JP2003347257A5 - 半導体ウエーハの製造方法 - Google Patents
半導体ウエーハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2003347257A5 JP2003347257A5 JP2002148693A JP2002148693A JP2003347257A5 JP 2003347257 A5 JP2003347257 A5 JP 2003347257A5 JP 2002148693 A JP2002148693 A JP 2002148693A JP 2002148693 A JP2002148693 A JP 2002148693A JP 2003347257 A5 JP2003347257 A5 JP 2003347257A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- lapping
- surface plate
- manufacturing
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
このラッピングはラッピングマシーン(ラッパーともいう。)により行われている。ラッピングマシーンメーカーのマニュアルによると、ウエーハのラッピングはメイン(main)回転で行い、定盤修正は「修正キャリア」を使用して、1日に4〜6回程度サブ(sub)回転で行うとの指針がある。
ここでメイン回転とは下定盤は反時計回りで、その中に複数個設けられているキャリアは時計回りで回転を行うことであり、サブ回転とは下定盤およびキャリアともに反時計回りで回転を行うこととされている。なお上定盤はどちらの場合も時計回りに回転する。
ここでメイン回転とは下定盤は反時計回りで、その中に複数個設けられているキャリアは時計回りで回転を行うことであり、サブ回転とは下定盤およびキャリアともに反時計回りで回転を行うこととされている。なお上定盤はどちらの場合も時計回りに回転する。
ラッパーをメイン回転させたときには、下定盤が反時計回りするのに対し、キャリアが時計回りに回転する。一方サブ回転であると、定盤とキャリアがともに反時計回り回転する。メイン回転の場合には下定盤の外周部が内周部に比し摩耗が大きく定盤は中央部が高い凸状になり,サブ回転の場合には下定盤の内周部が外周部に比して摩耗が大きく、中央部が凹んだ凹状になる。従ってラッピング工程をメイン回転で行った後、定盤の平坦度を確保するため定盤修正をサブ回転で行うように指示しているものと思われる。
定盤修正が行われているにもかかわらず、定盤平坦度が良くならない原因は、製品処理がメイン回転で、定盤修正がサブ回転で行われ、メイン回転では外周が大きく摩耗し、サブ回転では内側が摩耗するが、メイン回転における外側の周速度とサブ回転における内側の周速度が異なるために摩耗量が異なるためである。例えば外周部直径45.0mm、内周部直径24.0mmとしたときの周速度は20rpmでそれぞれ外周部で28274mm/min、内周部で15080mm/minとなり、速度比が1.9倍になる。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
[1] ラッピング工程を含む化合物半導体ウエーハの製造方法であって、ラッピングマシーンの定盤の平坦度を測定し、平坦度が管理限界内であって、定盤が凹型の場合には次のラッピングをメイン回転で、凸型の場合は次のラッピングをサブ回転で行うことを特徴とする半導体ウエーハの製造方法、
[2] 2〜5時間に1回、30秒ないし5分間、上下の定盤を直接反対回転を行いながら共擦りを行う上記[1]に記載の半導体ウエーハの製造方法、
[3] ラッピングマシーンの定盤の平坦度をグラフ化し、これを観察することによって定盤の凹凸を判定する上記[1]または[2]に記載の半導体ウエーハの製造方法、
[4] 化合物半導体が、インジュウムリン(InP)、ガリウム砒素(GaAs)、ガリウムリン(GaP)からなる群の少なくとも一つである上記[1]〜[3]のいずれかに記載の半導体ウエーハの製造方法、
[5] ラッピングの際のラップ材として、アルミナ−ジルコニアの微粉末を使用する上記[1]〜[4]のいずれかに記載の半導体ウエーハの製造方法、 [6] ラップ工程の後に、研磨工程、洗浄工程を含むことを特徴とする上記[1]〜[5]のいずれかに記載の半導体ウエーハの製造方法、及び
[7] 上記[1]〜[6]のいずれかに記載の半導体ウエーハの製造方法を用いて製造した半導体ウエーハ、を開発することにより上記の課題を解決した。
【課題を解決するための手段】
本発明は、
[1] ラッピング工程を含む化合物半導体ウエーハの製造方法であって、ラッピングマシーンの定盤の平坦度を測定し、平坦度が管理限界内であって、定盤が凹型の場合には次のラッピングをメイン回転で、凸型の場合は次のラッピングをサブ回転で行うことを特徴とする半導体ウエーハの製造方法、
[2] 2〜5時間に1回、30秒ないし5分間、上下の定盤を直接反対回転を行いながら共擦りを行う上記[1]に記載の半導体ウエーハの製造方法、
[3] ラッピングマシーンの定盤の平坦度をグラフ化し、これを観察することによって定盤の凹凸を判定する上記[1]または[2]に記載の半導体ウエーハの製造方法、
[4] 化合物半導体が、インジュウムリン(InP)、ガリウム砒素(GaAs)、ガリウムリン(GaP)からなる群の少なくとも一つである上記[1]〜[3]のいずれかに記載の半導体ウエーハの製造方法、
[5] ラッピングの際のラップ材として、アルミナ−ジルコニアの微粉末を使用する上記[1]〜[4]のいずれかに記載の半導体ウエーハの製造方法、 [6] ラップ工程の後に、研磨工程、洗浄工程を含むことを特徴とする上記[1]〜[5]のいずれかに記載の半導体ウエーハの製造方法、及び
[7] 上記[1]〜[6]のいずれかに記載の半導体ウエーハの製造方法を用いて製造した半導体ウエーハ、を開発することにより上記の課題を解決した。
このラッピング工程に使用されるラッパーは、図1に示すような形状のものであり、上・下定盤1,2およびキャリア駆動用のモーター、上定盤の上下に駆動するメインシリンダー3、ラップ材を定盤に均等に供給する装置4およびそれらの制御器5などからなっている。
ラッピング工程は、上定盤1と下定盤2がそれぞれ反対方向に回転し、該上・下定盤に挟まれたキャリア(図示されていない)は、自転しながら、メイン回転またはサブ回転、あるいは停止の状態を取ることが可能となっている。またラッピング工程中に定盤にアルミナまたはアルミナ−ジルコニア等の水に懸濁したラップ材を供給しながら行うことになっている。
ラッピング工程は、上定盤1と下定盤2がそれぞれ反対方向に回転し、該上・下定盤に挟まれたキャリア(図示されていない)は、自転しながら、メイン回転またはサブ回転、あるいは停止の状態を取ることが可能となっている。またラッピング工程中に定盤にアルミナまたはアルミナ−ジルコニア等の水に懸濁したラップ材を供給しながら行うことになっている。
ラッピングは被加工物であるウエーハをキャリアに入れ、それぞれ反対方向に回転する上・下定盤の間に挟み、キャリア自身も定められた回転が与えられてウエーハの両面を等量宛ラップするようになっている。
ここで定盤とキャリアの作動状況を検討してみる。例えばメイン回転で下定盤とキャリアの回転状況を見る。メイン回転では下定盤の外周部は時計と反対方向に回転しているのに対し、下定盤外周部のキャリアの回転方向は下定盤の回転とは逆の時計方向、即ち下定盤に対するキャリアの相対速度は両者の速度の和となって、定盤の線速度よりも大きくなっている。これに対し、下定盤の中心部に近い部分における下定盤に対するキャリアの相対速度は両者が同方向に動くため、両者の線速度の差になり、極めて小さくなっていることが明らかである。
ここで定盤とキャリアの作動状況を検討してみる。例えばメイン回転で下定盤とキャリアの回転状況を見る。メイン回転では下定盤の外周部は時計と反対方向に回転しているのに対し、下定盤外周部のキャリアの回転方向は下定盤の回転とは逆の時計方向、即ち下定盤に対するキャリアの相対速度は両者の速度の和となって、定盤の線速度よりも大きくなっている。これに対し、下定盤の中心部に近い部分における下定盤に対するキャリアの相対速度は両者が同方向に動くため、両者の線速度の差になり、極めて小さくなっていることが明らかである。
キャリアの回転を無視した場合でも、定盤の回転に伴う線速度は直径に比例することが明らかであるので、定盤外周部の線速度は、定盤中心部に近い側の線速度に比して大である。それがキャリアの回転による線速度の影響が加わり、外周部はキャリアの線速度との和となり、中心部に近い側ではキャリアの線速度との差となるので、この相対速度に比例する摺動距離は外周部と中心部に近い側で大きな差を生じる。摩耗量は摺動距離に比例するものであり、外周部と中心部に近い側の差はその影響を無視できないほど大となることが明らかである。
一方サブ回転においては逆となり、下定盤の摩耗量は外周部において小となり、中心部に近い側では大となることになる。それでも下定盤の回転に伴う中心からの距離による線速度の影響はやはり残り、メイン回転よりはその差は小さいものと推定できる。
一方サブ回転においては逆となり、下定盤の摩耗量は外周部において小となり、中心部に近い側では大となることになる。それでも下定盤の回転に伴う中心からの距離による線速度の影響はやはり残り、メイン回転よりはその差は小さいものと推定できる。
このように見てくると、ラッピング工程をメイン回転で行い、修正キャリアを用いて定盤修正を短時間のサブ回転で行うのでは下部定盤の凸型化の進行、蓄積が避けられない。そのため周期的に定盤の基本的な修正が必要となり、上定盤をラッパーから取り外し、他の装置を用いて平坦度を修正した後にその平坦化された上定盤を用いて下定盤と共擦りを行うことにより定盤の平坦化を確保することを余儀なくされていた。
しかし、上記のメカニズムを解明して、定盤の摩耗のメカニズムが定盤とキャリアの摺動面における相対速度にコントロールされていることが分かったので、メイン回転とサブ回転を適宜組み合わせてラッピング工程を行うときは、定盤の修正工程は大幅に削減できるとの予測をたてた。そして従来の修正キャリアを使用する修正工程をすべて削除可能との仮定を立ててラッピング工程を組み立てた。
Claims (7)
- ラッピング工程を含む化合物半導体ウエーハの製造方法であって、ラッピングマシーンの定盤の平坦度を測定し、平坦度が管理限界内であって、定盤が凹型の場合には次のラッピングをメイン回転で、凸型の場合は次のラッピングをサブ回転で行うことを特徴とする半導体ウエーハの製造方法。
- 2〜5時間に1回、30秒ないし5分間、上下の定盤を直接反対回転を行いながら共擦りを行う請求項1に記載の半導体ウエーハの製造方法。
- ラッピングマシーンの定盤の平坦度をグラフ化し、これを観察することによって定盤の凹凸を判定する請求項1または2に記載の半導体ウエーハの製造方法。
- 化合物半導体が、インジュウムリン(InP)、ガリウム砒素(GaAs)、ガリウムリン(GaP)からなる群の少なくとも一つである請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体ウエーハの製造方法。
- ラッピングの際のラップ材として、アルミナ−ジルコニアの微粉末を使用する請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体ウエーハの製造方法。
- ラップ工程の後に、研磨工程、洗浄工程を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体ウエーハの製造方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体ウエーハの製造方法を用いて製造した半導体ウエーハ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002148693A JP2003347257A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | 半導体ウエーハのラッピング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002148693A JP2003347257A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | 半導体ウエーハのラッピング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003347257A JP2003347257A (ja) | 2003-12-05 |
JP2003347257A5 true JP2003347257A5 (ja) | 2005-04-07 |
Family
ID=29767136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002148693A Pending JP2003347257A (ja) | 2002-05-23 | 2002-05-23 | 半導体ウエーハのラッピング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003347257A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100927306B1 (ko) | 2008-04-11 | 2009-11-18 | 주식회사 실트론 | 나노토포그라피가 개선된 웨이퍼 제조 방법 |
JP2011140075A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-07-21 | Asahi Glass Co Ltd | 両面研削装置を用いたガラス基板の研削方法、及び該研削方法を用いたガラス基板の製造方法 |
-
2002
- 2002-05-23 JP JP2002148693A patent/JP2003347257A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6366614B2 (ja) | 研磨パッドをドレッシングするための方法 | |
US5394655A (en) | Semiconductor polishing pad | |
JP3999587B2 (ja) | 半導体ウェーハを同時に両面で材料除去加工するための方法 | |
JP4730844B2 (ja) | 複数の半導体ウェハを同時に両面研磨する方法および半導体ウェハ | |
JP3127108B2 (ja) | 研磨装置、及び、半導体装置製造方法 | |
JP3648478B2 (ja) | 掻傷率の低減させられた両面研磨方法及び該方法を実施する装置 | |
KR101604076B1 (ko) | 동시 양면 연마를 이용하여 반도체 웨이퍼를 연마하기 위한 방법 | |
JPH09103955A (ja) | 正常位置での研摩パッドの平坦さ調整方法及び装置 | |
KR101846926B1 (ko) | 웨이퍼의 양면 연마방법 | |
WO2001062436A1 (fr) | Procede et appareil permettant de polir une partie circulaire exterieure a chanfrein d'une tranche | |
JP2014156006A (ja) | 半導体ウエハの同時両面研磨用の研磨パッドを調節する方法 | |
KR102039771B1 (ko) | 압판 평행관계가 제어되는 양면 연마기 | |
JP2002217149A (ja) | ウエーハの研磨装置及び研磨方法 | |
TWI622461B (zh) | 承載環、研磨裝置以及研磨方法 | |
JP2003347257A5 (ja) | 半導体ウエーハの製造方法 | |
JP4384742B2 (ja) | 半導体ウェーハのラッピング装置及びラッピング方法 | |
KR20160124110A (ko) | 워크의 양두연삭방법 | |
JP4241164B2 (ja) | 半導体ウェハ研磨機 | |
JP4122800B2 (ja) | 半導体ウェーハの研磨方法 | |
JP2003318138A (ja) | 半導体ウェーハの製造方法 | |
JP7168113B1 (ja) | ウェーハの両面研磨方法 | |
JP2003347257A (ja) | 半導体ウエーハのラッピング方法 | |
JPH01135468A (ja) | 表面研磨方法 | |
JP3962452B2 (ja) | 半導体ウェハのラッピング装置およびこれを用いたラッピング方法 | |
KR100485310B1 (ko) | 반도체웨이퍼의 양면재질을 제거하는 가공방법 |