JP2003297234A - Forming device and forming method of barrier rib-like material - Google Patents

Forming device and forming method of barrier rib-like material

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JP2003297234A
JP2003297234A JP2002096733A JP2002096733A JP2003297234A JP 2003297234 A JP2003297234 A JP 2003297234A JP 2002096733 A JP2002096733 A JP 2002096733A JP 2002096733 A JP2002096733 A JP 2002096733A JP 2003297234 A JP2003297234 A JP 2003297234A
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JP
Japan
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paste
blade
barrier rib
substrate
scraping
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2002096733A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ryuji Uesugi
隆二 植杉
Yoshio Kanda
義雄 神田
Yoshio Kuromitsu
祥郎 黒光
Yoshihiro Nakajima
由浩 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Micro Tec Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Micro Tec Co Ltd
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp, Micro Tec Co Ltd filed Critical Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a barrier rib-like material to be continuously formed in a plurality of substrates without removing a paste in a forming device of the barrier rib-like material. <P>SOLUTION: In the forming device 1 of the barrier rib-like material wherein the barrier rib-like material 22 is formed on the surface of the substrate 20 by the moving a blade 5 horizontally relatively to the base board 2 together with the head part 3 by thrusting comb teeth into a paste film formed on the surface of the substrate 20, the forming device 1 of the barrier rib-like material is provided which is characterized in that a paste recovery case 12 for collecting the paste separated from the paste film 21 on the forward side of moving direction of the head part 3, a paste scraping device 13 for scraping out paste 23 recovered/accumulated in the paste recovery case 12 to the outside of the paste recovery case 12, and a receiving saucer 14 to house the paste 23 scraped out by the paste scraping device 13 are provided. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、PDP(plas
ma display panel)に使用される基板
にバリアリブ状物を形成するためのバリアリブ状物の形
成装置に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a PDP (plasm).
The present invention relates to a barrier rib-like material forming apparatus for forming a barrier rib-like material on a substrate used for a ma display panel).

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、PDP(plasma dis
play panel)に使用される基板にバリアリブ
状物を形成するために、バリアリブ状物の形成装置が使
用されている。従来より、例えば特開2000−243
267に示されているバリアリブ状物の形成装置が知ら
れており、図11に示すように、このバリアリブ状物の
形成装置51は、基台52と、基台52の上方に設けら
れ、水平方向(AB方向)に移動可能な移動ヘッド53
と、移動ヘッド53に設けられるエアシリンダ57と、
エアシリンダ57に支持されるブレードホルダ54と、
ブレードホルダ54に保持されたブレード55とを備え
ている。
2. Description of the Related Art Generally, a PDP (plasma dis) is used.
An apparatus for forming barrier ribs is used to form barrier ribs on a substrate used for a play panel. Conventionally, for example, JP 2000-243A
A barrier rib-like material forming apparatus shown in FIG. 267 is known, and as shown in FIG. 11, this barrier rib-like material forming apparatus 51 is provided on a base 52 and above the base 52 and is horizontal. Moving head 53 movable in the direction (AB direction)
And an air cylinder 57 provided on the moving head 53,
A blade holder 54 supported by an air cylinder 57,
The blade 55 is held by the blade holder 54.

【0003】基台52は、その上面が水平に形成されて
なるものであり、この上面に基板70が配置されてい
る。この基板70の表面には、セラミックペーストが膜
状に塗布されており、この状態においては、セラミック
ペーストはペースト膜71となる。このセラミックペー
ストは、樹脂および溶剤にガラス粉末、若しくはガラス
・セラミック混合粉末を混練したものである。
The base 52 has its upper surface formed horizontally, and the substrate 70 is arranged on this upper surface. The surface of the substrate 70 is coated with a ceramic paste in a film shape. In this state, the ceramic paste becomes a paste film 71. This ceramic paste is obtained by kneading glass powder or glass-ceramic mixed powder with resin and solvent.

【0004】移動ヘッド53は、基台52の支柱52a
に回転自在に取り付けられた一対の雄ねじ軸56に連結
されており、雄ねじ軸56が回転することによりAB方
向に移動するものである。この移動ヘッド53には左右
一対のエアシリンダ57が設けられており、このエアシ
リンダ57のロッド57aの下端部にブレードホルダ5
4が支持されている。
The moving head 53 is a support column 52a of the base 52.
It is connected to a pair of male screw shafts 56 rotatably attached to, and moves in the AB direction as the male screw shafts 56 rotate. The moving head 53 is provided with a pair of left and right air cylinders 57. The blade holder 5 is attached to the lower end of the rod 57a of the air cylinder 57.
4 are supported.

【0005】ブレードホルダ54は、エアシリンダ5
7、エアタンク58およびエア圧調整装置59により垂
直方向(CD方向)に移動可能となるものであり、この
ブレードホルダ54の下部には、ブレード55を保持す
るためのスリット54aが移動ヘッド53の移動方向に
直交する方向(EF方向)に形成されている。
The blade holder 54 is used for the air cylinder 5
7, the air tank 58 and the air pressure adjusting device 59 enable movement in the vertical direction (CD direction). A slit 54a for holding the blade 55 is provided below the blade holder 54 to move the moving head 53. It is formed in a direction (EF direction) orthogonal to the direction.

【0006】ブレード55は、金属、セラミック若しく
は樹脂等により板状に形成されてなるものであり、その
下端部には複数のくし歯55aが形成されている。ま
た、このブレード55は、その上端部をブレードホルダ
54のスリット54aに挿入することによりブレードホ
ルダ54に保持されることとなり、その下端部が基台5
2および基板70の表面に対して水平になるように配置
されている。
The blade 55 is made of metal, ceramic, resin or the like in a plate shape, and has a plurality of comb teeth 55a at its lower end. Further, the blade 55 is held by the blade holder 54 by inserting the upper end portion thereof into the slit 54a of the blade holder 54, and the lower end portion thereof is held by the base 5
2 and the surface of the substrate 70 are arranged to be horizontal.

【0007】図12に示すように、くし歯55aをペー
スト膜71に突き刺してB方向に移動することにより、
くし歯55aに当接する部分のペースト膜71は、くし
歯55aにより掃きとられ、または、くし歯55aの隙
間に移動し、この隙間を通過する。くし歯55aの隙間
に移動するペースト膜71は、くし歯55aの隙間に位
置するペースト膜71と共にバリアリブ状物72を形成
する。また、ペースト膜71からくし歯55aにより掃
きとられたペースト73は、ブレード55に付着/蓄積
することとなる。
As shown in FIG. 12, the comb teeth 55a are pierced into the paste film 71 and moved in the B direction,
The portion of the paste film 71 that comes into contact with the comb teeth 55a is swept away by the comb teeth 55a or moves to the gap between the comb teeth 55a and passes through this gap. The paste film 71 that moves into the gap between the comb teeth 55a forms a barrier rib-like object 72 together with the paste film 71 that is located in the gap between the comb teeth 55a. In addition, the paste 73 swept from the paste film 71 by the comb teeth 55a is attached / accumulated on the blade 55.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
バリアリブ状物の形成装置51においては、ペースト7
3がブレード55に蓄積するため、図13に示すよう
に、基板70の終端部70aにおいて、ブレード55を
基板70およびバリアリブ状物72から離間する際に、
ブレード55に蓄積したペースト73が基板70の表面
にダレる等して、終端部70aにおいて形成されるバリ
アリブ状物72の形状が乱れるという問題があった。ま
た、ブレード55に蓄積するペースト73を除去せず
に、ブレード55をバリアリブ状物72が形成される前
の基板70に突き刺した場合には、突き刺した部分に形
成されるバリアリブ状物72の形状が乱れるという問題
があった。
However, in the above-mentioned barrier rib-like material forming apparatus 51, the paste 7 is used.
Since 3 accumulates on the blade 55, as shown in FIG. 13, when the blade 55 is separated from the substrate 70 and the barrier rib-like material 72 at the terminal end portion 70 a of the substrate 70,
There is a problem that the shape of the barrier rib-like material 72 formed at the terminal end portion 70a is disturbed because the paste 73 accumulated on the blade 55 is dripped on the surface of the substrate 70. Further, when the blade 55 is pierced into the substrate 70 before the barrier rib-shaped object 72 is formed without removing the paste 73 accumulated on the blade 55, the shape of the barrier rib-shaped object 72 formed in the pierced portion. There was a problem that was disturbed.

【0009】さらに、ブレード55を用いて多数枚の基
板70に連続的にバリアリブ状物72を形成する場合に
は、ブレード55に蓄積するペースト73が増大し、く
し歯55aの隙間に移動するペースト膜71の量が変化
するため、基板70の枚数が増加することに伴い、形成
されるバリアリブ状物72の高さが変化するという問題
があった。
Further, when the barrier ribs 72 are continuously formed on a large number of substrates 70 using the blade 55, the paste 73 accumulated on the blade 55 increases and the paste moves to the gaps of the comb teeth 55a. Since the amount of the film 71 changes, there is a problem that the height of the barrier rib-like material 72 formed changes as the number of substrates 70 increases.

【0010】この発明は、上述した事情に鑑みてなされ
たものであって、ペースト除去を行うことなく、多数枚
の基板に連続的にバリアリブ状物を形成することができ
るバリアリブ状物の形成装置を提供することを目的とし
ている。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and is a device for forming barrier rib-like objects which can continuously form barrier rib-like objects on a large number of substrates without removing the paste. Is intended to provide.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は以下の手段を提案している。請求項1に
係る発明は、基板を水平に配置する基台と、前記基台の
上方に設けられたヘッド部と、下部にくし歯を有し、該
下部を水平にして前記基板に対向配置させ、かつ、前記
ヘッド部に保持されたブレードとを備え、前記基板の表
面に形成されたペースト膜に前記くし歯を突き刺して前
記ヘッド部と共に、前記ブレードが前記基台に対して相
対的に水平方向に移動することにより前記基板の表面に
バリアリブ状物を形成するバリアリブ状物の形成装置に
おいて、前記ヘッド部の移動方向前方側に設けられ、前
記ペースト膜から分離されたペーストを回収するペース
ト回収ケースと、前記ペースト回収ケース内に回収/蓄
積された前記ペーストを前記ペースト回収ケース外に掻
き出すペースト掻出し装置と、前記ペースト掻出し装置
により掻き出された前記ペーストを収容するための受け
皿とを備えていることを特徴とするバリアリブ状物の形
成装置を提案している。
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means. The invention according to claim 1 has a base for horizontally arranging the substrate, a head portion provided above the base, and a comb tooth on the lower portion, and the lower portion is horizontally arranged so as to face the substrate. And a blade held by the head portion, the paste film formed on the surface of the substrate is pierced with the comb teeth, together with the head portion, the blade relative to the base. In a barrier rib-like material forming apparatus that forms a barrier rib-like material on the surface of the substrate by moving in the horizontal direction, a paste that is provided on the front side in the moving direction of the head portion and collects the paste separated from the paste film. A recovery case, a paste scraping device for scraping the paste collected / accumulated in the paste collecting case out of the paste collecting case, and a paste scraping device. Proposes forming apparatus a barrier rib-like material, characterized in that it comprises a saucer for housing the can out the above paste.

【0012】この発明に係るバリアリブ状物の形成装置
においては、くし歯をペースト膜に突き刺した状態にお
いて、ヘッド部と共にブレードが基台に対して相対的に
水平方向に移動することにより、基板表面に形成された
ペースト膜のうち、ブレードのくし歯に当接する部分の
ペースト膜は、くし歯の隙間に移動する、若しくは、く
し歯により掃きとられる。くし歯の隙間を通過するペー
スト膜は、基板の表面に残存し、このペースト膜により
基板の表面にバリアリブ状物が形成される。一方、くし
歯により掃きとられたペーストは、ペースト回収ケース
内に回収/蓄積される。そして、このペーストは、ペー
スト掻出し装置によってペースト回収ケースから受け皿
に収容されるため、ペースト回収ケース内に残存するペ
ーストを一定量に保つことになる。したがって、単位時
間あたりにペースト回収ケース内に回収されるペースト
の量(ペースト回収速度)が一定となり、くし歯の隙間
に移動するペースト膜の量が一定に保たれる。
In the barrier rib-like material forming apparatus according to the present invention, when the comb teeth are pierced into the paste film, the blade moves together with the head portion in the horizontal direction relative to the base, so that the substrate surface Of the paste film formed on the blade, the portion of the paste film that comes into contact with the comb teeth of the blade moves to the gap between the comb teeth or is swept away by the comb teeth. The paste film passing through the gap between the comb teeth remains on the surface of the substrate, and the paste film forms a barrier rib-like material on the surface of the substrate. On the other hand, the paste swept by the comb teeth is collected / stored in the paste collection case. Then, since this paste is stored in the tray from the paste collection case by the paste scraping device, the paste remaining in the paste collection case is maintained at a constant amount. Therefore, the amount of paste recovered in the paste recovery case per unit time (paste recovery speed) becomes constant, and the amount of paste film moving to the gap between the comb teeth is kept constant.

【0013】また、請求項2に係る発明は、請求項1に
記載のバリアリブ状物の形成装置において、前記ペース
ト回収ケースは、前記ブレードに対向して前記ブレード
の進行方向に延在する板状のすくい刃を有し、前記受け
皿は、該すくい刃の移動領域の下方から該すくい刃の下
面に至る領域で上下方向に移動するように構成され、前
記受け皿は、前記すくい刃の下面に当接して、該すくい
刃の水平方向の相対移動によって該すくい刃の下面に付
着したペーストを掻き取るペースト除去板を備えている
ことを特徴とするバリアリブ状物の形成装置を提案して
いる。この発明に係るバリアリブ状物の形成装置におい
ては、ペースト回収ケース内のペーストがペースト掻取
り装置により掻き取られる際に、ペーストの一部がすく
い刃の下面に回り込んで付着する。すくい刃の下面に付
着したペーストは、ペースト除去板がすくい刃の下面に
当接して、すくい刃とペースト除去板とが相対的に水平
方向に、かつ逆方向に移動することにより、掻き取られ
る。
The invention according to claim 2 is the apparatus for forming a barrier rib-like material according to claim 1, wherein the paste recovery case is a plate-like member that faces the blade and extends in the advancing direction of the blade. A rake blade, the saucer is configured to move in the vertical direction in a region from below the moving region of the rake blade to the lower surface of the rake blade, and the saucer contacts the lower surface of the rake blade. A barrier rib-like material forming device is proposed, which is provided with a paste removing plate that scrapes off the paste adhering to the lower surface of the rake blade by the relative movement of the rake blade in the horizontal direction. In the barrier rib-like material forming device according to the present invention, when the paste in the paste recovery case is scraped off by the paste scraping device, a part of the paste wraps around and adheres to the lower surface of the rake blade. The paste adhering to the lower surface of the rake blade is scraped off when the paste removing plate comes into contact with the lower surface of the rake blade and the rake blade and the paste removing plate move relatively horizontally and in opposite directions. .

【0014】また、請求項3に係る発明は、請求項2に
記載のバリアリブ状物の形成装置において、前記ペース
ト除去板は、弾性部材からなることを特徴とするバリア
リブ状物の形成装置を提案している。この発明に係るバ
リアリブ状物の形成装置においては、ペースト除去板が
すくい刃の下面に対して弾性的に当接するため、すくい
刃とペースト除去板とが当接した状態で相対的に逆方向
に平行移動をした際に、ペースト除去板がすくい刃の下
面になじむようにして、すくい刃の下面に付着したペー
ストを除去する。
The invention according to claim 3 proposes an apparatus for forming a barrier rib-like material according to claim 2, wherein the paste removing plate is made of an elastic member. is doing. In the barrier rib-like material forming apparatus according to the present invention, since the paste removing plate elastically abuts against the lower surface of the rake blade, the rake blade and the paste removing plate are relatively abutted in the opposite directions. When the parallel movement is made, the paste removing plate conforms to the lower surface of the rake blade to remove the paste attached to the lower surface of the rake blade.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】図1から図10はこの発明に係る
一実施形態を示す。図1、図3に示すように、この実施
の形態に係るバリアリブ状物の形成装置1は、基台2
と、基台2の上方に設けられ、水平方向(AB方向)に
移動可能な移動ヘッド(ヘッド部)3と、移動ヘッド3
に設けられるエアシリンダ9と、エアシリンダ9に支持
されるブレードホルダ4と、ブレードホルダ4により保
持されるブレード5とを備えている。以上の構成は、前
述した従来のものと同一である。
1 to 10 show an embodiment according to the present invention. As shown in FIGS. 1 and 3, a barrier rib-like material forming apparatus 1 according to the present embodiment includes a base 2
A movable head (head portion) 3 provided above the base 2 and movable in the horizontal direction (AB direction);
The air cylinder 9 provided on the air cylinder 9, the blade holder 4 supported by the air cylinder 9, and the blade 5 held by the blade holder 4. The above configuration is the same as the conventional one described above.

【0016】基台2は、その上面2bが水平に形成され
ており、この上面2bには図示しない複数の微小孔が形
成されている。この微小孔が形成されている領域に基板
20が配置され、この微小孔に連通された図示しないバ
キュームポンプを起動することにより、基板20が基台
2の上面2bに吸着する。基台2の上面2bに配置され
る基板20の表面には、セラミックペーストが膜状に塗
布されており、この状態において、セラミックペースト
はペースト膜21となる。このセラミックペーストは、
樹脂および溶剤にガラス粉末、若しくはガラス・セラミ
ック混合粉末を混練したものである。
The base 2 has an upper surface 2b formed horizontally, and a plurality of fine holes (not shown) are formed on the upper surface 2b. The substrate 20 is arranged in the region where the minute holes are formed, and the vacuum pump (not shown) that is in communication with the minute holes is activated to attract the substrate 20 to the upper surface 2b of the base 2. The surface of the substrate 20 disposed on the upper surface 2b of the base 2 is coated with a ceramic paste in a film shape, and in this state, the ceramic paste becomes a paste film 21. This ceramic paste is
It is a mixture of resin and solvent with glass powder or glass-ceramic mixed powder.

【0017】基台2の上面2cからは支柱2aが上方に
延在しており、この支柱2aには、雄ねじ軸6、電気式
アクチュエータ7およびペースト掻出し装置13が設け
られている。雄ねじ軸6は、水平に架設されており、雄
ねじ軸6には、電気式アクチュエータ7が連結されてい
る。電気式アクチュエータ7は、図示しない駆動回路に
より制御されるものであり、駆動回路からの信号に基づ
いて雄ねじ軸6を回転させるように構成されている。
A pillar 2a extends upward from the upper surface 2c of the base 2, and the pillar 2a is provided with a male screw shaft 6, an electric actuator 7, and a paste scraping device 13. The male screw shaft 6 is horizontally installed, and an electric actuator 7 is connected to the male screw shaft 6. The electric actuator 7 is controlled by a drive circuit (not shown), and is configured to rotate the male screw shaft 6 based on a signal from the drive circuit.

【0018】移動ヘッド3は、雌ねじ軸受を備えてお
り、この雌ねじ軸受に雄ねじ軸6を螺合することによ
り、雄ねじ軸6に連結されてなるものである。この移動
ヘッド3は、雄ねじ軸6が回転することにより基台2の
上方においてAB方向に移動するものであり、移動ヘッ
ド3にはエアシリンダ9が設けられている。
The moving head 3 is provided with a female screw bearing, and is connected to the male screw shaft 6 by screwing a male screw shaft 6 into the female screw bearing. The moving head 3 moves in the AB direction above the base 2 when the male screw shaft 6 rotates, and the moving head 3 is provided with an air cylinder 9.

【0019】エアシリンダ9は、シリンダ本体9aとロ
ッド9bとからなるものであり、エアタンク10および
エア圧調整装置11に接続されている。このエアシリン
ダ9は、エアタンク10およびエア圧調整装置11から
シリンダ本体9aに圧縮エアの供給/排出が行われるこ
とにより、ロッド9bが進出/退避できるように構成さ
れたものである。ロッド9bの下端部にはブレードホル
ダ4およびペースト回収ケース12が固定されており、
ロッド9bが伸縮することによってブレードホルダ4お
よびペースト回収ケース12が垂直方向(CD方向)に
移動可能となる。このブレードホルダ4の下端部には、
ブレード5を保持するためのスリット4aが形成されて
いる。
The air cylinder 9 is composed of a cylinder body 9a and a rod 9b, and is connected to an air tank 10 and an air pressure adjusting device 11. The air cylinder 9 is configured such that the rod 9b can advance / retract by supplying / discharging compressed air from the air tank 10 and the air pressure adjusting device 11 to / from the cylinder body 9a. The blade holder 4 and the paste recovery case 12 are fixed to the lower end of the rod 9b,
The expansion and contraction of the rod 9b enables the blade holder 4 and the paste recovery case 12 to move in the vertical direction (CD direction). At the lower end of the blade holder 4,
A slit 4a for holding the blade 5 is formed.

【0020】ブレード5は、金属、セラミック若しくは
樹脂等により板状に形成されてなるものであり、その上
端部をブレードホルダ4のスリット4aに挿入すること
によりブレードホルダ4に保持される。また、ブレード
5は、その下端部が基台2および基板20に対して水平
になるように配置されており、その下端部には、図4に
示すように、基板20の表面に形成されるバリアリブ状
物22の高さと同等の長さを有する複数のくし歯5aが
形成されている。このブレード5は、図1に示すよう
に、基台2の上面2bに対して垂直な方向から移動方向
側に一定角度傾けて配置されている。
The blade 5 is made of metal, ceramic, resin or the like in a plate shape, and is held by the blade holder 4 by inserting the upper end portion thereof into the slit 4a of the blade holder 4. Further, the blade 5 is arranged such that its lower end is horizontal to the base 2 and the substrate 20, and is formed on the surface of the substrate 20 at its lower end as shown in FIG. A plurality of comb teeth 5 a having a length equal to the height of the barrier rib-like material 22 are formed. As shown in FIG. 1, the blade 5 is arranged so as to be inclined from the direction perpendicular to the upper surface 2b of the base 2 toward the movement direction by a certain angle.

【0021】ペースト回収ケース12は、図3に示すよ
うに、ペースト膜21からブレード5のくし歯5aによ
り掃きとられるペースト23を回収/蓄積するためのも
のであり、ブレード5の移動方向(B方向)前方側に、
ブレード5の前面との間にペースト23が流動可能な間
隙を設けるように配置されている。このペースト回収ケ
ース12には、図2に示すように、楔状のすくい刃12
aと、ペースト23をペースト回収ケース12外に排出
するための排出孔12bとが形成されている。
As shown in FIG. 3, the paste recovery case 12 is for recovering / accumulating the paste 23 swept from the paste film 21 by the comb teeth 5a of the blade 5, and in the moving direction of the blade 5 (B Direction) to the front side,
The paste 23 is arranged so as to form a gap between the blade 5 and the front surface of the blade 5 so that the paste 23 can flow. As shown in FIG. 2, the paste collecting case 12 has a wedge-shaped rake blade 12
A and a discharge hole 12b for discharging the paste 23 to the outside of the paste collection case 12 are formed.

【0022】ペースト掻出し装置13は、図1に示すよ
うに、ペースト掻出し部材13aと、このペースト掻出
し部材13aを駆動するための掻出し駆動機構13bと
を備えている。ペースト掻出し部材13aは、その先端
部13cが鉤状に形成されており、排出孔12bに挿通
可能な位置に配置されている。このペースト掻出し部材
13aは、ペースト回収ケース12内に蓄積されるペー
スト23をペースト回収ケース12外に掻き出すための
ものである。
As shown in FIG. 1, the paste scraping device 13 includes a paste scraping member 13a and a scraping driving mechanism 13b for driving the paste scraping member 13a. The paste scraping member 13a has a tip portion 13c formed in a hook shape, and is arranged at a position where it can be inserted into the discharge hole 12b. The paste scraping member 13 a is for scraping the paste 23 accumulated in the paste collecting case 12 out of the paste collecting case 12.

【0023】また、基台2の上面2cには、ペースト掻
出し部材13aによりペースト回収ケース12外に掻き
出されたペースト23を収容するための受け皿14が設
けられており、受け皿14は、上下方向に移動自在に支
持された支持棒14aと、受け皿本体14bと、受け皿
本体14bに固定されたペースト除去板15とを備えて
いる。この受け皿14は、図示しない駆動源により支持
棒14aが駆動されて、基台2の上面2cとすくい刃1
2aの下面との間を上下移動できるようになっており、
ペースト除去板15は、ゴム等の弾性部材により形成さ
れている。
On the upper surface 2c of the base 2, there is provided a tray 14 for accommodating the paste 23 scraped out of the paste recovery case 12 by the paste scraping member 13a. It includes a support rod 14a movably supported in a direction, a saucer body 14b, and a paste removing plate 15 fixed to the saucer body 14b. In this tray 14, the support rod 14a is driven by a drive source (not shown), and the upper surface 2c of the base 2 and the rake blade 1
It can move up and down between the lower surface of 2a,
The paste removing plate 15 is formed of an elastic member such as rubber.

【0024】以上のように構成されたバリアリブ状物の
形成装置1は、以下のように動作する。まず、このバリ
アリブ状物の形成装置1を起動すると、エアタンク10
から圧縮エアがエアシリンダ9に供給され、これにより
ロッド9bがD方向に突出し、これに伴って、ブレード
ホルダ4およびブレード5がD方向に移動し、くし歯5
aがペースト膜21に突き刺さる。次いで、電気式アク
チュエータ7が動作することにより雄ねじ軸6が回転
し、移動ヘッド3、ブレードホルダ4およびブレード5
がB方向に移動する。この際、くし歯5aに当接する部
分のペースト膜21は、図3に示すように、くし歯5a
により掃きとられ、または、くし歯5aの隙間に移動す
る。
The barrier rib-like material forming apparatus 1 configured as described above operates as follows. First, when the apparatus 1 for forming barrier ribs is activated, the air tank 10
Compressed air is supplied to the air cylinder 9 from the rod 9b, which causes the rod 9b to project in the D direction, which causes the blade holder 4 and the blade 5 to move in the D direction.
The a penetrates the paste film 21. Then, the male screw shaft 6 is rotated by the operation of the electric actuator 7, and the moving head 3, the blade holder 4 and the blade 5 are rotated.
Moves in the B direction. At this time, as shown in FIG. 3, the portion of the paste film 21 that abuts on the comb teeth 5a is
Is swept away by or moved to the gap between the comb teeth 5a.

【0025】くし歯5aの隙間に移動するペースト膜2
1は、くし歯5aの隙間に位置するペースト膜21と共
に基板20表面上にバリアリブ状物22を形成する。一
方、ペースト膜21からくし歯5aにより掃きとられた
ペースト23は、ブレード5とすくい刃12aの先端と
の間隙からペースト回収ケース12内に流入し、ペース
ト23としてペースト回収ケース12内に回収/蓄積さ
れる。そして、ブレード5が基板20の終端まで到達す
ると、ブレード5を基板20から離間して、一枚の基板
20にバリアリブ状物22が形成されることになる。
The paste film 2 moving into the gap between the comb teeth 5a
No. 1 forms a barrier rib 22 on the surface of the substrate 20 together with the paste film 21 located in the gap between the comb teeth 5a. On the other hand, the paste 23 swept from the paste film 21 by the comb teeth 5a flows into the paste recovery case 12 through a gap between the blade 5 and the tip of the rake blade 12a, and is recovered as the paste 23 in the paste recovery case 12. Accumulated. Then, when the blade 5 reaches the end of the substrate 20, the blade 5 is separated from the substrate 20, and the barrier rib-like material 22 is formed on one substrate 20.

【0026】ペースト回収ケース12内に蓄積されたペ
ースト23は、以下のようにペースト回収ケース12外
に排出される。すなわち、一枚の基板20にバリアリブ
状物22を形成した後に、ペースト回収ケース12が、
図5、図6に示すように、ペースト掻出し部材13aを
排出孔12bに相対的に挿通させるように、さらにB方
向に移動する。次いで、図7に示すように、掻出し駆動
機構13bによりペースト掻出し部材13aをD方向に
移動して、先端部13cをペースト23に突き刺し、す
くい刃12aの上面に当接させる。
The paste 23 accumulated in the paste collecting case 12 is discharged to the outside of the paste collecting case 12 as follows. That is, after the barrier rib-like material 22 is formed on one substrate 20, the paste recovery case 12 is
As shown in FIGS. 5 and 6, the paste scraping member 13a is further moved in the B direction so as to be relatively inserted into the discharge hole 12b. Next, as shown in FIG. 7, the scraping drive mechanism 13b moves the paste scraping member 13a in the D direction to pierce the paste 23 with the tip portion 13c and bring it into contact with the upper surface of the rake blade 12a.

【0027】そして、図8に示すように、ペースト掻出
し部材13aの先端部13cがすくい刃12aの上面に
当接した状態を保つように、掻出し駆動機構13bによ
りペースト掻出し部材13aをペースト回収ケース12
外に出るまでB方向に移動させて、ペースト23の一部
をペースト回収ケース12外に掻き出す。したがって、
ペースト回収ケース12内には、一定量のペースト23
が残存され、単位時間あたりにペースト回収ケース12
内に回収されるペースト23の量(ペースト回収速度)
が一定に保たれる。これにより、連続的に多数枚の基板
20にバリアリブ状物22を形成する場合において、く
し歯5aの隙間に移動するペースト膜21の量が一定に
保たれることになる。
Then, as shown in FIG. 8, the paste scraping member 13a is pasted by the scraping driving mechanism 13b so that the tip portion 13c of the paste scraping member 13a is kept in contact with the upper surface of the rake blade 12a. Collection case 12
The paste 23 is moved in the B direction until it goes out, and a part of the paste 23 is scraped out of the paste collection case 12. Therefore,
In the paste collection case 12, a fixed amount of paste 23
Remains and the paste collection case 12 per unit time
Amount of paste 23 collected inside (paste collection speed)
Is kept constant. As a result, when the barrier rib-like material 22 is continuously formed on a large number of substrates 20, the amount of the paste film 21 that moves into the gap between the comb teeth 5a is kept constant.

【0028】また、掻き出されたペースト23は、その
一部が落下して受け皿本体14bに収容され、他の一部
がペースト掻出し部材13aの先端部13cに付着する
と共に、すくい刃12aの下面に回り込んで付着する。
このすくい刃12aの下面に付着したペースト23は、
ペースト除去板15により掻き取られる。すなわち、図
9に示すように、ペースト除去板15がすくい刃12a
の下面に当接するまで、受け皿14が垂直方向上方(C
方向)に移動し、図10に示すように、すくい刃12a
とペースト除去板15との当接部分がなくなるまで、ペ
ースト回収ケース12をA方向に移動させる。これによ
り、すくい刃12aの下面に付着したペースト23がペ
ースト除去板15により掻き取られる。
A part of the scraped-out paste 23 falls and is accommodated in the saucer body 14b, and the other part adheres to the tip portion 13c of the paste scraping member 13a, and the scraping blade 12a It wraps around the bottom surface and adheres.
The paste 23 attached to the lower surface of the rake blade 12a is
It is scraped off by the paste removing plate 15. That is, as shown in FIG. 9, the paste removing plate 15 has the rake blade 12a.
Until the tray 14 contacts the lower surface of the
Direction), and as shown in FIG. 10, the rake blade 12a
The paste collecting case 12 is moved in the direction A until there is no contact portion between the paste removing plate 15 and the paste removing plate 15. As a result, the paste 23 attached to the lower surface of the rake blade 12a is scraped off by the paste removing plate 15.

【0029】連続して多数枚の基板20にバリアリブ状
物を形成する場合には、上記の作業終了後に、新しい基
板20を基台2の上面2bに配置すると共に、移動ヘッ
ド3をA方向に移動して、基板20の始端にくし歯5a
を突き刺し、バリアリブ状物22を形成する。
When the barrier rib-like material is continuously formed on a large number of substrates 20, a new substrate 20 is placed on the upper surface 2b of the base 2 and the moving head 3 is moved in the A direction after the above work is completed. Move to the starting end of the substrate 20 and comb 5a
And the barrier rib-like material 22 is formed.

【0030】上記のように、このバリアリブ状物の形成
装置1によれば、ペースト23がペースト回収ケース1
2内に回収されるため、ペースト23がブレード5に蓄
積されることがなく、したがって、基板20の終端にお
いてバリアリブ状物22の形状を精度よく形成すること
ができる。また、連続的に多数枚の基板20にバリアリ
ブ状物22を形成する場合においては、くし歯5aを突
き刺した部分に形成されるバリアリブ状物22の形状を
精度よく形成することができると共に、くし歯5aの隙
間に移動するペースト膜21の量が一定に保たれるた
め、バリアリブ状物22の高さを一定に保ちながら形成
することが可能となる。
As described above, according to the barrier rib-like material forming apparatus 1, the paste 23 is the paste recovery case 1.
Since the paste 23 is collected in the blade 5, the paste 23 is not accumulated on the blade 5, and thus the shape of the barrier rib 22 can be accurately formed at the end of the substrate 20. Further, when the barrier rib-like material 22 is continuously formed on a large number of substrates 20, the shape of the barrier rib-like material 22 formed at the portion where the comb teeth 5a are pierced can be accurately formed, and at the same time, the comb Since the amount of the paste film 21 that moves into the gap between the teeth 5a is kept constant, it is possible to form the barrier rib 22 while keeping the height of the barrier rib 22 constant.

【0031】さらに、ペースト除去板15がすくい刃1
2aの下面に対して弾性的に当接し、ペースト除去板1
5がすくい刃12aの下面になじむようにして、すくい
刃12aの下面に付着したペースト23を除去するた
め、掻き取りが良好に行われ、確実にペースト23を除
去することができる。
Further, the paste removing plate 15 has a scooping blade 1
The paste removing plate 1 elastically abuts on the lower surface of 2a.
Since the paste 5 adhered to the lower surface of the rake blade 12a is removed by making the 5 fit to the lower surface of the rake blade 12a, the scraping is favorably performed, and the paste 23 can be reliably removed.

【0032】なお、上記の実施の形態においては、ブレ
ード5が移動ヘッド3と共に水平方向に移動するとした
が、ブレードを定位置に固定する固定ヘッドに取り付
け、基板が基台と共に水平方向に移動するとしてもよ
い。また、ブレード5は、基台2の上面2bに対して垂
直な方向から移動方向側に一定角度傾けて配置されると
したが、この配置に限られることはなく、垂直な方向に
配置してもよい。さらに、一枚の基板20の表面にバリ
アリブ状物22を形成する毎に、ペースト23をペース
ト回収ケース12外に排出するとしたが、複数の基板2
0にバリアリブ状物22を形成する毎にペースト23を
ペースト回収ケース12外に排出するとしてもよい。ま
た、移動ヘッド3は、雄ねじ軸6が回転することにより
水平方向に移動するとしたが、一対の円柱状のロールに
巻回されたスチールベルトに移動ヘッドを設けて、ロー
ルが回転してスチールベルトが動くことにより、移動ヘ
ッドが水平方向に移動する構成としてもよい。
In the above-mentioned embodiment, the blade 5 moves in the horizontal direction together with the moving head 3. However, the blade is attached to a fixed head for fixing the blade in a fixed position, and the substrate moves in the horizontal direction together with the base. May be Further, although the blade 5 is arranged to be tilted by a certain angle from the direction perpendicular to the upper surface 2b of the base 2 to the moving direction side, the invention is not limited to this arrangement, and it may be arranged in the vertical direction. Good. Further, the paste 23 is discharged to the outside of the paste recovery case 12 every time the barrier rib-like material 22 is formed on the surface of one substrate 20, but the plurality of substrates 2
The paste 23 may be discharged to the outside of the paste collection case 12 each time the barrier rib-like material 22 is formed on the substrate. Further, the moving head 3 is supposed to move in the horizontal direction by the rotation of the male screw shaft 6, but the moving head is provided on the steel belt wound around a pair of cylindrical rolls so that the roll rotates and the steel belt rotates. The moving head may move in the horizontal direction by moving the.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1に係る発
明によれば、ペーストを回収するペースト回収ケースが
設けられているため、ブレードにペーストが蓄積される
ことなく、基板に形成されるバリアリブ状物の形状を精
度よく形成することができる。また、くし歯を突き刺し
た部分に形成されるバリアリブ状物の形状を精度よく形
成することができる。さらに、くし歯の隙間に移動する
ペースト膜の量が一定に保たれるため、連続的に多数枚
の基板にバリアリブ状物を形成する場合でも、バリアリ
ブ状物の高さを一定に保ちながら形成することが可能と
なる。
As described above, according to the invention of claim 1, since the paste collecting case for collecting the paste is provided, the paste is formed on the substrate without accumulating on the blade. The shape of the barrier rib-like material can be accurately formed. Further, it is possible to accurately form the shape of the barrier rib-like material formed in the portion where the comb teeth are pierced. Further, since the amount of the paste film that moves into the gap between the comb teeth is kept constant, even when the barrier rib-like material is continuously formed on a large number of substrates, the height of the barrier rib-like material is kept constant. It becomes possible to do.

【0034】また、請求項2に係る発明によれば、ペー
スト除去板がすくい刃の下面に当接し、すくい刃と受け
皿とが相対的に水平方向に移動することにより、すくい
刃の下面に付着したペーストが掻き取ることができる。
According to the second aspect of the present invention, the paste removing plate comes into contact with the lower surface of the rake blade, and the rake blade and the pan move relatively in the horizontal direction, so that the paste removing plate adheres to the lower surface of the rake blade. The paste can be scraped off.

【0035】また、請求項3に係る発明によれば、ペー
スト除去板がすくい刃の下面に対して弾性的に当接し、
ペースト除去板がすくい刃の下面になじむようにして、
すくい刃の下面に付着したペーストを除去するため、掻
き取りがより良好に行われ、すくい刃の下面に付着した
ペーストを確実に除去することができる。
According to the invention of claim 3, the paste removing plate elastically abuts against the lower surface of the rake blade,
Make sure that the paste removal plate conforms to the bottom of the scooping blade,
Since the paste attached to the lower surface of the rake blade is removed, the scraping is performed more favorably, and the paste attached to the lower surface of the rake blade can be reliably removed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本実施形態に係るバリアリブ状物の形成装置
の要部を示す拡大側断面図である。
FIG. 1 is an enlarged side cross-sectional view showing a main part of a barrier rib-like material forming apparatus according to the present embodiment.

【図2】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
ペースト回収ケースを示す斜視図である。
FIG. 2 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
It is a perspective view showing a paste collection case.

【図3】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
ブレードおよびペースト回収ケースの要部を示す拡大断
面図である。
FIG. 3 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
It is an expanded sectional view showing an important section of a blade and a paste collection case.

【図4】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
表面にバリアリブ状物が形成された基板を示す拡大正断
面図である。
FIG. 4 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
FIG. 4 is an enlarged front cross-sectional view showing a substrate having a barrier rib-like material formed on its surface.

【図5】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
ペーストの排出過程を示す形成装置の要部の側断面図で
ある。
5 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
FIG. 6 is a side cross-sectional view of a main part of the forming apparatus showing a paste discharging process.

【図6】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
ペーストの排出過程を示す形成装置の要部の側断面図で
ある。
6 is a view showing the apparatus for forming the barrier rib-like material of FIG.
FIG. 6 is a side cross-sectional view of a main part of the forming apparatus showing a paste discharging process.

【図7】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
ペーストの排出過程を示す形成装置の要部の側断面図で
ある。
FIG. 7 is a diagram showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
FIG. 6 is a side cross-sectional view of a main part of the forming apparatus showing a paste discharging process.

【図8】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
ペーストの排出過程を示す形成装置の要部の側断面図で
ある。
FIG. 8 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
FIG. 6 is a side cross-sectional view of a main part of the forming apparatus showing a paste discharging process.

【図9】 図1のバリアリブ状物の形成装置において、
ペーストの排出過程を示す形成装置の要部の側断面図で
ある。
9 is a view showing an apparatus for forming a barrier rib-like material of FIG.
FIG. 6 is a side cross-sectional view of a main part of the forming apparatus showing a paste discharging process.

【図10】 図1のバリアリブ状物の形成装置におい
て、ペーストの排出過程を示す形成装置の要部の側断面
図である。
10 is a side cross-sectional view of the main part of the forming device showing the process of discharging the paste in the forming device for barrier ribs of FIG. 1. FIG.

【図11】 従来のバリアリブ状物の形成装置の一例を
示す斜視図である。
FIG. 11 is a perspective view showing an example of a conventional apparatus for forming barrier ribs.

【図12】 図11のバリアリブ状物の形成装置におい
て、要部を示す拡大断面図である。
FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view showing a main part of the barrier rib-like material forming apparatus of FIG.

【図13】 図11のバリアリブ状物の形成装置におい
て、要部を示す拡大断面図である。
13 is an enlarged cross-sectional view showing a main part of the barrier rib-like material forming apparatus of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 バリアリブ状物の形成装置 2 基台 3 移動ヘッド(ヘッド部) 5 ブレード 5a くし歯 12 ペースト回収ケース 12a すくい刃 13 ペースト掻出し装置 14 受け皿 15 ペースト除去板 20 基板 21 ペースト膜 22 バリアリブ状物 23 ペースト 1 Barrier rib material forming device 2 bases 3 Moving head (head part) 5 blades 5a Comb teeth 12 Paste collection case 12a scooping blade 13 Paste scraping device 14 saucer 15 Paste removal plate 20 substrates 21 Paste film 22 Barrier ribs 23 paste

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神田 義雄 茨城県那珂郡那珂町向山1002−14 三菱マ テリアル株式会社総合研究所那珂研究セン ター内 (72)発明者 黒光 祥郎 茨城県那珂郡那珂町向山1002−14 三菱マ テリアル株式会社総合研究所那珂研究セン ター内 (72)発明者 中島 由浩 千葉県浦安市鉄鋼通り1−2−7 マイク ロ・テック株式会社内 Fターム(参考) 4F042 AA06 AB00 CC02 CC09 DD02 DD07 DD11 ED05 5C027 AA09 5C040 GF19 JA02 MA23    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Yoshio Kanda             1002-14 Mukoyama, Naka-machi, Naka-gun, Ibaraki Prefecture             Terari Co., Ltd.             Inside (72) Inventor Shoro Kuromitsu             1002-14 Mukoyama, Naka-machi, Naka-gun, Ibaraki Prefecture             Terari Co., Ltd.             Inside (72) Inventor Yoshihiro Nakajima             1-2-7 Steel Street, Urayasu City, Chiba Prefecture Mike             Within Lo Tech Co., Ltd. F-term (reference) 4F042 AA06 AB00 CC02 CC09 DD02                       DD07 DD11 ED05                 5C027 AA09                 5C040 GF19 JA02 MA23

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板を水平に配置する基台と、前記基台
の上方に設けられたヘッド部と、下部にくし歯を有し、
該下部を水平にして前記基板に対向配置させ、かつ、前
記ヘッド部に保持されたブレードとを備え、 前記基板の表面に形成されたペースト膜に前記くし歯を
突き刺して前記ヘッド部と共に、前記ブレードが前記基
台に対して相対的に水平方向に移動することにより前記
基板の表面にバリアリブ状物を形成するバリアリブ状物
の形成装置において、 前記ヘッド部の移動方向前方側に設けられ、前記ペース
ト膜から分離されたペーストを回収するペースト回収ケ
ースと、前記ペースト回収ケース内に回収/蓄積された
前記ペーストを前記ペースト回収ケース外に掻き出すペ
ースト掻出し装置と、前記ペースト掻出し装置により掻
き出された前記ペーストを収容するための受け皿とを備
えていることを特徴とするバリアリブ状物の形成装置。
1. A base for horizontally arranging a substrate, a head portion provided above the base, and a comb tooth at the bottom,
The lower part is arranged horizontally to face the substrate, and a blade held by the head part is provided, and the paste film formed on the surface of the substrate is stabbed with the comb teeth, and the head part, In a barrier rib-like material forming apparatus for forming a barrier rib-like material on a surface of the substrate by moving a blade in a horizontal direction relative to the base, the barrier rib-like material forming device is provided at a front side in a moving direction of the head portion A paste collection case for collecting the paste separated from the paste film, a paste scraping device for scraping the paste collected / accumulated in the paste collection case out of the paste collection case, and a scraping device for scraping by the paste scraping device. And a saucer for accommodating the formed paste.
【請求項2】 請求項1に記載のバリアリブ状物の形成
装置において、 前記ペースト回収ケースは、前記ブレードに対向して前
記ブレードの進行方向に延在する板状のすくい刃を有
し、前記受け皿は、該すくい刃の移動領域の下方から該
すくい刃の下面に至る領域で上下方向に移動するように
構成され、 前記受け皿は、前記すくい刃の下面に当接して、該すく
い刃の水平方向の相対移動によって該すくい刃の下面に
付着した前記ペーストを掻き取るペースト除去板を備え
ていることを特徴とするバリアリブ状物の形成装置。
2. The apparatus for forming a barrier rib-like material according to claim 1, wherein the paste recovery case has a plate-shaped rake blade that faces the blade and extends in a traveling direction of the blade, The saucer is configured to move in the vertical direction in a region from below the moving area of the rake blade to the lower surface of the rake blade, and the saucer abuts the lower surface of the rake blade to horizontally move the rake blade. An apparatus for forming a barrier rib-like object, comprising a paste removing plate for scraping off the paste adhering to the lower surface of the rake blade by relative movement in the direction.
【請求項3】 請求項2に記載のバリアリブ状物の形成
装置において、 前記ペースト除去板は、弾性部材からなることを特徴と
するバリアリブ状物の形成装置。
3. The barrier rib-like object forming apparatus according to claim 2, wherein the paste removing plate is made of an elastic member.
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