JP2003297233A - Forming device and forming method of barrier rib-like material - Google Patents

Forming device and forming method of barrier rib-like material

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JP2003297233A
JP2003297233A JP2002096732A JP2002096732A JP2003297233A JP 2003297233 A JP2003297233 A JP 2003297233A JP 2002096732 A JP2002096732 A JP 2002096732A JP 2002096732 A JP2002096732 A JP 2002096732A JP 2003297233 A JP2003297233 A JP 2003297233A
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barrier rib
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blade
comb teeth
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隆二 植杉
Yoshio Kanda
義雄 神田
Yoshio Kuromitsu
祥郎 黒光
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a barrier rib-like material to be continuously formed in a plurality of substrates without removing a paste in a forming device of the barrier rib-like material. <P>SOLUTION: In the forming device 1 of the barrier rib-like material wherein a base board 2 on which a substrate 20 is arranged horizontally, a head part 3 installed above the substrate 2, and a blade 5 which has a comb-teeth in the lower part, is arranged horizontally with the lower part opposing the substrate 20 and is held by the head part 3 are provided, wherein a barrier rib-like material 22 is formed on the surface of the substrate 20 by thrusting the comb- teeth into a paste film 21 formed on the surface of the substrate 20 and moving the blade 5 horizontally relative to the base board 2 together with the head part 3, the forming device 1 of the barrier rib-like material is provided which is characterized in that a paste recovery case 12 for collecting the paste separated from the paste film 21 on the forward side of moving direction of the head part 3. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、FPD(flat
panel display)に使用される基板にバ
リアリブ状物を形成するためのバリアリブ状物の形成装
置および形成方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an FPD (flat).
The present invention relates to an apparatus and method for forming a barrier rib-like material for forming a barrier rib-like material on a substrate used for a panel display.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、PDP(plasma dis
play panel:プラズマディスプレイパネ
ル)、PALC(plasma addressed
liquid crystal display)等の
FPD(flat panel display)に使
用される基板にバリアリブ状物を形成するために、バリ
アリブ状物の形成装置が使用されている。従来より、例
えば特開2000−243267に示されているバリア
リブ状物の形成装置が知られており、図5に示すよう
に、このバリアリブ状物の形成装置51は、基台52
と、基台52の上方に設けられ、水平方向(AB方向)
に移動可能な移動ヘッド53と、移動ヘッド53に設け
られるエアシリンダ57と、エアシリンダ57に支持さ
れるブレードホルダ54と、ブレードホルダ54に保持
されたブレード55とを備えている。
2. Description of the Related Art Generally, a PDP (plasma dis) is used.
play panel: Plasma display panel), PALC (plasma addressed)
2. Description of the Related Art A barrier rib-like material forming apparatus is used to form a barrier rib-like material on a substrate used for an FPD (flat panel display) such as a liquid crystal display (LCD). 2. Description of the Related Art Conventionally, a device for forming a barrier rib-like material disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-243267 is known. As shown in FIG.
And is provided above the base 52 in the horizontal direction (AB direction)
The moving head 53 is provided with a moving head 53, an air cylinder 57 provided on the moving head 53, a blade holder 54 supported by the air cylinder 57, and a blade 55 held by the blade holder 54.

【0003】基台52は、その上面が水平に形成されて
なるものであり、この上面に基板70が配置されてい
る。この基板70の表面には、セラミックペーストが膜
状に塗布されており、この状態においては、セラミック
ペーストはペースト膜71となる。このセラミックペー
ストは、樹脂および溶剤にガラス粉末、若しくはガラス
・セラミック混合粉末を混練したものである。
The base 52 has its upper surface formed horizontally, and the substrate 70 is arranged on this upper surface. The surface of the substrate 70 is coated with a ceramic paste in a film shape. In this state, the ceramic paste becomes a paste film 71. This ceramic paste is obtained by kneading glass powder or glass-ceramic mixed powder with resin and solvent.

【0004】移動ヘッド53は、基台52の支柱52a
に回転自在に取り付けられた一対の雄ねじ軸56に支持
されており、雄ねじ軸56が回転することによりAB方
向に移動するものである。この移動ヘッド53には左右
一対のエアシリンダ57が設けられており、このエアシ
リンダ57のロッド57aの下端部にブレードホルダ5
4が支持されている。
The moving head 53 is a support column 52a of the base 52.
It is supported by a pair of male screw shafts 56 that are rotatably attached to, and moves in the AB direction when the male screw shafts 56 rotate. The moving head 53 is provided with a pair of left and right air cylinders 57. The blade holder 5 is attached to the lower end of the rod 57a of the air cylinder 57.
4 are supported.

【0005】ブレードホルダ54は、エアシリンダ5
7、エアタンク58およびエア圧調整装置59により垂
直方向(CD方向)に移動可能となるものであり、この
ブレードホルダ54の下部には、ブレード55を保持す
るためのスリット54aが移動ヘッド53の移動方向に
直交する方向(EF方向)に形成されている。
The blade holder 54 is used for the air cylinder 5
7, the air tank 58 and the air pressure adjusting device 59 enable movement in the vertical direction (CD direction). A slit 54a for holding the blade 55 is provided below the blade holder 54 to move the moving head 53. It is formed in a direction (EF direction) orthogonal to the direction.

【0006】ブレード55は、金属、セラミック、若し
くは樹脂等により板状に形成されてなるものであり、そ
の下端部には複数のくし歯55aが形成されている。ま
た、このブレード55は、その上端部をブレードホルダ
54のスリット54aに挿入することによりブレードホ
ルダ54に保持されることとなり、その下端部が基台5
2および基板70の表面に対して水平になるように配置
されている。
The blade 55 is made of metal, ceramic, resin or the like in a plate shape, and has a plurality of comb teeth 55a at its lower end. Further, the blade 55 is held by the blade holder 54 by inserting the upper end portion thereof into the slit 54a of the blade holder 54, and the lower end portion thereof is held by the base 5
2 and the surface of the substrate 70 are arranged to be horizontal.

【0007】図6に示すように、くし歯55aをペース
ト膜71に突き刺してB方向に移動することにより、く
し歯55aに当接する部分のペースト膜71は、くし歯
55aにより掃きとられ、または、くし歯55aの隙間
に移動し、この隙間を通過する。くし歯55aの隙間に
移動するペースト膜71は、くし歯55aの隙間に位置
するペースト膜71と共にバリアリブ状物72を形成す
る。また、ペースト膜71からくし歯55aにより掃き
とられたペースト73は、ブレード55に付着/蓄積す
ることとなる。
As shown in FIG. 6, when the comb tooth 55a is pierced into the paste film 71 and moved in the B direction, the portion of the paste film 71 that contacts the comb tooth 55a is swept away by the comb tooth 55a, or , Moves to the gap between the comb teeth 55a and passes through this gap. The paste film 71 that moves into the gap between the comb teeth 55a forms a barrier rib-like object 72 together with the paste film 71 that is located in the gap between the comb teeth 55a. In addition, the paste 73 swept from the paste film 71 by the comb teeth 55a is attached / accumulated on the blade 55.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
バリアリブ状物の形成装置51においては、ペースト7
3がブレード55に蓄積するため、図7に示すように、
基板70の終端部70aにおいて、ブレード55を基板
70およびバリアリブ状物72から離間する際に、ブレ
ード55に蓄積したペースト73が基板70の表面にダ
レる等して、終端部70aに形成されるバリアリブ状物
72の形状が乱れるという問題があった。また、ブレー
ド55に蓄積するペースト73を除去しないまま、ブレ
ード55をバリアリブ状物72が形成される前の基板7
0に突き刺した場合には、突き刺した部分に形成される
バリアリブ状物72の形状が乱れるという問題があっ
た。
However, in the above-mentioned barrier rib-like material forming apparatus 51, the paste 7 is used.
3 accumulates on the blade 55, so as shown in FIG.
At the terminal end portion 70a of the substrate 70, when the blade 55 is separated from the substrate 70 and the barrier rib-like material 72, the paste 73 accumulated on the blade 55 drips on the surface of the substrate 70 and is formed at the terminal end portion 70a. There is a problem that the shape of the barrier rib-shaped material 72 is disturbed. In addition, the blades 55 are formed on the substrate 7 before the barrier ribs 72 are formed without removing the paste 73 accumulated on the blades 55.
When piercing 0, there was a problem that the shape of the barrier rib-like material 72 formed in the pierced portion was disturbed.

【0009】さらに、ブレード55を用いて多数枚の基
板70に連続的にバリアリブ状物72を形成する場合に
は、ブレード55に蓄積するペースト73が増大し、く
し歯55aの隙間に移動するペースト膜71の量が変化
するため、基板70の枚数が増加することに伴い、形成
されるバリアリブ状物72の高さが変化するという問題
があった。そこで、従来では、バリアリブ状物の形成方
法として、数枚の基板70にバリアリブ状物72を形成
する毎に、ブレード55に蓄積したペースト73を除去
していたが、バリアリブ状物72の形成を中断してペー
スト73の除去作業を行うため、生産効率が悪いという
問題があった。
Further, when the barrier ribs 72 are continuously formed on a large number of substrates 70 using the blade 55, the paste 73 accumulated on the blade 55 increases and the paste moves to the gaps of the comb teeth 55a. Since the amount of the film 71 changes, there is a problem that the height of the barrier rib-like material 72 formed changes as the number of substrates 70 increases. Therefore, in the past, as a method of forming the barrier rib-shaped material, the paste 73 accumulated on the blade 55 was removed every time the barrier rib-shaped material 72 was formed on several substrates 70. Since the work of removing the paste 73 is interrupted, the production efficiency is low.

【0010】この発明は、上述した事情に鑑みてなされ
たものであって、ペースト除去を行うことなく、複数枚
の基板に連続的にバリアリブ状物を形成することができ
るバリアリブ状物の形成装置および形成方法を提供する
ことを目的としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and is a device for forming barrier rib-like objects which can continuously form barrier rib-like objects on a plurality of substrates without removing paste. And a forming method.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は以下の手段を提案している。請求項1に
係る発明は、基板を水平に配置する基台と、前記基台の
上方に設けられたヘッド部と、下部にくし歯を有し、該
下部を水平にして前記基板に対向配置させ、かつ、前記
ヘッド部に保持されたブレードとを備え、前記基板の表
面に形成されたペースト膜に前記くし歯を突き刺して前
記ヘッド部と共に、前記ブレードが前記基台に対して相
対的に水平方向に移動することにより前記基板の表面に
バリアリブ状物を形成するバリアリブ状物の形成装置に
おいて、前記ヘッド部の移動方向前方側に前記ペースト
膜から分離されたペーストを回収するペースト回収ケー
スが設けられていることを特徴とするバリアリブ状物の
形成装置を提案している。
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means. The invention according to claim 1 has a base for horizontally arranging the substrate, a head portion provided above the base, and a comb tooth on the lower portion, and the lower portion is horizontally arranged so as to face the substrate. And a blade held by the head portion, the paste film formed on the surface of the substrate is pierced with the comb teeth, together with the head portion, the blade relative to the base. In a barrier rib-like material forming device that forms a barrier rib-like material on the surface of the substrate by moving in the horizontal direction, a paste collecting case that collects the paste separated from the paste film on the front side in the moving direction of the head portion. An apparatus for forming a barrier rib-like material, which is characterized by being provided, is proposed.

【0012】この発明に係るバリアリブ状物の形成装置
においては、くし歯をペースト膜に突き刺した状態にお
いて、ヘッド部と共にブレードが基台に対して相対的に
移動することにより、基板表面に形成されたペースト膜
のうち、ブレードのくし歯に当接する部分のペースト膜
は、くし歯の隙間に移動する、若しくは、くし歯により
掃きとられる。くし歯の隙間を通過するペースト膜は、
基板の表面に残存し、このペースト膜により基板の表面
にバリアリブ状物が形成される。一方、くし歯により掃
きとられたペーストは、ペースト回収ケース内に回収/
蓄積される。
In the barrier rib-like material forming apparatus according to the present invention, when the comb teeth are pierced into the paste film, the blade is moved relative to the base together with the head to form the barrier rib-like material on the substrate surface. In the paste film, the part of the paste film that comes into contact with the comb teeth of the blade moves to the gap between the comb teeth or is swept by the comb teeth. The paste film that passes through the gap between the teeth is
Barrier ribs are formed on the surface of the substrate by the paste film remaining on the surface of the substrate. On the other hand, the paste swept by the comb teeth is collected in the paste collection case.
Accumulated.

【0013】また、請求項2に係る発明は、請求項1記
載のバリアリブ状物の形成装置において、前記ペースト
を前記ペースト回収ケースの外に排出するペースト排出
手段が設けられていることを特徴とするバリアリブ状物
の形成装置を提案している。この発明に係るバリアリブ
状物の形成装置においては、ペースト排出手段によって
ペーストがペースト回収ケース外に排出されるため、ペ
ースト回収ケースに残存するペーストを一定量に保つこ
とになる。したがって、単位時間あたりにペースト回収
ケース内に回収されるペーストの量(ペースト回収速
度)が一定となり、くし歯の隙間に移動するペースト膜
の量が一定に保たれる。
According to a second aspect of the present invention, in the barrier rib-like material forming apparatus according to the first aspect, paste discharging means for discharging the paste to the outside of the paste collecting case is provided. A barrier rib-like material forming device is proposed. In the barrier rib-like material forming apparatus according to the present invention, since the paste is discharged to the outside of the paste collecting case by the paste discharging means, the amount of paste remaining in the paste collecting case is kept constant. Therefore, the amount of paste recovered in the paste recovery case per unit time (paste recovery speed) becomes constant, and the amount of paste film moving to the gap between the comb teeth is kept constant.

【0014】また、請求項3に係る発明は、請求項2に
記載のバリアリブ状物の形成装置において、前記ペース
ト排出手段は、前記ペースト回収ケース内に円柱状のド
ラムを備えていることを特徴とするバリアリブ状物の形
成装置を提案している。この発明に係るバリアリブ状物
の形成装置においては、円柱状のドラムが回転すること
によりペーストが連続的にペースト回収ケース外に排出
されるため、ペースト回収ケースに残存するペーストを
常に一定量に保つことになる。したがって、ペースト回
収速度が常に一定となり、くし歯の隙間に移動するペー
スト膜の量が常に一定に保たれる。
According to a third aspect of the present invention, in the apparatus for forming barrier ribs according to the second aspect, the paste discharging means includes a cylindrical drum inside the paste collecting case. A barrier rib-like material forming device is proposed. In the barrier rib-like material forming apparatus according to the present invention, since the paste is continuously discharged out of the paste collecting case by the rotation of the cylindrical drum, the paste remaining in the paste collecting case is always kept at a constant amount. It will be. Therefore, the paste collecting speed is always constant, and the amount of the paste film moving to the gap between the comb teeth is always kept constant.

【0015】また、請求項4に係る発明は、基板の表面
にペースト膜を形成し、基台の上面に前記基板を水平に
配置すると共に、下部にくし歯が形成されているブレー
ドを前記ペースト膜に突き刺し、前記ブレードが前記基
台および基板に対して相対的に水平方向に移動し、前記
くし歯に当接する前記ペースト膜を掃きとり、または、
前記ペースト膜を前記くし歯の隙間に通過させ、前記く
し歯の隙間を通過した前記ペースト膜をバリアリブ状物
に形成するバリアリブ状物の形成方法において、前記ペ
ースト膜をバリアリブ状物に形成しつつ、前記ペースト
膜から前記くし歯により掃きとられたペーストをペース
ト回収ケース内に回収することを特徴とするバリアリブ
状物の形成方法を提案している。この発明に係るバリア
リブ状物の形成方法においては、バリアリブ状物を形成
すると同時に、くし歯により掃きとられたペーストをペ
ースト回収ケース内に回収する。
According to a fourth aspect of the present invention, a paste film is formed on the surface of a substrate, the substrate is arranged horizontally on the upper surface of a base, and a blade having comb teeth formed on the lower portion is used as the paste. Pierce the film, the blade moves horizontally relative to the base and the substrate, sweeping the paste film abutting the comb teeth, or
A method of forming a barrier rib-like material, wherein the paste film is passed through the gap between the comb teeth, and the paste film that has passed through the gap between the comb teeth is formed into a barrier rib-like product, while forming the paste film into the barrier rib-like product. Proposes a method of forming a barrier rib-like material, characterized in that the paste swept from the paste film by the comb teeth is recovered in a paste recovery case. In the method of forming the barrier rib-like material according to the present invention, the paste swept away by the comb teeth is collected in the paste collecting case at the same time as forming the barrier rib-like material.

【0016】また、請求項5に係る発明は、請求項4に
記載のバリアリブ状物の形成方法において、前記ペース
ト回収ケース内に回収された前記ペースト膜を連続的に
前記ペースト回収ケース外に排出することを特徴とする
バリアリブ状物の形成方法を提案している。この発明に
係るバリアリブ状物の形成方法においては、バリアリブ
状物を形成すると同時に、ペースト回収ケース内に回収
されたペーストが連続的にペースト回収ケース外に排出
される。
The invention according to claim 5 is the method for forming a barrier rib-like material according to claim 4, wherein the paste film recovered in the paste recovery case is continuously discharged to the outside of the paste recovery case. A barrier rib-like material forming method is proposed. In the method for forming a barrier rib-like material according to the present invention, the paste collected in the paste collecting case is continuously discharged to the outside of the paste collecting case while forming the barrier rib-like material.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】図1から図3はこの発明に係る第
1の実施形態を示す。図1に示すように、この実施の形
態に係るバリアリブ状物の形成装置1は、基台2と、基
台2の上方に設けられ、水平方向(AB方向)に移動可
能な移動ヘッド(ヘッド部)3と、移動ヘッド3に設け
られるエアシリンダ9と、エアシリンダ9に支持される
ブレードホルダ4と、ブレードホルダ4により保持され
るブレード5とを備えている。以上の構成は、前述した
従来のものと同一である。
1 to 3 show a first embodiment according to the present invention. As shown in FIG. 1, a barrier rib-like material forming apparatus 1 according to this embodiment includes a base 2 and a movable head (head) that is provided above the base 2 and is movable in the horizontal direction (AB direction). Part) 3, an air cylinder 9 provided on the moving head 3, a blade holder 4 supported by the air cylinder 9, and a blade 5 held by the blade holder 4. The above configuration is the same as the conventional one described above.

【0018】基台2は、その上面が水平に形成されてな
るものであり、この上面には図示しない複数の微小孔が
形成されている。この微小孔が形成されている領域には
基板20が配置されており、この微小孔に連通された図
示しないバキュームポンプを起動することにより、基板
20が基台2の上面に吸着する。基台2の上面に配置さ
れる基板20の表面には、バリアリブ状物22を形成す
るためのセラミックペーストが膜状に塗布されており、
この状態において、セラミックペーストはペースト膜2
1となる。このセラミックペーストは、樹脂および溶剤
にガラス粉末、若しくはガラス・セラミック混合粉末を
混練したものである。
The base 2 has its upper surface formed horizontally, and a plurality of fine holes (not shown) are formed on this upper surface. The substrate 20 is arranged in the region where the minute holes are formed, and the substrate 20 is adsorbed to the upper surface of the base 2 by activating a vacuum pump (not shown) that communicates with the minute holes. On the surface of the substrate 20 arranged on the upper surface of the base 2, a ceramic paste for forming the barrier rib-like material 22 is applied in a film shape,
In this state, the ceramic paste is the paste film 2
It becomes 1. This ceramic paste is obtained by kneading glass powder or glass-ceramic mixed powder with resin and solvent.

【0019】基台2の上面の四隅部には、支柱2aが上
面から延在しており、この支柱2aには、一対の雄ねじ
軸6および電気式アクチュエータ7が設けられている。
一対の雄ねじ軸6は、水平に、かつ互いに平行に架設さ
れてなるものであり、それぞれの雄ねじ軸6には、電気
式アクチュエータ7が連結されている。電気式アクチュ
エータ7は、図示しない駆動回路により制御されるもの
であり、駆動回路からの信号に基づいて一対の雄ねじ軸
6を同期して回転させるように構成されるものである。
A pillar 2a extends from the upper surface at four corners of the upper surface of the base 2, and a pair of male screw shafts 6 and an electric actuator 7 are provided on the pillar 2a.
The pair of male screw shafts 6 are horizontally and parallel to each other, and an electric actuator 7 is connected to each male screw shaft 6. The electric actuator 7 is controlled by a drive circuit (not shown), and is configured to rotate the pair of male screw shafts 6 synchronously based on a signal from the drive circuit.

【0020】移動ヘッド3は、その両端に雌ねじ軸受8
を備え、この雌ねじ軸受8に雄ねじ軸6を螺合すること
により、雄ねじ軸6に支持されてなるものである。この
移動ヘッド3は、雄ねじ軸6が回転することにより基台
2の上方においてAB方向に移動するものであり、移動
ヘッド3には左右一対のエアシリンダ9が設けられてい
る。
The moving head 3 has female screw bearings 8 at both ends thereof.
And is supported by the male screw shaft 6 by screwing the male screw shaft 6 into the female screw bearing 8. The moving head 3 moves in the AB direction above the base 2 by the rotation of the male screw shaft 6, and the moving head 3 is provided with a pair of left and right air cylinders 9.

【0021】エアシリンダ9は、移動ヘッド3を貫通し
て下方に突出するロッド9aを有するものであり、エア
タンク10およびエア圧調整装置11に接続されてい
る。ロッド9aは、伸縮自在なものであり、エアタンク
10およびエア圧調整装置11からエアシリンダ9への
圧縮エアの供給/排出が行われることにより、移動ヘッ
ド3の下方に突出/没入するものである。また、ロッド
9aの下端部には、ブレードホルダ4が支持されてお
り、ロッド9aの伸縮によりブレードホルダ4が垂直方
向(CD方向)に移動可能となる。このブレードホルダ
4の表面のうち、基台2の上面に対向する面には、ブレ
ード5を保持するためのスリット4aが移動ヘッド3の
移動方向に直交する方向(EF方向)に形成されてい
る。
The air cylinder 9 has a rod 9a penetrating the moving head 3 and projecting downward, and is connected to an air tank 10 and an air pressure adjusting device 11. The rod 9a is expandable and contractable, and is projected / immersed below the moving head 3 by supplying / discharging compressed air from the air tank 10 and the air pressure adjusting device 11 to / from the air cylinder 9. . Further, the blade holder 4 is supported on the lower end of the rod 9a, and the expansion and contraction of the rod 9a enables the blade holder 4 to move in the vertical direction (CD direction). On the surface of the blade holder 4 facing the upper surface of the base 2, a slit 4a for holding the blade 5 is formed in a direction (EF direction) orthogonal to the moving direction of the moving head 3. .

【0022】ブレード5は、金属、セラミック若しくは
樹脂等により板状に形成されてなるものであり、その上
端部をブレードホルダ4のスリット4aに挿入すること
によりブレードホルダ4に保持される。また、ブレード
5は、その下端部が基台2および基板20に対して水平
になるように配置されており、その下端部には、図3に
示すように、基板20の表面上に形成されるバリアリブ
状物22の高さと同等の長さを有する複数のくし歯5a
が形成されている。このブレード5は、図2に示すよう
に、基板20の表面に対して垂直な方向から移動方向側
に一定角度傾けて配置されている。
The blade 5 is made of metal, ceramic, resin or the like in a plate shape, and is held by the blade holder 4 by inserting the upper end portion into the slit 4 a of the blade holder 4. Further, the blade 5 is arranged such that its lower end is horizontal to the base 2 and the substrate 20, and is formed on the surface of the substrate 20 at its lower end as shown in FIG. A plurality of comb teeth 5a having a length equal to the height of the barrier rib-like material 22
Are formed. As shown in FIG. 2, the blade 5 is arranged so as to be inclined at a constant angle from the direction perpendicular to the surface of the substrate 20 toward the movement direction side.

【0023】ブレードホルダ4およびブレード5の移動
方向(B方向)前方側には、図1、図2に示すように、
ペースト回収ケース12が着脱可能に取り付けられてい
る。このペースト回収ケース12は、ペースト膜21か
らブレード5のくし歯5aによって掃きとられるペース
ト23を回収/蓄積するためのものであり、ブレード5
の移動方向(B方向)前方側に、ブレード5の前面との
間にペースト23が流動可能な間隙を設けて、移動方向
(B方向)前方に延在するすくい刃12aを有する構成
とされている。
As shown in FIGS. 1 and 2, on the front side in the moving direction (B direction) of the blade holder 4 and the blade 5, as shown in FIGS.
The paste recovery case 12 is detachably attached. The paste collecting case 12 is for collecting / accumulating the paste 23 swept from the paste film 21 by the comb teeth 5a of the blade 5, and
Is provided with a rake blade 12a extending forward in the moving direction (B direction) with a gap in which the paste 23 can flow between the front surface of the blade 5 and the front side in the moving direction (B direction). There is.

【0024】以上のように構成されたバリアリブ状物の
形成装置1の使用方法について説明する。はじめに、エ
アタンク10から圧縮エアをエアシリンダ9に供給する
ことにより、ロッド9aがD方向に突出し、これに伴っ
て、ブレードホルダ4およびブレード5がD方向に移動
し、くし歯5aがペースト膜21に突き刺さる。次い
で、電気式アクチュエータ7を起動することにより、雄
ねじ軸6が回転し、移動ヘッド3、ブレードホルダ4お
よびブレード5がB方向に移動する。この際、くし歯5
aに当接する部分のペースト膜21は、くし歯5aによ
り掃きとられ、または、くし歯5aの隙間に移動する。
A method of using the barrier rib-like material forming apparatus 1 configured as described above will be described. First, by supplying compressed air from the air tank 10 to the air cylinder 9, the rod 9a projects in the D direction, and accordingly, the blade holder 4 and the blade 5 move in the D direction, and the comb teeth 5a form the paste film 21. Pierce into. Next, by activating the electric actuator 7, the male screw shaft 6 rotates, and the moving head 3, the blade holder 4 and the blade 5 move in the B direction. At this time, comb teeth 5
The portion of the paste film 21 that contacts a is swept away by the comb teeth 5a or moves to the gap between the comb teeth 5a.

【0025】くし歯5aの隙間に移動するペースト膜2
1は、くし歯5aの隙間に位置するペースト膜21と共
に、基板20表面上にバリアリブ状物22を形成する。
一方、ペースト膜21からくし歯5aにより掃きとられ
たペースト23は、ブレード5とすくい刃12aの先端
との間隙からペースト回収ケース12内に流入し、ペー
スト回収ケース12内に回収/蓄積される。
The paste film 2 moving into the gap between the comb teeth 5a
No. 1 forms the barrier rib-like material 22 on the surface of the substrate 20 together with the paste film 21 located in the gap between the comb teeth 5a.
On the other hand, the paste 23 swept from the paste film 21 by the comb teeth 5a flows into the paste collecting case 12 through the gap between the blade 5 and the tip of the rake blade 12a, and is collected / stored in the paste collecting case 12. .

【0026】最後に、ブレード5が基板20の終端まで
到達すると、ブレード5を基板20から離間して、図3
に示すように、一枚の基板20にバリアリブ状物22が
形成されることになる。なお、ペースト回収ケース12
内に蓄積されたペースト23は、所定量蓄積された時点
において、ペースト回収ケース12をブレードホルダ4
およびブレード5から取り外してペースト回収ケース1
2から排出される。連続して複数枚の基板20にバリア
リブ状物22を形成する場合には、新しい基板20を基
台2の上面に配置すると共に、移動ヘッド3をA方向に
移動して、基板20の始端にくし歯5aを突き刺し、バ
リアリブ状物22を形成する。
Finally, when the blade 5 reaches the end of the substrate 20, the blade 5 is separated from the substrate 20,
As shown in, the barrier rib-like material 22 is formed on one substrate 20. In addition, the paste collection case 12
The paste 23 accumulated in the inside of the blade holder 4 is removed from the paste recovery case 12 when a predetermined amount is accumulated.
And paste recovery case 1 by removing from blade 5
Emitted from 2. When the barrier rib-like material 22 is continuously formed on a plurality of substrates 20, a new substrate 20 is placed on the upper surface of the base 2 and the moving head 3 is moved in the direction A so that the starting end of the substrate 20 is reached. The comb teeth 5a are pierced to form the barrier rib-like material 22.

【0027】上記のように、このバリアリブ状物の形成
装置1によれば、ペースト23がペースト回収ケース1
2内に回収されるため、ペースト23がブレード5に蓄
積されることがなく、したがって、基板20の終端にお
いてバリアリブ状物22の形状を精度よく形成すること
ができる。また、連続的に複数枚の基板20にバリアリ
ブ状物22を形成する場合においては、くし歯5aを突
き刺した部分に形成されるバリアリブ状物22の形状を
精度よく形成することができる。また、バリアリブ状物
22を形成すると同時にペースト23をペースト回収ケ
ース12内に回収するため、生産工程の削減を図ること
ができると共に、生産効率の向上を図ることができる。
As described above, according to the barrier rib-like material forming apparatus 1, the paste 23 is the paste recovery case 1.
Since the paste 23 is collected in the blade 5, the paste 23 is not accumulated on the blade 5, and thus the shape of the barrier rib 22 can be accurately formed at the end of the substrate 20. Further, when the barrier rib-like material 22 is continuously formed on the plurality of substrates 20, the shape of the barrier rib-like material 22 formed at the portion where the comb teeth 5a are pierced can be accurately formed. Further, since the paste 23 is collected in the paste collecting case 12 at the same time when the barrier rib-like material 22 is formed, the production process can be reduced and the production efficiency can be improved.

【0028】なお、上記の実施の形態においては、ブレ
ード5が移動ヘッド3と共に水平方向に移動するとした
が、ブレードを定位置に固定する固定ヘッドに取り付
け、基板が基台と共に水平方向に移動するとしてもよ
い。また、ブレード5は、基台2の上面に対して垂直な
方向から移動方向側に一定角度傾けて配置されるとした
が、この配置に限られることはなく、垂直な方向に配置
してもよい。また、ペースト回収ケース12が着脱可能
に取り付けられるとしたが、着脱不能に取り付けてもよ
い。この場合には、ペースト23を人手等により外部に
排出するための排出口を設ければよい。
In the above embodiment, the blade 5 moves in the horizontal direction together with the moving head 3. However, the blade is attached to a fixed head for fixing the blade in a fixed position, and the substrate moves in the horizontal direction together with the base. May be Further, the blade 5 is arranged so as to be tilted at a certain angle from the direction perpendicular to the upper surface of the base 2 to the moving direction side, but the invention is not limited to this arrangement and may be arranged in the vertical direction. Good. Further, although the paste recovery case 12 is detachably attached, it may be detachably attached. In this case, an outlet for ejecting the paste 23 to the outside may be provided manually.

【0029】図4はこの発明に係る第2の実施形態を示
しており、この図に示す実施形態は、図1から図3に示
すバリアリブ状物の形成装置1と基本的構成が同一であ
るが、ペースト回収ケースの構造および構成が異なって
いる。ここでは、図4において、ペースト回収ケース1
3の構造および構成のみについて説明し、図1から図3
の構成要素と同一の部分については同一符号を付し、そ
の説明を省略する。
FIG. 4 shows a second embodiment according to the present invention, and the embodiment shown in this figure has the same basic structure as the barrier rib-like material forming apparatus 1 shown in FIGS. 1 to 3. However, the structure and configuration of the paste collection case are different. Here, in FIG. 4, the paste recovery case 1
3 to describe only the structure and configuration of FIG.
The same parts as those of the constituent elements are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0030】図4に示すように、ブレード5の移動方向
(B方向)前方側には、ペースト回収ケース13が設け
られている。このペースト回収ケース13は、ペースト
膜21からブレード5のくし歯5aによって掃きとられ
るペースト23を回収/蓄積するためのものであり、ブ
レード5の移動方向(B方向)前方に、ブレード5の前
面との間にペースト23が流動可能な間隙を設けて、移
動方向(B方向)前方に延在するすくい刃13aを有す
る構成とされている。
As shown in FIG. 4, a paste recovery case 13 is provided on the front side in the moving direction (B direction) of the blade 5. The paste recovery case 13 is for recovering / accumulating the paste 23 swept from the paste film 21 by the comb teeth 5a of the blade 5, and is in front of the blade 5 in the moving direction (B direction). Is provided with a gap through which the paste 23 can flow, and has a rake blade 13a extending forward in the moving direction (direction B).

【0031】このペースト回収ケース13には、B方向
にペースト23をペースト回収ケース13外に排出する
ための排出孔13bが設けられており、ペースト回収ケ
ース13内には、円柱状のドラム14が配置されてい
る。このドラム14は、ペースト回収ケース13内から
排出孔13bを通じてペースト回収ケース13外にペー
スト23の排出を促すためのものであり、G方向に回転
するものである。
The paste collecting case 13 is provided with a discharge hole 13b for discharging the paste 23 to the outside of the paste collecting case 13 in the B direction. Inside the paste collecting case 13, a cylindrical drum 14 is provided. It is arranged. The drum 14 is for promoting discharge of the paste 23 from the inside of the paste collection case 13 to the outside of the paste collection case 13 through the discharge hole 13b, and rotates in the G direction.

【0032】また、ペースト回収ケース13には、内壁
面13cから突出する突出部13dが形成されており、
この突出部13dは、その先端がドラム14に当接し、
ドラム14の周面14aに付着したペースト23をそぎ
落とすためのものである。これら排出孔13b、突出部
13dおよびドラム14によりペースト排出手段15が
構成されている。
Further, the paste recovery case 13 is formed with a protruding portion 13d protruding from the inner wall surface 13c,
The protrusion 13d has its tip abutted against the drum 14,
This is for scraping off the paste 23 attached to the peripheral surface 14a of the drum 14. The discharge hole 13b, the protruding portion 13d, and the drum 14 constitute a paste discharge means 15.

【0033】以上のように構成されたバリアリブ状物の
形成装置の使用方法についても、その基本的な使用方法
については第1の実施形態と同一であり、ペースト回収
ケースの構造/構成の違いによるペースト回収ケース内
に回収されたペースト23の挙動が異なっている。ここ
では、ペースト回収ケース内に回収されたペースト23
の挙動について説明する。
The method of using the barrier rib-like material forming apparatus configured as described above is also the same as that of the first embodiment in terms of the basic method of use and depends on the structure / configuration of the paste recovery case. The behavior of the paste 23 collected in the paste collection case is different. Here, the paste 23 collected in the paste collection case
The behavior of will be described.

【0034】図4に示すように、ペースト回収ケース1
3内に回収されたペースト23は、ブレード5、すくい
刃13aおよびドラム14に囲まれた空間に蓄積され
る。ペースト23が、この空間に所定量以上に蓄積され
た際には、ドラム14の周面14aに付着し、G方向に
回転するドラム14により連続的にB方向へ移動する。
そして、ペースト23は、排出孔13bを通じてペース
ト回収ケース13外に排出される。
As shown in FIG. 4, the paste recovery case 1
The paste 23 collected in 3 is accumulated in the space surrounded by the blade 5, the rake blade 13 a and the drum 14. When the paste 23 is accumulated in a predetermined amount or more in this space, the paste 23 adheres to the peripheral surface 14a of the drum 14 and is continuously moved in the B direction by the drum 14 rotating in the G direction.
Then, the paste 23 is discharged to the outside of the paste collection case 13 through the discharge hole 13b.

【0035】この際には、ブレード5、すくい刃13a
およびドラム14に囲まれた空間に常に一定量のペース
ト23が残存されるため、単位時間あたりにペースト回
収ケース13内に回収されるペースト23の量(ペース
ト回収速度)が常に一定に保たれる。したがって、くし
歯5aの隙間に移動するペースト膜21の量が常に一定
に保たれることになる。
At this time, the blade 5 and the rake blade 13a
Since a fixed amount of paste 23 always remains in the space surrounded by the drum 14, the amount of paste 23 collected in the paste collection case 13 per unit time (paste collection speed) is always kept constant. . Therefore, the amount of the paste film 21 that moves into the gap between the comb teeth 5a is always kept constant.

【0036】上記のように、このバリアリブ状物の形成
装置1によれば、くし歯5aの隙間に移動するペースト
膜21の量が常に一定に保たれるため、連続的に多数枚
の基板20にバリアリブ状物22を形成する場合でも、
バリアリブ状物22の高さを常に一定に保ちながら形成
することが可能となる。
As described above, according to the barrier rib-like material forming apparatus 1, since the amount of the paste film 21 moving into the gap between the comb teeth 5a is always kept constant, a large number of substrates 20 are continuously formed. Even when the barrier rib-like material 22 is formed on the
It is possible to form the barrier rib-like material 22 while always keeping the height constant.

【0037】また、バリアリブ状物22を形成すると同
時にペースト回収ケース13内に回収されたペースト2
3が連続的にペースト回収ケース13外に排出されるた
め、連続的に多数枚の基板20にバリアリブ状物22を
形成することができ、したがって、生産効率をさらに向
上させることができる。
Further, the paste 2 collected in the paste collection case 13 at the same time when the barrier rib 22 is formed.
Since 3 is continuously discharged to the outside of the paste collecting case 13, the barrier rib-like material 22 can be continuously formed on a large number of substrates 20, and therefore the production efficiency can be further improved.

【0038】なお、上記の実施の形態においては、ドラ
ム14はG方向に回転するとしたが、この構成に限られ
ることはなく、ドラム14が逆方向に回転するとしても
よい。この場合においては、排出孔がドラム14の上方
に位置することとなる。また、排出孔13b、突出部1
3dおよびドラム14によりペースト排出手段15が構
成されるとしたが、この構成に限られることはなく、ペ
ースト23をペースト回収ケース13外に排出する手段
を設けていればよい。
In the above embodiment, the drum 14 rotates in the G direction. However, the configuration is not limited to this, and the drum 14 may rotate in the opposite direction. In this case, the discharge hole is located above the drum 14. In addition, the discharge hole 13b and the protrusion 1
Although the paste discharging means 15 is configured by the 3d and the drum 14, the configuration is not limited to this, and a means for discharging the paste 23 to the outside of the paste collecting case 13 may be provided.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1に係る発
明によれば、ペーストを回収するペースト回収ケースが
設けられているため、ブレードにペーストが蓄積される
ことなく、基板に形成されるバリアリブ状物の形状を精
度よく形成することができる。また、連続的に複数枚の
基板にバリアリブ状物を形成する場合においても、くし
歯を突き刺した部分に形成されるバリアリブ状物の形状
を精度よく形成することができることができる。
As described above, according to the invention of claim 1, since the paste collecting case for collecting the paste is provided, the paste is formed on the substrate without accumulating on the blade. The shape of the barrier rib-like material can be accurately formed. Further, even when the barrier rib-like material is continuously formed on a plurality of substrates, the shape of the barrier rib-like material formed at the portion where the comb teeth are pierced can be accurately formed.

【0040】また、請求項2に係る発明によれば、くし
歯の隙間に移動するペースト膜の量が一定に保たれるた
め、連続的に多数枚の基板にバリアリブ状物を形成する
場合でも、バリアリブ状物の高さを一定に保ちながら形
成することが可能となる。
Further, according to the second aspect of the present invention, since the amount of the paste film moving in the gap between the comb teeth is kept constant, even when the barrier rib-like material is continuously formed on a large number of substrates. It is possible to form the barrier rib-like material while keeping the height constant.

【0041】また、請求項3に係る発明によれば、くし
歯の隙間に移動するペースト膜の量が常に一定に保たれ
るため、連続的に多数枚の基板にバリアリブ状物を形成
する場合でも、バリアリブ状物の高さをより確実に一定
に保ちながら形成することが可能となる。
According to the third aspect of the present invention, since the amount of the paste film moving in the gap between the comb teeth is always kept constant, the barrier rib-like material is continuously formed on a large number of substrates. However, it becomes possible to form the barrier rib-like material more reliably while keeping the height constant.

【0042】また、請求項4に係る発明によれば、バリ
アリブ状物を形成すると同時にペーストをペースト回収
ケース内に回収するため、生産工程の削減を図ることが
できると共に、生産効率の向上を図ることができる。
According to the fourth aspect of the invention, since the barrier rib-like material is formed and the paste is collected in the paste collecting case at the same time, the number of production steps can be reduced and the production efficiency can be improved. be able to.

【0043】また、請求項5に係る発明によれば、バリ
アリブ状物を形成すると同時にペースト回収ケース内に
回収されたペーストが連続的にペースト回収ケース外に
排出されるため、連続的に多数枚にバリアリブ状物を形
成することができ、したがって、生産効率をさらに向上
させることができる。
Further, according to the invention of claim 5, since the paste collected in the paste collection case is continuously discharged out of the paste collection case while forming the barrier rib-like material, a large number of sheets are continuously formed. It is possible to form a barrier rib-like material on the substrate, and thus to further improve the production efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 第1の実施形態に係るバリアリブ状物の形成
装置を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a barrier rib-like material forming apparatus according to a first embodiment.

【図2】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
要部を示す拡大断面図である。
FIG. 2 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
It is an expanded sectional view showing an important section.

【図3】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
要部を示す拡大断面図である。
FIG. 3 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
It is an expanded sectional view showing an important section.

【図4】 第2の実施形態に係るバリアリブ状物の形成
装置の要部を示す拡大断面図である。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a main part of a barrier rib-like material forming apparatus according to a second embodiment.

【図5】 従来のバリアリブ状物の形成装置の一例を示
す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing an example of a conventional apparatus for forming barrier ribs.

【図6】 図5のバリアリブ状物の形成装置において、
要部を示す拡大断面図である。
FIG. 6 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
It is an expanded sectional view showing an important section.

【図7】 図5のバリアリブ状物の形成装置において、
要部を示す拡大断面図である。
FIG. 7 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
It is an expanded sectional view showing an important section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 バリアリブ状物の形成装置 2 基台 3 移動ヘッド(ヘッド部) 5 ブレード 5a くし歯 12,13 ペースト回収ケース 14 ドラム 15 ペースト排出手段 20 基板 21 ペースト膜 22 バリアリブ状物 23 ペースト 1 Barrier rib material forming device 2 bases 3 Moving head (head part) 5 blades 5a Comb teeth 12,13 Paste collection case 14 drums 15 Paste discharging means 20 substrates 21 Paste film 22 Barrier ribs 23 paste

フロントページの続き (72)発明者 神田 義雄 茨城県那珂郡那珂町向山1002−14 三菱マ テリアル株式会社総合研究所那珂研究セン ター内 (72)発明者 黒光 祥郎 茨城県那珂郡那珂町向山1002−14 三菱マ テリアル株式会社総合研究所那珂研究セン ター内 Fターム(参考) 4D075 AC57 AC84 AC88 CB21 DA06 DB13 DC24 EA14 4F042 AA02 AA10 CC02 CC09 CC15 DD02 DD07 DD19 5C027 AA09 5C040 GF19 JA02 MA23 Continued front page    (72) Inventor Yoshio Kanda             1002-14 Mukoyama, Naka-machi, Naka-gun, Ibaraki Prefecture             Terari Co., Ltd.             Inside (72) Inventor Shoro Kuromitsu             1002-14 Mukoyama, Naka-machi, Naka-gun, Ibaraki Prefecture             Terari Co., Ltd.             Inside F-term (reference) 4D075 AC57 AC84 AC88 CB21 DA06                       DB13 DC24 EA14                 4F042 AA02 AA10 CC02 CC09 CC15                       DD02 DD07 DD19                 5C027 AA09                 5C040 GF19 JA02 MA23

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板を水平に配置する基台と、前記基台
の上方に設けられたヘッド部と、下部にくし歯を有し、
該下部を水平にして前記基板に対向配置させ、かつ、前
記ヘッド部に保持されたブレードとを備え、 前記基板の表面に形成されたペースト膜に前記くし歯を
突き刺して前記ヘッド部と共に、前記ブレードが前記基
台に対して相対的に水平方向に移動することにより前記
基板の表面にバリアリブ状物を形成するバリアリブ状物
の形成装置において、 前記ヘッド部の移動方向前方側に前記ペースト膜から分
離されたペーストを回収するペースト回収ケースが設け
られていることを特徴とするバリアリブ状物の形成装
置。
1. A base for horizontally arranging a substrate, a head portion provided above the base, and a comb tooth at the bottom,
The lower part is arranged horizontally to face the substrate, and a blade held by the head part is provided, and the paste film formed on the surface of the substrate is stabbed with the comb teeth, and the head part, In a barrier rib-like material forming device for forming a barrier rib-like material on the surface of the substrate by moving a blade in a horizontal direction relative to the base, the paste film is formed on the front side in the moving direction of the head portion. An apparatus for forming a barrier rib-like object, characterized in that a paste recovery case for recovering the separated paste is provided.
【請求項2】 請求項1に記載のバリアリブ状物の形成
装置において、 前記ペーストを前記ペースト回収ケース外に排出するペ
ースト排出手段が設けられていることを特徴とするバリ
アリブ状物の形成装置。
2. The barrier rib-like material forming apparatus according to claim 1, further comprising paste discharging means for discharging the paste to the outside of the paste collecting case.
【請求項3】 請求項2に記載のバリアリブ状物の形成
装置において、 前記ペースト排出手段は、前記ペースト回収ケース内に
円柱状のドラムを備えていることを特徴とするバリアリ
ブ状物の形成装置。
3. The barrier rib-like material forming apparatus according to claim 2, wherein the paste discharging unit includes a cylindrical drum inside the paste collecting case. .
【請求項4】 基板の表面にペースト膜を形成し、 基台の上面に前記基板を水平に配置すると共に、下部に
くし歯が形成されているブレードを前記ペースト膜に突
き刺し、 前記ブレードが前記基台および基板に対して相対的に水
平方向に移動し、前記くし歯に当接する前記ペースト膜
を掃きとり、または、前記ペースト膜を前記くし歯の隙
間に通過させ、 前記くし歯の隙間を通過した前記ペースト膜をバリアリ
ブ状物に形成するバリアリブ状物の形成方法において、 前記ペースト膜をバリアリブ状物に形成しつつ、前記ペ
ースト膜から前記くし歯により掃きとられたペーストを
ペースト回収ケース内に回収することを特徴とするバリ
アリブ状物の形成方法。
4. A paste film is formed on a surface of a substrate, the substrate is horizontally arranged on an upper surface of a base, and a blade having comb teeth formed at the bottom is pierced into the paste film, It moves in a relative horizontal direction with respect to the base and the substrate, and sweeps the paste film that abuts the comb teeth, or allows the paste film to pass through the gap between the comb teeth, A method of forming a barrier rib-like material, wherein the pasted paste film is formed into a barrier rib-like material, wherein the paste film is formed into a barrier rib-like material, and the paste swept from the paste film by the comb teeth is in a paste recovery case. A method for forming a barrier rib-like material, which is characterized in that
【請求項5】 請求項4に記載のバリアリブ状物の形成
方法において、 前記ペースト回収ケース内に回収された前記ペーストを
連続的に前記ペースト回収ケース外に排出することを特
徴とするバリアリブ状物の形成方法。
5. The barrier rib-like material according to claim 4, wherein the paste recovered in the paste recovery case is continuously discharged to the outside of the paste recovery case. Forming method.
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