JP2003299905A

JP2003299905A - 樹脂中の金属不純物を低減する方法

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Publication number: JP2003299905A
Application number: JP2002109092A
Authority: JP
Inventors: Norifumi Yamaguchi; 訓史山口; Kazuhiko Hashimoto; 和彦橋本
Original assignee: Sumitomo Chemical Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date: 2002-04-11
Filing date: 2002-04-11
Publication date: 2003-10-21
Anticipated expiration: 2022-04-11
Also published as: JP4396081B2

Abstract

(57)【要約】【課題】樹脂溶液から、樹脂に変性を与えず、樹脂中の
金属不純物を、工業用規模でも処理可能であって、充分
にかつ安定的に低減する方法を提供する。【解決手段】〔１〕次の工程を含むことを特徴とする樹
脂または樹脂溶液中の金属不純物を低減する方法。金属不純物を含む樹脂を溶解した溶液と還元剤とを
混合する工程前記で得られた混合物と吸着剤とを混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程〔２〕次の工程を含むことを特徴とする樹脂または樹脂
溶液中の金属不純物を低減する方法。金属不純物を含む樹脂を溶解した溶液と還元剤とを
混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程前記で得られたろ液と吸着剤とを混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂に含有される
金属不純物の含有量を低減する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、樹脂そのものの機能化および高性
能化を指向し、樹脂構造も多様化しており、それに伴
い、重合法も多様化しており、遷移金属等の金属触媒を
用いた重合法も盛んに検討されている。しかし、金属、
特に遷移金属を触媒として用いる重合法では、樹脂中に
金属が残存する可能性が生じる。特に電子材料分野で
は、樹脂中の金属含量が問題となることが多い。たとえ
ば、半導体集積回路を形成するときに用いるレジストで
は、金属含量が多い場合、描かれたパターン中に金属が
残存し、半導体の電気特性を低下させることから、金属
含量の低減が大きな課題となっている。

【０００３】従来から用いられてきた金属不純物の除去
方法として、重合体を貧溶媒で洗浄する方法、貧溶媒で
重合反応触媒を析出する方法、水酸基を有する化合物の
存在下で重合反応液を活性アルミナ、ゼオライトなどの
吸着剤で処理する方法（特開平３−６６７２５号公
報）、層状粘土鉱物に金属不純物を吸着させ、沈殿物を
ろ過などにより除去する方法（特開平８−２０８７４２
号公報）などが挙げられる。しかし、電子材料分野、特
に微細化の要求が進んでいるレジストなどの分野におけ
る使用可能なレベルの金属分まで再現性良く低減するこ
とは困難であった。

【０００４】また、金属の水層抽出法は、再現性の良い
金属低減方法として有効である（特開平５−１９４６３
号公報）。しかし、樹脂中に含まれる、触媒等に由来す
る金属不純物を除去するには、未だ不充分な場合があっ
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、樹脂
溶液から、樹脂に変性を与えず、樹脂中の金属不純物
を、工業用規模でも処理可能であって、充分にかつ安定
的に低減する方法を提供することにある。さらに、本発
明の目的は、化学増幅型レジスト用の樹脂、特にＡｒＦ
用、Ｆ₂用樹脂中の金属不純物を、工業用規模でも処理
可能であって、当該レジストなどの分野における使用可
能なレベルの金属分まで充分にかつ安定的に除去する方
法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意検討し
た結果、金属不純物を含む樹脂の溶液と還元剤とを混合
し、さらに吸着剤を使用することにより、またさらに水
層抽出を行うことにより、これらの課題を達成できるこ
とを見出し、本発明に至った。すなわち、本発明は、
〔１〕次の工程を含む樹脂または樹脂溶液中の金属不純
物を低減する方法に係るものである。金属不純物を含む樹脂を溶解した溶液と還元剤とを
混合する工程前記で得られた混合物と吸着剤とを混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程さらに、本発明は、〔２〕次の工程を含む樹脂または樹
脂溶液中の金属不純物を低減する方法に係るものであ
る。金属不純物を含む樹脂を溶解した溶液と還元剤とを
混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程前記で得られたろ液と吸着剤とを混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程また、本発明は、〔３〕前記〔１〕または〔２〕に記載
の方法により、得られた金属不純物を低減させた樹脂ま
たは樹脂溶液を、有機溶媒に溶解し、得られた溶液を、
水、酸性水溶液および硫黄化合物を含有する水溶液から
なる群から選ばれた少なくとも１種と接触させて水層抽
出する樹脂または樹脂溶液中の金属不純物を低減する方
法に係るものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明における樹脂としては、金
属不純物を含有する樹脂であり、かつ有機溶媒溶液を調
製できるものであれば特に限定されない。単に単量体を
重合させたものでも良いし、重合後に水素添加など変性
を行ったものでも良い。例えば、ポリカーボネート、ポ
リフェニレンサルファイド、ポリアクリロニトリルスチ
レン、ニトリルブタジエンゴム、ブチルゴム、ポリブタ
ジエン、ポリイソプレン、ポリスチレン、スチレン・ブ
ラジエン・スチレン・ブロック共重合体、ノルボルネン
系付加重合体、ノルボルネン系単量体と、エチレン等の
α−オレフィンとの付加型共重合体、ノルボルネン系開
環重合体や、これらの水素添加物などが例示される。本
発明における好ましい樹脂としては、ノルボルネン類の
付加型共重合体、ノルボルネン系単量体とエチレン等の
α−オレフィンとの付加重合体や、ノルボルネン系開環
重合体などのノルボルネン系樹脂、より好ましくは、パ
ラジウムやニッケルを触媒として用いるノルボルネン類
の付加型重合体などが挙げられる。本発明は、特に、半
導体分野で用いられるフォトレジスト用の樹脂に好適に
用いられ、該樹脂として、具体的にはノルボルネン系付
加重合体、ノルボルネン系単量体とエチレン等のα−オ
レフィンとの付加型共重合体、ノルボルネン系開環重合
体や、これらの水素添加物などが挙げられ、より好まし
くは、パラジウムやニッケルを触媒として用いるノルボ
ルネン類の付加型重合体などが挙げられる。

【０００８】樹脂中に含有される金属不純物としては、
特に限定されないが、代表的なものとしては、重合触媒
や水素添加などの変性に用いられる金属残渣、例えば、
Ｔｉ、Ｗ、Ｓｎ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｐｔ、Ｍｏ、Ｒｈ、Ｚ
ｒ，Ｒｕ、Ｖなどの酸化物、ハロゲン化物、配位体、イ
オンなどが例示され、樹脂中の金属の存在形態は限定さ
れない。

【０００９】本発明において、樹脂を溶解する溶媒は、
有機溶媒が好ましい。本発明における有機溶媒は、樹脂
を変性せず、溶解できるものであれば、特に限定されな
い。ヘキサン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエンな
どの炭化水素系溶媒；テトラヒドロフラン、１、４−ジ
オキサンなどのエーテル系溶媒；ジクロロメタン、１、
２−ジクロロエタン、クロロホルムなどのハロゲン化炭
化水素溶媒；アセトン、メチルイソブチルケトンなどの
ケトン系溶媒；酢酸エチルや酢酸ブチルなどのエステル
類などの一般的な溶媒を用いることができ、またこれら
の混合溶媒でも良い。

【００１０】樹脂を有機溶媒に溶解する際の有機溶媒の
使用量は、特に限定されるものではないが、有機溶媒を
あまり多く用いると全体の液量が増加し、操作上の問題
を生ずることがあり、また有機溶媒の量があまり少ない
と、水または水溶液で処理したあとの水層との分離が悪
くなるなど問題を生ずることがある。好適な有機溶媒の
使用量は、樹脂固形分重量に対して、１〜５０倍であ
り、より好ましくは、３〜２０倍程度、さらに好ましく
は、４〜１０倍程度である。

【００１１】本発明で用いることができる樹脂溶液は、
６０℃で測定した粘度が好ましくは１,０００,０００ｃ
ｐｓ以下、さらに好ましくは１００,０００ｃｐｓ以
下、特に好ましくは５０,０００ｃｐｓ以下に調製した
ものである。

【００１２】本発明で用いることができる還元剤は、樹
脂を変性させないものが利用できる。たとえば、水素化
ナトリウム、水素化カルシウム、水素化アルミニウムリ
チウム、水素化ホウ素ナトリウム、水素化ホウ素リチウ
ム、水素化ホウ素カリウム、水素化アルミニウムジボラ
ン、トリアルキルシラン類、ボラン類、水素化ホウ素ト
リブチルアンモニウム等の錯水素化化合物；ジアルキル
アルミニウム等の金属水素化物；水素化ナトリウムビス
（２−メトキシ−エトキシアルミニウム）、水素、ヒド
ラジン類などが挙げられる。中でも、水素化ナトリウ
ム、水素化カルシウム、水素化アルミニウムリチウム、
水素化ホウ素ナトリウム、水素化ホウ素リチウム、水素
化ホウ素カリウム、水素化アルミニウムジボラン、水素
が好ましい。また、還元剤を構成する金属は、それ自身
も金属不純物となるので、典型金属であって、イオン化
能が高く、水層抽出により除去しやすいものが良い。

【００１３】本発明〔１〕において、金属不純物を
含む樹脂を溶解した溶液と還元剤とを混合する方法とし
ては、金属不純物を含む樹脂を溶解した溶液に還元剤を
添加して混合してもよく、金属不純物を含む樹脂溶液と
還元剤を含む溶液とを混合してもよく、金属不純物を含
む樹脂溶液に還元剤を含む溶液を添加して混合してもよ
く、還元剤を含む溶液に金属不純物を含む樹脂溶液を添
加して混合してもよい。該混合方法として、好ましく
は、混合槽内で攪拌羽根により攪拌する方法、混合槽を
振とうして内容物を撹拌する方法などが挙げられる。金
属不純物を含む樹脂溶液と還元剤とを混合することによ
り、理由は詳らかではないが、金属不純物が凝集し、ろ
過を行うことにより、大幅に金属不純物を低減すること
ができると考えられる。本発明〔１〕において、次に、
前記混合物と吸着剤とを混合する。この場合の混
合方法としても前記に準じた混合方法が挙げられる。該
吸着剤として、活性炭、活性アルミナ、ゼオライト、層
状粘土鉱物などが挙げられ、活性炭が好ましい。次に、
前記で得られた混合物をろ過する。該ろ過の方法
としては、公知の方法が挙げられる。例えば、ヌッチェ
を吸引瓶に接続し、ヌッチェにろ紙を引き、樹脂液に使
用されている少量の溶媒を注ぎ軽く吸引し、ろ紙をろ過
板に密着させてから、同じ溶媒のろ過助剤懸濁液をろ紙
上に流し、その後、該ろ過助剤層上に樹脂液を流し、吸
引ろ過する方法が挙げられる。該ろ過助剤として、珪藻
土が挙げられ、商品名セライトや商品名ラジオライトの
珪藻土を用いることができる。

【００１４】本発明〔２〕は、前記の本発明〔１〕にお
いて、混合物と吸着剤とを混合する工程の次に、
該で得られた混合物をろ過の工程を含む。該ろ過の
工程を含む方が、金属不純物の含量がより少なくなるの
で好ましい。該ろ過の方法としては、前記のろ過の方法
が挙げられる。本発明〔２〕において、次に、前記
で得られたろ液と吸着剤とを混合する。この場合の混
合方法としても前記に準じた混合方法が挙げられる。該
吸着剤として、活性炭、活性アルミナ、ゼオライト、層
状粘土鉱物などが挙げられ、活性炭が好ましい。次に、
前記で得られた混合物をろ過する。該ろ過の方法
としては、前記のろ過の方法が挙げられる。

【００１５】本発明の方法において、必要に応じて、工
程の一部を繰り返すことができる。本発明の方法を行う
ことにより、また必要に応じて繰り返すことにより、樹
脂溶液に含まれる金属不純物量は、１０ｐｐｍ以下に低
減でき、良好な結果では、１ｐｐｍ以下にまで低減でき
る。

【００１６】このようにして得られた溶液から、水層抽
出法により、さらに該金属不純物を低減することができ
るので、好ましい。具体的には、前記の方法により得ら
れた、金属不純物を低減させた樹脂または樹脂溶液を、
有機溶媒に溶解し、得られた溶液を、硫黄化合物を含有
する水溶液、酸性水溶液、および水からなる群から選ば
れた少なくとも１種と接触させて水層抽出することが好
ましい。水層抽出法では、水と混ざり合わない溶媒を選
択する必要がある。樹脂溶液と還元剤とを混合する場合
の溶媒と異なっても良い。その場合は、濃縮により、溶
媒置換を行うこととなる。

【００１７】水層抽出法で用いる有機溶媒は、２０℃に
おける水に対する溶解度が１００ｇ／ｃｃ以下のもの、
すなわち、２０℃の水１００ｃｃに溶ける最大量が１０
０ｇ以下のものである。もちろん、実質的に水に溶解し
ないものであっても良い。好ましくは、２０℃における
水に対する溶解度が３０ｇ／ｃｃ以下であるもの、さら
に好ましくは、２０ｇ／ｃｃ以下であるものが用いられ
る。

【００１８】２０℃における水に対する溶解度が１００
ｇ／ｃｃである有機溶媒の具体例としては、ジエチルエ
ーテル、ｔ−ブチルメチルエーテルのようなエーテル
類；酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソアミルのよ
うな酢酸エステル類；メチルエチルケトン、メチルイソ
ブチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、２
−ペンタノンのようなケトン類；トルエン、キシレンの
ような芳香族炭化水素類などが挙げられる。

【００１９】本発明における溶媒は、単独で用いること
もできるし、また２種以上を混合して用いることもでき
る。

【００２０】本発明において、水層抽出をする場合は、
最後に少なくとも１回は水を用いて水層抽出をすること
が好ましい。例えば、硫黄化合物を含む水溶液で水層抽
出を行い、ついで酸性水溶液で水層抽出を行い、最後に
水を用いて水層抽出をすることが好ましい。また、各水
溶液での処理の回数は、複数回行うことが、金属含有量
を一層低減するのに効果的である。

【００２１】水層抽出で用いる硫黄化合物含有水溶液と
しては、チオ尿素、チオ硫酸アンモニウム、チオ硫酸ナ
トリウム、チオシアン酸ナトリウム、チオシアン酸アン
モニウム等の水溶液が挙げられ、好ましくはチオ硫酸ナ
トリウム、チオシアン酸ナトリウムの水溶液が挙げられ
る。

【００２２】水層抽出で用いる酸性水溶液とするための
酸としては、ギ酸、蓚酸、酢酸、塩酸、硫酸、硝酸など
が挙げられ、なかでも蓚酸が好ましく用いられる。ま
た、酸性水溶液は、水に酸を加えてｐＨを約５以下とし
たものが好ましい。

【００２３】水層抽出は、通常、１０℃〜６０℃程度、
好ましくは２０℃〜４０℃程度の温度で、撹拌等により
充分に混合させたあと、静置することによって行われ
る。これにより、樹脂溶液に含まれていた金属不純物が
水層に移行する。そして得られる混合物は、樹脂溶液層
と水層に分かれるので、デカンテーションなどにより両
層を分離する。

【００２４】こうして得られる樹脂溶液は、金属不純物
量が大幅に低減されたものとなり、ｐｐｂレベルの金属
分を要求されるレジストにも適用可能となる。樹脂溶液
は、最終的な用途に合わせ、脱水し、樹脂溶液を得ても
良いし、貧溶媒へのチャージにより樹脂粉体を取り出し
ても良い。上記において、本発明の実施の形態について
説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態
は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実
施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の
範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均
等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものであ
る。

【００２５】

【実施例】次に実施例を挙げて、本発明をさらに具体的
に説明するが、本発明はこれらの実施例によってなんら
限定されるものではない。［重合工程］銀テトラフルオロボレート０.７ｇをスク
リュー管にはかり取り、１、２−ジクロロエタンを２
１.９ｇ加え撹拌させた。続いてπ−アリルパラジウム
クロロブリッジダイマー０.５９ｇを添加し、３０分室
温で撹拌した。その後、濾過し、ろ液である触媒液を、
撹拌子を入れておいた２００ｍｌ四つ口フラスコに仕込
んだ。撹拌しながら、モノマーである５−ノルボルネン
−２−（２，２−ジトリフルオロメチル−２−ヒドロキ
シ）エチル２２ｇの１、２−ジクロロエタン溶液（５０
重量％）を２時間かけて滴下した。この状態で１２時間
撹拌し、黄色粘稠液体を得た。

【００２６】［樹脂溶液と還元剤との混合］重合マスに
テトラヒドロフラン４３.９ｇを加え、希釈した。Ｎａ
ＢＨ₄３.６３ｇを２−プロパノール２１.７９ｇに加え
スラリーを作成しておき、このスラリーを重合マス希釈
液に加えた。溶液は、黄色から黒色に変化し、触媒由来
のＰｄが、析出していることを確認した。この状態で６
時間撹拌後、珪藻土（林純薬製、商品名セライトＮｏ．
５３５）をろ材に用い、濾過した。

【００２７】［得られたろ液と活性炭との混合およびろ
過］上記ろ液を５００ｍｌナスフラスコに取り、活性炭
５.５ｇ、撹拌子を加え、２時間撹拌した。その後、再
度、珪藻土（林純薬製、商品名セライトＮｏ．５３５）
をろ材に用い、濾過した。無色透明のろ液が得られた。
このろ液を金属分析した（サンプルＮｏ．ＭＹ−３２８
−１）。

【００２８】［水層抽出工程］上記ろ液を５００ｍｌナ
スフラスコに取り、濃縮し、固形分５０％の樹脂溶液を
得た。これに酢酸エチル３００ｇを加え、イオン交換水
洗浄４回、０.５％チオ硫酸ナトリウム水抽出３回、２
％蓚酸水洗浄２回、イオン交換水洗浄４回を行った。こ
の樹脂溶液を金属分析した（サンプルＮｏ．ＭＹ−３２
８−２）。

【００２９】金属分析の結果を表１に示す。

【表１】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ サンプルＮｏ．樹脂溶液 Pd分(ppb) Pd分(ppb;樹脂換算) ────────────────────────────────── ＭＹ−３２８−１３０６５０ＭＹ−３２８−２＜５＜７０ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００３０】比較例１１００ｍｌ四つ口フラスコに、ビス（アセチルアセトナ
ト）パラジウム(II)０.１ｇと、トリフェニルカルベニ
ウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート０.
１９ｇをｏ−ジクロロベンゼンに溶解した。この溶液
に、５−ノルボルネン−２−（２，２−ジトリフルオロ
メチル−２−ヒドロキシ）エチル３.２ｇと５−ノルボ
ルネン−２−カルボン酸ｔｅｒｔ−ブチル０.９７ｇの
混合溶液を添加した。６５時間撹拌後、ろ過を行い、ウ
エットケーキを１０.３ｇ得た。これを、酢酸エチルに
溶解し、樹脂溶液を６０ｇ得た。この溶液を金属分析し
た（サンプルＮｏ．ＭＹ−０９３−１）。

【００３１】得られた樹脂溶液を１規定塩酸で２回、イ
オン交換水で３回抽出を行い、金属分析した（サンプル
Ｎｏ．ＭＹ−０９３−２）。

【００３２】得られた樹脂溶液を飽和塩化アンモニウム
水で２回、イオン交換水で３回抽出を行い、金属分析し
た（サンプルＮｏ．ＭＹ−０９３−３）。

【００３３】得られた樹脂溶液に活性炭を加え撹拌し、
珪藻土（林純薬製、商品名セライトＮｏ．５３５）をろ
材に用い濾過した。この溶液をノルマルヘプタン中にチ
ャージし、樹脂を取り出し、酢酸エチルの溶液にして金
属分析した（サンプルＮｏ．ＭＹ−０９３−４）。

【００３４】金属分析の結果を表２に示す。

【表２】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ サンプルＮｏ．樹脂溶液 Pd分(ppm) Pd分(ppm;樹脂換算) ────────────────────────────────── ＭＹ−０９３−１２４０４２００ＭＹ−０９３−２１６０２８００ＭＹ−０９３−３１４０２５００ＭＹ−０９３−４１２２３００ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００３５】

【発明の効果】本発明の樹脂中の金属不純物を低減する
方法を用いることにより、触媒として遷移金属を用いて
重合した樹脂等から、効果的に金属不純物を除去するこ
とができる。本法を用いることにより、電子材料分野、
特にレジストにおいて、金属含有量を充分に低減するこ
とが可能となり、高性能の半導体集積回路を製作するこ
とができる。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ０８Ｌ 101:00 Ｃ０８Ｌ 101:00 Ｆターム(参考） 2H025 AB16 AC04 AC08 BE00 BG00 FA01 4D017 AA04 BA13 CA01 CA03 CA05 CB01 DA07 4D056 AB04 AB06 AB08 AC02 AC03 AC04 AC07 AC08 AC09 AC21 AC22 CA06 CA14 CA27 CA31 DA01 DA10 4F070 AA11 AA41 AB09 AC12 AC14 AC15 AC20 AC29 AC40 AE24 AE28 BA07 BB05 CA11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】次の工程を含むことを特徴とする樹脂また
は樹脂溶液中の金属不純物を低減する方法。金属不純物を含む樹脂を溶解した溶液と還元剤とを
混合する工程前記で得られた混合物と吸着剤とを混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程
【請求項２】次の工程を含むことを特徴とする樹脂また
は樹脂溶液中の金属不純物を低減する方法。金属不純物を含む樹脂を溶解した溶液と還元剤とを
混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程前記で得られたろ液と吸着剤とを混合する工程前記で得られた混合物をろ過する工程
【請求項３】金属不純物が遷移金属不純物である請求項
１または２記載の金属不純物を低減する方法。
【請求項４】樹脂がレジスト用の樹脂である請求項１〜
３のいずれかに記載の金属不純物を低減する方法。
【請求項５】樹脂の重合単位がノルボルネン類から導か
れる重合単位である請求項１〜４のいずれかに記載の金
属不純物を低減する方法。
【請求項６】還元剤が、水素化ナトリウム、水素化カル
シウム、水素化アルミニウムリチウム、水素化ホウ素ナ
トリウム、水素化ホウ素リチウム、水素化ホウ素カリウ
ム、水素化アルミニウムジボラン、水素からなる群から
選ばれた少なくとも１種を含む請求項１〜５のいずれか
に記載の金属不純物を低減する方法。
【請求項７】吸着剤が活性炭である請求項２〜６のいず
れかに記載の金属不純物を低減する方法。
【請求項８】請求項１〜７のいずれかに記載の方法によ
り、得られた金属不純物を低減させた樹脂または樹脂溶
液を、有機溶媒に溶解し、得られた溶液を、水、酸性水
溶液および硫黄化合物を含有する水溶液からなる群から
選ばれた少なくとも１種と接触させて水層抽出すること
を特徴とする樹脂または樹脂溶液中の金属不純物を低減
する方法。
【請求項９】水層抽出に用いる酸性水溶液が蓚酸水であ
る請求項８記載の金属不純物を低減する方法。
【請求項１０】水層抽出に用いる硫黄化合物を含有する
水溶液がチオ硫酸水溶液またはチオシアン酸水溶液であ
る請求項８記載の金属不純物を低減する方法。
【請求項１１】水層抽出において、最後に水と接触させ
て、水層抽出する請求項８〜１０のいずれかに記載の金
属不純物を低減する方法。