KR102341798B1 - Scribing apparatus and scribing method - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 헤드; 스크라이빙 헤드가 이동 가능한 위치에 배치되고, 스크라이빙 휠을 향하여 유체를 분사하여 스크라이빙 휠에 부착된 이물질을 제거하도록 구성되는 휠 청소 유닛; 및 휠 청소 유닛에 일체로 구성되며 스크라이빙 휠이 접촉되어 이동하는 영역을 제공하는 휠 정렬 플레이트를 포함할 수 있다.A scribing apparatus according to the present invention includes a scribing head having a scribing wheel; a wheel cleaning unit disposed at a movable position of the scribing head and configured to spray a fluid toward the scribing wheel to remove foreign substances attached to the scribing wheel; and a wheel alignment plate integrally configured with the wheel cleaning unit and providing an area in which the scribing wheel moves in contact.

Description

스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법{SCRIBING APPARATUS AND SCRIBING METHOD}Scribing device and scribing method

본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus and a scribing method for forming a scribing line on a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판이 사용된다. 평판 디스플레이는 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(기판)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(단위 기판)을 사용한다.In general, a liquid crystal display panel, an organic electroluminescent display panel, an inorganic electroluminescent display panel, a transmissive projector substrate, and a reflective projector substrate are used for a flat panel display. A flat panel display uses a unit glass panel (unit substrate) cut to a predetermined size from a brittle mother glass panel (substrate) such as glass.

기판을 절단하는 공정은 스크라이빙 공정을 포함한다. 스크라이빙 공정은 기판 상에 가상의 예정선을 따라 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성한다.The process of cutting the substrate includes a scribing process. In the scribing process, a scribing line is formed by moving a scribing wheel while pressing it along an imaginary predetermined line on the substrate.

한편, 기판 상에는 먼지와 같은 이물질이 존재할 수 있다. 또한, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 기판으로부터 파편과 같은 이물질이 발생할 수 있다.Meanwhile, foreign substances such as dust may be present on the substrate. In addition, in the process of forming the scribing line on the substrate, foreign substances such as debris may be generated from the substrate.

이러한 이물질은 스크라이빙 휠에 부착될 수 있다. 스크라이빙 휠에 부착된 이물질은 스크라이빙 휠이 정확한 절삭 깊이(스크라이빙 휠이 기판의 표면에 삽입되는 깊이, 즉, 스크라이빙 라인을 따라 형성되는 홈의 깊이)로 기판의 표면에 삽입되는 것을 방해할 수 있다. 이로 인하여, 기판 상에 정확한 스크라이빙 라인이 형성되지 않을 수 있다.These foreign substances may adhere to the scribing wheel. Foreign substances adhering to the scribing wheel are released by the scribing wheel on the surface of the substrate with the correct cutting depth (the depth at which the scribing wheel is inserted into the surface of the substrate, that is, the depth of the groove formed along the scribing line). may interfere with insertion. Due to this, accurate scribing lines may not be formed on the substrate.

또한, 스크라이빙 휠에 부착된 이물질로 인하여, 스크라이빙 휠이 기판의 표면에 접촉되거나 삽입될 때, 스크라이빙 휠이 마모될 수 있다. 이로 인하여, 스크라이빙 휠의 수명이 저하될 수 있다.In addition, due to foreign substances attached to the scribing wheel, when the scribing wheel is in contact with or inserted into the surface of the substrate, the scribing wheel may be worn. Due to this, the life of the scribing wheel may be reduced.

상술한 문제를 해결하기 위해, 스크라이빙 휠에 유체를 분사하여 스크라이빙 휠에 부착된 이물질을 제거하는 공정이 수행된다.In order to solve the above-mentioned problem, a process of removing foreign substances attached to the scribing wheel by injecting a fluid to the scribing wheel is performed.

그러나, 스크라이빙 휠을 청소하기 위해 스크라이빙 휠에 분사된 유체의 압력에 의하여 스크라이빙 휠의 각도나 방향이 변동되고, 이에 스크라이빙 휠의 각도나 방향을 재설정해야 하는 번거로움이 발생된다. 또한, 재설정하는 과정에서 오차가 발생될 여지도 있어, 생산의 정확성을 저하시키는 문제가 있다.However, in order to clean the scribing wheel, the angle or direction of the scribing wheel is changed by the pressure of the fluid sprayed on the scribing wheel, and thus the inconvenience of resetting the angle or direction of the scribing wheel is reduced. occurs In addition, there is a possibility that an error may occur in the process of resetting, there is a problem of lowering the accuracy of production.

본 발명의 목적은 스크라이빙 휠로 분사된 유체의 압력에 의해 스크라이빙 휠의 각도나 방향이 변동하더라도 원하는 방향 및 두께로 스크라이빙을 할 수 있는 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a scribing device and a scribing method capable of scribing in a desired direction and thickness even if the angle or direction of the scribing wheel is changed by the pressure of the fluid sprayed to the scribing wheel will do

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 헤드; 스크라이빙 헤드가 이동 가능한 위치에 배치되고, 스크라이빙 휠을 향하여 유체를 분사하여 스크라이빙 휠에 부착된 이물질을 제거하도록 구성되는 휠 청소 유닛; 및 휠 청소 유닛에 일체로 구성되며 스크라이빙 휠이 접촉되어 이동하는 영역을 제공하는 휠 정렬 플레이트를 포함할 수 있다.A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a scribing head having a scribing wheel; a wheel cleaning unit disposed at a movable position of the scribing head and configured to spray a fluid toward the scribing wheel to remove foreign substances attached to the scribing wheel; and a wheel alignment plate integrally configured with the wheel cleaning unit and providing an area in which the scribing wheel moves in contact.

스크라이빙 휠이 수평 방향으로 이동하면서 휠 청소 유닛에 의한 스크라이빙 휠의 청소 및 휠 정렬 플레이트에 의한 스크라이빙 휠의 정렬이 순차적으로 수행될 수 있다.As the scribing wheel moves in the horizontal direction, cleaning of the scribing wheel by the wheel cleaning unit and alignment of the scribing wheel by the wheel alignment plate may be sequentially performed.

휠 청소 유닛은 유체 분사 노즐을 포함할 수 있다. 스크라이빙 휠을 향하는 유체 분사 노즐의 각도는 변경 가능할 수 있거나, 스크라이빙 휠에 대한 유체 분사 노즐의 수평 또는 수직 위치가 변경 가능할 수 있다.The wheel cleaning unit may include a fluid spray nozzle. The angle of the fluid ejection nozzle toward the scribing wheel may be changeable, or the horizontal or vertical position of the fluid ejection nozzle relative to the scribing wheel may be changeable.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 유체 분사 노즐에 대향하도록 설치되는 흡인 유닛을 더 포함할 수 있다.The scribing apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a suction unit installed to face the fluid ejection nozzle.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법은 스크라이빙 휠을 청소하는 단계; 및 스크라이빙 휠을 정렬하는 단계를 포함할 수 있고, 스크라이빙 휠을 청소하는 단계 및 스크라이빙 휠을 정렬하는 단계는 스크라이빙 휠을 수평 방향으로만 이동시키면서 수행할 수 있다.A scribing method according to an embodiment of the present invention includes cleaning a scribing wheel; and aligning the scribing wheel, cleaning the scribing wheel and aligning the scribing wheel may be performed while moving the scribing wheel only in a horizontal direction.

스크라이빙 휠을 청소하는 단계 또는 스크라이빙 휠을 정렬하는 단계를 실시하는 도중 또는 완료 후에 스크라이빙 휠 주위의 공기를 흡인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The method further comprises the step of drawing air around the scribing wheel during or after the cleaning of the scribing wheel or the step of aligning the scribing wheel is carried out.

본 발명에 따른 스크라이빙 장치 및 스크라이빙 방법에 따르면, 스크라이빙 휠의 각도나 방향이 변동되더라도, 원하는 방향 및 두께로 스크라이빙 라인을 형성할 수 있으므로, 스크라이빙 라인을 정밀하게 형성하여 제품의 품질을 향상시킬 수 있다.According to the scribing apparatus and the scribing method according to the present invention, even if the angle or direction of the scribing wheel is changed, the scribing line can be formed in a desired direction and thickness, so that the scribing line can be precisely can be formed to improve product quality.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 작동 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.1 is a diagram schematically showing a scribing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a diagram schematically illustrating a scribing unit included in the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
3 is a diagram schematically illustrating an operation process of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
4 is a diagram schematically illustrating a scribing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
5 is a diagram schematically illustrating a scribing unit provided in a scribing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the scribing device according to the present invention will be described.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 스크라이빙 유닛(30)을 포함한다. 스크라이빙 유닛(30)은 지지 스테이지(11), 스크라이빙 헤드(32), 휠 청소 유닛(36) 및 휠 정렬 플레이트(37)를 포함한다.1 to 3 , the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a scribing unit 30 . The scribing unit 30 includes a support stage 11 , a scribing head 32 , a wheel cleaning unit 36 and a wheel alignment plate 37 .

지지 스테이지(11)에는 기판(S)이 탑재된다. 지지 스테이지(11)는 벨트, 롤러, 에어 테이블 등으로 구성될 수 있다.A substrate S is mounted on the support stage 11 . The support stage 11 may include a belt, a roller, an air table, or the like.

스크라이빙 헤드(32)는 지지대(31)에 설치된다. 스크라이빙 헤드(32)는 지지대(31)를 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다. 스크라이빙 헤드(32)는 스크라이빙 휠(351)을 구비한다. 스크라이빙 휠(351)은 기판(S) 상에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성된다.The scribing head 32 is installed on the support 31 . The scribing head 32 may be moved in a horizontal direction along the support 31 . The scribing head 32 has a scribing wheel 351 . The scribing wheel 351 is configured to form a scribing line on the substrate S.

스크라이빙 장치의 휠 청소 유닛(36) 및 휠 정렬 플레이트(37)는 일체로 구성된다. 더욱이, 휠 정렬 플레이트(37)는 스크라이빙 휠(351)의 라인을 형성하는 높이로 구성되어 있어서, 스크라이빙 헤드(32)를 수평 방향으로만 이동시키면서 스크라이빙 휠(351)의 청소 및 정렬을 순차적으로 수행할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 헤드(32)를 청소하고 정렬하는 과정에서 스크라이빙 헤드(32)를 수직 방향으로 이동시킬 필요가 없으므로, 스크라이빙 헤드(32)를 청소하고 정렬하는 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.The wheel cleaning unit 36 and the wheel alignment plate 37 of the scribing device are integrally configured. Moreover, the wheel alignment plate 37 is configured at a height that forms a line of the scribing wheel 351, so that the scribing wheel 351 is cleaned while moving the scribing head 32 only in the horizontal direction. and sorting may be performed sequentially. Therefore, there is no need to move the scribing head 32 in the vertical direction in the process of cleaning and aligning the scribing head 32, so the time required for cleaning and aligning the scribing head 32 can reduce

휠 청소 유닛(36)은 지지 스테이지(11)의 일측과 스크라이빙 헤드(32)의 하부에 배치되어 스크라이빙 휠(351)의 이물을 제거하도록 구성된다. 즉, 휠 청소 유닛(36)은 스크라이빙 휠을 향하여 유체를 분사하여 스크라이빙 휠에 부착된 이물질을 제거할 수 있다.The wheel cleaning unit 36 is disposed on one side of the support stage 11 and the lower portion of the scribing head 32 to remove foreign substances from the scribing wheel 351 . That is, the wheel cleaning unit 36 may spray a fluid toward the scribing wheel to remove foreign substances attached to the scribing wheel.

휠 청소 유닛(36)은 스크라이빙 휠(351)에 유체를 분사할 수 있는 유체 분사 노즐(361)과 유체 분사 노즐(361)을 구동시키는 구동부(363)를 포함할 수 있다. 또는 스크라이빙 휠(351)을 향하도록 각도 또는 위치를 변경할 수 있는 가변부(362)를 포함할 수 있다.The wheel cleaning unit 36 may include a fluid jet nozzle 361 capable of jetting a fluid to the scribing wheel 351 and a driving unit 363 driving the fluid jet nozzle 361 . Alternatively, it may include a variable portion 362 capable of changing the angle or position to face the scribing wheel 351 .

유체 분사 노즐(361)은 액체 또는 기체를 분사하도록 구성된다. 유체 분사 노즐(361)은 유체를 직선형으로 분사할 수 있거나 회전형으로 분사할 수 있다. 직선형 분사는 스크라이빙 휠(351)에 분사되는 유체를 직선으로 분사하는 것을 의미한다. 회전형 분사는 스크라이빙 휠(351)에 분사되는 유체를 회전시켜 소용돌이를 일으켜 분사하는 것을 의미한다. 직선형 분사를 통해서도 스크라이빙 휠(351)에 부착된 이물질을 제거할 수 있지만, 보다 강력하게 제거하기를 원하는 경우, 회전형 분사를 통해 스크라이빙 휠(351)에 부착된 이물질을 제거할 수 있다. 즉, 회전형 분사의 경우, 직선형 분사에 비하여 동일한 양의 유체를 분사하더라도 구심력에 의해 분사되는 유체의 힘이 향상되어 세정 효과를 향상시킬 수 있다.The fluid ejection nozzle 361 is configured to eject a liquid or gas. The fluid ejection nozzle 361 may eject the fluid in a straight line or in a rotational manner. The linear injection means that the fluid injected to the scribing wheel 351 is injected in a straight line. Rotational injection means that the fluid sprayed on the scribing wheel 351 is rotated to generate a vortex and sprayed. Foreign substances attached to the scribing wheel 351 can be removed through linear spraying, but if you want to remove more strongly, you can remove foreign substances attached to the scribing wheel 351 through rotary spraying. have. That is, in the case of the rotational injection, even when the same amount of fluid is injected compared to the linear injection, the force of the fluid injected by the centripetal force is improved, thereby improving the cleaning effect.

가변부(362)는 유체 분사 노즐(361)이 스크라이빙 휠(351)을 향하는 유체 분사 노즐(361)의 각도 및 위치를 변경시킬 수 있다. 가변부(362)는 모터 등에 의해 구동이 가능하다.The variable part 362 may change the angle and position of the fluid injection nozzle 361 toward the scribing wheel 351 . The variable part 362 can be driven by a motor or the like.

미리 설정된 개수의 기판으로부터 스크라이빙 라인을 그은 후 또는 미리 설정된 기간이 경과된 때에 휠 청소 유닛(36)을 사용하여 스크라이빙 휠(351)을 청소하는 공정이 수행된다.A process of cleaning the scribing wheel 351 using the wheel cleaning unit 36 is performed after drawing a scribing line from a preset number of substrates or when a preset period has elapsed.

이때, 스크라이빙 헤드(32)가 휠 청소 유닛(36)으로 접근할 수 있다. 그리고, 유체 분사 노즐(361)에 의해 유체가 분사됨에 따라 스크라이빙 휠(351)에 부착된 이물질이 유체에 의해 분리될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(351)이 기판(S)으로부터 스크라이빙 라인을 형성할 때, 스크라이빙 휠(351)에 부착될 수 있는 기판(S)의 파편 등의 이물질이 휠 청소 유닛(36)에 의해 제거될 수 있다. 따라서, 기판(S)의 파편 등의 이물질에 의해 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다.At this time, the scribing head 32 may access the wheel cleaning unit 36 . In addition, as the fluid is injected by the fluid injection nozzle 361 , foreign substances attached to the scribing wheel 351 may be separated by the fluid. Therefore, when the scribing wheel 351 forms a scribing line from the substrate S, foreign substances such as fragments of the substrate S that may be attached to the scribing wheel 351 are removed from the wheel cleaning unit ( 36) can be removed. Accordingly, it is possible to prevent the substrate from being contaminated by foreign substances such as fragments of the substrate S.

휠 정렬 플레이트(37)는 휠 청소 유닛(36)의 일면에 위치한다. 휠 청소 유닛(36)에 의해 휠이 청소되는 경우 휠의 각도나 방향이 변동되는 문제가 있어, 스크라이빙 휠(351)의 각도나 방향을 재설정할 수 있어야 한다. 스크라이빙 휠(351)의 각도나 방향을 재설정하기 위해 휠 정렬 플레이트(37)에 스크라이빙 휠(351)이 스크라이빙 라인을 그어 스크라이빙 휠(351)을 재정렬시킬 수 있다.The wheel alignment plate 37 is located on one surface of the wheel cleaning unit 36 . When the wheel is cleaned by the wheel cleaning unit 36 , there is a problem in that the angle or direction of the wheel is changed, so the angle or direction of the scribing wheel 351 should be resettable. In order to reset the angle or direction of the scribing wheel 351 , the scribing wheel 351 may realign the scribing wheel 351 by drawing a scribing line on the wheel alignment plate 37 .

이하, 도 4 및 도 5를 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 제1 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 and 5 . The same reference numerals are assigned to the same parts as those described in the first embodiment of the present invention, and a detailed description thereof will be omitted.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치는 스크라이빙 휠(351), 휠 청소 유닛(36), 휠 정렬 플레이트(37) 및 흡인 유닛(38)을 포함한다. 스크라이빙 휠(351), 휠 청소 유닛(36), 휠 정렬 플레이트(37)는 전술한 바와 같다.4 and 5, the scribing device according to the second embodiment of the present invention includes a scribing wheel 351, a wheel cleaning unit 36, a wheel alignment plate 37, and a suction unit ( 38). The scribing wheel 351, the wheel cleaning unit 36, and the wheel alignment plate 37 are the same as described above.

흡인 유닛(38)은 휠 정렬 플레이트(37)의 일면에 위치한다. 흡인 유닛(38)은 스크라이빙 휠(351) 주위의 공기를 흡인함으로써, 스크라이빙 휠(351) 주위에서 비산되는 분진을 강제 흡인하도록 구성된다.The suction unit 38 is located on one side of the wheel alignment plate 37 . The suction unit 38 is configured to forcibly suck dust scattered around the scribing wheel 351 by sucking air around the scribing wheel 351 .

휠 청소 유닛(36)을 사용하여 스크라이빙 휠(351)을 청소하는 과정에서, 흡인 유닛(38)을 사용하여 스크라이빙 휠(351) 주위의 공기를 흡인함으로써, 스크라이빙 휠(351)의 주변에서 발생되는 분진을 흡인하여 제거할 수 있다. 따라서, 작업장의 오염도를 줄일 수 있다.In the process of cleaning the scribing wheel 351 using the wheel cleaning unit 36, by sucking the air around the scribing wheel 351 using the suction unit 38, the scribing wheel 351 ) can be removed by suctioning the dust generated in the vicinity. Accordingly, it is possible to reduce the degree of pollution in the workplace.

또한, 휠 정렬 플레이트(37)를 사용하여 스크라이빙 휠(351)을 정렬하는 과정에서도, 흡인 유닛(38)을 사용하여 스크라이빙 휠(351) 주위의 공기를 흡인함으로써, 스크라이빙 휠(351) 주위에서 비산되는 분진을 강제 흡인할 수 있다.Also, in the process of aligning the scribing wheel 351 using the wheel alignment plate 37, by sucking the air around the scribing wheel 351 using the suction unit 38, the scribing wheel (351) It is possible to forcibly suck dust scattered around.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope described in the claims.

30: 스크라이빙 유닛
31: 지지대
32: 스크라이빙 헤드
35: 휠 홀더
351: 스크라이빙 휠
36: 휠 청소 유닛
361: 유체 분사 노즐
362: 가변부
363: 구동부
37: 휠 정렬 플레이트
38: 흡인 유닛30: scribing unit
31: support
32: scribing head
35: wheel holder
351: scribing wheel
36: wheel cleaning unit
361: fluid jet nozzle
362: variable part
363: drive unit
37: wheel alignment plate
38: suction unit

Claims (7)

스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 헤드;
상기 스크라이빙 헤드가 이동 가능한 위치에 배치되고, 상기 스크라이빙 휠을 향하여 유체를 분사하여 상기 스크라이빙 휠에 부착된 이물질을 제거하도록 구성되는 휠 청소 유닛; 및
상기 휠 청소 유닛에 일체로 구성되며 상기 스크라이빙 휠이 접촉되어 이동하는 영역을 제공하는 휠 정렬 플레이트를 포함하는 스크라이빙 장치.a scribing head having a scribing wheel;
a wheel cleaning unit disposed at a movable position of the scribing head and configured to spray a fluid toward the scribing wheel to remove foreign substances attached to the scribing wheel; and
and a wheel alignment plate integrally configured with the wheel cleaning unit and providing an area in which the scribing wheel is in contact and moves. 청구항 1에 있어서,
상기 스크라이빙 휠이 수평 방향으로 이동하면서 상기 휠 청소 유닛에 의한 상기 스크라이빙 휠의 청소 및 상기 휠 정렬 플레이트에 의한 상기 스크라이빙 휠의 정렬이 순차적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
Scribing, characterized in that cleaning of the scribing wheel by the wheel cleaning unit and alignment of the scribing wheel by the wheel alignment plate are sequentially performed while the scribing wheel moves in the horizontal direction Device. 청구항 1에 있어서,
상기 휠 청소 유닛은 유체 분사 노즐을 포함하고,
상기 스크라이빙 휠을 향하는 상기 유체 분사 노즐의 각도가 변경 가능한 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
The wheel cleaning unit includes a fluid spray nozzle,
A scribing device in which the angle of the fluid injection nozzle toward the scribing wheel is variable. 청구항 1에 있어서,
상기 휠 청소 유닛은 유체 분사 노즐을 포함하고,
상기 스크라이빙 휠에 대한 상기 유체 분사 노즐의 수평 또는 수직 위치가 변경 가능한 스크라이빙 장치.The method according to claim 1,
The wheel cleaning unit includes a fluid spray nozzle,
A scribing device in which a horizontal or vertical position of the fluid jet nozzle with respect to the scribing wheel is variable. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
상기 유체 분사 노즐에 대향하도록 설치되는 흡인 유닛을 더 포함하는 스크라이빙 장치.5. The method according to claim 3 or 4,
The scribing device further comprising a suction unit installed to face the fluid injection nozzle. 스크라이빙 휠을 청소하는 단계;
상기 스크라이빙 휠을 정렬하는 단계를 포함하고,
상기 스크라이빙 휠을 청소하는 단계 및 상기 스크라이빙 휠을 정렬하는 단계는 상기 스크라이빙 휠을 수평 방향으로만 이동시키면서 수행하며,
상기 스크라이빙 휠을 정렬하는 단계는 상기 스크라이빙 휠이 이동 가능한 위치에 배치되는 휠 정렬 플레이트에 상기 스크라이빙 휠을 접촉시킨 상태에서 상기 스크라이빙 휠을 이동시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.cleaning the scribing wheel;
aligning the scribing wheel;
Cleaning the scribing wheel and aligning the scribing wheel are performed while moving the scribing wheel only in a horizontal direction,
The step of aligning the scribing wheel may include moving the scribing wheel while the scribing wheel is in contact with a wheel alignment plate disposed at a movable position. How to scribing with . 청구항 6에 있어서,
상기 스크라이빙 휠을 청소하는 단계 또는 상기 스크라이빙 휠을 정렬하는 단계를 실시하는 도중 또는 완료 후에 상기 스크라이빙 휠 주위의 공기를 흡인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.7. The method of claim 6,
A scribing method, characterized in that the scribing method further comprising the step of aspirating air around the scribing wheel during or after the cleaning of the scribing wheel or the step of aligning the scribing wheel is performed or completed. .
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