JP2003512619A - プレーナ形のセンサ素子 - Google Patents
プレーナ形のセンサ素子Info
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- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
Abstract
Description
planar.)のセンサ素子に関する。
て知られていて、広く普及している。このようなプレーナ形のセンサ素子は、汎
用の形式では、焼結されたZrO2から成る密なカバー層を有しており、これら
のカバー層の間では、酸化アルミニウムから成る多孔質の絶縁層の間に電気的な
加熱装置が埋め込まれてる。このような絶縁層の使用は次の理由から必要となる
。すなわち、カバー層のために使用されるZrO2が、このようなセンサ素子に
とって汎用の作業温度では導電性となり、これにより漏れ電流が生ぜしめられた
り、得られた測定値が正しい値ではなくなったり、あるいはそれどころかセンサ
素子の破壊、ひいては酸素センサの故障が生ぜしめられる恐れがあるからである
。ZrO2に比べて、酸化アルミニウムは、数オーダ分だけ小さな導電性しか有
していない。
基準のためのポンピング容量もしくは基準ガス室として働くことができる。この
基準ガス室が層の内部で中空室を形成するような、プレーナ形のセンサ素子の構
造も知られている。この場合、「ガス含有の層」とは、基準ガスを含有すること
のできる中空室を備えた層をも意味する。
基準ガスに向かって導出されている。こうして、ガス含有の層はこの端面側に小
幅のストリップを形成しており、このストリップを介して、環境周囲との空気交
換もしくは基準ガスとの空気交換を行うことができる。
ガス含有の層内部へ湿分または排ガス成分が侵入する危険が生じ、このことは測
定結果を誤めてしまう恐れがある。特に湿分の侵入は、ガス含有の層の通過部の
小幅なストリップ形状により助成されている。
を招いてしまう。通常、このようなセンサ素子はまず複数個で、1つの共通の基
板に製造され、次いで各センサ素子に個別化される。このとき、ガス含有の層の
貫通案内部を備えた方の端面側に沿って基板を切断する際に、基板の縁部の破折
が容易に生じ得るか、または切断時に発生するノッチ作用により、基板縁部にお
ける欠陥個所が生ぜしめられる。このような欠陥個所は、後続の焼結時における
満足し得る品質を有する複合体の形成を妨げる。
の構成では、ガス含有の層が、両カバー層の間に延びる平面内で1つのシールフ
レームによって、慣用のセンサ素子の場合にそうであったように3つの側でのみ
取り囲まれるのではなく、全ての側で全周にわたって取り囲まれており、当該セ
ンサ素子のガス含有の層と、当該センサ素子の環境周囲との間で必要となる空気
交換のために、少なくとも一方のカバー層が、少なくとも1つの貫通開口を備え
ているようにした。
ールフレームおよびカバー層の材料だけが、つまり通常ではZrO2だけが切断
されれば済むので、Al2O3から成る多孔質の絶縁層が切断されなければなら
ないような場合に比べて、切断工具の摩耗も減少する。
沿って裂け目が形成され、かつ次いで破断される場合に、センサ素子の層構造に
おける損傷の確率をも減少させる。
り、これらのコンタクト面は加熱素子に電流を供給するために働くか、または測
定電極の電気的な信号を取り出すために働く。また、これらのコンタクト面は、
カバー層に設けられた貫通開口を通じて、センサ素子の層構造の内部に位置する
導体路と接触接続されている。このような貫通開口は本発明によれば、同時に、
ガス含有の層と環境周囲との間での空気交換を可能にするためにも使用されるの
で有利である。この場合、これらの貫通開口は当然ながら、ガスの通過を可能に
するために、貫通案内された導体よりも大きな横断面を有している。
記貫通開口の自由横断面が、当該センサ素子の長手方向軸線に対して直交する方
向におけるガス含有の層の自由横断面よりも大きく形成されていてよい。センサ
素子の長手方向軸線に対して直交する方向におけるガス含有の層の自由横断面は
、あとで説明するような慣用の構造の、縁部の開いたセンサ素子のガス交換横断
面に相当している。
た加熱素子(ヒータエレメント)に電流を供給するために働くと有利である。
。したがって、前記貫通開口の自由直径は問題なく、ガス含有の層の厚さよりも
大きく形成されていてよく、これにより、一方ではガス含有の層と環境周囲との
間での有効な空気交換が促進され、他方では、前記貫通開口が、場合によっては
その環境周囲に存在する液体に対して著しい毛管効果を発揮して、この液体をガ
ス含有の層内に吸い込んでしまうことが回避される。このような貫通開口の直径
は少なくとも0.5mm、有利には約1mmであることが望ましい。
ている。
れている。図面には、これらのセラミック層のうち、本発明にとって重要となる
3つのセラミック層しか図示されていない。3つのセラミック層とは、酸化ジル
コニウム(ジルコニア)から成る空気密な上側のカバー層3、酸化アルミニウム
(アルミナ)から成る多孔質の絶縁層4およびやはり酸化ジルコニウムから成る
空気密な下側のカバー層5である。
、枠状のホルダ内に空気密に固定されるようになっている。反対の側に位置する
長手方向端部は、図面で見て下側に位置する表面に複数の測定電極を保持してい
る。これらの測定電極は、これらの測定電極を整然とした状態で作動させるため
に、多孔質の絶縁層4を通じてセンサ素子の内部に周辺空気を供給することが必
要となる点でしか、本発明にとって重要とならない。
小さく形成されている。すなわち、多孔質の絶縁層4はセンサ素子1の2つの長
辺側6と、図面で見て奥の側の端面側7とにおいて、1つのU字形のシールフレ
ーム8によって取り囲まれている。このシールフレーム8は2つのカバー層3,
5と同様に酸化ジルコニウムから密に焼結されている。
ことにより個別化する際には、両カバー層3,5とシールフレーム8との間の境
界面14に著しい剪断力が作用し、このような剪断力はセンサ素子を損傷させる
恐れがある。
ってセンサ素子を断面した図が示されている。上側のカバー層3の外面には、金
属製の2つのコンタクトストリップ9が被着されている。これらのコンタクトス
トリップ9は、端面側7の近くで絶縁層4内に埋め込まれた抵抗加熱素子に電流
を供給するために働く。上側のカバー層3に設けられた2つの貫通開口10は金
属で満たされており、これによりコンタクトストリップ9は、加熱素子への電流
供給のための、絶縁層4内に埋め込まれた導体路11にそれぞれ接続されている
。
、酸化ジルコニウムから成る2つの密なカバー層3,5と、酸化アルミニウムか
ら成る1つの多孔質の絶縁層4とを有している。ただし、絶縁層4は図2の(a
)に示した斜視図では見えていない。なぜならば、この絶縁層4は4つの側全て
で、酸化ジルコニウムから成る1つのシールフレーム8によって取り囲まれてい
る。すなわち、シールフレーム8はこの場合、センサ素子2の全周にわたって延
びている。図2の(b)には、図2の(a)に示したb−b線に沿った断面図が
示されている。図2の(b)に示した断面図から判るように、特にセンサ素子2
の、図面で見て手前側の端面側の端部12も、シールフレーム8によって空気密
に閉じられている。貫通開口10は上側のカバー層3の表面で開いている。すな
わち、これらの貫通開口10はその横断面の一部でしか、カバー層3の表面に設
けられたコンタクトストリップ9と、絶縁層4の内部に設けられた導体路11と
の間の金属製の接続部13によって満たされていない。特に、この金属製の接続
部13は貫通開口10の壁に沿って環状に延びていてよい。貫通開口10の自由
横断面は、絶縁層4とセンサ素子2の環境周囲との間での空気交換のために提供
されている。このような構成により、第1には、図1に示したセンサ素子に比べ
て、測定電極と貫通開口との間の距離が短縮されており、これにより、絶縁層4
と環境周囲との間での有効な空気交換が促進される。第2には、貫通開口10の
直径を大きく設定することにより、貫通開口10に空気交換のために提供され得
る大きな有効横断面が得られる。約50μmの絶縁層4の典型的な層厚さでは、
1mmの貫通開口10の直径で既に十分となる。
断されると、両カバー層3,5とシールフレーム8との間に生じた剪断力は、図
面で見て手前側の端面側の端部12の全幅にわたって分配される。したがって、
損傷の危険は図1に示したセンサ素子の場合よりも著しく低くなる。
に、互いに異なる組成を有する層の間の焼結歪みによる剪断力も発生する。上記
センサ素子では外面全体が同じ材料から成っているので、センサ素子表面に著し
い剪断力は生じない。したがって、このセンサ素子では、酸化アルミニウムから
成る絶縁層4が表面に現れているような、図1につき説明した汎用のセンサ素子
の場合ほど、センサ素子の表面における亀裂形成を心配する必要はない。
長辺側、 7 端面側、 8 シールフレーム、 9 コンタクトストリップ
、 10 貫通開口、 11 導体路、 12 端部、 13 接続部、 14
境界面
Claims (6)
- 【請求項1】 密なカバー層(3,5)の間に配置されたガス含有の層(4
)を備えたプレーナ形のセンサ素子(2)において、ガス含有の層(4)が、両
カバー層(3,5)の間に延びる平面内で、その全周にわたって1つのシールフ
レーム(8)によって取り囲まれており、ガス含有の層(4)と環境周囲との間
での空気の交換のために、少なくとも一方のカバー層(3)が、少なくとも1つ
の貫通開口(10)を有していることを特徴とする、プレーナ形のセンサ素子。 - 【請求項2】 前記貫通開口(10)を通って、導電体(13)が延びてい
る、請求項1記載のセンサ素子。 - 【請求項3】 前記導電体(13)が、ガス含有の層(4)内に埋め込まれ
た加熱素子に電流を供給するために働くか、または当該センサ素子に設けられた
測定電極の電気的な信号を取り出すために働く、請求項2記載のセンサ素子。 - 【請求項4】 前記貫通開口(10)の自由直径が、ガス含有の層(4)の
厚さよりも大きく形成されている、請求項1から3までのいずれか1項記載のセ
ンサ素子。 - 【請求項5】 前記貫通開口の自由横断面が、当該センサ素子(2)の長手
方向軸線に対して直交する方向におけるガス含有の層(4)の自由横断面よりも
大きく形成されている、請求項1から4までのいずれか1項記載のセンサ素子。 - 【請求項6】 前記貫通開口(10)が、少なくとも0.5mmの直径を有
している、請求項1から5までのいずれか1項記載のセンサ素子。
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