JP2003306261A - フィルム剥離搬送装置 - Google Patents
フィルム剥離搬送装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 厚さが非常に薄い基板ＰからフィルムＦを容
易に剥離可能にすること。 【解決手段】 片面又は両面に対してフィルムＦが貼着
された基板Ｐを、鉛直な姿勢で剥離位置Ｘ２へ搬送する
基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２に搬送された鉛直
な姿勢の基板ＰからフィルムＦを完全に剥離させる剥離
手段２００又は４００とを備えているフィルム剥離搬送
装置。
易に剥離可能にすること。 【解決手段】 片面又は両面に対してフィルムＦが貼着
された基板Ｐを、鉛直な姿勢で剥離位置Ｘ２へ搬送する
基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２に搬送された鉛直
な姿勢の基板ＰからフィルムＦを完全に剥離させる剥離
手段２００又は４００とを備えているフィルム剥離搬送
装置。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、基板に貼着された
保護フィルムを剥離するフィルム剥離搬送装置、特に、
厚さが非常に薄い基板の片面又は両面に貼着されたフィ
ルムの剥離及び該基板の搬送、あるいは、厚さが非常に
薄い基板の片面又は両面に貼着された絶縁樹脂に貼着さ
れたフィルムの剥離及び該基板の搬送などに適用しうる
フィルム剥離搬送装置に関する。
保護フィルムを剥離するフィルム剥離搬送装置、特に、
厚さが非常に薄い基板の片面又は両面に貼着されたフィ
ルムの剥離及び該基板の搬送、あるいは、厚さが非常に
薄い基板の片面又は両面に貼着された絶縁樹脂に貼着さ
れたフィルムの剥離及び該基板の搬送などに適用しうる
フィルム剥離搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線基板の製造においては、ガ
ラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両
面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板
の両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層した
プリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリ
ント配線基板素材の片面又は両面に回路パターンを照射
してフォトレジスト層を露光し、その後において片面又
は両面に存在する保護フィルム（以下単に「フィルム」
と略称する）を剥離している。
ラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両
面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板
の両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層した
プリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリ
ント配線基板素材の片面又は両面に回路パターンを照射
してフォトレジスト層を露光し、その後において片面又
は両面に存在する保護フィルム（以下単に「フィルム」
と略称する）を剥離している。
【０００３】プリント回路基板素材の如き基板から、そ
の片面又は両面から保護フィルムの如きフィルム（本明
細書にて使用する語句「フィルム」は比較的薄い帯状部
材のみならず比較的厚い、いわゆるシートと称される帯
状部材をも含む）を剥離するのに適用することができる
フィルム剥離搬送装置は既に知られている（特許文献１
参照）。
の片面又は両面から保護フィルムの如きフィルム（本明
細書にて使用する語句「フィルム」は比較的薄い帯状部
材のみならず比較的厚い、いわゆるシートと称される帯
状部材をも含む）を剥離するのに適用することができる
フィルム剥離搬送装置は既に知られている（特許文献１
参照）。
【０００４】このフィルム剥離搬送装置は、基板搬送手
段、クランプ手段、端部剥離手段及び剥離手段を備えて
いる。基板搬送手段は、片面又は両面にフィルムが貼着
された基板を実質上水平な状態で、その前端部が端部剥
離位置に達するまで所定方向に搬送して一旦停止させ、
そして更に上記所定方向に搬送する。基板搬送手段は、
基板の搬送経路を規定する複数個の搬送ローラを含んで
いる。クランプ手段は搬送経路を挟んで上下に間隔を置
いて配置された一対のクランプ部材を備え、搬送経路上
に解除自在にクランプできるよう構成されている。端部
剥離手段は、搬送経路の幅方向に往復移動させられるよ
う構成された移動体と、搬送経路を挟んで上下に間隔を
置いて配置された複数対の圧接ローラを備えている。複
数対の圧接ローラは、搬送経路上の基板を解除自在に圧
接できるよう構成されている。基板がクランプ手段によ
り端部剥離位置にクランプされた状態で、圧接ローラの
各対は、基板の一端部（搬送方向前端部）における片面
又は両面のフィルムの表面に所定の圧力で圧接される。
この状態で圧接ローラの各対は、移動体によって幅方向
に往復移動させられ、基板のフィルムの一端部が部分的
に剥離される。このように、端部剥離手段は上記端部剥
離位置に位置付けられた基板の前端部に作用してフィル
ムの前端部を部分的に基板から剥離させる。前端部が部
分的に剥離されたフィルムを基板から完全に分離させる
ための剥離手段は、搬送方向に移動させられている基板
とフィルムの前端部との間に圧縮気体を噴射する気体噴
射手段と、気体噴射手段によって前端部の分離が促進さ
れたフィルムを基板の片面又は両面から剥離させて上方
及び／又は下方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手
段を含んでいる。気体噴射手段は、基板の幅方向に延在
しかつ複数個の気体噴射孔が間隔をおいて形成された中
空部材を備えている。静止部材であるこの中空部材は、
適宜の連通手段を介して圧縮気体発生源に接続されてい
る。フィルム剥離搬送手段は上側ベルト機構及び下側ベ
ルト機構を備えている。
段、クランプ手段、端部剥離手段及び剥離手段を備えて
いる。基板搬送手段は、片面又は両面にフィルムが貼着
された基板を実質上水平な状態で、その前端部が端部剥
離位置に達するまで所定方向に搬送して一旦停止させ、
そして更に上記所定方向に搬送する。基板搬送手段は、
基板の搬送経路を規定する複数個の搬送ローラを含んで
いる。クランプ手段は搬送経路を挟んで上下に間隔を置
いて配置された一対のクランプ部材を備え、搬送経路上
に解除自在にクランプできるよう構成されている。端部
剥離手段は、搬送経路の幅方向に往復移動させられるよ
う構成された移動体と、搬送経路を挟んで上下に間隔を
置いて配置された複数対の圧接ローラを備えている。複
数対の圧接ローラは、搬送経路上の基板を解除自在に圧
接できるよう構成されている。基板がクランプ手段によ
り端部剥離位置にクランプされた状態で、圧接ローラの
各対は、基板の一端部（搬送方向前端部）における片面
又は両面のフィルムの表面に所定の圧力で圧接される。
この状態で圧接ローラの各対は、移動体によって幅方向
に往復移動させられ、基板のフィルムの一端部が部分的
に剥離される。このように、端部剥離手段は上記端部剥
離位置に位置付けられた基板の前端部に作用してフィル
ムの前端部を部分的に基板から剥離させる。前端部が部
分的に剥離されたフィルムを基板から完全に分離させる
ための剥離手段は、搬送方向に移動させられている基板
とフィルムの前端部との間に圧縮気体を噴射する気体噴
射手段と、気体噴射手段によって前端部の分離が促進さ
れたフィルムを基板の片面又は両面から剥離させて上方
及び／又は下方に強制的に搬送するフィルム剥離搬送手
段を含んでいる。気体噴射手段は、基板の幅方向に延在
しかつ複数個の気体噴射孔が間隔をおいて形成された中
空部材を備えている。静止部材であるこの中空部材は、
適宜の連通手段を介して圧縮気体発生源に接続されてい
る。フィルム剥離搬送手段は上側ベルト機構及び下側ベ
ルト機構を備えている。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６２−８３９７４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のフィルム剥
離搬送装置において、搬送方向に移動させられている基
板の前端部が端部剥離位置に到達すると、基板がクラン
プ手段により端部剥離位置にクランプされた状態で、端
部剥離手段の圧接ローラの各対が、基板の一端部におけ
る片面又は両面のフィルムの表面に所定の圧力で圧接さ
れて移動体によって幅方向に往復移動させられ、基板の
フィルムの一端部が部分的に剥離される。上記した如く
フィルムは、基板の片面又は両面に形成された銅張積層
板に積層されたフォトレジスト層に貼着されており、そ
の密着強度は比較的弱いので、上記した如き端部剥離手
段による剥離作用、すなわちいわゆるナーリングによっ
て部分的な剥離を遂行することができる。
離搬送装置において、搬送方向に移動させられている基
板の前端部が端部剥離位置に到達すると、基板がクラン
プ手段により端部剥離位置にクランプされた状態で、端
部剥離手段の圧接ローラの各対が、基板の一端部におけ
る片面又は両面のフィルムの表面に所定の圧力で圧接さ
れて移動体によって幅方向に往復移動させられ、基板の
フィルムの一端部が部分的に剥離される。上記した如く
フィルムは、基板の片面又は両面に形成された銅張積層
板に積層されたフォトレジスト層に貼着されており、そ
の密着強度は比較的弱いので、上記した如き端部剥離手
段による剥離作用、すなわちいわゆるナーリングによっ
て部分的な剥離を遂行することができる。
【０００７】ところで、電子機器の高密度化、高機能化
に伴い、プリント配線基板についても高密度配線、微細
化と共に機能の向上が要求されるようになってきてい
る。このような背景から近年、ビルドアップ工法が注目
されるようになった。ビルドアップ工法は、一例とし
て、コア板の片面又は両面に、熱硬化性樹脂等の感光性
絶縁樹脂（以下、単に「絶縁樹脂」と略称する）を積層
し、これらの絶縁樹脂に露光・現像あるいはレーザ照射
を遂行した後、電解銅めっきあるいは無電解銅めっきを
施し、更に表面パターン作成等の工程を経て一つの層を
完成し、更に層を重ねるために絶縁樹脂の積層以降の工
程を繰り返すことによって所定のプリント配線基板を製
造するものである。上記の如きビルドアップ工法により
製造されるプリント配線基板においても、絶縁樹脂の表
面を保護するために貼着されたフィルムをその製造工程
のなかで剥離しなければならない。
に伴い、プリント配線基板についても高密度配線、微細
化と共に機能の向上が要求されるようになってきてい
る。このような背景から近年、ビルドアップ工法が注目
されるようになった。ビルドアップ工法は、一例とし
て、コア板の片面又は両面に、熱硬化性樹脂等の感光性
絶縁樹脂（以下、単に「絶縁樹脂」と略称する）を積層
し、これらの絶縁樹脂に露光・現像あるいはレーザ照射
を遂行した後、電解銅めっきあるいは無電解銅めっきを
施し、更に表面パターン作成等の工程を経て一つの層を
完成し、更に層を重ねるために絶縁樹脂の積層以降の工
程を繰り返すことによって所定のプリント配線基板を製
造するものである。上記の如きビルドアップ工法により
製造されるプリント配線基板においても、絶縁樹脂の表
面を保護するために貼着されたフィルムをその製造工程
のなかで剥離しなければならない。
【０００８】そこで上記した如き従来の端部剥離手段に
よってナーリングを遂行したところ、十分確実に剥離す
ることができなかった。本発明者等がその理由を究明し
たところ、ビルドアップ工法により製造されるプリント
配線基板において、フィルムは上記絶縁樹脂に貼着され
ているため、この絶縁樹脂とフィルムとの密着強度は、
先に述べたフォトレジスト層とフィルムとの密着強度よ
りも強力であることが判明した。これに対して上記した
従来の端部剥離手段によるナーリングの遂行では十分確
実な剥離効果が得られないのみならず、絶縁樹脂に縞模
様の傷が大きく付いて不良基板となる、望ましくない現
象も認められた。
よってナーリングを遂行したところ、十分確実に剥離す
ることができなかった。本発明者等がその理由を究明し
たところ、ビルドアップ工法により製造されるプリント
配線基板において、フィルムは上記絶縁樹脂に貼着され
ているため、この絶縁樹脂とフィルムとの密着強度は、
先に述べたフォトレジスト層とフィルムとの密着強度よ
りも強力であることが判明した。これに対して上記した
従来の端部剥離手段によるナーリングの遂行では十分確
実な剥離効果が得られないのみならず、絶縁樹脂に縞模
様の傷が大きく付いて不良基板となる、望ましくない現
象も認められた。
【０００９】ビルドアップ工法により製造されるプリン
ト配線基板においてはまた、絶縁樹脂の表面に傷が発生
するのを防止するため、絶縁樹脂が存在しない基板の幅
方向両端部（両端から内側に向かってほぼ２．０ｍｍ〜
３．０ｍｍの両端部領域）をローラで支持することによ
り水平方向に搬送していた。このような端面搬送によれ
ば、基板の厚さが薄くなるほど、基板の安定した水平搬
送が困難となる。しかも近年の技術の向上により、基板
の厚さは更に薄くなることが予測される。現在のとこ
ろ、一般的な基板の厚さは０．８ｍｍであるが、将来に
おいては０．２ｍｍ〜５０μｍと、非常に薄くなるので
はないかと予測される。なお、基板の安定した水平搬送
の下限値は０．６ｍｍ程度である。基板の厚さが上記下
限値を下方に越えて更に薄くなった場合には、基板の安
定した水平搬送が困難となるので、水平方向に搬送され
る基板を所要のとおりに停止させ、所要のとおりにクラ
ンプして、基板の品質を損なうことなく、フィルムを円
滑かつ確実に剥離することは、不可能ではないにしても
著しく困難となることが予測される。特に、ビルドアッ
プ工法により製造されるプリント配線基板においては、
上記した事実に起因して、フィルムの剥離が一層困難と
なるものと推測される。他方、ビルドアップ工法により
製造されるプリント配線基板以外のプリント配線基板に
おいても、その厚さが上記下限値を下方に越えて更に薄
くなった場合には、上記したと同様な技術的課題が発生
するものと予測される。
ト配線基板においてはまた、絶縁樹脂の表面に傷が発生
するのを防止するため、絶縁樹脂が存在しない基板の幅
方向両端部（両端から内側に向かってほぼ２．０ｍｍ〜
３．０ｍｍの両端部領域）をローラで支持することによ
り水平方向に搬送していた。このような端面搬送によれ
ば、基板の厚さが薄くなるほど、基板の安定した水平搬
送が困難となる。しかも近年の技術の向上により、基板
の厚さは更に薄くなることが予測される。現在のとこ
ろ、一般的な基板の厚さは０．８ｍｍであるが、将来に
おいては０．２ｍｍ〜５０μｍと、非常に薄くなるので
はないかと予測される。なお、基板の安定した水平搬送
の下限値は０．６ｍｍ程度である。基板の厚さが上記下
限値を下方に越えて更に薄くなった場合には、基板の安
定した水平搬送が困難となるので、水平方向に搬送され
る基板を所要のとおりに停止させ、所要のとおりにクラ
ンプして、基板の品質を損なうことなく、フィルムを円
滑かつ確実に剥離することは、不可能ではないにしても
著しく困難となることが予測される。特に、ビルドアッ
プ工法により製造されるプリント配線基板においては、
上記した事実に起因して、フィルムの剥離が一層困難と
なるものと推測される。他方、ビルドアップ工法により
製造されるプリント配線基板以外のプリント配線基板に
おいても、その厚さが上記下限値を下方に越えて更に薄
くなった場合には、上記したと同様な技術的課題が発生
するものと予測される。
【００１０】本発明は上記事実に基づいてなされたもの
であり、その目的は、厚さが非常に薄い基板であって
も、基板の品質を損なうことなく、基板の片面又は両面
に貼着されているフィルムを円滑かつ確実に剥離するこ
とを可能にする、新規なフィルム剥離搬送装置を提供す
ることである。
であり、その目的は、厚さが非常に薄い基板であって
も、基板の品質を損なうことなく、基板の片面又は両面
に貼着されているフィルムを円滑かつ確実に剥離するこ
とを可能にする、新規なフィルム剥離搬送装置を提供す
ることである。
【００１１】本発明の他の目的は、厚さが非常に薄い基
板であっても、基板の片面又は両面に貼着されている絶
縁樹脂に比較的強力な密着強度をもって貼着されている
フィルムを、絶縁樹脂を実質的に傷めることなく、絶縁
樹脂から十分確実に剥離することを可能にする、新規な
フィルム剥離搬送装置を提供することである。
板であっても、基板の片面又は両面に貼着されている絶
縁樹脂に比較的強力な密着強度をもって貼着されている
フィルムを、絶縁樹脂を実質的に傷めることなく、絶縁
樹脂から十分確実に剥離することを可能にする、新規な
フィルム剥離搬送装置を提供することである。
【００１２】本発明の更に他の目的は、厚さが非常に薄
い基板であっても、基板の品質を損なうことなく安定し
た搬送を可能にすると共に、基板の品質を損なうことな
く基板の片面又は両面に貼着されているフィルムを円滑
かつ確実に剥離することを可能にする、新規なフィルム
剥離搬送装置を提供することである。
い基板であっても、基板の品質を損なうことなく安定し
た搬送を可能にすると共に、基板の品質を損なうことな
く基板の片面又は両面に貼着されているフィルムを円滑
かつ確実に剥離することを可能にする、新規なフィルム
剥離搬送装置を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の一局面によれ
ば、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板
を、鉛直な姿勢で剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、
剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを
完全に剥離させる剥離手段とを備えている、ことを特徴
とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。剥離位置
においてフィルムの一端部を基板から部分的に剥離させ
る端部剥離手段を備え、基板搬送手段によって剥離位置
に搬送された基板は、該鉛直な姿勢で端部剥離手段によ
りフィルムの、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に
剥離させられ、続いて鉛直な姿勢で剥離手段により、該
一端部が部分的に剥離させられたフィルムが完全に剥離
される、ことが好ましい。本発明の他の局面によれば、
片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板を鉛直
な姿勢で端部剥離位置へ、端部剥離位置から剥離位置へ
搬送する基板搬送手段と、端部剥離位置においてフィル
ムの一端部を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段
と、剥離位置において、一端部が部分的に剥離されたフ
ィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段とを備え、
基板搬送手段によって端部剥離位置に搬送された基板
は、鉛直な姿勢で端部剥離手段によりフィルムの、鉛直
上方に位置する該一端部が部分的に剥離させられ、基板
搬送手段によって端部剥離位置から剥離位置に搬送され
た基板は、鉛直な姿勢で剥離手段により、該一端部が部
分的に剥離させられたフィルムが完全に剥離される、こ
とを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
本発明の更に他の局面によれば、片面又は両面に対して
フィルムが貼着された基板を、両端部を離脱自在に保持
した状態で、受取位置から剥離位置へ、そして剥離位置
から搬出位置まで搬送する基板搬送手段と、剥離位置に
おいてフィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段と
を備え、基板搬送手段によって剥離位置に搬送された基
板は、鉛直な姿勢で剥離手段によりフィルムが完全に剥
離される、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が
提供される。基板搬送手段は、受取位置において基板を
水平な姿勢又は鉛直な姿勢で受け取り、受取位置で受け
取った基板を、剥離位置において鉛直な姿勢となるよ
う、又は鉛直な姿勢を維持しながら、剥離位置まで搬送
し、剥離位置において鉛直な姿勢で剥離手段によりフィ
ルムが完全に剥離された基板を、搬出位置において水平
な姿勢となるよう、又は鉛直な姿勢を維持しながら、搬
出位置まで搬送する、ことが好ましい。剥離位置におい
てフィルムの一端部を基板から部分的に剥離させる端部
剥離手段を備え、基板搬送手段によって剥離位置に搬送
された基板は、鉛直な姿勢で端部剥離手段によりフィル
ムの、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に剥離させ
られ、続いて鉛直な姿勢で剥離手段により、該一端部が
部分的に剥離させられたフィルムが完全に剥離される、
ことが好ましい。基板搬送手段は、剥離位置において鉛
直な姿勢で端部剥離手段によりフィルムの該一端部が部
分的に剥離させられ、続いて該一端部が部分的に剥離さ
せられたフィルムが剥離手段により完全に剥離された基
板を、搬出位置において水平な姿勢となるよう、又は鉛
直な姿勢を維持しながら、搬出位置まで搬送する、こと
が好ましい。本発明の更に他の局面によれば、片面又は
両面に対してフィルムが貼着された基板を、基板の両端
部を離脱自在に保持した状態で、受取位置から端部剥離
位置へ、端部剥離位置から剥離位置へ、そして剥離位置
から搬出位置まで搬送する基板搬送手段と、端部剥離位
置においてフィルムの一端部を基板から部分的に剥離さ
せる端部剥離手段と、剥離位置において、一端部が剥離
されたフィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段と
を備え、基板搬送手段によって端部剥離位置に搬送され
た基板は、鉛直な姿勢で端部剥離手段によりフィルム
の、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に剥離させら
れ、基板搬送手段によって端部剥離位置から剥離位置に
搬送された基板は、鉛直な姿勢で剥離手段により、該一
端部が部分的に剥離させられたフィルムが完全に剥離さ
れる、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供
される。基板搬送手段は、受取位置において基板を水平
な姿勢又は鉛直な姿勢で受け取り、受取位置で受け取っ
た基板を、端部剥離位置において鉛直な姿勢となるよ
う、又は鉛直な姿勢を維持しながら、端部剥離位置まで
搬送し、端部剥離位置において鉛直な姿勢で端部剥離手
段によりフィルムの該一端部が剥離された基板を鉛直な
姿勢を維持しながら剥離位置まで搬送し、剥離位置にお
いて、該一端部が剥離されたフィルムが鉛直な姿勢で剥
離手段により完全に剥離された基板を、搬出位置におい
て水平な姿勢となるよう、又は鉛直な姿勢を維持しなが
ら、搬出位置まで搬送する、ことが好ましい。端部剥離
手段は、鉛直な姿勢の基板において鉛直上方に位置する
一端部近傍の領域であって、フィルムの該一端部よりも
基板の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の
両面を解除自在にクランプするクランプ手段と、支持体
に配設されかつ基板の搬送方向に対向して基板の搬送幅
方向に直列に配設された複数の圧接ローラ対と、支持体
に作用して圧接ローラ対の各々を基板の搬送幅方向に往
復移動させる駆動手段とを含み、剥離位置又は端部剥離
位置において、基板の該一端部近傍の領域の両面をクラ
ンプ手段によってクランプした後、駆動手段によって圧
接ローラ対の各々をフィルムの該一端部の両面に沿って
基板の搬送幅方向に往復移動させることにより、フィル
ムの該一端部を基板の片面又は両面から部分的に剥離さ
せる、ことが好ましい。基板搬送手段は、基板の搬送幅
方向に間隔をおいて対向する基板保持部材対を少なくと
も１対備え、基板は、受取位置において、基板の両端
部、又は基板の両端部及び両端部における下端、が基板
保持部材対によって保持され、端部剥離位置又は剥離位
置において、基板の両端部及び両端部における下端が基
板保持部材対によって保持され、搬出位置において、基
板の両端部、又は基板の両端部及び両端部における下
端、が基板保持部材対によって保持されるよう基板搬送
手段によって搬送される、ことが好ましい。剥離手段
は、基板の搬送方向に間隔をおいて対向しかつ基板の搬
送幅方向に延在する一対のフィルムガイドクランプ部材
と、フィルムガイドクランプ部材の各々をそれぞれ支持
するよう基板の搬送方向に間隔をおいて対向するよう配
置されかつフィルムガイドクランプ部材の各々を、鉛直
な姿勢の基板の該一端部近傍の領域であって、フィルム
の該一端部よりも基板の他端方向に後退した基板の該一
端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、
該一端部近傍の領域から基板の搬送方向上流及び下流に
向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ
解除位置との間を選択的に移動させる一対の駆動体と、
フィルムガイドクランプ部材の各々に配設されて、フィ
ルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクラ
ンプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面
から退避するクランプ解除位置との間を選択的に移動さ
せられるフィルムクランプ部材を含むフィルムクランプ
手段と、駆動体の各々に対応して配設され駆動体の各々
を鉛直方向に昇降させる昇降手段と、基板の該一端部の
両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板
の搬送方向上流及び下流に向かって相互に離隔して該ク
ランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移
動させる一対の基板クランプ部材を含む基板クランプ手
段と、基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向
けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とを
備えている、ことが好ましい。基板搬送手段は、基板の
搬送幅方向に相互に間隔をおいて対向するよう配設され
た一対の静止側枠と、静止側枠の各々間に基板の搬送方
向に間隔をおいて配設された複数のガイド部材と、静止
側枠の各々間における基板の搬送方向一方側に回転自在
に支持された駆動軸と、静止側枠の各々間における基板
の搬送方向他方側に回転自在に支持された被駆動軸と、
駆動軸を回転駆動する駆動源と、静止側枠の各々間にお
いてガイド部材の各々に移動自在に支持された一対の可
動側枠と、可動側枠の各々をガイド部材の各々に沿って
基板の搬送幅方向に相互に接近及び離隔する方向に往復
移動させる往復移動手段と、可動側枠の各々に回転自在
に支持されかつ駆動軸に結合された駆動輪と、可動側枠
の各々に回転自在に支持されかつ被駆動軸に結合された
被駆動輪と、駆動輪の各々と被駆動輪の各々間にそれぞ
れ巻き掛けられた無端部材と、無端部材の各々の、相互
に整合された周方向位置に相互に対向するよう配設され
た基板保持部材の各々からなる少なくとも１対の基板保
持部材対とを備え、往復移動手段により可動側枠の各々
をガイド部材の各々に沿って基板の搬送幅方向に相互に
接近及び離隔する方向に往復移動させることにより基板
保持部材対は基板の幅に対応して位置付けられ、駆動源
により駆動軸を介して駆動輪を間欠的に回転駆動するこ
とにより、基板保持部材対に保持された基板は、受取位
置から剥離位置を経て搬出位置へ、又は、受取位置から
端部剥離位置及び剥離位置を経て搬出位置へ、それぞれ
間欠的に搬送させられる、ことが好ましい。
ば、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板
を、鉛直な姿勢で剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、
剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを
完全に剥離させる剥離手段とを備えている、ことを特徴
とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。剥離位置
においてフィルムの一端部を基板から部分的に剥離させ
る端部剥離手段を備え、基板搬送手段によって剥離位置
に搬送された基板は、該鉛直な姿勢で端部剥離手段によ
りフィルムの、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に
剥離させられ、続いて鉛直な姿勢で剥離手段により、該
一端部が部分的に剥離させられたフィルムが完全に剥離
される、ことが好ましい。本発明の他の局面によれば、
片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板を鉛直
な姿勢で端部剥離位置へ、端部剥離位置から剥離位置へ
搬送する基板搬送手段と、端部剥離位置においてフィル
ムの一端部を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段
と、剥離位置において、一端部が部分的に剥離されたフ
ィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段とを備え、
基板搬送手段によって端部剥離位置に搬送された基板
は、鉛直な姿勢で端部剥離手段によりフィルムの、鉛直
上方に位置する該一端部が部分的に剥離させられ、基板
搬送手段によって端部剥離位置から剥離位置に搬送され
た基板は、鉛直な姿勢で剥離手段により、該一端部が部
分的に剥離させられたフィルムが完全に剥離される、こ
とを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。
本発明の更に他の局面によれば、片面又は両面に対して
フィルムが貼着された基板を、両端部を離脱自在に保持
した状態で、受取位置から剥離位置へ、そして剥離位置
から搬出位置まで搬送する基板搬送手段と、剥離位置に
おいてフィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段と
を備え、基板搬送手段によって剥離位置に搬送された基
板は、鉛直な姿勢で剥離手段によりフィルムが完全に剥
離される、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が
提供される。基板搬送手段は、受取位置において基板を
水平な姿勢又は鉛直な姿勢で受け取り、受取位置で受け
取った基板を、剥離位置において鉛直な姿勢となるよ
う、又は鉛直な姿勢を維持しながら、剥離位置まで搬送
し、剥離位置において鉛直な姿勢で剥離手段によりフィ
ルムが完全に剥離された基板を、搬出位置において水平
な姿勢となるよう、又は鉛直な姿勢を維持しながら、搬
出位置まで搬送する、ことが好ましい。剥離位置におい
てフィルムの一端部を基板から部分的に剥離させる端部
剥離手段を備え、基板搬送手段によって剥離位置に搬送
された基板は、鉛直な姿勢で端部剥離手段によりフィル
ムの、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に剥離させ
られ、続いて鉛直な姿勢で剥離手段により、該一端部が
部分的に剥離させられたフィルムが完全に剥離される、
ことが好ましい。基板搬送手段は、剥離位置において鉛
直な姿勢で端部剥離手段によりフィルムの該一端部が部
分的に剥離させられ、続いて該一端部が部分的に剥離さ
せられたフィルムが剥離手段により完全に剥離された基
板を、搬出位置において水平な姿勢となるよう、又は鉛
直な姿勢を維持しながら、搬出位置まで搬送する、こと
が好ましい。本発明の更に他の局面によれば、片面又は
両面に対してフィルムが貼着された基板を、基板の両端
部を離脱自在に保持した状態で、受取位置から端部剥離
位置へ、端部剥離位置から剥離位置へ、そして剥離位置
から搬出位置まで搬送する基板搬送手段と、端部剥離位
置においてフィルムの一端部を基板から部分的に剥離さ
せる端部剥離手段と、剥離位置において、一端部が剥離
されたフィルムを基板から完全に剥離させる剥離手段と
を備え、基板搬送手段によって端部剥離位置に搬送され
た基板は、鉛直な姿勢で端部剥離手段によりフィルム
の、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に剥離させら
れ、基板搬送手段によって端部剥離位置から剥離位置に
搬送された基板は、鉛直な姿勢で剥離手段により、該一
端部が部分的に剥離させられたフィルムが完全に剥離さ
れる、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供
される。基板搬送手段は、受取位置において基板を水平
な姿勢又は鉛直な姿勢で受け取り、受取位置で受け取っ
た基板を、端部剥離位置において鉛直な姿勢となるよ
う、又は鉛直な姿勢を維持しながら、端部剥離位置まで
搬送し、端部剥離位置において鉛直な姿勢で端部剥離手
段によりフィルムの該一端部が剥離された基板を鉛直な
姿勢を維持しながら剥離位置まで搬送し、剥離位置にお
いて、該一端部が剥離されたフィルムが鉛直な姿勢で剥
離手段により完全に剥離された基板を、搬出位置におい
て水平な姿勢となるよう、又は鉛直な姿勢を維持しなが
ら、搬出位置まで搬送する、ことが好ましい。端部剥離
手段は、鉛直な姿勢の基板において鉛直上方に位置する
一端部近傍の領域であって、フィルムの該一端部よりも
基板の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の
両面を解除自在にクランプするクランプ手段と、支持体
に配設されかつ基板の搬送方向に対向して基板の搬送幅
方向に直列に配設された複数の圧接ローラ対と、支持体
に作用して圧接ローラ対の各々を基板の搬送幅方向に往
復移動させる駆動手段とを含み、剥離位置又は端部剥離
位置において、基板の該一端部近傍の領域の両面をクラ
ンプ手段によってクランプした後、駆動手段によって圧
接ローラ対の各々をフィルムの該一端部の両面に沿って
基板の搬送幅方向に往復移動させることにより、フィル
ムの該一端部を基板の片面又は両面から部分的に剥離さ
せる、ことが好ましい。基板搬送手段は、基板の搬送幅
方向に間隔をおいて対向する基板保持部材対を少なくと
も１対備え、基板は、受取位置において、基板の両端
部、又は基板の両端部及び両端部における下端、が基板
保持部材対によって保持され、端部剥離位置又は剥離位
置において、基板の両端部及び両端部における下端が基
板保持部材対によって保持され、搬出位置において、基
板の両端部、又は基板の両端部及び両端部における下
端、が基板保持部材対によって保持されるよう基板搬送
手段によって搬送される、ことが好ましい。剥離手段
は、基板の搬送方向に間隔をおいて対向しかつ基板の搬
送幅方向に延在する一対のフィルムガイドクランプ部材
と、フィルムガイドクランプ部材の各々をそれぞれ支持
するよう基板の搬送方向に間隔をおいて対向するよう配
置されかつフィルムガイドクランプ部材の各々を、鉛直
な姿勢の基板の該一端部近傍の領域であって、フィルム
の該一端部よりも基板の他端方向に後退した基板の該一
端部近傍の領域の両面をクランプするクランプ位置と、
該一端部近傍の領域から基板の搬送方向上流及び下流に
向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ
解除位置との間を選択的に移動させる一対の駆動体と、
フィルムガイドクランプ部材の各々に配設されて、フィ
ルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクラ
ンプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面
から退避するクランプ解除位置との間を選択的に移動さ
せられるフィルムクランプ部材を含むフィルムクランプ
手段と、駆動体の各々に対応して配設され駆動体の各々
を鉛直方向に昇降させる昇降手段と、基板の該一端部の
両面をクランプするクランプ位置と、該一端部から基板
の搬送方向上流及び下流に向かって相互に離隔して該ク
ランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移
動させる一対の基板クランプ部材を含む基板クランプ手
段と、基板の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向
けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段とを
備えている、ことが好ましい。基板搬送手段は、基板の
搬送幅方向に相互に間隔をおいて対向するよう配設され
た一対の静止側枠と、静止側枠の各々間に基板の搬送方
向に間隔をおいて配設された複数のガイド部材と、静止
側枠の各々間における基板の搬送方向一方側に回転自在
に支持された駆動軸と、静止側枠の各々間における基板
の搬送方向他方側に回転自在に支持された被駆動軸と、
駆動軸を回転駆動する駆動源と、静止側枠の各々間にお
いてガイド部材の各々に移動自在に支持された一対の可
動側枠と、可動側枠の各々をガイド部材の各々に沿って
基板の搬送幅方向に相互に接近及び離隔する方向に往復
移動させる往復移動手段と、可動側枠の各々に回転自在
に支持されかつ駆動軸に結合された駆動輪と、可動側枠
の各々に回転自在に支持されかつ被駆動軸に結合された
被駆動輪と、駆動輪の各々と被駆動輪の各々間にそれぞ
れ巻き掛けられた無端部材と、無端部材の各々の、相互
に整合された周方向位置に相互に対向するよう配設され
た基板保持部材の各々からなる少なくとも１対の基板保
持部材対とを備え、往復移動手段により可動側枠の各々
をガイド部材の各々に沿って基板の搬送幅方向に相互に
接近及び離隔する方向に往復移動させることにより基板
保持部材対は基板の幅に対応して位置付けられ、駆動源
により駆動軸を介して駆動輪を間欠的に回転駆動するこ
とにより、基板保持部材対に保持された基板は、受取位
置から剥離位置を経て搬出位置へ、又は、受取位置から
端部剥離位置及び剥離位置を経て搬出位置へ、それぞれ
間欠的に搬送させられる、ことが好ましい。
【００１４】本発明の更に他の局面によれば、剥離位置
に向かって基板の搬送を開始する搬送開始位置へ、両面
が基板の搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で投入され
た、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板の
搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿
勢を維持しながら剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、
剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを
完全に剥離する剥離手段とを備えている、ことを特徴と
するフィルム剥離搬送装置、が提供される。本発明の更
に他の局面によれば、片面又は両面に対してフィルムが
貼着された基板を水平な姿勢で搬入位置に搬入する搬入
手段と、搬入位置に搬入された基板を、両面が基板の搬
入幅方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手
段と、鉛直な姿勢に変換された基板を、搬入方向前方に
設定された剥離位置へ向けて搬送するための搬送開始位
置へ鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置
決め手段と、搬送開始位置へ移動させられた基板の搬送
方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を
維持しながら基板を剥離位置へ搬送する基板搬送手段
と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィル
ムを完全に剥離する剥離手段とを備えている、ことを特
徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。フィル
ムが完全に剥離された基板を、剥離位置において搬送方
向両端部を解除自在にチャッキングして搬入位置とは反
対側の、剥離位置の前方に設定された搬出位置まで鉛直
な姿勢を維持しながら搬送する他の基板搬送手段を備え
ている、ことが好ましい。姿勢変換手段は、基板を、水
平な姿勢に維持しながら搬入手段における搬入幅方向の
一側方向に搬入幅方向所定位置まで移動させる幅寄せ手
段と、搬入幅方向所定位置に移動させられた基板の該搬
入幅方向の一側領域に位置する一端部を解除自在にクラ
ンプして上方にかつ該搬入幅方向の他側まで旋回させて
鉛直な姿勢とする基板直立手段とを備え、搬送開始位置
決め手段は、基板直立手段により鉛直な姿勢とされた基
板の該一端部を解除自在に把持して該搬入幅方向に搬送
開始位置まで移動させるハンガーからなる、ことが好ま
しい。搬入手段は、該搬入方向に間隔をおいて水平に配
列されかつ該搬入幅方向に延在する複数の搬入ローラ体
と、搬入ローラ体の各々を回転駆動するための駆動源
と、搬入ローラ体の各々と駆動源とを駆動連結する動力
伝達機構とを備えている、ことが好ましい。搬入手段に
より搬入された基板を停止させて所定の搬入位置に位置
付けるためのストッパが備えられ、該ストッパは、該搬
入方向の最下流位置に配置された搬入ローラ体の更に下
流位置において、基板の搬送面から上方に突出させられ
ている、ことが好ましい。幅寄せ手段は、複数の搬入ロ
ーラ体の間に配置されかつ該搬入幅方向に延在する複数
の支持部材を含む支持ユニットと、支持ユニットを支持
しかつ支持ユニットに作用して支持部材の各々を基板の
搬送面よりも低い非支持位置と複数の搬入ローラ体の間
において基板の搬送面よりも上方に突出した支持位置と
の間を選択的に昇降させる昇降アクチュエータと、昇降
アクチュエータを支持しかつ昇降アクチュエータに作用
して支持部材の各々を搬入幅方向待機位置と搬入幅方向
待機位置よりも該搬入幅方向の一側寄りの一側寄り所定
位置との間を選択的に往復移動させる幅寄せアクチュエ
ータとを備え、基板が所定の搬入位置に搬入された状態
で、昇降アクチュエータを作動させて支持部材の各々を
非支持位置から支持位置に上昇させると、支持部材の各
々は、基板を相対的に載置して複数の搬入ローラ体の上
方に持ち上げて複数の搬入ローラ体から離隔させ、続い
て幅寄せアクチュエータを作動させて支持部材の各々を
搬入幅方向待機位置から一側寄り所定位置に移動させる
と、支持部材の各々上に載置された基板は所定の搬入位
置から搬入幅方向所定位置に移動させられる、ことが好
ましい。幅寄せアクチュエータにより所定の搬入位置か
ら該搬入幅方向の一側方向に向かって移動させられた基
板を停止させて搬入幅方向所定位置に位置付けるための
ストッパが備えられ、該ストッパは、該搬入幅方向の一
側領域に配置された複数の直立ピンからなり、直立ピン
の各々は、支持部材の各々上に載置された基板よりも上
方に突出させられている、ことが好ましい。基板直立手
段は、該搬入幅方向の他側において該搬入方向に延在す
る旋回軸と、該搬入方向に間隔をおいて配置されかつ一
端部が旋回軸に一体に連結されると共に他端部にクラン
プ機構が配設された複数の旋回フレームと、旋回フレー
ムの各々を、複数の搬入ローラ体間において基板の搬送
面の下方を該搬入幅方向に延在する水平待機位置と、該
搬入幅方向の他側において直立する直立位置との間を選
択的に旋回させる旋回アクチュエータとを備えている、
ことが好ましい。クランプ機構の各々は、旋回フレーム
が水平待機位置に位置付けられた状態において、水平な
上面からなる被クランプ面を有する静止クランプ部材
と、平坦なクランプ面を有しかつ該クランプ面が静止ク
ランプ部材の被クランプ面に対し上方から圧接するクラ
ンプ位置と、該クランプ面が静止クランプ部材の被クラ
ンプ面から上方にかつ該搬入幅方向の一側方向外側に離
隔するクランプ解除位置との間を旋回自在な可動クラン
プ部材と、可動クランプ部材をクランプ位置に常時付勢
するばね手段と、可動クランプ部材を旋回させるクラン
プアクチュエータとを備え、クランプアクチュエータを
作動させると、可動クランプ部材はばね手段のばね力に
抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させら
れ、クランプアクチュエータの作動を解除すると、可動
クランプ部材はばね手段のばね力によりクランプ解除位
置からクランプ位置に旋回させられる、ことが好まし
い。旋回フレームの各々が水平待機位置に位置付けられ
かつ可動クランプ部材がクランプ解除位置に位置付けら
れた状態で、幅寄せ手段における昇降アクチュエータ及
び幅寄せアクチュエータを作動させて基板を所定の搬入
位置から搬入幅方向所定位置に移動させると、基板の該
一端部は、クランプ機構の各々における静止クランプ部
材の被クランプ面上に位置付けられ、この状態でクラン
プアクチュエータの作動を解除してばね手段のばね力に
より可動クランプ部材をクランプ解除位置からクランプ
位置に旋回させると、基板の該一端部は、静止クランプ
部材の被クランプ面と可動クランプ部材のクランプ面と
によりクランプされ、続いて旋回アクチュエータを作動
させて旋回フレームの各々を水平待機位置から直立位置
に旋回させると、基板は、該搬入幅方向の他側におい
て、該一端部を上にした鉛直な姿勢でクランプされる、
ことが好ましい。ハンガーは、該搬入方向に延在する支
持フレームに間隔をおいて配置された複数の把持ユニッ
トと、支持フレームを支持しかつ支持フレームに作用し
て把持ユニットの各々を上方待機位置と上方待機位置よ
りも下方の基板把持可能位置との間を選択的に昇降させ
る昇降アクチュエータと、昇降アクチュエータを支持し
かつ昇降アクチュエータに作用して把持ユニットの各々
を該搬入幅方向の他側待機位置と該搬入幅方向の中間領
域に設定された該搬送開始位置との間を選択的に移動さ
せる搬送開始位置決めアクチュエータとを備えている、
ことが好ましい。把持ユニットの各々は、それぞれ一端
部が該搬入方向に延在する軸線まわりに旋回自在な一対
の把持部材と、把持部材の各々を、把持部材の各々の他
端部に配設された把持面が各々の旋回軸線よりも下方位
置において相互に該搬入幅方向に圧接される把持位置
と、該把持面が該搬入幅方向外方の上方に離隔される把
持解除位置との間を選択的に旋回させる把持アクチュエ
ータとを備えている、ことが好ましい。基板搬送手段
は、該搬送開始位置に対して、該搬入幅方向の一側寄り
の位置を該搬入方向に延在する支持フレームと、支持フ
レームにおける該搬入方向上流側に配設された上流側チ
ャッキング機構であって、該搬送開始位置に位置付けら
れた基板の搬入方向後端部を解除自在にチャッキングす
る上流側チャッキング機構と、支持フレームにおける該
搬入方向下流側において上流側チャッキング機構に対し
間隔をおいて配設された下流側チャッキング機構であっ
て、該搬送開始位置に移動させられた基板の搬入方向前
端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング
機構と、支持フレームに作用して該チャッキング機構の
各々を一体的に該搬送開始位置と剥離位置との間を選択
的に移動させる基板搬送アクチュエータとを備えてい
る、ことが好ましい。相互に実質的に同じ構成を有しか
つ該搬入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設された
該チャッキング機構の各々は、支持フレームに対し鉛直
軸まわりに旋回自在に支持された第１の可動チャッキン
グ体であって、鉛直面からなる被圧接面を有すると共に
該被圧接面が該搬入幅方向の他側に向けられたチャッキ
ング位置と、該被圧接面がチャッキング位置に対し該搬
入幅方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除
位置との間を旋回自在な第１の可動チャッキング体と、
第１の可動チャッキング体の、チャッキング解除位置か
らチャッキング位置への旋回をチャッキング位置で阻止
するよう支持フレームに配設されたストッパと、第１の
可動チャッキング体に対し鉛直軸まわりに旋回自在に支
持された第２の可動チャッキング体であって、鉛直面か
らなる圧接面を有すると共に該圧接面が、チャッキング
位置に位置付けられた第１の可動チャッキング体の該被
圧接面に圧接されるチャッキング位置と、該圧接面がチ
ャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避さ
せられたチャッキング解除位置との間を旋回自在な第２
の可動チャッキング体と、第２の可動チャッキング体と
支持フレームとの間に配設されて第２及び第１の可動チ
ャッキング体をチャッキング位置に常時付勢するばね手
段と、第２の可動チャッキング体に作用して第２及び第
１の可動チャッキング体をばね手段のばね力に抗してチ
ャッキング位置からチャッキング解除位置へ旋回させる
よう、支持フレームに配設されたチャッキングアクチュ
エータとを備えている、ことが好ましい。該チャッキン
グ機構の各々の第１の可動チャッキング体には、第２の
可動チャッキング体のチャッキング位置からチャッキン
グ解除位置への旋回を途中で阻止するストッパが配設さ
れ、チャッキングアクチュエータを作動させると、第１
の可動チャッキング体がばね手段のばね力により支持フ
レームに配設されたストッパにより阻止されてチャッキ
ング位置に位置付けられた状態で、第２の可動チャッキ
ング体は、ばね手段のばね力に抗して第１の可動チャッ
キング体のストッパにより阻止されるまで第１の可動チ
ャッキング体に対して旋回させられて該圧接面が第１の
可動チャッキング体の該被圧接面から実質的に該搬入幅
方向の他側方向に離隔させられ、第２の可動チャッキン
グ体の、第１の可動チャッキング体に対する旋回が第１
の可動チャッキング体のストッパにより阻止された後に
は、第２の可動チャッキング体及び第１の可動チャッキ
ング体は相対移動することなく一体的にばね手段のばね
力に抗してチャッキング解除位置へ旋回させられる、こ
とが好ましい。上流側及び下流側チャッキング機構の各
々のチャッキングアクチュエータを作動させて上流側及
び下流側チャッキング機構の各々の第１及び第２の可動
チャッキング体がチャッキング解除位置に位置付けられ
た状態で、搬送開始位置決め手段により基板が該鉛直な
姿勢で搬送開始位置に位置付けられ、続いて、上流側及
び下流側チャッキング機構の各々のチャッキングアクチ
ュエータの作動を解除すると、上流側チャッキング機構
においては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャ
ッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させら
れ、第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板の
片面に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置か
ら旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における
搬入方向後端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片
面に当接ないし近接して対向させられ、第２の可動チャ
ッキング体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向
後端の後方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位
置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の他側方向
に面した他面を介して第１の可動チャッキング体の該被
圧接面に圧接させられることにより、基板の該搬入方向
後端部がチャッキングされ、下流側チャッキング機構に
おいては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャッ
キング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、
第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板に対
し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回し
て、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向
前端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接
ないし近接して対向させられ、第２の可動チャッキング
体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向前端の前
方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置におけ
る搬入方向前端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した
他面を介して第１の可動チャッキング体の該被圧接面に
圧接させられることにより、基板の該搬入方向前端部が
チャッキングされる、ことが好ましい。支持フレームに
は基板のサイズに対応するために上流側チャッキング機
構を該搬送方向に往復移動させるアクチュエータが配設
されている、ことが好ましい。剥離手段は、鉛直方向に
昇降自在に配設された可動支持枠体と、可動支持枠体を
昇降させる昇降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に
相互に対向して配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に
可動支持枠体に配設された一対のフィルムガイドクラン
プ部材と、可動支持枠体に配設されてフィルムガイドク
ランプ部材の各々を、剥離位置に搬送された基板の該一
端部近傍の領域であって、フィルムの一端部よりも基板
の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面
をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域か
ら該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クラン
プを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動さ
せる一対のフィルムガイドクランプアクチュエータと、
フィルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接される
クランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の
上面から退避するクランプ解除位置との間を旋回自在に
フィルムガイドクランプ部材の各々に支持された複数の
フィルムクランプ部材と、フィルムクランプ部材の各々
をクランプ位置に常時付勢するばね手段と、フィルムガ
イドクランプ部材の各々に配設されてフィルムクランプ
部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置か
らクランプ解除位置に旋回させるフィルムクランプアク
チュエータと、基板の該一端部の両面をクランプするク
ランプ位置と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上
方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクラ
ンプ解除位置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送され
た基板の該一端部の上方に配設された複数対の基板クラ
ンプ部材対と、基板クランプ部材対を構成する基板クラ
ンプ部材の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段
と、基板クランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗し
てクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる基板
クランプアクチュエータと、基板の、少なくとも該一端
部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する
圧力気体噴射手段とを備えている、ことが好ましい。フ
ィルムガイドクランプ部材の各々がクランプ位置に位置
付けられて基板がフィルムガイドクランプ部材の各々に
よりクランプされかつ基板クランプ部材対の各々がクラ
ンプ解除位置に位置付けられると共にフィルムクランプ
部材の各々がクランプ解除位置に位置付けられた状態
で、圧力気体噴射手段によって基板の、少なくとも該一
端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射す
ることにより基板の片面又は両面からフィルムの一端部
を部分的に剥離させてフィルムガイドクランプ部材の一
方又は両方の上面に押し付け、続いて圧力気体噴射手段
から圧力気体を噴射しながらフィルムクランプアクチュ
エータの作動を解除してフィルムクランプ部材の各々を
ばね手段のばね力によりクランプ位置に旋回させてフィ
ルムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面に押し付
けられたフィルムの一端部をフィルムガイドクランプ部
材の一方又は両方の上面にクランプし、次に、基板クラ
ンプアクチュエータの作動を解除してばね部材のばね力
により基板クランプ部材対の各々をクランプ位置に旋回
させて基板の該一端部をクランプした後、フィルムガイ
ドクランプアクチュエータを作動させてフィルムガイド
クランプ部材の各々を、クランプ位置に位置付けられた
フィルムクランプ部材の各々と共にクランプ解除位置に
移動させ、続いて昇降アクチュエータにより可動支持枠
体と共にフィルムガイドクランプ部材の各々及びフィル
ムクランプ部材の各々を下降させることにより基板の片
面又は両面からフィルムを完全に剥離した後、フィルム
クランプアクチュエータを作動させてフィルムクランプ
部材の各々をクランプ解除位置に旋回させてフィルムガ
イドクランプ部材の各々の一方又は両方の上面に対する
フィルムのクランプを解除する、ことが好ましい。基板
から完全に剥離されたフィルムに向けて上方から圧力気
体を噴射して該フィルムを下方に強制的に排出する圧力
気体噴射手段を備えている、ことが好ましい。
に向かって基板の搬送を開始する搬送開始位置へ、両面
が基板の搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で投入され
た、片面又は両面に対してフィルムが貼着された基板の
搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿
勢を維持しながら剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、
剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを
完全に剥離する剥離手段とを備えている、ことを特徴と
するフィルム剥離搬送装置、が提供される。本発明の更
に他の局面によれば、片面又は両面に対してフィルムが
貼着された基板を水平な姿勢で搬入位置に搬入する搬入
手段と、搬入位置に搬入された基板を、両面が基板の搬
入幅方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手
段と、鉛直な姿勢に変換された基板を、搬入方向前方に
設定された剥離位置へ向けて搬送するための搬送開始位
置へ鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置
決め手段と、搬送開始位置へ移動させられた基板の搬送
方向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を
維持しながら基板を剥離位置へ搬送する基板搬送手段
と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィル
ムを完全に剥離する剥離手段とを備えている、ことを特
徴とするフィルム剥離搬送装置、が提供される。フィル
ムが完全に剥離された基板を、剥離位置において搬送方
向両端部を解除自在にチャッキングして搬入位置とは反
対側の、剥離位置の前方に設定された搬出位置まで鉛直
な姿勢を維持しながら搬送する他の基板搬送手段を備え
ている、ことが好ましい。姿勢変換手段は、基板を、水
平な姿勢に維持しながら搬入手段における搬入幅方向の
一側方向に搬入幅方向所定位置まで移動させる幅寄せ手
段と、搬入幅方向所定位置に移動させられた基板の該搬
入幅方向の一側領域に位置する一端部を解除自在にクラ
ンプして上方にかつ該搬入幅方向の他側まで旋回させて
鉛直な姿勢とする基板直立手段とを備え、搬送開始位置
決め手段は、基板直立手段により鉛直な姿勢とされた基
板の該一端部を解除自在に把持して該搬入幅方向に搬送
開始位置まで移動させるハンガーからなる、ことが好ま
しい。搬入手段は、該搬入方向に間隔をおいて水平に配
列されかつ該搬入幅方向に延在する複数の搬入ローラ体
と、搬入ローラ体の各々を回転駆動するための駆動源
と、搬入ローラ体の各々と駆動源とを駆動連結する動力
伝達機構とを備えている、ことが好ましい。搬入手段に
より搬入された基板を停止させて所定の搬入位置に位置
付けるためのストッパが備えられ、該ストッパは、該搬
入方向の最下流位置に配置された搬入ローラ体の更に下
流位置において、基板の搬送面から上方に突出させられ
ている、ことが好ましい。幅寄せ手段は、複数の搬入ロ
ーラ体の間に配置されかつ該搬入幅方向に延在する複数
の支持部材を含む支持ユニットと、支持ユニットを支持
しかつ支持ユニットに作用して支持部材の各々を基板の
搬送面よりも低い非支持位置と複数の搬入ローラ体の間
において基板の搬送面よりも上方に突出した支持位置と
の間を選択的に昇降させる昇降アクチュエータと、昇降
アクチュエータを支持しかつ昇降アクチュエータに作用
して支持部材の各々を搬入幅方向待機位置と搬入幅方向
待機位置よりも該搬入幅方向の一側寄りの一側寄り所定
位置との間を選択的に往復移動させる幅寄せアクチュエ
ータとを備え、基板が所定の搬入位置に搬入された状態
で、昇降アクチュエータを作動させて支持部材の各々を
非支持位置から支持位置に上昇させると、支持部材の各
々は、基板を相対的に載置して複数の搬入ローラ体の上
方に持ち上げて複数の搬入ローラ体から離隔させ、続い
て幅寄せアクチュエータを作動させて支持部材の各々を
搬入幅方向待機位置から一側寄り所定位置に移動させる
と、支持部材の各々上に載置された基板は所定の搬入位
置から搬入幅方向所定位置に移動させられる、ことが好
ましい。幅寄せアクチュエータにより所定の搬入位置か
ら該搬入幅方向の一側方向に向かって移動させられた基
板を停止させて搬入幅方向所定位置に位置付けるための
ストッパが備えられ、該ストッパは、該搬入幅方向の一
側領域に配置された複数の直立ピンからなり、直立ピン
の各々は、支持部材の各々上に載置された基板よりも上
方に突出させられている、ことが好ましい。基板直立手
段は、該搬入幅方向の他側において該搬入方向に延在す
る旋回軸と、該搬入方向に間隔をおいて配置されかつ一
端部が旋回軸に一体に連結されると共に他端部にクラン
プ機構が配設された複数の旋回フレームと、旋回フレー
ムの各々を、複数の搬入ローラ体間において基板の搬送
面の下方を該搬入幅方向に延在する水平待機位置と、該
搬入幅方向の他側において直立する直立位置との間を選
択的に旋回させる旋回アクチュエータとを備えている、
ことが好ましい。クランプ機構の各々は、旋回フレーム
が水平待機位置に位置付けられた状態において、水平な
上面からなる被クランプ面を有する静止クランプ部材
と、平坦なクランプ面を有しかつ該クランプ面が静止ク
ランプ部材の被クランプ面に対し上方から圧接するクラ
ンプ位置と、該クランプ面が静止クランプ部材の被クラ
ンプ面から上方にかつ該搬入幅方向の一側方向外側に離
隔するクランプ解除位置との間を旋回自在な可動クラン
プ部材と、可動クランプ部材をクランプ位置に常時付勢
するばね手段と、可動クランプ部材を旋回させるクラン
プアクチュエータとを備え、クランプアクチュエータを
作動させると、可動クランプ部材はばね手段のばね力に
抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させら
れ、クランプアクチュエータの作動を解除すると、可動
クランプ部材はばね手段のばね力によりクランプ解除位
置からクランプ位置に旋回させられる、ことが好まし
い。旋回フレームの各々が水平待機位置に位置付けられ
かつ可動クランプ部材がクランプ解除位置に位置付けら
れた状態で、幅寄せ手段における昇降アクチュエータ及
び幅寄せアクチュエータを作動させて基板を所定の搬入
位置から搬入幅方向所定位置に移動させると、基板の該
一端部は、クランプ機構の各々における静止クランプ部
材の被クランプ面上に位置付けられ、この状態でクラン
プアクチュエータの作動を解除してばね手段のばね力に
より可動クランプ部材をクランプ解除位置からクランプ
位置に旋回させると、基板の該一端部は、静止クランプ
部材の被クランプ面と可動クランプ部材のクランプ面と
によりクランプされ、続いて旋回アクチュエータを作動
させて旋回フレームの各々を水平待機位置から直立位置
に旋回させると、基板は、該搬入幅方向の他側におい
て、該一端部を上にした鉛直な姿勢でクランプされる、
ことが好ましい。ハンガーは、該搬入方向に延在する支
持フレームに間隔をおいて配置された複数の把持ユニッ
トと、支持フレームを支持しかつ支持フレームに作用し
て把持ユニットの各々を上方待機位置と上方待機位置よ
りも下方の基板把持可能位置との間を選択的に昇降させ
る昇降アクチュエータと、昇降アクチュエータを支持し
かつ昇降アクチュエータに作用して把持ユニットの各々
を該搬入幅方向の他側待機位置と該搬入幅方向の中間領
域に設定された該搬送開始位置との間を選択的に移動さ
せる搬送開始位置決めアクチュエータとを備えている、
ことが好ましい。把持ユニットの各々は、それぞれ一端
部が該搬入方向に延在する軸線まわりに旋回自在な一対
の把持部材と、把持部材の各々を、把持部材の各々の他
端部に配設された把持面が各々の旋回軸線よりも下方位
置において相互に該搬入幅方向に圧接される把持位置
と、該把持面が該搬入幅方向外方の上方に離隔される把
持解除位置との間を選択的に旋回させる把持アクチュエ
ータとを備えている、ことが好ましい。基板搬送手段
は、該搬送開始位置に対して、該搬入幅方向の一側寄り
の位置を該搬入方向に延在する支持フレームと、支持フ
レームにおける該搬入方向上流側に配設された上流側チ
ャッキング機構であって、該搬送開始位置に位置付けら
れた基板の搬入方向後端部を解除自在にチャッキングす
る上流側チャッキング機構と、支持フレームにおける該
搬入方向下流側において上流側チャッキング機構に対し
間隔をおいて配設された下流側チャッキング機構であっ
て、該搬送開始位置に移動させられた基板の搬入方向前
端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング
機構と、支持フレームに作用して該チャッキング機構の
各々を一体的に該搬送開始位置と剥離位置との間を選択
的に移動させる基板搬送アクチュエータとを備えてい
る、ことが好ましい。相互に実質的に同じ構成を有しか
つ該搬入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設された
該チャッキング機構の各々は、支持フレームに対し鉛直
軸まわりに旋回自在に支持された第１の可動チャッキン
グ体であって、鉛直面からなる被圧接面を有すると共に
該被圧接面が該搬入幅方向の他側に向けられたチャッキ
ング位置と、該被圧接面がチャッキング位置に対し該搬
入幅方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除
位置との間を旋回自在な第１の可動チャッキング体と、
第１の可動チャッキング体の、チャッキング解除位置か
らチャッキング位置への旋回をチャッキング位置で阻止
するよう支持フレームに配設されたストッパと、第１の
可動チャッキング体に対し鉛直軸まわりに旋回自在に支
持された第２の可動チャッキング体であって、鉛直面か
らなる圧接面を有すると共に該圧接面が、チャッキング
位置に位置付けられた第１の可動チャッキング体の該被
圧接面に圧接されるチャッキング位置と、該圧接面がチ
ャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避さ
せられたチャッキング解除位置との間を旋回自在な第２
の可動チャッキング体と、第２の可動チャッキング体と
支持フレームとの間に配設されて第２及び第１の可動チ
ャッキング体をチャッキング位置に常時付勢するばね手
段と、第２の可動チャッキング体に作用して第２及び第
１の可動チャッキング体をばね手段のばね力に抗してチ
ャッキング位置からチャッキング解除位置へ旋回させる
よう、支持フレームに配設されたチャッキングアクチュ
エータとを備えている、ことが好ましい。該チャッキン
グ機構の各々の第１の可動チャッキング体には、第２の
可動チャッキング体のチャッキング位置からチャッキン
グ解除位置への旋回を途中で阻止するストッパが配設さ
れ、チャッキングアクチュエータを作動させると、第１
の可動チャッキング体がばね手段のばね力により支持フ
レームに配設されたストッパにより阻止されてチャッキ
ング位置に位置付けられた状態で、第２の可動チャッキ
ング体は、ばね手段のばね力に抗して第１の可動チャッ
キング体のストッパにより阻止されるまで第１の可動チ
ャッキング体に対して旋回させられて該圧接面が第１の
可動チャッキング体の該被圧接面から実質的に該搬入幅
方向の他側方向に離隔させられ、第２の可動チャッキン
グ体の、第１の可動チャッキング体に対する旋回が第１
の可動チャッキング体のストッパにより阻止された後に
は、第２の可動チャッキング体及び第１の可動チャッキ
ング体は相対移動することなく一体的にばね手段のばね
力に抗してチャッキング解除位置へ旋回させられる、こ
とが好ましい。上流側及び下流側チャッキング機構の各
々のチャッキングアクチュエータを作動させて上流側及
び下流側チャッキング機構の各々の第１及び第２の可動
チャッキング体がチャッキング解除位置に位置付けられ
た状態で、搬送開始位置決め手段により基板が該鉛直な
姿勢で搬送開始位置に位置付けられ、続いて、上流側及
び下流側チャッキング機構の各々のチャッキングアクチ
ュエータの作動を解除すると、上流側チャッキング機構
においては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャ
ッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させら
れ、第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板の
片面に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置か
ら旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における
搬入方向後端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片
面に当接ないし近接して対向させられ、第２の可動チャ
ッキング体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向
後端の後方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位
置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の他側方向
に面した他面を介して第１の可動チャッキング体の該被
圧接面に圧接させられることにより、基板の該搬入方向
後端部がチャッキングされ、下流側チャッキング機構に
おいては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャッ
キング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、
第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板に対
し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回し
て、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向
前端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接
ないし近接して対向させられ、第２の可動チャッキング
体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向前端の前
方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置におけ
る搬入方向前端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した
他面を介して第１の可動チャッキング体の該被圧接面に
圧接させられることにより、基板の該搬入方向前端部が
チャッキングされる、ことが好ましい。支持フレームに
は基板のサイズに対応するために上流側チャッキング機
構を該搬送方向に往復移動させるアクチュエータが配設
されている、ことが好ましい。剥離手段は、鉛直方向に
昇降自在に配設された可動支持枠体と、可動支持枠体を
昇降させる昇降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に
相互に対向して配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に
可動支持枠体に配設された一対のフィルムガイドクラン
プ部材と、可動支持枠体に配設されてフィルムガイドク
ランプ部材の各々を、剥離位置に搬送された基板の該一
端部近傍の領域であって、フィルムの一端部よりも基板
の他端方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面
をクランプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域か
ら該搬送幅方向外方に向かって相互に離隔して該クラン
プを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移動さ
せる一対のフィルムガイドクランプアクチュエータと、
フィルムガイドクランプ部材の各々の上面に圧接される
クランプ位置と、フィルムガイドクランプ部材の各々の
上面から退避するクランプ解除位置との間を旋回自在に
フィルムガイドクランプ部材の各々に支持された複数の
フィルムクランプ部材と、フィルムクランプ部材の各々
をクランプ位置に常時付勢するばね手段と、フィルムガ
イドクランプ部材の各々に配設されてフィルムクランプ
部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ位置か
らクランプ解除位置に旋回させるフィルムクランプアク
チュエータと、基板の該一端部の両面をクランプするク
ランプ位置と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上
方に向かって相互に離隔して該クランプを解除するクラ
ンプ解除位置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送され
た基板の該一端部の上方に配設された複数対の基板クラ
ンプ部材対と、基板クランプ部材対を構成する基板クラ
ンプ部材の各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段
と、基板クランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗し
てクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させる基板
クランプアクチュエータと、基板の、少なくとも該一端
部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射する
圧力気体噴射手段とを備えている、ことが好ましい。フ
ィルムガイドクランプ部材の各々がクランプ位置に位置
付けられて基板がフィルムガイドクランプ部材の各々に
よりクランプされかつ基板クランプ部材対の各々がクラ
ンプ解除位置に位置付けられると共にフィルムクランプ
部材の各々がクランプ解除位置に位置付けられた状態
で、圧力気体噴射手段によって基板の、少なくとも該一
端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射す
ることにより基板の片面又は両面からフィルムの一端部
を部分的に剥離させてフィルムガイドクランプ部材の一
方又は両方の上面に押し付け、続いて圧力気体噴射手段
から圧力気体を噴射しながらフィルムクランプアクチュ
エータの作動を解除してフィルムクランプ部材の各々を
ばね手段のばね力によりクランプ位置に旋回させてフィ
ルムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面に押し付
けられたフィルムの一端部をフィルムガイドクランプ部
材の一方又は両方の上面にクランプし、次に、基板クラ
ンプアクチュエータの作動を解除してばね部材のばね力
により基板クランプ部材対の各々をクランプ位置に旋回
させて基板の該一端部をクランプした後、フィルムガイ
ドクランプアクチュエータを作動させてフィルムガイド
クランプ部材の各々を、クランプ位置に位置付けられた
フィルムクランプ部材の各々と共にクランプ解除位置に
移動させ、続いて昇降アクチュエータにより可動支持枠
体と共にフィルムガイドクランプ部材の各々及びフィル
ムクランプ部材の各々を下降させることにより基板の片
面又は両面からフィルムを完全に剥離した後、フィルム
クランプアクチュエータを作動させてフィルムクランプ
部材の各々をクランプ解除位置に旋回させてフィルムガ
イドクランプ部材の各々の一方又は両方の上面に対する
フィルムのクランプを解除する、ことが好ましい。基板
から完全に剥離されたフィルムに向けて上方から圧力気
体を噴射して該フィルムを下方に強制的に排出する圧力
気体噴射手段を備えている、ことが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の好適実施
形態を詳細に説明する。
明に従って構成されたフィルム剥離搬送装置の好適実施
形態を詳細に説明する。
【００１６】図１〜図３を参照して、本発明によるフィ
ルム剥離搬送装置は、フィルムＦが貼着された基板Ｐ
（後述する）を、基板Ｐの搬送幅方向における両端部を
離脱自在に保持した状態で、受取位置Ｘ１から剥離位置
Ｘ２へ、そして剥離位置Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送
する基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２においてフィ
ルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段２００と
を備えている。基板搬送手段１００によって剥離位置Ｘ
２に搬送された基板Ｐは、鉛直な姿勢で剥離手段２００
によりフィルムが完全に剥離される。基板搬送手段１０
０は、受取位置Ｘ１において基板Ｐをほぼ水平な姿勢で
受け取り、受取位置Ｘ１で水平な姿勢で受け取った基板
Ｐを、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢となるよう剥離
位置Ｘ２まで搬送し、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢
で剥離手段２００によりフィルムＦが完全に剥離された
基板Ｐを、搬出位置Ｘ３において水平な姿勢となるよう
搬出位置Ｘ３まで搬送する。
ルム剥離搬送装置は、フィルムＦが貼着された基板Ｐ
（後述する）を、基板Ｐの搬送幅方向における両端部を
離脱自在に保持した状態で、受取位置Ｘ１から剥離位置
Ｘ２へ、そして剥離位置Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送
する基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２においてフィ
ルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段２００と
を備えている。基板搬送手段１００によって剥離位置Ｘ
２に搬送された基板Ｐは、鉛直な姿勢で剥離手段２００
によりフィルムが完全に剥離される。基板搬送手段１０
０は、受取位置Ｘ１において基板Ｐをほぼ水平な姿勢で
受け取り、受取位置Ｘ１で水平な姿勢で受け取った基板
Ｐを、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢となるよう剥離
位置Ｘ２まで搬送し、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢
で剥離手段２００によりフィルムＦが完全に剥離された
基板Ｐを、搬出位置Ｘ３において水平な姿勢となるよう
搬出位置Ｘ３まで搬送する。
【００１７】更に具体的に説明すると、フィルム剥離搬
送装置は、載置面１上に載置された静止枠体１０を備え
ている。静止枠体１０は、平面から見てほぼ矩形をなす
床枠体１２と、床枠体１２の４つの角部から垂下する４
本の下支柱１４と、床枠体１２の４つの角部から直立す
る４本の上支柱１５と、上支柱１５の各々の上端間を連
結するよう配設された４本の天井梁１６とを備えてい
る。天井梁１６の下側には、天井枠体１８が配設されて
いる。ほぼ水平に配設された床枠体１２の上面側には、
後述する基板搬送手段１００及び剥離手段２００が配設
されている。床枠体１２の下方における載置面１上に
は、後述するとおりにして基板Ｐから剥離されたフィル
ムＦを収容するための収容箱２が載置されている。収容
箱２は上端に図示しない開口を有している。
送装置は、載置面１上に載置された静止枠体１０を備え
ている。静止枠体１０は、平面から見てほぼ矩形をなす
床枠体１２と、床枠体１２の４つの角部から垂下する４
本の下支柱１４と、床枠体１２の４つの角部から直立す
る４本の上支柱１５と、上支柱１５の各々の上端間を連
結するよう配設された４本の天井梁１６とを備えてい
る。天井梁１６の下側には、天井枠体１８が配設されて
いる。ほぼ水平に配設された床枠体１２の上面側には、
後述する基板搬送手段１００及び剥離手段２００が配設
されている。床枠体１２の下方における載置面１上に
は、後述するとおりにして基板Ｐから剥離されたフィル
ムＦを収容するための収容箱２が載置されている。収容
箱２は上端に図示しない開口を有している。
【００１８】床枠体１２の上面側には基板搬送手段１０
０が配設されている。次に、主として図４〜図７を参照
して基板搬送手段１００について説明する。床枠体１２
には、一対の静止側枠１０２が、基板Ｐの搬送幅方向に
相互に間隔をおいて対向しかつ基板Ｐの搬送方向に相互
に平行に延在するよう配設されている。なお、基板Ｐの
搬送方向とは、図１及び図２において実質的に右から左
に向かう方向、図３において実質的に紙面の表から裏に
向かう方向を示し、また基板Ｐの搬送幅方向とは、基板
Ｐの搬送方向に対し水平に直交する方向であって、図１
において紙面の表裏方向、図２において上下方向、図３
において左右方向を示すものである。静止側枠１０２の
各々間には、複数の（実施形態においては２個の）それ
ぞれ丸棒からなるガイド部材１０４が、基板Ｐの搬送方
向に間隔をおいて配設されている。静止側枠１０２の各
々間における基板Ｐの搬送方向一方側（実施形態におい
ては図１及び図２において右方側であって、基板Ｐの搬
送方向上流側）端部には、駆動軸１０６が回転自在に支
持されている。また、静止側枠１０２の各々間における
基板Ｐの搬送方向他方側（実施形態においては図１及び
図２において左方側であって、基板Ｐの搬送方向下流
側）端部には、被駆動軸１０８が回転自在に支持されて
いる。駆動軸１０６は、図示しない動力伝達機構、例え
ば減速歯車機構を介して駆動源である電動モータＭ１に
駆動連結されている。駆動軸１０６及び被駆動軸１０８
はそれぞれスプラインシャフトから構成されている。
０が配設されている。次に、主として図４〜図７を参照
して基板搬送手段１００について説明する。床枠体１２
には、一対の静止側枠１０２が、基板Ｐの搬送幅方向に
相互に間隔をおいて対向しかつ基板Ｐの搬送方向に相互
に平行に延在するよう配設されている。なお、基板Ｐの
搬送方向とは、図１及び図２において実質的に右から左
に向かう方向、図３において実質的に紙面の表から裏に
向かう方向を示し、また基板Ｐの搬送幅方向とは、基板
Ｐの搬送方向に対し水平に直交する方向であって、図１
において紙面の表裏方向、図２において上下方向、図３
において左右方向を示すものである。静止側枠１０２の
各々間には、複数の（実施形態においては２個の）それ
ぞれ丸棒からなるガイド部材１０４が、基板Ｐの搬送方
向に間隔をおいて配設されている。静止側枠１０２の各
々間における基板Ｐの搬送方向一方側（実施形態におい
ては図１及び図２において右方側であって、基板Ｐの搬
送方向上流側）端部には、駆動軸１０６が回転自在に支
持されている。また、静止側枠１０２の各々間における
基板Ｐの搬送方向他方側（実施形態においては図１及び
図２において左方側であって、基板Ｐの搬送方向下流
側）端部には、被駆動軸１０８が回転自在に支持されて
いる。駆動軸１０６は、図示しない動力伝達機構、例え
ば減速歯車機構を介して駆動源である電動モータＭ１に
駆動連結されている。駆動軸１０６及び被駆動軸１０８
はそれぞれスプラインシャフトから構成されている。
【００１９】静止側枠１０２の各々の内側間において、
ガイド部材１０４の各々には、一対の可動側枠１１０が
ガイド部材１０４の各々に沿って移動自在に支持されて
いる。可動側枠１１０の各々は、静止側枠１０２の各々
に平行に基板Ｐの搬送方向に延在するよう配置されてい
る。可動側枠１１０の各々は、往復移動手段によって、
ガイド部材１０４の各々に沿って基板Ｐの搬送幅方向に
相互に接近及び離隔する方向に往復移動させられる。往
復移動手段は、静止側枠１０２の各々間に回転自在に支
持されたねじロッド部材１１２と、ねじロッド部材１１
２に、図示しない動力伝達機構、例えば減速歯車機構を
介して駆動連結された、駆動源である電動モータＭ２と
を備えている。可動側枠１１０の各々は、ねじロッド部
材１１２にねじ係合されている。駆動軸１０６、被駆動
軸１０８、ガイド部材１０４の各々及びねじロッド部材
１１２は、相互に平行であり、かつ各々の軸心は床枠体
１２の上面から同じ高さに配置されている。なお、往復
移動手段を流体圧シリンダ機構から構成する他の実施形
態もある。
ガイド部材１０４の各々には、一対の可動側枠１１０が
ガイド部材１０４の各々に沿って移動自在に支持されて
いる。可動側枠１１０の各々は、静止側枠１０２の各々
に平行に基板Ｐの搬送方向に延在するよう配置されてい
る。可動側枠１１０の各々は、往復移動手段によって、
ガイド部材１０４の各々に沿って基板Ｐの搬送幅方向に
相互に接近及び離隔する方向に往復移動させられる。往
復移動手段は、静止側枠１０２の各々間に回転自在に支
持されたねじロッド部材１１２と、ねじロッド部材１１
２に、図示しない動力伝達機構、例えば減速歯車機構を
介して駆動連結された、駆動源である電動モータＭ２と
を備えている。可動側枠１１０の各々は、ねじロッド部
材１１２にねじ係合されている。駆動軸１０６、被駆動
軸１０８、ガイド部材１０４の各々及びねじロッド部材
１１２は、相互に平行であり、かつ各々の軸心は床枠体
１２の上面から同じ高さに配置されている。なお、往復
移動手段を流体圧シリンダ機構から構成する他の実施形
態もある。
【００２０】可動側枠１１０の各々の相互に対向する、
基板Ｐの搬送幅方向内側であって、基板Ｐの搬送方向一
方側には、それぞれ駆動輪である駆動スプロケット１１
４が回転自在に支持されている。駆動スプロケット１１
４は駆動軸１０６にスプライン結合されている。可動側
枠１１０の各々の相互に対向する、基板Ｐの搬送幅方向
内側であって、基板Ｐの搬送方向他方側には、それぞれ
被駆動輪である被駆動スプロケット１１６が回転自在に
支持されている。被駆動スプロケット１１６は、被駆動
軸１１６にスプライン結合されている。駆動スプロケッ
ト１１４と被駆動スプロケット１１６は相互に同径であ
る。駆動スプロケット１１４の各々と被駆動スプロケッ
ト１１６の各々間には、それぞれ無端部材であるチェー
ン１１８が巻き掛けられている。チェーン１１８の各々
は、対応する駆動スプロケット１１４に巻き掛けられ
た、基板Ｐの搬送方向の上流側端に位置する上流側半円
移動領域と、対応する被駆動スプロケット１１６に巻き
掛けられた、基板Ｐの搬送方向の下流側端に位置する下
流側半円移動領域と、上流側半円移動領域及び下流側半
円移動領域の上端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在す
る上水平移動領域と、上流側半円移動領域及び下流側半
円移動領域の下端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在す
る下水平移動領域とを備えている。チェーン１１８の各
々を、基板Ｐの上水平移動領域に沿って実質的に水平に
案内するため、対応する可動側枠１１０には、一対のガ
イド部材１１８ａ及び１１８ｂ（図７及び図１参照）が
上下方向に間隔をおいて基板Ｐの搬送方向に実質的に水
平にかつ平行に延在して、チェーン１１８の各々を該領
域において上下方向から相対移動自在に挟むよう配設さ
れている。またチェーン１１８の各々を、基板Ｐの下水
平移動領域に沿って実質的に水平に案内するため、対応
する可動側枠１１０には、ガイド部材１１８ｃ（図１参
照）が基板Ｐの搬送方向に実質的に水平に延在して、チ
ェーン１１８の各々を該領域において下方から支持する
よう配設されている。なお、駆動スプロケット１１４の
各々、被駆動スプロケット１１６の各々及びチェーン１
１８の各々による駆動手段に代えて、歯付きプーリ、歯
付きベルトの組合せからなる駆動手段とする他の実施形
態もある。
基板Ｐの搬送幅方向内側であって、基板Ｐの搬送方向一
方側には、それぞれ駆動輪である駆動スプロケット１１
４が回転自在に支持されている。駆動スプロケット１１
４は駆動軸１０６にスプライン結合されている。可動側
枠１１０の各々の相互に対向する、基板Ｐの搬送幅方向
内側であって、基板Ｐの搬送方向他方側には、それぞれ
被駆動輪である被駆動スプロケット１１６が回転自在に
支持されている。被駆動スプロケット１１６は、被駆動
軸１１６にスプライン結合されている。駆動スプロケッ
ト１１４と被駆動スプロケット１１６は相互に同径であ
る。駆動スプロケット１１４の各々と被駆動スプロケッ
ト１１６の各々間には、それぞれ無端部材であるチェー
ン１１８が巻き掛けられている。チェーン１１８の各々
は、対応する駆動スプロケット１１４に巻き掛けられ
た、基板Ｐの搬送方向の上流側端に位置する上流側半円
移動領域と、対応する被駆動スプロケット１１６に巻き
掛けられた、基板Ｐの搬送方向の下流側端に位置する下
流側半円移動領域と、上流側半円移動領域及び下流側半
円移動領域の上端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在す
る上水平移動領域と、上流側半円移動領域及び下流側半
円移動領域の下端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在す
る下水平移動領域とを備えている。チェーン１１８の各
々を、基板Ｐの上水平移動領域に沿って実質的に水平に
案内するため、対応する可動側枠１１０には、一対のガ
イド部材１１８ａ及び１１８ｂ（図７及び図１参照）が
上下方向に間隔をおいて基板Ｐの搬送方向に実質的に水
平にかつ平行に延在して、チェーン１１８の各々を該領
域において上下方向から相対移動自在に挟むよう配設さ
れている。またチェーン１１８の各々を、基板Ｐの下水
平移動領域に沿って実質的に水平に案内するため、対応
する可動側枠１１０には、ガイド部材１１８ｃ（図１参
照）が基板Ｐの搬送方向に実質的に水平に延在して、チ
ェーン１１８の各々を該領域において下方から支持する
よう配設されている。なお、駆動スプロケット１１４の
各々、被駆動スプロケット１１６の各々及びチェーン１
１８の各々による駆動手段に代えて、歯付きプーリ、歯
付きベルトの組合せからなる駆動手段とする他の実施形
態もある。
【００２１】図２及び図７を参照して、可動側枠１１０
の各々の、基板Ｐの搬送方向上流側には、支持ブラケッ
ト１１１が配設されている。適宜の板部材からなる支持
ブラケット１１１の各々は、対応する可動側枠１１０か
ら、基板Ｐの搬送方向の上流に向かって水平に延び出す
基部１１１ａと、基部１１１ａの先端から基板Ｐの幅方
向内側に向かって水平に延び出す支持部１１１ｂとから
構成されている。支持ブラケット１１１の各々の支持部
１１１ｂの先端部には、それぞれ基板Ｐの幅方向端を検
出するための基板幅検出センサＳ１が配設されている。
基板幅検出センサＳ１の各々は、フィルム剥離搬送装置
の上流側に配置された図示しない、基板Ｐの投入装置か
ら後述する基板保持部材対１２０Ａに向かって投入され
る基板Ｐの両端を検出するためのセンサである。上記床
枠体１２の、基板Ｐの搬送方向上流側であって基板Ｐの
搬送幅方向の中央の上面には、適宜の帯状の板部材から
なる支持ブラケット１３が配設されている。支持ブラケ
ット１３は、基板Ｐの搬送方向に延在する基部１３ａ
と、基部１３ａの両端から直立する支持部１３ｂ及び１
３ｃとから構成されている。基板Ｐの搬送方向上流端に
位置する支持部１３ｂの頂部には、基板Ｐの投入装置か
ら基板保持部材対１２０Ａに向かって投入される基板Ｐ
の縦方向の先端を検出するための基板先端検出センサＳ
２が配設されている。基板Ｐの搬送方向下流端に位置す
る支持部１３ｃの頂部には、基板Ｐの投入装置から基板
保持部材対１２０Ａに投入された基板Ｐの縦方向の先端
を検出するための基板先端検出センサＳ３が配設されて
いる。光学式反射型センサでよい、基板幅検出センサＳ
１の各々は、後述するとおりにして受取位置Ｘ１におい
て基板保持部材対１２０Ａに水平な姿勢で投入される基
板Ｐの移動面の両端に下方から近接した位置に移動させ
られ、また基板先端検出センサＳ２及びＳ３の各々は、
基板Ｐの移動面に下方から近接した位置に配置されてい
る。
の各々の、基板Ｐの搬送方向上流側には、支持ブラケッ
ト１１１が配設されている。適宜の板部材からなる支持
ブラケット１１１の各々は、対応する可動側枠１１０か
ら、基板Ｐの搬送方向の上流に向かって水平に延び出す
基部１１１ａと、基部１１１ａの先端から基板Ｐの幅方
向内側に向かって水平に延び出す支持部１１１ｂとから
構成されている。支持ブラケット１１１の各々の支持部
１１１ｂの先端部には、それぞれ基板Ｐの幅方向端を検
出するための基板幅検出センサＳ１が配設されている。
基板幅検出センサＳ１の各々は、フィルム剥離搬送装置
の上流側に配置された図示しない、基板Ｐの投入装置か
ら後述する基板保持部材対１２０Ａに向かって投入され
る基板Ｐの両端を検出するためのセンサである。上記床
枠体１２の、基板Ｐの搬送方向上流側であって基板Ｐの
搬送幅方向の中央の上面には、適宜の帯状の板部材から
なる支持ブラケット１３が配設されている。支持ブラケ
ット１３は、基板Ｐの搬送方向に延在する基部１３ａ
と、基部１３ａの両端から直立する支持部１３ｂ及び１
３ｃとから構成されている。基板Ｐの搬送方向上流端に
位置する支持部１３ｂの頂部には、基板Ｐの投入装置か
ら基板保持部材対１２０Ａに向かって投入される基板Ｐ
の縦方向の先端を検出するための基板先端検出センサＳ
２が配設されている。基板Ｐの搬送方向下流端に位置す
る支持部１３ｃの頂部には、基板Ｐの投入装置から基板
保持部材対１２０Ａに投入された基板Ｐの縦方向の先端
を検出するための基板先端検出センサＳ３が配設されて
いる。光学式反射型センサでよい、基板幅検出センサＳ
１の各々は、後述するとおりにして受取位置Ｘ１におい
て基板保持部材対１２０Ａに水平な姿勢で投入される基
板Ｐの移動面の両端に下方から近接した位置に移動させ
られ、また基板先端検出センサＳ２及びＳ３の各々は、
基板Ｐの移動面に下方から近接した位置に配置されてい
る。
【００２２】再び主として図４〜図７を参照して、チェ
ーン１１８の各々の、相互に対向する内側であって、相
互に整合された周方向位置には（正確には、ピンを介し
て相互に連結されて、チェーン１１８の各々を構成する
リンク部材対のうち、チェーン１１８の各々間で、相互
に整合された周方向位置で相互に対向する内側のリンク
部材には）、それぞれ支持板１１９が相互に対向するよ
う一体に配設されている。相互に対向する支持板１１９
は支持板対を構成し、支持板対を構成する支持板１１９
の各々は実質的に鉛直面上に位置付けられる。支持板対
はまた、少なくとも１対配設されるが、実施形態におい
ては、チェーン１１８の各々に、周方向に間隔をおいて
複数対配設されている。支持板対を構成する支持板１１
９の各々には、基板保持部材１２０が相互に対向するよ
う配設されている。相互に対向する基板保持部材１２０
は、基板保持部材対１２０Ａを構成する。なお、上記説
明から明らかなように、基板搬送手段１００は、基板Ｐ
の搬送方向の一方側（上流側又は下流側）において相互
に基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて配設された一対の
駆動輪（実施形態においては一対の駆動スプロケット１
１４）と、基板Ｐの搬送方向の他方側（下流側又は上流
側）において相互に基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて
配設された一対の被駆動輪（実施形態においては一対の
被駆動スプロケット１１６）と、一対の駆動輪及び一対
の被駆動輪の各々間にそれぞれ巻き掛けられた無端部材
（実施形態においてチェーン１１８）とを備え、無端部
材の各々は、対応する駆動輪又は被駆動輪（実施形態に
おいては駆動輪）に巻き掛けられた、基板Ｐの搬送方向
の一方側端（実施形態においては上流側端）に位置する
一方側半円移動領域（実施形態においては上流側半円移
動領域）と、対応する被駆動輪又は駆動輪（実施形態に
おいては被駆動輪）に巻き掛けられた、基板Ｐの搬送方
向の他方側端（実施形態においては下流側端）に位置す
る他方側半円移動領域（実施形態においては下流側半円
移動領域）と、一方側半円移動領域及び他方側半円移動
領域の上端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在する上水
平移動領域と、一方側半円移動領域及び他方側半円移動
領域の下端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在する下水
平移動領域とを備えており、基板保持部材対１２０Ａを
構成する基板保持部材１２０の各々は、対応する無端部
材に、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて相互に対向す
るよう配設されている。したがって、基板保持部材対１
２０Ａは、一方側半円移動領域、上水平移動領域、他方
側半円移動領域及び下水平移動領域をこの順序で無端状
に（ループ状に）循環移動せしめられる。後の説明から
明らかなように、この実施形態において、基板Ｐの受取
位置Ｘ１は、一方側半円移動領域である上流側半円移動
領域に設定され、剥離位置Ｘ２は、上水平移動領域に設
定され、また搬出位置Ｘ３は他方側半円移動領域である
下流側半円移動領域に設定されている。
ーン１１８の各々の、相互に対向する内側であって、相
互に整合された周方向位置には（正確には、ピンを介し
て相互に連結されて、チェーン１１８の各々を構成する
リンク部材対のうち、チェーン１１８の各々間で、相互
に整合された周方向位置で相互に対向する内側のリンク
部材には）、それぞれ支持板１１９が相互に対向するよ
う一体に配設されている。相互に対向する支持板１１９
は支持板対を構成し、支持板対を構成する支持板１１９
の各々は実質的に鉛直面上に位置付けられる。支持板対
はまた、少なくとも１対配設されるが、実施形態におい
ては、チェーン１１８の各々に、周方向に間隔をおいて
複数対配設されている。支持板対を構成する支持板１１
９の各々には、基板保持部材１２０が相互に対向するよ
う配設されている。相互に対向する基板保持部材１２０
は、基板保持部材対１２０Ａを構成する。なお、上記説
明から明らかなように、基板搬送手段１００は、基板Ｐ
の搬送方向の一方側（上流側又は下流側）において相互
に基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて配設された一対の
駆動輪（実施形態においては一対の駆動スプロケット１
１４）と、基板Ｐの搬送方向の他方側（下流側又は上流
側）において相互に基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて
配設された一対の被駆動輪（実施形態においては一対の
被駆動スプロケット１１６）と、一対の駆動輪及び一対
の被駆動輪の各々間にそれぞれ巻き掛けられた無端部材
（実施形態においてチェーン１１８）とを備え、無端部
材の各々は、対応する駆動輪又は被駆動輪（実施形態に
おいては駆動輪）に巻き掛けられた、基板Ｐの搬送方向
の一方側端（実施形態においては上流側端）に位置する
一方側半円移動領域（実施形態においては上流側半円移
動領域）と、対応する被駆動輪又は駆動輪（実施形態に
おいては被駆動輪）に巻き掛けられた、基板Ｐの搬送方
向の他方側端（実施形態においては下流側端）に位置す
る他方側半円移動領域（実施形態においては下流側半円
移動領域）と、一方側半円移動領域及び他方側半円移動
領域の上端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在する上水
平移動領域と、一方側半円移動領域及び他方側半円移動
領域の下端間を水平に基板Ｐの搬送方向に延在する下水
平移動領域とを備えており、基板保持部材対１２０Ａを
構成する基板保持部材１２０の各々は、対応する無端部
材に、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて相互に対向す
るよう配設されている。したがって、基板保持部材対１
２０Ａは、一方側半円移動領域、上水平移動領域、他方
側半円移動領域及び下水平移動領域をこの順序で無端状
に（ループ状に）循環移動せしめられる。後の説明から
明らかなように、この実施形態において、基板Ｐの受取
位置Ｘ１は、一方側半円移動領域である上流側半円移動
領域に設定され、剥離位置Ｘ２は、上水平移動領域に設
定され、また搬出位置Ｘ３は他方側半円移動領域である
下流側半円移動領域に設定されている。
【００２３】支持板対を構成する支持板１１９の各々の
相互に対向する内側面には、矩形状の板部材からなる支
持部材１３０ａが装着されている。支持部材１３０ａの
各々は、基板Ｐの搬送幅方向に相互に対向するよう配置
される。相互に対向する支持部材１３０ａは支持部材対
を構成し、支持部材対を構成する支持部材１３０ａの各
々は実質的に鉛直面上に位置付けられる。支持部材対を
構成する支持部材１３０ａの各々には、基板保持部材対
１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を所定の
保持位置に位置付けて基板Ｐを保持する保持手段１３０
が、該基板保持部材１２０の各々に対応してそれぞれ備
えられている。保持手段１３０の各々は、ロッド部材１
３２と、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部
材１２０と、ばね部材である圧縮コイルばね１３６とを
備えている。支持部材対を構成する支持部材１３０ａの
各々には、ロッド部材１３２が基板Ｐの搬送幅方向に
（軸方向に）移動可能にかつ回転不可能に支持されてい
る。軸方向に移動可能にかつ回転不可能な支持手段は、
適宜の公知の手段、例えば支持部材１３０ａに配設され
た軸受部の支持孔とロッド部材１３２とを多角形の横断
面とすればよい。ロッド部材１３２の各々は、基板Ｐの
搬送幅方向に実質的に水平に延在する共通の軸線上に配
置され、対応する支持部材１３０ａから基板Ｐの搬送幅
方向内外に延び出している。ロッド部材１３２の各々
の、相互に対向する一端には、基板保持部材対１２０Ａ
を構成する基板保持部材１２０がそれぞれ一体に装着さ
れ、かつ他端にはロッド部材１３２よりも大径の被係止
大径部１３４が一体に配設されている。基板保持部材対
１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々と、基板
保持部材１２０の各々に対応する支持部材１３０ａとの
間には、圧縮コイルばね１３６が配設されている。基板
保持部材１２０の各々は、それぞれ圧縮コイルばね１３
６によって、ロッド部材１３２と共に相互に接近する方
向に付勢させられて所定の保持位置に位置付けられてい
る。なお、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持
部材１２０の各々を所定の保持位置に位置付けるため、
ロッド部材１３２の各々に適宜のストッパ手段、例えば
大径部を形成し、大径部をを圧縮コイルばね１３６のば
ね力により対応する支持部材１３０ａないしはそれと一
体の部材に当接させて、基板Ｐの搬送幅方向内側への移
動を規制しておくことが好ましい。
相互に対向する内側面には、矩形状の板部材からなる支
持部材１３０ａが装着されている。支持部材１３０ａの
各々は、基板Ｐの搬送幅方向に相互に対向するよう配置
される。相互に対向する支持部材１３０ａは支持部材対
を構成し、支持部材対を構成する支持部材１３０ａの各
々は実質的に鉛直面上に位置付けられる。支持部材対を
構成する支持部材１３０ａの各々には、基板保持部材対
１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を所定の
保持位置に位置付けて基板Ｐを保持する保持手段１３０
が、該基板保持部材１２０の各々に対応してそれぞれ備
えられている。保持手段１３０の各々は、ロッド部材１
３２と、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部
材１２０と、ばね部材である圧縮コイルばね１３６とを
備えている。支持部材対を構成する支持部材１３０ａの
各々には、ロッド部材１３２が基板Ｐの搬送幅方向に
（軸方向に）移動可能にかつ回転不可能に支持されてい
る。軸方向に移動可能にかつ回転不可能な支持手段は、
適宜の公知の手段、例えば支持部材１３０ａに配設され
た軸受部の支持孔とロッド部材１３２とを多角形の横断
面とすればよい。ロッド部材１３２の各々は、基板Ｐの
搬送幅方向に実質的に水平に延在する共通の軸線上に配
置され、対応する支持部材１３０ａから基板Ｐの搬送幅
方向内外に延び出している。ロッド部材１３２の各々
の、相互に対向する一端には、基板保持部材対１２０Ａ
を構成する基板保持部材１２０がそれぞれ一体に装着さ
れ、かつ他端にはロッド部材１３２よりも大径の被係止
大径部１３４が一体に配設されている。基板保持部材対
１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々と、基板
保持部材１２０の各々に対応する支持部材１３０ａとの
間には、圧縮コイルばね１３６が配設されている。基板
保持部材１２０の各々は、それぞれ圧縮コイルばね１３
６によって、ロッド部材１３２と共に相互に接近する方
向に付勢させられて所定の保持位置に位置付けられてい
る。なお、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持
部材１２０の各々を所定の保持位置に位置付けるため、
ロッド部材１３２の各々に適宜のストッパ手段、例えば
大径部を形成し、大径部をを圧縮コイルばね１３６のば
ね力により対応する支持部材１３０ａないしはそれと一
体の部材に当接させて、基板Ｐの搬送幅方向内側への移
動を規制しておくことが好ましい。
【００２４】基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保
持部材１２０の各々は、相互に間隔をおいて平行に延在
する一対の側壁１２２と、側壁１２２の各々の一端間を
連結する底壁１２４と、長手方向の一端を閉塞する端壁
１２６とからなる、ほぼチャンネル形の横断面形状を有
すると共に、チャンネル形の開放端が基板Ｐの搬送幅方
向に間隔をおいて対向せしめられている。後述するとお
りにして基板保持部材対１２０Ａに基板Ｐを受け入れて
保持するに際し、基板Ｐの受け入れを円滑にせしめるた
め、基板保持部材１２０の各々の一対の側壁１２２の各
々の先端部を、先端に向かって相互に離隔する方向に広
がるようなフレア形状ないしはテーパ付きの形状にして
おくことが好ましい。また同じ理由から、基板保持部材
１２０の各々の端壁１２６の先端部（底壁１２４と反対
側の先端部）も、先端に向かって、対応する基板保持部
材１２０の他端（端壁１２６が形成されていない開放さ
れた他端）に対し反対方向に広がるような形状ないしは
テーパ付きの形状にしておくことが好ましい。このよう
な構成は、後述するとおりにして保持解除位置に移動さ
せられた、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持
部材１２０の各々を、保持解除位置から相互に接近する
方向に移動させて基板Ｐの搬送幅方向における両端部に
嵌合させ、保持位置に位置付ける際の嵌合作動を円滑に
する。
持部材１２０の各々は、相互に間隔をおいて平行に延在
する一対の側壁１２２と、側壁１２２の各々の一端間を
連結する底壁１２４と、長手方向の一端を閉塞する端壁
１２６とからなる、ほぼチャンネル形の横断面形状を有
すると共に、チャンネル形の開放端が基板Ｐの搬送幅方
向に間隔をおいて対向せしめられている。後述するとお
りにして基板保持部材対１２０Ａに基板Ｐを受け入れて
保持するに際し、基板Ｐの受け入れを円滑にせしめるた
め、基板保持部材１２０の各々の一対の側壁１２２の各
々の先端部を、先端に向かって相互に離隔する方向に広
がるようなフレア形状ないしはテーパ付きの形状にして
おくことが好ましい。また同じ理由から、基板保持部材
１２０の各々の端壁１２６の先端部（底壁１２４と反対
側の先端部）も、先端に向かって、対応する基板保持部
材１２０の他端（端壁１２６が形成されていない開放さ
れた他端）に対し反対方向に広がるような形状ないしは
テーパ付きの形状にしておくことが好ましい。このよう
な構成は、後述するとおりにして保持解除位置に移動さ
せられた、基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持
部材１２０の各々を、保持解除位置から相互に接近する
方向に移動させて基板Ｐの搬送幅方向における両端部に
嵌合させ、保持位置に位置付ける際の嵌合作動を円滑に
する。
【００２５】可動側枠１１０の各々において、上記剥離
位置Ｘ２に対応する位置には、支持フレーム１１０ａが
それぞれ基板Ｐの搬送幅方向外方に実質的に水平に延び
出すよう配設されている。支持フレーム１１０ａの各々
上には、剥離位置Ｘ２に位置付けられた保持手段１３０
の各々の、対応するロッド部材１３２を基板Ｐの搬送幅
方向外方に移動させて、対応する基板保持部材１２０を
所定の保持位置から圧縮コイルばね１３６のばね力に抗
して保持解除位置に移動させて一時的に基板Ｐの保持を
解除し、かつ対応するロッド部材１３２を保持解除位置
から基板Ｐの搬送幅方向内方に移動させて圧縮コイルば
ね１３６のばね力と協働して、対応する基板保持部材１
２０を所定の保持位置へ復帰させる保持解除手段１４０
が、該基板保持部材１２０の各々に対応してそれぞれ備
えられている。保持解除手段１４０の各々は、アクチュ
エータ、実施形態においては、シリンダ１４１、シリン
ダ１４１内に配設されたピストン１４２及びピストン１
４２に連結されたピストンロッド１４３を備えた流体圧
シリンダ機構であるエアシリンダ機構１４０Ａと、ピス
トンロッド１４３の先端に連結されて基板Ｐの搬送幅方
向に往復移動させられる係止部材１４４とを備えてい
る。なお、アクチュエータとしては、電動モータ機構を
利用する他の実施形態もある。
位置Ｘ２に対応する位置には、支持フレーム１１０ａが
それぞれ基板Ｐの搬送幅方向外方に実質的に水平に延び
出すよう配設されている。支持フレーム１１０ａの各々
上には、剥離位置Ｘ２に位置付けられた保持手段１３０
の各々の、対応するロッド部材１３２を基板Ｐの搬送幅
方向外方に移動させて、対応する基板保持部材１２０を
所定の保持位置から圧縮コイルばね１３６のばね力に抗
して保持解除位置に移動させて一時的に基板Ｐの保持を
解除し、かつ対応するロッド部材１３２を保持解除位置
から基板Ｐの搬送幅方向内方に移動させて圧縮コイルば
ね１３６のばね力と協働して、対応する基板保持部材１
２０を所定の保持位置へ復帰させる保持解除手段１４０
が、該基板保持部材１２０の各々に対応してそれぞれ備
えられている。保持解除手段１４０の各々は、アクチュ
エータ、実施形態においては、シリンダ１４１、シリン
ダ１４１内に配設されたピストン１４２及びピストン１
４２に連結されたピストンロッド１４３を備えた流体圧
シリンダ機構であるエアシリンダ機構１４０Ａと、ピス
トンロッド１４３の先端に連結されて基板Ｐの搬送幅方
向に往復移動させられる係止部材１４４とを備えてい
る。なお、アクチュエータとしては、電動モータ機構を
利用する他の実施形態もある。
【００２６】係止部材１４４の各々は、上下方向に間隔
をおいて基板Ｐの搬送方向に平行に延在する一対の側壁
１４４ａと、側壁１４４ａの各々の一端間を連結する底
壁１４４ｂと、側壁１４４ａの各々の他端から相互に接
近する方向に延び出しかつ相互に上下方向に間隔をおい
て対向する係止突部１４４ｃとを備えており、底壁１４
４ｂが、対応するピストンロッド１４３の先端に一体に
連結されている。係止部材１４４の各々はほぼチャンネ
ル形状をなしている。係止部材１４４の各々は、基板保
持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０が装着
された、対応するロッド部材１３２における、被係止大
径部１３４を含む他端部の、基板Ｐの搬送方向の移動軌
跡上に位置付けられて該他端部の、基板Ｐの搬送方向へ
の移動を許容する。該移動を許容するためかつ対応する
ロッド部材１３２の被係止大径部１３４を係止して基板
Ｐの搬送幅方向外方へ移動させるため、係止部材１４４
の各々の係止突部１４４ｃ間の間隔は、基板保持部材１
２０が装着された、対応するロッド部材１３２の直径よ
りも大きくかつロッド部材１３２の被係止大径部１３４
の直径よりも小さく規定されている。基板保持部材対１
２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々が剥離位置
Ｘ２に位置付けられた状態で、ロッド部材１３２の各々
の被係止大径部１３４を含む他端部は、対応する係止部
材１４４の内側に位置付けられる。そしてエアシリンダ
機構１４０Ａの各々によって、係止部材１４４の各々を
基板Ｐの搬送幅方向であって相互に離隔する方向に移動
させると、係止部材１４４の各々の係止突部１４４ｃ
が、対応するロッド部材１３２の被係止大径部１３４を
係止して基板Ｐの搬送幅方向外方へ移動させるので、基
板保持部材対１０Ａを構成する基板保持部材１２０の各
々は、対応する被係止大径部１３４及びロッド部材１３
２を介して圧縮コイルばね１３６のばね力に抗して相互
に離隔する方向に保持解除位置まで移動させられ、基板
Ｐの保持が解除される。またエアシリンダ機構１４０Ａ
の各々によって、ピストンロッド１４３及び係止部材１
４４を介して、対応するロッド部材１３２を保持解除位
置から基板Ｐの搬送幅方向内方に移動させると、圧縮コ
イルばね１３６のばね力と協働して、対応する基板保持
部材１２０を所定の保持位置へ復帰させることができ
る。なお、上記可動側枠１１０の各々は、ロッド部材１
１２及び電動モータＭ２を含む往復移動手段によって、
基板Ｐの搬送幅方向における所定の待機位置に位置付け
られている。
をおいて基板Ｐの搬送方向に平行に延在する一対の側壁
１４４ａと、側壁１４４ａの各々の一端間を連結する底
壁１４４ｂと、側壁１４４ａの各々の他端から相互に接
近する方向に延び出しかつ相互に上下方向に間隔をおい
て対向する係止突部１４４ｃとを備えており、底壁１４
４ｂが、対応するピストンロッド１４３の先端に一体に
連結されている。係止部材１４４の各々はほぼチャンネ
ル形状をなしている。係止部材１４４の各々は、基板保
持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０が装着
された、対応するロッド部材１３２における、被係止大
径部１３４を含む他端部の、基板Ｐの搬送方向の移動軌
跡上に位置付けられて該他端部の、基板Ｐの搬送方向へ
の移動を許容する。該移動を許容するためかつ対応する
ロッド部材１３２の被係止大径部１３４を係止して基板
Ｐの搬送幅方向外方へ移動させるため、係止部材１４４
の各々の係止突部１４４ｃ間の間隔は、基板保持部材１
２０が装着された、対応するロッド部材１３２の直径よ
りも大きくかつロッド部材１３２の被係止大径部１３４
の直径よりも小さく規定されている。基板保持部材対１
２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々が剥離位置
Ｘ２に位置付けられた状態で、ロッド部材１３２の各々
の被係止大径部１３４を含む他端部は、対応する係止部
材１４４の内側に位置付けられる。そしてエアシリンダ
機構１４０Ａの各々によって、係止部材１４４の各々を
基板Ｐの搬送幅方向であって相互に離隔する方向に移動
させると、係止部材１４４の各々の係止突部１４４ｃ
が、対応するロッド部材１３２の被係止大径部１３４を
係止して基板Ｐの搬送幅方向外方へ移動させるので、基
板保持部材対１０Ａを構成する基板保持部材１２０の各
々は、対応する被係止大径部１３４及びロッド部材１３
２を介して圧縮コイルばね１３６のばね力に抗して相互
に離隔する方向に保持解除位置まで移動させられ、基板
Ｐの保持が解除される。またエアシリンダ機構１４０Ａ
の各々によって、ピストンロッド１４３及び係止部材１
４４を介して、対応するロッド部材１３２を保持解除位
置から基板Ｐの搬送幅方向内方に移動させると、圧縮コ
イルばね１３６のばね力と協働して、対応する基板保持
部材１２０を所定の保持位置へ復帰させることができ
る。なお、上記可動側枠１１０の各々は、ロッド部材１
１２及び電動モータＭ２を含む往復移動手段によって、
基板Ｐの搬送幅方向における所定の待機位置に位置付け
られている。
【００２７】次に、基板保持部材対１２０Ａによって離
脱自在に保持されて搬送される基板Ｐの実施形態につい
て説明する。図９及び図１０を参照して、基板Ｐは、片
面及び他面の両面にフィルムが貼着されかつビルドアッ
プ工法により製造されたプリント配線基板から構成され
ている。更に具体的に説明すると、基板Ｐは、プリント
配線基板の本体Ｐ１と、本体Ｐ１の片面又は両面、実施
形態においては両面に貼着された絶縁樹脂Ｐ２と、絶縁
樹脂Ｐ２の各々の表面に貼着されたフィルムＦとから構
成されている。図１０に示されているように、平面形状
が矩形をなす、プリント配線基板の本体Ｐ１は、縦方向
長さ（図１０において上下方向長さ）が幅方向長さ（図
１０において左右方向長さ）よりも短い。絶縁樹脂Ｐ２
の各々は、例えばエポキシ樹脂から構成されている。フ
ィルムＦは例えばＰＥＴから構成されている。絶縁樹脂
Ｐ２の各々は、平面形状が相互に実質的に同じである矩
形をなしかつ、縦方向長さは本体Ｐ１の縦方向長さより
も短く、また幅方向長さは本体Ｐ１の幅方向長さよりも
短い。フィルムＦの各々は、平面形状が相互に実質的に
同じである矩形をなしかつ、縦方向長さは本体Ｐ１の縦
方向長さよりも短いが絶縁樹脂Ｐ２の各々の縦方向長さ
よりも長く、また幅方向長さは絶縁樹脂Ｐ２の各々の幅
方向長さと実質的に同じである。
脱自在に保持されて搬送される基板Ｐの実施形態につい
て説明する。図９及び図１０を参照して、基板Ｐは、片
面及び他面の両面にフィルムが貼着されかつビルドアッ
プ工法により製造されたプリント配線基板から構成され
ている。更に具体的に説明すると、基板Ｐは、プリント
配線基板の本体Ｐ１と、本体Ｐ１の片面又は両面、実施
形態においては両面に貼着された絶縁樹脂Ｐ２と、絶縁
樹脂Ｐ２の各々の表面に貼着されたフィルムＦとから構
成されている。図１０に示されているように、平面形状
が矩形をなす、プリント配線基板の本体Ｐ１は、縦方向
長さ（図１０において上下方向長さ）が幅方向長さ（図
１０において左右方向長さ）よりも短い。絶縁樹脂Ｐ２
の各々は、例えばエポキシ樹脂から構成されている。フ
ィルムＦは例えばＰＥＴから構成されている。絶縁樹脂
Ｐ２の各々は、平面形状が相互に実質的に同じである矩
形をなしかつ、縦方向長さは本体Ｐ１の縦方向長さより
も短く、また幅方向長さは本体Ｐ１の幅方向長さよりも
短い。フィルムＦの各々は、平面形状が相互に実質的に
同じである矩形をなしかつ、縦方向長さは本体Ｐ１の縦
方向長さよりも短いが絶縁樹脂Ｐ２の各々の縦方向長さ
よりも長く、また幅方向長さは絶縁樹脂Ｐ２の各々の幅
方向長さと実質的に同じである。
【００２８】基板Ｐの本体Ｐ１の縦方向の一端部（図１
０において上端部）において、絶縁樹脂Ｐ２の各々の一
端（図１０において上端）Ｐ２ａは、基板Ｐ、更に具体
的には本体Ｐ１の一端（図１０において上端）Ｐ１ａか
ら所定の距離だけ他端方向（図１０において下端方向）
に後退した位置に配置されている。また、フィルムＦの
各々の一端部は、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａか
ら基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａ方向に基板Ｐの本体Ｐ
１の表面に隙間Ｃをおいて張り出すよう構成されている
が、フィルムＦの各々の一端Ｆａは、基板Ｐの本体Ｐ１
の一端Ｐ１ａよりも他端方向に後退した位置にある。こ
のようなフィルムＦの各々の張出部は剥離しろを構成す
る。上記基板Ｐにおいて、フィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ２
の各々は、本体Ｐ１の片面又は両面に対して、実施形態
においては両面に対して、幅方向の両端部Ｐ１ｂ及び縦
方向の少なくとも一端部Ｐ１ｃを残した状態で貼着され
ている（図１０に示す実施形態においては、縦方向他端
部Ｐ ｄをも残した状態で貼着されている）。上記説明
から明らかなように、本体Ｐ１を平面から見て、フィル
ムＦの幅方向両端と本体Ｐ１の幅方向端との間には、し
たがって本体Ｐ１の幅方向両端部Ｐ１ｂの両面には、フ
ィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ２の各々が貼着されていない露
呈面が、それぞれ実質的に同じ一定の幅で縦方向に延在
し、また、フィルムＦの縦方向両端と本体Ｐ１の縦方向
両端との間には、したがって本体Ｐ１の縦方向両端部Ｐ
１ｃ及びＰ１ｄの両面には、フィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ
２の各々が貼着されていない露呈面が、それぞれ実質的
に同じ一定の幅で幅方向に延在する。なお、図１０にお
いて符号Ｐ１ｆは、本体Ｐ１の他端を示している。な
お、図１〜図８及び図１１〜図２６に示されている本発
明の実施形態において、図９及び図１０に示されている
基板Ｐの縦方向の一端部Ｐ１ｃ及びフィルムＦの各々の
縦方向の一端Ｆａを含む一端部は、基板Ｐが鉛直な姿勢
に位置付けられたときに、それぞれ鉛直上方に位置させ
られ、また、基板Ｐの幅方向両端部Ｐ１ｂは、基板Ｐの
搬送幅方向における両端部を規定する。図９及び図１０
に示されている基板Ｐは、本発明によるいずれのフィル
ム剥離搬送装置においても、剥離位置又は端部剥離位置
において鉛直な姿勢にせしめられた状態で、縦方向の一
端部Ｐ１ｃが上方に位置するよう搬送されることが重要
である。
０において上端部）において、絶縁樹脂Ｐ２の各々の一
端（図１０において上端）Ｐ２ａは、基板Ｐ、更に具体
的には本体Ｐ１の一端（図１０において上端）Ｐ１ａか
ら所定の距離だけ他端方向（図１０において下端方向）
に後退した位置に配置されている。また、フィルムＦの
各々の一端部は、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａか
ら基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａ方向に基板Ｐの本体Ｐ
１の表面に隙間Ｃをおいて張り出すよう構成されている
が、フィルムＦの各々の一端Ｆａは、基板Ｐの本体Ｐ１
の一端Ｐ１ａよりも他端方向に後退した位置にある。こ
のようなフィルムＦの各々の張出部は剥離しろを構成す
る。上記基板Ｐにおいて、フィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ２
の各々は、本体Ｐ１の片面又は両面に対して、実施形態
においては両面に対して、幅方向の両端部Ｐ１ｂ及び縦
方向の少なくとも一端部Ｐ１ｃを残した状態で貼着され
ている（図１０に示す実施形態においては、縦方向他端
部Ｐ ｄをも残した状態で貼着されている）。上記説明
から明らかなように、本体Ｐ１を平面から見て、フィル
ムＦの幅方向両端と本体Ｐ１の幅方向端との間には、し
たがって本体Ｐ１の幅方向両端部Ｐ１ｂの両面には、フ
ィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ２の各々が貼着されていない露
呈面が、それぞれ実質的に同じ一定の幅で縦方向に延在
し、また、フィルムＦの縦方向両端と本体Ｐ１の縦方向
両端との間には、したがって本体Ｐ１の縦方向両端部Ｐ
１ｃ及びＰ１ｄの両面には、フィルムＦ及び絶縁樹脂Ｐ
２の各々が貼着されていない露呈面が、それぞれ実質的
に同じ一定の幅で幅方向に延在する。なお、図１０にお
いて符号Ｐ１ｆは、本体Ｐ１の他端を示している。な
お、図１〜図８及び図１１〜図２６に示されている本発
明の実施形態において、図９及び図１０に示されている
基板Ｐの縦方向の一端部Ｐ１ｃ及びフィルムＦの各々の
縦方向の一端Ｆａを含む一端部は、基板Ｐが鉛直な姿勢
に位置付けられたときに、それぞれ鉛直上方に位置させ
られ、また、基板Ｐの幅方向両端部Ｐ１ｂは、基板Ｐの
搬送幅方向における両端部を規定する。図９及び図１０
に示されている基板Ｐは、本発明によるいずれのフィル
ム剥離搬送装置においても、剥離位置又は端部剥離位置
において鉛直な姿勢にせしめられた状態で、縦方向の一
端部Ｐ１ｃが上方に位置するよう搬送されることが重要
である。
【００２９】次に、図１、図３及び図８〜図１０を参照
して、剥離位置Ｘ２に配設された剥離手段２００の実施
形態ついて説明する。可動側枠１１０の各々に配設され
た上記支持フレーム１１０ａには支持枠体１９が配設さ
れ、支持枠体１９の各々には、それぞれ剥離手段２００
の一部を構成するクランプ手段２５０が配設されてい
る。基板Ｐの一端部側における幅方向両端部Ｐ１ｂを解
除自在にクランプするクランプ手段２５０の各々は、そ
れぞれハウジング２５２を備えている。ハウジング２５
２には、それぞれ一対のクランプ板部材２５４が閉位置
と開位置との間を旋回自在に支持されている。クランプ
板部材２５４の各対は、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をお
いて位置付けられている。ハウジング２５２の各々内に
は、対応するクランプ板部材２５４の各々を、閉位置と
開位置との間を旋回させる駆動手段、例えば図示しない
エアシリンダ機構が配設されている。エアシリンダ機構
の各々と、対応するクランプ板部材２５４の各々とは、
図示しない適宜のリンク機構により連結されている。ク
ランプ板部材２５４の各対が閉位置に位置付けられる
と、クランプ板部材２５４の各対を構成するクランプ板
部材２５４の各々の片面同士が、基板Ｐの本体Ｐ１の一
端部側における幅方向両端部Ｐ１ｂの搬送方向における
移動軌跡上において、基板Ｐの搬送幅方向に延在する共
通の鉛直面において相互に圧接され、開位置に位置付け
られると、クランプ板部材２５４の各対を構成するクラ
ンプ板部材２５４の各々の該片面は、基板Ｐの幅方向両
端の搬送方向における移動軌跡から基板Ｐの搬送幅方向
外方に退避した位置において、それぞれ基板Ｐの搬送方
向に延在する鉛直面に沿うように位置付けられる。な
お、クランプ手段２５０の各々は、エアチャッキング機
構、電動モータを駆動源とするクランプ機構などの他の
実施形態もある。
して、剥離位置Ｘ２に配設された剥離手段２００の実施
形態ついて説明する。可動側枠１１０の各々に配設され
た上記支持フレーム１１０ａには支持枠体１９が配設さ
れ、支持枠体１９の各々には、それぞれ剥離手段２００
の一部を構成するクランプ手段２５０が配設されてい
る。基板Ｐの一端部側における幅方向両端部Ｐ１ｂを解
除自在にクランプするクランプ手段２５０の各々は、そ
れぞれハウジング２５２を備えている。ハウジング２５
２には、それぞれ一対のクランプ板部材２５４が閉位置
と開位置との間を旋回自在に支持されている。クランプ
板部材２５４の各対は、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をお
いて位置付けられている。ハウジング２５２の各々内に
は、対応するクランプ板部材２５４の各々を、閉位置と
開位置との間を旋回させる駆動手段、例えば図示しない
エアシリンダ機構が配設されている。エアシリンダ機構
の各々と、対応するクランプ板部材２５４の各々とは、
図示しない適宜のリンク機構により連結されている。ク
ランプ板部材２５４の各対が閉位置に位置付けられる
と、クランプ板部材２５４の各対を構成するクランプ板
部材２５４の各々の片面同士が、基板Ｐの本体Ｐ１の一
端部側における幅方向両端部Ｐ１ｂの搬送方向における
移動軌跡上において、基板Ｐの搬送幅方向に延在する共
通の鉛直面において相互に圧接され、開位置に位置付け
られると、クランプ板部材２５４の各対を構成するクラ
ンプ板部材２５４の各々の該片面は、基板Ｐの幅方向両
端の搬送方向における移動軌跡から基板Ｐの搬送幅方向
外方に退避した位置において、それぞれ基板Ｐの搬送方
向に延在する鉛直面に沿うように位置付けられる。な
お、クランプ手段２５０の各々は、エアチャッキング機
構、電動モータを駆動源とするクランプ機構などの他の
実施形態もある。
【００３０】天井枠体１８の下面には、横断面がチャン
ネル形状をなす支持枠２０が配設され、支持枠２０には
他の支持枠２２が配設されている。他の支持枠２２に
は、昇降手段である流体圧シリンダ機構、実施形態にお
いてはエアシリンダ機構２２０が配設されている。エア
シリンダ機構２２０の軸線は鉛直方向に延在し、エアシ
リンダ機構２２０のピストンロッド２２０ａの下端に
は、基板Ｐの、少なくとも一端Ｐ１ａに向けて上方から
圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段、実施形態におい
ては圧力エアを噴射する圧力エア噴射手段２６０が配設
されている。エアシリンダ機構２２０及び圧力エア噴射
手段２６０は、クランプ手段２５０と共に剥離手段２０
０を構成する。圧力エア噴射手段２６０は、枠体２６２
と、枠体２６２に支持された、少なくとも１本の圧力気
体供給パイプ、実施形態においては３本の圧力エア供給
パイプ２６４、２６６及び２６８が配設されている。そ
れぞれ横断面が円形の中空パイプからなる圧力エア供給
パイプ２６４、２６６及び２６８は、基板Ｐの搬送方向
に間隔をおいて基板Ｐの搬送幅方向に実質的に水平に延
在するよう配置されている。圧力エア供給パイプ２６
４、２６６及び２６８の下面には、軸方向に間隔をおい
て複数の溝が形成され、該溝の各々には、それぞれ圧力
気体噴射孔である圧力エア噴射孔２６４ａ、２６６ａ及
び２６８ａが形成されている。圧力エア供給パイプ２６
４、２６６及び２６８は、図示しない共通の圧力エア供
給パイプを介して図示しない圧力エア供給源であるエア
ポンプに接続されている。図示しない共通の圧力エア供
給パイプには図示しない電磁開閉弁が配設され、該電磁
開閉弁を作動制御することにより、圧力エア供給パイプ
２６４、２６６及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ、
２６６ａ及び２６８ａから圧力エアが噴射される。圧力
エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８を備えた枠体
２６２は、エアシリンダ機構２２０によって鉛直方向の
所定の待機位置に位置付けられている。
ネル形状をなす支持枠２０が配設され、支持枠２０には
他の支持枠２２が配設されている。他の支持枠２２に
は、昇降手段である流体圧シリンダ機構、実施形態にお
いてはエアシリンダ機構２２０が配設されている。エア
シリンダ機構２２０の軸線は鉛直方向に延在し、エアシ
リンダ機構２２０のピストンロッド２２０ａの下端に
は、基板Ｐの、少なくとも一端Ｐ１ａに向けて上方から
圧力気体を噴射する圧力気体噴射手段、実施形態におい
ては圧力エアを噴射する圧力エア噴射手段２６０が配設
されている。エアシリンダ機構２２０及び圧力エア噴射
手段２６０は、クランプ手段２５０と共に剥離手段２０
０を構成する。圧力エア噴射手段２６０は、枠体２６２
と、枠体２６２に支持された、少なくとも１本の圧力気
体供給パイプ、実施形態においては３本の圧力エア供給
パイプ２６４、２６６及び２６８が配設されている。そ
れぞれ横断面が円形の中空パイプからなる圧力エア供給
パイプ２６４、２６６及び２６８は、基板Ｐの搬送方向
に間隔をおいて基板Ｐの搬送幅方向に実質的に水平に延
在するよう配置されている。圧力エア供給パイプ２６
４、２６６及び２６８の下面には、軸方向に間隔をおい
て複数の溝が形成され、該溝の各々には、それぞれ圧力
気体噴射孔である圧力エア噴射孔２６４ａ、２６６ａ及
び２６８ａが形成されている。圧力エア供給パイプ２６
４、２６６及び２６８は、図示しない共通の圧力エア供
給パイプを介して図示しない圧力エア供給源であるエア
ポンプに接続されている。図示しない共通の圧力エア供
給パイプには図示しない電磁開閉弁が配設され、該電磁
開閉弁を作動制御することにより、圧力エア供給パイプ
２６４、２６６及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ、
２６６ａ及び２６８ａから圧力エアが噴射される。圧力
エア供給パイプ２６４、２６６及び２６８を備えた枠体
２６２は、エアシリンダ機構２２０によって鉛直方向の
所定の待機位置に位置付けられている。
【００３１】上記支持枠２０には、昇降手段である流体
圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構２
２２が配設され、鉛直軸線上に配置された、エアシリン
ダ機構２２２のピストンロッドの下端には、基板先端検
出センサＳ４が配設されている。基板先端検出センサＳ
４は、剥離位置Ｘ２に搬送されて位置付けられた基板Ｐ
の鉛直上端Ｐ１ａを検出するためのセンサであり、エア
シリンダ機構２２２によって鉛直方向の所定の待機位置
に位置付けられている。
圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構２
２２が配設され、鉛直軸線上に配置された、エアシリン
ダ機構２２２のピストンロッドの下端には、基板先端検
出センサＳ４が配設されている。基板先端検出センサＳ
４は、剥離位置Ｘ２に搬送されて位置付けられた基板Ｐ
の鉛直上端Ｐ１ａを検出するためのセンサであり、エア
シリンダ機構２２２によって鉛直方向の所定の待機位置
に位置付けられている。
【００３２】上記のように構成されたフィルム搬送剥離
装置は図示しないコントローラを備え、該コントローラ
によってその作動が制御される。コントローラは、マイ
クロコンピュータによって構成されており、制御プログ
ラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）、制
御プログラムを格納するＲＯＭ、演算結果等を格納する
読み書き可能なＲＡＭ、タイマ、カウンタ、入力インタ
ーフェース及び出力インターフェースなどを備えてい
る。このように構成されたコントローラの入力インター
フェースには、上記センサＳ１〜Ｓ４、その他の検出器
などからの検出信号が入力され、出力インターフェース
から電動モータＭ１、Ｍ２、エアシリンダ機構１４０
Ａ、２２０及び２２２、圧力エア噴射手段２６０の図示
しない電磁開閉弁などに制御信号を出力する。
装置は図示しないコントローラを備え、該コントローラ
によってその作動が制御される。コントローラは、マイ
クロコンピュータによって構成されており、制御プログ
ラムに従って演算処理する中央処理装置（ＣＰＵ）、制
御プログラムを格納するＲＯＭ、演算結果等を格納する
読み書き可能なＲＡＭ、タイマ、カウンタ、入力インタ
ーフェース及び出力インターフェースなどを備えてい
る。このように構成されたコントローラの入力インター
フェースには、上記センサＳ１〜Ｓ４、その他の検出器
などからの検出信号が入力され、出力インターフェース
から電動モータＭ１、Ｍ２、エアシリンダ機構１４０
Ａ、２２０及び２２２、圧力エア噴射手段２６０の図示
しない電磁開閉弁などに制御信号を出力する。
【００３３】次に上記フィルム搬送剥離装置の作動につ
いて説明する。主として図１〜図３、図９及び図１０を
参照して、基板搬送手段１００における可動側枠１１０
の各々は所定の待機位置に位置付けられている。チェー
ン１１８の各々の、基板Ｐの搬送方向上流端に位置する
上流側半円移動領域の上下方向の中央位置に設定された
受取位置Ｘ１には、基板保持部材対１２０Ａが実質的に
水平な姿勢で位置付けられている。基板保持部材対１２
０Ａを構成する基板保持部材１２０の端壁１２６（図７
参照）は基板搬送方向下流側に位置付けられる。基板Ｐ
は、図示しない基板Ｐの投入装置により、その他端Ｐ１
ｆ（図１０参照）を下流方向に向けて基板保持部材対１
２０Ａに向かって水平に移動させられる。基板先端検出
センサＳ２が基板Ｐの他端Ｐ１ｆを検出すると、投入装
置による基板Ｐの投入動作が一旦停止させられ、基板Ｐ
は、基板保持部材対１２０Ａの直前でその移動が一旦停
止される。
いて説明する。主として図１〜図３、図９及び図１０を
参照して、基板搬送手段１００における可動側枠１１０
の各々は所定の待機位置に位置付けられている。チェー
ン１１８の各々の、基板Ｐの搬送方向上流端に位置する
上流側半円移動領域の上下方向の中央位置に設定された
受取位置Ｘ１には、基板保持部材対１２０Ａが実質的に
水平な姿勢で位置付けられている。基板保持部材対１２
０Ａを構成する基板保持部材１２０の端壁１２６（図７
参照）は基板搬送方向下流側に位置付けられる。基板Ｐ
は、図示しない基板Ｐの投入装置により、その他端Ｐ１
ｆ（図１０参照）を下流方向に向けて基板保持部材対１
２０Ａに向かって水平に移動させられる。基板先端検出
センサＳ２が基板Ｐの他端Ｐ１ｆを検出すると、投入装
置による基板Ｐの投入動作が一旦停止させられ、基板Ｐ
は、基板保持部材対１２０Ａの直前でその移動が一旦停
止される。
【００３４】次いで、電動モータＭ２が回転駆動させら
れ、可動側枠１１０の各々は所定の待機位置から相互に
接近する方向に移動させられる。可動側枠１１０の各々
に支持された、駆動スプロケット１１４の各々、被駆動
スプロケット１１６の各々、チェーン１１８の各々、基
板保持手段１３０の各々に含まれる、基板保持部材対１
２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々、エアシリ
ンダ機構１４０Ａの各々及びクランプ手段２５０の各々
も、可動側枠１１０の各々と共に相互に接近する方向に
移動させられる。基板Ｐの幅よりも広い待機位置に位置
付けられていた基板幅検出センサＳ１の各々もまた、可
動側枠１１０の各々と共に相互に接近する方向に移動さ
せられる。基板幅検出センサＳ１の各々が、基板Ｐの幅
方向両端を検出すると、電動モータＭ２の回転駆動が停
止させられる。可動側枠１１０の各々と共に相互に接近
する方向に移動させられた基板保持部材対１２０Ａを構
成する基板保持部材１２０の各々は、基板Ｐに対応した
所定の保持位置（基板保持部材１２０の各々の底壁１２
４（図７参照）が基板Ｐの幅方向両端よりも若干広く位
置付けられる所定の保持位置）に停止させられる。
れ、可動側枠１１０の各々は所定の待機位置から相互に
接近する方向に移動させられる。可動側枠１１０の各々
に支持された、駆動スプロケット１１４の各々、被駆動
スプロケット１１６の各々、チェーン１１８の各々、基
板保持手段１３０の各々に含まれる、基板保持部材対１
２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々、エアシリ
ンダ機構１４０Ａの各々及びクランプ手段２５０の各々
も、可動側枠１１０の各々と共に相互に接近する方向に
移動させられる。基板Ｐの幅よりも広い待機位置に位置
付けられていた基板幅検出センサＳ１の各々もまた、可
動側枠１１０の各々と共に相互に接近する方向に移動さ
せられる。基板幅検出センサＳ１の各々が、基板Ｐの幅
方向両端を検出すると、電動モータＭ２の回転駆動が停
止させられる。可動側枠１１０の各々と共に相互に接近
する方向に移動させられた基板保持部材対１２０Ａを構
成する基板保持部材１２０の各々は、基板Ｐに対応した
所定の保持位置（基板保持部材１２０の各々の底壁１２
４（図７参照）が基板Ｐの幅方向両端よりも若干広く位
置付けられる所定の保持位置）に停止させられる。
【００３５】再び投入装置による基板Ｐの投入動作が開
始され、基板Ｐは更に前進させられて、基板Ｐの幅方向
両端部Ｐ１ｂが、それぞれ基板保持部材対１２０Ａを構
成する基板保持部材１２０の各々内に進入させられる。
基板先端検出センサＳ３が基板Ｐの他端Ｐ１ｆを検出す
ると、投入装置による基板Ｐの投入動作が停止させら
れ、基板Ｐは、その他端Ｐ１ｆが、少なくとも基板保持
部材１２０の各々の端壁１２６（図７参照）に当接する
手前の位置で停止させられる。基板Ｐは、その幅方向両
端部Ｐ１ｂの表裏が、対応する基板保持部材１２０の側
壁１２２に離脱自在に挟まれる形態で、基板保持部材対
１２０Ａによって水平な姿勢で受け取られて保持され
る。基板Ｐの一端部Ｐ１ｃ及び一端部Ｐ１ｃ側における
幅方向両端部Ｐ１ｂを含む一端部領域は、基板保持部材
対１２０Ａの長手方向の一端から突出せしめられる。
始され、基板Ｐは更に前進させられて、基板Ｐの幅方向
両端部Ｐ１ｂが、それぞれ基板保持部材対１２０Ａを構
成する基板保持部材１２０の各々内に進入させられる。
基板先端検出センサＳ３が基板Ｐの他端Ｐ１ｆを検出す
ると、投入装置による基板Ｐの投入動作が停止させら
れ、基板Ｐは、その他端Ｐ１ｆが、少なくとも基板保持
部材１２０の各々の端壁１２６（図７参照）に当接する
手前の位置で停止させられる。基板Ｐは、その幅方向両
端部Ｐ１ｂの表裏が、対応する基板保持部材１２０の側
壁１２２に離脱自在に挟まれる形態で、基板保持部材対
１２０Ａによって水平な姿勢で受け取られて保持され
る。基板Ｐの一端部Ｐ１ｃ及び一端部Ｐ１ｃ側における
幅方向両端部Ｐ１ｂを含む一端部領域は、基板保持部材
対１２０Ａの長手方向の一端から突出せしめられる。
【００３６】次いで、電動モータＭ１が回転駆動させら
れる。駆動スプロケット１１４の各々、チェーン１１８
の各々及び被駆動スプロケット１１６の各々が図１にお
いて反時計方向に回転駆動させられる。基板保持部材対
１２０Ａは、チェーン１１８の各々によって上流側半円
移動領域から上水平移動領域に移動させられる。基板保
持部材対１２０Ａが上水平移動領域に移動させられる
と、基板保持部材対１２０Ａは、水平な姿勢から鉛直な
姿勢にせしめられる。すなわち、基板保持部材対１２０
Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、端壁１２６
が下端に位置するように鉛直に位置付けられる。その結
果、基板Ｐも水平な姿勢から鉛直な姿勢にせしめられ
る。基板Ｐは基板保持部材対１２０Ａ内を自重により若
干落下せしめられ、その幅方向両端部Ｐ１ｂ及び幅方向
両端部Ｐ１ｂにおける下端Ｐ１ｆが基板保持部材対１２
０Ａによって保持される。また、基板保持部材対１２０
Ａの長手方向一端から突出せしめられた基板Ｐの上記一
端部領域は、鉛直上方に位置付けられる。このような姿
勢で基板Ｐが基板保持部材対１２０Ａに保持されたま
ま、上水平移動領域のほぼ中央に設置された剥離位置Ｘ
２まで搬送されると、電動モータＭの回転駆動が停止さ
せられる。電動モータＭの回転駆動の停止は、例えば、
剥離位置Ｘ２に配設された図示しない基板端検出センサ
からの検出信号に基づいて行なうことができる。あるい
はまた、駆動軸１０６に配設された図示しないロータリ
エンコーダからの検出信号に基づいて行なうことができ
る。
れる。駆動スプロケット１１４の各々、チェーン１１８
の各々及び被駆動スプロケット１１６の各々が図１にお
いて反時計方向に回転駆動させられる。基板保持部材対
１２０Ａは、チェーン１１８の各々によって上流側半円
移動領域から上水平移動領域に移動させられる。基板保
持部材対１２０Ａが上水平移動領域に移動させられる
と、基板保持部材対１２０Ａは、水平な姿勢から鉛直な
姿勢にせしめられる。すなわち、基板保持部材対１２０
Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、端壁１２６
が下端に位置するように鉛直に位置付けられる。その結
果、基板Ｐも水平な姿勢から鉛直な姿勢にせしめられ
る。基板Ｐは基板保持部材対１２０Ａ内を自重により若
干落下せしめられ、その幅方向両端部Ｐ１ｂ及び幅方向
両端部Ｐ１ｂにおける下端Ｐ１ｆが基板保持部材対１２
０Ａによって保持される。また、基板保持部材対１２０
Ａの長手方向一端から突出せしめられた基板Ｐの上記一
端部領域は、鉛直上方に位置付けられる。このような姿
勢で基板Ｐが基板保持部材対１２０Ａに保持されたま
ま、上水平移動領域のほぼ中央に設置された剥離位置Ｘ
２まで搬送されると、電動モータＭの回転駆動が停止さ
せられる。電動モータＭの回転駆動の停止は、例えば、
剥離位置Ｘ２に配設された図示しない基板端検出センサ
からの検出信号に基づいて行なうことができる。あるい
はまた、駆動軸１０６に配設された図示しないロータリ
エンコーダからの検出信号に基づいて行なうことができ
る。
【００３７】上記したとおりにして基板Ｐが剥離位置Ｘ
２まで搬送されて位置付けられると、図４に示されてい
るように、保持手段１３０の各々の被係止大径部１３４
が、それぞれ対応する保持解除手段１４０の係止部材１
４４内に干渉することなく進入させられて位置付けられ
る。エアシリンダ機構２２２が作動させられて、基板先
端検出センサＳ４が所定の待機位置から下降させられ、
基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａの高さ位置が検出される。基板
先端検出センサＳ４が該高さ位置を検出すると、エアシ
リンダ機構２２２によって所定の待機位置まで上昇させ
られる。基板先端検出センサＳ４の検出信号に基づい
て、クランプ手段２５０の各々のクランプ板部材２５４
がそれぞれ閉位置に旋回させられて位置付けられ、基板
保持部材対１２０Ａに保持された基板Ｐの基板保持部材
対１２０Ａの長手方向一端から突出せしめられた基板Ｐ
の両端部Ｐ１ｂをそれぞれクランプする（図８参照）。
基板Ｐの両端部Ｐ１ｂがクランプ手段２５０の各々によ
ってしっかりとクランプされた後、エアシリンダ機構１
４０Ａが作動させられ、基板保持部材対１２０Ａを構成
する基板保持部材１２０の各々が保持位置から保持解除
位置まで移動させられ、フィルムＦの剥離に支障がない
ように基板Ｐの幅方向両端から離される。基板Ｐは、ク
ランプ手段２５０の各々によってのみ鉛直な姿勢で保持
される。
２まで搬送されて位置付けられると、図４に示されてい
るように、保持手段１３０の各々の被係止大径部１３４
が、それぞれ対応する保持解除手段１４０の係止部材１
４４内に干渉することなく進入させられて位置付けられ
る。エアシリンダ機構２２２が作動させられて、基板先
端検出センサＳ４が所定の待機位置から下降させられ、
基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａの高さ位置が検出される。基板
先端検出センサＳ４が該高さ位置を検出すると、エアシ
リンダ機構２２２によって所定の待機位置まで上昇させ
られる。基板先端検出センサＳ４の検出信号に基づい
て、クランプ手段２５０の各々のクランプ板部材２５４
がそれぞれ閉位置に旋回させられて位置付けられ、基板
保持部材対１２０Ａに保持された基板Ｐの基板保持部材
対１２０Ａの長手方向一端から突出せしめられた基板Ｐ
の両端部Ｐ１ｂをそれぞれクランプする（図８参照）。
基板Ｐの両端部Ｐ１ｂがクランプ手段２５０の各々によ
ってしっかりとクランプされた後、エアシリンダ機構１
４０Ａが作動させられ、基板保持部材対１２０Ａを構成
する基板保持部材１２０の各々が保持位置から保持解除
位置まで移動させられ、フィルムＦの剥離に支障がない
ように基板Ｐの幅方向両端から離される。基板Ｐは、ク
ランプ手段２５０の各々によってのみ鉛直な姿勢で保持
される。
【００３８】次に、エアシリンダ機構２２０が作動さ
れ、圧力エア噴射手段２６０、すなわち枠体２６２及び
枠体２６２に支持された３本の圧力エア供給パイプ２６
４、２６６及び２６８が、所定の待機位置（図８におい
て２点鎖線で示される位置参照）から圧力エア噴射位置
（図８において実線で示される位置参照）まで下降させ
られる。圧力エア噴射位置は、基板先端検出センサＳ４
の検出信号に基づいて規定される。中央の圧力エア噴射
パイプ２６６は基板Ｐの一端Ｐ１ａの上方に接近して
（例えば、０．９ｍｍ〜２．０ｍｍの隙間をおいて）一
端Ｐ１ａに沿って延在するよう位置付けられると共に圧
力エア噴射孔２６６ａの各々から基板Ｐの一端Ｐ１ａに
向けて高圧エア（例えば、０．７〜０．９Ｍｐ）が噴射
される。圧力エアの噴射は図示しない電磁開閉弁を開く
ことにより行なわれる。また、両側の２本の圧力エア供
給パイプ２６４及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ及
び２６８ａの各々から基板Ｐの本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃ
の両面に向けて圧力エアが噴射される。なお、中央の圧
力エア噴射パイプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａの軸
線、すなわち噴射方向は、基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１
ａ（この場合は上端）に指向されているが、圧力エア供
給パイプ２６４及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ及
び２６８ａの各々の軸線は、本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃの
両面に指向されている。
れ、圧力エア噴射手段２６０、すなわち枠体２６２及び
枠体２６２に支持された３本の圧力エア供給パイプ２６
４、２６６及び２６８が、所定の待機位置（図８におい
て２点鎖線で示される位置参照）から圧力エア噴射位置
（図８において実線で示される位置参照）まで下降させ
られる。圧力エア噴射位置は、基板先端検出センサＳ４
の検出信号に基づいて規定される。中央の圧力エア噴射
パイプ２６６は基板Ｐの一端Ｐ１ａの上方に接近して
（例えば、０．９ｍｍ〜２．０ｍｍの隙間をおいて）一
端Ｐ１ａに沿って延在するよう位置付けられると共に圧
力エア噴射孔２６６ａの各々から基板Ｐの一端Ｐ１ａに
向けて高圧エア（例えば、０．７〜０．９Ｍｐ）が噴射
される。圧力エアの噴射は図示しない電磁開閉弁を開く
ことにより行なわれる。また、両側の２本の圧力エア供
給パイプ２６４及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ及
び２６８ａの各々から基板Ｐの本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃ
の両面に向けて圧力エアが噴射される。なお、中央の圧
力エア噴射パイプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａの軸
線、すなわち噴射方向は、基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１
ａ（この場合は上端）に指向されているが、圧力エア供
給パイプ２６４及び２６８の圧力エア噴射孔２６４ａ及
び２６８ａの各々の軸線は、本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃの
両面に指向されている。
【００３９】更に詳細に説明すると、この高圧エアは、
絶縁樹脂Ｐ２の各々の一端Ｐ２ａから基板Ｐの本体Ｐ１
の一端Ｐ１ａ方向に張り出しているフィルムＦの各々の
一端部と、本体Ｐ１の両面との間にそれぞれ形成されて
いる隙間Ｃに向けて噴射される。この高圧エアのエアナ
イフ作用によって、フィルムＦの各々は、対応する絶縁
樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａから後端に向かってしかも実質的
に鉛直に上から下に向かって徐々にかつ迅速に剥離され
てゆく。基板Ｐの一端部に形成されている上記フィルム
剥離しろは、高圧エア噴射による最初の剥離作用の促進
に寄与する。基板Ｐは、その上端部における両端部Ｐ１
ｂがクランプ手段２５０の各々によって鉛直な姿勢でし
っかりとクランプされているので、高圧エア噴射圧力の
衝撃による基板Ｐの一端部Ｐ１ｃのぶれは少なく抑えら
れ、基板Ｐが損傷されることはない。また、噴射された
高圧エアは、剥離されたフィルムＦの各々の剥離面と、
対応する絶縁樹脂Ｐ２の被剥離面との隙間内を基板Ｐの
両面に沿って実質的に鉛直に上から下に向かって指向さ
れるので（ガイドされるので）、フィルムＦの各々の、
対応する絶縁樹脂Ｐ２からの剥離作用を促進する。フィ
ルムＦの各々は、基板Ｐの両面に貼着されている絶縁樹
脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されている
にもかかわらず、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることな
く、一瞬にして絶縁樹脂Ｐ２から完全に剥離される。剥
離されたフィルムＦの各々は、圧力エアにより下方に吹
き飛ばされ、収容箱２内に落下せしめられる。このよう
に、基板Ｐはクランプ手段２５０の各々によって鉛直な
姿勢でクランプされていることに起因して、剥離された
フィルムＦを搬送する機構を別に設けることなく、収容
箱２に収容することが可能となり、構成の簡略化が可能
となる。
絶縁樹脂Ｐ２の各々の一端Ｐ２ａから基板Ｐの本体Ｐ１
の一端Ｐ１ａ方向に張り出しているフィルムＦの各々の
一端部と、本体Ｐ１の両面との間にそれぞれ形成されて
いる隙間Ｃに向けて噴射される。この高圧エアのエアナ
イフ作用によって、フィルムＦの各々は、対応する絶縁
樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａから後端に向かってしかも実質的
に鉛直に上から下に向かって徐々にかつ迅速に剥離され
てゆく。基板Ｐの一端部に形成されている上記フィルム
剥離しろは、高圧エア噴射による最初の剥離作用の促進
に寄与する。基板Ｐは、その上端部における両端部Ｐ１
ｂがクランプ手段２５０の各々によって鉛直な姿勢でし
っかりとクランプされているので、高圧エア噴射圧力の
衝撃による基板Ｐの一端部Ｐ１ｃのぶれは少なく抑えら
れ、基板Ｐが損傷されることはない。また、噴射された
高圧エアは、剥離されたフィルムＦの各々の剥離面と、
対応する絶縁樹脂Ｐ２の被剥離面との隙間内を基板Ｐの
両面に沿って実質的に鉛直に上から下に向かって指向さ
れるので（ガイドされるので）、フィルムＦの各々の、
対応する絶縁樹脂Ｐ２からの剥離作用を促進する。フィ
ルムＦの各々は、基板Ｐの両面に貼着されている絶縁樹
脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されている
にもかかわらず、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることな
く、一瞬にして絶縁樹脂Ｐ２から完全に剥離される。剥
離されたフィルムＦの各々は、圧力エアにより下方に吹
き飛ばされ、収容箱２内に落下せしめられる。このよう
に、基板Ｐはクランプ手段２５０の各々によって鉛直な
姿勢でクランプされていることに起因して、剥離された
フィルムＦを搬送する機構を別に設けることなく、収容
箱２に収容することが可能となり、構成の簡略化が可能
となる。
【００４０】フィルムＦの各々が剥ぎ取られた後、すな
わち圧力エアが噴射されてから所定時間経過後、圧力エ
アの噴射が停止される。圧力エアの噴射停止は、上記電
磁開閉弁を閉じることにより行なわれる。なお、圧力エ
ア噴射手段２６０の圧力エア供給パイプを、１本の圧力
エア供給パイプ２６６のみで構成する他の実施形態も成
立する。したがって、圧力エアの噴射時においては、圧
力エア噴射手段２６０によって、基板Ｐの少なくとも一
端Ｐ１ａに向けて上方から圧力気体を噴射することが重
要である。これにより上記した如き剥離効果の達成は可
能である。
わち圧力エアが噴射されてから所定時間経過後、圧力エ
アの噴射が停止される。圧力エアの噴射停止は、上記電
磁開閉弁を閉じることにより行なわれる。なお、圧力エ
ア噴射手段２６０の圧力エア供給パイプを、１本の圧力
エア供給パイプ２６６のみで構成する他の実施形態も成
立する。したがって、圧力エアの噴射時においては、圧
力エア噴射手段２６０によって、基板Ｐの少なくとも一
端Ｐ１ａに向けて上方から圧力気体を噴射することが重
要である。これにより上記した如き剥離効果の達成は可
能である。
【００４１】圧力エア噴射手段２６０による圧力エアの
噴射が停止された後、圧力エア噴射手段２６０がエアシ
リンダ機構２２０によって圧力エア噴射位置から所定の
待機位置まで上昇させられる。エアシリンダ機構１４０
Ａが作動させられ、基板保持部材対１２０Ａを構成する
基板保持部材１２０の各々が保持解除位置から保持位置
まで移動させられ、再び基板Ｐを保持する。このとき基
板Ｐが多少曲がっていても、先に述べたように、基板保
持部材１２０の各々の側壁１２２の各々をフレア形状な
いしはテーパ付きの形状とし、また端壁１２６の各々を
下方（剥離位置に位置付けられた状態で下方）に広がる
形状ないしはテーパ付きの形状とすることにより、基板
保持部材１２０の各々は該基板Ｐを円滑に受け入れるこ
とが可能になる。基板保持部材対１２０Ａを構成する基
板保持部材１２０の各々が保持位置に戻され、基板Ｐが
保持された後、クランプ手段２５０の各々のクランプ板
部材２５４がそれぞれ閉位置から開位置に旋回させられ
て基板Ｐの幅方向両端の搬送方向の移動軌跡上から退避
させられ、基板Ｐのクランプが解除される。
噴射が停止された後、圧力エア噴射手段２６０がエアシ
リンダ機構２２０によって圧力エア噴射位置から所定の
待機位置まで上昇させられる。エアシリンダ機構１４０
Ａが作動させられ、基板保持部材対１２０Ａを構成する
基板保持部材１２０の各々が保持解除位置から保持位置
まで移動させられ、再び基板Ｐを保持する。このとき基
板Ｐが多少曲がっていても、先に述べたように、基板保
持部材１２０の各々の側壁１２２の各々をフレア形状な
いしはテーパ付きの形状とし、また端壁１２６の各々を
下方（剥離位置に位置付けられた状態で下方）に広がる
形状ないしはテーパ付きの形状とすることにより、基板
保持部材１２０の各々は該基板Ｐを円滑に受け入れるこ
とが可能になる。基板保持部材対１２０Ａを構成する基
板保持部材１２０の各々が保持位置に戻され、基板Ｐが
保持された後、クランプ手段２５０の各々のクランプ板
部材２５４がそれぞれ閉位置から開位置に旋回させられ
て基板Ｐの幅方向両端の搬送方向の移動軌跡上から退避
させられ、基板Ｐのクランプが解除される。
【００４２】基板Ｐのクランプが解除された後、電動モ
ータＭ１が図１において反時計方向に回転駆動される。
フィルムＦが剥離された基板Ｐを保持した基板保持部材
対１２０Ａは、チェーン１１８の各々によって上水平移
動領域から下流側半円移動領域に向かって移動させられ
る。保持手段１３０の各々のロッド部材１３２及び被係
止大径部１３４は、保持解除手段１４０の係止部材１４
４から抜け出す。基板保持部材対１２０Ａが下流側半円
移動領域に移動させられて、下流側半円移動領域の中央
位置に設定された搬出位置Ｘ３に達すると電動モータＭ
１の回転駆動が停止される。上水平移動領域においては
鉛直な姿勢で搬送される基板保持部材対１２０Ａは、下
流側半円移動領域に設定された搬出位置Ｘ３に達すると
水平な姿勢にせしめられる。すなわち、基板保持部材対
１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、端壁
１２６が基板搬送方向上流側に位置するように水平に位
置付けられる。その結果、基板Ｐも鉛直な姿勢から水平
な姿勢にせしめられる。基板Ｐは、図示しない受取装置
（搬出装置）により基板保持部材対１２０Ａから次工程
に向けて搬出させられる。基板Ｐが搬出された空の基板
保持部材対１２０Ａは、下流側半円移動領域から下水平
移動領域を経て、再び上流側半円移動領域に設定された
受取位置Ｘ１まで移動させられる。以上の動作がコント
ローラの制御に従って繰り返されることにより、フィル
ム剥離搬送装置による基板Ｐの搬送及びフィルムＦの剥
離作動が繰り返し遂行される。実施形態においては、基
板保持部材対１２０Ａは、複数対配設されているので、
基板保持部材対１２０Ａ毎に上記動作が行なわれるの
で、基板搬送手段１００の搬送動作は所定のタイミング
で間欠的に行なわれる。
ータＭ１が図１において反時計方向に回転駆動される。
フィルムＦが剥離された基板Ｐを保持した基板保持部材
対１２０Ａは、チェーン１１８の各々によって上水平移
動領域から下流側半円移動領域に向かって移動させられ
る。保持手段１３０の各々のロッド部材１３２及び被係
止大径部１３４は、保持解除手段１４０の係止部材１４
４から抜け出す。基板保持部材対１２０Ａが下流側半円
移動領域に移動させられて、下流側半円移動領域の中央
位置に設定された搬出位置Ｘ３に達すると電動モータＭ
１の回転駆動が停止される。上水平移動領域においては
鉛直な姿勢で搬送される基板保持部材対１２０Ａは、下
流側半円移動領域に設定された搬出位置Ｘ３に達すると
水平な姿勢にせしめられる。すなわち、基板保持部材対
１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々は、端壁
１２６が基板搬送方向上流側に位置するように水平に位
置付けられる。その結果、基板Ｐも鉛直な姿勢から水平
な姿勢にせしめられる。基板Ｐは、図示しない受取装置
（搬出装置）により基板保持部材対１２０Ａから次工程
に向けて搬出させられる。基板Ｐが搬出された空の基板
保持部材対１２０Ａは、下流側半円移動領域から下水平
移動領域を経て、再び上流側半円移動領域に設定された
受取位置Ｘ１まで移動させられる。以上の動作がコント
ローラの制御に従って繰り返されることにより、フィル
ム剥離搬送装置による基板Ｐの搬送及びフィルムＦの剥
離作動が繰り返し遂行される。実施形態においては、基
板保持部材対１２０Ａは、複数対配設されているので、
基板保持部材対１２０Ａ毎に上記動作が行なわれるの
で、基板搬送手段１００の搬送動作は所定のタイミング
で間欠的に行なわれる。
【００４３】上記した如く、本発明によるフィルム剥離
搬送装置は、フィルムＦが貼着された基板Ｐを、基板Ｐ
の搬送幅方向における両端部を離脱自在に保持した状態
で、受取位置Ｘ１から剥離位置Ｘ２へ、そして剥離位置
Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送する基板搬送手段１００
と、剥離位置Ｘ２においてフィルムＦを基板Ｐから完全
に剥離させる剥離手段２００とを備えている。基板Ｐ
は、受取位置Ｘ１において水平な姿勢で受け取られた
後、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢となるよう、受取
位置Ｘ１から剥離位置Ｘ２まで搬送され、剥離位置Ｘ２
において鉛直な姿勢で剥離手段２００によりフィルムＦ
が完全に剥離され、更に搬出位置Ｘ３において水平な姿
勢となるよう搬出位置Ｘ３まで搬送される。なお、本発
明において、鉛直な姿勢、水平な姿勢とは、それぞれ、
幾何学的に完全な姿勢のみを意味するものではなく、わ
ずかな角度のずれないし誤差があってもその範囲に含ま
れるものである。以上の構成により、基板Ｐは、絶縁樹
脂Ｐ２が貼着された領域に外部から一切触れることなく
搬送され、かつ剥離動作が遂行されるので、基板Ｐの品
質は確実に保証される。したがって、厚さが非常に薄い
基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損なうことなく安定
した搬送を可能にする。また、フィルムＦの剥離は、鉛
直な姿勢に保持された基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａに
向けて高圧エアを噴射することにより行なわれるので、
基板Ｐの品質を損なうことなく、円滑かつ確実な剥離効
果が達成される。すなわち、厚さが非常に薄い基板Ｐで
あっても、基板Ｐに貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較
的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムＦ
を、絶縁樹脂Ｐ２を傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から
十分確実に剥離することを可能にするのである。特に、
基板Ｐを鉛直な姿勢に保持した状態でフィルムＦを上方
から下方に向かって剥離する動作は、基板Ｐを安定して
保持することができると共に、基板ＰからのフィルムＦ
の剥離を、水平な姿勢で行なう場合に較べて、より安定
してかつ効果的に遂行することを可能にし、実用上、き
わめて有用である。
搬送装置は、フィルムＦが貼着された基板Ｐを、基板Ｐ
の搬送幅方向における両端部を離脱自在に保持した状態
で、受取位置Ｘ１から剥離位置Ｘ２へ、そして剥離位置
Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送する基板搬送手段１００
と、剥離位置Ｘ２においてフィルムＦを基板Ｐから完全
に剥離させる剥離手段２００とを備えている。基板Ｐ
は、受取位置Ｘ１において水平な姿勢で受け取られた
後、剥離位置Ｘ２において鉛直な姿勢となるよう、受取
位置Ｘ１から剥離位置Ｘ２まで搬送され、剥離位置Ｘ２
において鉛直な姿勢で剥離手段２００によりフィルムＦ
が完全に剥離され、更に搬出位置Ｘ３において水平な姿
勢となるよう搬出位置Ｘ３まで搬送される。なお、本発
明において、鉛直な姿勢、水平な姿勢とは、それぞれ、
幾何学的に完全な姿勢のみを意味するものではなく、わ
ずかな角度のずれないし誤差があってもその範囲に含ま
れるものである。以上の構成により、基板Ｐは、絶縁樹
脂Ｐ２が貼着された領域に外部から一切触れることなく
搬送され、かつ剥離動作が遂行されるので、基板Ｐの品
質は確実に保証される。したがって、厚さが非常に薄い
基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損なうことなく安定
した搬送を可能にする。また、フィルムＦの剥離は、鉛
直な姿勢に保持された基板Ｐの本体Ｐ１の一端Ｐ１ａに
向けて高圧エアを噴射することにより行なわれるので、
基板Ｐの品質を損なうことなく、円滑かつ確実な剥離効
果が達成される。すなわち、厚さが非常に薄い基板Ｐで
あっても、基板Ｐに貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較
的強力な密着強度をもって貼着されているフィルムＦ
を、絶縁樹脂Ｐ２を傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から
十分確実に剥離することを可能にするのである。特に、
基板Ｐを鉛直な姿勢に保持した状態でフィルムＦを上方
から下方に向かって剥離する動作は、基板Ｐを安定して
保持することができると共に、基板ＰからのフィルムＦ
の剥離を、水平な姿勢で行なう場合に較べて、より安定
してかつ効果的に遂行することを可能にし、実用上、き
わめて有用である。
【００４４】図１１には、剥離位置に配設されたクラン
プ手段の他の実施形態が示されている。先に述べたクラ
ンプ手段２５０の各々は、基板Ｐの一端部側における幅
方向両端部Ｐ１ｂを解除自在にクランプするクランプ手
段であるが、図１１に示されているクランプ手段２７０
の各々は、基板Ｐの本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃの複数箇
所、実施形態においては３箇所を解除自在にクランプす
るクランプ手段である。クランプ手段２７０の各々は、
それぞれハウジング２７２を備えている。ハウジング２
７２の各々は、先に述べた圧力エア噴射手段２６０の枠
体２６２に、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて配置さ
れている。ハウジング２７２の各々には、それぞれ一対
のチャック部材２７４を含むエアチャッキング機構が配
設されている。クランプ手段２７０の各々において、チ
ャック部材２７４の各対は、それぞれエアチャッキング
機構によって、閉位置と開位置との間を移動可能であ
る。なお、クランプ手段２７０の各々は、エアシリンダ
機構、電動モータを駆動源とするクランプ機構などの他
の実施形態もある。枠体２６２には圧力エア噴射手段２
６０と基本的に同じ構成を有する圧力エア噴射手段が備
えられている。この圧力エア噴射手段は、圧力エア供給
パイプ２６４、２６６及び２６８を備えている。中央の
圧力エア供給パイプ２６６は、基板Ｐの搬送幅方向の中
央に位置するクランプ手段２７０及び該幅方向に位置す
るクランプ手段２７０との干渉を避けるため、中央に位
置するクランプ手段２７０を、基板Ｐの搬送幅方向に挟
んだ２本の圧力エア供給パイプ２６６Ａと２６６Ｂとに
分割されて配置されている。両側の圧力エア供給パイプ
２６４と２６８は、クランプ手段２７０の各々のチャッ
ク部材２７４の各対の、両側（基板Ｐの搬送方向両側）
を基板Ｐの搬送幅方向に延在するよう配置されている。
プ手段の他の実施形態が示されている。先に述べたクラ
ンプ手段２５０の各々は、基板Ｐの一端部側における幅
方向両端部Ｐ１ｂを解除自在にクランプするクランプ手
段であるが、図１１に示されているクランプ手段２７０
の各々は、基板Ｐの本体Ｐ１の一端部Ｐ１ｃの複数箇
所、実施形態においては３箇所を解除自在にクランプす
るクランプ手段である。クランプ手段２７０の各々は、
それぞれハウジング２７２を備えている。ハウジング２
７２の各々は、先に述べた圧力エア噴射手段２６０の枠
体２６２に、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて配置さ
れている。ハウジング２７２の各々には、それぞれ一対
のチャック部材２７４を含むエアチャッキング機構が配
設されている。クランプ手段２７０の各々において、チ
ャック部材２７４の各対は、それぞれエアチャッキング
機構によって、閉位置と開位置との間を移動可能であ
る。なお、クランプ手段２７０の各々は、エアシリンダ
機構、電動モータを駆動源とするクランプ機構などの他
の実施形態もある。枠体２６２には圧力エア噴射手段２
６０と基本的に同じ構成を有する圧力エア噴射手段が備
えられている。この圧力エア噴射手段は、圧力エア供給
パイプ２６４、２６６及び２６８を備えている。中央の
圧力エア供給パイプ２６６は、基板Ｐの搬送幅方向の中
央に位置するクランプ手段２７０及び該幅方向に位置す
るクランプ手段２７０との干渉を避けるため、中央に位
置するクランプ手段２７０を、基板Ｐの搬送幅方向に挟
んだ２本の圧力エア供給パイプ２６６Ａと２６６Ｂとに
分割されて配置されている。両側の圧力エア供給パイプ
２６４と２６８は、クランプ手段２７０の各々のチャッ
ク部材２７４の各対の、両側（基板Ｐの搬送方向両側）
を基板Ｐの搬送幅方向に延在するよう配置されている。
【００４５】圧力エア噴射手段は、先に述べたと同じ如
く、エアシリンダ機構２２０によって、所定の待機位置
と圧力エア噴射位置との間を昇降させられる。クランプ
手段２７０の各々もそれと一体に所定の待機位置とクラ
ンプ位置との間を昇降させられる。クランプ位置に位置
付けられたクランプ手段２７０の各々は、各々のチャッ
ク部材２７４の対によって、剥離位置Ｘ２に位置付けら
れた基板Ｐの一端部Ｐ１ｃにおける両端部と中央部の３
箇所を解除自在にクランプすることができる。圧力エア
噴射手段の作用は先に述べたのと実質的に同じであり、
説明は省略する。クランプ位置に位置付けられた基板Ｐ
は、その一端部Ｐ１ｃにおける両端部と中央部の３箇所
がクランプ手段２７０の各々によってクランプされてフ
ィルムＦの剥離が行なわれるので、圧力エア噴射時にお
ける、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃのぶれが一層少なく抑えら
れ、より安定した剥離作用が保証される。
く、エアシリンダ機構２２０によって、所定の待機位置
と圧力エア噴射位置との間を昇降させられる。クランプ
手段２７０の各々もそれと一体に所定の待機位置とクラ
ンプ位置との間を昇降させられる。クランプ位置に位置
付けられたクランプ手段２７０の各々は、各々のチャッ
ク部材２７４の対によって、剥離位置Ｘ２に位置付けら
れた基板Ｐの一端部Ｐ１ｃにおける両端部と中央部の３
箇所を解除自在にクランプすることができる。圧力エア
噴射手段の作用は先に述べたのと実質的に同じであり、
説明は省略する。クランプ位置に位置付けられた基板Ｐ
は、その一端部Ｐ１ｃにおける両端部と中央部の３箇所
がクランプ手段２７０の各々によってクランプされてフ
ィルムＦの剥離が行なわれるので、圧力エア噴射時にお
ける、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃのぶれが一層少なく抑えら
れ、より安定した剥離作用が保証される。
【００４６】図１２及び図１３には、本発明によるフィ
ルム剥離搬送装置の他の実施形態が示されている。この
フィルム剥離搬送装置は、基板Ｐを、基板Ｐの搬送幅方
向における両端部を離脱自在に保持した状態で、受取位
置Ｘ１から端部剥離位置Ｘ１Ａへ、端部剥離位置Ｘ１Ａ
から剥離位置Ｘ２へ、そして剥離位置Ｘ２から搬出位置
Ｘ３まで搬送する基板搬送手段１００と、端部剥離位置
Ｘ１Ａにおいてフィルムの、鉛直上方に位置する一端部
を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段３００と、
剥離位置Ｘ２において一端部が剥離されたフィルムＦを
基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４００とを備えて
いる。基板搬送手段１００によって端部剥離位置Ｘ１Ａ
に搬送された基板Ｐは、鉛直な姿勢で端部剥離手段３０
０によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する一端部が部
分的に剥離させられ、基板搬送手段１００によって端部
剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ２に搬送された基板Ｐ
は、鉛直な姿勢で剥離手段４００により、一端部が部分
的に剥離させられたフィルムＦが完全に剥離される。基
板搬送手段１００は、受取位置Ｘ１において基板Ｐを水
平な姿勢で受け取り、端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて基板
Ｐが鉛直な姿勢となるよう、受取位置Ｘ１で受け取った
基板Ｐを端部剥離位置Ｘ１Ａまで搬送し、端部剥離位置
Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥離手段３００により
フィルムＦの、鉛直上方に位置する一端部が部分的に剥
離された基板Ｐを鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｘ
２まで搬送し、剥離位置Ｘ２において、該一端部が部分
的に剥離されたフィルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４０
０により完全に剥離された基板Ｐを、搬出位置Ｘ３にお
いて水平な姿勢となるよう搬出位置Ｘ３まで搬送する。
ルム剥離搬送装置の他の実施形態が示されている。この
フィルム剥離搬送装置は、基板Ｐを、基板Ｐの搬送幅方
向における両端部を離脱自在に保持した状態で、受取位
置Ｘ１から端部剥離位置Ｘ１Ａへ、端部剥離位置Ｘ１Ａ
から剥離位置Ｘ２へ、そして剥離位置Ｘ２から搬出位置
Ｘ３まで搬送する基板搬送手段１００と、端部剥離位置
Ｘ１Ａにおいてフィルムの、鉛直上方に位置する一端部
を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段３００と、
剥離位置Ｘ２において一端部が剥離されたフィルムＦを
基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４００とを備えて
いる。基板搬送手段１００によって端部剥離位置Ｘ１Ａ
に搬送された基板Ｐは、鉛直な姿勢で端部剥離手段３０
０によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する一端部が部
分的に剥離させられ、基板搬送手段１００によって端部
剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ２に搬送された基板Ｐ
は、鉛直な姿勢で剥離手段４００により、一端部が部分
的に剥離させられたフィルムＦが完全に剥離される。基
板搬送手段１００は、受取位置Ｘ１において基板Ｐを水
平な姿勢で受け取り、端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて基板
Ｐが鉛直な姿勢となるよう、受取位置Ｘ１で受け取った
基板Ｐを端部剥離位置Ｘ１Ａまで搬送し、端部剥離位置
Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥離手段３００により
フィルムＦの、鉛直上方に位置する一端部が部分的に剥
離された基板Ｐを鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｘ
２まで搬送し、剥離位置Ｘ２において、該一端部が部分
的に剥離されたフィルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４０
０により完全に剥離された基板Ｐを、搬出位置Ｘ３にお
いて水平な姿勢となるよう搬出位置Ｘ３まで搬送する。
【００４７】このフィルム剥離搬送装置が先に説明した
フィルム剥離搬送装置と相違する主要なところは、受取
位置Ｘ１と剥離位置Ｘ２との間に端部剥離位置Ｘ１Ａが
設定され、端部剥離位置Ｘ１Ａに端部剥離手段３００が
配設されたこと、剥離手段４００の構成が剥離手段２０
０と異なること、剥離位置Ｘ２の下方にフィルム搬送手
段５００が配設されていることなどであり、基板搬送手
段１００は実質的に同じである。したがって同一部分は
同一符号で示し、説明は省略する。また、このフィルム
剥離搬送装置に適用される基板Ｐは、ビルドアップ工法
により製造されたプリント配線基板から構成されている
のではなく、それ以外の一般的なプリント配線基板、す
なわちフォトレジスト層の表面にフィルムＦが貼着され
る形態の基板Ｐである。この基板Ｐは、例えば、図９及
び図１０に示されている基板Ｐにおいて、絶縁樹脂Ｐ２
の各々を、フォトレジスト層とみなし、フィルムＦの各
々の一端Ｆａと、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａと
が平面から見て重合された位置に存在する如き構成であ
る。したがって、この基板Ｐにおいては、図９及び図１
０に示されている基板Ｐにおける如き、フィルムＦの各
々の張出部は形成されていない。
フィルム剥離搬送装置と相違する主要なところは、受取
位置Ｘ１と剥離位置Ｘ２との間に端部剥離位置Ｘ１Ａが
設定され、端部剥離位置Ｘ１Ａに端部剥離手段３００が
配設されたこと、剥離手段４００の構成が剥離手段２０
０と異なること、剥離位置Ｘ２の下方にフィルム搬送手
段５００が配設されていることなどであり、基板搬送手
段１００は実質的に同じである。したがって同一部分は
同一符号で示し、説明は省略する。また、このフィルム
剥離搬送装置に適用される基板Ｐは、ビルドアップ工法
により製造されたプリント配線基板から構成されている
のではなく、それ以外の一般的なプリント配線基板、す
なわちフォトレジスト層の表面にフィルムＦが貼着され
る形態の基板Ｐである。この基板Ｐは、例えば、図９及
び図１０に示されている基板Ｐにおいて、絶縁樹脂Ｐ２
の各々を、フォトレジスト層とみなし、フィルムＦの各
々の一端Ｆａと、対応する絶縁樹脂Ｐ２の一端Ｐ２ａと
が平面から見て重合された位置に存在する如き構成であ
る。したがって、この基板Ｐにおいては、図９及び図１
０に示されている基板Ｐにおける如き、フィルムＦの各
々の張出部は形成されていない。
【００４８】天井枠体１８には、昇降手段を介して支持
枠３０２が配設されている。昇降手段は、天井枠体１８
に配設された複数のガイド部材３０３に沿って鉛直方向
に昇降自在に移動可能な複数の被ガイドロッド３０４
と、天井枠体１８に配設されたハウジング３０６と、ハ
ウジング３０６に回転可能にねじ係合されてハウジング
３０６から鉛直下向に延び出すねじロッド部材３０８と
を備えている。被ガイドロッド３０４の下端は支持枠３
０２に連結され、ねじロッド部材３０８の下端は、支持
枠３０２に相対回転自在に連結されている。ハウジング
３０６内には、ねじロッド部材３０８を回転駆動させる
ことにより昇降させる図示しない電動モータを含む駆動
機構が配設されている。電動モータを正逆回転駆動する
と、ねじロッド部材３０６が昇降させられて、支持枠３
０２が昇降させられる。支持枠３０２に、端部剥離手段
３００と剥離手段４００が支持されている。端部剥離手
段３００は、上記昇降手段によって、所定の待機位置と
端部剥離作動位置の間を昇降させられ、また、剥離手段
４００は、端部剥離手段３００の所定の待機位置と一致
する第１の待機位置と、端部剥離手段３００の端部剥離
作動位置と一致する第２の待機位置との間を昇降させら
れる。
枠３０２が配設されている。昇降手段は、天井枠体１８
に配設された複数のガイド部材３０３に沿って鉛直方向
に昇降自在に移動可能な複数の被ガイドロッド３０４
と、天井枠体１８に配設されたハウジング３０６と、ハ
ウジング３０６に回転可能にねじ係合されてハウジング
３０６から鉛直下向に延び出すねじロッド部材３０８と
を備えている。被ガイドロッド３０４の下端は支持枠３
０２に連結され、ねじロッド部材３０８の下端は、支持
枠３０２に相対回転自在に連結されている。ハウジング
３０６内には、ねじロッド部材３０８を回転駆動させる
ことにより昇降させる図示しない電動モータを含む駆動
機構が配設されている。電動モータを正逆回転駆動する
と、ねじロッド部材３０６が昇降させられて、支持枠３
０２が昇降させられる。支持枠３０２に、端部剥離手段
３００と剥離手段４００が支持されている。端部剥離手
段３００は、上記昇降手段によって、所定の待機位置と
端部剥離作動位置の間を昇降させられ、また、剥離手段
４００は、端部剥離手段３００の所定の待機位置と一致
する第１の待機位置と、端部剥離手段３００の端部剥離
作動位置と一致する第２の待機位置との間を昇降させら
れる。
【００４９】端部剥離手段３００は、基板Ｐの上記縦方
向における一端部近傍の領域であって、フィルムＦの一
端部よりも基板Ｐの他端方向に後退した基板Ｐの該一端
部近傍の領域の両面を解除自在にクランプするクランプ
手段３１０と、支持体３２０に配設されかつ基板Ｐの搬
送方向に対向して基板Ｐの搬送幅方向に直列に配設され
た複数の圧接ローラ対３２２と、支持体３２０に作用し
て圧接ローラ対３２２の各々を基板Ｐの搬送幅方向に往
復移動させる駆動手段であるエアシリンダ機構３３０と
を含んでいる。
向における一端部近傍の領域であって、フィルムＦの一
端部よりも基板Ｐの他端方向に後退した基板Ｐの該一端
部近傍の領域の両面を解除自在にクランプするクランプ
手段３１０と、支持体３２０に配設されかつ基板Ｐの搬
送方向に対向して基板Ｐの搬送幅方向に直列に配設され
た複数の圧接ローラ対３２２と、支持体３２０に作用し
て圧接ローラ対３２２の各々を基板Ｐの搬送幅方向に往
復移動させる駆動手段であるエアシリンダ機構３３０と
を含んでいる。
【００５０】図１２〜図１４を参照して、クランプ手段
３１０は、支持枠３０２に図示しない支持フランジ手段
を介して回転自在に支持された一対のクランプ部材３１
２と、クランプ部材３１２の各々をクランプ位置（図１
３及び図１４において実線で示される位置）と、クラン
プ解除位置（図１４において２点鎖線で示される位置）
とに選択的に旋回させる駆動手段である、一対のエアシ
リンダ機構３１４とを備えている。クランプ部材３１２
の各々は、クランプ部材３１２の各々がクランプ位置に
位置付けられた状態で、基板Ｐの搬送幅方向に延在する
クランプ部３１２ａと、クランプ部３１２ａの両端から
相互に平行に基板Ｐの搬送方向であって相互に離隔する
方向に延び、更に各々の先端から上方にほぼ直角に延び
る一対のアーム部３１２ｂとからなり、一対のアーム部
３１２ｂの上端は、図示しない支持フランジ手段に回転
自在に支持されている。クランプ部材３１２の各々の旋
回軸線は相互に基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて平行に
基板Ｐの搬送幅方向に延在する。エアシリンダ機構３１
４の各々は、図示しない支持部材を介して支持枠３０２
に支持され、各々のピストンロッドは、対応するクラン
プ部材３１２のアーム部３１２ｂに連結されている。基
板Ｐが端部剥離位置Ｘ１Ａに位置付けられた状態で、ク
ランプ部材３１２の各々が、対応するエアシリンダ機構
３１４によってクランプ位置に位置付けられると、クラ
ンプ部材３１２の各々のクランプ部３１２ａは、基板Ｐ
の上記一端部近傍の領域の両面を基板Ｐの搬送方向両側
から挟んで（フィルムＦの各々の両面外側から挟んで）
クランプし、また、クランプ解除位置に位置付けられる
と、基板Ｐの一端（上端）Ｐ１ａ（図１０参照）の搬送
方向の移動軌跡上から上方に退避させられて該クランプ
を解除する。
３１０は、支持枠３０２に図示しない支持フランジ手段
を介して回転自在に支持された一対のクランプ部材３１
２と、クランプ部材３１２の各々をクランプ位置（図１
３及び図１４において実線で示される位置）と、クラン
プ解除位置（図１４において２点鎖線で示される位置）
とに選択的に旋回させる駆動手段である、一対のエアシ
リンダ機構３１４とを備えている。クランプ部材３１２
の各々は、クランプ部材３１２の各々がクランプ位置に
位置付けられた状態で、基板Ｐの搬送幅方向に延在する
クランプ部３１２ａと、クランプ部３１２ａの両端から
相互に平行に基板Ｐの搬送方向であって相互に離隔する
方向に延び、更に各々の先端から上方にほぼ直角に延び
る一対のアーム部３１２ｂとからなり、一対のアーム部
３１２ｂの上端は、図示しない支持フランジ手段に回転
自在に支持されている。クランプ部材３１２の各々の旋
回軸線は相互に基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて平行に
基板Ｐの搬送幅方向に延在する。エアシリンダ機構３１
４の各々は、図示しない支持部材を介して支持枠３０２
に支持され、各々のピストンロッドは、対応するクラン
プ部材３１２のアーム部３１２ｂに連結されている。基
板Ｐが端部剥離位置Ｘ１Ａに位置付けられた状態で、ク
ランプ部材３１２の各々が、対応するエアシリンダ機構
３１４によってクランプ位置に位置付けられると、クラ
ンプ部材３１２の各々のクランプ部３１２ａは、基板Ｐ
の上記一端部近傍の領域の両面を基板Ｐの搬送方向両側
から挟んで（フィルムＦの各々の両面外側から挟んで）
クランプし、また、クランプ解除位置に位置付けられる
と、基板Ｐの一端（上端）Ｐ１ａ（図１０参照）の搬送
方向の移動軌跡上から上方に退避させられて該クランプ
を解除する。
【００５１】上記支持枠３０２には、昇降手段である流
体圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構
３１６が図示しない支持ブラケットを介して支持されて
いる。鉛直軸線上に配置された、エアシリンダ機構３１
６のピストンロッドの下端には、基板先端検出センサＳ
５が配設されている。基板先端検出センサＳ５は、端部
剥離位置Ｘ１Ａに搬送されて位置付けられた基板Ｐの鉛
直上端Ｐ１ａ（図１０参照）を検出するためのセンサで
あり、エアシリンダ機構３１６によって鉛直方向の所定
の待機位置に位置付けられている。
体圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構
３１６が図示しない支持ブラケットを介して支持されて
いる。鉛直軸線上に配置された、エアシリンダ機構３１
６のピストンロッドの下端には、基板先端検出センサＳ
５が配設されている。基板先端検出センサＳ５は、端部
剥離位置Ｘ１Ａに搬送されて位置付けられた基板Ｐの鉛
直上端Ｐ１ａ（図１０参照）を検出するためのセンサで
あり、エアシリンダ機構３１６によって鉛直方向の所定
の待機位置に位置付けられている。
【００５２】エアシリンダ機構３３０は、実施形態にお
いてはロッドレスエアシリンダ機構３３０から構成さ
れ、基板Ｐの搬送幅方向に延在するよう支持枠３０２の
下面側に配設されている。ロッドレスエアシリンダ機構
３３０の移動体３３２には支持体３２０が装着されてい
る。複数の圧接ローラ対３２２が配設された支持体３２
０は、基板Ｐの搬送方向の移動軌跡上から基板Ｐの搬送
幅方向外方に退避した位置に待機させられている。
いてはロッドレスエアシリンダ機構３３０から構成さ
れ、基板Ｐの搬送幅方向に延在するよう支持枠３０２の
下面側に配設されている。ロッドレスエアシリンダ機構
３３０の移動体３３２には支持体３２０が装着されてい
る。複数の圧接ローラ対３２２が配設された支持体３２
０は、基板Ｐの搬送方向の移動軌跡上から基板Ｐの搬送
幅方向外方に退避した位置に待機させられている。
【００５３】基板搬送手段１００によって、基板Ｐが鉛
直な姿勢で端部剥離位置Ｘ１Ａに搬送され、停止させら
れると、エアシリンダ機構３１６が作動させられて、基
板先端検出センサＳ５が所定の待機位置から下降させら
れ、基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａ（図１０参照）の高さ位置
が検出される。基板先端検出センサＳ５が該高さ位置を
検出すると、エアシリンダ機構３１６によって所定の待
機位置まで上昇させられる。基板先端検出センサＳ５の
検出信号に基づいて、端部剥離手段３００が、昇降手段
によって、所定の待機位置から端部剥離作動位置まで下
降させられる。次いで、クランプ部材３１２の各々が、
対応するエアシリンダ機構３１４によってクランプ位置
に位置付けられて、基板保持部材対１２０Ａに保持され
た基板Ｐの、上記一端部近傍の領域の両面を、基板Ｐの
搬送方向両側から挟んでクランプする。次いでロッドレ
スエアシリンダ機構３３０の作動により、移動体３３２
及び支持体３２０を介して複数の圧接ローラ対３２２が
待機位置から、フィルムＦの一端部の両面に沿って基板
Ｐの搬送幅方向に往復移動させられる。その結果、フィ
ルムＦの一端部は、基板Ｐの両面から部分的に剥離させ
られる。複数の圧接ローラ対３２２が待機位置に復帰し
てフィルムＦの端部剥離動作が終了すると、クランプ部
材３１２の各々が、対応するエアシリンダ機構３１４に
よってクランプ解除位置に戻される。フィルムＦの一端
部が部分的に剥離された基板Ｐは、基板搬送手段１００
によって、鉛直な姿勢に維持されて剥離位置Ｘ２に搬送
される。
直な姿勢で端部剥離位置Ｘ１Ａに搬送され、停止させら
れると、エアシリンダ機構３１６が作動させられて、基
板先端検出センサＳ５が所定の待機位置から下降させら
れ、基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａ（図１０参照）の高さ位置
が検出される。基板先端検出センサＳ５が該高さ位置を
検出すると、エアシリンダ機構３１６によって所定の待
機位置まで上昇させられる。基板先端検出センサＳ５の
検出信号に基づいて、端部剥離手段３００が、昇降手段
によって、所定の待機位置から端部剥離作動位置まで下
降させられる。次いで、クランプ部材３１２の各々が、
対応するエアシリンダ機構３１４によってクランプ位置
に位置付けられて、基板保持部材対１２０Ａに保持され
た基板Ｐの、上記一端部近傍の領域の両面を、基板Ｐの
搬送方向両側から挟んでクランプする。次いでロッドレ
スエアシリンダ機構３３０の作動により、移動体３３２
及び支持体３２０を介して複数の圧接ローラ対３２２が
待機位置から、フィルムＦの一端部の両面に沿って基板
Ｐの搬送幅方向に往復移動させられる。その結果、フィ
ルムＦの一端部は、基板Ｐの両面から部分的に剥離させ
られる。複数の圧接ローラ対３２２が待機位置に復帰し
てフィルムＦの端部剥離動作が終了すると、クランプ部
材３１２の各々が、対応するエアシリンダ機構３１４に
よってクランプ解除位置に戻される。フィルムＦの一端
部が部分的に剥離された基板Ｐは、基板搬送手段１００
によって、鉛直な姿勢に維持されて剥離位置Ｘ２に搬送
される。
【００５４】上記端部剥離手段３００において、圧接ロ
ーラ対３２２の各々を構成する圧接ローラは、支持軸に
回転自在に支持された外輪を含み、圧接ローラの各々の
該外輪の外周面には、粘着性を有するエラストマーが、
全周にわたって、又は周方向に間隔をおいて複数個配設
されている（いずれも図示せず）。フィルムＦの一端部
は、圧接ローラの各々の外周面に配設されたエラストマ
ーの粘着力によって剥ぎ取られれるので、圧接ローラの
各々の外周面を従来装置におけるよりも小さな圧力をも
って基板Ｐの表面に作用させるにもかかわらず、従来装
置よりも優れた剥離効果が得られる。したがって基板Ｐ
の表面を傷める可能性がすくなくなる。もちろん、圧接
ローラの各々の外輪を金属のみにより構成してもよい。
この場合、外輪の周表面にローレット加工を施しておく
ことが、フィルムＦの剥離効果を向上させる上で好まし
い。
ーラ対３２２の各々を構成する圧接ローラは、支持軸に
回転自在に支持された外輪を含み、圧接ローラの各々の
該外輪の外周面には、粘着性を有するエラストマーが、
全周にわたって、又は周方向に間隔をおいて複数個配設
されている（いずれも図示せず）。フィルムＦの一端部
は、圧接ローラの各々の外周面に配設されたエラストマ
ーの粘着力によって剥ぎ取られれるので、圧接ローラの
各々の外周面を従来装置におけるよりも小さな圧力をも
って基板Ｐの表面に作用させるにもかかわらず、従来装
置よりも優れた剥離効果が得られる。したがって基板Ｐ
の表面を傷める可能性がすくなくなる。もちろん、圧接
ローラの各々の外輪を金属のみにより構成してもよい。
この場合、外輪の周表面にローレット加工を施しておく
ことが、フィルムＦの剥離効果を向上させる上で好まし
い。
【００５５】次に剥離手段４００について説明する。図
１２及び図１５を参照して、剥離手段４００は、支持枠
３０２の下側に図示しない鉛直ガイド手段を介して上下
動自在に支持された支持枠４０４と、支持枠３０２に配
設されて支持枠４０４を鉛直方向に昇降させる昇降手段
を備えている。昇降手段はエアシリンダ機構４０２によ
り構成され、エアシリンダ機構４０２のピストンロッド
の下端に支持枠４０４が連結されている。支持枠４０４
における、基板Ｐの搬送幅方向中央には、基板Ｐの搬送
方向に間隔をおいて一対のエアシリンダ機構４０６が鉛
直方向に延在するよう配設されている。エアシリンダ機
構４０６の各々のピストンロッド４０６ａの下端には、
それぞれ駆動体であるエアシリンダ機構４０８が配設さ
れている。したがって、エアシリンダ機構４０６の各々
は、それぞれ駆動体であるエアシリンダ機構４０８を鉛
直方向に昇降させる昇降手段を構成する。エアシリンダ
機構４０８の各々は、基板Ｐの搬送幅方向の中心を通り
基板Ｐの搬送方向に水平に延在する共通の軸線上に位置
付けられている。エアシリンダ機構４０８の各々から相
互に対向する方向に延び出すピストンロッド４０８ａの
先端には、それぞれフィルムガイドクランプ部材４１０
が支持されている。一対のフィルムガイドクランプ部材
４１０は、基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて対向しかつ
基板Ｐの搬送幅方向に所定の長さ延在する。基板Ｐが剥
離位置Ｘ２に位置付けられた状態で、エアシリンダ機構
４０８の各々は、それぞれ、フィルムガイドクランプ部
材４１０の各々の相互に対向する鉛直面を、フィルムＦ
の一端部を除く基板Ｐの一端部近傍の領域の両面であっ
て、基板Ｐの幅方向中央領域を所定の幅方向（基板Ｐの
幅方向）範囲をもってクランプするクランプ位置と、該
一端部近傍の領域から基板Ｐの搬送方向上流及び下流に
向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ
解除位置との間を選択的に移動させる。
１２及び図１５を参照して、剥離手段４００は、支持枠
３０２の下側に図示しない鉛直ガイド手段を介して上下
動自在に支持された支持枠４０４と、支持枠３０２に配
設されて支持枠４０４を鉛直方向に昇降させる昇降手段
を備えている。昇降手段はエアシリンダ機構４０２によ
り構成され、エアシリンダ機構４０２のピストンロッド
の下端に支持枠４０４が連結されている。支持枠４０４
における、基板Ｐの搬送幅方向中央には、基板Ｐの搬送
方向に間隔をおいて一対のエアシリンダ機構４０６が鉛
直方向に延在するよう配設されている。エアシリンダ機
構４０６の各々のピストンロッド４０６ａの下端には、
それぞれ駆動体であるエアシリンダ機構４０８が配設さ
れている。したがって、エアシリンダ機構４０６の各々
は、それぞれ駆動体であるエアシリンダ機構４０８を鉛
直方向に昇降させる昇降手段を構成する。エアシリンダ
機構４０８の各々は、基板Ｐの搬送幅方向の中心を通り
基板Ｐの搬送方向に水平に延在する共通の軸線上に位置
付けられている。エアシリンダ機構４０８の各々から相
互に対向する方向に延び出すピストンロッド４０８ａの
先端には、それぞれフィルムガイドクランプ部材４１０
が支持されている。一対のフィルムガイドクランプ部材
４１０は、基板Ｐの搬送方向に間隔をおいて対向しかつ
基板Ｐの搬送幅方向に所定の長さ延在する。基板Ｐが剥
離位置Ｘ２に位置付けられた状態で、エアシリンダ機構
４０８の各々は、それぞれ、フィルムガイドクランプ部
材４１０の各々の相互に対向する鉛直面を、フィルムＦ
の一端部を除く基板Ｐの一端部近傍の領域の両面であっ
て、基板Ｐの幅方向中央領域を所定の幅方向（基板Ｐの
幅方向）範囲をもってクランプするクランプ位置と、該
一端部近傍の領域から基板Ｐの搬送方向上流及び下流に
向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ
解除位置との間を選択的に移動させる。
【００５６】フィルムガイドクランプ部材４１０の各々
には、フィルムクランプ手段がそれぞれ配設されてい
る。フィルムクランプ手段の各々は、対応するフィルム
ガイドクランプ部材４１０に回転自在に支持されたフィ
ルムクランプ部材４１２と、フィルムクランプ部材４１
２に作用して、フィルムクランプ部材４１２を、フィル
ムガイドクランプ部材４１０の上面に圧接されるクラン
プ位置と、フィルムガイドクランプ部材４１０の上面か
ら退避するクランプ解除位置との間を選択的に移動させ
る（回転させる）図示しない駆動手段を備えている。駆
動手段は、例えばエアシリンダ機構、電動モータなどか
ら構成される。支持枠４０４にはまた、基板Ｐの一端部
Ｐ１ｃ（図１０参照）の幅方向の複数箇所、実施形態に
おいては２箇所を解除自在にクランプする基板クランプ
手段と、基板Ｐの、少なくとも一端Ｐ１ａ（図１０参
照）に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射
手段とが図示しない支持体を介して配設されている。基
板クランプ手段は、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて
該支持体に回転自在に支持されたそれぞれ一対の基板ク
ランプ部材４１４と、基板クランプ部材４１４の各対
を、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面をクランプするクラン
プ位置と、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面から退避するク
ランプ解除位置との間を選択的に回転させる図示しない
駆動手段（例えばエアシリンダ機構、電動モータなどか
ら構成される）とを備えている。基板クランプ部材４１
４の各対を含む基板クランプ手段は、一対のフィルムガ
イドクランプ部材４１０に対し、基板Ｐの搬送幅方向の
両側方に間隔をおいて配置されている。圧力気体噴射手
段、実施形態において圧力エア噴射手段は、先に述べた
圧力エア噴射手段２６０と実質的に同じでよいが、実施
形態においては、先の実施形態と実質的に同じ構成を有
する１本の圧力エア供給パイプ２６６を備えている。
には、フィルムクランプ手段がそれぞれ配設されてい
る。フィルムクランプ手段の各々は、対応するフィルム
ガイドクランプ部材４１０に回転自在に支持されたフィ
ルムクランプ部材４１２と、フィルムクランプ部材４１
２に作用して、フィルムクランプ部材４１２を、フィル
ムガイドクランプ部材４１０の上面に圧接されるクラン
プ位置と、フィルムガイドクランプ部材４１０の上面か
ら退避するクランプ解除位置との間を選択的に移動させ
る（回転させる）図示しない駆動手段を備えている。駆
動手段は、例えばエアシリンダ機構、電動モータなどか
ら構成される。支持枠４０４にはまた、基板Ｐの一端部
Ｐ１ｃ（図１０参照）の幅方向の複数箇所、実施形態に
おいては２箇所を解除自在にクランプする基板クランプ
手段と、基板Ｐの、少なくとも一端Ｐ１ａ（図１０参
照）に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴射
手段とが図示しない支持体を介して配設されている。基
板クランプ手段は、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて
該支持体に回転自在に支持されたそれぞれ一対の基板ク
ランプ部材４１４と、基板クランプ部材４１４の各対
を、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面をクランプするクラン
プ位置と、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面から退避するク
ランプ解除位置との間を選択的に回転させる図示しない
駆動手段（例えばエアシリンダ機構、電動モータなどか
ら構成される）とを備えている。基板クランプ部材４１
４の各対を含む基板クランプ手段は、一対のフィルムガ
イドクランプ部材４１０に対し、基板Ｐの搬送幅方向の
両側方に間隔をおいて配置されている。圧力気体噴射手
段、実施形態において圧力エア噴射手段は、先に述べた
圧力エア噴射手段２６０と実質的に同じでよいが、実施
形態においては、先の実施形態と実質的に同じ構成を有
する１本の圧力エア供給パイプ２６６を備えている。
【００５７】上記支持枠３０２には、昇降手段である流
体圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構
が支持ブラケットを介して支持されている。鉛直軸線上
に配置された、エアシリンダ機構のピストンロッドの下
端には、基板先端検出センサが配設されている。基板先
端検出センサは、剥離位置Ｘ２に搬送されて位置付けら
れた基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａを検出するためのセンサで
あり、エアシリンダ機構によって鉛直方向の所定の待機
位置に位置付けられている（いずれも図示せず）。
体圧シリンダ機構、実施形態においてエアシリンダ機構
が支持ブラケットを介して支持されている。鉛直軸線上
に配置された、エアシリンダ機構のピストンロッドの下
端には、基板先端検出センサが配設されている。基板先
端検出センサは、剥離位置Ｘ２に搬送されて位置付けら
れた基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａを検出するためのセンサで
あり、エアシリンダ機構によって鉛直方向の所定の待機
位置に位置付けられている（いずれも図示せず）。
【００５８】剥離位置Ｘ２の下方には、後述するとおり
にして基板Ｐの両面から完全に剥離されたフィルムＦを
下方に搬送するフィルム搬送手段５００が配設されてい
る。それ自体は公知の構成を利用することでよいフィル
ム搬送手段５００は、上流側ベルト５０２と下流側ベル
ト５０４とを含むべルト機構から構成されている。基板
Ｐの両面から完全に剥離されたフィルムＦは、上流側ベ
ルト５０２と下流側ベルト５０４に挟持されて下方に強
制的に搬送される。図面には示されていないが、フィル
ム搬送手段５００は、実施形態においては、基板Ｐの搬
送幅方向に間隔をおいて一対配設されている。先に述べ
たように、基板Ｐの搬送幅方向の中央には、フィルムガ
イドクランプ部材４１０、フィルムクランプ部材４１２
が一体的に備えられたエアシンンダ機構４０８の対が昇
降自在に配設されているので、フィルム搬送手段５００
の各々は、これらの昇降部材に干渉することなく、フィ
ルムＦの搬送を遂行するため、これらの昇降部材の昇降
軌跡を、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて挟むように
配設されている。
にして基板Ｐの両面から完全に剥離されたフィルムＦを
下方に搬送するフィルム搬送手段５００が配設されてい
る。それ自体は公知の構成を利用することでよいフィル
ム搬送手段５００は、上流側ベルト５０２と下流側ベル
ト５０４とを含むべルト機構から構成されている。基板
Ｐの両面から完全に剥離されたフィルムＦは、上流側ベ
ルト５０２と下流側ベルト５０４に挟持されて下方に強
制的に搬送される。図面には示されていないが、フィル
ム搬送手段５００は、実施形態においては、基板Ｐの搬
送幅方向に間隔をおいて一対配設されている。先に述べ
たように、基板Ｐの搬送幅方向の中央には、フィルムガ
イドクランプ部材４１０、フィルムクランプ部材４１２
が一体的に備えられたエアシンンダ機構４０８の対が昇
降自在に配設されているので、フィルム搬送手段５００
の各々は、これらの昇降部材に干渉することなく、フィ
ルムＦの搬送を遂行するため、これらの昇降部材の昇降
軌跡を、基板Ｐの搬送幅方向に間隔をおいて挟むように
配設されている。
【００５９】次に図１２と共に図１５〜図２３を参照し
て、上記した剥離手段４００の作動について説明する。
基板搬送手段１００によって、フィルムＦの一端部が部
分的に剥離された基板Ｐが鉛直な姿勢で端部剥離位置Ｘ
１Ａから剥離位置Ｘ２に搬送され、停止させられると、
図示しないエアシリンダ機構が作動され、図示しない基
板先端検出センサが所定の待機位置から下降させられ、
基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａの高さ位置を検出する。基板先
端検出センサが該高さ位置を検出すると、エアシリンダ
機構によって所定の待機位置まで上昇させられる。基板
先端検出センサの検出信号に基づいて、剥離手段４００
が、エアシリンダ機構４０２によって、第２の待機位置
（図１５参照）から剥離作動位置（図１６参照）まで下
降させられる。次いでエアシリンダ機構４０８の各々に
よって、フィルムガイドクランプ部材４１０がクランプ
位置に位置付けられ、フィルムＦの一端部を除く基板Ｐ
の一端部近傍の領域の両面であって、基板Ｐの幅方向中
央領域を所定の該幅方向範囲をもってクランプする（図
１７参照）。次に先に述べた保持解除手段１４０によっ
て基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２
０の各々を保持解除位置に移動させて基板Ｐの保持を解
除する。基板Ｐの保持が解除された後、圧力エア供給パ
イプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａから、基板Ｐの一
端Ｐ１ａに向けて上方から圧力エアを噴射する（図１８
参照）。フィルムＦの各々の一端部は基板Ｐの両面から
を部分的に剥離されて、フィルムガイドクランプ部材４
１０の各々の平坦な上面に押し付けられる。次いで、圧
力エア供給パイプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａか
ら、圧力気体を噴射しながらフィルムクランプ部材４１
２の各々をクランプ位置に位置付けて、フィルムガイド
クランプ部材４１０の各々の上面に押し付けられたフィ
ルムＦの一端部をフィルムガイドクランプ部材４１０の
各々の上面にクランプする（図１９参照）。
て、上記した剥離手段４００の作動について説明する。
基板搬送手段１００によって、フィルムＦの一端部が部
分的に剥離された基板Ｐが鉛直な姿勢で端部剥離位置Ｘ
１Ａから剥離位置Ｘ２に搬送され、停止させられると、
図示しないエアシリンダ機構が作動され、図示しない基
板先端検出センサが所定の待機位置から下降させられ、
基板Ｐの鉛直上端Ｐ１ａの高さ位置を検出する。基板先
端検出センサが該高さ位置を検出すると、エアシリンダ
機構によって所定の待機位置まで上昇させられる。基板
先端検出センサの検出信号に基づいて、剥離手段４００
が、エアシリンダ機構４０２によって、第２の待機位置
（図１５参照）から剥離作動位置（図１６参照）まで下
降させられる。次いでエアシリンダ機構４０８の各々に
よって、フィルムガイドクランプ部材４１０がクランプ
位置に位置付けられ、フィルムＦの一端部を除く基板Ｐ
の一端部近傍の領域の両面であって、基板Ｐの幅方向中
央領域を所定の該幅方向範囲をもってクランプする（図
１７参照）。次に先に述べた保持解除手段１４０によっ
て基板保持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２
０の各々を保持解除位置に移動させて基板Ｐの保持を解
除する。基板Ｐの保持が解除された後、圧力エア供給パ
イプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａから、基板Ｐの一
端Ｐ１ａに向けて上方から圧力エアを噴射する（図１８
参照）。フィルムＦの各々の一端部は基板Ｐの両面から
を部分的に剥離されて、フィルムガイドクランプ部材４
１０の各々の平坦な上面に押し付けられる。次いで、圧
力エア供給パイプ２６６の圧力エア噴射孔２６６ａか
ら、圧力気体を噴射しながらフィルムクランプ部材４１
２の各々をクランプ位置に位置付けて、フィルムガイド
クランプ部材４１０の各々の上面に押し付けられたフィ
ルムＦの一端部をフィルムガイドクランプ部材４１０の
各々の上面にクランプする（図１９参照）。
【００６０】フィルムガイドクランプ部材４１０の各々
及びフィルムクランプ部材４１２の各々の協働により剥
離されたフィルムＦの一端部をクランプした後、圧力エ
アの噴射を停止し、更に基板クランプ部材４１４の各対
をクランプ位置に位置付けて、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの
両面をクランプする（図２０参照）。基板クランプ部材
４１４の各対により基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面をクラ
ンプした後、エアシリンダ機構４０８の各々によって、
フィルムガイドクランプ部材４１０の各々を、クランプ
位置に位置付けられたフィルムクランプ部材４１２と共
にクランプ解除位置に向けて移動させる（図２１参
照）。フィルムＦは、基板Ｐの表面から更に剥離され
る。次いで、フィルムガイドクランプ部材４１０の各々
がクランプ解除位置まで移動させられた後、エアシリン
ダ機構４０６の各々によって、エアシリンダ機構４０８
の各々を下降させて、基板Ｐの両面からフィルムＦを下
方に向かって引き剥がし、完全に剥離させる（図２２参
照）。フィルムＦはきわめて効果的にかつ確実に基板Ｐ
から剥離される。フィルムクランプ部材４１２の各々を
クランプ解除位置に移動させてフィルムガイドクランプ
部材４１０の各々の上面に対するフィルムＦのクランプ
を解除する（図２３参照）。これにより、フィルムＦは
収容箱２内に自由落下して収容されるが、図示の実施形
態においては、基板Ｐの両面から完全に剥離されたフィ
ルムＦの各々は、フィルム搬送手段５００の各々の上流
側ベルト５０２と下流側ベルト５０４により挟持されて
下方に強制的に搬送される。この構成により、フィルム
Ｆの各々は、収容箱２内に確実に収容される。別の実施
形態として、フィルムＦの一部が基板Ｐに貼着された状
態で、フィルム搬送手段５００の各々の上流側ベルト５
０２と下流側ベルト５０４により剥離された部分のフィ
ルムＦを挟持して下方に強制的に引っ張って剥離しなが
ら下方に搬送する方法もある。この実施形態において
は、フィルムＦが完全に剥離される手前で、エアシリン
ダ機構４０６の各々による、エアシリンダ機構４０８の
各々の下降を停止して、次いでフィルムクランプ部材４
１２の各々をクランプ解除位置に移動させてフィルムガ
イドクランプ部材４１０の各々の上面に対するフィルム
Ｆのクランプを解除してから、フィルム搬送手段５００
の各々の上流側ベルト５０２と下流側ベルト５０４を駆
動すればよい。
及びフィルムクランプ部材４１２の各々の協働により剥
離されたフィルムＦの一端部をクランプした後、圧力エ
アの噴射を停止し、更に基板クランプ部材４１４の各対
をクランプ位置に位置付けて、基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの
両面をクランプする（図２０参照）。基板クランプ部材
４１４の各対により基板Ｐの一端部Ｐ１ｃの両面をクラ
ンプした後、エアシリンダ機構４０８の各々によって、
フィルムガイドクランプ部材４１０の各々を、クランプ
位置に位置付けられたフィルムクランプ部材４１２と共
にクランプ解除位置に向けて移動させる（図２１参
照）。フィルムＦは、基板Ｐの表面から更に剥離され
る。次いで、フィルムガイドクランプ部材４１０の各々
がクランプ解除位置まで移動させられた後、エアシリン
ダ機構４０６の各々によって、エアシリンダ機構４０８
の各々を下降させて、基板Ｐの両面からフィルムＦを下
方に向かって引き剥がし、完全に剥離させる（図２２参
照）。フィルムＦはきわめて効果的にかつ確実に基板Ｐ
から剥離される。フィルムクランプ部材４１２の各々を
クランプ解除位置に移動させてフィルムガイドクランプ
部材４１０の各々の上面に対するフィルムＦのクランプ
を解除する（図２３参照）。これにより、フィルムＦは
収容箱２内に自由落下して収容されるが、図示の実施形
態においては、基板Ｐの両面から完全に剥離されたフィ
ルムＦの各々は、フィルム搬送手段５００の各々の上流
側ベルト５０２と下流側ベルト５０４により挟持されて
下方に強制的に搬送される。この構成により、フィルム
Ｆの各々は、収容箱２内に確実に収容される。別の実施
形態として、フィルムＦの一部が基板Ｐに貼着された状
態で、フィルム搬送手段５００の各々の上流側ベルト５
０２と下流側ベルト５０４により剥離された部分のフィ
ルムＦを挟持して下方に強制的に引っ張って剥離しなが
ら下方に搬送する方法もある。この実施形態において
は、フィルムＦが完全に剥離される手前で、エアシリン
ダ機構４０６の各々による、エアシリンダ機構４０８の
各々の下降を停止して、次いでフィルムクランプ部材４
１２の各々をクランプ解除位置に移動させてフィルムガ
イドクランプ部材４１０の各々の上面に対するフィルム
Ｆのクランプを解除してから、フィルム搬送手段５００
の各々の上流側ベルト５０２と下流側ベルト５０４を駆
動すればよい。
【００６１】フィルムＦが基板Ｐの両面から完全に剥離
された後、エアシリンダ機構４０６の各々によって、エ
アシリンダ機構４０８の各々を元の剥離作動位置まで上
昇させる。また保持解除手段１４０によって基板保持部
材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を保
持位置に復帰させて基板Ｐを保持する。フィルムＦが完
全に剥離された基板Ｐが基板保持部材対１２０Ａによっ
て保持された後、基板クランプ部材４１４の各対をクラ
ンプ解除位置に復帰させ、基板Ｐのクランプを解除す
る。基板クランプ部材４１４の各対が基板Ｐのクランプ
を解除した後、エアシリンダ機構４０２により剥離手段
４００を剥離作動位置から第２の待機位置まで上昇させ
る。次いでフィルムＦが両面から完全に剥離された基板
Ｐは、基板搬送手段１００によって、鉛直な姿勢の状態
で搬出位置Ｘ３に向かって搬送され、搬出位置Ｘ３にお
いて水平な姿勢にせしめられる。
された後、エアシリンダ機構４０６の各々によって、エ
アシリンダ機構４０８の各々を元の剥離作動位置まで上
昇させる。また保持解除手段１４０によって基板保持部
材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々を保
持位置に復帰させて基板Ｐを保持する。フィルムＦが完
全に剥離された基板Ｐが基板保持部材対１２０Ａによっ
て保持された後、基板クランプ部材４１４の各対をクラ
ンプ解除位置に復帰させ、基板Ｐのクランプを解除す
る。基板クランプ部材４１４の各対が基板Ｐのクランプ
を解除した後、エアシリンダ機構４０２により剥離手段
４００を剥離作動位置から第２の待機位置まで上昇させ
る。次いでフィルムＦが両面から完全に剥離された基板
Ｐは、基板搬送手段１００によって、鉛直な姿勢の状態
で搬出位置Ｘ３に向かって搬送され、搬出位置Ｘ３にお
いて水平な姿勢にせしめられる。
【００６２】図１２〜図２３を参照して説明したフィル
ム剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して説明したフ
ィルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴ある構成を有
しているので、共通の構成については実質的に同じ作用
効果を得ることができる。また、剥離手段４００によれ
ば、フィルムＦが部分的に剥離された基板Ｐの一端部Ｐ
１ｃを鉛直な姿勢でクランプして、剥離されたフィルム
Ｆの一端部を下方に向かって引き剥がすよう構成されて
いるので、優れた剥離効果が得られるものである。この
剥離手段４００それ自体は、ビルドアップ工法により製
造されたプリント配線基板の剥離手段としても適用可能
である。すなわち、剥離手段４００によれば、厚さが非
常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐに貼着されている絶
縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されて
いるフィルムＦを、絶縁樹脂Ｐ２を傷めることなく、絶
縁樹脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にするの
である。
ム剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して説明したフ
ィルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴ある構成を有
しているので、共通の構成については実質的に同じ作用
効果を得ることができる。また、剥離手段４００によれ
ば、フィルムＦが部分的に剥離された基板Ｐの一端部Ｐ
１ｃを鉛直な姿勢でクランプして、剥離されたフィルム
Ｆの一端部を下方に向かって引き剥がすよう構成されて
いるので、優れた剥離効果が得られるものである。この
剥離手段４００それ自体は、ビルドアップ工法により製
造されたプリント配線基板の剥離手段としても適用可能
である。すなわち、剥離手段４００によれば、厚さが非
常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐに貼着されている絶
縁樹脂Ｐ２に比較的強力な密着強度をもって貼着されて
いるフィルムＦを、絶縁樹脂Ｐ２を傷めることなく、絶
縁樹脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にするの
である。
【００６３】図２４及び図２５には本発明に従って構成
されたフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態が示さ
れている。このフィルム剥離搬送装置は、剥離位置Ｘ２
に、先に述べた、端部剥離手段３００と剥離手段２００
を共に配設してなるもので、その他の、基板搬送手段１
００を含む基本的な構成は図１〜１１を参照して説明し
たフィルム剥離搬送装置と実質的に同じであるので、同
一部分は同一符号で示し、説明は省略する。また、この
フィルム剥離搬送装置に適用される基板Ｐは、ビルドア
ップ工法により製造されたプリント配線基板から構成さ
れているのではなく、それ以外の一般的なプリント配線
基板、すなわちフォトレジスト層の表面にフィルムＦが
貼着される形態の基板Ｐである。図２４及び図２５に示
されているフィルム剥離搬送装置においては、端部剥離
手段３００によるフィルムＦの部分的な剥離が終了した
後、圧力エア噴射手段２６０が、所定の待機位置に下降
させられて、先に述べたとおりの剥離動作が遂行され
る。端部剥離手段３００のロッドレスエアシリンダ機構
３３０は、圧力エア噴射手段２６０の昇降軌跡から基板
Ｐの搬送方向上流側に退避した位置に配置されており、
また、支持体３２０及び複数の圧接ローラ対３２２を含
む移動体３３２は、待機位置に退避させられ、更にはま
た、クランブ部材３１２の各々はクランプ解除位置に退
避させられるので、圧力エア噴射手段２６０の昇降空間
が確保されるのである。このフィルム剥離搬送装置は、
図１２及び図１３に示すフィルム剥離搬送装置に較べ
て、全体の構成がコンパクトである。またこのフィルム
剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して説明したフィ
ルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴ある構成を有し
ているので、共通の構成については実質的に同じ作用効
果を得ることができる。
されたフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態が示さ
れている。このフィルム剥離搬送装置は、剥離位置Ｘ２
に、先に述べた、端部剥離手段３００と剥離手段２００
を共に配設してなるもので、その他の、基板搬送手段１
００を含む基本的な構成は図１〜１１を参照して説明し
たフィルム剥離搬送装置と実質的に同じであるので、同
一部分は同一符号で示し、説明は省略する。また、この
フィルム剥離搬送装置に適用される基板Ｐは、ビルドア
ップ工法により製造されたプリント配線基板から構成さ
れているのではなく、それ以外の一般的なプリント配線
基板、すなわちフォトレジスト層の表面にフィルムＦが
貼着される形態の基板Ｐである。図２４及び図２５に示
されているフィルム剥離搬送装置においては、端部剥離
手段３００によるフィルムＦの部分的な剥離が終了した
後、圧力エア噴射手段２６０が、所定の待機位置に下降
させられて、先に述べたとおりの剥離動作が遂行され
る。端部剥離手段３００のロッドレスエアシリンダ機構
３３０は、圧力エア噴射手段２６０の昇降軌跡から基板
Ｐの搬送方向上流側に退避した位置に配置されており、
また、支持体３２０及び複数の圧接ローラ対３２２を含
む移動体３３２は、待機位置に退避させられ、更にはま
た、クランブ部材３１２の各々はクランプ解除位置に退
避させられるので、圧力エア噴射手段２６０の昇降空間
が確保されるのである。このフィルム剥離搬送装置は、
図１２及び図１３に示すフィルム剥離搬送装置に較べ
て、全体の構成がコンパクトである。またこのフィルム
剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して説明したフィ
ルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴ある構成を有し
ているので、共通の構成については実質的に同じ作用効
果を得ることができる。
【００６４】図２６には、本発明によるフィルム剥離搬
送装置の他の実施形態が示されている。このフィルム剥
離搬送装置は、基板Ｐを、幅方向両端部を離脱自在に保
持した状態で、受取位置Ｘ１から端部剥離位置Ｘ１Ａ
へ、端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ２へ、そして剥
離位置Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送する基板搬送手段
１００と、端部剥離位置Ｘ１ＡにおいてフィルムＦの一
端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３０
０と、剥離位置Ｘ２において一端部が剥離されたフィル
ムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４００とを
備えている。
送装置の他の実施形態が示されている。このフィルム剥
離搬送装置は、基板Ｐを、幅方向両端部を離脱自在に保
持した状態で、受取位置Ｘ１から端部剥離位置Ｘ１Ａ
へ、端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ２へ、そして剥
離位置Ｘ２から搬出位置Ｘ３まで搬送する基板搬送手段
１００と、端部剥離位置Ｘ１ＡにおいてフィルムＦの一
端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３０
０と、剥離位置Ｘ２において一端部が剥離されたフィル
ムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４００とを
備えている。
【００６５】図２６に示されているフィルム剥離搬送装
置が先に図１２〜図２３を参照して説明したフィルム剥
離搬送装置と相違する主要なところは、基板搬送手段１
００が、受取位置Ｘ１において基板Ｐを鉛直な姿勢で受
け取り、受取位置Ｘ１で鉛直な姿勢で受け取った基板Ｐ
を鉛直な姿勢を維持しながら端部剥離位置Ｘ１Ａまで搬
送し、端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥
離手段３００によりフィルムＦの一端部が剥離された基
板Ｐを、鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｘ２まで搬
送し、剥離位置Ｘ２において、一端部が剥離されたフィ
ルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４００により完全に剥離
された基板Ｐを、鉛直な姿勢を維持しながら搬出位置Ｘ
３まで搬送するよう構成されているところである。そし
て図２６に示されているフィルム剥離搬送装置の基板搬
送手段１００の構成は、図１〜図１１を参照して説明し
たフィルム剥離搬送装置及び図１２〜図２３を参照して
説明したフィルム剥離搬送装置における基板搬送手段１
００と実質的に同じである。したがって、図２６に示さ
れているフィルム剥離搬送装置において、図１〜図１１
及び図１２〜図２３を参照して説明したフィルム剥離搬
送装置と実質的に同一部分は同一符号で示し、説明は省
略する。
置が先に図１２〜図２３を参照して説明したフィルム剥
離搬送装置と相違する主要なところは、基板搬送手段１
００が、受取位置Ｘ１において基板Ｐを鉛直な姿勢で受
け取り、受取位置Ｘ１で鉛直な姿勢で受け取った基板Ｐ
を鉛直な姿勢を維持しながら端部剥離位置Ｘ１Ａまで搬
送し、端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥
離手段３００によりフィルムＦの一端部が剥離された基
板Ｐを、鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｘ２まで搬
送し、剥離位置Ｘ２において、一端部が剥離されたフィ
ルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４００により完全に剥離
された基板Ｐを、鉛直な姿勢を維持しながら搬出位置Ｘ
３まで搬送するよう構成されているところである。そし
て図２６に示されているフィルム剥離搬送装置の基板搬
送手段１００の構成は、図１〜図１１を参照して説明し
たフィルム剥離搬送装置及び図１２〜図２３を参照して
説明したフィルム剥離搬送装置における基板搬送手段１
００と実質的に同じである。したがって、図２６に示さ
れているフィルム剥離搬送装置において、図１〜図１１
及び図１２〜図２３を参照して説明したフィルム剥離搬
送装置と実質的に同一部分は同一符号で示し、説明は省
略する。
【００６６】図２６に示されているフィルム剥離搬送装
置において、基板搬送手段１００は、受取位置Ｘ１にお
いて基板Ｐを基板投入装置６００Ａから鉛直な姿勢で受
け取り、また、搬出位置Ｘ３において、基板Ｐを鉛直な
姿勢の状態で基板受取装置６００Ｂにより受け取っても
らうため、受取位置Ｘ１及び搬出位置Ｘ３は、上記上水
平移動領域における上流端領域及び下流端領域にそれぞ
れ配置されている。その結果、基板Ｐは、基板搬送手段
１００により、受取位置Ｘ１から、端部剥離位置Ｘ１Ａ
及び剥離位置Ｘ２を経て搬出位置Ｘ３まで、鉛直な姿勢
に維持されて搬送される。受取位置Ｘ１において基板Ｐ
を基板投入装置６００Ａから鉛直な姿勢で受け取るた
め、また搬出位置Ｘ３において、基板Ｐを鉛直な姿勢の
状態で基板受取装置６００Ｂにより受け取ってもらうた
め、上記上水平移動領域の上流端領域及び上流側半円移
動領域と、上記上水平移動領域の下流端領域及び下流側
半円移動領域は、それぞれ上記静止枠体１０の上流側端
及び下流側端から、それぞれ上流方向及び下流方向に突
出するよう配置されている。更に具体的に説明すると、
静止枠体１０の上流側端には、突出枠１０Ａが上記静止
枠体１０の上流側端から上流方向に突出するよう配設さ
れ、また、静止枠体１０の下流側端には、突出枠１０Ｂ
が静止枠体１０の下流側端から下流方向に突出するよう
配設されている。突出枠１０Ａには駆動軸１０６及び駆
動スプロケット１１４の対が配設され、また突出枠１０
Ｂには被駆動軸１０８及び被駆動スプロケット１１６の
対が配設され、これらの駆動スプロケット１１４の対及
び被駆動スプロケット１１６の対に上記チェーン１１８
がそれぞれ巻き掛けられている。
置において、基板搬送手段１００は、受取位置Ｘ１にお
いて基板Ｐを基板投入装置６００Ａから鉛直な姿勢で受
け取り、また、搬出位置Ｘ３において、基板Ｐを鉛直な
姿勢の状態で基板受取装置６００Ｂにより受け取っても
らうため、受取位置Ｘ１及び搬出位置Ｘ３は、上記上水
平移動領域における上流端領域及び下流端領域にそれぞ
れ配置されている。その結果、基板Ｐは、基板搬送手段
１００により、受取位置Ｘ１から、端部剥離位置Ｘ１Ａ
及び剥離位置Ｘ２を経て搬出位置Ｘ３まで、鉛直な姿勢
に維持されて搬送される。受取位置Ｘ１において基板Ｐ
を基板投入装置６００Ａから鉛直な姿勢で受け取るた
め、また搬出位置Ｘ３において、基板Ｐを鉛直な姿勢の
状態で基板受取装置６００Ｂにより受け取ってもらうた
め、上記上水平移動領域の上流端領域及び上流側半円移
動領域と、上記上水平移動領域の下流端領域及び下流側
半円移動領域は、それぞれ上記静止枠体１０の上流側端
及び下流側端から、それぞれ上流方向及び下流方向に突
出するよう配置されている。更に具体的に説明すると、
静止枠体１０の上流側端には、突出枠１０Ａが上記静止
枠体１０の上流側端から上流方向に突出するよう配設さ
れ、また、静止枠体１０の下流側端には、突出枠１０Ｂ
が静止枠体１０の下流側端から下流方向に突出するよう
配設されている。突出枠１０Ａには駆動軸１０６及び駆
動スプロケット１１４の対が配設され、また突出枠１０
Ｂには被駆動軸１０８及び被駆動スプロケット１１６の
対が配設され、これらの駆動スプロケット１１４の対及
び被駆動スプロケット１１６の対に上記チェーン１１８
がそれぞれ巻き掛けられている。
【００６７】静止枠体１０の突出枠１０Ａに対し上方位
置に配設された基板投入装置６００Ａは、静止枠体６１
０と、静止枠体６１０に、移動手段６２０によって基板
Ｐの搬送方向に水平に移動自在に支持された可動枠体６
３０と、可動枠体６３０に昇降手段６４０によって昇降
自在に支持されたチャックユニット６５０とを備えてい
る。移動手段６２０は、静止枠体６１０に回転自在に支
持されかつ基板Ｐの搬送方向に水平に延在するねじロッ
ド部材６２２と、ねじロッド部材６２２を正逆回転駆動
させる電動モータＭ３と、基板Ｐの搬送方向に水平に延
在する図示しない１対のガイドロッド部材とを備えてい
る。図示しないガイドロッド部材の各々は、ねじロッド
部材６２２の、基板Ｐの搬送幅方向両側に間隔をおいて
ねじロッド部材６２２に平行に延在するよう配設されて
いる。可動枠体６３０は、ねじロッド部材６２２及び図
示しない１対のガイドロッド部材に相対回転できないよ
うかつそれらに沿って基板Ｐの搬送方向に往復移動しう
るよう支持されている。ガイドロッド部材の各々は、ね
じロッド部材６２２の、基板Ｐの搬送幅方向両側に間隔
をおいてねじロッド部材６２２に平行に延在するよう配
設されている。昇降手段６４０は、可動枠体６３０に回
転自在に支持されかつ鉛直方向に延在するねじロッド部
材６４２と、ねじロッド部材６４２を正逆回転駆動させ
る電動モータＭ４と、鉛直方向に延在する図示しない１
対のガイドロッド部材とを備えている。図示しないガイ
ドロッド部材の各々は、ねじロッド部材６４２の、基板
Ｐの搬送幅方向両側に間隔をおいてねじロッド部材６４
２に平行に延在するよう配設されている。チャックユニ
ット６５０は、ねじロッド部材６４２及び図示しない複
数のガイドロッド部材に相対回転できないようかつそれ
らに沿って鉛直方向に往復移動しうるよう支持されてい
る。チャックユニット６５０には、基板Ｐの搬送幅方向
に間隔をおいて１対のチャック機構６５２が配設されて
いる。それ自体は周知の構成を利用することでよいチャ
ック機構６５２は、基板Ｐの上端部における幅方向の両
端部を解除自在にチャックすることができるよう、チャ
ックユニット６５０に配置されている。
置に配設された基板投入装置６００Ａは、静止枠体６１
０と、静止枠体６１０に、移動手段６２０によって基板
Ｐの搬送方向に水平に移動自在に支持された可動枠体６
３０と、可動枠体６３０に昇降手段６４０によって昇降
自在に支持されたチャックユニット６５０とを備えてい
る。移動手段６２０は、静止枠体６１０に回転自在に支
持されかつ基板Ｐの搬送方向に水平に延在するねじロッ
ド部材６２２と、ねじロッド部材６２２を正逆回転駆動
させる電動モータＭ３と、基板Ｐの搬送方向に水平に延
在する図示しない１対のガイドロッド部材とを備えてい
る。図示しないガイドロッド部材の各々は、ねじロッド
部材６２２の、基板Ｐの搬送幅方向両側に間隔をおいて
ねじロッド部材６２２に平行に延在するよう配設されて
いる。可動枠体６３０は、ねじロッド部材６２２及び図
示しない１対のガイドロッド部材に相対回転できないよ
うかつそれらに沿って基板Ｐの搬送方向に往復移動しう
るよう支持されている。ガイドロッド部材の各々は、ね
じロッド部材６２２の、基板Ｐの搬送幅方向両側に間隔
をおいてねじロッド部材６２２に平行に延在するよう配
設されている。昇降手段６４０は、可動枠体６３０に回
転自在に支持されかつ鉛直方向に延在するねじロッド部
材６４２と、ねじロッド部材６４２を正逆回転駆動させ
る電動モータＭ４と、鉛直方向に延在する図示しない１
対のガイドロッド部材とを備えている。図示しないガイ
ドロッド部材の各々は、ねじロッド部材６４２の、基板
Ｐの搬送幅方向両側に間隔をおいてねじロッド部材６４
２に平行に延在するよう配設されている。チャックユニ
ット６５０は、ねじロッド部材６４２及び図示しない複
数のガイドロッド部材に相対回転できないようかつそれ
らに沿って鉛直方向に往復移動しうるよう支持されてい
る。チャックユニット６５０には、基板Ｐの搬送幅方向
に間隔をおいて１対のチャック機構６５２が配設されて
いる。それ自体は周知の構成を利用することでよいチャ
ック機構６５２は、基板Ｐの上端部における幅方向の両
端部を解除自在にチャックすることができるよう、チャ
ックユニット６５０に配置されている。
【００６８】チャックユニット６５０には、基板Ｐの上
端を検出するための基板上端検出センサＳ６がチャック
ユニット６５０と同期して昇降しうるよう配設されてい
る。基板上端検出センサＳ６は、静止枠体１０の突出枠
１０Ａの上流側に配設された基板ラック６６０に直立し
て収容された複数の基板Ｐの上端を検出するためのセン
サである。静止枠体１０の突出枠１０Ａにおける、基板
Ｐの搬送方向中央には、基板収納確認センサＳ７が支持
フランジ１１を介して配設されている。基板収納確認セ
ンサＳ７は、受取位置Ｘ１において、基板投入装置６０
０から基板保持部材対１２０Ａに基板Ｐが投入されたか
否かを検出するためのセンサであって、基板保持部材対
１２０Ａに完全に収納（保持）される直前の基板Ｐの下
端を検出することができる高さ位置に配置されている。
なお、図２６においては、基板保持部材対１２０Ａを構
成する基板保持部材１２０の各々のうち、片方の基板保
持部材１２０のみが図示されているが、基板搬送手段１
００の構成は、先の実施形態における基板搬送手段１０
０と実質的に同じであるので、図２６に示されているフ
ィルム剥離搬送装置に関する以下の説明において、基板
保持部材対１２０Ａとは、先の実施形態において説明し
た基板保持部材対１２０Ａと、実質的に同じ構成を意味
するものと理解されたい。
端を検出するための基板上端検出センサＳ６がチャック
ユニット６５０と同期して昇降しうるよう配設されてい
る。基板上端検出センサＳ６は、静止枠体１０の突出枠
１０Ａの上流側に配設された基板ラック６６０に直立し
て収容された複数の基板Ｐの上端を検出するためのセン
サである。静止枠体１０の突出枠１０Ａにおける、基板
Ｐの搬送方向中央には、基板収納確認センサＳ７が支持
フランジ１１を介して配設されている。基板収納確認セ
ンサＳ７は、受取位置Ｘ１において、基板投入装置６０
０から基板保持部材対１２０Ａに基板Ｐが投入されたか
否かを検出するためのセンサであって、基板保持部材対
１２０Ａに完全に収納（保持）される直前の基板Ｐの下
端を検出することができる高さ位置に配置されている。
なお、図２６においては、基板保持部材対１２０Ａを構
成する基板保持部材１２０の各々のうち、片方の基板保
持部材１２０のみが図示されているが、基板搬送手段１
００の構成は、先の実施形態における基板搬送手段１０
０と実質的に同じであるので、図２６に示されているフ
ィルム剥離搬送装置に関する以下の説明において、基板
保持部材対１２０Ａとは、先の実施形態において説明し
た基板保持部材対１２０Ａと、実質的に同じ構成を意味
するものと理解されたい。
【００６９】静止枠体１０の突出枠１０Ｂに対し上方位
置に配設された基板受取装置６００Ｂは、基板Ｐを投入
するか受け取るかの目的が相違するだけで、その構成は
上記基板投入装置６００Ａと実質的に同じであるので、
同一部分は同一符号で示し、説明は省略する。なお、基
板受取装置６００Ｂにおいて、基板上端検出センサＳ６
は、搬出位置Ｘ３に位置付けられた基板保持部材対１２
０Ａに鉛直な姿勢で保持された基板Ｐの上端を検出する
ためのセンサである。なお、基板投入装置６００Ａ及び
基板受取装置６００Ｂにおいて、可動枠体６３０に支持
された電動モータＭ４は、可動枠体６３０と一体に移動
させられる際に、それぞれの静止枠体６１０及び静止枠
体６１０に配設されたねじロッド部材６２２などのいか
なる部材に対しても干渉しない位置に配設されているこ
とはいうまでもない。
置に配設された基板受取装置６００Ｂは、基板Ｐを投入
するか受け取るかの目的が相違するだけで、その構成は
上記基板投入装置６００Ａと実質的に同じであるので、
同一部分は同一符号で示し、説明は省略する。なお、基
板受取装置６００Ｂにおいて、基板上端検出センサＳ６
は、搬出位置Ｘ３に位置付けられた基板保持部材対１２
０Ａに鉛直な姿勢で保持された基板Ｐの上端を検出する
ためのセンサである。なお、基板投入装置６００Ａ及び
基板受取装置６００Ｂにおいて、可動枠体６３０に支持
された電動モータＭ４は、可動枠体６３０と一体に移動
させられる際に、それぞれの静止枠体６１０及び静止枠
体６１０に配設されたねじロッド部材６２２などのいか
なる部材に対しても干渉しない位置に配設されているこ
とはいうまでもない。
【００７０】基板Ｐの投入は次のようにして行なわれ
る。基板投入装置６００Ａの可動枠体６３０が図２６に
おいて右方の所定の位置まで移動させられてから、チャ
ックユニット６５０が基板ラック６６０に向かって下降
させられる。基板上端検出センサＳ６が基板ラック６６
０に収納された所定の基板Ｐの上端を検出すると、該下
降が停止させられる。次いでチャック機構６５２の各々
により、基板Ｐの上端部における幅方向両端部がチャッ
クされる。チャックユニット６５０が所定の位置まで上
昇させられた後、可動枠体６３０が図２６において左方
の待機位置まで移動させられる（図２６に示す位置）。
他方、基板搬送手段１００においては、基板保持部材対
１２０Ａの一つが受取位置Ｘ１に移動させられ、基板保
持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々
の端壁１２４（図７参照）が下端に位置するよう鉛直な
姿勢で待機させられる。所定のタイミングでチャックユ
ニット６５０が上記待機位置から下降させられる。基板
Ｐの幅方向両端部は、基板保持部材１２０の各々内に沿
って下方に向かって移動させられ、その下端が基板保持
部材１２０の各々の端壁１２４の直前に達すると、基板
収納確認センサＳ７が基板Ｐの下端を検出し、チャック
ユニット６５０の下降が停止させられる。次いでチャッ
ク機構６５２の各々による基板Ｐのチャックが解除さ
れ、基板Ｐは、わずかに自然落下させられてその下端が
基板保持部材１２０の各々の端壁１２４上に載置させら
れる。基板Ｐは、鉛直な姿勢で基板保持部材対１２０Ａ
に幅方向両端部及び幅方向両端部における下端が保持さ
れる。チャックユニット６５０は所定の待機位置に上昇
させられた後、基板ラック６６０から次の基板Ｐをチャ
ックするため、先の動作を再び開始する。
る。基板投入装置６００Ａの可動枠体６３０が図２６に
おいて右方の所定の位置まで移動させられてから、チャ
ックユニット６５０が基板ラック６６０に向かって下降
させられる。基板上端検出センサＳ６が基板ラック６６
０に収納された所定の基板Ｐの上端を検出すると、該下
降が停止させられる。次いでチャック機構６５２の各々
により、基板Ｐの上端部における幅方向両端部がチャッ
クされる。チャックユニット６５０が所定の位置まで上
昇させられた後、可動枠体６３０が図２６において左方
の待機位置まで移動させられる（図２６に示す位置）。
他方、基板搬送手段１００においては、基板保持部材対
１２０Ａの一つが受取位置Ｘ１に移動させられ、基板保
持部材対１２０Ａを構成する基板保持部材１２０の各々
の端壁１２４（図７参照）が下端に位置するよう鉛直な
姿勢で待機させられる。所定のタイミングでチャックユ
ニット６５０が上記待機位置から下降させられる。基板
Ｐの幅方向両端部は、基板保持部材１２０の各々内に沿
って下方に向かって移動させられ、その下端が基板保持
部材１２０の各々の端壁１２４の直前に達すると、基板
収納確認センサＳ７が基板Ｐの下端を検出し、チャック
ユニット６５０の下降が停止させられる。次いでチャッ
ク機構６５２の各々による基板Ｐのチャックが解除さ
れ、基板Ｐは、わずかに自然落下させられてその下端が
基板保持部材１２０の各々の端壁１２４上に載置させら
れる。基板Ｐは、鉛直な姿勢で基板保持部材対１２０Ａ
に幅方向両端部及び幅方向両端部における下端が保持さ
れる。チャックユニット６５０は所定の待機位置に上昇
させられた後、基板ラック６６０から次の基板Ｐをチャ
ックするため、先の動作を再び開始する。
【００７１】上記したとおりにして受取位置Ｘ１におい
て基板保持部材対１２０Ａに投入された基板Ｐは、基板
搬送手段１００により鉛直な姿勢に維持されながら端部
剥離位置Ｘ１Ａまで搬送され、先に述べたとおりにして
端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥離手段
３００によりフィルムＦの一端部が剥離される。端部剥
離位置Ｘ１Ａにおいて端部剥離手段３００によりフィル
ムＦの一端部が剥離された基板Ｐは鉛直な姿勢を維持し
ながら剥離位置Ｘ２まで搬送され、先に述べたとおりに
して、剥離位置Ｘ２において、一端部が剥離されたフィ
ルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４００により完全に剥離
される。フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐは、鉛直
な姿勢を維持しながら搬出位置Ｘ３まで搬送され、搬出
位置Ｘ３に待機させられる。所定のタイミングで、基板
受取装置６００Ｂにおけるチャックユニット６５０が所
定の待機位置から下降させられる。基板上端検出センサ
Ｓ６が、搬出位置Ｘ３において基板保持部材対１２０Ａ
に保持された基板Ｐの上端を検出すると、該下降が停止
させられる。次いでチャック機構６５２の各々により、
基板Ｐの上端部における幅方向両端部がチャックされ
る。チャックユニット６５０が所定の待機位置に向かっ
て上昇させられると、基板Ｐは基板保持部材対１２０Ａ
から上方に離脱させられる。チャックユニット６５０
は、所定の待機位置まで上昇させられた後、図２６にお
いて左方に移動させられ、チャック機構６５２の各々に
よりチャックされた基板Ｐは、鉛直な姿勢に維持されな
がら次の工程に向けて移動させられる。
て基板保持部材対１２０Ａに投入された基板Ｐは、基板
搬送手段１００により鉛直な姿勢に維持されながら端部
剥離位置Ｘ１Ａまで搬送され、先に述べたとおりにして
端部剥離位置Ｘ１Ａにおいて鉛直な姿勢で端部剥離手段
３００によりフィルムＦの一端部が剥離される。端部剥
離位置Ｘ１Ａにおいて端部剥離手段３００によりフィル
ムＦの一端部が剥離された基板Ｐは鉛直な姿勢を維持し
ながら剥離位置Ｘ２まで搬送され、先に述べたとおりに
して、剥離位置Ｘ２において、一端部が剥離されたフィ
ルムＦが鉛直な姿勢で剥離手段４００により完全に剥離
される。フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐは、鉛直
な姿勢を維持しながら搬出位置Ｘ３まで搬送され、搬出
位置Ｘ３に待機させられる。所定のタイミングで、基板
受取装置６００Ｂにおけるチャックユニット６５０が所
定の待機位置から下降させられる。基板上端検出センサ
Ｓ６が、搬出位置Ｘ３において基板保持部材対１２０Ａ
に保持された基板Ｐの上端を検出すると、該下降が停止
させられる。次いでチャック機構６５２の各々により、
基板Ｐの上端部における幅方向両端部がチャックされ
る。チャックユニット６５０が所定の待機位置に向かっ
て上昇させられると、基板Ｐは基板保持部材対１２０Ａ
から上方に離脱させられる。チャックユニット６５０
は、所定の待機位置まで上昇させられた後、図２６にお
いて左方に移動させられ、チャック機構６５２の各々に
よりチャックされた基板Ｐは、鉛直な姿勢に維持されな
がら次の工程に向けて移動させられる。
【００７２】図２６に示すフィルム剥離装置によれば、
基板Ｐは、受取位置Ｘ１から、端部剥離位置Ｘ１Ａ及び
剥離位置Ｘ２を経て搬出位置Ｘ３に至るまで、鉛直な姿
勢で搬送されかつ端部剥離動作及び剥離動作が遂行され
るので、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの
品質を損なうことなく安定した搬送を可能にすると共
に、基板Ｐの品質を損なうことなく基板Ｐの片面及び両
面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確実に剥離す
ることを可能にするものである。図２６を参照して説明
したフィルム剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して
説明したフィルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴あ
る構成を有しているので、共通の構成については実質的
に同じ作用効果を得ることができる。
基板Ｐは、受取位置Ｘ１から、端部剥離位置Ｘ１Ａ及び
剥離位置Ｘ２を経て搬出位置Ｘ３に至るまで、鉛直な姿
勢で搬送されかつ端部剥離動作及び剥離動作が遂行され
るので、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの
品質を損なうことなく安定した搬送を可能にすると共
に、基板Ｐの品質を損なうことなく基板Ｐの片面及び両
面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確実に剥離す
ることを可能にするものである。図２６を参照して説明
したフィルム剥離搬送装置は、図１〜図１１を参照して
説明したフィルム剥離搬送装置と共通の基本的な特徴あ
る構成を有しているので、共通の構成については実質的
に同じ作用効果を得ることができる。
【００７３】なお、図２６に示すフィルム剥離装置にお
ける如く、基板搬送手段１００により基板Ｐを鉛直な姿
勢で受取位置Ｘ１から搬出位置Ｘ３に搬送する過程で、
フィルムＦを鉛直な姿勢で剥離するとの技術思想は、図
１〜図１１を参照して説明したフィルム剥離搬送装置に
おける如く、剥離位置Ｘ２に剥離手段２００を備えたフ
ィルム剥離搬送装置にも適用可能であり、また、図２４
及び図２４を参照して説明したフィルム剥離搬送装置に
おける如く、剥離位置Ｘ２に端部剥離手段３００及び剥
離手段２００を備えたフィルム剥離搬送装置にも適用可
能であることはいうまでもない。
ける如く、基板搬送手段１００により基板Ｐを鉛直な姿
勢で受取位置Ｘ１から搬出位置Ｘ３に搬送する過程で、
フィルムＦを鉛直な姿勢で剥離するとの技術思想は、図
１〜図１１を参照して説明したフィルム剥離搬送装置に
おける如く、剥離位置Ｘ２に剥離手段２００を備えたフ
ィルム剥離搬送装置にも適用可能であり、また、図２４
及び図２４を参照して説明したフィルム剥離搬送装置に
おける如く、剥離位置Ｘ２に端部剥離手段３００及び剥
離手段２００を備えたフィルム剥離搬送装置にも適用可
能であることはいうまでもない。
【００７４】図１〜図２６を参照して説明した本発明に
おいては、先の説明から容易に理解されるように、片面
又は両面に対してフィルムＦが貼着された基板Ｐを、両
面が基板Ｐの搬送方向に向けられた鉛直な姿勢で剥離位
置Ｘ２へ搬送する基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２
においてフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離
手段２００又は４００とを備え、基板搬送手段２００に
よって剥離位置Ｘ２に搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿
勢で剥離手段２００又は４００によりフィルムＦが完全
に剥離される、ことが重要である。このような構成によ
り、先に述べたとおり、厚さが非常に薄い基板Ｐであっ
ても、基板Ｐの品質を損なうことなく、基板Ｐの片面又
は両面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確実に剥
離することを可能にするものである。したがって特に、
基板Ｐの片面又は両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に
比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルム
Ｆを、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、絶縁樹
脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にするもので
あり、実用上有用である。
おいては、先の説明から容易に理解されるように、片面
又は両面に対してフィルムＦが貼着された基板Ｐを、両
面が基板Ｐの搬送方向に向けられた鉛直な姿勢で剥離位
置Ｘ２へ搬送する基板搬送手段１００と、剥離位置Ｘ２
においてフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離
手段２００又は４００とを備え、基板搬送手段２００に
よって剥離位置Ｘ２に搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿
勢で剥離手段２００又は４００によりフィルムＦが完全
に剥離される、ことが重要である。このような構成によ
り、先に述べたとおり、厚さが非常に薄い基板Ｐであっ
ても、基板Ｐの品質を損なうことなく、基板Ｐの片面又
は両面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確実に剥
離することを可能にするものである。したがって特に、
基板Ｐの片面又は両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に
比較的強力な密着強度をもって貼着されているフィルム
Ｆを、絶縁樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、絶縁樹
脂Ｐ２から十分確実に剥離することを可能にするもので
あり、実用上有用である。
【００７５】図１〜図２６を参照して説明した本発明の
他の局面によれば、剥離位置Ｘ２においてフィルムＦの
一端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３
００を備え、基板搬送手段１００によって剥離位置Ｘ２
に搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢で端部剥離手段３
００によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する該一端部
が部分的に剥離させられ、続いて該鉛直な姿勢で剥離手
段４００により、該一端部が部分的に剥離させられたフ
ィルムＦが完全に剥離される。この発明においては、ビ
ルドアップ工法により製造されるプリント配線基板以外
のプリント配線基板において、上記した優れた剥離効果
が得られる。
他の局面によれば、剥離位置Ｘ２においてフィルムＦの
一端部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３
００を備え、基板搬送手段１００によって剥離位置Ｘ２
に搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢で端部剥離手段３
００によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する該一端部
が部分的に剥離させられ、続いて該鉛直な姿勢で剥離手
段４００により、該一端部が部分的に剥離させられたフ
ィルムＦが完全に剥離される。この発明においては、ビ
ルドアップ工法により製造されるプリント配線基板以外
のプリント配線基板において、上記した優れた剥離効果
が得られる。
【００７６】図１〜図２６を参照して説明した本発明の
更に他の局面によれば、片面又は両面に対してフィルム
Ｆが貼着された基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬送方向に向
けられた鉛直な姿勢で端部剥離位置Ｘ１Ａへ、端部剥離
位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ１へ搬送する基板搬送手段１
００と、端部剥離位置Ｘ１ＡにおいてフィルムＦの一端
部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３００
と、剥離位置Ｘ１において、一端部が部分的に剥離され
たフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４
００とを備え、基板搬送手段１００によって端部剥離位
置Ｘ１Ａに搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢で端部剥
離手段３００によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する
該一端部が部分的に剥離させられ、基板搬送手段１００
によって端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ１に搬送さ
れた基板Ｐは、該鉛直な姿勢で剥離手段４００により、
該一端部が部分的に剥離させられたフィルムＦが完全に
剥離される。この発明においても、ビルドアップ工法に
より製造されるプリント配線基板以外のプリント配線基
板において、上記した優れた剥離効果が得られるもので
ある。
更に他の局面によれば、片面又は両面に対してフィルム
Ｆが貼着された基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬送方向に向
けられた鉛直な姿勢で端部剥離位置Ｘ１Ａへ、端部剥離
位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ１へ搬送する基板搬送手段１
００と、端部剥離位置Ｘ１ＡにおいてフィルムＦの一端
部を基板Ｐから部分的に剥離させる端部剥離手段３００
と、剥離位置Ｘ１において、一端部が部分的に剥離され
たフィルムＦを基板Ｐから完全に剥離させる剥離手段４
００とを備え、基板搬送手段１００によって端部剥離位
置Ｘ１Ａに搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢で端部剥
離手段３００によりフィルムＦの、鉛直上方に位置する
該一端部が部分的に剥離させられ、基板搬送手段１００
によって端部剥離位置Ｘ１Ａから剥離位置Ｘ１に搬送さ
れた基板Ｐは、該鉛直な姿勢で剥離手段４００により、
該一端部が部分的に剥離させられたフィルムＦが完全に
剥離される。この発明においても、ビルドアップ工法に
より製造されるプリント配線基板以外のプリント配線基
板において、上記した優れた剥離効果が得られるもので
ある。
【００７７】図２７〜図５０には本発明に従って構成さ
れたフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態が示され
ている。このフィルム剥離搬送装置に適用される基板Ｐ
は、ビルドアップ工法により製造されたプリント配線基
板又はそれ以外の一般的なプリント配線基板、すなわち
フォトレジスト層の表面にフィルムＦが貼着される形態
の基板Ｐのいずれでもよい。なお、図２７〜図３０及び
図３５において、大サイズの基板Ｐは実線で示され、ま
た小サイズの基板Ｐは２点鎖線で示されている。
れたフィルム剥離搬送装置の更に他の実施形態が示され
ている。このフィルム剥離搬送装置に適用される基板Ｐ
は、ビルドアップ工法により製造されたプリント配線基
板又はそれ以外の一般的なプリント配線基板、すなわち
フォトレジスト層の表面にフィルムＦが貼着される形態
の基板Ｐのいずれでもよい。なお、図２７〜図３０及び
図３５において、大サイズの基板Ｐは実線で示され、ま
た小サイズの基板Ｐは２点鎖線で示されている。
【００７８】先ず、図２７〜図３０を参照して、図示の
フィルム剥離搬送装置は、片面又は両面に対してフィル
ムＦが貼着された基板Ｐを水平な姿勢で搬入位置Ｙ１に
搬入する搬入手段７０２と、搬入位置Ｙ１に搬入された
基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬入幅方向に向けられた鉛直
な姿勢に変換する姿勢変換手段７０４と、該鉛直な姿勢
に変換された基板Ｐを、搬入方向前方に設定された剥離
位置Ｙ２へ向けて搬送するための搬送開始位置Ｙ１Ａへ
該鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決
め手段７０６と、搬送開始位置Ｙ１Ａへ移動させられた
基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして
該鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｙ２へ搬送する基
板搬送手段７０８と、剥離位置Ｙ２に搬送された該鉛直
な姿勢の基板ＰからフィルムＦを完全に剥離する剥離手
段７１０と、フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐを、
剥離位置Ｙ２において搬送方向両端部を解除自在にチャ
ッキングして搬入位置Ｙ１とは反対側の、剥離位置Ｙ２
の前方に設定された搬出位置Ｙ３まで該鉛直な姿勢を維
持しながら搬送する他の基板搬送手段７１２とを備えて
いる。図示のフィルム剥離搬送装置は、先の実施形態に
おけるのと同様に、図示しないコントローラにより適宜
に作動制御される。
フィルム剥離搬送装置は、片面又は両面に対してフィル
ムＦが貼着された基板Ｐを水平な姿勢で搬入位置Ｙ１に
搬入する搬入手段７０２と、搬入位置Ｙ１に搬入された
基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬入幅方向に向けられた鉛直
な姿勢に変換する姿勢変換手段７０４と、該鉛直な姿勢
に変換された基板Ｐを、搬入方向前方に設定された剥離
位置Ｙ２へ向けて搬送するための搬送開始位置Ｙ１Ａへ
該鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決
め手段７０６と、搬送開始位置Ｙ１Ａへ移動させられた
基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在にチャッキングして
該鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置Ｙ２へ搬送する基
板搬送手段７０８と、剥離位置Ｙ２に搬送された該鉛直
な姿勢の基板ＰからフィルムＦを完全に剥離する剥離手
段７１０と、フィルムＦが完全に剥離された基板Ｐを、
剥離位置Ｙ２において搬送方向両端部を解除自在にチャ
ッキングして搬入位置Ｙ１とは反対側の、剥離位置Ｙ２
の前方に設定された搬出位置Ｙ３まで該鉛直な姿勢を維
持しながら搬送する他の基板搬送手段７１２とを備えて
いる。図示のフィルム剥離搬送装置は、先の実施形態に
おけるのと同様に、図示しないコントローラにより適宜
に作動制御される。
【００７９】なお、図示のフィルム剥離搬送装置におい
て、基板Ｐの搬入方向又は搬送方向とは、図２７〜図２
９においては左から右に向かう方向（図２７及び図２９
においては矢印７１４で示されている方向）、図３０に
おいては紙面の表から裏に向かう方向を示している。ま
た、基板Ｐの搬入幅方向又は搬送幅方向とは、図２７に
おいては紙面の表裏方向、図２８及び図２９においては
上下方向、図３０においては左右方向をそれぞれ示して
いる。また、基板Ｐの搬入幅方向の一側（他側）とは、
図２８及び図２９においては上側（下側）、図３０にお
いては左側（右側）をそれぞれ示している。また先に説
明した図９及び図１０に示される形態の基板Ｐは、基板
Ｐの縦方向の一端部Ｐ１ｃが基板Ｐの搬入幅方向の一側
に向けられて搬入される。その結果、後の説明から容易
に理解されるように、基板Ｐは剥離位置Ｙ２において鉛
直な姿勢でフィルムＦが剥離される際、基板Ｐの一端部
Ｐ１ｃが鉛直上方に位置付けられ、フィルムＦの剥離を
容易かつ円滑に遂行せしめる。なお、フィルムＦが基板
Ｐの全面を完全に覆うよう貼着されている場合には、基
本的には基板Ｐのいずれの一端を基板Ｐの搬入幅方向の
一側に向けて搬入させてもよい。このことは、先の実施
形態においても同じである。
て、基板Ｐの搬入方向又は搬送方向とは、図２７〜図２
９においては左から右に向かう方向（図２７及び図２９
においては矢印７１４で示されている方向）、図３０に
おいては紙面の表から裏に向かう方向を示している。ま
た、基板Ｐの搬入幅方向又は搬送幅方向とは、図２７に
おいては紙面の表裏方向、図２８及び図２９においては
上下方向、図３０においては左右方向をそれぞれ示して
いる。また、基板Ｐの搬入幅方向の一側（他側）とは、
図２８及び図２９においては上側（下側）、図３０にお
いては左側（右側）をそれぞれ示している。また先に説
明した図９及び図１０に示される形態の基板Ｐは、基板
Ｐの縦方向の一端部Ｐ１ｃが基板Ｐの搬入幅方向の一側
に向けられて搬入される。その結果、後の説明から容易
に理解されるように、基板Ｐは剥離位置Ｙ２において鉛
直な姿勢でフィルムＦが剥離される際、基板Ｐの一端部
Ｐ１ｃが鉛直上方に位置付けられ、フィルムＦの剥離を
容易かつ円滑に遂行せしめる。なお、フィルムＦが基板
Ｐの全面を完全に覆うよう貼着されている場合には、基
本的には基板Ｐのいずれの一端を基板Ｐの搬入幅方向の
一側に向けて搬入させてもよい。このことは、先の実施
形態においても同じである。
【００８０】姿勢変換手段７０４は、基板Ｐを、水平な
姿勢に維持しながら搬入手段７０２における搬入幅方向
の一側方向に搬入幅方向所定位置まで移動させる幅寄せ
手段７１６と、搬入幅方向所定位置に移動させられた基
板Ｐの該搬入幅方向の一側領域に位置する一端部を解除
自在にクランプして上方にかつ該搬入幅方向の他側まで
旋回させて該鉛直な姿勢とする基板直立手段７１８とを
備えている。搬送開始位置決め手段７０６は、基板直立
手段７１８により該鉛直な姿勢とされた基板Ｐの該一端
部を解除自在に把持して該搬入幅方向に搬送開始位置Ｙ
１Ａまで該鉛直な姿勢を維持しながら移動させるハンガ
ー７２０からなる。搬送開始位置Ｙ１Ａは該搬入幅方向
の中間領域に設定されている。
姿勢に維持しながら搬入手段７０２における搬入幅方向
の一側方向に搬入幅方向所定位置まで移動させる幅寄せ
手段７１６と、搬入幅方向所定位置に移動させられた基
板Ｐの該搬入幅方向の一側領域に位置する一端部を解除
自在にクランプして上方にかつ該搬入幅方向の他側まで
旋回させて該鉛直な姿勢とする基板直立手段７１８とを
備えている。搬送開始位置決め手段７０６は、基板直立
手段７１８により該鉛直な姿勢とされた基板Ｐの該一端
部を解除自在に把持して該搬入幅方向に搬送開始位置Ｙ
１Ａまで該鉛直な姿勢を維持しながら移動させるハンガ
ー７２０からなる。搬送開始位置Ｙ１Ａは該搬入幅方向
の中間領域に設定されている。
【００８１】更に具体的に説明すると、フィルム剥離搬
送装置は、適宜の支柱、横梁などからなる静止枠体７２
２を備えている。静止枠体７２２は載置面１上に設置さ
れ、ほぼ直方体の空間を形成している。静止枠体７２２
の該空間内に、フィルム剥離搬送装置を構成する上記各
手段が配設されている。
送装置は、適宜の支柱、横梁などからなる静止枠体７２
２を備えている。静止枠体７２２は載置面１上に設置さ
れ、ほぼ直方体の空間を形成している。静止枠体７２２
の該空間内に、フィルム剥離搬送装置を構成する上記各
手段が配設されている。
【００８２】静止枠体７２２の該空間内の、図２７及び
図２８において左右方向左端領域であって、上下方向中
間領域に配設されている搬入手段７０２は、基板Ｐの搬
入方向に間隔をおいて水平に配列されかつ基板Ｐの搬入
幅方向に延在する複数の搬入ローラ体７２４と、搬入ロ
ーラ体７２４の各々を回転駆動するための駆動源である
電動モータＭと、搬入ローラ体７２４の各々と電動モー
タＭとを駆動連結する動力伝達機構７２６とを備えてい
る。搬入ローラ体７２４の各々は、軸７２８と、軸７２
８に相互に間隔をおいて一体に配設された複数の搬入ロ
ーラ７３０とを備えている。軸７２８の各々は、静止枠
体７２２において、該搬入幅方向に間隔をおいて相互に
対向するよう配設された一対の側枠７３２間に回転自在
に支持されている。軸７２８の各々は、該搬入幅方向の
一側に位置する側枠７３２から側外方に延び出し、延び
出した先端に傘歯車７３４がそれぞれ一体に配設されて
いる。該搬入幅方向の一側に位置する側枠７３２の側外
方には、電動モータＭの駆動軸７３６が該搬入方向に延
在している。駆動軸７３６には相互に間隔をおいて複数
の傘歯車７３８が一体に配設されている。傘歯車７３８
の各々は、搬入ローラ体７２４の各々の軸７２８に配設
された傘歯車７３４にそれぞれ噛み合わされている。以
上の構成により、電動モータＭが作動されると、搬入ロ
ーラ体７２４の各々は、図２７において時計方向に回転
駆動される。駆動軸７３６、傘歯車７３８及び傘歯車７
３４などは、上記動力伝達機構７２６を構成する。ま
た、搬入ローラ体７２４の各々における搬入ローラ７３
０の各々により基板Ｐの搬入路が形成される。
図２８において左右方向左端領域であって、上下方向中
間領域に配設されている搬入手段７０２は、基板Ｐの搬
入方向に間隔をおいて水平に配列されかつ基板Ｐの搬入
幅方向に延在する複数の搬入ローラ体７２４と、搬入ロ
ーラ体７２４の各々を回転駆動するための駆動源である
電動モータＭと、搬入ローラ体７２４の各々と電動モー
タＭとを駆動連結する動力伝達機構７２６とを備えてい
る。搬入ローラ体７２４の各々は、軸７２８と、軸７２
８に相互に間隔をおいて一体に配設された複数の搬入ロ
ーラ７３０とを備えている。軸７２８の各々は、静止枠
体７２２において、該搬入幅方向に間隔をおいて相互に
対向するよう配設された一対の側枠７３２間に回転自在
に支持されている。軸７２８の各々は、該搬入幅方向の
一側に位置する側枠７３２から側外方に延び出し、延び
出した先端に傘歯車７３４がそれぞれ一体に配設されて
いる。該搬入幅方向の一側に位置する側枠７３２の側外
方には、電動モータＭの駆動軸７３６が該搬入方向に延
在している。駆動軸７３６には相互に間隔をおいて複数
の傘歯車７３８が一体に配設されている。傘歯車７３８
の各々は、搬入ローラ体７２４の各々の軸７２８に配設
された傘歯車７３４にそれぞれ噛み合わされている。以
上の構成により、電動モータＭが作動されると、搬入ロ
ーラ体７２４の各々は、図２７において時計方向に回転
駆動される。駆動軸７３６、傘歯車７３８及び傘歯車７
３４などは、上記動力伝達機構７２６を構成する。ま
た、搬入ローラ体７２４の各々における搬入ローラ７３
０の各々により基板Ｐの搬入路が形成される。
【００８３】静止枠体７２２には、搬入手段７０２によ
り搬入された基板Ｐを停止させて所定の搬入位置Ｙ１に
位置付けるためのストッパ７３９が備えられている。横
断面がＬ形状をなす細長い板部材から形成されているス
トッパ７３９は、静止枠体７２２に配設された図示しな
い支持枠に支持されて、該搬入方向の最下流位置に配置
された搬入ローラ体７２４の更に下流位置において、基
板Ｐの搬送面から上方に突出させられている。なお、基
板Ｐの搬送面は、搬入ローラ体７２４の搬入ローラ７３
０の各々を軸方向に見て、上側を通る接線と一致する水
平面により規定される。該搬入方向上流に配設された図
示しない基板投入装置から水平な姿勢で搬入された基板
Ｐは、電動モータＭにより回転駆動される搬入ローラ７
３０の各々により基板Ｐの搬送面に沿って下流方向に搬
入される。搬入された基板Ｐの搬入方向先端がストッパ
７３９に当接して停止された直後に、電動モータＭの作
動を停止することにより基板Ｐは所定の搬入位置Ｙ１に
位置付けられる。
り搬入された基板Ｐを停止させて所定の搬入位置Ｙ１に
位置付けるためのストッパ７３９が備えられている。横
断面がＬ形状をなす細長い板部材から形成されているス
トッパ７３９は、静止枠体７２２に配設された図示しな
い支持枠に支持されて、該搬入方向の最下流位置に配置
された搬入ローラ体７２４の更に下流位置において、基
板Ｐの搬送面から上方に突出させられている。なお、基
板Ｐの搬送面は、搬入ローラ体７２４の搬入ローラ７３
０の各々を軸方向に見て、上側を通る接線と一致する水
平面により規定される。該搬入方向上流に配設された図
示しない基板投入装置から水平な姿勢で搬入された基板
Ｐは、電動モータＭにより回転駆動される搬入ローラ７
３０の各々により基板Ｐの搬送面に沿って下流方向に搬
入される。搬入された基板Ｐの搬入方向先端がストッパ
７３９に当接して停止された直後に、電動モータＭの作
動を停止することにより基板Ｐは所定の搬入位置Ｙ１に
位置付けられる。
【００８４】図２７〜〜図３０と共に図３１をも参照し
て、幅寄せ手段７１６は、複数の搬入ローラ体７２０の
間に配置されかつ該搬入幅方向に延在する複数の支持部
材７４２を含む支持ユニット７４０と、支持ユニット７
４０を支持しかつ支持ユニット７４０に作用して支持部
材７４２の各々を基板Ｐの搬送面よりも低い非支持位置
と複数の搬入ローラ体７２０の間において基板Ｐの搬送
面よりも上方に突出した支持位置との間を選択的に昇降
させる昇降アクチュエータ７４４と、昇降アクチュエー
タ７４４を支持しかつ昇降アクチュエータ７４４に作用
して支持部材７４２の各々を搬入幅方向待機位置と搬入
幅方向待機位置よりも該搬入幅方向の一側寄りの一側寄
り所定位置との間を選択的に往復移動させる幅寄せアク
チュエータ７４６とを備えている。
て、幅寄せ手段７１６は、複数の搬入ローラ体７２０の
間に配置されかつ該搬入幅方向に延在する複数の支持部
材７４２を含む支持ユニット７４０と、支持ユニット７
４０を支持しかつ支持ユニット７４０に作用して支持部
材７４２の各々を基板Ｐの搬送面よりも低い非支持位置
と複数の搬入ローラ体７２０の間において基板Ｐの搬送
面よりも上方に突出した支持位置との間を選択的に昇降
させる昇降アクチュエータ７４４と、昇降アクチュエー
タ７４４を支持しかつ昇降アクチュエータ７４４に作用
して支持部材７４２の各々を搬入幅方向待機位置と搬入
幅方向待機位置よりも該搬入幅方向の一側寄りの一側寄
り所定位置との間を選択的に往復移動させる幅寄せアク
チュエータ７４６とを備えている。
【００８５】支持ユニット７４０は、該搬入方向に延在
する細長い矩形状の支持板７４８と、支持板７４８上に
直交するよう配設された上記複数の支持部材７４２とを
備えている。支持部材７４２の各々は細長い矩形状の板
から形成され、各々の一側面が同一水平面上に位置付け
られるよう支持板７４８上に配設されている。該搬送幅
方向に水平に延在するロッドレスエアシリンダ機構から
構成される幅寄せアクチュエータ７４６は支持ユニット
７４０の下方における図示しない支持枠に配設され、そ
の往復移動部が該搬入幅方向に往復移動するよう配設さ
れている。エアシリンダ機構から構成される昇降アクチ
ュエータ７４４は幅寄せアクチュエータ７４６の往復移
動部から直立するよう配設されている。昇降アクチュエ
ータ７４４のピストンロッドの先端は、支持板７４８の
下面に連結されている。このような構成により、支持ユ
ニット７４０は、昇降アクチュエータ７４４により鉛直
方向に昇降自在に支持されると共に、幅寄せアクチュエ
ータ７４６により該搬入幅方向に移動自在である。
する細長い矩形状の支持板７４８と、支持板７４８上に
直交するよう配設された上記複数の支持部材７４２とを
備えている。支持部材７４２の各々は細長い矩形状の板
から形成され、各々の一側面が同一水平面上に位置付け
られるよう支持板７４８上に配設されている。該搬送幅
方向に水平に延在するロッドレスエアシリンダ機構から
構成される幅寄せアクチュエータ７４６は支持ユニット
７４０の下方における図示しない支持枠に配設され、そ
の往復移動部が該搬入幅方向に往復移動するよう配設さ
れている。エアシリンダ機構から構成される昇降アクチ
ュエータ７４４は幅寄せアクチュエータ７４６の往復移
動部から直立するよう配設されている。昇降アクチュエ
ータ７４４のピストンロッドの先端は、支持板７４８の
下面に連結されている。このような構成により、支持ユ
ニット７４０は、昇降アクチュエータ７４４により鉛直
方向に昇降自在に支持されると共に、幅寄せアクチュエ
ータ７４６により該搬入幅方向に移動自在である。
【００８６】幅寄せアクチュエータ７４６により所定の
搬入位置Ｙ１から該搬入幅方向の一側方向に向かって移
動させられた基板Ｐを停止させて搬入幅方向所定位置に
位置付けるためのストッパ７４９が図示しない支持枠に
配設されている。ストッパ７４９は、該搬入幅方向の一
側領域に配置された複数の直立ピンからなり、直立ピン
の各々は、後述するとおりにして支持位置に上昇させら
れた支持部材７４２の各々上に載置された基板Ｐよりも
上方に突出させられている。
搬入位置Ｙ１から該搬入幅方向の一側方向に向かって移
動させられた基板Ｐを停止させて搬入幅方向所定位置に
位置付けるためのストッパ７４９が図示しない支持枠に
配設されている。ストッパ７４９は、該搬入幅方向の一
側領域に配置された複数の直立ピンからなり、直立ピン
の各々は、後述するとおりにして支持位置に上昇させら
れた支持部材７４２の各々上に載置された基板Ｐよりも
上方に突出させられている。
【００８７】基板Ｐが所定の搬入位置Ｙ１に搬入された
状態で、昇降アクチュエータ７４４を作動させて支持部
材７４２の各々を非支持位置から支持位置に上昇させる
と、支持部材７４２の各々は、基板Ｐを相対的に載置し
て搬入ローラ７３０の各々の上方、すなわち基板Ｐの搬
送面よりも上方に持ち上げて搬入ローラ７３０の各々か
ら離隔させる。続いて幅寄せアクチュエータ７４６を作
動させて支持部材７４２の各々を搬入幅方向待機位置か
ら一側寄り所定位置に移動させると、支持部材７４２の
各々上に載置された基板Ｐは所定の搬入位置Ｙ１から該
搬入幅方向の一側方向に移動させられ、基板Ｐの該搬入
幅方向の先端がストッパ７４９を構成する複数の直立ピ
ンに当接して停止されることにより、搬入幅方向所定位
置に位置付けられる。幅寄せアクチュエータ７４６の移
動ストロークは、基板Ｐのサイズに応じて適宜に設定す
ればよい。上記幅寄せ手段７１６によれば、基板Ｐを搬
入ローラ７３０の各々から離隔させて所定の搬入位置Ｙ
１から搬入幅方向所定位置に移動させるとができるの
で、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、その品質を損
なうことなく、安定した移動が保証される。
状態で、昇降アクチュエータ７４４を作動させて支持部
材７４２の各々を非支持位置から支持位置に上昇させる
と、支持部材７４２の各々は、基板Ｐを相対的に載置し
て搬入ローラ７３０の各々の上方、すなわち基板Ｐの搬
送面よりも上方に持ち上げて搬入ローラ７３０の各々か
ら離隔させる。続いて幅寄せアクチュエータ７４６を作
動させて支持部材７４２の各々を搬入幅方向待機位置か
ら一側寄り所定位置に移動させると、支持部材７４２の
各々上に載置された基板Ｐは所定の搬入位置Ｙ１から該
搬入幅方向の一側方向に移動させられ、基板Ｐの該搬入
幅方向の先端がストッパ７４９を構成する複数の直立ピ
ンに当接して停止されることにより、搬入幅方向所定位
置に位置付けられる。幅寄せアクチュエータ７４６の移
動ストロークは、基板Ｐのサイズに応じて適宜に設定す
ればよい。上記幅寄せ手段７１６によれば、基板Ｐを搬
入ローラ７３０の各々から離隔させて所定の搬入位置Ｙ
１から搬入幅方向所定位置に移動させるとができるの
で、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、その品質を損
なうことなく、安定した移動が保証される。
【００８８】図２７、図２９及び図３０を参照して、基
板直立手段７１８は、該搬入幅方向の他側において該搬
入方向に水平に延在する旋回軸７５０と、該搬入方向に
間隔をおいて配置されかつ一端部が旋回軸７５０に一体
に連結されると共に他端部にクランプ機構７５２が配設
された複数の旋回フレーム７５４と、旋回フレーム７５
４の各々を、複数の搬入ローラ体７２４間において基板
Ｐの搬送面の下方を該搬入幅方向に水平に延在する水平
待機位置と、該搬入幅方向の他側において直立する直立
位置との間を選択的に旋回させる旋回アクチュエータ７
５６とを備えている。静止枠体７２２に回転自在に配設
された旋回軸７５０の一端にはアーム７５８が半径方向
外方に延び出すよう配設され、アーム７５８の先端に
は、エアシリンダ機構からなる旋回アクチュエータ７５
６のピストンロッドの先端が連結されている。旋回アク
チュエータ７５６は静止枠体７２２に鉛直方向に延在す
るよう配設されている。旋回フレーム７５４の各々は、
水平待機位置に位置付けられた状態で、各々の上面が共
通の水平面上であって基板Ｐの搬送面よりも下方の水平
面上に位置付けられ、また各々の下面は支持ユニット７
４０の支持板７４８の上方に隙間をおいて位置付けられ
る。
板直立手段７１８は、該搬入幅方向の他側において該搬
入方向に水平に延在する旋回軸７５０と、該搬入方向に
間隔をおいて配置されかつ一端部が旋回軸７５０に一体
に連結されると共に他端部にクランプ機構７５２が配設
された複数の旋回フレーム７５４と、旋回フレーム７５
４の各々を、複数の搬入ローラ体７２４間において基板
Ｐの搬送面の下方を該搬入幅方向に水平に延在する水平
待機位置と、該搬入幅方向の他側において直立する直立
位置との間を選択的に旋回させる旋回アクチュエータ７
５６とを備えている。静止枠体７２２に回転自在に配設
された旋回軸７５０の一端にはアーム７５８が半径方向
外方に延び出すよう配設され、アーム７５８の先端に
は、エアシリンダ機構からなる旋回アクチュエータ７５
６のピストンロッドの先端が連結されている。旋回アク
チュエータ７５６は静止枠体７２２に鉛直方向に延在す
るよう配設されている。旋回フレーム７５４の各々は、
水平待機位置に位置付けられた状態で、各々の上面が共
通の水平面上であって基板Ｐの搬送面よりも下方の水平
面上に位置付けられ、また各々の下面は支持ユニット７
４０の支持板７４８の上方に隙間をおいて位置付けられ
る。
【００８９】クランプ機構７５２の各々は、相互に実質
的に同じ構成を有するので、そのうちの一つについて図
３２及び図３３を参照して説明する。クランプ機構７５
２は、旋回フレーム７５４が水平待機位置に位置付けら
れた状態において、水平な上面からなる被クランプ面７
６０ａを有する静止クランプ部材７６０と、平坦なクラ
ンプ面７６２ａを有しかつクランプ面７６２ａが静止ク
ランプ部材７６０の被クランプ面７６０ａに対し上方か
ら圧接するクランプ位置と、該クランプ面７６２ａが静
止クランプ部材７６０の被クランプ面７６０ａから上方
にかつ該搬入幅方向の一側方向外側に離隔するクランプ
解除位置との間を旋回軸７６３まわりに旋回自在な可動
クランプ部材７６２と、可動クランプ部材７６２をクラ
ンプ位置に常時付勢するばね手段である一対の引張コイ
ルばね７６４と、可動クランプ部材７６２を旋回させる
クランプアクチュエータ７６６とを備えている。クラン
プアクチュエータ７６６は鉛直方向に延在するエアシリ
ンダ機構から構成されている。旋回軸７６３は該搬入方
向に水平に延在する軸線を有している。
的に同じ構成を有するので、そのうちの一つについて図
３２及び図３３を参照して説明する。クランプ機構７５
２は、旋回フレーム７５４が水平待機位置に位置付けら
れた状態において、水平な上面からなる被クランプ面７
６０ａを有する静止クランプ部材７６０と、平坦なクラ
ンプ面７６２ａを有しかつクランプ面７６２ａが静止ク
ランプ部材７６０の被クランプ面７６０ａに対し上方か
ら圧接するクランプ位置と、該クランプ面７６２ａが静
止クランプ部材７６０の被クランプ面７６０ａから上方
にかつ該搬入幅方向の一側方向外側に離隔するクランプ
解除位置との間を旋回軸７６３まわりに旋回自在な可動
クランプ部材７６２と、可動クランプ部材７６２をクラ
ンプ位置に常時付勢するばね手段である一対の引張コイ
ルばね７６４と、可動クランプ部材７６２を旋回させる
クランプアクチュエータ７６６とを備えている。クラン
プアクチュエータ７６６は鉛直方向に延在するエアシリ
ンダ機構から構成されている。旋回軸７６３は該搬入方
向に水平に延在する軸線を有している。
【００９０】旋回フレーム７５４が水平待機位置に位置
付けられた状態において、可動クランプ部材７６２は、
静止クランプ部材７６０に対し、該搬入幅方向の一側方
向外方を鉛直に延在する本体部７６２Ａと、本体部７６
２Ａの下端部近傍から該搬入幅方向の他側方向に突出し
た突出部７６２ｂと、本体部７６２Ａの上端から該搬入
幅方向の他側に向かって静止クランプ部材７６０の上方
に延び出す延出部７６２Ｂと、延出部７６２Ｂの下端面
に配設されたクランプ部７６２Ｃとからなる。本体部７
６２Ａの下端部は旋回軸７６３に回転自在に支持されて
いる。引張コイルばね７６４の各々の一端は本体部７６
２Ａの両側上端部近傍に係止され、他端は静止クランプ
部材７６０の両側に係止されている。クランプ部７６２
Ｃは矩形の横断面を有し、その下面がクランプ面７６２
ａをなす。クランプアクチュエータ７６６の軸線は鉛直
方向に延在し、そのピストンロッド７６６ａの上端は、
可動クランプ部材７６２の突出部７６２ｂの下面に当接
ないし近接して位置付けられている。
付けられた状態において、可動クランプ部材７６２は、
静止クランプ部材７６０に対し、該搬入幅方向の一側方
向外方を鉛直に延在する本体部７６２Ａと、本体部７６
２Ａの下端部近傍から該搬入幅方向の他側方向に突出し
た突出部７６２ｂと、本体部７６２Ａの上端から該搬入
幅方向の他側に向かって静止クランプ部材７６０の上方
に延び出す延出部７６２Ｂと、延出部７６２Ｂの下端面
に配設されたクランプ部７６２Ｃとからなる。本体部７
６２Ａの下端部は旋回軸７６３に回転自在に支持されて
いる。引張コイルばね７６４の各々の一端は本体部７６
２Ａの両側上端部近傍に係止され、他端は静止クランプ
部材７６０の両側に係止されている。クランプ部７６２
Ｃは矩形の横断面を有し、その下面がクランプ面７６２
ａをなす。クランプアクチュエータ７６６の軸線は鉛直
方向に延在し、そのピストンロッド７６６ａの上端は、
可動クランプ部材７６２の突出部７６２ｂの下面に当接
ないし近接して位置付けられている。
【００９１】クランプアクチュエータ７６６を作動させ
ると、可動クランプ部材７６２は引張コイルばね７６４
の各々のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除
位置に旋回させられる。クランプアクチュエータ７６６
の作動を解除すると、可動クランプ部材７６２は引張コ
イルばね７６４の各々のばね力によりクランプ解除位置
からクランプ位置に旋回させられる。このような構成
は、基板Ｐが該鉛直な姿勢でクランプされたとき、クラ
ンプアクチュエータ７６６に供給されるエア圧の低下に
よる基板Ｐの落下を防止する。このような効果は、後述
する同様なクランプないしチャッキング機構においても
同様に得られる。
ると、可動クランプ部材７６２は引張コイルばね７６４
の各々のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解除
位置に旋回させられる。クランプアクチュエータ７６６
の作動を解除すると、可動クランプ部材７６２は引張コ
イルばね７６４の各々のばね力によりクランプ解除位置
からクランプ位置に旋回させられる。このような構成
は、基板Ｐが該鉛直な姿勢でクランプされたとき、クラ
ンプアクチュエータ７６６に供給されるエア圧の低下に
よる基板Ｐの落下を防止する。このような効果は、後述
する同様なクランプないしチャッキング機構においても
同様に得られる。
【００９２】図３０及び図３２を参照して、旋回フレー
ム７５４の各々が水平待機位置に位置付けられかつ可動
クランプ部材７６２がクランプ解除位置に位置付けられ
た状態で、上記幅寄せ手段７１６における昇降アクチュ
エータ７４４及び幅寄せアクチュエータ７４６を作動さ
せて基板Ｐを所定の搬入位置から搬入幅方向所定位置に
移動させると、基板Ｐの該一端部は、クランプ機構７５
２の各々における静止クランプ部材７６０の被クランプ
面７６０ａ上に位置付けられる。この状態でクランプア
クチュエータ７６６の作動を解除して引張コイルばね７
６４の各々のばね力により可動クランプ部材７６２をク
ランプ解除位置からクランプ位置に旋回させると、基板
Ｐの該一端部は、静止クランプ部材７６０の被クランプ
面７６０ａと可動クランプ部材７６２のクランプ面７６
２ａとによりクランプされる。続いて旋回アクチュエー
タ７５６を作動させて旋回フレーム７５４の各々を水平
待機位置から直立位置に旋回させると、基板Ｐは、該搬
入幅方向の他側において、該一端部を上にした該鉛直な
姿勢でクランプされる。
ム７５４の各々が水平待機位置に位置付けられかつ可動
クランプ部材７６２がクランプ解除位置に位置付けられ
た状態で、上記幅寄せ手段７１６における昇降アクチュ
エータ７４４及び幅寄せアクチュエータ７４６を作動さ
せて基板Ｐを所定の搬入位置から搬入幅方向所定位置に
移動させると、基板Ｐの該一端部は、クランプ機構７５
２の各々における静止クランプ部材７６０の被クランプ
面７６０ａ上に位置付けられる。この状態でクランプア
クチュエータ７６６の作動を解除して引張コイルばね７
６４の各々のばね力により可動クランプ部材７６２をク
ランプ解除位置からクランプ位置に旋回させると、基板
Ｐの該一端部は、静止クランプ部材７６０の被クランプ
面７６０ａと可動クランプ部材７６２のクランプ面７６
２ａとによりクランプされる。続いて旋回アクチュエー
タ７５６を作動させて旋回フレーム７５４の各々を水平
待機位置から直立位置に旋回させると、基板Ｐは、該搬
入幅方向の他側において、該一端部を上にした該鉛直な
姿勢でクランプされる。
【００９３】図２７、図３０及び図３４を参照して、ハ
ンガー７２０は、該搬入方向に水平に延在する支持フレ
ーム７７０と、支持フレーム７７０に間隔をおいて配置
された複数の把持ユニット７７２と、支持フレーム７７
０を支持しかつ支持フレーム７７０に作用して把持ユニ
ット７７２の各々を上方待機位置と上方待機位置よりも
下方の基板把持可能位置との間を選択的に昇降させる昇
降アクチュエータ７７４と、昇降アクチュエータ７７４
を支持しかつ昇降アクチュエータ７７４に作用して把持
ユニット７７２の各々を該搬入幅方向の他側待機位置と
該搬入幅方向の中間領域に設定された該搬送開始位置Ｙ
１Ａとの間を選択的に移動させる搬送開始位置決めアク
チュエータ７７６とを備えている。搬送開始位置決めア
クチュエータ７７６は該搬入幅方向に水平に往復移動す
る往復移動部を備えたロッドレスエアシリンダ機構から
構成され、静止枠体７２２の天井部に配設されている。
昇降アクチュエータ７７４は、該ロッドレスエアシリン
ダ機構の該往復移動部から鉛直下方に延び出すよう該往
復移動部に支持されている。昇降アクチュエータ７７４
はエアシリンダ機構から構成され、鉛直下方に延び出す
ピストンロッドの下端に支持フレーム７７０が一体に連
結支持されている。
ンガー７２０は、該搬入方向に水平に延在する支持フレ
ーム７７０と、支持フレーム７７０に間隔をおいて配置
された複数の把持ユニット７７２と、支持フレーム７７
０を支持しかつ支持フレーム７７０に作用して把持ユニ
ット７７２の各々を上方待機位置と上方待機位置よりも
下方の基板把持可能位置との間を選択的に昇降させる昇
降アクチュエータ７７４と、昇降アクチュエータ７７４
を支持しかつ昇降アクチュエータ７７４に作用して把持
ユニット７７２の各々を該搬入幅方向の他側待機位置と
該搬入幅方向の中間領域に設定された該搬送開始位置Ｙ
１Ａとの間を選択的に移動させる搬送開始位置決めアク
チュエータ７７６とを備えている。搬送開始位置決めア
クチュエータ７７６は該搬入幅方向に水平に往復移動す
る往復移動部を備えたロッドレスエアシリンダ機構から
構成され、静止枠体７２２の天井部に配設されている。
昇降アクチュエータ７７４は、該ロッドレスエアシリン
ダ機構の該往復移動部から鉛直下方に延び出すよう該往
復移動部に支持されている。昇降アクチュエータ７７４
はエアシリンダ機構から構成され、鉛直下方に延び出す
ピストンロッドの下端に支持フレーム７７０が一体に連
結支持されている。
【００９４】把持ユニット７７２の各々は、それぞれ一
端部が該搬入方向に延在する軸線、具体的には旋回軸７
７８まわりに旋回自在な一対の把持部材７８０と、把持
部材７８０の各々を、把持部材７８０の各々の他端部に
配設された把持面７８０ａが各々の旋回軸７７８よりも
下方位置において相互に該搬入幅方向に圧接される把持
位置と、把持面７８０ａが該搬入幅方向外方の上方に離
隔される把持解除位置との間を選択的に旋回させる把持
アクチュエータ７８２とを備えている。把持アクチュエ
ータ７８２は回動式のエアシリンダ機構から構成され、
回動体が所定の角度範囲で選択的に回動させられること
により、把持部材７８０の各々を旋回作動させることが
できる。
端部が該搬入方向に延在する軸線、具体的には旋回軸７
７８まわりに旋回自在な一対の把持部材７８０と、把持
部材７８０の各々を、把持部材７８０の各々の他端部に
配設された把持面７８０ａが各々の旋回軸７７８よりも
下方位置において相互に該搬入幅方向に圧接される把持
位置と、把持面７８０ａが該搬入幅方向外方の上方に離
隔される把持解除位置との間を選択的に旋回させる把持
アクチュエータ７８２とを備えている。把持アクチュエ
ータ７８２は回動式のエアシリンダ機構から構成され、
回動体が所定の角度範囲で選択的に回動させられること
により、把持部材７８０の各々を旋回作動させることが
できる。
【００９５】把持ユニット７７２の各々が他側待機位置
において上方待機位置に位置付けられかつ基板直立手段
７１８の旋回フレーム７５４の各々が直立位置に位置付
けられてクランプ機構７５２の各々により基板Ｐの該一
端部がクランプされて基板Ｐが該鉛直な姿勢とされた状
態で、昇降アクチュエータ７７４を作動させて把持ユニ
ット７７２の各々を上方待機位置から基板把持可能位置
に下降させてから、把持アクチュエータ７８２を作動さ
せて把持ユニット７７２の各々における把持部材７８０
の各々を把持解除位置から把持位置に旋回させると、基
板Ｐの該一端部が把持部材７８０の各々により把持され
る。続いてクランプアクチュエータ７６６の作動を解除
してクランプ機構７５２の各々の可動クランブ部材７６
２をクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させて基
板Ｐのクランプを解除する。次に旋回アクチュエータ７
５６を作動させて旋回フレーム７５４の各々を直立位置
から水平待機位置に旋回させた後、昇降アクチュエータ
７７４を作動させて把持ユニット７７２の各々を基板把
持可能位置から上方待機位置に上昇させる。続いて搬送
開始位置決めアクチュエータ７７６を作動させて把持ユ
ニット７７２の各々を他側待機位置から搬送開始位置Ｙ
１Ａに移動させることにより、基板Ｐは該鉛直な姿勢が
維持されながら搬送開始位置Ｙ１Ａに移動させられる。
実施形態において、搬送開始位置Ｙ１Ａは、上記搬入路
の上方であって搬入幅方向の中央に設定されている。上
記した如く、旋回フレーム７５４の各々が直立位置に位
置付けられた状態でクランプ機構７５２の各々の可動ク
ランブ部材７６２をクランプ位置からクランプ解除位置
に旋回させたとき、静止クランブ部材７６０の被クラン
プ面７６０ａは、把持部材７８０の各々により把持され
た基板Ｐの該一端部の片面に対し、該搬送幅方向の一側
方向側に位置し、また可動クランブ部材７６２クランプ
面７６２ａは、被クランプ面７６０ａに対し上方に離隔
するので、旋回フレーム７５４の各々が直立位置から水
平待機位置に旋回させられても、クランプ機構７５２の
各々が基板Ｐの該上端部に干渉することが防止される。
において上方待機位置に位置付けられかつ基板直立手段
７１８の旋回フレーム７５４の各々が直立位置に位置付
けられてクランプ機構７５２の各々により基板Ｐの該一
端部がクランプされて基板Ｐが該鉛直な姿勢とされた状
態で、昇降アクチュエータ７７４を作動させて把持ユニ
ット７７２の各々を上方待機位置から基板把持可能位置
に下降させてから、把持アクチュエータ７８２を作動さ
せて把持ユニット７７２の各々における把持部材７８０
の各々を把持解除位置から把持位置に旋回させると、基
板Ｐの該一端部が把持部材７８０の各々により把持され
る。続いてクランプアクチュエータ７６６の作動を解除
してクランプ機構７５２の各々の可動クランブ部材７６
２をクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させて基
板Ｐのクランプを解除する。次に旋回アクチュエータ７
５６を作動させて旋回フレーム７５４の各々を直立位置
から水平待機位置に旋回させた後、昇降アクチュエータ
７７４を作動させて把持ユニット７７２の各々を基板把
持可能位置から上方待機位置に上昇させる。続いて搬送
開始位置決めアクチュエータ７７６を作動させて把持ユ
ニット７７２の各々を他側待機位置から搬送開始位置Ｙ
１Ａに移動させることにより、基板Ｐは該鉛直な姿勢が
維持されながら搬送開始位置Ｙ１Ａに移動させられる。
実施形態において、搬送開始位置Ｙ１Ａは、上記搬入路
の上方であって搬入幅方向の中央に設定されている。上
記した如く、旋回フレーム７５４の各々が直立位置に位
置付けられた状態でクランプ機構７５２の各々の可動ク
ランブ部材７６２をクランプ位置からクランプ解除位置
に旋回させたとき、静止クランブ部材７６０の被クラン
プ面７６０ａは、把持部材７８０の各々により把持され
た基板Ｐの該一端部の片面に対し、該搬送幅方向の一側
方向側に位置し、また可動クランブ部材７６２クランプ
面７６２ａは、被クランプ面７６０ａに対し上方に離隔
するので、旋回フレーム７５４の各々が直立位置から水
平待機位置に旋回させられても、クランプ機構７５２の
各々が基板Ｐの該上端部に干渉することが防止される。
【００９６】図２７、図２８、図３０、図３５及び図３
６を参照して、上記搬入路の上方であって、搬送開始位
置Ｙ１Ａよりも該搬送幅方向の他側寄りの位置には静止
枠７８４が配設され、静止枠７８４には、基板搬送手段
７０８が支持されている。基板搬送手段７０８は、搬送
開始位置Ｙ１Ａに対して、該搬入幅方向の一側寄りの位
置を該搬入方向に延在する支持フレーム７８６と、支持
フレーム７８６における該搬入方向上流側に配設された
上流側チャッキング機構８００であって、搬送開始位置
Ｙ１Ａに位置付けられた基板Ｐの搬入方向後端部を解除
自在にチャッキングする上流側チャッキング機構８００
と、支持フレーム７８６における該搬入方向下流側にお
いて上流側チャッキング機構８００に対し間隔をおいて
配設された下流側チャッキング機構８０２であって、搬
送開始位置Ｙ１Ａに移動させられた基板Ｐの搬入方向前
端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング
機構８０２と、支持フレーム７８６に作用して上流側及
び下流側チャッキング機構８００及び８０２の各々を一
体的に該搬送開始位置Ｙ１Ａと剥離位置Ｙ２との間を選
択的に移動させる基板搬送アクチュエータ８０４とを備
えている。基板搬送アクチュエータ８０４は該搬送方向
に水平に延在するロッドレスエアシリンダ機構から構成
され、ロッドレスエアシリンダ機構の往復移動部８０４
ａに支持フレーム７８６が配設されている。図示の実施
形態においては、支持フレーム７８６には、基板Ｐのサ
イズに対応するために上流側チャッキング機構８００を
該搬送方向に下流側チャッキング機構８０２に対して接
近又は離隔するように水平に往復移動させるアクチュエ
ータ８０６が配設されている。アクチュエータ８０６は
ロッドレスエアシリンダ機構から構成され、ロッドレス
エアシリンダ機構の往復移動部に上流側チャッキング機
構８００が配設されている。
６を参照して、上記搬入路の上方であって、搬送開始位
置Ｙ１Ａよりも該搬送幅方向の他側寄りの位置には静止
枠７８４が配設され、静止枠７８４には、基板搬送手段
７０８が支持されている。基板搬送手段７０８は、搬送
開始位置Ｙ１Ａに対して、該搬入幅方向の一側寄りの位
置を該搬入方向に延在する支持フレーム７８６と、支持
フレーム７８６における該搬入方向上流側に配設された
上流側チャッキング機構８００であって、搬送開始位置
Ｙ１Ａに位置付けられた基板Ｐの搬入方向後端部を解除
自在にチャッキングする上流側チャッキング機構８００
と、支持フレーム７８６における該搬入方向下流側にお
いて上流側チャッキング機構８００に対し間隔をおいて
配設された下流側チャッキング機構８０２であって、搬
送開始位置Ｙ１Ａに移動させられた基板Ｐの搬入方向前
端部を解除自在にチャッキングする下流側チャッキング
機構８０２と、支持フレーム７８６に作用して上流側及
び下流側チャッキング機構８００及び８０２の各々を一
体的に該搬送開始位置Ｙ１Ａと剥離位置Ｙ２との間を選
択的に移動させる基板搬送アクチュエータ８０４とを備
えている。基板搬送アクチュエータ８０４は該搬送方向
に水平に延在するロッドレスエアシリンダ機構から構成
され、ロッドレスエアシリンダ機構の往復移動部８０４
ａに支持フレーム７８６が配設されている。図示の実施
形態においては、支持フレーム７８６には、基板Ｐのサ
イズに対応するために上流側チャッキング機構８００を
該搬送方向に下流側チャッキング機構８０２に対して接
近又は離隔するように水平に往復移動させるアクチュエ
ータ８０６が配設されている。アクチュエータ８０６は
ロッドレスエアシリンダ機構から構成され、ロッドレス
エアシリンダ機構の往復移動部に上流側チャッキング機
構８００が配設されている。
【００９７】上流側及び下流側チャッキング機構８００
及び８０２は、相互に実質的に同じ構成を有しかつ該搬
入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設されているの
で、以下、それらを代表して上流側チャッキング機構８
００について説明する。なお、下流側チャッキング機構
８０２を示す図４０において、上流側チャッキング機構
８００と実質的に同一部分には同一符号を付し、説明は
省略する。
及び８０２は、相互に実質的に同じ構成を有しかつ該搬
入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設されているの
で、以下、それらを代表して上流側チャッキング機構８
００について説明する。なお、下流側チャッキング機構
８０２を示す図４０において、上流側チャッキング機構
８００と実質的に同一部分には同一符号を付し、説明は
省略する。
【００９８】図３７〜図３９を参照して、上流側チャッ
キング機構８００は支持板８０８に支持され、支持板８
０８は、アクチュエータ８０６を構成するロッドレスエ
アシリンダ機構の往復移動部に配設されている。なお、
下流側チャッキング機構８０２は支持板８０８に支持さ
れているが、この支持板８０８は、支持フレーム７８６
に直接配設されている（図３５参照）。上流側チャッキ
ング機構８００は、第１の可動チャッキング体８１０
と、第２の可動チャッキング体８１２と、ばね手段を構
成する一対の引張コイルばね８１４と、エアシリンダ機
構からなるチャッキングアクチュエータ８１６とを備え
ている。支持板８０８は該搬入方向に細長く延在する矩
形状をなし、幅方向の側面が鉛直方向に向けられてい
る。支持板８０８の該搬送方向下流側の端部には、該搬
入幅方向に見て、該搬入方向における上流方向に開放さ
れたチャンネル形状をなすフレーム８１８が該搬入幅方
向の他側に向かって延び出すよう配設されている。鉛直
方向に間隔をおいて対向する、フレーム８１８の一対の
側壁８２０における中間位置であって、フレーム８１８
の、該搬入幅方向の他側における先端寄りの中間位置に
は、側壁８２０の各々の、該上流側の先端面から該上流
方向に突出する突出部８２０ａが形成されている。側壁
８２０の各々の、該上流側の先端面であって、突出部８
２０ａから該搬送幅方向の他側方向における先端までの
間の先端面８２０ｂは、突出部８２０ａから該搬入幅方
向の一側方向における先端までの間の先端面８２０ｃよ
りも、該搬入方向下流側に若干後退せしめられている。
この先端面８２０ｂは第１の可動チャッキング体８１０
の旋回を阻止するストッパとして機能するが、これにつ
いては後述する。
キング機構８００は支持板８０８に支持され、支持板８
０８は、アクチュエータ８０６を構成するロッドレスエ
アシリンダ機構の往復移動部に配設されている。なお、
下流側チャッキング機構８０２は支持板８０８に支持さ
れているが、この支持板８０８は、支持フレーム７８６
に直接配設されている（図３５参照）。上流側チャッキ
ング機構８００は、第１の可動チャッキング体８１０
と、第２の可動チャッキング体８１２と、ばね手段を構
成する一対の引張コイルばね８１４と、エアシリンダ機
構からなるチャッキングアクチュエータ８１６とを備え
ている。支持板８０８は該搬入方向に細長く延在する矩
形状をなし、幅方向の側面が鉛直方向に向けられてい
る。支持板８０８の該搬送方向下流側の端部には、該搬
入幅方向に見て、該搬入方向における上流方向に開放さ
れたチャンネル形状をなすフレーム８１８が該搬入幅方
向の他側に向かって延び出すよう配設されている。鉛直
方向に間隔をおいて対向する、フレーム８１８の一対の
側壁８２０における中間位置であって、フレーム８１８
の、該搬入幅方向の他側における先端寄りの中間位置に
は、側壁８２０の各々の、該上流側の先端面から該上流
方向に突出する突出部８２０ａが形成されている。側壁
８２０の各々の、該上流側の先端面であって、突出部８
２０ａから該搬送幅方向の他側方向における先端までの
間の先端面８２０ｂは、突出部８２０ａから該搬入幅方
向の一側方向における先端までの間の先端面８２０ｃよ
りも、該搬入方向下流側に若干後退せしめられている。
この先端面８２０ｂは第１の可動チャッキング体８１０
の旋回を阻止するストッパとして機能するが、これにつ
いては後述する。
【００９９】次に、第１の可動チャッキング体８１０
を、後述するチャッキング位置に位置付けられた状態に
おいて説明する。第１の可動チャッキング体８１０は、
該搬入方向に見て、該搬入幅方向の一側方向に開放され
たチャンネル形状をなす板部材を備えている。第１の可
動チャッキング体８１０は、第１の可動チャッキング体
８１０の、鉛直方向に間隔をおいて対向する一対の側壁
８２２における、該搬入幅方向の一側方向における先端
面と該搬入方向下流側の端面とが交わる角部が、フレー
ム８１８の、側壁８２０の各々の突出部８２０ａの外側
面に重合され、それぞれ鉛直軸８２４を介して水平方向
に旋回自在に支持されている。第１の可動チャッキング
体８１０の側壁８２２間を延在する鉛直壁８２６の外側
面（該搬入幅方向の他側方向に面した外側面）には、横
断面が矩形状をなす被圧接部材８２８が鉛直方向に延在
するよう配設されている。被圧接部材８２８の外側面
（該搬入幅方向の他側方向に面した外側面）は、被圧接
面８２８ａを規定する。側壁８２２の各々の、該搬入幅
方向の一側方向における先端領域には、該搬入幅方向に
一定の幅で、該搬入方向上流側の端面から該搬入方向上
流側に延び出す延出部８３０が形成されている。側壁８
２２の各々の、該搬入幅方向の一側方向における先端領
域であって、延出部８３０と鉛直軸８２４が配設された
角部との間には、鉛直軸からなるストッパ８３２が配設
されている。ストッパ８３２は、後の説明から容易に理
解されるように、第２の可動チャッキング体８１２のチ
ャッキング位置からチャッキング解除位置への旋回を途
中で阻止する。
を、後述するチャッキング位置に位置付けられた状態に
おいて説明する。第１の可動チャッキング体８１０は、
該搬入方向に見て、該搬入幅方向の一側方向に開放され
たチャンネル形状をなす板部材を備えている。第１の可
動チャッキング体８１０は、第１の可動チャッキング体
８１０の、鉛直方向に間隔をおいて対向する一対の側壁
８２２における、該搬入幅方向の一側方向における先端
面と該搬入方向下流側の端面とが交わる角部が、フレー
ム８１８の、側壁８２０の各々の突出部８２０ａの外側
面に重合され、それぞれ鉛直軸８２４を介して水平方向
に旋回自在に支持されている。第１の可動チャッキング
体８１０の側壁８２２間を延在する鉛直壁８２６の外側
面（該搬入幅方向の他側方向に面した外側面）には、横
断面が矩形状をなす被圧接部材８２８が鉛直方向に延在
するよう配設されている。被圧接部材８２８の外側面
（該搬入幅方向の他側方向に面した外側面）は、被圧接
面８２８ａを規定する。側壁８２２の各々の、該搬入幅
方向の一側方向における先端領域には、該搬入幅方向に
一定の幅で、該搬入方向上流側の端面から該搬入方向上
流側に延び出す延出部８３０が形成されている。側壁８
２２の各々の、該搬入幅方向の一側方向における先端領
域であって、延出部８３０と鉛直軸８２４が配設された
角部との間には、鉛直軸からなるストッパ８３２が配設
されている。ストッパ８３２は、後の説明から容易に理
解されるように、第２の可動チャッキング体８１２のチ
ャッキング位置からチャッキング解除位置への旋回を途
中で阻止する。
【０１００】次に、第２の可動チャッキング体８１２
を、後述するチャッキング位置に位置付けられた状態に
おいて説明する。第２の可動チャッキング体８１２は、
鉛直方向に間隔をおいて対向しかつ一定の幅で該搬入幅
方向に延在すると共に該搬入幅方向の他側方向における
先端部において該搬入方向の下流側に比較的短く延び出
すよう形成された一対の側壁８３４と、側壁８３４の各
々の延出部における、該搬入幅方向の一側方向に面した
端部間を一定の幅で鉛直方向に延在する鉛直壁８３６と
を備えた板部材を備えている。鉛直壁８３６の内側面
（該搬入幅方向の一側方向に面した内側面）には、横断
面が矩形状をなす圧接部材８３８が鉛直方向に延在する
よう配設されている。圧接部材８３８の内側面（該搬入
幅方向の一側方向に面した内側面）は、圧接面８３８ａ
を規定する。側壁８３４の各々の、該搬入幅方向の一側
方向の一端部間には、鉛直軸８４０が配設されている。
鉛直軸８４０は、エアシリンダ機構から構成されるチャ
ッキングアクチュエータ８１６のピストンロッド８１６
ａの先端に配設された旋回作動部材８１６ｂに当接され
て、ピストンロッド８１６ａの、該搬入方向への往復移
動を受ける被旋回作動部を構成する。側壁８３４の各々
の、該搬入幅方向の他側方向の他端部間には、補強用の
鉛直軸８４２が配設されている。
を、後述するチャッキング位置に位置付けられた状態に
おいて説明する。第２の可動チャッキング体８１２は、
鉛直方向に間隔をおいて対向しかつ一定の幅で該搬入幅
方向に延在すると共に該搬入幅方向の他側方向における
先端部において該搬入方向の下流側に比較的短く延び出
すよう形成された一対の側壁８３４と、側壁８３４の各
々の延出部における、該搬入幅方向の一側方向に面した
端部間を一定の幅で鉛直方向に延在する鉛直壁８３６と
を備えた板部材を備えている。鉛直壁８３６の内側面
（該搬入幅方向の一側方向に面した内側面）には、横断
面が矩形状をなす圧接部材８３８が鉛直方向に延在する
よう配設されている。圧接部材８３８の内側面（該搬入
幅方向の一側方向に面した内側面）は、圧接面８３８ａ
を規定する。側壁８３４の各々の、該搬入幅方向の一側
方向の一端部間には、鉛直軸８４０が配設されている。
鉛直軸８４０は、エアシリンダ機構から構成されるチャ
ッキングアクチュエータ８１６のピストンロッド８１６
ａの先端に配設された旋回作動部材８１６ｂに当接され
て、ピストンロッド８１６ａの、該搬入方向への往復移
動を受ける被旋回作動部を構成する。側壁８３４の各々
の、該搬入幅方向の他側方向の他端部間には、補強用の
鉛直軸８４２が配設されている。
【０１０１】第２の可動チャッキング体８１２は、第２
の可動チャッキング体８１２の側壁８３４の各々の、該
搬入幅方向の一側方向の一端部近傍部位が、第１の可動
チャッキング体８１０の側壁８２２の各々に形成された
延出部８３０の内側に重合され、それぞれピンからなる
鉛直軸８４４まわりに旋回自在に支持されている。第２
の可動チャッキング体８１２の側壁８３４の各々の、鉛
直軸８４４が存在する部分よりも該搬入幅方向の他側方
向寄りの部位には、それぞればね係止ピン８４６が同一
鉛直軸線上を相互に離隔する方向に延び出すよう配設さ
れている。ばね係止ピン８４６に対し、該搬入方向下流
側に間隔をおいた位置であって、フレーム８１８の側壁
８２０の各々にも、それぞればね係止ピン８４８が同一
鉛直軸線上を相互に離隔する方向に延び出すよう配設さ
れている。係止ピン８４６の各々と、係止ピン８４８の
各々との間には、それぞれ引張コイルばね８１４が配設
されている。
の可動チャッキング体８１２の側壁８３４の各々の、該
搬入幅方向の一側方向の一端部近傍部位が、第１の可動
チャッキング体８１０の側壁８２２の各々に形成された
延出部８３０の内側に重合され、それぞれピンからなる
鉛直軸８４４まわりに旋回自在に支持されている。第２
の可動チャッキング体８１２の側壁８３４の各々の、鉛
直軸８４４が存在する部分よりも該搬入幅方向の他側方
向寄りの部位には、それぞればね係止ピン８４６が同一
鉛直軸線上を相互に離隔する方向に延び出すよう配設さ
れている。ばね係止ピン８４６に対し、該搬入方向下流
側に間隔をおいた位置であって、フレーム８１８の側壁
８２０の各々にも、それぞればね係止ピン８４８が同一
鉛直軸線上を相互に離隔する方向に延び出すよう配設さ
れている。係止ピン８４６の各々と、係止ピン８４８の
各々との間には、それぞれ引張コイルばね８１４が配設
されている。
【０１０２】チャッキングアクチュエータ８１６が作動
されていない状態において、第１の可動チャッキング体
８１０は、引張コイルばね８１４の各々のばね力により
鉛直軸８２４まわりに図３７において反時計方向に旋回
するよう付勢されるが、鉛直壁８２６の、該搬入方向下
流側の端面が、フレーム８１８における側壁８２０の各
々の先端面８２６ｂに当接して該旋回が阻止されること
により、チャッキング位置に位置付けられる。第１の可
動チャッキング体８１０がチャッキング位置に位置付け
られると、被圧接面８２８ａが該搬入幅方向の他側に向
けられる。他方、第２の可動チャッキング体８１２は、
引張コイルばね８１４の各々のばね力により、第１の可
動チャッキング体８１０との連結部である鉛直軸８４４
まわりに図３７において反時計方向に旋回するよう付勢
されるが、圧接面８３８ａが、チャッキング位置に位置
付けられた第１の可動チャッキング体８１０の被圧接面
８２８ａに圧接されることにより阻止されてチャッキン
グ位置に位置付けられる。このように、引張コイルばね
８１４の各々は、第１及び第２の可動チャッキング体８
１０及び８１２をチャッキング位置に常時付勢する。
されていない状態において、第１の可動チャッキング体
８１０は、引張コイルばね８１４の各々のばね力により
鉛直軸８２４まわりに図３７において反時計方向に旋回
するよう付勢されるが、鉛直壁８２６の、該搬入方向下
流側の端面が、フレーム８１８における側壁８２０の各
々の先端面８２６ｂに当接して該旋回が阻止されること
により、チャッキング位置に位置付けられる。第１の可
動チャッキング体８１０がチャッキング位置に位置付け
られると、被圧接面８２８ａが該搬入幅方向の他側に向
けられる。他方、第２の可動チャッキング体８１２は、
引張コイルばね８１４の各々のばね力により、第１の可
動チャッキング体８１０との連結部である鉛直軸８４４
まわりに図３７において反時計方向に旋回するよう付勢
されるが、圧接面８３８ａが、チャッキング位置に位置
付けられた第１の可動チャッキング体８１０の被圧接面
８２８ａに圧接されることにより阻止されてチャッキン
グ位置に位置付けられる。このように、引張コイルばね
８１４の各々は、第１及び第２の可動チャッキング体８
１０及び８１２をチャッキング位置に常時付勢する。
【０１０３】第１及び第２の可動チャッキング体８１０
及び８１２がチャッキング位置に位置付けられた状態に
おいて、チャッキングアクチュエータ８１６を作動させ
ると、ピストンロッド８１６ａの旋回作動部材８１６ｂ
が該下流方向に移動させられて第２の可動チャッキング
体８１２の鉛直軸８４０に当接され、第２の可動チャッ
キング体８１２を鉛直軸８４４まわりに図３７において
時計方向に旋回するよう強制する。第２の可動チャッキ
ング体８１２は、引張コイルばね８１４の各々のばね力
に抗して第１の可動チャッキング体８１０のストッパ８
３２により阻止されるまで鉛直軸８４４まわりに第１の
可動チャッキング体８１０に対して図３７において時計
方向に旋回させられる。この旋回作動により第２の可動
チャッキング体８１２の圧接面８３８ａは、第１の可動
チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａから実質的に
該搬入幅方向の他側方向にかつ該上流方向に離隔させら
れる。この間、第１の可動チャッキング体８１０は、引
張コイルばね８１４の各々のばね力によりチャッキング
位置に位置付けられている。
及び８１２がチャッキング位置に位置付けられた状態に
おいて、チャッキングアクチュエータ８１６を作動させ
ると、ピストンロッド８１６ａの旋回作動部材８１６ｂ
が該下流方向に移動させられて第２の可動チャッキング
体８１２の鉛直軸８４０に当接され、第２の可動チャッ
キング体８１２を鉛直軸８４４まわりに図３７において
時計方向に旋回するよう強制する。第２の可動チャッキ
ング体８１２は、引張コイルばね８１４の各々のばね力
に抗して第１の可動チャッキング体８１０のストッパ８
３２により阻止されるまで鉛直軸８４４まわりに第１の
可動チャッキング体８１０に対して図３７において時計
方向に旋回させられる。この旋回作動により第２の可動
チャッキング体８１２の圧接面８３８ａは、第１の可動
チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａから実質的に
該搬入幅方向の他側方向にかつ該上流方向に離隔させら
れる。この間、第１の可動チャッキング体８１０は、引
張コイルばね８１４の各々のばね力によりチャッキング
位置に位置付けられている。
【０１０４】第２の可動チャッキング体８１２の、第１
の可動チャッキング体８１０に対する旋回が第１の可動
チャッキング体８１０のストッパ８３２により阻止され
た後には、第２の可動チャッキング体８１２及び第１の
可動チャッキング体８１０は相対移動することなく一体
的に引張コイルばね８１４の各々のばね力に抗して図３
７において時計方向にチャッキング解除位置まで旋回さ
せられる。第１の可動チャッキング体８１０は、被圧接
面８２８ａがチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一
側方向に退避させられたチャッキング解除位置に位置付
けられ、第２の可動チャッキング体８１２は、圧接面８
３８ａがチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方
向に退避させられたチャッキング解除位置に位置付けら
れる。チャッキングアクチュエータ８１６の作動を解除
すると、前記と逆の旋回動作により、第１及び第２の可
動チャッキング体８１０及び８１２は、引張コイルばね
８１４の各々のばね力により、チャッキング解除位置か
らチャッキング位置に戻される。
の可動チャッキング体８１０に対する旋回が第１の可動
チャッキング体８１０のストッパ８３２により阻止され
た後には、第２の可動チャッキング体８１２及び第１の
可動チャッキング体８１０は相対移動することなく一体
的に引張コイルばね８１４の各々のばね力に抗して図３
７において時計方向にチャッキング解除位置まで旋回さ
せられる。第１の可動チャッキング体８１０は、被圧接
面８２８ａがチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一
側方向に退避させられたチャッキング解除位置に位置付
けられ、第２の可動チャッキング体８１２は、圧接面８
３８ａがチャッキング位置に対し該搬入幅方向の一側方
向に退避させられたチャッキング解除位置に位置付けら
れる。チャッキングアクチュエータ８１６の作動を解除
すると、前記と逆の旋回動作により、第１及び第２の可
動チャッキング体８１０及び８１２は、引張コイルばね
８１４の各々のばね力により、チャッキング解除位置か
らチャッキング位置に戻される。
【０１０５】先に述べたように、図４０に示されている
下流側チャッキング機構８０２も、上記した上流側チャ
ッキング機構８００と実質的に同様に作動するが、上流
側チャッキング機構８００に対し、該搬入方向に間隔を
おいて相互に対称的に配設されているので、作動も対称
的に行われる。
下流側チャッキング機構８０２も、上記した上流側チャ
ッキング機構８００と実質的に同様に作動するが、上流
側チャッキング機構８００に対し、該搬入方向に間隔を
おいて相互に対称的に配設されているので、作動も対称
的に行われる。
【０１０６】図２７、図２８、図３０及び図３５〜図３
７を参照して、上流側及び下流側チャッキング機構８０
０及び８０２の各々のチャッキングアクチュエータ８１
６を作動させて上流側及び下流側チャッキング機構８０
０及び８０２の各々の第１及び第２の可動チャッキング
体８１０及び８１２がチャッキング解除位置に位置付け
られた状態（待機状態）で、ハンガー７２０により基板
Ｐを該鉛直な姿勢で搬送開始位置Ｙ１Ａに位置付ける。
第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２が
チャッキング解除位置に位置付けられた状態（待機状
態）で、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び
８１２の全ては、該鉛直な姿勢の基板Ｐの鉛直面に対し
て、該搬送幅方向の一側方向に所定の間隔をおいて完全
に退避せしめられるので、ハンガー７２０により搬送開
始位置Ｙ１Ａに移動させられた基板Ｐに干渉することは
ない。続いて、上流側及び下流側チャッキング機構８０
０及び８０２の各々のチャッキングアクチュエータ８１
６の作動を解除すると、上流側チャッキング機構８００
においては、第１及び第２の可動チャッキング体８１０
及び８１２がチャッキング解除位置からチャッキング位
置に旋回させられ、第１の可動チャッキング体８１０の
被圧接面８２８ａは、基板Ｐの片面に対し、該搬入幅方
向の一側方向に離隔した位置から旋回して、基板Ｐの、
該一端部よりも下方位置における搬入方向後端部の、該
搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接し
て対向させられる。また第２の可動チャッキング体８１
２の圧接面８３８ａは、基板Ｐに対し、基板Ｐの搬入方
向後端の後方を基板Ｐに干渉しないように旋回して、基
板Ｐの、該一端部よりも下方位置における搬入方向後端
部の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第
１の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａに圧
接させられることにより、基板Ｐの該搬入方向後端部が
チャッキングされる。
７を参照して、上流側及び下流側チャッキング機構８０
０及び８０２の各々のチャッキングアクチュエータ８１
６を作動させて上流側及び下流側チャッキング機構８０
０及び８０２の各々の第１及び第２の可動チャッキング
体８１０及び８１２がチャッキング解除位置に位置付け
られた状態（待機状態）で、ハンガー７２０により基板
Ｐを該鉛直な姿勢で搬送開始位置Ｙ１Ａに位置付ける。
第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２が
チャッキング解除位置に位置付けられた状態（待機状
態）で、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び
８１２の全ては、該鉛直な姿勢の基板Ｐの鉛直面に対し
て、該搬送幅方向の一側方向に所定の間隔をおいて完全
に退避せしめられるので、ハンガー７２０により搬送開
始位置Ｙ１Ａに移動させられた基板Ｐに干渉することは
ない。続いて、上流側及び下流側チャッキング機構８０
０及び８０２の各々のチャッキングアクチュエータ８１
６の作動を解除すると、上流側チャッキング機構８００
においては、第１及び第２の可動チャッキング体８１０
及び８１２がチャッキング解除位置からチャッキング位
置に旋回させられ、第１の可動チャッキング体８１０の
被圧接面８２８ａは、基板Ｐの片面に対し、該搬入幅方
向の一側方向に離隔した位置から旋回して、基板Ｐの、
該一端部よりも下方位置における搬入方向後端部の、該
搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接し
て対向させられる。また第２の可動チャッキング体８１
２の圧接面８３８ａは、基板Ｐに対し、基板Ｐの搬入方
向後端の後方を基板Ｐに干渉しないように旋回して、基
板Ｐの、該一端部よりも下方位置における搬入方向後端
部の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第
１の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａに圧
接させられることにより、基板Ｐの該搬入方向後端部が
チャッキングされる。
【０１０７】他方、下流側チャッキング機構８０２にお
いては、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び
８１２がチャッキング解除位置からチャッキング位置に
旋回させられ、第１の可動チャッキング体８１０の被圧
接面８２８ａは、基板Ｐの片面に対し、該搬入幅方向の
一側方向に離隔した位置から旋回して、基板Ｐの、該一
端部よりも下方位置における搬入方向前端部の、該搬入
幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接して対
向させられる。また第２の可動チャッキング体８１２の
圧接面８３８ａは、基板Ｐに対し、基板Ｐの搬入方向前
端の前方を基板Ｐに干渉しないように旋回して、基板Ｐ
の、該一端部よりも下方位置における搬入方向前端部
の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第１
の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａに圧接
させられることにより、基板Ｐの該搬入方向前端部がチ
ャッキングされる。上記したチャッキング機構８００及
び８０２の各々によれば、チャッキング動作が基板Ｐに
干渉することなく円滑かつ確実に遂行される。
いては、第１及び第２の可動チャッキング体８１０及び
８１２がチャッキング解除位置からチャッキング位置に
旋回させられ、第１の可動チャッキング体８１０の被圧
接面８２８ａは、基板Ｐの片面に対し、該搬入幅方向の
一側方向に離隔した位置から旋回して、基板Ｐの、該一
端部よりも下方位置における搬入方向前端部の、該搬入
幅方向の一側方向に面した片面に当接ないし近接して対
向させられる。また第２の可動チャッキング体８１２の
圧接面８３８ａは、基板Ｐに対し、基板Ｐの搬入方向前
端の前方を基板Ｐに干渉しないように旋回して、基板Ｐ
の、該一端部よりも下方位置における搬入方向前端部
の、該搬入幅方向の他側方向に面した他面を介して第１
の可動チャッキング体８１０の被圧接面８２８ａに圧接
させられることにより、基板Ｐの該搬入方向前端部がチ
ャッキングされる。上記したチャッキング機構８００及
び８０２の各々によれば、チャッキング動作が基板Ｐに
干渉することなく円滑かつ確実に遂行される。
【０１０８】支持フレーム７８６には基板Ｐのサイズに
対応するために上流側チャッキング機構８００を該搬送
方向に往復移動させるアクチュエータ８０６が配設され
ているので、基板Ｐのサイズに適宜に対応することが可
能である（図３５参照）。フィルムＦの剥離を行うべき
基板Ｐのサイズが一定であるならば、アクチュエータ８
０６は不要である。
対応するために上流側チャッキング機構８００を該搬送
方向に往復移動させるアクチュエータ８０６が配設され
ているので、基板Ｐのサイズに適宜に対応することが可
能である（図３５参照）。フィルムＦの剥離を行うべき
基板Ｐのサイズが一定であるならば、アクチュエータ８
０６は不要である。
【０１０９】搬送開始位置Ｙ１Ａにおいて基板Ｐがチャ
ッキング機構８００及び８０２の各々によりチャッキン
グされた状態で、ハンガー７２０の把持アクチュエータ
７８２を作動させてハンガー７２０の把持ユニット７７
２の各々における把持部材７８０の各々を把持位置から
把持解除位置に旋回させて基板Ｐの該一端部の把持を解
除する。続いて基板搬送アクチュエータ８０４を作動さ
せてチャッキング機構８００及び８０２の各々を搬送開
始位置Ｙ１Ａから剥離位置Ｙ２に移動させることによ
り、チャッキング機構８００及び８０２の各々にチャッ
キングされた基板Ｐは、搬送開始位置Ｙ１Ａから剥離位
置Ｙ２に該鉛直な姿勢が維持された状態で搬送される。
把持部材７８０の各々が把持解除位置に旋回させられた
状態で、把持部材７８０の各々の全ては、チャッキング
機構８００及び８０２の各々によりチャッキングされた
基板Ｐの上端よりも上方に位置付けられるので、基板Ｐ
が搬送開始位置Ｙ１Ａに存在した状態においても、搬送
開始位置Ｙ１Ａから他側待機位置に移動させることが可
能であり、フィルム剥離搬送装置の効率向上に寄与す
る。
ッキング機構８００及び８０２の各々によりチャッキン
グされた状態で、ハンガー７２０の把持アクチュエータ
７８２を作動させてハンガー７２０の把持ユニット７７
２の各々における把持部材７８０の各々を把持位置から
把持解除位置に旋回させて基板Ｐの該一端部の把持を解
除する。続いて基板搬送アクチュエータ８０４を作動さ
せてチャッキング機構８００及び８０２の各々を搬送開
始位置Ｙ１Ａから剥離位置Ｙ２に移動させることによ
り、チャッキング機構８００及び８０２の各々にチャッ
キングされた基板Ｐは、搬送開始位置Ｙ１Ａから剥離位
置Ｙ２に該鉛直な姿勢が維持された状態で搬送される。
把持部材７８０の各々が把持解除位置に旋回させられた
状態で、把持部材７８０の各々の全ては、チャッキング
機構８００及び８０２の各々によりチャッキングされた
基板Ｐの上端よりも上方に位置付けられるので、基板Ｐ
が搬送開始位置Ｙ１Ａに存在した状態においても、搬送
開始位置Ｙ１Ａから他側待機位置に移動させることが可
能であり、フィルム剥離搬送装置の効率向上に寄与す
る。
【０１１０】次に剥離位置Ｙ２に配設された剥離手段７
１０について説明する。主として図４１〜図４５を参照
して、剥離手段７１０は、鉛直方向に延在するよう静止
枠体７２２に配設された複数の（実施形態においては４
本の）ガイドロッド８５０と、ガイドロッド８５０に沿
って昇降自在に配設された可動支持枠体８５２と、可動
支持枠体８５０をガイドロッド８５０に沿って昇降させ
る昇降アクチュエータ８５４とを備えている。昇降アク
チュエータ８５４は鉛直方向に延在するロッドレスエア
シリンダ機構から構成されている。可動支持枠体８５２
は、ロッドレスエアシリンダ機構の往復移動部に支持さ
れ、ロッドレスエアシリンダ機構によって、最上方位置
である剥離開始位置と、最下方位置であるフィルム排出
位置との間を昇降させられる。可動支持枠体８５２に
は、一対のフィルムガイドクランプ部材８５６が、基板
Ｐの搬送幅方向に相互に対向して該搬送幅方向に移動自
在に配設されている。基板Ｐの搬送方向に相互に平行に
延在するフィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、
該搬送幅方向に相互に対向して該搬送幅方向に水平に移
動自在に配設された、それぞれ複数のスライドロッド８
５８、実施形態におい＊はそれぞれ２個のスライドロッ
ド８５８の先端に支持されている。可動支持枠体８５２
にはまた、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々に
対応して、一対のフィルムガイドクランプアクチュエー
タ８６０が配設されている。フィルムガイドクランプア
クチュエータ８６０の各々はエアシリンダ機構から構成
され、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、該
搬送幅方向に延在する共通の水平軸線上に配置された、
フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の各々の
ピストンロッド８６０ａの先端に、それぞれ連結されて
いる。フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の
各々は、それぞれフィルムガイドクランプ部材８５６の
各々に作用して、剥離位置Ｙ２に搬送された基板Ｐの該
一端部（上端部）近傍の領域であって、フィルムＦの一
端部よりも基板Ｐの他端方向（下端方向）に後退した基
板Ｐの該一端部近傍の領域の両面をクランプするクラン
プ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に
向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ
解除位置との間を選択的に移動させる。実施形態におい
ては、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、相
互に離隔する距離が微小であるクランプ解除位置（フィ
ルムＦの剥離遂行時におけるクランプ解除位置）と、相
互に離隔する距離が大きいクランプ解除位置（待機時に
おけるクランプ解除位置）との二つのクランプ解除位置
を有している。基板Ｐが剥離位置Ｙ２に搬送されると
き、あるいは剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ２に搬送され
るときなどは、待機時におけるクランプ解除位置に位置
付けられることが好ましい。
１０について説明する。主として図４１〜図４５を参照
して、剥離手段７１０は、鉛直方向に延在するよう静止
枠体７２２に配設された複数の（実施形態においては４
本の）ガイドロッド８５０と、ガイドロッド８５０に沿
って昇降自在に配設された可動支持枠体８５２と、可動
支持枠体８５０をガイドロッド８５０に沿って昇降させ
る昇降アクチュエータ８５４とを備えている。昇降アク
チュエータ８５４は鉛直方向に延在するロッドレスエア
シリンダ機構から構成されている。可動支持枠体８５２
は、ロッドレスエアシリンダ機構の往復移動部に支持さ
れ、ロッドレスエアシリンダ機構によって、最上方位置
である剥離開始位置と、最下方位置であるフィルム排出
位置との間を昇降させられる。可動支持枠体８５２に
は、一対のフィルムガイドクランプ部材８５６が、基板
Ｐの搬送幅方向に相互に対向して該搬送幅方向に移動自
在に配設されている。基板Ｐの搬送方向に相互に平行に
延在するフィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、
該搬送幅方向に相互に対向して該搬送幅方向に水平に移
動自在に配設された、それぞれ複数のスライドロッド８
５８、実施形態におい＊はそれぞれ２個のスライドロッ
ド８５８の先端に支持されている。可動支持枠体８５２
にはまた、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々に
対応して、一対のフィルムガイドクランプアクチュエー
タ８６０が配設されている。フィルムガイドクランプア
クチュエータ８６０の各々はエアシリンダ機構から構成
され、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、該
搬送幅方向に延在する共通の水平軸線上に配置された、
フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の各々の
ピストンロッド８６０ａの先端に、それぞれ連結されて
いる。フィルムガイドクランプアクチュエータ８６０の
各々は、それぞれフィルムガイドクランプ部材８５６の
各々に作用して、剥離位置Ｙ２に搬送された基板Ｐの該
一端部（上端部）近傍の領域であって、フィルムＦの一
端部よりも基板Ｐの他端方向（下端方向）に後退した基
板Ｐの該一端部近傍の領域の両面をクランプするクラン
プ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方向外方に
向かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ
解除位置との間を選択的に移動させる。実施形態におい
ては、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々は、相
互に離隔する距離が微小であるクランプ解除位置（フィ
ルムＦの剥離遂行時におけるクランプ解除位置）と、相
互に離隔する距離が大きいクランプ解除位置（待機時に
おけるクランプ解除位置）との二つのクランプ解除位置
を有している。基板Ｐが剥離位置Ｙ２に搬送されると
き、あるいは剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ２に搬送され
るときなどは、待機時におけるクランプ解除位置に位置
付けられることが好ましい。
【０１１１】主として図４１及び図４５を参照して、フ
ィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面には、フ
ィルムガイドクランプ部材８５６の各々の長手方向であ
る、該搬送方向に間隔をおいて複数の（実施形態におい
てはそれぞれ５個の）被クランプ部材８６２が配設され
ている。被クランプ部材８６２の各々の平坦な上面の、
該搬送幅方向の内側領域には複数の被クランプ溝が形成
され、被クランプ部材８６２の各々の、該搬送幅方向の
外側端部には、対応するフィルムガイドクランプ部材８
５６の、該搬送幅方向の外側に突出する一対の支持フラ
ンジ部が形成されている。フィルムガイドクランプ部材
８５６の各々にはフィルムクランプ部材８６４が旋回自
在に支持されている。フィルムクランプ部材８６４の各
々は、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６にお
ける被クランプ部材８６２の支持フランジ部に、該搬送
幅方向に延在する水平軸８６６を介して旋回自在に支持
されている。フィルムクランプ部材８６４の各々は、対
応するフィルムガイドクランプ部材８５６の、該搬送幅
方向の外側面よりも更に該搬送幅方向の外側に延び出し
ている。フィルムクランプ部材８６４の各々の平坦な下
面の、該搬送幅方向の内側領域には複数のクランプ溝が
形成されている。フィルムクランプ部材８６４の各々
は、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６の上
面、実施形態においては被クランプ部材８６２の上面に
形成された被クランプ溝に、各々のクランプ溝が圧接さ
れるクランプ位置と、各々のクランプ溝が、対応するフ
ィルムガイドクランプ部材８５６の被クランプ部材８６
２の該被クランプ溝から上方に退避するクランプ解除位
置との間を水平軸８６６まわりを旋回自在である。
ィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面には、フ
ィルムガイドクランプ部材８５６の各々の長手方向であ
る、該搬送方向に間隔をおいて複数の（実施形態におい
てはそれぞれ５個の）被クランプ部材８６２が配設され
ている。被クランプ部材８６２の各々の平坦な上面の、
該搬送幅方向の内側領域には複数の被クランプ溝が形成
され、被クランプ部材８６２の各々の、該搬送幅方向の
外側端部には、対応するフィルムガイドクランプ部材８
５６の、該搬送幅方向の外側に突出する一対の支持フラ
ンジ部が形成されている。フィルムガイドクランプ部材
８５６の各々にはフィルムクランプ部材８６４が旋回自
在に支持されている。フィルムクランプ部材８６４の各
々は、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６にお
ける被クランプ部材８６２の支持フランジ部に、該搬送
幅方向に延在する水平軸８６６を介して旋回自在に支持
されている。フィルムクランプ部材８６４の各々は、対
応するフィルムガイドクランプ部材８５６の、該搬送幅
方向の外側面よりも更に該搬送幅方向の外側に延び出し
ている。フィルムクランプ部材８６４の各々の平坦な下
面の、該搬送幅方向の内側領域には複数のクランプ溝が
形成されている。フィルムクランプ部材８６４の各々
は、対応するフィルムガイドクランプ部材８５６の上
面、実施形態においては被クランプ部材８６２の上面に
形成された被クランプ溝に、各々のクランプ溝が圧接さ
れるクランプ位置と、各々のクランプ溝が、対応するフ
ィルムガイドクランプ部材８５６の被クランプ部材８６
２の該被クランプ溝から上方に退避するクランプ解除位
置との間を水平軸８６６まわりを旋回自在である。
【０１１２】フィルムクランプ部材８６４の各々を旋回
自在に支持する水平軸８６６には、ばね手段であるねじ
りコイルばね８６８が配設されている。ねじりコイルば
ね８６８の各々の一端部は、対応するフィルムクランプ
部材８６４の下面（フィルムガイドクランプ部材８５６
の、該搬送幅方向の外側面から更に外方に延び出した部
分における下面）に圧接され、各々の他端は、対応する
フィルムガイドクランプ部材８５６の該外側面に圧接さ
れている。ねじりコイルばね８６８の各々は、対応する
フィルムクランプ部材８６４をクランプ位置に常時付勢
する。フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の下面
側には、フィルムクランプアクチュエータ８７０が鉛直
方向に延在するよう配設されている。フィルムクランプ
アクチュエータ８７０の各々はエアシリンダ機構から構
成され、ピストンロッド８７０ａが鉛直上方に延び出し
ている。これに対応して、フィルムガイドクランプ部材
８５６の各々及び被クランプ部材８６２には、対応する
ピストンロッド８７０ａの鉛直方向の往復移動を許容す
るための貫通孔８５７が形成されている。貫通孔８５７
の各々は、対応するフィルムクランプ部材８６４の下面
に対向して開口する。フィルムクランプアクチュエータ
８７０の各々は、対応するフィルムクランプ部材８６４
をねじりコイルばね８６８のばね力に抗してクランプ位
置からクランプ解除位置に旋回させる。
自在に支持する水平軸８６６には、ばね手段であるねじ
りコイルばね８６８が配設されている。ねじりコイルば
ね８６８の各々の一端部は、対応するフィルムクランプ
部材８６４の下面（フィルムガイドクランプ部材８５６
の、該搬送幅方向の外側面から更に外方に延び出した部
分における下面）に圧接され、各々の他端は、対応する
フィルムガイドクランプ部材８５６の該外側面に圧接さ
れている。ねじりコイルばね８６８の各々は、対応する
フィルムクランプ部材８６４をクランプ位置に常時付勢
する。フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の下面
側には、フィルムクランプアクチュエータ８７０が鉛直
方向に延在するよう配設されている。フィルムクランプ
アクチュエータ８７０の各々はエアシリンダ機構から構
成され、ピストンロッド８７０ａが鉛直上方に延び出し
ている。これに対応して、フィルムガイドクランプ部材
８５６の各々及び被クランプ部材８６２には、対応する
ピストンロッド８７０ａの鉛直方向の往復移動を許容す
るための貫通孔８５７が形成されている。貫通孔８５７
の各々は、対応するフィルムクランプ部材８６４の下面
に対向して開口する。フィルムクランプアクチュエータ
８７０の各々は、対応するフィルムクランプ部材８６４
をねじりコイルばね８６８のばね力に抗してクランプ位
置からクランプ解除位置に旋回させる。
【０１１３】主として図４１及び図４４を参照して、剥
離位置Ｙ２において該鉛直な姿勢で位置付けられる基板
Ｐの上方位置には、該搬送方向に水平に延在する静止フ
レーム８７２が配設されている。静止フレーム８７２
は、横断面が、上方に開放されたチャンネル形状をな
し、静止枠体７２２の天井部に配設されている。静止フ
レーム８７２には、該搬送方向に間隔をおいて、それぞ
れ一対の基板クランプ部材８７４からなる基板クランプ
部材対８７４Ａが、複数対（実施形態においては６対）
配設されている。静止フレーム８７２において、基板ク
ランプ部材対８７４Ａの各々を配設する部分には、それ
ぞれ開口が形成され、基板クランプ部材対８７４Ａの各
々の下方領域が該開口から下方に延び出している。剥離
位置Ｙ２に搬送された基板Ｐの該一端部の上方に配設さ
れた基板クランプ部材対８７４Ａの各々において、基板
クランプ部材対８７４Ａを構成する基板クランプ部材８
７４の各々は、基板Ｐの該一端部の両面をクランプする
クランプ位置と、該一端部から基板Ｐの搬送幅方向外方
の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除する
クランプ解除位置との間を、水平軸８７６まわりに旋回
自在に支持されている。水平軸８７６の各々は、該搬送
幅方向に間隔をおいて該搬送方向に平行に延在する。基
板クランプ部材対８７４Ａを構成する基板クランプ部材
８７４の各々間には、基板クランプ部材８７４の各々を
常時クランプ位置に付勢するばね手段である引張コイル
ばね８７８が配設されている。基板クランプ部材８７４
の各々は、クランプ位置に位置付けられた状態におい
て、図４４から容易に理解されるように、水平軸８７６
に支持された部分から相互に該搬送幅方向に間隔をおい
て平行に鉛直下方に延びる垂下部８７４ａと、垂下部８
７４ａの各々の下端部において相互に対向する内側面に
配設された圧接部８７４ｂと、水平軸８７６に支持され
た部分から相互に接近する方向に上方に傾斜して延び出
す傾斜上部８７４ｃとを備え、傾斜上部８７４ｃの各々
の頂部のみが相互に該搬送方向に重合して相対移動可能
に構成されている。
離位置Ｙ２において該鉛直な姿勢で位置付けられる基板
Ｐの上方位置には、該搬送方向に水平に延在する静止フ
レーム８７２が配設されている。静止フレーム８７２
は、横断面が、上方に開放されたチャンネル形状をな
し、静止枠体７２２の天井部に配設されている。静止フ
レーム８７２には、該搬送方向に間隔をおいて、それぞ
れ一対の基板クランプ部材８７４からなる基板クランプ
部材対８７４Ａが、複数対（実施形態においては６対）
配設されている。静止フレーム８７２において、基板ク
ランプ部材対８７４Ａの各々を配設する部分には、それ
ぞれ開口が形成され、基板クランプ部材対８７４Ａの各
々の下方領域が該開口から下方に延び出している。剥離
位置Ｙ２に搬送された基板Ｐの該一端部の上方に配設さ
れた基板クランプ部材対８７４Ａの各々において、基板
クランプ部材対８７４Ａを構成する基板クランプ部材８
７４の各々は、基板Ｐの該一端部の両面をクランプする
クランプ位置と、該一端部から基板Ｐの搬送幅方向外方
の上方に向かって相互に離隔して該クランプを解除する
クランプ解除位置との間を、水平軸８７６まわりに旋回
自在に支持されている。水平軸８７６の各々は、該搬送
幅方向に間隔をおいて該搬送方向に平行に延在する。基
板クランプ部材対８７４Ａを構成する基板クランプ部材
８７４の各々間には、基板クランプ部材８７４の各々を
常時クランプ位置に付勢するばね手段である引張コイル
ばね８７８が配設されている。基板クランプ部材８７４
の各々は、クランプ位置に位置付けられた状態におい
て、図４４から容易に理解されるように、水平軸８７６
に支持された部分から相互に該搬送幅方向に間隔をおい
て平行に鉛直下方に延びる垂下部８７４ａと、垂下部８
７４ａの各々の下端部において相互に対向する内側面に
配設された圧接部８７４ｂと、水平軸８７６に支持され
た部分から相互に接近する方向に上方に傾斜して延び出
す傾斜上部８７４ｃとを備え、傾斜上部８７４ｃの各々
の頂部のみが相互に該搬送方向に重合して相対移動可能
に構成されている。
【０１１４】基板クランプ部材対８７４Ａの上方には、
該搬送方向に間隔をおいて一対の基板クランプアクチュ
エータ８８０が鉛直方向に延在するよう、静止枠体７２
２の天井部に配設されている。基板クランプアクチュエ
ータ８８０の各々は、鉛直下方に延び出すよう配設され
たピストンロッド８８０ａを有するエアシリンダ機構か
らなる。基板クランプアクチュエータ８８０の各々のピ
ストンロッド８８０ａの下端間には、クランプ作動板８
８２が一体に配設されている。クランプ作動板８８２
は、一定の幅をもって該搬送方向に水平に延在する帯状
の板からなり、基板クランプアクチュエータ８８０の各
々の非作動時には、基板クランプ部材対８７４Ａの各々
の上方に所定の間隔をおいて位置付けられている。基板
クランプアクチュエータ８８０の各々を作動させると、
クランプ作動板８８２が下降して基板クランプ部材対８
７４Ａの各々を構成する基板クランプ部材８７４の各々
の傾斜上部８７４ｃの各々の頂部を下方に強制するの
で、基板クランプ部材８７４の各々は引張コイルばね８
７８のばね力に抗して水平軸８７６まわりにクランプ位
置からクランプ解除位置に旋回させられる。基板クラン
プアクチュエータ８８０の各々の作動を解除すると、ク
ランプ作動板８８２は元の位置に上昇させられ、基板ク
ランプ部材８７４の各々は引張コイルばね８７８のばね
力によりクランプ解除位置からクランプ位置に旋回させ
られる。
該搬送方向に間隔をおいて一対の基板クランプアクチュ
エータ８８０が鉛直方向に延在するよう、静止枠体７２
２の天井部に配設されている。基板クランプアクチュエ
ータ８８０の各々は、鉛直下方に延び出すよう配設され
たピストンロッド８８０ａを有するエアシリンダ機構か
らなる。基板クランプアクチュエータ８８０の各々のピ
ストンロッド８８０ａの下端間には、クランプ作動板８
８２が一体に配設されている。クランプ作動板８８２
は、一定の幅をもって該搬送方向に水平に延在する帯状
の板からなり、基板クランプアクチュエータ８８０の各
々の非作動時には、基板クランプ部材対８７４Ａの各々
の上方に所定の間隔をおいて位置付けられている。基板
クランプアクチュエータ８８０の各々を作動させると、
クランプ作動板８８２が下降して基板クランプ部材対８
７４Ａの各々を構成する基板クランプ部材８７４の各々
の傾斜上部８７４ｃの各々の頂部を下方に強制するの
で、基板クランプ部材８７４の各々は引張コイルばね８
７８のばね力に抗して水平軸８７６まわりにクランプ位
置からクランプ解除位置に旋回させられる。基板クラン
プアクチュエータ８８０の各々の作動を解除すると、ク
ランプ作動板８８２は元の位置に上昇させられ、基板ク
ランプ部材８７４の各々は引張コイルばね８７８のばね
力によりクランプ解除位置からクランプ位置に旋回させ
られる。
【０１１５】剥離手段７１０は、基板Ｐの、少なくとも
該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴
射する圧力気体噴射手段、実施形態においては圧力エア
を噴射する圧力エア噴射手段２６０を備えている。圧力
気体噴射手段２６０は、先に述べたフィルム剥離搬送装
置の実施形態に備えられた圧力エア噴射手段２６０と実
質的に同じでよいが、この実施形態においては、先の実
施形態と実質的に同じ構成を有する１本の圧力エア供給
パイプ２６６を備えている。圧力エア供給パイプ２６６
は、静止フレーム８７２の下方を該搬送方向に水平に延
在するよう、静止フレーム８７２に配設されている。圧
力エア供給パイプ２６６は、基板クランプ部材対８７４
Ａの各々を構成する基板クランプ部材８７４の各々の間
を、それらに干渉しないよう延在せしめられている。圧
力エア供給パイプ２６６を含む圧力エア噴射手段２６０
のその他の基本的な構成は先に詳細に説明されているの
で、更なる説明は省略する。
該一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴
射する圧力気体噴射手段、実施形態においては圧力エア
を噴射する圧力エア噴射手段２６０を備えている。圧力
気体噴射手段２６０は、先に述べたフィルム剥離搬送装
置の実施形態に備えられた圧力エア噴射手段２６０と実
質的に同じでよいが、この実施形態においては、先の実
施形態と実質的に同じ構成を有する１本の圧力エア供給
パイプ２６６を備えている。圧力エア供給パイプ２６６
は、静止フレーム８７２の下方を該搬送方向に水平に延
在するよう、静止フレーム８７２に配設されている。圧
力エア供給パイプ２６６は、基板クランプ部材対８７４
Ａの各々を構成する基板クランプ部材８７４の各々の間
を、それらに干渉しないよう延在せしめられている。圧
力エア供給パイプ２６６を含む圧力エア噴射手段２６０
のその他の基本的な構成は先に詳細に説明されているの
で、更なる説明は省略する。
【０１１６】図２７、図２８及び図４２〜図４５を参照
して、上記可動支持枠体８５２が剥離開始位置に位置付
けられ、かつフィルムガイドクランプ部材８５６の各々
が待機時におけるクランプ解除位置に位置付けられると
共に基板クランプ部材対８７４Ａの各々がクランプ解除
位置に位置付けられた状態において、基板搬送手段７０
８の基板搬送アクチュエータ８０４を作動させてチャッ
キング機構８００及び８０２の各々によりクランプした
基板Ｐを搬送開始位置Ｙ１Ａから剥離位置Ｙ２に該鉛直
な姿勢を維持しながら移動させる。チャッキング機構８
００及び８０２の各々は、剥離手段７１０の可動支持枠
体８５２に支持された各部材のうち最下方位置に存在す
るフィルムクランプアクチュエータ８７０の各々よりも
下方に位置付けられる。次にフィルムガイドクランプア
クチュエータ８６０の各々を作動させてフィルムガイド
クランプ部材８５６の各々をクランプ位置に移動して基
板Ｐの該一端部近傍の領域の両面をクランプする。この
後、チャッキングアクチュエータ８１６の各々の作動を
解除してチャッキング機構８００及び８０２の各々によ
る基板Ｐのクランプを解除する。続いて基板搬送アクチ
ュエータ８０４を作動させて、基板Ｐのクランプを解除
したチャッキング機構８００及び８０２の各々を剥離位
置Ｙ２から搬送開始位置Ｙ１Ａに復帰移動させる。以上
の動作により、基板Ｐは剥離位置Ｙ２において剥離手段
７１０のフィルムガイドクランプ部材８５６の各々によ
り該鉛直な姿勢でクランプされる。なお、チャッキング
機構８００及び８０２の各々の該復帰移動において、チ
ャッキング機構８００及び８０２の各々における第１及
び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２は、先に
述べたように全て該鉛直な姿勢の基板Ｐの鉛直面から、
該搬送幅方向の一側方向に十分な間隔をおいて退避させ
られているので、基板Ｐに干渉することなく該移動が遂
行される。
して、上記可動支持枠体８５２が剥離開始位置に位置付
けられ、かつフィルムガイドクランプ部材８５６の各々
が待機時におけるクランプ解除位置に位置付けられると
共に基板クランプ部材対８７４Ａの各々がクランプ解除
位置に位置付けられた状態において、基板搬送手段７０
８の基板搬送アクチュエータ８０４を作動させてチャッ
キング機構８００及び８０２の各々によりクランプした
基板Ｐを搬送開始位置Ｙ１Ａから剥離位置Ｙ２に該鉛直
な姿勢を維持しながら移動させる。チャッキング機構８
００及び８０２の各々は、剥離手段７１０の可動支持枠
体８５２に支持された各部材のうち最下方位置に存在す
るフィルムクランプアクチュエータ８７０の各々よりも
下方に位置付けられる。次にフィルムガイドクランプア
クチュエータ８６０の各々を作動させてフィルムガイド
クランプ部材８５６の各々をクランプ位置に移動して基
板Ｐの該一端部近傍の領域の両面をクランプする。この
後、チャッキングアクチュエータ８１６の各々の作動を
解除してチャッキング機構８００及び８０２の各々によ
る基板Ｐのクランプを解除する。続いて基板搬送アクチ
ュエータ８０４を作動させて、基板Ｐのクランプを解除
したチャッキング機構８００及び８０２の各々を剥離位
置Ｙ２から搬送開始位置Ｙ１Ａに復帰移動させる。以上
の動作により、基板Ｐは剥離位置Ｙ２において剥離手段
７１０のフィルムガイドクランプ部材８５６の各々によ
り該鉛直な姿勢でクランプされる。なお、チャッキング
機構８００及び８０２の各々の該復帰移動において、チ
ャッキング機構８００及び８０２の各々における第１及
び第２の可動チャッキング体８１０及び８１２は、先に
述べたように全て該鉛直な姿勢の基板Ｐの鉛直面から、
該搬送幅方向の一側方向に十分な間隔をおいて退避させ
られているので、基板Ｐに干渉することなく該移動が遂
行される。
【０１１７】次に、剥離手段７１０の剥離作動を説明す
る前に、剥離手段７１０の下流側に配設された他の基板
搬送手段７１２について説明する。図２７及び図２８を
参照して、他の基板搬送手段７１２は、昇降アクチュエ
ータ８９０を備えている以外の構成は、先に述べた基板
搬送手段７０８と実質的に同じであるので、同一部分に
は同一符号を付し、説明は省略する。ロッドレスエアシ
リンダ機構から構成されている基板搬送アクチュエータ
８０４の往復移動部８０４ａに昇降アクチュエータ８９
０が配設されている。鉛直方向に延在する昇降アクチュ
エータ８９０はロッドレスエアシリンダ機構から構成さ
れ、その昇降動部に支持フレーム７８６が配設され、支
持フレーム７８６にチャッキング機構８００及び８０２
が配設されている。チャッキング機構８００及び８０２
は基板搬送アクチュエータ８０４により、搬出位置Ｙ３
と剥離位置Ｙ２との間を選択的に水平に往復移動させら
れる。搬出位置Ｙ３に位置付けられたチャッキング機構
８００及び８０２は、昇降アクチュエータ８９０により
搬出位置Ｙ３と、搬出位置Ｙ３よりも下方の剥離ミス基
板排出位置との間を昇降可能である。図２８から容易に
理解されるように、基板Ｐの搬送開始位置Ｙ１Ａ、剥離
位置Ｙ２及び搬出位置Ｙ３は、同一鉛直面上に存在する
よう配置されている。また、図２７から容易に理解され
るように、搬出位置Ｙ３において昇降アクチュエータ８
９０により搬出位置Ｙ３に位置付けられた状態で、他の
基板搬送手段７１２のチャッキング機構８００及び８０
２は、搬送開始位置Ｔ１Ａに配設された基板搬送手段７
０８のチャッキング機構８００及び８０２よりも若干低
い位置に位置付けられる。
る前に、剥離手段７１０の下流側に配設された他の基板
搬送手段７１２について説明する。図２７及び図２８を
参照して、他の基板搬送手段７１２は、昇降アクチュエ
ータ８９０を備えている以外の構成は、先に述べた基板
搬送手段７０８と実質的に同じであるので、同一部分に
は同一符号を付し、説明は省略する。ロッドレスエアシ
リンダ機構から構成されている基板搬送アクチュエータ
８０４の往復移動部８０４ａに昇降アクチュエータ８９
０が配設されている。鉛直方向に延在する昇降アクチュ
エータ８９０はロッドレスエアシリンダ機構から構成さ
れ、その昇降動部に支持フレーム７８６が配設され、支
持フレーム７８６にチャッキング機構８００及び８０２
が配設されている。チャッキング機構８００及び８０２
は基板搬送アクチュエータ８０４により、搬出位置Ｙ３
と剥離位置Ｙ２との間を選択的に水平に往復移動させら
れる。搬出位置Ｙ３に位置付けられたチャッキング機構
８００及び８０２は、昇降アクチュエータ８９０により
搬出位置Ｙ３と、搬出位置Ｙ３よりも下方の剥離ミス基
板排出位置との間を昇降可能である。図２８から容易に
理解されるように、基板Ｐの搬送開始位置Ｙ１Ａ、剥離
位置Ｙ２及び搬出位置Ｙ３は、同一鉛直面上に存在する
よう配置されている。また、図２７から容易に理解され
るように、搬出位置Ｙ３において昇降アクチュエータ８
９０により搬出位置Ｙ３に位置付けられた状態で、他の
基板搬送手段７１２のチャッキング機構８００及び８０
２は、搬送開始位置Ｔ１Ａに配設された基板搬送手段７
０８のチャッキング機構８００及び８０２よりも若干低
い位置に位置付けられる。
【０１１８】次に、剥離手段７１０によるフィルムＦの
剥離作動について説明する。図４３〜図４６を参照し
て、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々がフィル
ムガイドクランプアクチュエータ８６０によりクランプ
位置に位置付けられて基板Ｐがフィルムガイドクランプ
部材８５６の各々によりクランプされかつ基板クランプ
アクチュエータ８８０の各々の作動により基板クランプ
部材対８７４Ａの各々がクランプ解除位置に位置付けら
れると共にフィルムクランプ部材８６４の各々がフィル
ムクランプアクチュエータ８７０の作動によりクランプ
解除位置に位置付けられた状態で、圧力エア供給パイプ
２６６によって基板Ｐの、少なくとも該一端部に含まれ
る一端に向けて上方から圧力エアを噴射する。圧力エア
の噴射により、基板Ｐの片面又は両面（実施形態におい
ては両面）からフィルムＦの一端部が部分的に剥離され
る。基板Ｐの両面から剥離されたフィルムＦの一端部は
フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面である
被クランプ部材８６２の上面に押し付けられる（図４６
参照）。
剥離作動について説明する。図４３〜図４６を参照し
て、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々がフィル
ムガイドクランプアクチュエータ８６０によりクランプ
位置に位置付けられて基板Ｐがフィルムガイドクランプ
部材８５６の各々によりクランプされかつ基板クランプ
アクチュエータ８８０の各々の作動により基板クランプ
部材対８７４Ａの各々がクランプ解除位置に位置付けら
れると共にフィルムクランプ部材８６４の各々がフィル
ムクランプアクチュエータ８７０の作動によりクランプ
解除位置に位置付けられた状態で、圧力エア供給パイプ
２６６によって基板Ｐの、少なくとも該一端部に含まれ
る一端に向けて上方から圧力エアを噴射する。圧力エア
の噴射により、基板Ｐの片面又は両面（実施形態におい
ては両面）からフィルムＦの一端部が部分的に剥離され
る。基板Ｐの両面から剥離されたフィルムＦの一端部は
フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上面である
被クランプ部材８６２の上面に押し付けられる（図４６
参照）。
【０１１９】続いて圧力エア供給パイプ２６６から圧力
エアを噴射しながらフィルムクランプアクチュエータ８
７０の作動を解除してフィルムクランプ部材８６４の各
々をねじりコイルばね８６８のばね力によりクランプ位
置に旋回させることにより、フィルムガイドクランプ部
材８５６の各々の上面である被クランプ部材８６２の上
面に押し付けられたフィルムＦの一端部をそれぞれ該上
面にクランプする（図４７参照）。フィルムガイドクラ
ンプ部材８５６の各々の上面である被クランプ部材８６
２の上面には被クランプ溝が形成され、フィルムクラン
プ部材８６４の各々の下面にはクランプ溝が形成され、
これらの溝同士が噛み合わされてフィルムＦの各々の一
端部はしっかりとクランプされる。フィルムＦの各々の
一端部が、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々
と、対応するフィルムクランプ部材８６４によりクラン
プされた後、圧力エア供給パイプ２６６からの圧力エア
の噴射を停止する。
エアを噴射しながらフィルムクランプアクチュエータ８
７０の作動を解除してフィルムクランプ部材８６４の各
々をねじりコイルばね８６８のばね力によりクランプ位
置に旋回させることにより、フィルムガイドクランプ部
材８５６の各々の上面である被クランプ部材８６２の上
面に押し付けられたフィルムＦの一端部をそれぞれ該上
面にクランプする（図４７参照）。フィルムガイドクラ
ンプ部材８５６の各々の上面である被クランプ部材８６
２の上面には被クランプ溝が形成され、フィルムクラン
プ部材８６４の各々の下面にはクランプ溝が形成され、
これらの溝同士が噛み合わされてフィルムＦの各々の一
端部はしっかりとクランプされる。フィルムＦの各々の
一端部が、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々
と、対応するフィルムクランプ部材８６４によりクラン
プされた後、圧力エア供給パイプ２６６からの圧力エア
の噴射を停止する。
【０１２０】図４４、図４８及び図４９を参照して、上
記した如く、圧力エア供給パイプ２６６からの圧力エア
の噴射を停止した後、基板クランプアクチュエータ８８
０の各々の作動を解除して引張コイルばね８７８のばね
力により基板クランプ部材対８７４Ａの各々をクランプ
位置に旋回させて基板Ｐの該一端部をクランプする（図
４８参照）。続いて、フィルムガイドクランプアクチュ
エータ８６０の各々を作動させてフィルムガイドクラン
プ部材８５６の各々を、クランプ位置に位置付けられた
フィルムクランプ部材８６４の各々と共にクランプ解除
位置（フィルムＦの剥離遂行時におけるクランプ解除位
置）に移動させる（図４９参照）。この移動ストローク
は、後述するとおりにしてフィルムガイドクランプ部材
８５６の各々がフィルムクランプ部材８６４の各々と共
に下降させられたとき、基板Ｐに接触しない程度の微小
な距離でよい。
記した如く、圧力エア供給パイプ２６６からの圧力エア
の噴射を停止した後、基板クランプアクチュエータ８８
０の各々の作動を解除して引張コイルばね８７８のばね
力により基板クランプ部材対８７４Ａの各々をクランプ
位置に旋回させて基板Ｐの該一端部をクランプする（図
４８参照）。続いて、フィルムガイドクランプアクチュ
エータ８６０の各々を作動させてフィルムガイドクラン
プ部材８５６の各々を、クランプ位置に位置付けられた
フィルムクランプ部材８６４の各々と共にクランプ解除
位置（フィルムＦの剥離遂行時におけるクランプ解除位
置）に移動させる（図４９参照）。この移動ストローク
は、後述するとおりにしてフィルムガイドクランプ部材
８５６の各々がフィルムクランプ部材８６４の各々と共
に下降させられたとき、基板Ｐに接触しない程度の微小
な距離でよい。
【０１２１】図４２及び図５０を参照して、フィルムガ
イドクランプ部材８５６の各々を、クランプ位置に位置
付けられたフィルムクランプ部材８６４の各々と共に上
記クランプ解除位置に微小なストローク移＊させた後、
昇降アクチュエータ８５４を作動させて可動支持枠体８
５２を、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々及び
フィルムクランプ部材８６４の各々と共に、剥離開始位
置から一体に下降させる。基板Ｐの該一端部（上端部）
は、基板クランプ部材対８７４Ａの各々によりクランプ
されて該鉛直な姿勢で静止フレーム８７２に吊り下げら
れ、基板Ｐの両面に貼着されたフィルムＦの各々の一端
部が相互に離隔する方向に引き剥がされた後に強制的に
下方に引っ張られるので、フィルムＦの各々は基板Ｐの
両面から徐々に下方に向かって効果的に剥離される（図
５０参照）。可動支持枠体８５２がフィルム排出位置ま
で下降させられると、フィルムＦの各々は基板Ｐの両面
から完全に剥離される。続いて、フィルムクランプアク
チュエータ８７０の各々を作動させてフィルムクランプ
部材８６４の各々をクランプ解除位置に旋回させること
により、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上
面である被クランプ部材８６２の上面に対するフィルム
Ｆのクランプを解除すると共に、フィルムガイドクラン
プアクチュエータ８６０の各々を作動させてフィルムガ
イドクランプ部材８５６の各々をクランプ解除位置（待
機時におけるクランプ解除位置）に移動させる。クラン
プが解除されたフィルムＦの各々は自由落下して下方に
配設された収容箱２内に収容される。基板Ｐから完全に
剥離されたフィルムＦに向けて上方から圧力気体である
圧力エアを噴射して該フィルムＦを下方に強制的に排出
する圧力気体噴射手段である圧力エア噴射手段８８８を
備えることが好ましい。圧力エア噴射手段８８８を備え
た場合には、剥離されたフィルムＦを一層確実に排出す
ることが可能になる。
イドクランプ部材８５６の各々を、クランプ位置に位置
付けられたフィルムクランプ部材８６４の各々と共に上
記クランプ解除位置に微小なストローク移＊させた後、
昇降アクチュエータ８５４を作動させて可動支持枠体８
５２を、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々及び
フィルムクランプ部材８６４の各々と共に、剥離開始位
置から一体に下降させる。基板Ｐの該一端部（上端部）
は、基板クランプ部材対８７４Ａの各々によりクランプ
されて該鉛直な姿勢で静止フレーム８７２に吊り下げら
れ、基板Ｐの両面に貼着されたフィルムＦの各々の一端
部が相互に離隔する方向に引き剥がされた後に強制的に
下方に引っ張られるので、フィルムＦの各々は基板Ｐの
両面から徐々に下方に向かって効果的に剥離される（図
５０参照）。可動支持枠体８５２がフィルム排出位置ま
で下降させられると、フィルムＦの各々は基板Ｐの両面
から完全に剥離される。続いて、フィルムクランプアク
チュエータ８７０の各々を作動させてフィルムクランプ
部材８６４の各々をクランプ解除位置に旋回させること
により、フィルムガイドクランプ部材８５６の各々の上
面である被クランプ部材８６２の上面に対するフィルム
Ｆのクランプを解除すると共に、フィルムガイドクラン
プアクチュエータ８６０の各々を作動させてフィルムガ
イドクランプ部材８５６の各々をクランプ解除位置（待
機時におけるクランプ解除位置）に移動させる。クラン
プが解除されたフィルムＦの各々は自由落下して下方に
配設された収容箱２内に収容される。基板Ｐから完全に
剥離されたフィルムＦに向けて上方から圧力気体である
圧力エアを噴射して該フィルムＦを下方に強制的に排出
する圧力気体噴射手段である圧力エア噴射手段８８８を
備えることが好ましい。圧力エア噴射手段８８８を備え
た場合には、剥離されたフィルムＦを一層確実に排出す
ることが可能になる。
【０１２２】図２７、図２８及び図４２を参照して、剥
離位置Ｙ２において基板ＰからフィルムＦが完全に剥離
された後、他の基板搬送手段７１２のチャッキング機構
８００及び８０２における第１及び第２の可動チャッキ
ング体８１０及び８１２をチャッキング解除位置に位置
付けた状態で、基板搬送アクチュエータ８０４を作動さ
せてチャッキング機構８００及び８０２を搬出位置Ｙ３
から剥離位置Ｙ２まで移動させる。続いて、先に述べた
と同様にして第１及び第２の可動チャッキング体８１０
及び８１２をチャッキング解除位置に位置付けて該鉛直
な姿勢の基板Ｐの該搬送方向後端部及び前端部の両面を
クランプした後に、剥離手段７１０の基板クランプ部材
対８７４Ａの各々をクランプ位置からクランプ解除位置
に旋回させ、基板Ｐのクランプを解除する。基板クラン
プ部材対８７４Ａの各々による基板Ｐのクランプを解除
した後、他の基板搬送手段７１２の基板搬送アクチュエ
ータ８０４を作動させてチャッキング機構８００及び８
０２を剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ３まで移動させる。
基板Ｐは、該鉛直な姿勢に維持されながら剥離位置Ｙ２
から搬出位置Ｙ３まで移動させられる。搬出位置Ｙ３に
搬送された基板Ｐは、図示しない基板搬出装置により上
端部をクランプされ、チャッキング機構８００及び８０
２によるチャッキングを解除した後に該鉛直な姿勢に維
持されながら図２７の上方に搬出される。基板Ｐに剥離
ミスが発生した場合には、チャッキング機構８００及び
８０２は、昇降アクチュエータ８９０により搬出位置Ｙ
３から剥離ミス基板排出位置に下降させられて図示しな
いスットカーに収容される。基板Ｐが剥離位置Ｙ２から
搬出位置Ｙ３まで移動させられた後、剥離手段７１０に
おける基板クランプアクチュエータ８８０の各々の作動
を解除し、引張コイルばね８７８のばね力により基板ク
ランプ部材対８７４Ａの各々をクランプ位置に復帰させ
る。
離位置Ｙ２において基板ＰからフィルムＦが完全に剥離
された後、他の基板搬送手段７１２のチャッキング機構
８００及び８０２における第１及び第２の可動チャッキ
ング体８１０及び８１２をチャッキング解除位置に位置
付けた状態で、基板搬送アクチュエータ８０４を作動さ
せてチャッキング機構８００及び８０２を搬出位置Ｙ３
から剥離位置Ｙ２まで移動させる。続いて、先に述べた
と同様にして第１及び第２の可動チャッキング体８１０
及び８１２をチャッキング解除位置に位置付けて該鉛直
な姿勢の基板Ｐの該搬送方向後端部及び前端部の両面を
クランプした後に、剥離手段７１０の基板クランプ部材
対８７４Ａの各々をクランプ位置からクランプ解除位置
に旋回させ、基板Ｐのクランプを解除する。基板クラン
プ部材対８７４Ａの各々による基板Ｐのクランプを解除
した後、他の基板搬送手段７１２の基板搬送アクチュエ
ータ８０４を作動させてチャッキング機構８００及び８
０２を剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ３まで移動させる。
基板Ｐは、該鉛直な姿勢に維持されながら剥離位置Ｙ２
から搬出位置Ｙ３まで移動させられる。搬出位置Ｙ３に
搬送された基板Ｐは、図示しない基板搬出装置により上
端部をクランプされ、チャッキング機構８００及び８０
２によるチャッキングを解除した後に該鉛直な姿勢に維
持されながら図２７の上方に搬出される。基板Ｐに剥離
ミスが発生した場合には、チャッキング機構８００及び
８０２は、昇降アクチュエータ８９０により搬出位置Ｙ
３から剥離ミス基板排出位置に下降させられて図示しな
いスットカーに収容される。基板Ｐが剥離位置Ｙ２から
搬出位置Ｙ３まで移動させられた後、剥離手段７１０に
おける基板クランプアクチュエータ８８０の各々の作動
を解除し、引張コイルばね８７８のばね力により基板ク
ランプ部材対８７４Ａの各々をクランプ位置に復帰させ
る。
【０１２３】上記したとおりにして、基板Ｐからフィル
ムＦが完全に剥離されかつ排出された後、フィルムクラ
ンプアクチュエータ８７０の各々の作動を解除してフィ
ルムクランプ部材８６４の各々をねじりコイルばね８６
８のばね力によりクランプ位置に戻し、剥離手段７１０
の昇降アクチュエータ８５４を再び作動させて可動支持
枠体８５２をフィルム排出位置から剥離開始位置まで上
昇させる。
ムＦが完全に剥離されかつ排出された後、フィルムクラ
ンプアクチュエータ８７０の各々の作動を解除してフィ
ルムクランプ部材８６４の各々をねじりコイルばね８６
８のばね力によりクランプ位置に戻し、剥離手段７１０
の昇降アクチュエータ８５４を再び作動させて可動支持
枠体８５２をフィルム排出位置から剥離開始位置まで上
昇させる。
【０１２４】図２７〜図５０を参照して説明した本発明
においては、先の説明から容易に理解されるように、両
面が基板Ｐの搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で基板
Ｐを剥離位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥
離位置Ｙ２に搬送された該鉛直な姿勢の基板Ｐからフィ
ルムＦを完全に剥離する剥離手段７１０とを備えている
ことが本質的に重要である。このような構成により、厚
さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損な
うことなく、基板Ｐの片面又は両面に貼着されているフ
ィルムＦを円滑かつ確実に剥離することを可能にする。
また、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの片
面又は両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力
な密着強度をもって貼着されているフィルムＦを、絶縁
樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から
十分確実に剥離することを可能にする。更にはまた、厚
さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損な
うことなく安定した搬送を可能にすると共に、基板Ｐの
片面又は両面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確
実に剥離することを可能にする。
においては、先の説明から容易に理解されるように、両
面が基板Ｐの搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢で基板
Ｐを剥離位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥
離位置Ｙ２に搬送された該鉛直な姿勢の基板Ｐからフィ
ルムＦを完全に剥離する剥離手段７１０とを備えている
ことが本質的に重要である。このような構成により、厚
さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損な
うことなく、基板Ｐの片面又は両面に貼着されているフ
ィルムＦを円滑かつ確実に剥離することを可能にする。
また、厚さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの片
面又は両面に貼着されている絶縁樹脂Ｐ２に比較的強力
な密着強度をもって貼着されているフィルムＦを、絶縁
樹脂Ｐ２を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂Ｐ２から
十分確実に剥離することを可能にする。更にはまた、厚
さが非常に薄い基板Ｐであっても、基板Ｐの品質を損な
うことなく安定した搬送を可能にすると共に、基板Ｐの
片面又は両面に貼着されているフィルムＦを円滑かつ確
実に剥離することを可能にする。
【０１２５】図２７〜図５０を参照して説明した本発明
の他の局面によれば、フィルム剥離搬送装置は、剥離位
置Ｙ２に向かって基板Ｐの搬送を開始する搬送開始位置
Ｙ１Ａへ、両面が該搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢
で投入された基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在にチャ
ッキングして該鉛直な姿勢を維持しながら基板Ｐを剥離
位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥離位置Ｙ
２に搬送された該鉛直な姿勢の基板ＰからフィルムＦを
完全に剥離する剥離手段７１０とを備えている。このよ
うな構成においても、上記したと実質的に同じ効果を達
成することができる。基板Ｐを投入する装置は、基板Ｐ
の該一端部を把持して該鉛直な姿勢で搬送開始位置Ｙ１
Ａに投入できる装置であれば、どのような装置であって
もよい。例えば、上記ハンガー７２０の如き装置であっ
ても、先の実施形態における基板投入装置６００Ａの如
き装置であってもよい。剥離位置Ｙ２から、フィルムＦ
が完全に剥離された基板Ｐを搬出する場合においても、
該鉛直な姿勢で搬出位置Ｙ３まで搬送することは容易で
あり、搬出位置Ｙ３から装置の外部に搬出する装置も、
基板Ｐを投入する装置と同じ如く、種々の形態が想定さ
れる。なお、本発明のいずれの実施形態においても、フ
ィルム搬送剥離装置に基板を投入する装置の形態及びフ
ィルム搬送剥離装置から、フィルムが剥離された基板を
搬出する装置の形態は、いずれも本発明の特徴をなすも
のではなく、周知の形態を利用すればよい。
の他の局面によれば、フィルム剥離搬送装置は、剥離位
置Ｙ２に向かって基板Ｐの搬送を開始する搬送開始位置
Ｙ１Ａへ、両面が該搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢
で投入された基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在にチャ
ッキングして該鉛直な姿勢を維持しながら基板Ｐを剥離
位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥離位置Ｙ
２に搬送された該鉛直な姿勢の基板ＰからフィルムＦを
完全に剥離する剥離手段７１０とを備えている。このよ
うな構成においても、上記したと実質的に同じ効果を達
成することができる。基板Ｐを投入する装置は、基板Ｐ
の該一端部を把持して該鉛直な姿勢で搬送開始位置Ｙ１
Ａに投入できる装置であれば、どのような装置であって
もよい。例えば、上記ハンガー７２０の如き装置であっ
ても、先の実施形態における基板投入装置６００Ａの如
き装置であってもよい。剥離位置Ｙ２から、フィルムＦ
が完全に剥離された基板Ｐを搬出する場合においても、
該鉛直な姿勢で搬出位置Ｙ３まで搬送することは容易で
あり、搬出位置Ｙ３から装置の外部に搬出する装置も、
基板Ｐを投入する装置と同じ如く、種々の形態が想定さ
れる。なお、本発明のいずれの実施形態においても、フ
ィルム搬送剥離装置に基板を投入する装置の形態及びフ
ィルム搬送剥離装置から、フィルムが剥離された基板を
搬出する装置の形態は、いずれも本発明の特徴をなすも
のではなく、周知の形態を利用すればよい。
【０１２６】図２７〜図５０を参照して説明した本発明
の他の局面によれば、フィルム剥離搬送装置は、片面又
は両面に対してフィルムＦが貼着された基板Ｐを水平な
姿勢で搬入位置に搬入する搬入手段７０２と、搬入位置
７０２に搬入された基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬入幅方
向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段７０
４と、該鉛直な姿勢に変換された基板Ｐを、搬入方向前
方に設定された剥離位置Ｙ２へ向けて搬送するための搬
送開始位置Ｙ１Ａへ該鉛直な姿勢を維持しながら移動さ
せる搬送開始位置決め手段７０６と、搬送開始位置Ｙ１
Ａへ移動させられた基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在
にチャッキングして該鉛直な姿勢を維持しながら基板Ｐ
を剥離位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥離
位置Ｙ２に搬送された該鉛直な姿勢の基板Ｐからフィル
ムＦを完全に剥離する剥離手段７１０とを備えている。
基板Ｐは水平な姿勢で搬入されるが、搬入された基板Ｐ
は、姿勢変換手段７０４により該鉛直な姿勢に変換さ
れ、搬送開始位置決め手段７０６により該鉛直な姿勢の
状態で搬送開始位置Ｙ１Ａに移動されるので、剥離位置
Ｙ２において該鉛直な姿勢でフィルムＦを剥離すること
は容易に可能となる。また、基板Ｐの姿勢変換及び搬送
開始位置Ｙ１Ａまでの動作は容易かつ単純に遂行可能で
あるので、基板Ｐが損傷する可能性はほとんど無く、品
質は十分確実に保証される。
の他の局面によれば、フィルム剥離搬送装置は、片面又
は両面に対してフィルムＦが貼着された基板Ｐを水平な
姿勢で搬入位置に搬入する搬入手段７０２と、搬入位置
７０２に搬入された基板Ｐを、両面が基板Ｐの搬入幅方
向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段７０
４と、該鉛直な姿勢に変換された基板Ｐを、搬入方向前
方に設定された剥離位置Ｙ２へ向けて搬送するための搬
送開始位置Ｙ１Ａへ該鉛直な姿勢を維持しながら移動さ
せる搬送開始位置決め手段７０６と、搬送開始位置Ｙ１
Ａへ移動させられた基板Ｐの搬送方向両端部を解除自在
にチャッキングして該鉛直な姿勢を維持しながら基板Ｐ
を剥離位置Ｙ２へ搬送する基板搬送手段７０８と、剥離
位置Ｙ２に搬送された該鉛直な姿勢の基板Ｐからフィル
ムＦを完全に剥離する剥離手段７１０とを備えている。
基板Ｐは水平な姿勢で搬入されるが、搬入された基板Ｐ
は、姿勢変換手段７０４により該鉛直な姿勢に変換さ
れ、搬送開始位置決め手段７０６により該鉛直な姿勢の
状態で搬送開始位置Ｙ１Ａに移動されるので、剥離位置
Ｙ２において該鉛直な姿勢でフィルムＦを剥離すること
は容易に可能となる。また、基板Ｐの姿勢変換及び搬送
開始位置Ｙ１Ａまでの動作は容易かつ単純に遂行可能で
あるので、基板Ｐが損傷する可能性はほとんど無く、品
質は十分確実に保証される。
【０１２７】図２７〜図５０を参照して説明した本発明
の実施形態において、剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ３に
搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢の状態で搬出される
よう構成されているが、搬入位置Ｙ１におけると同様
に、搬送開始位置決め手段７０６、姿勢変換手段７０４
及び搬入ローラ体７２４と実質的に同じ機構を設置し
て、これらとは逆の動作を遂行することにより、基板Ｐ
を該鉛直な姿勢から水平な姿勢に変換して搬出させるこ
とも、必要に応じて容易に可能である。
の実施形態において、剥離位置Ｙ２から搬出位置Ｙ３に
搬送された基板Ｐは、該鉛直な姿勢の状態で搬出される
よう構成されているが、搬入位置Ｙ１におけると同様
に、搬送開始位置決め手段７０６、姿勢変換手段７０４
及び搬入ローラ体７２４と実質的に同じ機構を設置し
て、これらとは逆の動作を遂行することにより、基板Ｐ
を該鉛直な姿勢から水平な姿勢に変換して搬出させるこ
とも、必要に応じて容易に可能である。
【０１２８】上記した説明から明らかなように、本発明
においては、全ての実施形態において、基板Ｐを鉛直な
姿勢にしてフィルムＦを剥離することが本質的に重要な
特徴をなす。すなわち、図１〜図２６を参照して説明し
た実施形態においては、両面が基板Ｐの搬送方向に向け
られた鉛直な姿勢でフィルムＦを剥離し、また、図２７
〜図５０を参照して説明した実施形態においては、両面
が基板Ｐの搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢でフィル
ムＦを剥離する。いずれの発明においても、上記したと
おりの優れた剥離効果の達成が可能となるのである。も
ちろん、基板Ｐを鉛直な姿勢にしてフィルムＦを剥離す
るのであれば、基板Ｐの搬送時及び剥離時において、基
板Ｐの両面がいずれの方向に向けられていてもよい。ま
た、基板Ｐを鉛直な姿勢で剥離位置まで搬送する基板搬
送手段は、上記実施形態に示されている手段に限定され
ることはなく、他の構成であっても、本願発明の実施は
可能である。更にはまた、図２７〜図５０を参照して説
明した実施形態において、基板Ｐのフィルムを剥離する
手段として、図１〜図２６に示す実施形態において説明
した剥離手段２００を使用することも可能であり、ま
た、端部剥離手段３００と剥離手段４００とを組み合わ
せて使用することも可能であることはいうまでもない。
においては、全ての実施形態において、基板Ｐを鉛直な
姿勢にしてフィルムＦを剥離することが本質的に重要な
特徴をなす。すなわち、図１〜図２６を参照して説明し
た実施形態においては、両面が基板Ｐの搬送方向に向け
られた鉛直な姿勢でフィルムＦを剥離し、また、図２７
〜図５０を参照して説明した実施形態においては、両面
が基板Ｐの搬送幅方向に向けられた鉛直な姿勢でフィル
ムＦを剥離する。いずれの発明においても、上記したと
おりの優れた剥離効果の達成が可能となるのである。も
ちろん、基板Ｐを鉛直な姿勢にしてフィルムＦを剥離す
るのであれば、基板Ｐの搬送時及び剥離時において、基
板Ｐの両面がいずれの方向に向けられていてもよい。ま
た、基板Ｐを鉛直な姿勢で剥離位置まで搬送する基板搬
送手段は、上記実施形態に示されている手段に限定され
ることはなく、他の構成であっても、本願発明の実施は
可能である。更にはまた、図２７〜図５０を参照して説
明した実施形態において、基板Ｐのフィルムを剥離する
手段として、図１〜図２６に示す実施形態において説明
した剥離手段２００を使用することも可能であり、ま
た、端部剥離手段３００と剥離手段４００とを組み合わ
せて使用することも可能であることはいうまでもない。
【０１２９】以上、本発明によるフィルム剥離搬送装置
の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱する
ことなく種々の変形あるいは修正が可能である。例え
ば、上記実施形態において、基板Ｐの両面にフィルムＦ
が貼着されているが、基板Ｐの片面又は両面にフィルム
Ｆが貼着された基板Ｐのいずれにも本発明が適用される
ことはいうまでもない。また、図１〜図２６を参照して
説明した上記実施形態において、基板Ｐは受取位置Ｘ１
において、水平な姿勢又は又は鉛直な姿勢で受け取るよ
う構成されているが、水平な姿勢と鉛直な姿勢との間
の、適宜の傾斜した姿勢で他の図示しない基板投入装置
から受け取ってもよい。同様に、図１〜図２６を参照し
て説明した上記実施形態において、基板Ｐは搬出位置Ｘ
３において、水平な姿勢又は又は鉛直な姿勢で搬出され
るよう構成されているが、水平な姿勢と鉛直な姿勢との
間の、適宜の傾斜した姿勢で搬出されてもよい。図１〜
図２６を参照して説明した本発明においては、何れの実
施形態においても、端部剥離位置Ｘ１Ａ又は剥離位置Ｘ
２において、基板Ｐが鉛直な姿勢に保持され、基板Ｐが
鉛直な姿勢に保持された状態で、先に述べたとおりにし
てフィルムＦの剥離が行なわれることが特に重要であ
る。
の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形
態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱する
ことなく種々の変形あるいは修正が可能である。例え
ば、上記実施形態において、基板Ｐの両面にフィルムＦ
が貼着されているが、基板Ｐの片面又は両面にフィルム
Ｆが貼着された基板Ｐのいずれにも本発明が適用される
ことはいうまでもない。また、図１〜図２６を参照して
説明した上記実施形態において、基板Ｐは受取位置Ｘ１
において、水平な姿勢又は又は鉛直な姿勢で受け取るよ
う構成されているが、水平な姿勢と鉛直な姿勢との間
の、適宜の傾斜した姿勢で他の図示しない基板投入装置
から受け取ってもよい。同様に、図１〜図２６を参照し
て説明した上記実施形態において、基板Ｐは搬出位置Ｘ
３において、水平な姿勢又は又は鉛直な姿勢で搬出され
るよう構成されているが、水平な姿勢と鉛直な姿勢との
間の、適宜の傾斜した姿勢で搬出されてもよい。図１〜
図２６を参照して説明した本発明においては、何れの実
施形態においても、端部剥離位置Ｘ１Ａ又は剥離位置Ｘ
２において、基板Ｐが鉛直な姿勢に保持され、基板Ｐが
鉛直な姿勢に保持された状態で、先に述べたとおりにし
てフィルムＦの剥離が行なわれることが特に重要であ
る。
【０１３０】
【発明の効果】本発明に従って構成されたフィルム剥離
搬送装置によれば、厚さが非常に薄い基板であっても、
基板の品質を損なうことなく、基板の片面又は両面に貼
着されているフィルムを円滑かつ確実に剥離することを
可能にする。また、厚さが非常に薄い基板であっても、
基板の片面又は両面に貼着されている絶縁樹脂に比較的
強力な密着強度をもって貼着されているフィルムを、絶
縁樹脂を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂から十分確
実に剥離することを可能にする。更にはまた、厚さが非
常に薄い基板であっても、基板の品質を損なうことなく
安定した搬送を可能にすると共に、基板の品質を損なう
ことなく基板の片面又は両面に貼着されているフィルム
を円滑かつ確実に剥離することを可能にする。
搬送装置によれば、厚さが非常に薄い基板であっても、
基板の品質を損なうことなく、基板の片面又は両面に貼
着されているフィルムを円滑かつ確実に剥離することを
可能にする。また、厚さが非常に薄い基板であっても、
基板の片面又は両面に貼着されている絶縁樹脂に比較的
強力な密着強度をもって貼着されているフィルムを、絶
縁樹脂を実質的に傷めることなく、絶縁樹脂から十分確
実に剥離することを可能にする。更にはまた、厚さが非
常に薄い基板であっても、基板の品質を損なうことなく
安定した搬送を可能にすると共に、基板の品質を損なう
ことなく基板の片面又は両面に貼着されているフィルム
を円滑かつ確実に剥離することを可能にする。
【図１】本発明によるフィルム剥離搬送装置の実施形態
の構成の一部を概略的に示す側面図。
の構成の一部を概略的に示す側面図。
【図２】図２に示すフィルム剥離搬送装置の構成の一部
を示す平面概略図。
を示す平面概略図。
【図３】図１に示すフィルム剥離搬送装置の構成の一部
を示す横断面概略図。
を示す横断面概略図。
【図４】図３に示すフィルム剥離搬送装置の構成の一部
を拡大して示す横断面概略図。
を拡大して示す横断面概略図。
【図５】図１に示すフィルム剥離搬送装置の構成の他の
一部を拡大して示す横断面概略図。
一部を拡大して示す横断面概略図。
【図６】図１に示すフィルム剥離搬送装置に含まれる基
板搬送手段の構成を説明するための斜視概念図。
板搬送手段の構成を説明するための斜視概念図。
【図７】図１に示すフィルム剥離搬送装置に含まれる基
板搬送手段の構成の一部を詳細に示す斜視図。
板搬送手段の構成の一部を詳細に示す斜視図。
【図８】図１に示すフィルム剥離搬送装置に含まれる剥
離手段及び基板搬送手段の一部を示す斜視概略図。
離手段及び基板搬送手段の一部を示す斜視概略図。
【図９】図８に示す剥離手段に含まれる圧力エア供給パ
イプ及び基板の一端部の断面概略図。
イプ及び基板の一端部の断面概略図。
【図１０】図９に示す基板の全体を示す平面概略図。
【図１１】図８に示す剥離手段の他の実施形態を示す斜
視概略図。
視概略図。
【図１２】本発明によるフィルム剥離搬送装置の他の実
施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
【図１３】図１２に示すフィルム剥離搬送装置の構成の
一部を示す横断面概略図。
一部を示す横断面概略図。
【図１４】図１２に示すフィルム剥離搬送装置に含まれ
る端部剥離手段及び基板搬送手段の一部を示す斜視概略
図。
る端部剥離手段及び基板搬送手段の一部を示す斜視概略
図。
【図１５】図１２に示すフィルム剥離搬送装置に含まれ
る剥離手段の側面概略図。
る剥離手段の側面概略図。
【図１６】図１５に示す剥離手段の他の作動態様を示す
側面概略図。
側面概略図。
【図１７】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を
示す側面概略図。
示す側面概略図。
【図１８】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を
示す側面概略図。
示す側面概略図。
【図１９】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を
示す側面概略図。
示す側面概略図。
【図２０】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を
示す側面概略図。
示す側面概略図。
【図２１】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を
示す側面概略図。
示す側面概略図。
【図２２】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を
示す側面概略図。
示す側面概略図。
【図２３】図１５に示す剥離手段の更に他の作動態様を
示す側面概略図であって、フィルム搬送手段の概略構成
図と共に示す側面概略図。
示す側面概略図であって、フィルム搬送手段の概略構成
図と共に示す側面概略図。
【図２４】本発明によるフィルム剥離搬送装置の更に他
の実施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
の実施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
【図２５】図２４に示すフィルム剥離搬送装置の他の作
動態様を概略的に示す側面図。
動態様を概略的に示す側面図。
【図２６】本発明によるフィルム剥離搬送装置の更に他
の実施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
の実施形態の構成の一部を概略的に示す側面図。
【図２７】本発明によるフィルム剥離搬送装置の更に他
の実施形態の構成の要部を概略的に示す側面図。
の実施形態の構成の要部を概略的に示す側面図。
【図２８】図２７に示す装置の平面概略図。
【図２９】図２７に示す装置の搬入位置を平面から見た
概略図。
概略図。
【図３０】図２７に示す装置を左方から見た概略図。
【図３１】図３０に示す構成の一部を示す拡大図であっ
て、二つの作動態様を概略的に示す拡大図。
て、二つの作動態様を概略的に示す拡大図。
【図３２】図３０に示す構成の他の一部を示す拡大図。
【図３３】図３２の平面概略図。
【図３４】図３０に示す構成の更に他の一部を示す拡大
図。
図。
【図３５】図３０に示す構成の更に他の一部を示す拡大
図であって、二つの作動態様を概略的に示す拡大図。
図であって、二つの作動態様を概略的に示す拡大図。
【図３６】図３５に示す構成を図３５において下方から
見た図。
見た図。
【図３７】図３５に示す構成の更に他の一部を示す拡大
図であって、複数の作動態様を概略的に示す拡大図。
図であって、複数の作動態様を概略的に示す拡大図。
【図３８】図３７に示す構成を図３７において下方から
見た図。
見た図。
【図３９】図３８に示す構成を図３８において左方から
見た図であって、一部の構成を付加して示す図。
見た図であって、一部の構成を付加して示す図。
【図４０】図３５に示す構成の更に他の一部を示す拡大
図であって、複数の作動態様を概略的に示す拡大図。
図であって、複数の作動態様を概略的に示す拡大図。
【図４１】図２８に示す構成の一部を示す拡大図。
【図４２】図２８に示す剥離位置を図２８において左方
から見た概略図であって、二つの作動態様を概略的に示
す図。
から見た概略図であって、二つの作動態様を概略的に示
す図。
【図４３】図４２に示す構成に含まれる他の一部を示す
拡大図。
拡大図。
【図４４】図４２に示す構成に含まれる更に他の一部を
示す拡大図。
示す拡大図。
【図４５】図４２に示す構成に含まれる更に他の一部を
示す拡大図。
示す拡大図。
【図４６】図４２に示す構成の一つの作動態様を示す概
略図。
略図。
【図４７】図４２に示す構成の他の作動態様を示す概略
図。
図。
【図４８】図４２に示す構成の更に他の作動態様を示す
概略図。
概略図。
【図４９】図４２に示す構成の更に他の作動態様を示す
概略図。
概略図。
【図５０】図４２に示す構成の更に他の作動態様を示す
概略図。
概略図。
１００ 基板搬送手段
１２０ 基板保持部材
１２０Ａ 基板保持部材対
２００ 剥離手段
２６０ 圧力エア噴射手段
３００ 端部剥離手段
４００ 剥離手段
５００ フィルム搬送手段
６００Ａ 基板投入装置
６００Ｂ 基板受取装置
７０２ 搬入手段
７０４ 姿勢変換手段
７０６ 搬送開始位置決め手段
７０８ 基板搬送手段
７１０ 剥離手段
７１２ 他の基板搬送手段
７１６ 幅寄せ手段
７１８ 基板直立手段
７２０ ハンガー
Ｆ フィルム
Ｐ 基板
Ｘ１ 受取位置
Ｘ１Ａ 端部剥離位置
Ｘ２ 剥離位置
Ｘ３ 搬出位置
Ｙ１ 搬入位置
Ｙ１Ａ 搬送開始位置
Ｙ２ 剥離位置
Ｙ３ 搬出位置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 北島 晃
山口県徳山市御影町１番１号 株式会社ト
クヤマ内
Ｆターム(参考） 3F053 AA04 AA26 LA15 LB12
Claims (34)
- 【請求項１】 片面又は両面に対してフィルムが貼着さ
れた基板を、鉛直な姿勢で剥離位置へ搬送する基板搬送
手段と、剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフ
ィルムを完全に剥離させる剥離手段とを備えている、こ
とを特徴とするフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項２】 剥離位置においてフィルムの一端部を基
板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、基板搬
送手段によって剥離位置に搬送された基板は、該鉛直な
姿勢で端部剥離手段によりフィルムの、鉛直上方に位置
する該一端部が部分的に剥離させられ、続いて鉛直な姿
勢で剥離手段により、該一端部が部分的に剥離させられ
たフィルムが完全に剥離される、請求項１記載のフィル
ム剥離搬送装置。 - 【請求項３】 片面又は両面に対してフィルムが貼着さ
れた基板を鉛直な姿勢で端部剥離位置へ、端部剥離位置
から剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、端部剥離位置
においてフィルムの一端部を基板から部分的に剥離させ
る端部剥離手段と、剥離位置において、一端部が部分的
に剥離されたフィルムを基板から完全に剥離させる剥離
手段とを備え、基板搬送手段によって端部剥離位置に搬
送された基板は、鉛直な姿勢で端部剥離手段によりフィ
ルムの、鉛直上方に位置する該一端部が部分的に剥離さ
せられ、基板搬送手段によって端部剥離位置から剥離位
置に搬送された基板は、鉛直な姿勢で剥離手段により、
該一端部が部分的に剥離させられたフィルムが完全に剥
離される、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項４】 片面又は両面に対してフィルムが貼着さ
れた基板を、両端部を離脱自在に保持した状態で、受取
位置から剥離位置へ、そして剥離位置から搬出位置まで
搬送する基板搬送手段と、剥離位置においてフィルムを
基板から完全に剥離させる剥離手段とを備え、基板搬送
手段によって剥離位置に搬送された基板は、鉛直な姿勢
で剥離手段によりフィルムが完全に剥離される、ことを
特徴とするフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項５】 基板搬送手段は、受取位置において基板
を水平な姿勢又は鉛直な姿勢で受け取り、受取位置で受
け取った基板を、剥離位置において鉛直な姿勢となるよ
う、又は鉛直な姿勢を維持しながら、剥離位置まで搬送
し、剥離位置において鉛直な姿勢で剥離手段によりフィ
ルムが完全に剥離された基板を、搬出位置において水平
な姿勢となるよう、又は鉛直な姿勢を維持しながら、搬
出位置まで搬送する、請求項４記載のフィルム剥離搬送
装置。 - 【請求項６】 剥離位置においてフィルムの一端部を基
板から部分的に剥離させる端部剥離手段を備え、基板搬
送手段によって剥離位置に搬送された基板は、鉛直な姿
勢で端部剥離手段によりフィルムの、鉛直上方に位置す
る該一端部が部分的に剥離させられ、続いて鉛直な姿勢
で剥離手段により、該一端部が部分的に剥離させられた
フィルムが完全に剥離される、請求項４又は請求項５記
載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項７】 基板搬送手段は、剥離位置において鉛直
な姿勢で端部剥離手段によりフィルムの該一端部が部分
的に剥離させられ、続いて該一端部が部分的に剥離させ
られたフィルムが剥離手段により完全に剥離された基板
を、搬出位置において水平な姿勢となるよう、又は鉛直
な姿勢を維持しながら、搬出位置まで搬送する、請求項
６記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項８】 片面又は両面に対してフィルムが貼着さ
れた基板を、基板の両端部を離脱自在に保持した状態
で、受取位置から端部剥離位置へ、端部剥離位置から剥
離位置へ、そして剥離位置から搬出位置まで搬送する基
板搬送手段と、端部剥離位置においてフィルムの一端部
を基板から部分的に剥離させる端部剥離手段と、剥離位
置において、一端部が剥離されたフィルムを基板から完
全に剥離させる剥離手段とを備え、基板搬送手段によっ
て端部剥離位置に搬送された基板は、鉛直な姿勢で端部
剥離手段によりフィルムの、鉛直上方に位置する該一端
部が部分的に剥離させられ、基板搬送手段によって端部
剥離位置から剥離位置に搬送された基板は、鉛直な姿勢
で剥離手段により、該一端部が部分的に剥離させられた
フィルムが完全に剥離される、ことを特徴とするフィル
ム剥離搬送装置。 - 【請求項９】 基板搬送手段は、受取位置において基板
を水平な姿勢又は鉛直な姿勢で受け取り、受取位置で受
け取った基板を、端部剥離位置において鉛直な姿勢とな
るよう、又は鉛直な姿勢を維持しながら、端部剥離位置
まで搬送し、端部剥離位置において鉛直な姿勢で端部剥
離手段によりフィルムの該一端部が剥離された基板を鉛
直な姿勢を維持しながら剥離位置まで搬送し、剥離位置
において、該一端部が剥離されたフィルムが鉛直な姿勢
で剥離手段により完全に剥離された基板を、搬出位置に
おいて水平な姿勢となるよう、又は鉛直な姿勢を維持し
ながら、搬出位置まで搬送する、請求項８記載のフィル
ム剥離搬送装置。 - 【請求項１０】 端部剥離手段は、鉛直な姿勢の基板に
おいて鉛直上方に位置する一端部近傍の領域であって、
フィルムの該一端部よりも基板の他端方向に後退した基
板の該一端部近傍の領域の両面を解除自在にクランプす
るクランプ手段と、支持体に配設されかつ基板の搬送方
向に対向して基板の搬送幅方向に直列に配設された複数
の圧接ローラ対と、支持体に作用して圧接ローラ対の各
々を基板の搬送幅方向に往復移動させる駆動手段とを含
み、剥離位置又は端部剥離位置において、基板の該一端
部近傍の領域の両面をクランプ手段によってクランプし
た後、駆動手段によって圧接ローラ対の各々をフィルム
の該一端部の両面に沿って基板の搬送幅方向に往復移動
させることにより、フィルムの該一端部を基板の片面又
は両面から部分的に剥離させる、請求項６〜９のいずれ
か１項に記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項１１】 基板搬送手段は、基板の搬送幅方向に
間隔をおいて対向する基板保持部材対を少なくとも１対
備え、基板は、受取位置において、基板の両端部、又は
基板の両端部及び両端部における下端、が基板保持部材
対によって保持され、端部剥離位置又は剥離位置におい
て、基板の両端部及び両端部における下端が基板保持部
材対によって保持され、搬出位置において、基板の両端
部、又は基板の両端部及び両端部における下端、が基板
保持部材対によって保持されるよう基板搬送手段によっ
て搬送される、請求項４〜１０のいずれか１項に記載の
フィルム剥離搬送装置。 - 【請求項１２】 剥離手段は、基板の搬送方向に間隔を
おいて対向しかつ基板の搬送幅方向に延在する一対のフ
ィルムガイドクランプ部材と、フィルムガイドクランプ
部材の各々をそれぞれ支持するよう基板の搬送方向に間
隔をおいて対向するよう配置されかつフィルムガイドク
ランプ部材の各々を、鉛直な姿勢の基板の該一端部近傍
の領域であって、フィルムの該一端部よりも基板の他端
方向に後退した基板の該一端部近傍の領域の両面をクラ
ンプするクランプ位置と、該一端部近傍の領域から基板
の搬送方向上流及び下流に向かって相互に離隔して該ク
ランプを解除するクランプ解除位置との間を選択的に移
動させる一対の駆動体と、フィルムガイドクランプ部材
の各々に配設されて、フィルムガイドクランプ部材の各
々の上面に圧接されるクランプ位置と、フィルムガイド
クランプ部材の各々の上面から退避するクランプ解除位
置との間を選択的に移動させられるフィルムクランプ部
材を含むフィルムクランプ手段と、駆動体の各々に対応
して配設され駆動体の各々を鉛直方向に昇降させる昇降
手段と、基板の該一端部の両面をクランプするクランプ
位置と、該一端部から基板の搬送方向上流及び下流に向
かって相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解
除位置との間を選択的に移動させる一対の基板クランプ
部材を含む基板クランプ手段と、基板の、少なくとも該
一端部に含まれる一端に向けて上方から圧力気体を噴射
する圧力気体噴射手段とを備えている、請求項４又は請
求項８に記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項１３】 基板搬送手段は、基板の搬送幅方向に
相互に間隔をおいて対向するよう配設された一対の静止
側枠と、静止側枠の各々間に基板の搬送方向に間隔をお
いて配設された複数のガイド部材と、静止側枠の各々間
における基板の搬送方向一方側に回転自在に支持された
駆動軸と、静止側枠の各々間における基板の搬送方向他
方側に回転自在に支持された被駆動軸と、駆動軸を回転
駆動する駆動源と、静止側枠の各々間においてガイド部
材の各々に移動自在に支持された一対の可動側枠と、可
動側枠の各々をガイド部材の各々に沿って基板の搬送幅
方向に相互に接近及び離隔する方向に往復移動させる往
復移動手段と、可動側枠の各々に回転自在に支持されか
つ駆動軸に結合された駆動輪と、可動側枠の各々に回転
自在に支持されかつ被駆動軸に結合された被駆動輪と、
駆動輪の各々と被駆動輪の各々間にそれぞれ巻き掛けら
れた無端部材と、無端部材の各々の、相互に整合された
周方向位置に相互に対向するよう配設された基板保持部
材の各々からなる少なくとも１対の基板保持部材対とを
備え、往復移動手段により可動側枠の各々をガイド部材
の各々に沿って基板の搬送幅方向に相互に接近及び離隔
する方向に往復移動させることにより基板保持部材対は
基板の幅に対応して位置付けられ、駆動源により駆動軸
を介して駆動輪を間欠的に回転駆動することにより、基
板保持部材対に保持された基板は、受取位置から剥離位
置を経て搬出位置へ、又は、受取位置から端部剥離位置
及び剥離位置を経て搬出位置へ、それぞれ間欠的に搬送
させられる、請求項１１に記載のフィルム剥離搬送装
置。 - 【請求項１４】 剥離位置に向かって基板の搬送を開始
する搬送開始位置へ、両面が基板の搬送幅方向に向けら
れた鉛直な姿勢で投入された、片面又は両面に対してフ
ィルムが貼着された基板の搬送方向両端部を解除自在に
チャッキングして鉛直な姿勢を維持しながら剥離位置へ
搬送する基板搬送手段と、剥離位置に搬送された鉛直な
姿勢の基板からフィルムを完全に剥離する剥離手段とを
備えている、ことを特徴とするフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項１５】 片面又は両面に対してフィルムが貼着
された基板を水平な姿勢で搬入位置に搬入する搬入手段
と、搬入位置に搬入された基板を、両面が基板の搬入幅
方向に向けられた鉛直な姿勢に変換する姿勢変換手段
と、鉛直な姿勢に変換された基板を、搬入方向前方に設
定された剥離位置へ向けて搬送するための搬送開始位置
へ鉛直な姿勢を維持しながら移動させる搬送開始位置決
め手段と、搬送開始位置へ移動させられた基板の搬送方
向両端部を解除自在にチャッキングして鉛直な姿勢を維
持しながら基板を剥離位置へ搬送する基板搬送手段と、
剥離位置に搬送された鉛直な姿勢の基板からフィルムを
完全に剥離する剥離手段とを備えている、ことを特徴と
するフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項１６】 フィルムが完全に剥離された基板を、
剥離位置において搬送方向両端部を解除自在にチャッキ
ングして搬入位置とは反対側の、剥離位置の前方に設定
された搬出位置まで鉛直な姿勢を維持しながら搬送する
他の基板搬送手段を備えている、請求項１、１４又は１
５のいずれか１項に記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項１７】 姿勢変換手段は、基板を、水平な姿勢
に維持しながら搬入手段における搬入幅方向の一側方向
に搬入幅方向所定位置まで移動させる幅寄せ手段と、搬
入幅方向所定位置に移動させられた基板の該搬入幅方向
の一側領域に位置する一端部を解除自在にクランプして
上方にかつ該搬入幅方向の他側まで旋回させて鉛直な姿
勢とする基板直立手段とを備え、搬送開始位置決め手段
は、基板直立手段により鉛直な姿勢とされた基板の該一
端部を解除自在に把持して該搬入幅方向に搬送開始位置
まで移動させるハンガーからなる、請求項１５記載のフ
ィルム剥離搬送装置。 - 【請求項１８】 搬入手段は、該搬入方向に間隔をおい
て水平に配列されかつ該搬入幅方向に延在する複数の搬
入ローラ体と、搬入ローラ体の各々を回転駆動するため
の駆動源と、搬入ローラ体の各々と駆動源とを駆動連結
する動力伝達機構とを備えている、請求項１７記載のフ
ィルム剥離搬送装置。 - 【請求項１９】 搬入手段により搬入された基板を停止
させて所定の搬入位置に位置付けるためのストッパが備
えられ、該ストッパは、該搬入方向の最下流位置に配置
された搬入ローラ体の更に下流位置において、基板の搬
送面から上方に突出させられている、請求項１８記載の
フィルム剥離搬送装置。 - 【請求項２０】 幅寄せ手段は、複数の搬入ローラ体の
間に配置されかつ該搬入幅方向に延在する複数の支持部
材を含む支持ユニットと、支持ユニットを支持しかつ支
持ユニットに作用して支持部材の各々を基板の搬送面よ
りも低い非支持位置と複数の搬入ローラ体の間において
基板の搬送面よりも上方に突出した支持位置との間を選
択的に昇降させる昇降アクチュエータと、昇降アクチュ
エータを支持しかつ昇降アクチュエータに作用して支持
部材の各々を搬入幅方向待機位置と搬入幅方向待機位置
よりも該搬入幅方向の一側寄りの一側寄り所定位置との
間を選択的に往復移動させる幅寄せアクチュエータとを
備え、基板が所定の搬入位置に搬入された状態で、昇降
アクチュエータを作動させて支持部材の各々を非支持位
置から支持位置に上昇させると、支持部材の各々は、基
板を相対的に載置して複数の搬入ローラ体の上方に持ち
上げて複数の搬入ローラ体から離隔させ、続いて幅寄せ
アクチュエータを作動させて支持部材の各々を搬入幅方
向待機位置から一側寄り所定位置に移動させると、支持
部材の各々上に載置された基板は所定の搬入位置から搬
入幅方向所定位置に移動させられる、請求項１８又は請
求項１９記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項２１】 幅寄せアクチュエータにより所定の搬
入位置から該搬入幅方向の一側方向に向かって移動させ
られた基板を停止させて搬入幅方向所定位置に位置付け
るためのストッパが備えられ、該ストッパは、該搬入幅
方向の一側領域に配置された複数の直立ピンからなり、
直立ピンの各々は、支持部材の各々上に載置された基板
よりも上方に突出させられている、請求項２０記載のフ
ィルム剥離搬送装置。 - 【請求項２２】 基板直立手段は、該搬入幅方向の他側
において該搬入方向に延在する旋回軸と、該搬入方向に
間隔をおいて配置されかつ一端部が旋回軸に一体に連結
されると共に他端部にクランプ機構が配設された複数の
旋回フレームと、旋回フレームの各々を、複数の搬入ロ
ーラ体間において基板の搬送面の下方を該搬入幅方向に
延在する水平待機位置と、該搬入幅方向の他側において
直立する直立位置との間を選択的に旋回させる旋回アク
チュエータとを備えている、請求項２０又は請求項２１
記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項２３】 クランプ機構の各々は、旋回フレーム
が水平待機位置に位置付けられた状態において、水平な
上面からなる被クランプ面を有する静止クランプ部材
と、平坦なクランプ面を有しかつ該クランプ面が静止ク
ランプ部材の被クランプ面に対し上方から圧接するクラ
ンプ位置と、該クランプ面が静止クランプ部材の被クラ
ンプ面から上方にかつ該搬入幅方向の一側方向外側に離
隔するクランプ解除位置との間を旋回自在な可動クラン
プ部材と、可動クランプ部材をクランプ位置に常時付勢
するばね手段と、可動クランプ部材を旋回させるクラン
プアクチュエータとを備え、クランプアクチュエータを
作動させると、可動クランプ部材はばね手段のばね力に
抗してクランプ位置からクランプ解除位置に旋回させら
れ、クランプアクチュエータの作動を解除すると、可動
クランプ部材はばね手段のばね力によりクランプ解除位
置からクランプ位置に旋回させられる、請求項２２記載
のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項２４】 旋回フレームの各々が水平待機位置に
位置付けられかつ可動クランプ部材がクランプ解除位置
に位置付けられた状態で、幅寄せ手段における昇降アク
チュエータ及び幅寄せアクチュエータを作動させて基板
を所定の搬入位置から搬入幅方向所定位置に移動させる
と、基板の該一端部は、クランプ機構の各々における静
止クランプ部材の被クランプ面上に位置付けられ、この
状態でクランプアクチュエータの作動を解除してばね手
段のばね力により可動クランプ部材をクランプ解除位置
からクランプ位置に旋回させると、基板の該一端部は、
静止クランプ部材の被クランプ面と可動クランプ部材の
クランプ面とによりクランプされ、続いて旋回アクチュ
エータを作動させて旋回フレームの各々を水平待機位置
から直立位置に旋回させると、基板は、該搬入幅方向の
他側において、該一端部を上にした鉛直な姿勢でクラン
プされる、請求項２３記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項２５】 ハンガーは、該搬入方向に延在する支
持フレームに間隔をおいて配置された複数の把持ユニッ
トと、支持フレームを支持しかつ支持フレームに作用し
て把持ユニットの各々を上方待機位置と上方待機位置よ
りも下方の基板把持可能位置との間を選択的に昇降させ
る昇降アクチュエータと、昇降アクチュエータを支持し
かつ昇降アクチュエータに作用して把持ユニットの各々
を該搬入幅方向の他側待機位置と該搬入幅方向の中間領
域に設定された該搬送開始位置との間を選択的に移動さ
せる搬送開始位置決めアクチュエータとを備えている、
請求項１７〜２４のいずれか１項に記載のフィルム剥離
搬送装置。 - 【請求項２６】 把持ユニットの各々は、それぞれ一端
部が該搬入方向に延在する軸線まわりに旋回自在な一対
の把持部材と、把持部材の各々を、把持部材の各々の他
端部に配設された把持面が各々の旋回軸線よりも下方位
置において相互に該搬入幅方向に圧接される把持位置
と、該把持面が該搬入幅方向外方の上方に離隔される把
持解除位置との間を選択的に旋回させる把持アクチュエ
ータとを備えている、請求項２５記載のフィルム剥離搬
送装置。 - 【請求項２７】 基板搬送手段は、該搬送開始位置に対
して、該搬入幅方向の一側寄りの位置を該搬入方向に延
在する支持フレームと、支持フレームにおける該搬入方
向上流側に配設された上流側チャッキング機構であっ
て、該搬送開始位置に位置付けられた基板の搬入方向後
端部を解除自在にチャッキングする上流側チャッキング
機構と、支持フレームにおける該搬入方向下流側におい
て上流側チャッキング機構に対し間隔をおいて配設され
た下流側チャッキング機構であって、該搬送開始位置に
移動させられた基板の搬入方向前端部を解除自在にチャ
ッキングする下流側チャッキング機構と、支持フレーム
に作用して該チャッキング機構の各々を一体的に該搬送
開始位置と剥離位置との間を選択的に移動させる基板搬
送アクチュエータとを備えている、請求項１４又は請求
項１５に記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項２８】 相互に実質的に同じ構成を有しかつ該
搬入方向に間隔をおいて相互に対称的に配設された該チ
ャッキング機構の各々は、支持フレームに対し鉛直軸ま
わりに旋回自在に支持された第１の可動チャッキング体
であって、鉛直面からなる被圧接面を有すると共に該被
圧接面が該搬入幅方向の他側に向けられたチャッキング
位置と、該被圧接面がチャッキング位置に対し該搬入幅
方向の一側方向に退避させられたチャッキング解除位置
との間を旋回自在な第１の可動チャッキング体と、第１
の可動チャッキング体の、チャッキング解除位置からチ
ャッキング位置への旋回をチャッキング位置で阻止する
よう支持フレームに配設されたストッパと、第１の可動
チャッキング体に対し鉛直軸まわりに旋回自在に支持さ
れた第２の可動チャッキング体であって、鉛直面からな
る圧接面を有すると共に該圧接面が、チャッキング位置
に位置付けられた第１の可動チャッキング体の該被圧接
面に圧接されるチャッキング位置と、該圧接面がチャッ
キング位置に対し該搬入幅方向の一側方向に退避させら
れたチャッキング解除位置との間を旋回自在な第２の可
動チャッキング体と、第２の可動チャッキング体と支持
フレームとの間に配設されて第２及び第１の可動チャッ
キング体をチャッキング位置に常時付勢するばね手段
と、第２の可動チャッキング体に作用して第２及び第１
の可動チャッキング体をばね手段のばね力に抗してチャ
ッキング位置からチャッキング解除位置へ旋回させるよ
う、支持フレームに配設されたチャッキングアクチュエ
ータとを備えている、請求項２７のフィルム剥離搬送装
置。 - 【請求項２９】 該チャッキング機構の各々の第１の可
動チャッキング体には、第２の可動チャッキング体のチ
ャッキング位置からチャッキング解除位置への旋回を途
中で阻止するストッパが配設され、チャッキングアクチ
ュエータを作動させると、第１の可動チャッキング体が
ばね手段のばね力により支持フレームに配設されたスト
ッパにより阻止されてチャッキング位置に位置付けられ
た状態で、第２の可動チャッキング体は、ばね手段のば
ね力に抗して第１の可動チャッキング体のストッパによ
り阻止されるまで第１の可動チャッキング体に対して旋
回させられて該圧接面が第１の可動チャッキング体の該
被圧接面から実質的に該搬入幅方向の他側方向に離隔さ
せられ、第２の可動チャッキング体の、第１の可動チャ
ッキング体に対する旋回が第１の可動チャッキング体の
ストッパにより阻止された後には、第２の可動チャッキ
ング体及び第１の可動チャッキング体は相対移動するこ
となく一体的にばね手段のばね力に抗してチャッキング
解除位置へ旋回させられる、請求項２８記載のフィルム
剥離搬送装置。 - 【請求項３０】 上流側及び下流側チャッキング機構の
各々のチャッキングアクチュエータを作動させて上流側
及び下流側チャッキング機構の各々の第１及び第２の可
動チャッキング体がチャッキング解除位置に位置付けら
れた状態で、搬送開始位置決め手段により基板が該鉛直
な姿勢で搬送開始位置に位置付けられ、続いて、上流側
及び下流側チャッキング機構の各々のチャッキングアク
チュエータの作動を解除すると、上流側チャッキング機
構においては、第１及び第２の可動チャッキング体がチ
ャッキング解除位置からチャッキング位置に旋回させら
れ、第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板の
片面に対し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置か
ら旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置における
搬入方向後端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片
面に当接ないし近接して対向させられ、第２の可動チャ
ッキング体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向
後端の後方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位
置における搬入方向後端部の、該搬入幅方向の他側方向
に面した他面を介して第１の可動チャッキング体の該被
圧接面に圧接させられることにより、基板の該搬入方向
後端部がチャッキングされ、下流側チャッキング機構に
おいては、第１及び第２の可動チャッキング体がチャッ
キング解除位置からチャッキング位置に旋回させられ、
第１の可動チャッキング体の該被圧接面は、基板に対
し、該搬入幅方向の一側方向に離隔した位置から旋回し
て、基板の、該一端部よりも下方位置における搬入方向
前端部の、該搬入幅方向の一側方向に面した片面に当接
ないし近接して対向させられ、第２の可動チャッキング
体の該圧接面は、基板に対し、基板の搬入方向前端の前
方を旋回して、基板の、該一端部よりも下方位置におけ
る搬入方向前端部の、該搬入幅方向の他側方向に面した
他面を介して第１の可動チャッキング体の該被圧接面に
圧接させられることにより、基板の該搬入方向前端部が
チャッキングされる、請求項２９記載のフィルム剥離搬
送装置。 - 【請求項３１】 支持フレームには基板のサイズに対応
するために上流側チャッキング機構を該搬送方向に往復
移動させるアクチュエータが配設されている、請求項２
７〜３０のいずれか１項に記載のフィルム剥離搬送装
置。 - 【請求項３２】 剥離手段は、鉛直方向に昇降自在に配
設された可動支持枠体と、可動支持枠体を昇降させる昇
降アクチュエータと、基板の搬送幅方向に相互に対向し
て配置されかつ該搬送幅方向に移動自在に可動支持枠体
に配設された一対のフィルムガイドクランプ部材と、可
動支持枠体に配設されてフィルムガイドクランプ部材の
各々を、剥離位置に搬送された基板の該一端部近傍の領
域であって、フィルムの一端部よりも基板の他端方向に
後退した基板の該一端部近傍の領域の両面をクランプす
るクランプ位置と、該一端部近傍の領域から該搬送幅方
向外方に向かって相互に離隔して該クランプを解除する
クランプ解除位置との間を選択的に移動させる一対のフ
ィルムガイドクランプアクチュエータと、フィルムガイ
ドクランプ部材の各々の上面に圧接されるクランプ位置
と、フィルムガイドクランプ部材の各々の上面から退避
するクランプ解除位置との間を旋回自在にフィルムガイ
ドクランプ部材の各々に支持された複数のフィルムクラ
ンプ部材と、フィルムクランプ部材の各々をクランプ位
置に常時付勢するばね手段と、フィルムガイドクランプ
部材の各々に配設されてフィルムクランプ部材の各々を
ばね手段のばね力に抗してクランプ位置からクランプ解
除位置に旋回させるフィルムクランプアクチュエータ
と、基板の該一端部の両面をクランプするクランプ位置
と、該一端部から基板の搬送幅方向外方の上方に向かっ
て相互に離隔して該クランプを解除するクランプ解除位
置との間を旋回自在に、剥離位置に搬送された基板の該
一端部の上方に配設された複数対の基板クランプ部材対
と、基板クランプ部材対を構成する基板クランプ部材の
各々を常時クランプ位置に付勢するばね手段と、基板ク
ランプ部材の各々をばね手段のばね力に抗してクランプ
位置からクランプ解除位置に旋回させる基板クランプア
クチュエータと、基板の、少なくとも該一端部に含まれ
る一端に向けて上方から圧力気体を噴射する圧力気体噴
射手段とを備えている、請求項１、１４又は１５のいず
れか１項に記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項３３】 フィルムガイドクランプ部材の各々が
クランプ位置に位置付けられて基板がフィルムガイドク
ランプ部材の各々によりクランプされかつ基板クランプ
部材対の各々がクランプ解除位置に位置付けられると共
にフィルムクランプ部材の各々がクランプ解除位置に位
置付けられた状態で、圧力気体噴射手段によって基板
の、少なくとも該一端部に含まれる一端に向けて上方か
ら圧力気体を噴射することにより基板の片面又は両面か
らフィルムの一端部を部分的に剥離させてフィルムガイ
ドクランプ部材の一方又は両方の上面に押し付け、続い
て圧力気体噴射手段から圧力気体を噴射しながらフィル
ムクランプアクチュエータの作動を解除してフィルムク
ランプ部材の各々をばね手段のばね力によりクランプ位
置に旋回させてフィルムガイドクランプ部材の一方又は
両方の上面に押し付けられたフィルムの一端部をフィル
ムガイドクランプ部材の一方又は両方の上面にクランプ
し、次に、基板クランプアクチュエータの作動を解除し
てばね部材のばね力により基板クランプ部材対の各々を
クランプ位置に旋回させて基板の該一端部をクランプし
た後、フィルムガイドクランプアクチュエータを作動さ
せてフィルムガイドクランプ部材の各々を、クランプ位
置に位置付けられたフィルムクランプ部材の各々と共に
クランプ解除位置に移動させ、続いて昇降アクチュエー
タにより可動支持枠体と共にフィルムガイドクランプ部
材の各々及びフィルムクランプ部材の各々を下降させる
ことにより基板の片面又は両面からフィルムを完全に剥
離した後、フィルムクランプアクチュエータを作動させ
てフィルムクランプ部材の各々をクランプ解除位置に旋
回させてフィルムガイドクランプ部材の各々の一方又は
両方の上面に対するフィルムのクランプを解除する、請
求項３２記載のフィルム剥離搬送装置。 - 【請求項３４】 基板から完全に剥離されたフィルムに
向けて上方から圧力気体を噴射して該フィルムを下方に
強制的に排出する圧力気体噴射手段を備えている、請求
項３３記載のフィルム剥離搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002360073A JP4148767B2 (ja) | 2002-02-15 | 2002-12-12 | フィルム剥離搬送装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002038992 | 2002-02-15 | ||
| JP2002-38992 | 2002-02-15 | ||
| JP2002360073A JP4148767B2 (ja) | 2002-02-15 | 2002-12-12 | フィルム剥離搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003306261A true JP2003306261A (ja) | 2003-10-28 |
| JP4148767B2 JP4148767B2 (ja) | 2008-09-10 |
Family
ID=29405221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002360073A Expired - Lifetime JP4148767B2 (ja) | 2002-02-15 | 2002-12-12 | フィルム剥離搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4148767B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010073862A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Panasonic Corp | 回路基板の製造方法 |
| CN114544672A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-05-27 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | 一种线路板显影质量检测装置及方法 |
| CN115179540A (zh) * | 2022-07-08 | 2022-10-14 | 凯麒斯食品工业(江苏)有限公司 | 一种塑料制品用覆膜装置 |
-
2002
- 2002-12-12 JP JP2002360073A patent/JP4148767B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010073862A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Panasonic Corp | 回路基板の製造方法 |
| CN114544672A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-05-27 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | 一种线路板显影质量检测装置及方法 |
| CN114544672B (zh) * | 2022-04-26 | 2022-06-28 | 四川英创力电子科技股份有限公司 | 一种线路板显影质量检测装置及方法 |
| CN115179540A (zh) * | 2022-07-08 | 2022-10-14 | 凯麒斯食品工业(江苏)有限公司 | 一种塑料制品用覆膜装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4148767B2 (ja) | 2008-09-10 |
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