JP2003300146A - 微細穴の処理装置 - Google Patents
微細穴の処理装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】加工後のワーク取出し時にワーク保持具内に残
った流体スラリーの漏れを抑制し、またワーク保持具内
に残った流体スラリーが次のワーク充填の障害とならな
い装置を提供。 【解決手段】一対のワーク保持具の一方11が有するフェ
ルール保持具本体27はアクチュエータであるシリンダ19
のロッド 8により、一対のフェルール保持具の他方 6が
有するフェルール保持具本体26に押し付け、密着させる
ことで流路系を密封するようにし、さらに固定ブロック
4に固定されたワーク保持具11、6の少なくとも一方のワ
ークを保持するワーク保持具11に垂直方向配管13に連通
した流体通路 45、48のを設け、流体通路 45、48に逆止弁
46、49を介してエアー又は水性溶媒が導かれるようにし
た。
った流体スラリーの漏れを抑制し、またワーク保持具内
に残った流体スラリーが次のワーク充填の障害とならな
い装置を提供。 【解決手段】一対のワーク保持具の一方11が有するフェ
ルール保持具本体27はアクチュエータであるシリンダ19
のロッド 8により、一対のフェルール保持具の他方 6が
有するフェルール保持具本体26に押し付け、密着させる
ことで流路系を密封するようにし、さらに固定ブロック
4に固定されたワーク保持具11、6の少なくとも一方のワ
ークを保持するワーク保持具11に垂直方向配管13に連通
した流体通路 45、48のを設け、流体通路 45、48に逆止弁
46、49を介してエアー又は水性溶媒が導かれるようにし
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はφ5.0mm 以下の軸方向貫
通ストレート穴、テーパ穴、曲がり穴などで構成された
穴を有する部品の内面処理（研磨、洗浄、バリ取り、エ
ッジのＲ取り・面取り、表面処理）を行う微細穴の処理
装置に関する。
通ストレート穴、テーパ穴、曲がり穴などで構成された
穴を有する部品の内面処理（研磨、洗浄、バリ取り、エ
ッジのＲ取り・面取り、表面処理）を行う微細穴の処理
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の軸方向貫通微細穴の処理装置とし
ては、精密工学会誌64.1(1998)、64.8(1998)、64.9(199
8)の「 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨」 ではφ
1mm 以下の内径を有する長尺のステンレス鋼製極細管の
内面をスラリーを高速でその中を往復動させることによ
って研磨する方法：高速流動研磨法が報告されている。
また、精密工学会誌67.2(2001)「 光コネクタ用セラミッ
クフェルール微細穴内壁面の高速流動研磨」 では、ジル
コニアセラミックフェルール微細穴内面( φ0.12mm) の
加工精度( 形状精度と面精度) の向上をねらいに、高速
流動研磨法が有効であることが報告されている。その論
文での高速流動研磨装置は、図３、図４に示す。
ては、精密工学会誌64.1(1998)、64.8(1998)、64.9(199
8)の「 極細ステンレス鋼管内壁の高速流動研磨」 ではφ
1mm 以下の内径を有する長尺のステンレス鋼製極細管の
内面をスラリーを高速でその中を往復動させることによ
って研磨する方法：高速流動研磨法が報告されている。
また、精密工学会誌67.2(2001)「 光コネクタ用セラミッ
クフェルール微細穴内壁面の高速流動研磨」 では、ジル
コニアセラミックフェルール微細穴内面( φ0.12mm) の
加工精度( 形状精度と面精度) の向上をねらいに、高速
流動研磨法が有効であることが報告されている。その論
文での高速流動研磨装置は、図３、図４に示す。
【０００３】図３に示す従来の軸方向貫通微細穴の処理
装置は、エアコンプレッサ51、直圧式増圧器52、52 、溶
媒としてイオン交換水58が入れられたカートリッジＢ5
7、57、溶媒としてのイオン交換水58と砥粒55としてアル
ミナとの混合物であるスラリーが入れられたカートリッ
ジＢ56、56 及びフェルール保持具 53、54で構成されてい
る。カートリッジＢ 57、57は直圧式増圧器 52、52に砥粒
55が侵入することを防ぎ、装置の耐久性を向上させるた
めのトラップである。図４に図３のフェルール保持具 5
3、54の詳細図を示す。保持具53、54 は、２個のフランジ
付ステンレス鋼円筒容器 66、66から成り、左右の容器に
は、中空の厚肉エポキシ樹脂円筒管 63、63が挿入され、
その外側にグランドパッキン 64、64が密に詰め込まれ、
砥粒55とイオン交換水58との混合物であるスラリーが回
り込まないよう配慮している。セラミックフェルール 6
2、62を直列にエポキシ樹脂円筒管 63、63の中に入れ、左
右の樹脂円筒管を仕切り板60を介して向き合わせ、フラ
ンジ部には高圧の流体圧に耐えスラリー55が洩れないよ
うに２重にＯリング 61、61を挿入し、左右フランジ部を
ボルト 65、65で締め付ける。フェルール保持具53、54と
カートリッジＡ 56、56は配管用の継ぎ手 59、59で接続す
る。
装置は、エアコンプレッサ51、直圧式増圧器52、52 、溶
媒としてイオン交換水58が入れられたカートリッジＢ5
7、57、溶媒としてのイオン交換水58と砥粒55としてアル
ミナとの混合物であるスラリーが入れられたカートリッ
ジＢ56、56 及びフェルール保持具 53、54で構成されてい
る。カートリッジＢ 57、57は直圧式増圧器 52、52に砥粒
55が侵入することを防ぎ、装置の耐久性を向上させるた
めのトラップである。図４に図３のフェルール保持具 5
3、54の詳細図を示す。保持具53、54 は、２個のフランジ
付ステンレス鋼円筒容器 66、66から成り、左右の容器に
は、中空の厚肉エポキシ樹脂円筒管 63、63が挿入され、
その外側にグランドパッキン 64、64が密に詰め込まれ、
砥粒55とイオン交換水58との混合物であるスラリーが回
り込まないよう配慮している。セラミックフェルール 6
2、62を直列にエポキシ樹脂円筒管 63、63の中に入れ、左
右の樹脂円筒管を仕切り板60を介して向き合わせ、フラ
ンジ部には高圧の流体圧に耐えスラリー55が洩れないよ
うに２重にＯリング 61、61を挿入し、左右フランジ部を
ボルト 65、65で締め付ける。フェルール保持具53、54と
カートリッジＡ 56、56は配管用の継ぎ手 59、59で接続す
る。
【０００４】作動においては、エアコンプレッサ51を稼
動し圧縮空気を図示しないフィルタレギュレータを介し
て所定の圧力(0.49MPa) に制御し、右（左）側の直圧式
増圧器 52、52に送気する。増圧器 52、52と連通する右
（左）側のカートリッジＢ 57、57内部のイオン交換水58
を空気圧の25倍に増圧し、右（左）側のカートリッジＢ
57、57内のイオン交換水58に流体圧を加える。カートリ
ッジＢ 57、57内のイオン交換水58は右（左）側のカート
リッジＡ 56、56内に注送され、カートリッジＡ56、56内
のイオン交換水58に流体圧を加えることになる。このこ
とにより、カートリッジＡ 56、56内のフェルール保持具
53、54に接続してある管を通ってスラリーがフェルール
62、62内面に注送されることになる。研磨はスラリーが
フェルール62、62内面を流動することにより行われる。
右（左）側のカートリッジＡ56、56のスラリーが左
（右）側のカートリッジＡ 56、56に注送されて移動し終
わった（１パス目）後、左（右）側の増圧器 52、52内部
のイオン交換水58を増圧し、スラリーは逆向きに注送さ
れる(2パス目で1 往復) 。この流動動作を繰り返してフ
ェルールの微細穴内を研磨する。
動し圧縮空気を図示しないフィルタレギュレータを介し
て所定の圧力(0.49MPa) に制御し、右（左）側の直圧式
増圧器 52、52に送気する。増圧器 52、52と連通する右
（左）側のカートリッジＢ 57、57内部のイオン交換水58
を空気圧の25倍に増圧し、右（左）側のカートリッジＢ
57、57内のイオン交換水58に流体圧を加える。カートリ
ッジＢ 57、57内のイオン交換水58は右（左）側のカート
リッジＡ 56、56内に注送され、カートリッジＡ56、56内
のイオン交換水58に流体圧を加えることになる。このこ
とにより、カートリッジＡ 56、56内のフェルール保持具
53、54に接続してある管を通ってスラリーがフェルール
62、62内面に注送されることになる。研磨はスラリーが
フェルール62、62内面を流動することにより行われる。
右（左）側のカートリッジＡ56、56のスラリーが左
（右）側のカートリッジＡ 56、56に注送されて移動し終
わった（１パス目）後、左（右）側の増圧器 52、52内部
のイオン交換水58を増圧し、スラリーは逆向きに注送さ
れる(2パス目で1 往復) 。この流動動作を繰り返してフ
ェルールの微細穴内を研磨する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図３、４に示す従来の
軸方向貫通微細穴の処理装置では、加工後のワーク取出
し時にワーク保持具内に残った流体スラリーが漏れ、加
工していくに伴い、流体スラリーが減少していった。さ
らに、ワーク保持具内に残った流体スラリーが次のワー
ク充填の障害ともなった。また、前記従来の装置では、
ワーク充填、ワーク取出し共に、従来は手で行っていた
ため、能率が悪かった。さらに、前記従来の装置では、
ワーク保持具の経時的な寿命や突発的な故障を自動的に
検知することができなかった。
軸方向貫通微細穴の処理装置では、加工後のワーク取出
し時にワーク保持具内に残った流体スラリーが漏れ、加
工していくに伴い、流体スラリーが減少していった。さ
らに、ワーク保持具内に残った流体スラリーが次のワー
ク充填の障害ともなった。また、前記従来の装置では、
ワーク充填、ワーク取出し共に、従来は手で行っていた
ため、能率が悪かった。さらに、前記従来の装置では、
ワーク保持具の経時的な寿命や突発的な故障を自動的に
検知することができなかった。
【０００６】本発明の課題は、かかる従来の軸方向貫通
微細穴の処理装置の課題を解決した、加工後のワーク取
出し時にワーク保持具内に残った流体スラリーの漏れを
抑制し、またワーク保持具内に残った流体スラリーが次
のワーク充填の障害とならない装置を提供することにあ
る。本発明の別の課題は、ワーク取出しが容易な装置を
提供することにある。本発明の他の課題は、ワーク保持
具の経時的な寿命や突発的な故障を自動的に検知する装
置を提供することにある。
微細穴の処理装置の課題を解決した、加工後のワーク取
出し時にワーク保持具内に残った流体スラリーの漏れを
抑制し、またワーク保持具内に残った流体スラリーが次
のワーク充填の障害とならない装置を提供することにあ
る。本発明の別の課題は、ワーク取出しが容易な装置を
提供することにある。本発明の他の課題は、ワーク保持
具の経時的な寿命や突発的な故障を自動的に検知する装
置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため本発明の第１発
明は、一対の流体圧供給装置、各流体圧供給装置と連結
されかつ溶媒を入れた一対のカートリッジＢ、各カート
リッジＢと配管で上層部同士が連結されかつ前記溶媒に
砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカートリッジＡ、
及び各カートリッジＡ下層部と配管で連結された一対の
ワーク保持具を有し、前記ワーク保持具の少なくとも一
方は軸方向貫通微細穴を有するワークを保持し、さらに
前記ワーク保持具の一方はベースに固定した固定ブロッ
クに固定され、前記一対の流体圧供給装置、カートリッ
ジＢ及びカートリッジＡの各一方は前記ベースに固定さ
れ、前記ワーク保持具の他方は前記ベースに固定された
テーブルに固定されたアクチュエータに連結された移動
ブロックに固定されて前記アクチュエータによりテーブ
ル上を往復動可能に支持され、前記カートリッジＢ及び
カートリッジＡの各他方は前記移動ブロックに固定支持
され、前記ワーク保持具の前記他方は前記アクチュエー
タにより、前記一対のワーク保持具の前記一方に押し付
け、密着させることで流路系を密封するようにし、さら
に前記一対の前記ワーク保持具の少なくとも一方のワー
ク保持具に前記垂直方向配管に連通した流体通路を設
け、前記流体通路に逆止弁を介してエアー又は溶媒が導
かれたことを特徴とする微細穴の処理装置を提供するこ
とにより上述した課題を解決した。
明は、一対の流体圧供給装置、各流体圧供給装置と連結
されかつ溶媒を入れた一対のカートリッジＢ、各カート
リッジＢと配管で上層部同士が連結されかつ前記溶媒に
砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカートリッジＡ、
及び各カートリッジＡ下層部と配管で連結された一対の
ワーク保持具を有し、前記ワーク保持具の少なくとも一
方は軸方向貫通微細穴を有するワークを保持し、さらに
前記ワーク保持具の一方はベースに固定した固定ブロッ
クに固定され、前記一対の流体圧供給装置、カートリッ
ジＢ及びカートリッジＡの各一方は前記ベースに固定さ
れ、前記ワーク保持具の他方は前記ベースに固定された
テーブルに固定されたアクチュエータに連結された移動
ブロックに固定されて前記アクチュエータによりテーブ
ル上を往復動可能に支持され、前記カートリッジＢ及び
カートリッジＡの各他方は前記移動ブロックに固定支持
され、前記ワーク保持具の前記他方は前記アクチュエー
タにより、前記一対のワーク保持具の前記一方に押し付
け、密着させることで流路系を密封するようにし、さら
に前記一対の前記ワーク保持具の少なくとも一方のワー
ク保持具に前記垂直方向配管に連通した流体通路を設
け、前記流体通路に逆止弁を介してエアー又は溶媒が導
かれたことを特徴とする微細穴の処理装置を提供するこ
とにより上述した課題を解決した。
【０００８】かかる構成によると、加工後、流体通路、
逆止弁を介してワークを保持するワーク保持具の内部を
エアー又は溶媒で洗浄することができるので、加工後の
ワーク取出し時にワーク保持具内に残った流体スラリー
の漏れを抑制し、またワーク保持具内に残った流体スラ
リーが次のワーク充填の障害とならない微細穴の処理装
置を提供するものとなった。
逆止弁を介してワークを保持するワーク保持具の内部を
エアー又は溶媒で洗浄することができるので、加工後の
ワーク取出し時にワーク保持具内に残った流体スラリー
の漏れを抑制し、またワーク保持具内に残った流体スラ
リーが次のワーク充填の障害とならない微細穴の処理装
置を提供するものとなった。
【０００９】好ましくは一対の各前記ワーク保持具の各
前記垂直方向配管にそれぞれ連通した流体通路が設けら
れ、各前記流体通路にそれぞれ逆止弁及び切換弁をを介
してエアー又は溶媒が導かれることにより、各またワー
ク保持具内に残った流体スラリーが次のワーク充填の障
害とならない微細穴の処理装置を提供するものとなっ
た。また前記ワークを保持するワーク保持具の前記垂直
方向配管に連通した前記流体通路には逆止弁及び切換弁
を介してエアー又は溶媒が導かれ、加工後ワークを取出
すときに、前記ワークが飛出した位置に達するまでに必
要なエアー又は溶媒を前記切換弁を介して供給するよう
にすることにより、ワーク取出しが容易な微細穴の処理
装置を提供するものとなった。
前記垂直方向配管にそれぞれ連通した流体通路が設けら
れ、各前記流体通路にそれぞれ逆止弁及び切換弁をを介
してエアー又は溶媒が導かれることにより、各またワー
ク保持具内に残った流体スラリーが次のワーク充填の障
害とならない微細穴の処理装置を提供するものとなっ
た。また前記ワークを保持するワーク保持具の前記垂直
方向配管に連通した前記流体通路には逆止弁及び切換弁
を介してエアー又は溶媒が導かれ、加工後ワークを取出
すときに、前記ワークが飛出した位置に達するまでに必
要なエアー又は溶媒を前記切換弁を介して供給するよう
にすることにより、ワーク取出しが容易な微細穴の処理
装置を提供するものとなった。
【００１０】本発明の第２発明は、一対の流体圧供給装
置、各流体圧供給装置と連結されかつ溶媒を入れた一対
のカートリッジＢ、各カートリッジＢと配管で上層部同
士が連結されかつ前記溶媒に砥粒を加えたスラリーを入
れた一対のカートリッジＡ、及び各カートリッジＡ下層
部と配管で連結された一対のワーク保持具、を有する微
細穴の処理装置において、前記流体圧供給装置によって
吐出される流体の吐出圧力と吐出時間とを検出するセン
サと、前記センサで検出した前記吐出圧力と吐出時間と
を予め設定した設定吐出圧力及び設定吐出時間と比較す
る比較器と、前記比較器で前記センサで検出した前記吐
出圧力と吐出時間が前記設定吐出圧力又は設定吐出時間
を越えたとき警報を発する警報器と、を有することを特
徴とする微細穴の処理装置を提供することにより上述し
た課題を解決した。
置、各流体圧供給装置と連結されかつ溶媒を入れた一対
のカートリッジＢ、各カートリッジＢと配管で上層部同
士が連結されかつ前記溶媒に砥粒を加えたスラリーを入
れた一対のカートリッジＡ、及び各カートリッジＡ下層
部と配管で連結された一対のワーク保持具、を有する微
細穴の処理装置において、前記流体圧供給装置によって
吐出される流体の吐出圧力と吐出時間とを検出するセン
サと、前記センサで検出した前記吐出圧力と吐出時間と
を予め設定した設定吐出圧力及び設定吐出時間と比較す
る比較器と、前記比較器で前記センサで検出した前記吐
出圧力と吐出時間が前記設定吐出圧力又は設定吐出時間
を越えたとき警報を発する警報器と、を有することを特
徴とする微細穴の処理装置を提供することにより上述し
た課題を解決した。
【００１１】かかる構成によると、流体圧供給装置によ
って吐出される流体の吐出圧力と吐出時間とをセンサで
検出し、その圧力変動と圧力変動時間を監視できるよう
にしたので、ワーク保持具の経時的な寿命や突発的な故
障を自動的に検知できるので、加工不良品を後工程に流
出させることを防止できる。
って吐出される流体の吐出圧力と吐出時間とをセンサで
検出し、その圧力変動と圧力変動時間を監視できるよう
にしたので、ワーク保持具の経時的な寿命や突発的な故
障を自動的に検知できるので、加工不良品を後工程に流
出させることを防止できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態を示す
軸方向貫通微細穴処理装置の概略正面図、図２は図１の
ワーク保持具11、6付近の拡大部分断面図で、ワーク保持
具11、6がそれぞれ有するワーク保持具本体 26、27は閉じ
られた位置にある。本発明の第１発明の実施の形態を示
す微細穴処理装置は図示しないエアコンプレッサが適当
な配管で一対の流体圧供給装置である増圧器9、10と連結
され（エアコンプレッサと連結された一対の増圧器の代
わりに、一対のスラリーポンプを含む流体圧ポンプ、流
体圧シリンダ又は流体圧アキュムレータであってもよ
い）、各増圧器9、10は溶媒 2を入れた一対のカートリッ
ジＢ 21、22とフレキシブルチューブ14及び配管15により
連結され、各カートリッジＢ 21、22は配管 16、17で溶媒
2に砥粒を加えたスラリー3 を入れたカートリッジＡ 3
1、32の上層部同志と連結されている。各カートリッジＡ
31、32下層部は配管 12、13で一対のフェルール保持具1
1、6と連結されている。図１、図２では、フェルール保
持具の一方11が有するフェルール保持具本体27にワーク
である軸方向貫通微細穴を有するフェルール 5を保持
し、フェルール保持具の他方 6が有するフェルール保持
具本体26は、一方のフェルール保持具本体27が保持した
フェルール 5に対応した流入経路28のみを有する（フェ
ルール保持具11、6がそれぞれ有するワーク保持具本体 2
6、27の両方にフェルール 5を保持するようにしてもよ
い）。溶媒 2は、水性溶媒、油、アルコールを含む。図
１では、一対のフェルール保持具 6、11の一方11はベー
ス1に固定した固定ブロック 4に固定され、増圧器の一
方10、カートリッジＢ及びカートリッジＡの各１方 22、
32はベース 1に固定され、一対のフェルール保持具の他
方 6はベース 1に固定されたテーブル20に固定されたア
クチュエータであるシリンダ19のロッド 8（電磁アクチ
ュエータ駆動であってもよい）に連結された移動ブロッ
ク 7に固定されて、シリンダ19のロッド 8によりテーブ
ル上を往復動可能に支持されている。一対のカートリッ
ジＢの他方及びカートリッジＡの各他方 21、31は移動ブ
ロック 7に固定部材18により固定支持され、ワークであ
る軸方向貫通微細穴を有するフェルール 5はフェルール
保持具の一方11が有するフェルール保持具本体27に複数
個取付けられ、一対のフェルール保持具の他方 6が有す
るフェルール保持具本体26は、シリンダ19のロッド 8に
より、フェルール保持具の一方11が有するフェルール保
持具本体27に押し付け密着させることで流路系を密封す
るようにし、さらに一対のフェルール保持具11、6の垂直
方向配管 13、12に連通した流体通路 45、48をそれぞれ設
け（図示しない軸方向貫通微細穴を有するワークである
フェルール 5を保持するフェルール保持具の一方11の垂
直方向配管13に連通した流体通路45だけのみに設けても
よい）、流体通路 45、48に逆止弁46、49を介してエアー
又は溶媒が導かれるようにした。
軸方向貫通微細穴処理装置の概略正面図、図２は図１の
ワーク保持具11、6付近の拡大部分断面図で、ワーク保持
具11、6がそれぞれ有するワーク保持具本体 26、27は閉じ
られた位置にある。本発明の第１発明の実施の形態を示
す微細穴処理装置は図示しないエアコンプレッサが適当
な配管で一対の流体圧供給装置である増圧器9、10と連結
され（エアコンプレッサと連結された一対の増圧器の代
わりに、一対のスラリーポンプを含む流体圧ポンプ、流
体圧シリンダ又は流体圧アキュムレータであってもよ
い）、各増圧器9、10は溶媒 2を入れた一対のカートリッ
ジＢ 21、22とフレキシブルチューブ14及び配管15により
連結され、各カートリッジＢ 21、22は配管 16、17で溶媒
2に砥粒を加えたスラリー3 を入れたカートリッジＡ 3
1、32の上層部同志と連結されている。各カートリッジＡ
31、32下層部は配管 12、13で一対のフェルール保持具1
1、6と連結されている。図１、図２では、フェルール保
持具の一方11が有するフェルール保持具本体27にワーク
である軸方向貫通微細穴を有するフェルール 5を保持
し、フェルール保持具の他方 6が有するフェルール保持
具本体26は、一方のフェルール保持具本体27が保持した
フェルール 5に対応した流入経路28のみを有する（フェ
ルール保持具11、6がそれぞれ有するワーク保持具本体 2
6、27の両方にフェルール 5を保持するようにしてもよ
い）。溶媒 2は、水性溶媒、油、アルコールを含む。図
１では、一対のフェルール保持具 6、11の一方11はベー
ス1に固定した固定ブロック 4に固定され、増圧器の一
方10、カートリッジＢ及びカートリッジＡの各１方 22、
32はベース 1に固定され、一対のフェルール保持具の他
方 6はベース 1に固定されたテーブル20に固定されたア
クチュエータであるシリンダ19のロッド 8（電磁アクチ
ュエータ駆動であってもよい）に連結された移動ブロッ
ク 7に固定されて、シリンダ19のロッド 8によりテーブ
ル上を往復動可能に支持されている。一対のカートリッ
ジＢの他方及びカートリッジＡの各他方 21、31は移動ブ
ロック 7に固定部材18により固定支持され、ワークであ
る軸方向貫通微細穴を有するフェルール 5はフェルール
保持具の一方11が有するフェルール保持具本体27に複数
個取付けられ、一対のフェルール保持具の他方 6が有す
るフェルール保持具本体26は、シリンダ19のロッド 8に
より、フェルール保持具の一方11が有するフェルール保
持具本体27に押し付け密着させることで流路系を密封す
るようにし、さらに一対のフェルール保持具11、6の垂直
方向配管 13、12に連通した流体通路 45、48をそれぞれ設
け（図示しない軸方向貫通微細穴を有するワークである
フェルール 5を保持するフェルール保持具の一方11の垂
直方向配管13に連通した流体通路45だけのみに設けても
よい）、流体通路 45、48に逆止弁46、49を介してエアー
又は溶媒が導かれるようにした。
【００１３】作動においては、図１のフェルール保持具
11、6が開かれた状態でワークであるフェルール 5を複数
個フェルール保持具の一方11が有するフェルール保持具
本体27に取付け、フェルール保持具本体27のフェルール
5にそれぞれ連通可能な連通路28をフェルール保持具の
他方 6が有するフェルール保持具本体26に設け、シリン
ダ19のロッド 8により、フェルール保持具の他方 6が有
するフェルール保持具本体26を、フェルール保持具の一
方11が有するフェルール保持具本体27に押し付け密着さ
せ密封する。次に図示しないエアコンプレッサを稼動し
圧縮空気を図示しないフィルタレギュレータを介して所
定の圧力に制御し、右側の増圧器 9に送気する。増圧器
9と連通する右側のカートリッジＢ21内部の溶媒 2を空
気圧の25倍に増圧し、右側のカートリッジＢ21内の溶媒
2に流体圧を加える。カートリッジＢ21内の溶媒 2は右
側のカートリッジＡ31内に注送され、カートリッジＡ31
内の溶媒 2に流体圧を加えることになる。このことによ
り、カートリッジＡ31内のフェルール保持具 6に接続し
てある配管12を通って溶媒 2に砥粒を加えたスラリー 3
がフェルール 5の軸方向貫通微細穴内面に注送されるこ
とになる。研磨はスラリー 3がフェルール 5の微細穴内
面を流動することにより行われる。右側のカートリッジ
Ａ31のスラリー 3が左側のカートリッジＡ32に注送され
て移動し終わった(1パス目) 後、左側の増圧器10内部の
溶媒 2を増圧し、溶媒 2に砥粒を加えたスラリー 3は逆
向きに注送される(2パス目で1 往復) 。この流動動作を
繰り返してワークであるフェルール 5の微細穴を研磨す
る。
11、6が開かれた状態でワークであるフェルール 5を複数
個フェルール保持具の一方11が有するフェルール保持具
本体27に取付け、フェルール保持具本体27のフェルール
5にそれぞれ連通可能な連通路28をフェルール保持具の
他方 6が有するフェルール保持具本体26に設け、シリン
ダ19のロッド 8により、フェルール保持具の他方 6が有
するフェルール保持具本体26を、フェルール保持具の一
方11が有するフェルール保持具本体27に押し付け密着さ
せ密封する。次に図示しないエアコンプレッサを稼動し
圧縮空気を図示しないフィルタレギュレータを介して所
定の圧力に制御し、右側の増圧器 9に送気する。増圧器
9と連通する右側のカートリッジＢ21内部の溶媒 2を空
気圧の25倍に増圧し、右側のカートリッジＢ21内の溶媒
2に流体圧を加える。カートリッジＢ21内の溶媒 2は右
側のカートリッジＡ31内に注送され、カートリッジＡ31
内の溶媒 2に流体圧を加えることになる。このことによ
り、カートリッジＡ31内のフェルール保持具 6に接続し
てある配管12を通って溶媒 2に砥粒を加えたスラリー 3
がフェルール 5の軸方向貫通微細穴内面に注送されるこ
とになる。研磨はスラリー 3がフェルール 5の微細穴内
面を流動することにより行われる。右側のカートリッジ
Ａ31のスラリー 3が左側のカートリッジＡ32に注送され
て移動し終わった(1パス目) 後、左側の増圧器10内部の
溶媒 2を増圧し、溶媒 2に砥粒を加えたスラリー 3は逆
向きに注送される(2パス目で1 往復) 。この流動動作を
繰り返してワークであるフェルール 5の微細穴を研磨す
る。
【００１４】かかる構成によると、加工後フェルール保
持具の内部を流体通路 45、48に逆止弁 46、49を介してエ
アー又は溶媒で洗浄できるので、加工後のワーク取出し
時にワーク保持具内に残った流体スラリーの漏れを抑制
し、またワーク保持具内に残った流体スラリーが次のワ
ーク充填の障害とならない微細穴の処理装置を提供する
ものとなった。
持具の内部を流体通路 45、48に逆止弁 46、49を介してエ
アー又は溶媒で洗浄できるので、加工後のワーク取出し
時にワーク保持具内に残った流体スラリーの漏れを抑制
し、またワーク保持具内に残った流体スラリーが次のワ
ーク充填の障害とならない微細穴の処理装置を提供する
ものとなった。
【００１５】図１の本発明の実施の形態を示す微細穴処
理装置では、フェルール 5を保持するフェルール保持具
の一方11の垂直方向配管13に連通した流体通路45、逆止
弁46及び切換弁47をを介してエアー又は溶媒が導かれ、
加工後ワークであるフェルール 5を取出すときに、フェ
ルール 5が飛出した位置に達するまでに必要なエアー又
は溶媒を切換弁47をを介して供給することにより、多数
のフェルール 5の取外しを容易にすることができる。
理装置では、フェルール 5を保持するフェルール保持具
の一方11の垂直方向配管13に連通した流体通路45、逆止
弁46及び切換弁47をを介してエアー又は溶媒が導かれ、
加工後ワークであるフェルール 5を取出すときに、フェ
ルール 5が飛出した位置に達するまでに必要なエアー又
は溶媒を切換弁47をを介して供給することにより、多数
のフェルール 5の取外しを容易にすることができる。
【００１６】本発明の第２発明の実施の形態を示す微細
穴処理装置は、図１に示すように、図示しないエアコン
プレッサが適当な配管で一対の流体圧供給装置である増
圧器9、10と連結され（エアコンプレッサと連結された一
対の増圧器の代わりに、一対のスラリーポンプを含む流
体圧ポンプ、流体圧シリンダ又は流体圧アキュムレータ
であってもよい）、各増圧器9、10は溶媒 2を入れた一対
のカートリッジＢ 21、22とフレキシブルチューブ14及び
配管15により連結され、各カートリッジＢ 21、22は配管
16、17で溶媒 2に砥粒を加えたスラリー 3を入れたカー
トリッジＡ 31、32の上層部同志と連結されている。各カ
ートリッジＡ 31、32下層部は配管 12、13で一対のフェル
ール保持具11、6と連結されている。増圧器 9によって増
圧して吐出する流体の吐出圧力と吐出時間とを検出する
センサ36と、センサ36で検出した吐出圧力と吐出時間と
を予め設定した設定吐出圧力及び設定吐出時間と比較す
る比較器37と、比較器37で前記センサで検出した前記吐
出圧力と吐出時間が前記設定吐出圧力又は設定吐出時間
を越えたとき警報を発する警報器38とを有する。
穴処理装置は、図１に示すように、図示しないエアコン
プレッサが適当な配管で一対の流体圧供給装置である増
圧器9、10と連結され（エアコンプレッサと連結された一
対の増圧器の代わりに、一対のスラリーポンプを含む流
体圧ポンプ、流体圧シリンダ又は流体圧アキュムレータ
であってもよい）、各増圧器9、10は溶媒 2を入れた一対
のカートリッジＢ 21、22とフレキシブルチューブ14及び
配管15により連結され、各カートリッジＢ 21、22は配管
16、17で溶媒 2に砥粒を加えたスラリー 3を入れたカー
トリッジＡ 31、32の上層部同志と連結されている。各カ
ートリッジＡ 31、32下層部は配管 12、13で一対のフェル
ール保持具11、6と連結されている。増圧器 9によって増
圧して吐出する流体の吐出圧力と吐出時間とを検出する
センサ36と、センサ36で検出した吐出圧力と吐出時間と
を予め設定した設定吐出圧力及び設定吐出時間と比較す
る比較器37と、比較器37で前記センサで検出した前記吐
出圧力と吐出時間が前記設定吐出圧力又は設定吐出時間
を越えたとき警報を発する警報器38とを有する。
【００１７】かかる構成によると本発明の第２発明は、
増圧器 9によって増圧して吐出する流体の吐出圧力と吐
出時間とをセンサ36で検出し、その圧力変動と圧力変動
時間を監視できるようにしたので、ワーク保持具の経時
的な寿命や突発的な故障を自動的に検知できるので、加
工不良品を後工程に流出させることを防止できる。
増圧器 9によって増圧して吐出する流体の吐出圧力と吐
出時間とをセンサ36で検出し、その圧力変動と圧力変動
時間を監視できるようにしたので、ワーク保持具の経時
的な寿命や突発的な故障を自動的に検知できるので、加
工不良品を後工程に流出させることを防止できる。
【００１８】図１示すように、各フェルール保持具 26、
27、カートリッジＡ 31、32及びカートリッジＢ 21、22の
下方に、シュート30及び収容容器34を設けることによ
り、流路系の流体の漏れ、又は各カートリッジＡ及びカ
ートリッジＢ内の流体の交換作業など際、漏れた流体を
装置の中に残りにくくし、回収し易い装置を提供するも
のとなった。
27、カートリッジＡ 31、32及びカートリッジＢ 21、22の
下方に、シュート30及び収容容器34を設けることによ
り、流路系の流体の漏れ、又は各カートリッジＡ及びカ
ートリッジＢ内の流体の交換作業など際、漏れた流体を
装置の中に残りにくくし、回収し易い装置を提供するも
のとなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１発明及び第２発明の実施の形態を
示す微細穴処理装置の概略縦断面図を示す。
示す微細穴処理装置の概略縦断面図を示す。
【図２】図１のワーク保持具11、6付近の拡大部分断面図
で、ワーク保持具11、6がそれぞれ有するワーク保持具本
体 26、27は閉じられた位置にある。
で、ワーク保持具11、6がそれぞれ有するワーク保持具本
体 26、27は閉じられた位置にある。
【図３】従来の微細穴処理装置の概略縦断面図を示す。
【図４】図３のフェルール保持具の詳細図を示す。
1・・・ベース 2・・・ 溶媒 3・・・
スラリー 4・・・固定ブロック 5・・・ ワーク（フェルール） 6、11・・ワーク保持具（フェルール保持具） 7・・・
移動ブロック 8・・・ロッド 9、10・・・増圧器（流体圧供給
装置） 12、13、15、16、17・・・ 配管 14・・フレキシブルチューブ 18・・・ 固定部材 19・・・ シリンダ（アクチュ
エータ） 20・・・ テーブル 21、22・・カートリッジＢ 26、2
7・・・ワーク保持具本体 28、29・・・流入経路 30・・・シュート 31、3
2・・ カートリッジＡ 34・・・ 収容容器 36・・・センサ 37・・
・ 比較器 38・・・ 警報器 45、48・・・横方向流体通路 46、4
9・・・逆止弁 47、50・・・切換弁
スラリー 4・・・固定ブロック 5・・・ ワーク（フェルール） 6、11・・ワーク保持具（フェルール保持具） 7・・・
移動ブロック 8・・・ロッド 9、10・・・増圧器（流体圧供給
装置） 12、13、15、16、17・・・ 配管 14・・フレキシブルチューブ 18・・・ 固定部材 19・・・ シリンダ（アクチュ
エータ） 20・・・ テーブル 21、22・・カートリッジＢ 26、2
7・・・ワーク保持具本体 28、29・・・流入経路 30・・・シュート 31、3
2・・ カートリッジＡ 34・・・ 収容容器 36・・・センサ 37・・
・ 比較器 38・・・ 警報器 45、48・・・横方向流体通路 46、4
9・・・逆止弁 47、50・・・切換弁
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年１１月１２日（２００２．１１．
１２）
１２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため本発明の第１発
明は、一対の流体圧供給装置、各流体圧供給装置からの
加圧流体が作用する溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れ
た一対のカートリッジＡ、及び各カートリッジＡ下層部
と配管で連結された一対のワーク保持具を有し、前記ワ
ーク保持具の少なくとも一方は軸方向貫通微細穴を有す
るワークを保持し、さらに前記ワーク保持具の一方はベ
ースに固定した固定ブロックに固定され、前記一対の流
体圧供給装置及びカートリッジＡの各一方は前記ベース
に固定され、前記ワーク保持具の他方は前記ベースに固
定されたテーブルに固定されたアクチュエータに連結さ
れた移動ブロックに固定されて前記アクチュエータによ
りテーブル上を往復動可能に支持され、前記カートリッ
ジＡの他方は前記移動ブロックに固定支持され、前記ワ
ーク保持具の前記他方は前記アクチュエータにより、前
記一対のワーク保持具の前記一方に押し付け、密着させ
ることで流路系を密封するようにし、さらに前記一対の
前記ワーク保持具の少なくとも一方のワーク保持具に前
記垂直方向配管に連通した流体通路を設け、前記流体通
路に逆止弁を介してエアー又は溶媒が導かれたことを特
徴とする微細穴の処理装置を提供することにより、上述
した課題を解決した。
明は、一対の流体圧供給装置、各流体圧供給装置からの
加圧流体が作用する溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れ
た一対のカートリッジＡ、及び各カートリッジＡ下層部
と配管で連結された一対のワーク保持具を有し、前記ワ
ーク保持具の少なくとも一方は軸方向貫通微細穴を有す
るワークを保持し、さらに前記ワーク保持具の一方はベ
ースに固定した固定ブロックに固定され、前記一対の流
体圧供給装置及びカートリッジＡの各一方は前記ベース
に固定され、前記ワーク保持具の他方は前記ベースに固
定されたテーブルに固定されたアクチュエータに連結さ
れた移動ブロックに固定されて前記アクチュエータによ
りテーブル上を往復動可能に支持され、前記カートリッ
ジＡの他方は前記移動ブロックに固定支持され、前記ワ
ーク保持具の前記他方は前記アクチュエータにより、前
記一対のワーク保持具の前記一方に押し付け、密着させ
ることで流路系を密封するようにし、さらに前記一対の
前記ワーク保持具の少なくとも一方のワーク保持具に前
記垂直方向配管に連通した流体通路を設け、前記流体通
路に逆止弁を介してエアー又は溶媒が導かれたことを特
徴とする微細穴の処理装置を提供することにより、上述
した課題を解決した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】本発明の第２発明は、一対の流体圧供給装
置、各流体圧供給装置からの加圧流体が作用する溶媒に
砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカートリッジＡ、
及び各カートリッジＡ下層部と配管で連結された一対の
ワーク保持具を有する微細穴の処理装置において、前記
流体圧供給装置によって吐出される流体の吐出圧力と吐
出時間とを検出するセンサと、前記センサで検出した前
記吐出圧力と吐出時間とを予め設定した設定吐出圧力及
び設定吐出時間と比較する比較器と、前記比較器で前記
センサで検出した前記吐出圧力と吐出時間が前記設定吐
出圧力又は設定吐出時間を越えたとき警報を発する警報
器と、を有することを特徴とする微細穴の処理装置を提
供することにより上述した課題を解決した。
置、各流体圧供給装置からの加圧流体が作用する溶媒に
砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカートリッジＡ、
及び各カートリッジＡ下層部と配管で連結された一対の
ワーク保持具を有する微細穴の処理装置において、前記
流体圧供給装置によって吐出される流体の吐出圧力と吐
出時間とを検出するセンサと、前記センサで検出した前
記吐出圧力と吐出時間とを予め設定した設定吐出圧力及
び設定吐出時間と比較する比較器と、前記比較器で前記
センサで検出した前記吐出圧力と吐出時間が前記設定吐
出圧力又は設定吐出時間を越えたとき警報を発する警報
器と、を有することを特徴とする微細穴の処理装置を提
供することにより上述した課題を解決した。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 清都 俊之
富山県富山市不二越本町一丁目１番１号株
式会社不二越内
Ｆターム(参考） 3C043 AC03 CC07 DD05 DD11
3C049 AA07 AA11 AB03 AB04 AC04
CB03
3C058 AA07 AA11 AB03 AB04 AC04
CB03
Claims (5)
- 【請求項１】一対の流体圧供給装置、各流体圧供給装置
と連結されかつ溶媒を入れた一対のカートリッジＢ、各
カートリッジＢと配管で上層部同士が連結されかつ前記
溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカートリッ
ジＡ、及び各カートリッジＡ下層部と配管で連結された
一対のワーク保持具を有し、前記ワーク保持具の少なく
とも一方は軸方向貫通微細穴を有するワークを保持し、
さらに前記ワーク保持具の一方はベースに固定した固定
ブロックに固定され、前記一対の流体圧供給装置、カー
トリッジＢ及びカートリッジＡの各一方は前記ベースに
固定され、前記ワーク保持具の他方は前記ベースに固定
されたテーブルに固定されたアクチュエータに連結され
た移動ブロックに固定されて前記アクチュエータにより
テーブル上を往復動可能に支持され、前記カートリッジ
Ｂ及びカートリッジＡの各他方は前記移動ブロックに固
定支持され、前記ワーク保持具の前記他方は前記アクチ
ュエータにより、前記一対のワーク保持具の前記一方に
押し付け、密着させることで流路系を密封するように
し、さらに前記一対の前記ワーク保持具の少なくとも一
方のワーク保持具に前記垂直方向配管に連通した流体通
路を設け、前記流体通路に逆止弁を介してエアー又は溶
媒が導かれたことを特徴とする微細穴の処理装置。 - 【請求項２】一対の各前記ワーク保持具の各前記垂直方
向配管にそれぞれ連通した流体通路が設けられ、各前記
流体通路にそれぞれ逆止弁及び切換弁をを介してエアー
又は溶媒が導かれたことを特徴とする請求項１に記載の
微細穴の処理装置。 - 【請求項３】前記ワークを保持するワーク保持具の前記
垂直方向配管に連通した前記流体通路には逆止弁及び切
換弁を介してエアー又は溶媒が導かれ、加工後ワークを
取出すときに、前記ワークが飛出した位置に達するまで
に必要なエアー又は溶媒を前記切換弁を介して供給する
ようにしたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記
載の微細穴の処理装置。 - 【請求項４】各前記ワーク保持具、カートリッジＡ及び
カートリッジＢの下方に、シュート及び収容容器を設け
たことを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に
記載の微細穴の処理装置。 - 【請求項５】一対の流体圧供給装置、各流体圧供給装置
と連結されかつ溶媒を入れた一対のカートリッジＢ、各
カートリッジＢと配管で上層部同士が連結されかつ前記
溶媒に砥粒を加えたスラリーを入れた一対のカートリッ
ジＡ、及び各カートリッジＡ下層部と配管で連結された
一対のワーク保持具、を有する微細穴の処理装置におい
て、前記流体圧供給装置によって吐出される流体の吐出
圧力と吐出時間とを検出するセンサと、前記センサで検
出した前記吐出圧力と吐出時間とを予め設定した設定吐
出圧力及び設定吐出時間と比較する比較器と、前記比較
器で前記センサで検出した前記吐出圧力と吐出時間が前
記設定吐出圧力又は設定吐出時間を越えたとき警報を発
する警報器と、を有することを特徴とする微細穴の処理
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002250323A JP3853273B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-08-29 | 微細穴の処理装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002032615 | 2002-02-08 | ||
| JP2002-32615 | 2002-02-08 | ||
| JP2002250323A JP3853273B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-08-29 | 微細穴の処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003300146A true JP2003300146A (ja) | 2003-10-21 |
| JP3853273B2 JP3853273B2 (ja) | 2006-12-06 |
Family
ID=29405008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002250323A Expired - Lifetime JP3853273B2 (ja) | 2002-02-08 | 2002-08-29 | 微細穴の処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3853273B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007090507A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Nachi Fujikoshi Corp | 微細穴の流動加工装置 |
| JP2021003798A (ja) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | 天陽航太科技股▲分▼有限公司 | ワークピースの内部表面の粗さを低減する処理装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111843707A (zh) * | 2020-07-17 | 2020-10-30 | 王金琪 | 一种垃圾桶顶盖安装孔打磨去毛刺机构 |
-
2002
- 2002-08-29 JP JP2002250323A patent/JP3853273B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007090507A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Nachi Fujikoshi Corp | 微細穴の流動加工装置 |
| JP2021003798A (ja) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | 天陽航太科技股▲分▼有限公司 | ワークピースの内部表面の粗さを低減する処理装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3853273B2 (ja) | 2006-12-06 |
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|---|---|---|---|
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