JP2003308368A - パスダウンデータベース及びフローチャート - Google Patents

パスダウンデータベース及びフローチャート

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JP2003308368A
JP2003308368A JP2003050195A JP2003050195A JP2003308368A JP 2003308368 A JP2003308368 A JP 2003308368A JP 2003050195 A JP2003050195 A JP 2003050195A JP 2003050195 A JP2003050195 A JP 2003050195A JP 2003308368 A JP2003308368 A JP 2003308368A
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クリストファー ケイス
Leonard J Olmer
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Agere Systems LLC
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    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置を容易診断し、診断の状態を識別する情
報を容易に得るシステムを提供する。 【解決手段】本発明によるマルチステッププロセスを監
視する方法は、プロセスフローダイヤグラムによって表
される複数のステップから構成されるプロセスを遂行す
るステップと、これら複数のステップの各々と関連する
データを記録するためのテーブルを作成するステップ
と、プロセスの遂行の進行とともにこれら複数のステッ
プの対応する一つと関連する作業に応答してテーブル内
にデータを記録するステップと、プロセスフローダイヤ
グラムの少なくとも一部とテーブルの少なくとも一部の
ディスプレイを提供するステップと、ディスプレイ上に
フローダイヤグラムのあるプロセスステップとテーブル
からの関連するデータ項目に関する指標を供給するステ
ップと、を含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は装置の問題の診断、
より詳細には、装置を診断するための、診断を容易にか
つ正確に追跡でき更に診断の状態を識別する情報が容易
に得られる、システム及び方法に関する。
【0002】24時間休むことなく或いはシフト勤務体
制にて製品の組立て或いは生産を行う多くの施設では、
しばしば、故障したり、或いはある時間期間の後に或い
はある与えられた数の製品を製造した後にそれが許容で
きるレベルにて動作しているかを調べるために診断する
ことを要求される、設備を有する。例えば、本発明の譲
受人は半導体デバイスを製造するが、この生産設備は、
これら設備上に小さな粒子が積もり、これによって半導
体製品が汚染されるのを防止するために常に清潔に保つ
ことを要求される。ただし、24時間休むことなく運転
される生産ラインでは、ある診断プロセスが長時間を要
するために、あるシフトにおいて開始された診断プロセ
スが後のシフトまで完結できず、そのプロセスを開始し
た作業員がそのプロセスの完結に立ち会うことができな
いことがしばしばある。こうして、例えば、第一のシフ
トが終了し、第二のシフトが開始されたとき、第二のシ
フトの作業員は、第一のシフトの際に行われた作業につ
いて全く知らなという事態が発生し得る。第二のシフト
の作業員が第一のシフトの際に遂行された作業について
の十分な知識が得られるように、第一のシフトの作業員
は記録を残し、未解決の設備の問題が存在するか否かを
示すことが必要となる。
【0003】これら記録は、設備を識別するのみでな
く、現在どのようなタイプのテスト或いは修正作業が着
手されているか、或いは前のシフトの作業員がある設備
をテスト或いは修正するためのあるプロセスをどこで或
いはどの段階で終えたかについても示すことを要求され
る。一つの明らかな解決手段としては、その診断プロセ
スを開始したシフトの作業員が戻るまでその設備には触
れないようにし、その仕事をその作業員が次のシフトに
おいて戻ったとき完結するやり方である。ただし、この
やり方は、シフトのスケジュールによってはかなり複雑
になり得る。例えば、ある設備が交番スケジュール(r
otating schedule)にて運転され、あ
るプロセスを開始したオペレータが4日勤務するスケジ
ュールにて作業に戻る場合を考える。そのオペレータが
あるプロセスを4日目に開始した場合、そのオペレータ
が戻るまで3日間待つことは、その設備にとってコスト
効率が良いとは言えない。加えて、そのオペレータの記
録が不明瞭な場合も、そのオペレータが次に仕事に戻る
までその記録は明確とはならない。
【0004】コンピュータの展開によって、現在ではあ
る設備の診断の状態を他の人に電子的に知らせる記録を
残すための電子データベースが利用できるようになって
いる。ただし、コンピュータ技術の進歩とともに処理設
備も進歩しており、例えば、半導体の製造においては、
ある設備が故障した場合、通常の動作手続きに戻るため
には、厳格なテストプロトコルが遂行される。幾つかの
ケースにおいては、ある設備を使用できる状態に戻すた
めには、あるプロトコルでは、オペレータは、その設備
が許容基準に合格するか否かを決定するためにあるテス
トユニットを設備全体に渡って実行することを要求され
る。そして、その設備が基準を満たさない場合は、オペ
レータは、その設備を再び使用するためには、詳細に記
述された修正手続きのテキストに従うことを要求され
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】半導体の場合は、設備
は典型的にはクリーンルーム内に置かれ、クリーンルー
ム内では紙は許されないために、この手続きは電子的に
格納され、オペレータはコンピュータを用いてこれを取
り出す。コンピュータ画面上に出力されるテキスト或い
はプリントアウトを調べ、これに基づいて必要とされる
個々のテストを遂行し、テストの各部分を遂行した後に
その設備或いはシステムが合格したか、不合格であった
かを決定する作業は、長時間を要する大変な作業とな
る。作業が複雑なときは、仕事を契約ベンダに依頼する
ことも考えられるが、ただし、ベンダが忙しく、特定の
設備が不当に長期間に渡って運転できない状態に放置さ
れることもある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は設備、マシー
ン、システム或いはプロセスと関連する問題を診断及び
追跡するための方法或いはシステムに向けられる。この
診断或いは追跡手続きは、故障が検出された後に遂行す
ることも、或いは故障が実際に発生する前にこれを予防
的に検出するための定期保守管理手続きとして遂行する
こともできる。
【0007】一つの好ましい方法は、プロセスフローダ
イヤグラムによって表される複数のステップから構成さ
れるプロセスを遂行するステップを含む。これら複数の
ステップの各々と関連するデータを記録するためのテー
ブルが作成される。このプロセスの遂行の進行とともに
これら複数のステップと関連する作業に応答してテーブ
ル内にデータが記録される。ディスプレイが提供され、
プロセスフローダイヤグラム及び/或いはテーブルの少
なくとも一部がディスプレイ上に表示される。このディ
スプレイ上には、更に、フローダイヤグラムのあるプロ
セスステップ及びテーブルから選択されたデータ項目と
関する指標が供給される。この指標はプロセスの状態を
示す。
【0008】本発明は、更に、(マルチステッププロセ
スを監視するための)システムにも係る。このシステム
は、各々が複数のプロセスを有する複数のプロセスフロ
ーダイヤグラムと、各々がこれら複数のプロセスフロー
ダイヤグラムの対応する一つと関連する複数のテーブル
とを表すデータを格納するためのメモリを備える。この
システムは、更に、このメモリに接続された、あるプロ
セスフローダイヤグラム及び/或いは関連するテーブル
を選択するためのプログラムインストラクションを実行
するプロセッサを備える。加えて、データを選択された
テーブル内に入力するためのデータ入力デバイスが提供
される。データは選択されたプロセスフローダイヤグラ
ムのプロセスステップが遂行される際の作業に応答して
入力される。更に、選択されたプロセスフローダイヤグ
ラム及び/或いは関連するテーブルの少なくとも一部を
表示するためにディスプレイが提供され、プロセッサに
接続される。
【0009】本発明の特徴及び長所が以下の本発明の詳
細な説明を付属の図面との関連で読むことでより明らか
になる。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明の様々な局面を詳細に説明
する前に、本発明は一般的にはパスダウン及びフローチ
ャートシステム(pass down and flo
w chart system)に対する必要性に迅速
かつ簡単に答えられるように構成されたコンポーネント
及び/或いはプロセスの新規な組合せに係り、設備の診
断やプロトコルに従うプロセスを簡素化できるととも
に、複数の人が診断を行なったりプロトコルに従うこと
を要求される状況において、情報が容易に得られるよう
にすることで、担当者が交替した際の作業の引き継ぎを
スムースに行うことが可能となる。図面においては、こ
れらコンポーネント/プロセスは総称的要素にて表さ
れ、本発明に係る部分のみが詳細に示されるが、これは
当業者には明白な構造の細部或いは動作の相互関係を説
明することで、かえって説明が複雑になることを回避す
るためである。本発明は、マシーン、設備、システム及
び/或いはプロセスに適用される。
【0011】本発明は、コンピュータにて実現されるプ
ロセスとして或いはこれらプロセスを実行するための装
置として実現される。本発明は、更に、有体の媒体、例
えば、フロッピディスク、CD−ROMS、DVD、ハ
ードドライブ、或いは任意の他のコンピュータにて読出
し可能な記憶媒体内に具現されたコンピュータにて読出
し可能なインストラクションを含むコンピュータプログ
ラムコードの形式にて実現することもできる。このコン
ピュータプログラムコードがコンピュータ内にロードさ
れ、コンピュータによって実行されると、コンピュータ
は本発明を実施するための装置となる。コンピュータ上
に実装された場合、コンピュータプログラムコードのセ
グメントはコンピュータを特定の論理回路或いは処理モ
ジュールを形成するように構成する。
【0012】図1は、コンピュータ画面上に表示された
ときの本発明によるパスダウンデータベースのエントリ
(pass down database entr
y)の一例を示す。このようなデータベースは、マイク
ロソフトアクセス(Microsoft Acces
s)など任意のデータベースソフトウェアプログラムを
用いて作成することができる。ただし、このデータベー
スは、マイクロソフトエクセル(Microsoft
Excel)などのスプレッドシートプログラム(sp
readsheet program)を用いて維持す
ることもできる。データベース或いはデータベーステー
ブル10は、オペレータがどのマシーン、システム、或
いはプロセスが問題を有するか、及び特定の問題の日付
をそのシステムと関連する問題の識別も含めて知ること
ができるようにを編成され、様々なフィールド内に格納
される。図1において、第一の列12は問題を有するマ
シーンを識別し、第二の列13は、その問題が発生した
日付を識別する。問題の時刻を含めることもできる。第
三の列18は、発生した問題のタイプを識別する。前の
オペレータは、問題の記述内にコメントを含めることも
できる。第四の列16は、そのエントリがパスダウンで
あるか、或いはフローチャートであるかを識別する。実
際には、これら全てのデータはデータベース内に格納さ
れ、このデータベースをプロセッサ或いはコンピュータ
と一体化することで、これらデータがテーブルフォーマ
ットにて表示される。これらデータとしては、これらに
制限されるものではないが、コメント、数値、図表、
絵、任意のタイプのマルチメディア、その他を含むこと
ができる。
【0013】図2は本発明によるフローチャートタブ及
びパスダウンデータベースのテーブルの一つの実施例を
示す。マイクロソフトアクセスなどの背景プログラム
は、メモリ内に格納された複数のこのような問題解決フ
ローチャート(troubleshooting fl
owchart)を有し、各フローチャートは、特定の
タイプのマシーン、プロセス、或いはシステムと関連す
る。背景プログラムはコンピュータ或いはプロセッサ上
で動作し、これらも上述のデータベースソフトウェアプ
ログラムを維持する。もう一つの好ましい実施例におい
ては、このデータベースソフトウェアプログラムは第二
のコンピュータ上で動作し、結果としてのデータベース
のみが背景プログラムを実行するコンピュータ或いはプ
ロセッサ上に表示される。
【0014】オペレータが、あるタイプのマシーン、設
備、システム或いはプロセスと関連する故障(不合格)
を入力すると、背景プログラムは自動的にメモリからそ
れと関連するフローチャート20を検索し、そのフロー
チャートを、問題を有する特定のマシーンと関連付け
る。一つの実現においては、フローチャートの表示には
分割スクリーン(split screen)が用いら
れ、あるフローチャートに特定な修正されたパスダウン
データベーステーブル22と、その問題を解決するため
のプロトコルと対応するフローチャートが表示される。
図面には示されないもう一つの好ましい実施例において
は、この修正されたパスダウンデータベーステーブルは
用いられない。
【0015】オペレータが、ある特定のマシーンと関連
する故障を入力し、プログラムがその特定のマシーンに
対するフローチャートを自動的に提供する段階におい
て、データベース入力画面とフローチャートとの間の相
関が作成される。一つの好ましい実施例においては、フ
ローチャート内のノード24が選択される度に、データ
ベーススクリーン上にフォーム26が表示され、オペレ
ータが、実行されている特定のテストに関する情報を入
力、或いは省略時の情報を選択できるようにされる。も
う一つの好ましい実施例においては、背景プログラムが
フローチャートを通じてランし、結果が第二のフォー
ム、例えば当分野において周知のドロップダウンテーブ
ル(drop down table)にて与えられ
る。この情報は保存され、データベース内に自動的に現
れる。同時にフローチャートの特定のエリアが、オペレ
ータが、そのプログラムが現在その診断或いはテストプ
ロセスのフローチャートのどこにあるかを簡単に視覚的
に見ることができるようにハイライトされ(28)され
る。
【0016】一つの好ましい実施例においては、ノード
の所の応答(response)は、肯定/否定或いは
合格/不合格の形式とされる。勿論、応答を表す他の形
式の通知を与えることもできる。更に、応答を、不合格
の場合は赤、合格の場合は黄色のようにカラーを用いて
ハイライトすることもできる。こうすることで、テスト
を開始したオペレータ或いは新たなオペレータは、マシ
ーンがフローチャートのある特定のノードで合格したか
否かを簡単に知ることが可能となる。いったん全ての条
件が満たされると、最後のノードがハイライトされ、フ
ローチャートは閉じられ、そのマシーンは、予定されて
いる次の定期のプロセスチェックまで、或いは次の故障
が検出されるまで、再び製品を生産することを許され
る。
【0017】図3は本発明を構成する一例としてのコン
ポーネントのブロック図である。メモリ30が設けら
れ、複数のプロセスフローダイアグラム32を表すデー
タが格納される。各プロセスフローダイアグラム32
は、複数のプロセスステップ33から構成される。各プ
ロセスステップ33はテーブル35内のそれを代表する
項目(エントリ)36と関連付けられる。こうして、複
数のテーブル35が存在し、各テーブルが一つのプロセ
スフローダイアグラム32と関連付けられる。もう一つ
の実施例においては、メモリ30は複数のメモリデバイ
スから構成され、プロセスフローダイアグラム32と、
テーブル35は異なるメモリデバイス上に格納される。
プロセッサ40がメモリ30に接続され、プロセスフロ
ーダイアグラム32及び/或いは関連するテーブル35
を選択するためのプログラムインストラクションが実行
される。テーブル入力デバイス42が設けられ、選択さ
れたプロセスフローダイアグラム32のプロセスステッ
プ33を実現する作業に応答して、選択されたテーブル
35内にデータが入力される。一つの好ましい実施例に
おいては、このデータ入力デバイス42を用いてユーザ
はデータを手操作にて入力する。もう一つの好ましい実
施例においては、ユーザがこのデータ入力デバイス42
を用いて代替の所定のデータ項目を選択したり、或いは
データ欄に省略時のデータを入力できるようにされ、デ
ータの入力を簡単化が図られる。ディスプレイ44がプ
ロセッサ40に接続され、選択されたプロセスフローダ
イアグラム32及び/或いは関連するテーブル35の少
なくとも一部が表示される。ディスプレイ44は、更
に、フローダイアグラム32のあるプロセスステップ3
3の状態をテーブル35から選択されたデータ項目36
との関連でユーザに知らせるためのインジケータ46を
有する。一つの好ましい実施例においては、聴覚インジ
ケータが設けられる。
【0018】図4に示すように、動作において、本発明
は、ステップ50において、一つのプロセスフローダイ
ヤグラムによって表される複数のステップから構成され
るプロセスを遂行する。ステップ52において、このプ
ロセスを構成する複数のステップの各々と関連するデー
タを記録するためのテーブルが作成される。ステップ5
4において、ある与えられたプロセスステップに対して
テーブル内にデータが記録される。これはプロセスの遂
行の進行に合わせて、そのプロセスステップと関連する
作業に応答して行われる。ステップ56において、ディ
スプレイを用いて、プロセスフローダイアグラムの少な
くとも一部及び/或いはテーブルの少なくとも一部が表
示される。表示されるダイアグラム及び/或いはテーブ
ルの量は、ディスプレイのサイズとフローダイアグラム
及び/或いはテーブルの複雑さに依存する。ステップ5
8において、ディスプレイ上にプロセスの状態をユーザ
に通知する指標が与えられる。一つの好ましい実施例に
おいては、この指標は聴覚インジケータ、例えば、プロ
セスの進行を記述する音響或いは音声録音の反復とされ
る。
【0019】図5は本発明のもう一つの好ましい実施例
を示す。図示するように、この発明は、ステップ62に
おいて、診断プロセスを遂行する。ステップ64におい
て、テーブルが作成される。このテーブルは、複数のテ
ーブル項目(エントリ)を有し、各テーブル項目はある
一つのプロセスステップに対応する。ステップ66にお
いて、プロセスフローダイアグラム及び/或いはテーブ
ルの少なくとも一部が表示される。ステップ68におい
て、診断プロセスの状態がユーザに示される。これは、
例えば、視覚指標及び/或いは聴覚指標を用いて行われ
る。
【0020】本発明が現時点で好ましいと考えられる実
施例との関連で説明されたが、当業者においては多くの
多くの変形及び修正が明らかである。従って、本発明は
説明の特定の実施例に制限されるものではなく、付録の
精神及び範囲内で最も広義に解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるパスダウンデータベーステーブル
の一つの実施例を示す図である。
【図2】本発明によるフローチャートタブとパスダウン
データベーステーブルの一つの実施例をフローチャート
とともに示す図である。
【図3】本発明を構成する一例としてのコンポーネント
を示すブロック図である。
【図4】本発明の一例としてのフローチャートを示す図
である。
【図5】本発明の一例としてのフローチャートを示す図
である。
【符号の説明】
10 データベース或いはデータベーステーブル 12 設備 13 日付 16 コメント 18 保守作業 20 フローチャート 22 パスダウンデータベーステーブル 24 フローチャート内のノード 26 フォーム 30 メモリ 32 プロセスフローダイアグラム 33 プロセスステップ 35 テーブル 36 エントリ 40 プロセッサ 42 テーブル入力デバイス 44 ディスプレイ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 レオナルド ジェイ オルマー アメリカ合衆国 32819 フロリダ,オー ランド,セイント. アイヴス ブウルヴ ァード 6203

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マルチステッププロセスを監視する方法
    であって: (a)プロセスフローダイヤグラムによって表される複
    数のステップから構成されるプロセスを遂行するステッ
    プと、 (b)データを記録するための各々が該複数のステップ
    と関連するテーブルを作成するステップと、 (c)該プロセスの遂行の進行とともに該複数のステッ
    プの対応する一つと関連する作業に応答して該テーブル
    内にデータを記録するステップと、 (d)該プロセスフローダイヤグラムの少なくとも一部
    と該テーブルの少なくとも一部のディスプレイ(表示)
    を提供するステップと、 (e)該ディスプレイ上に該フローダイヤグラムのある
    プロセスステップと該テーブルからの関連するデータ項
    目に関する指標を供給するステップと、を含むことを特
    徴とする方法。
  2. 【請求項2】 更に、該テーブル内にデータ項目を所定
    の代替データ項目を選択することで入力するステップを
    含む請求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】 更に、該デーブルにデータ項目を該テー
    ブル内にそれが作成された時点で省略時のデータを入れ
    ることで入力するステップを含む請求項1記載の方法。
  4. 【請求項4】 更に、該テーブル内にデータ項目を該テ
    ーブル内にユーザが手操作にてデータを入れることで入
    力するステップを含む請求項1記載の方法。
  5. 【請求項5】 該ディスプレイを提供するステップが、
    更に、該プロセスフローダイヤグラムと該テーブルの両
    方の部分を同時に該ディスプレイ上に表示するステップ
    を含む請求項1記載の方法。
  6. 【請求項6】 該指標を供給するステップが、更に、該
    プロセスフローダイヤグラムのあるステップの状態の視
    覚指標を供給するステップを含む請求項1記載の方法。
  7. 【請求項7】 更に、該プロセスフローダイヤグラムの
    あるステップの状態の聴覚指標を供給するステップを含
    む請求項1記載の方法。
  8. 【請求項8】 マルチステッププロセスを監視するため
    のシステムであって、 (a)各々が複数のプロセスから構成される複数のプロ
    セスフローダイヤグラムと、各々がこれら複数のプロセ
    スフローダイヤグラムの対応する一つと関連する複数の
    テーブルとを表すデータを格納するためのメモリと、 (b)該メモリに接続された、該プロセスフローダイヤ
    グラムの一つと、それと関連するテーブルとを選択する
    ためのプログラムインストラクションを実行するための
    プロセッサと、 (c)該プロセッサに接続された、該選択されたプロセ
    スフローダイヤグラムのプロセスステップを遂行する作
    業に応答して該選択されたテーブル内にデータを入力す
    るためのデータ入力デバイスと、 (d)該プロセッサに接続された、該選択されたプロセ
    スフローダイヤグラムと該関連するテーブルの少なくと
    も一部を表示するためのディスプレイと、を備えること
    を特徴とするシステム。
  9. 【請求項9】 該データ入力デバイスが、ユーザにより
    手操作にて入力できるデバイスから成る請求項8記載の
    システム。
  10. 【請求項10】 前記データ入力デバイスが、該選択さ
    れたテーブル内にデータ項目を所定の代替データ項目を
    選択することで入力できる請求項8記載のシステム。
  11. 【請求項11】 前記データ入力デバイスが、データ項
    目を該選択されたテーブル内に該テーブルが作成された
    時点で省略時のデータを入れることで入力できる請求項
    8記載のシステム。
  12. 【請求項12】 更に、該プロセスフローダイヤグラム
    の完了したステップの指標が該ディスプレイ上に供給さ
    れる請求項8記載のシステム。
  13. 【請求項13】 該指標が該プロセスフローダイヤグラ
    ムの完了したステップの聴覚指標から成る請求項8記載
    のシステム。
  14. 【請求項14】 該メモリが複数のメモリから構成さ
    れ、プロセスフローダイヤグラムを表すデータが第一の
    メモリ内に格納され、該プロセスフローダイヤグラムと
    関連するテーブルが第二のメモリ内に格納される請求項
    8記載のシステム。
  15. 【請求項15】 マルチステップ診断プロセスを監視す
    るための方法であって、 (a)プロセスフローダイヤグラムによって表される複
    数のステップから構成される診断プロセスを遂行するス
    テップと、 (b)各テーブル項目があるプロセスステップと関連す
    る作業と対応する複数のテーブル項目を含むテーブルを
    作成するステップと、 (c)該プロセスフローダイヤグラムの一つと該テーブ
    ルの少なくとも一部を表示することで該診断プロセスの
    状態を示すステップと、を含むことを特徴とする方法。
  16. 【請求項16】 更に、該テーブル内にデータを、所定
    の代替データ項目を選択することでテーブルを満たすや
    り方、テーブルを省略時のデータにて満たすやり方、或
    いはユーザにて項目を手作業にて入れるやり方の少なく
    とも一つにて入力するステップを含む請求項15記載の
    方法。
  17. 【請求項17】 更に、該プロセスフローダイヤグラム
    と該テーブルを同時に表示するステップを含む請求項1
    5記載の方法。
  18. 【請求項18】 更に、該診断プロセスのあるステップ
    の状態の聴覚指標を供給するステップを含む請求項18
    記載の方法。
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