JP2003328119A

JP2003328119A - スパッタカソード

Info

Publication number: JP2003328119A
Application number: JP2002138428A
Authority: JP
Inventors: Hideyuki Odagi; 秀幸小田木
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2002-05-14
Filing date: 2002-05-14
Publication date: 2003-11-19

Abstract

(57)【要約】【課題】ターゲットの交換作業の簡素化を図り、ま
た、大型ターゲットの運搬、保管、交換等を容易に行う
ことができるスパッタカソードを提供すること。【解決手段】表面にターゲット２２を固定したバッキ
ングプレート２３を支持するカソード本体２４に対し、
バッキングプレート２３の裏面側と磁気回路部２５との
間を気密に遮蔽する仕切板３４を設けることにより、バ
ッキングプレート２３とカソード本体２４との間に気密
性確保のための密封部材が不要となり、したがって、カ
ソード本体に対するバッキングプレート２３の取り付け
用ボルト部材３０の本数の低減が図られ、もって、ター
ゲット２２の交換作業の簡易化が図られる。また、ター
ゲット２２の分割も可能となり、これにより、ターゲッ
トが大型であってもこれを分割して、運搬、保管、交換
等を容易に行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、成膜用スパッタ装
置に用いられるスパッタカソードに関し、更に詳しく
は、カソード本体にターゲット（バッキングプレート）
と磁気回路部との間を気密に遮蔽する仕切板を設けるこ
とにより、ターゲットの交換作業を簡易化することがで
きるスパッタカソードに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体ウェーハや液晶パネル
等の被処理基板表面に薄膜を形成する装置としてスパッ
タ装置が知られている。スパッタ装置には種々の方式が
あり、例えばマグネトロンスパッタ装置は、電場と磁場
とを直交するように配置し、ターゲット近くでの加速電
子による電離効率を上げて成膜速度を高めたものであ
る。ターゲットは、被処理基板に対向して配置されたス
パッタカソードに設けられている。このスパッタカソー
ドの構成の一例を、図８〜図１０を参照して以下に説明
する。

【０００３】ここで、図８Ａは従来のスパッタカソード
の全体斜視図、図８Ｂはそのターゲットとカソード本体
との関係を示す分解斜視図、図９は図８Ａにおける断面
Ｐ部の詳細図、図１０は図８Ａにおける断面Ｑ部の詳細
図である。

【０００４】従来のスパッタカソード１は略直方形状を
呈しており、長方形状のターゲット２を表面に固定した
バッキングプレート３が、複数本のボルト部材１０を介
してカソード本体４に取り付けられている。カソード本
体４の中央部には、両面が開放された空所４ａが形成さ
れており、この空所４ａ内にはターゲット２上に所定の
分布磁場を形成するための磁気回路部５が配置されてい
る。本従来例における磁気回路部５は、ヨークプレート
１１上に配列された中央部永久磁石５Ａとこれを囲む外
周部永久磁石５Ｂとで構成されている。

【０００５】カソード本体４は、真空チャンバのカソー
ド取付フランジ９に対して絶縁板６を介して複数本のボ
ルト部材１２により取り付けられている。カソード取付
フランジ９に固定されたカソード本体４およびこれに支
持されるバッキングプレート３は、ターゲット２を外部
へ露出させるための開口７ａが設けられたグラウンドシ
ールド７により覆われている。また、図中符号１３はバ
ッキングプレート３内を冷却水が循環するための循環通
路、８ａおよび８ｂはそれぞれ循環通路１３に密封部材
１８を介して接続される冷却水の導入用および導出用配
管である。なお、上述の構成のスパッタカソードを開示
した従来技術として、例えば特開平６−９３４４１号公
報に記載のスパッタカソードがある。

【０００６】さて、上述した従来のスパッタカソード１
においては、真空チャンバ内に設置されると、バッキン
グプレート３は真空チャンバの内部と外部とを隔絶する
隔壁として機能する。したがって、スパッタカソード１
の内外を気密に遮蔽するために、カソード本体４とカソ
ード取付フランジ９との間に密封部材１５，１６を装着
するとともに、カソード本体４とバッキングプレート３
との間に密封部材１７を装着している。このため、カソ
ード本体４とカソード取付フランジ９とを結合するボル
ト部材１２はもちろん、バッキングプレート３とカソー
ド本体４とを結合するボルト部材１０もまた、所定の気
密性（シール性）を確保するために、複数本用意される
必要がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ターゲット
２は被処理基板の処理枚数に応じて消耗するので、ター
ゲット２を定期的に交換する必要がある。ターゲット２
の交換作業は、これと一体的なバッキングプレート３と
同時に交換する必要があるために、ターゲット２の交換
時は常にこれら複数本のボルト部材１０の取り外し／取
り付け作業を伴うことになる。これにより、従来のスパ
ッタカソード１の構成によれば、ターゲット２の交換作
業が非常に煩雑であり、作業時間も長いという問題があ
る。

【０００８】また、従来のスパッタカソードの構成で
は、ターゲット２の面積が大きくなると、その運搬、保
管、交換等が容易に行えないという問題がある。

【０００９】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、ター
ゲットの交換作業の簡素化を図り、また、大型ターゲッ
トの運搬、保管、交換等を容易に行うことができるスパ
ッタカソードを提供することを課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するに
当たり、本発明は、表面にターゲットが固定されたバッ
キングプレートと、前記バッキングプレートの裏面側に
対向して配置され前記ターゲット上に所定の分布磁場を
形成する磁気回路部と、前記磁気回路部の外周囲に配置
され前記バッキングプレートを着脱自在に支持するカソ
ード本体とを備えたスパッタカソードにおいて、前記カ
ソード本体に対し、前記バッキングプレートの裏面側と
前記磁気回路部との間を気密に遮蔽する仕切板が設けら
れていることを特徴とするスパッタカソード、によって
解決される。

【００１１】本発明のスパッタカソードによれば、カソ
ード本体にはバッキングプレートの裏面側と磁気回路部
との間を気密に遮蔽する仕切板が設けられているので、
バッキングプレートとカソード本体との結合部に密封部
材を配置する必要がなくなる。したがって、例えば、こ
のカソード本体に対してバッキングプレート（ターゲッ
ト）をボルト部材を用いて取り付ける場合には、従来に
比べて少ない本数のボルト部材で済ませることが可能と
なる。これにより、ターゲットの交換作業が簡素化さ
れ、作業時間も短くできる。

【００１２】また、本発明のスパッタカソードは、バッ
キングプレートの裏面側と磁気回路部との間を気密に遮
蔽する仕切板を有しているので、ターゲットが大型であ
ってもこれを複数の個片に分割して構成することが可能
となり、これにより、当該ターゲットの運搬、保管、交
換等を容易に行うことができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００１４】（第１の実施の形態）図１から図３は、本
発明の第１の実施の形態によるスパッタカソードの構成
を示している。本実施の形態のスパッタカソード２１
は、図１Ａに示すように略直方形状を呈し、マグネトロ
ンスパッタ装置用のスパッタカソードとして適用され
る。なお、図２は図１Ａにおける断面Ｒ部の詳細図、図
３は図１Ａにおける断面Ｓ部の詳細図である。

【００１５】スパッタカソード２１は、表面にターゲッ
ト２２が固定されたバッキングプレート２３と、バッキ
ングプレート２３の裏面側に対向して配置される磁気回
路部２５と、磁気回路部２５の外周囲に配置され、バッ
キングプレート２３を着脱自在に支持するカソード本体
２４とを備えている。

【００１６】ターゲット２２は、図１Ｂに示すように長
方形状を呈し、同じく長方形状のバッキングプレート２
３の表面に一体的に固定されている。バッキングプレー
ト２３は、カソード本体２４に対して着脱自在に取り付
けられている。

【００１７】本実施の形態では、バッキングプレート２
３およびカソード本体２４に対してそれぞれボルト挿通
孔２３ｈおよびボルト取付孔２４ｈが６箇所ずつ設けら
れている。したがって、これらの孔２３ｈ，２４ｈに対
して６本のボルト部材３０が装着されることによりバッ
キングプレート２３とカソード本体２４とが互いに結合
され、ボルト部材３０が取り外されることによりバッキ
ングプレート２３とカソード本体２４とが互いに分離さ
れる。なお、ボルト部材３０の本数は６本に限らず、バ
ッキングプレート２３の形状、大きさ等に応じて適宜選
択される。

【００１８】次に、図２および図３を参照して、カソー
ド本体２４の中央部には有底の凹所２４ａが形成されて
おり、この凹所２４ａ内にはターゲット２２上に所定の
分布磁場を形成するための磁気回路部２５が配置されて
いる。本実施の形態における磁気回路部２５は、ヨーク
プレート３１上に配列された中央部永久磁石２５Ａとこ
れを囲む外周部永久磁石２５Ｂとで構成されているが、
勿論この構成だけに限られない。カソード本体２４は、
真空チャンバ内のカソード取付フランジ２９に対し、環
状の絶縁板２６を介して複数本のボルト部材３２を用い
て取り付けられている。

【００１９】カソード本体２４の凹所２４ａの底部に相
当する平板部は、本発明に係る仕切板３４として構成さ
れている。仕切板３４は、本実施の形態ではカソード本
体２４と同一の構成材料（例えばＳＵＳ３０４等のオー
ステナイト系ステンレス鋼といった非磁性材料）で一体
的に構成されている。

【００２０】仕切板３４は、バッキングプレート２３の
裏面側と磁気回路部２５との間を気密に遮蔽する機能を
有している。これらバッキングプレート２３の裏面側と
磁気回路部２５との間の気密性は、カソード本体２４と
絶縁板２６との間に配置される環状の密封部材３５、お
よび、絶縁板２６とカソード取付フランジ２９との間に
配置される環状の密封部材３６によって確保される。

【００２１】カソード本体２４およびこれに支持される
バッキングプレート２３は、ターゲット２２を外部へ露
出させるための開口２７ａが形成されたグラウンドシー
ルド２７により覆われている。グラウンドシールド２７
は、公知のようにターゲット２２以外の部分における放
電を抑えるためのもので、カソード取付フランジ２９に
対して複数本のボルト部材３７によって固定されてい
る。

【００２２】図３に示すように、カソード本体２４に
は、密封部材３９を介して冷却水の導入用および導出用
配管２８ａ（２８ｂ）が取り付けられている。配管２８
ａ（２８ｂ）は、カソード本体２４の内部に形成された
通孔３８を介して、バッキングプレート２３内部の循環
通路３３に接続されている。この循環通路３３を冷却水
が循環することにより、ターゲット２２およびバッキン
グプレート２３の所定の冷却作用が行われる。なお符号
４０は、バッキングプレート２３とカソード本体２４と
の間を液密に区画するための密封部材である。

【００２３】以上のように構成される本実施の形態のス
パッタカソード２１は、真空チャンバ内に設置される
と、カソード本体２４と仕切板３４とが真空チャンバの
内部と外部とを隔絶する隔壁として機能する。また、成
膜時は、磁気回路部２５によりターゲット２２表面近傍
の空間に湾曲した所定の分布磁場が形成され、その磁場
の作用によってターゲット２２表面近傍の空間にマグネ
トロン放電による高密度のプラズマが形成されて、プラ
ズマ中のイオンがターゲット２２をスパッタする。ター
ゲット表面から飛び出したスパッタ粒子は、対向して配
置される被処理基板の表面に堆積し、これにより被処理
基板の表面に薄膜が形成される。

【００２４】被処理基板の処理枚数が増加するに従っ
て、ターゲット２２の表面には所定のエロージョン（浸
食）分布が形成される。エロージョンが所定以上に進む
と膜厚分布の変動等が生じ、所望の成膜処理を行えなく
なるので、ターゲット２２は定期的に交換される必要が
ある。ターゲット２２の交換は、ボルト部材３０を取り
外してバッキングプレート２２をカソード本体２４から
分離することによって行われる。

【００２５】そこで、本実施の形態では、カソード本体
２４に対して、バッキングプレート２３の裏面（ターゲ
ット２２の固定面とは反対側の面）側と磁気回路部２５
との間を気密に遮蔽する仕切板３４が設けられているの
で、図９および図１０を参照して説明した従来のスパッ
タカソードの構成において必要とされていたバッキング
プレートとカソード本体との間を密封する密封部材は不
要になり、その結果、バッキングプレート２３とカソー
ド本体２４との間の取り付けを、従来よりも少ない本数
のボルト部材３０によって行うことが可能となる。より
具体的には、従来では２０本必要とされていたボルト部
材の本数を、本実施の形態では６本で十分となる（図１
Ｂおよび図８Ｂ参照）。

【００２６】したがって本実施の形態によれば、バッキ
ングプレート２３とカソード本体２４とを結合するボル
ト部材３０の本数が従来よりも少ないために、ターゲッ
ト２２の交換作業が簡素化され、また、その作業時間も
大幅に短縮することができる。これにより、装置の生産
性の向上が図られる。

【００２７】（第２の実施の形態）図４は、本発明の第
２の実施の形態を示しており、本発明のスパッタカソー
ドを構成するターゲット４２、バッキングプレート４３
およびカソード本体４４の関係を示す分解斜視図であ
る。ターゲット４２とバッキングプレート４３とからな
る構成体は、複数に分割された個片の集合体で構成され
ている。特に本実施の形態では、上記構成体が、ターゲ
ット４２Ａとバッキングプレート４３Ａとでなる個片４
６Ａと、ターゲット４２Ｂとバッキングプレート４３Ｂ
とでなる個片４６Ｂといった２つの分割片の集合体で構
成されている。これらの個片４６Ａ，４６Ｂは、カソー
ド本体４４に着脱自在に取り付けられている。

【００２８】本実施の形態では、バッキングプレート４
３（４３Ａ，４３Ｂ）およびカソード本体４４に対し、
それぞれボルト挿通孔４３ｈおよびボルト取付孔４４ｈ
が複数箇所ずつ設けられている。したがって、これらの
孔４３ｈ，４４ｈに対して計１０本のボルト部材３０が
装着されることによりバッキングプレート４３Ａ，４３
Ｂとカソード本体４４とが互いに結合され、ボルト部材
３０が取り外されることによりバッキングプレート４３
Ａ，４３Ｂとカソード本体４４とが互いに分離される。

【００２９】なお、ボルト部材３０の本数は勿論、上記
に限られず、バッキングプレート４３の形状、大きさ等
に応じて適宜選択される。また、図中符号４８は、カソ
ード本体４４に形成される冷却水導入・導出用の通孔で
ある。

【００３０】カソード本体４４の上面を形成する平面部
は、本発明に係る仕切板４５を構成している。仕切板４
５は、カソード本体４４と同一の材料（例えばＳＵＳ３
０４等のオーステナイト系ステンレス鋼といった非磁性
材料）で一体的に形成され、バッキングプレート４３
Ａ，４３Ｂの裏面（ターゲット４２Ａ，４２Ｂの固定面
とは反対側の面）側と、カソード本体４４の内部の磁気
回路部（図示略）との間を気密に遮蔽している。

【００３１】バッキングプレート４３Ａとバッキングプ
レート４３Ｂとは、カソード本体４４（仕切板４５）上
に取り付けられたときに互いに整列して、見かけ上、一
枚の長方形状のバッキングプレート４３を構成する。同
様に、ターゲット４２Ａとターゲット４２Ｂとは、カソ
ード本体４４（仕切板４５）上に取り付けられたときに
互いに整列して、見かけ上、一枚の長方形状のターゲッ
ト４２を構成する。

【００３２】なお、これらターゲット４２Ａ，４２Ｂ、
バッキングプレート４３Ａ，４３Ｂおよびカソード本体
４４以外の構成要素（磁気回路部、グラウンドシールド
等）については、上述の第１の実施の形態と同様な構成
を有しているので、その詳細な説明は省略するものとす
る。

【００３３】以上のように構成される本実施の形態によ
れば、カソード本体４４に上記構成の仕切板４５が設け
られているので、上述の第１の実施の形態と同様に、従
来よりも少ない本数のボルト部材３０によってバッキン
グプレート４３とカソード本体４４との間の取り付けを
行うことができる。これにより、ターゲット４２の交換
作業が簡素化され、また、その作業時間も大幅に短縮す
ることができる。

【００３４】また、本実施の形態によれば、カソード本
体４４に上記構成の仕切板４５が設けられているので、
ターゲット４２およびバッキングプレート４３からなる
構成体を図示するように例えばこれらの長辺方向と垂直
な分割線を境に分割された２つの個片４６Ａおよび４６
Ｂで構成することが可能となる。これにより、ターゲッ
ト４２が大型なものであってもこれを複数に分割して、
ターゲット４２の運搬、保管、交換等を容易に行うこと
が可能となる。

【００３５】（第３の実施の形態）図５および図６は、
本発明の第３の実施の形態を示している。なお、図６
は、図５において断面Ｔ部の詳細図である。本実施の形
態のスパッタカソード５１は、表面にターゲット５２が
固定されたバッキングプレート５３と、バッキングプレ
ート５３の裏面側に対向して配置される磁気回路部５５
と、磁気回路部５５の外周囲に配置され、バッキングプ
レート５３を着脱自在に支持するカソード本体５４とを
備えている。

【００３６】ターゲット５２は、図５Ｂに示すように幅
広の長方形状を呈し、同じく長方形状のバッキングプレ
ート５３の表面側に一体的に固定されている。本実施の
形態では、ターゲット５２およびバッキングプレート５
３はともに、これらの長辺方向に平行な分割線でほぼ２
等分されたターゲット５２Ａ，５２Ｂおよびバッキング
プレート５３Ａ，５３Ｂで構成される。また、ターゲッ
ト５２とバッキングプレート５３とからなる構成体が、
ターゲット５２Ａとバッキングプレート５３Ａとでなる
個片５０Ａと、ターゲット５２Ｂとバッキングプレート
５３Ｂとでなる個片５０Ｂといった２つの分割片の集合
体で構成されている。これらの個片５０Ａ，５０Ｂは、
カソード本体５４に着脱自在に取り付けられている。

【００３７】本実施の形態では、バッキングプレート５
３Ａ，５３Ｂおよびカソード本体５４に対し、それぞれ
ボルト挿通孔５３ｈおよびボルト取付孔５４ｈが複数箇
所ずつ設けられている。したがって、これらの孔５３
ｈ、５４ｈに対して計１２本のボルト部材３０が装着さ
れることによりバッキングプレート５３Ａ，５３Ｂとカ
ソード本体５４とが互いに結合され、ボルト部材３０が
取り外されることによりバッキングプレート５３Ａ，５
３Ｂとカソード本体５４とが互いに分離される。なお、
ボルト部材３０の本数はもちろん上記に限られず、バッ
キングプレート５３の形状、大きさ等に応じて適宜選択
される。

【００３８】バッキングプレート５３Ａとバッキングプ
レート５３Ｂとは、カソード本体５４上に取り付けられ
たときに互いに整列して、見かけ上、一枚の長方形状の
バッキングプレート５３を構成する。同様に、ターゲッ
ト５２Ａとターゲット５２Ｂとは、カソード本体５４上
に取り付けられたときに互いに整列して、見かけ上、一
枚の長方形状のターゲット５２を構成する。

【００３９】次に、図６を参照して、カソード本体５４
の中央部には有底の凹所５４ａが形成されており、この
凹所５４ａ内にはターゲット５２上に所定の分布磁場を
形成するための磁気回路部５５が配置されている。本実
施の形態における磁気回路部５５は、ヨークプレート６
１上に配列された中央部永久磁石５５Ａとこれを囲む外
周部永久磁石５５Ｂとで構成されているが、勿論この構
成だけに限られない。カソード本体５４は、真空チャン
バ内のカソード取付フランジ５９に対し、環状の絶縁板
５６を介して複数本のボルト部材６２を用いて取り付け
られている。

【００４０】磁気回路部５５は、図６において矢印Ａで
示すように、カソード本体５４の凹所５４ａの内部にお
いてターゲット５２の短辺方向に平行に移動可能に構成
されることによって、ターゲット５２Ａ（個片５０Ａ）
およびターゲット５２Ｂ（個片５０Ｂ）の直下部に配置
可能となっている。

【００４１】カソード本体５４の凹所５４ａの底部に相
当する平板部は、本発明に係る仕切板６４として構成さ
れている。仕切板６４は、上述の各実施の形態と同様、
カソード本体５４と同一の材料（例えばＳＵＳ３０４等
のオーステナイト系ステンレス鋼といった非磁性材料）
で一体的に構成されている。

【００４２】仕切板６４は、バッキングプレート５３の
裏面側と磁気回路部５５との間を気密に遮蔽する機能を
有している。これらバッキングプレート５３の裏面側と
磁気回路部５５との間の気密性は、カソード本体５４と
絶縁板５６との間に配置される環状の密封部材６５、お
よび、絶縁板５６とカソード取付フランジ５９との間に
配置される環状の密封部材５６によって確保されてい
る。

【００４３】カソード本体５４およびこれに支持される
バッキングプレート５３は、ターゲット５２を外部へ露
出させるための開口５７ａが設けられたグラウンドシー
ルド５７により覆われている。グラウンドシールド５７
は、カソード取付フランジ５９に対して複数本のボルト
部材によって固定されている。

【００４４】なお、バッキングプレート５３Ａ，５３Ｂ
の内部には、それぞれ冷却水が循環するための循環通路
６３，６３が形成されており、これらの循環通路６３，
６３に対して冷却水の導入用および導出用配管５８ａ，
５８ｂがそれぞれ接続されている。

【００４５】以上のように構成される本実施の形態のス
パッタカソード５１は、真空チャンバ内に設置される
と、カソード本体５４と仕切板６４とが真空チャンバの
内部と外部とを隔絶する隔壁として機能する。また、成
膜時は、磁気回路部５５がターゲット５２Ａ（または５
２Ｂ）の直下部に配置され、上述の第１の実施の形態と
同様な作用で、対向する図示しない被処理基板に対して
所定の成膜処理を行う。

【００４６】本実施の形態によれば、カソード本体５４
に対して、バッキングプレート５３の裏面（ターゲット
５２の固定面とは反対側の面）側と磁気回路部５５との
間を気密に遮蔽する仕切板６４が設けられているので、
上述の第１の実施の形態と同様に、従来よりも少ない本
数のボルト部材３０によってバッキングプレート５３と
カソード本体５４との間の取り付けを行うことができ
る。これにより、ターゲット５２の交換作業が簡素化さ
れ、また、その作業時間も大幅に短縮することができ
る。

【００４７】また、本実施の形態によれば、カソード本
体５４に上記構成の仕切板６４が設けられているので、
ターゲット５２およびバッキングプレート５３からなる
構成体を、図示するように例えばこれらの長辺方向と平
行な分割線を境に分割された２つの個片５０Ａおよび５
０Ｂで構成することが可能となる。これにより、大型の
ターゲット５２を複数に分割して、ターゲット５２の運
搬、保管、交換等を容易に行うことが可能となる。

【００４８】さらに、磁気回路部５５が、ターゲット５
２Ａおよびターゲット５２Ｂの直下部を選択的に配置さ
れて被処理基板に対する成膜処理を行うようにしている
ので、大型ターゲット５２の有効利用を図ることがで
き、ターゲット５２の交換サイクルを長くして装置の生
産性を高めることができる。

【００４９】なお、ターゲット５２Ａおよびターゲット
５２Ｂをそれぞれ異種の材料で構成するようにすれば、
被処理基板に対して異種材料の多層膜を形成することが
可能となる。

【００５０】以上、本発明の各実施の形態について説明
したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、
本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能であ
る。

【００５１】例えば以上の各実施の形態では、本発明に
係る仕切板をカソード本体と分離不可能に一体的に構成
した例についてそれぞれ説明したが、これに限らず、例
えば図７に示すように、これらカソード本体７４と仕切
板７６とを分離可能に構成するようにしてもよい。

【００５２】この場合、カソード本体７４と仕切板７６
との間に環状の密封部材７７を配置し、仕切板７６によ
ってバッキングプレート２３の裏面側と磁気回路部２５
との間の気密性を確保するために、カソード本体７４と
仕切板７６とを複数本のボルト部材７８によって結合す
ればよい。なお、図において上述の第１の実施の形態と
対応する部分については同一の符号を付しており、その
詳細な説明は省略する。

【００５３】また、以上の第２，第３の実施の形態で
は、ターゲットを等分に２分割した構成例についてそれ
ぞれ説明したが、ターゲットを不等分に分割してもよ
く、また、３以上の個片に分割することも勿論可能であ
る。この場合、分割線の方向は特に限定されず、分割線
を互いに直交させてもよい。

【００５４】更に、以上の各実施の形態では、カソード
本体に対するターゲットの取り付けを複数本のボルト部
材を用いて行うようにしたが、本発明によって両者間に
厳密なる気密性が要求されなくなるので、ボルト等の締
結手段を用いるより更に簡素な方法で両者を互いに固定
することが可能となる。例えば、両者間の結合部に螺合
関係をもたせて固定したり、バヨネット結合等の係合作
用等によって両者間を固定する等である。

【００５５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明のスパッタカ
ソードによれば、カソード本体に対して、バッキングプ
レートの裏面側と磁気回路部との間を気密に遮蔽する仕
切板を設けたので、ターゲットの交換作業を簡易化で
き、作業時間の短縮化を図ることができる。

【００５６】また、本発明によれば、カソード本体に対
して、バッキングプレートの裏面側と磁気回路部との間
を気密に遮蔽する仕切板を設けたので、大型ターゲット
を複数に分割してカソード本体へ取り付けることがで
き、これにより、大型カソードの運搬、保管、交換等を
容易に行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａは本発明の第１の実施の形態によるスパッタ
カソード全体の外観斜視図であり、Ｂは当該スパッタカ
ソードを構成するターゲット（バッキングプレート）お
よびカソード本体の分解斜視図である。

【図２】図１Ａにおける断面Ｒ部の詳細を示す断面図で
ある。

【図３】図１Ａにおける断面Ｓ部の詳細を示す断面図で
ある。

【図４】本発明の第２の実施の形態によるスパッタカソ
ードを構成するターゲット（バッキングプレート）およ
びカソード本体の分解斜視図である。

【図５】Ａは本発明の第３の実施の形態によるスパッタ
カソード全体の外観斜視図であり、Ｂは当該スパッタカ
ソードを構成するターゲット（バッキングプレート）お
よびカソード本体の分解斜視図である。

【図６】図５Ａにおける断面Ｔ部の詳細を示す断面図で
ある。

【図７】本発明の第１の実施の形態によるスパッタカソ
ードの構成の変形例を示す要部の断面図である。

【図８】Ａは従来のスパッタカソード全体の外観斜視図
であり、Ｂは当該スパッタカソードを構成するターゲッ
ト（バッキングプレート）およびカソード本体の分解斜
視図である。

【図９】図８Ａにおける断面Ｐ部の詳細を示す断面図で
ある。

【図１０】図８Ａにおける断面Ｑ部の詳細を示す断面図
である。

【符号の説明】

２１スパッタカソード２２ターゲット２３バッキングプレート２４カソード本体２５磁気回路部３０ボルト部材３４仕切板３５，３６密封部材４２ターゲット４３バッキングプレート４４カソード本体４５仕切板４６Ａ，４６Ｂ個片５０Ａ，５０Ｂ個片５１スパッタカソード５２ターゲット５３バッキングプレート５４カソード本体５５磁気回路部６４仕切板６５，６６密封部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面にターゲットが固定されたバッキン
グプレートと、前記バッキングプレートの裏面側に対向
して配置され前記ターゲット上に所定の分布磁場を形成
する磁気回路部と、前記磁気回路部の外周囲に配置され
前記バッキングプレートを着脱自在に支持するカソード
本体とを備えたスパッタカソードにおいて、前記カソード本体に対し、前記バッキングプレートの裏
面側と前記磁気回路部との間を気密に遮蔽する仕切板が
設けられていることを特徴とするスパッタカソード。
【請求項２】前記仕切板と前記カソード本体とが、真
空チャンバの内部と外部とを隔絶する隔壁として設けら
れることを特徴とする請求項１に記載のスパッタカソー
ド。
【請求項３】前記仕切板が、前記カソード本体と同一
の構成材料で一体的に形成されてなることを特徴とする
請求項２に記載のスパッタカソード。
【請求項４】前記バッキングプレートが、前記仕切板
に対して複数本のボルト部材を用いて取り付けられてい
ることを特徴とする請求項１に記載のスパッタカソー
ド。
【請求項５】前記ターゲットと前記バッキングプレー
トとからなる構成体が、複数に分割された個片の集合体
からなり、前記各個片がそれぞれ前記仕切板に対して着
脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項１
に記載のスパッタカソード。
【請求項６】前記構成体が長方形状を呈し、当該構成
体を分割する分割線が、前記構成体の長辺と垂直に形成
されることを特徴とする請求項５に記載のスパッタカソ
ード。
【請求項７】前記構成体が長方形状を呈し、当該構成
体を分割する分割線が、前記構成体の長辺と平行に形成
されることを特徴とする請求項５に記載のスパッタカソ
ード。
【請求項８】前記ターゲットと前記バッキングプレー
トとからなる構成体が複数に分割された個片の集合体か
らなり、前記磁気回路部が、前記個片の直下部を選択的
に移動可能とされることを特徴とする請求項１に記載の
スパッタカソード。