JP2003344612A5 -

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薄膜型ＮＤフィルターにおいて、透明基板の片面に、吸収性を有する１種類の金属酸化物による吸収膜と、透明な誘電体膜の交互層を設け、前記透明基板と前記吸収膜との間に、屈折率が２．０以上の高屈折率膜を有することを特徴とする薄膜型ＮＤフィルター。
前記吸収膜の可視域の波長（λ＝４００〜７００ｎｍ）での屈折率をｎ（λ）、消衰係数をｋ（λ）とした時、次式の関係０．１＜ｋ（７００）−ｋ（４００）＜ｎ（７００）−ｎ（４００）＋０．５を満たすことを特徴とする請求項１に記載の薄膜型ＮＤフィルター。
前記吸収膜が、チタン酸化物膜であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の薄膜型ＮＤフィルター。
空気側に接する最終層が、Ａｌ₂Ｏ₃、又はＳｉＯ₂、又はＭｇＦ₂膜のいずれかであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜型ＮＤフィルター。
前記交互層が、５層以上で構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の薄膜型ＮＤフィルター。