JP2003338367A - Ｅｌ素子封止板、ｅｌ表示装置、及びその製造方法 - Google Patents
Ｅｌ素子封止板、ｅｌ表示装置、及びその製造方法Info
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エレクトロルミネッセント（ＥＬ）素子表示
装置を小型化、軽量化でき、その製造においては、部品
点数が少なくなると共に加工工程を簡略化することので
きるＥＬ素子封止板と、その製造方法、及びＥＬ素子表
示装置を提供する。 【解決手段】 蒸着法、又はスパッタ法で、平板５２に
乾燥剤膜５４を成膜してＥＬ素子封止板１００を製造す
る。乾燥剤膜の厚さは５０μｍ以下で、乾燥剤膜はＣａ
Ｏ、又はＢａＯを含むことが好ましい。
装置を小型化、軽量化でき、その製造においては、部品
点数が少なくなると共に加工工程を簡略化することので
きるＥＬ素子封止板と、その製造方法、及びＥＬ素子表
示装置を提供する。 【解決手段】 蒸着法、又はスパッタ法で、平板５２に
乾燥剤膜５４を成膜してＥＬ素子封止板１００を製造す
る。乾燥剤膜の厚さは５０μｍ以下で、乾燥剤膜はＣａ
Ｏ、又はＢａＯを含むことが好ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電圧を印加するこ
とにより発光するエレクトロルミネッセント素子（ＥＬ
素子）を封止する際に用いる乾燥剤膜を備えた封止板、
そのＥＬ素子を用いる表示装置、およびその製造方法に
関する。
とにより発光するエレクトロルミネッセント素子（ＥＬ
素子）を封止する際に用いる乾燥剤膜を備えた封止板、
そのＥＬ素子を用いる表示装置、およびその製造方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ＥＬ素子のうち、有機ＥＬ素子は比較的
低電圧で発光し、また製造が簡単なことから、将来性が
期待されている発光素子である。実用上問題があるとさ
れてきた素子寿命に関しても最近かなり改良されてきて
いる。
低電圧で発光し、また製造が簡単なことから、将来性が
期待されている発光素子である。実用上問題があるとさ
れてきた素子寿命に関しても最近かなり改良されてきて
いる。
【０００３】従来の有機ＥＬ素子の構成の一例を図３に
示す。この有機ＥＬ素子は、ガラス等の透明基板２上
に、透明電極であるインジウム錫オキサイド（ＩＴＯ）
等からなる陽極４、正孔注入層６、正孔輸送層８、電子
輸送性発光層１０、第１陰極層１４、第２陰極層１６を
順次積層してなる。このような有機ＥＬ素子では、正孔
注入層６、正孔輸送層８、及び電子輸送性発光層１０に
より有機ＥＬ層１２を構成している。また、第１陰極層
１４および第２陰極層１６で陰極１８を構成している。
そして、陽極４、陰極１８からなる一対の電極からそれ
ぞれ注入した正孔と電子とが有機ＥＬ層１２内で再結合
して光を放射し、その光が透明基板２を透過して有機Ｅ
Ｌ素子の外に向かって放射するようになっている。
示す。この有機ＥＬ素子は、ガラス等の透明基板２上
に、透明電極であるインジウム錫オキサイド（ＩＴＯ）
等からなる陽極４、正孔注入層６、正孔輸送層８、電子
輸送性発光層１０、第１陰極層１４、第２陰極層１６を
順次積層してなる。このような有機ＥＬ素子では、正孔
注入層６、正孔輸送層８、及び電子輸送性発光層１０に
より有機ＥＬ層１２を構成している。また、第１陰極層
１４および第２陰極層１６で陰極１８を構成している。
そして、陽極４、陰極１８からなる一対の電極からそれ
ぞれ注入した正孔と電子とが有機ＥＬ層１２内で再結合
して光を放射し、その光が透明基板２を透過して有機Ｅ
Ｌ素子の外に向かって放射するようになっている。
【０００４】有機ＥＬ素子は、図３の構成以外にも、
（１）陽極／発光層／陰極、（２）陽極／正孔輸送層／
発光層／電子輸送層／陰極、（３）陽極／発光層／電子
輸送層／陰極、（４）陽極／正孔輸送層／発光層／陰
極、等の各種構造のものがある。
（１）陽極／発光層／陰極、（２）陽極／正孔輸送層／
発光層／電子輸送層／陰極、（３）陽極／発光層／電子
輸送層／陰極、（４）陽極／正孔輸送層／発光層／陰
極、等の各種構造のものがある。
【０００５】なお、従来の有機ＥＬ層の厚みは、通常１
００ｎｍ以上である。
００ｎｍ以上である。
【０００６】有機ＥＬ素子を用いた表示装置では、図４
に示すように、有機ＥＬ素子を覆うように、ステンレス
スチール製の気密ケース９０を透明基板２の上面に接着
剤９２で接着している。気密ケース９０には、その上部
中央に乾燥剤収納部９３が形成されており、その中にＢ
ａＯ、ＣａＯ等の乾燥剤９４が配置されている。このた
め、気密ケース９０の厚みＰは通常２ｍｍ程度になり、
有機ＥＬ層自体の厚み１００ｎｍと比較し、遙かに厚
い。
に示すように、有機ＥＬ素子を覆うように、ステンレス
スチール製の気密ケース９０を透明基板２の上面に接着
剤９２で接着している。気密ケース９０には、その上部
中央に乾燥剤収納部９３が形成されており、その中にＢ
ａＯ、ＣａＯ等の乾燥剤９４が配置されている。このた
め、気密ケース９０の厚みＰは通常２ｍｍ程度になり、
有機ＥＬ層自体の厚み１００ｎｍと比較し、遙かに厚
い。
【０００７】図５は、ＥＬ素子がガラス製封止板９５で
封止された有機ＥＬ表示装置の概略を示す。この例にお
けるガラス製封止板９５は、ガラス平板の中央部に有機
ＥＬ素子及び乾燥剤の収納部９６を形成してある。この
場合も、収納部９６の深さＱは０．５〜１ｍｍ程度とな
り、その結果ガラス製封止板９５の厚みは１ｍｍ以上に
なる。
封止された有機ＥＬ表示装置の概略を示す。この例にお
けるガラス製封止板９５は、ガラス平板の中央部に有機
ＥＬ素子及び乾燥剤の収納部９６を形成してある。この
場合も、収納部９６の深さＱは０．５〜１ｍｍ程度とな
り、その結果ガラス製封止板９５の厚みは１ｍｍ以上に
なる。
【０００８】図６も、図５と同様にＥＬ素子をガラス製
封止板９７で封止して製品有機ＥＬ表示装置としている
他の例を示す。この例において、ガラス封止板９７は、
ガラス平板の中央部を大きく研削加工され、有機ＥＬ素
子及び乾燥剤の収納部９６を形成している。この場合
も、収納部９６の深さＲは０．５〜１ｍｍ程度であるか
ら、ガラス封止板９７の厚みは１ｍｍ以上になる。
封止板９７で封止して製品有機ＥＬ表示装置としている
他の例を示す。この例において、ガラス封止板９７は、
ガラス平板の中央部を大きく研削加工され、有機ＥＬ素
子及び乾燥剤の収納部９６を形成している。この場合
も、収納部９６の深さＲは０．５〜１ｍｍ程度であるか
ら、ガラス封止板９７の厚みは１ｍｍ以上になる。
【０００９】図４〜６に示したように、従来の気密ケー
スや封止板を用いる製品有機ＥＬ素子表示装置は、その
構造上その厚さが数ｍｍになり、このため小型化、軽量
化が困難である。
スや封止板を用いる製品有機ＥＬ素子表示装置は、その
構造上その厚さが数ｍｍになり、このため小型化、軽量
化が困難である。
【００１０】更に、従来のガラス封止板の製造において
は、収納部は、収納部形成用の型を用いてガラス板を成
型して形成され、又はガラス板を切削加工することによ
り形成されている。次いで形成した収納部にＢａＯ等の
乾燥剤を充填し、更にメンブレンフィルター等の透湿シ
ートをその上面に被せて乾燥剤を格納する等の工程が必
要である。これらは接着剤の塗布や乾燥等の煩雑な手間
を更に要し、作業能率が悪く、更に製造コストの上昇を
招くものである。
は、収納部は、収納部形成用の型を用いてガラス板を成
型して形成され、又はガラス板を切削加工することによ
り形成されている。次いで形成した収納部にＢａＯ等の
乾燥剤を充填し、更にメンブレンフィルター等の透湿シ
ートをその上面に被せて乾燥剤を格納する等の工程が必
要である。これらは接着剤の塗布や乾燥等の煩雑な手間
を更に要し、作業能率が悪く、更に製造コストの上昇を
招くものである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記事情に
鑑みなされたもので、その目的とするところはＥＬ素子
表示装置を小型化、軽量化でき、その製造においては、
部品点数が少なくなると共に上記のような煩雑な加工工
程を簡略化することのできるＥＬ素子封止板と、その製
造方法、及びＥＬ素子表示装置を提供することにある。
鑑みなされたもので、その目的とするところはＥＬ素子
表示装置を小型化、軽量化でき、その製造においては、
部品点数が少なくなると共に上記のような煩雑な加工工
程を簡略化することのできるＥＬ素子封止板と、その製
造方法、及びＥＬ素子表示装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明者等は種々検討した結果、乾燥剤を薄膜化する
こと、及び乾燥剤の薄膜化手段として蒸着法やスパッタ
法等の成膜方法を利用することにより、上記問題を解決
できることを知得した。本発明は上記発見に基づき完成
するに至ったものである。
に本発明者等は種々検討した結果、乾燥剤を薄膜化する
こと、及び乾燥剤の薄膜化手段として蒸着法やスパッタ
法等の成膜方法を利用することにより、上記問題を解決
できることを知得した。本発明は上記発見に基づき完成
するに至ったものである。
【００１３】従って、上記目的を達成する本発明は、以
下に示すものである。
下に示すものである。
【００１４】〔１〕 平板と、前記平板上に形成した厚
さ５０μｍ以下の乾燥剤膜を備えることを特徴とするＥ
Ｌ素子封止板。
さ５０μｍ以下の乾燥剤膜を備えることを特徴とするＥ
Ｌ素子封止板。
【００１５】〔２〕 ＥＬ素子を形成した基板と、前記
基板と積重して前記ＥＬ素子を封止する平板と、前記平
板の内表面に設けられた厚さ５０μｍ以下の乾燥剤膜
と、を備えるＥＬ表示装置。
基板と積重して前記ＥＬ素子を封止する平板と、前記平
板の内表面に設けられた厚さ５０μｍ以下の乾燥剤膜
と、を備えるＥＬ表示装置。
【００１６】〔３〕 〔２〕の乾燥剤膜の厚さが０．１
〜１０μｍであるＥＬ表示装置。
〜１０μｍであるＥＬ表示装置。
【００１７】〔４〕 〔２〕又は〔３〕の乾燥剤膜がＬ
ｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌｉ２Ｏ、Ｎ
ａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｒｂ２Ｏ、ＭｇＯ、ＳｒＯ、Ｃｓ
２Ｏ、ＣａＯ、又はＢａＯのうち、少なくとも一つを含
むＥＬ表示装置。
ｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌｉ２Ｏ、Ｎ
ａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｒｂ２Ｏ、ＭｇＯ、ＳｒＯ、Ｃｓ
２Ｏ、ＣａＯ、又はＢａＯのうち、少なくとも一つを含
むＥＬ表示装置。
【００１８】〔５〕 蒸着法、又はスパッタ法で、平板
に乾燥剤膜を成膜する工程と、ＥＬ素子を基板上に設け
る工程と、乾燥剤膜とＥＬ素子が対向するように、平板
と基板を所定の間隔で密閉接合する工程と、を備えるＥ
Ｌ表示装置の製造方法。
に乾燥剤膜を成膜する工程と、ＥＬ素子を基板上に設け
る工程と、乾燥剤膜とＥＬ素子が対向するように、平板
と基板を所定の間隔で密閉接合する工程と、を備えるＥ
Ｌ表示装置の製造方法。
【００１９】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明
する。
する。
【００２０】
【発明の実施の形態】図１は、本発明によるＥＬ素子封
止板の一例を示す側面図である。図示するように、ＥＬ
素子封止板１００は、透明な平板５２上に乾燥剤膜５４
が設けられた構成である。透明な平板５２は、合成樹
脂、ガラス等の無機セラミックス、等の材質で良い。し
かし、耐熱性、耐薬品性、透明性等にすぐれているガラ
ス製平板が特に好ましい。平板の厚さは、機械的強度の
許される限り小さいことが本発明の目的に合致する。具
体的には、ガラス平板の場合は、１ｍｍ未満から０．３
ｍｍ程度にすることが強度との兼合いで好ましい。
止板の一例を示す側面図である。図示するように、ＥＬ
素子封止板１００は、透明な平板５２上に乾燥剤膜５４
が設けられた構成である。透明な平板５２は、合成樹
脂、ガラス等の無機セラミックス、等の材質で良い。し
かし、耐熱性、耐薬品性、透明性等にすぐれているガラ
ス製平板が特に好ましい。平板の厚さは、機械的強度の
許される限り小さいことが本発明の目的に合致する。具
体的には、ガラス平板の場合は、１ｍｍ未満から０．３
ｍｍ程度にすることが強度との兼合いで好ましい。
【００２１】乾燥剤膜５４は平板の片面に形成してあれ
ばよい。また、乾燥剤膜の厚さは、０．００１〜５０μ
ｍが好ましく、生産性と、乾燥効果を勘案すると、０．
１〜１０μｍがより好ましい。乾燥剤膜５４の形成場
所、形状、形性面積は特に制限が無く、必要に応じて決
定する設計事項であり、後述するように、ＥＬ素子を封
止している封止空間内に在ればよい。
ばよい。また、乾燥剤膜の厚さは、０．００１〜５０μ
ｍが好ましく、生産性と、乾燥効果を勘案すると、０．
１〜１０μｍがより好ましい。乾燥剤膜５４の形成場
所、形状、形性面積は特に制限が無く、必要に応じて決
定する設計事項であり、後述するように、ＥＬ素子を封
止している封止空間内に在ればよい。
【００２２】乾燥剤膜５４の材質としては、蒸着法や、
スパッタ法で成膜できる材料で在れば何れのものでも良
い。具体的には、Ｃａ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ、
Ｓｒ、Ｂａ、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｒｂ２Ｏ、
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ等を例示できる。成膜
方法は、前述のように蒸着法やスパッタ法を例示でき、
その成膜条件自体は常法に従う。
スパッタ法で成膜できる材料で在れば何れのものでも良
い。具体的には、Ｃａ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ、
Ｓｒ、Ｂａ、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｒｂ２Ｏ、
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ等を例示できる。成膜
方法は、前述のように蒸着法やスパッタ法を例示でき、
その成膜条件自体は常法に従う。
【００２３】次に、本発明によるＥＬ表示装置の模式的
な断面を図２に示す。図示するように、ＥＬ表示装置１
１０は、ＥＬ素子５８が設けられた基板５６と封止板１
００とを所定の間隔を離して接着剤６０で接着した構成
である。これにより、外部と気密に隔離した封止空間６
２を形成している。
な断面を図２に示す。図示するように、ＥＬ表示装置１
１０は、ＥＬ素子５８が設けられた基板５６と封止板１
００とを所定の間隔を離して接着剤６０で接着した構成
である。これにより、外部と気密に隔離した封止空間６
２を形成している。
【００２４】ＥＬ素子５８は基板５６の上面に設けられ
ている。ＥＬ素子としては、特に制限はなく、無機ＥＬ
素子、有機ＥＬ素子の何れのものでも良い。封止板１０
０は平板５２の下面に乾燥剤膜５４が設けられた構成で
ある。接着剤６０は封止板１００と基板５６の周縁部に
設けられている。なお、平板５２と基板５６との間隔
は、ＥＬ素子５８と乾燥剤膜５４が接触しない程度に離
れていればよい。
ている。ＥＬ素子としては、特に制限はなく、無機ＥＬ
素子、有機ＥＬ素子の何れのものでも良い。封止板１０
０は平板５２の下面に乾燥剤膜５４が設けられた構成で
ある。接着剤６０は封止板１００と基板５６の周縁部に
設けられている。なお、平板５２と基板５６との間隔
は、ＥＬ素子５８と乾燥剤膜５４が接触しない程度に離
れていればよい。
【００２５】次に、実施例により本発明を更に具体的に
説明する。
説明する。
【００２６】
【実施例】（実施例１）蒸着装置を用いて、厚さ０．５
ｍｍのガラス平板の片面に厚さ１μｍのＣａＯを蒸着し
て、封止板を製造した。
ｍｍのガラス平板の片面に厚さ１μｍのＣａＯを蒸着し
て、封止板を製造した。
【００２７】一方、ガラス透明基板上に、有機ＥＬ素子
を製造した。製造した有機ＥＬ素子の構成を表１に示し
た。
を製造した。製造した有機ＥＬ素子の構成を表１に示し
た。
【００２８】
【表１】
【００２９】上記のように製造された封止板と、有機Ｅ
Ｌ素子が形成された基板とを、乾燥剤膜と有機ＥＬ素子
とを対向させた状態で、接着剤ナガセケムテックス
（株）商品名Ｔ４７０／ＵＲ７１１０を用いて封止し
た。なお、有機ＥＬ素子と乾燥剤膜とは２０μｍの間隔
を設けた。
Ｌ素子が形成された基板とを、乾燥剤膜と有機ＥＬ素子
とを対向させた状態で、接着剤ナガセケムテックス
（株）商品名Ｔ４７０／ＵＲ７１１０を用いて封止し
た。なお、有機ＥＬ素子と乾燥剤膜とは２０μｍの間隔
を設けた。
【００３０】この表示装置は厚さ１．２ｍｍの薄いもの
であった。 （実施例２）ＭｇＯをターゲットとしてＲＦスパッタに
てＭｇＯを３００ｎｍ蒸着する以外は実施例１と同様に
して、封止板を製造した。
であった。 （実施例２）ＭｇＯをターゲットとしてＲＦスパッタに
てＭｇＯを３００ｎｍ蒸着する以外は実施例１と同様に
して、封止板を製造した。
【００３１】一方、ガラス透明基板上に、実施例１に記
載した有機ＥＬ素子を製造し、本実施例の方法で製造し
た封止板と、有機ＥＬ素子を形成した基板とを、実施例
１に記載した方法で封止した。このような表示装置は厚
さ１．２ｍｍの薄いものであった。 （実施例３）スパッタ装置を用いて、厚さ０．５ｍｍの
ガラス平板の片面に厚さ１μｍのＳｒＯを成膜して、封
止板を製造した。
載した有機ＥＬ素子を製造し、本実施例の方法で製造し
た封止板と、有機ＥＬ素子を形成した基板とを、実施例
１に記載した方法で封止した。このような表示装置は厚
さ１．２ｍｍの薄いものであった。 （実施例３）スパッタ装置を用いて、厚さ０．５ｍｍの
ガラス平板の片面に厚さ１μｍのＳｒＯを成膜して、封
止板を製造した。
【００３２】一方、ガラス透明基板上に、実施例１に記
載した有機ＥＬ素子を製造し、本実施例の方法で製造し
た封止板と、有機ＥＬ素子を形成した基板とを、実施例
１に記載した方法で封止した。この表示装置は厚さ１．
２ｍｍの薄いものであった。
載した有機ＥＬ素子を製造し、本実施例の方法で製造し
た封止板と、有機ＥＬ素子を形成した基板とを、実施例
１に記載した方法で封止した。この表示装置は厚さ１．
２ｍｍの薄いものであった。
【００３３】
【発明の効果】本発明封止板は、平板上に蒸着法やスパ
ッタ法等の成膜方法により乾燥剤膜を形成したので、乾
燥剤膜を薄く形成できる。このため、封止板に、乾燥剤
収納部を設ける必要が無く、その分だけ封止板の厚さを
薄くできる。従って、本発明封止板を用いて表示装置を
製造する場合、表示装置全体を薄くすることができ、全
体の重量も減少できる。更に、本発明封止板の製造方法
によれば、封止板製造の際に封止板に乾燥剤収納部を形
成する必要がないので、作業工数が減少し、また用いる
部品点数がすくなる。
ッタ法等の成膜方法により乾燥剤膜を形成したので、乾
燥剤膜を薄く形成できる。このため、封止板に、乾燥剤
収納部を設ける必要が無く、その分だけ封止板の厚さを
薄くできる。従って、本発明封止板を用いて表示装置を
製造する場合、表示装置全体を薄くすることができ、全
体の重量も減少できる。更に、本発明封止板の製造方法
によれば、封止板製造の際に封止板に乾燥剤収納部を形
成する必要がないので、作業工数が減少し、また用いる
部品点数がすくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明封止板の一例を示す概略側面図である。
【図２】本発明封止板を組込んだＥＬ素子表示装置の一
例を示す概略側面図である。
例を示す概略側面図である。
【図３】従来の有機ＥＬ素子の構成例を示す説明図であ
る。
る。
【図４】従来のＥＬ素子表示装置の一例を示す説明図で
ある。
ある。
【図５】従来のＥＬ素子表示装置の他の例を示す説明図
である。
である。
【図６】従来のＥＬ素子表示装置の更に他の例を示す説
明図である。
明図である。
２ 透明基板
４ 陽極
６ 正孔注入層
８ 正孔輸送層
１０ 電子輸送性発光層
１２ 有機ＥＬ層
１４ 第１陰極層
１６ 第２陰極層
１８ 陰極
５２ 平板
５４ 乾燥剤膜
５６ 基板
５８ ＥＬ素子
６０ 接着剤
６２ 封止空間
９０ 気密ケース
９２ 接着剤
９３ 乾燥剤収納部
９４ 乾燥剤
９５ 封止板
９６ 収納部
９７ 封止板
１００ 封止板
１１０ 表示装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 岩田 芳夫
千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ
イコーインスツルメンツ株式会社内
(72)発明者 杉野谷 充
千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ
イコーインスツルメンツ株式会社内
(72)発明者 泉澤 勇昇
神奈川県横浜市金沢区乙舳町10番２号
(72)発明者 大森 英史
神奈川県横浜市金沢区乙舳町10番３号
(72)発明者 小池 俊弘
神奈川県川崎市多摩区中野島２丁目19番５
号
Ｆターム(参考） 3K007 AB13 AB18 BB01 BB05 DB03
FA02
Claims (6)
- 【請求項１】 平板と、前記平板上に形成した厚さ５０
μｍ以下の乾燥剤膜とを備えることを特徴とするＥＬ素
子封止板。 - 【請求項２】 ＥＬ素子を形成した基板と、前記基板と
積重して前記ＥＬ素子を封止する平板と、前記平板の内
表面に設けられた厚さ５０μｍ以下の乾燥剤膜と、を備
えることを特徴とするＥＬ表示装置。 - 【請求項３】 前記乾燥剤膜の厚さが０．１〜１０μｍ
であることを特徴とする請求項２に記載のＥＬ表示装
置。 - 【請求項４】 前記乾燥剤膜がＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、
Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｒｂ
２Ｏ、ＭｇＯ、ＳｒＯ、Ｃｓ２Ｏ、ＣａＯ、又はＢａＯ
のうち、少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項
２または３に記載のＥＬ表示装置。 - 【請求項５】 蒸着法、又はスパッタ法で、平板に乾燥
剤膜を成膜する工程と、ＥＬ素子を基板上に設ける工程
と、前記乾燥剤膜と前記ＥＬ素子が対向するように、前
記平板と前記基板を所定の間隔で密閉接合する工程と、
を備えることを特徴とするＥＬ表示装置の製造方法。 - 【請求項６】 乾燥剤膜の厚さが５０μｍ以下であるこ
とを特徴とする請求項５に記載のＥＬ表示装置の製造方
法。
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|---|---|---|---|
| JP2002146227A JP2003338367A (ja) | 2002-05-21 | 2002-05-21 | Ｅｌ素子封止板、ｅｌ表示装置、及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002146227A JP2003338367A (ja) | 2002-05-21 | 2002-05-21 | Ｅｌ素子封止板、ｅｌ表示装置、及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003338367A true JP2003338367A (ja) | 2003-11-28 |
| JP2003338367A5 JP2003338367A5 (ja) | 2005-10-06 |
Family
ID=29705273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002146227A Pending JP2003338367A (ja) | 2002-05-21 | 2002-05-21 | Ｅｌ素子封止板、ｅｌ表示装置、及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003338367A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005112516A1 (ja) * | 2004-05-17 | 2005-11-24 | Ulvac, Inc. | 有機ｅｌ装置 |
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| JP2008021491A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Canon Inc | 有機発光素子および該有機発光素子を用いた多色表示装置 |
| KR20100105473A (ko) * | 2009-03-18 | 2010-09-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 조명 장치 제조 장치 및 제조 방법 |
| JP2011508062A (ja) * | 2007-12-28 | 2011-03-10 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 可撓性封入フィルムシステム |
-
2002
- 2002-05-21 JP JP2002146227A patent/JP2003338367A/ja active Pending
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| KR101707165B1 (ko) | 2009-03-18 | 2017-02-15 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 조명 장치 제조 장치 및 제조 방법 |
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