JP2003300001A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が、基板上に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、該溶液中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって形成される機能性素子基板の製造装置において、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段と、前記噴射ヘッドの溶液噴射口面をキャップして吸引する信頼性維持装置とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドに供給される前記溶液は前記噴射ヘッドとは独立に設けられた容器に貯留され、該容器と前記噴射ヘッドとは可撓性の供給路を介して連結されるとともに、前記容器より下流側に少なくとも２種類のフィルタを設け、最下流に設けたフィルタは着脱不可に固定し、それより上流側に設けたフィルタを着脱可能とするとともに、前記信頼性維持装置を前記機能性素子基板設置領域以外に設けたことを特徴とする機能性素子基板の製造装置。
2. 所定の駆動信号を入力することにより機能を発する機能性素子群が、基板上に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、該溶液中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記基板上に残留させることによって形成される機能性素子基板の製造装置において、前記基板に相対する位置に配され、該基板に対して機能性材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに液滴付与情報を入力する情報入力手段と、前記噴射ヘッドの溶液噴射口面をキャップして吸引する信頼性維持装置とを有し、前記基板における前記機能性素子群の形成面と前記噴射ヘッドの溶液噴射口面とが一定の距離を保持し、前記基板と前記噴射ヘッドとが前記機能性素子群の形成面に対して平行に相対移動を行うように構成され、前記噴射ヘッドは、前記情報入力手段により入力された前記液滴付与情報に基づいて前記基板の所望の位置に前記溶液を噴射することにより前記機能性素子群を形成する製造装置であって、前記噴射ヘッドに供給される前記溶液は前記噴射ヘッドとは独立に設けられた容器に貯留され、該容器と前記噴射ヘッドとは可撓性の供給路を介して連結されるとともに、前記容器より下流側に少なくとも２種類のフィルタを設け、最下流に設けたフィルタは着脱不可に固定し、それより上流側に設けたフィルタを着脱可能とするとともに、前記噴射ヘッドは前記溶液噴射方向に対して配置の向きを可変とし、溶液噴射時の向きと異なる向きに配置して、前記噴射ヘッドに前記信頼性維持装置を装着することを特徴とする機能性素子基板の製造装置。
3. 前記信頼性維持装置によって、前記最下流に設けたフィルタより下流の領域の内容積分以上の溶液を吸引することを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の機能性素子基板の製造装置。