を生成し、捕捉・位置決め機のノズル上に固定
的に搭載されたセンサであって、 ノズルの回転位置についての回転データを受信するように捕捉・位置決め
機に接続された受信回路、 ノズルに固定された部品の位置を検出し、部品の位置を表わす位置信号を
発生するための光学系および検出用電子回路、および 回転データの関数として光学系からの位置信号を処理し、捕捉・位置決め
機に補正信号を出力する信号処理回路を含むセンサ。 - 【請求項4】 光が部品に照射されている間に、多数の回転位置に部品を回転するように適応
されたノズルに、取り外し可能に取りつけられた部品の位置を感知するためのセ
ンサであって、センサが、 ハウジング、 ハウジング内にあって光を受け、部品の輪郭を表わす出力を供給する検出
器、 ハウジング内にあって、ノズルの回転位置を表わす出力を供給するエンコ
ーダに接続された受信回路、および ハウジング内にあって、エンコーダからの出力と検出器からの出力との関
数として、多数の回転位置での輪郭の幅を計算するように適応され、部品の幅が
最小値になる時にエンコーダの出力値を供給する計算回路を含むセンサ。 - 【請求項5】 センサが、さらに光源を含む請求項4のセンサ。
- 【請求項6】 光源が実質上可干渉性の光を出力する請求項5のセンサ。
- 【請求項7】 光源がダイオードである請求項5のセンサ。
- 【請求項8】 光源がレーザダイオードである請求項5のセンサ。
- 【請求項9】 光源が実質的に非干渉性の光を出力する請求項5のセンサ。
- 【請求項10】 モータエンコーダがハウジングの外部に配置された請求項4のセンサ。
- 【請求項11】 計算回路がデジタル信号処理回路である請求項4のセンサ。
- 【請求項12】 計算回路が、さらにセンサの較正および構成に関する定数を記憶するEEPR
OMを含む請求項11のセンサ。 - 【請求項13】 さらに、計算回路に接続されたUARTを含み、UARTが部品の物理的な位
置を表わす情報を順次に伝送する請求項4のセンサ。 - 【請求項14】 ハウジングが少なくとも1つの追加の部品を受け入れるように適合され、その
部品が追加のノズルに取り外し可能に取りつけられる請求項4のセンサ。 - 【請求項15】 ハウジングが4つの部品を受け入れるように適合された請求項4のセンサ。
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