JP2003295201A - 接着剤塗布装置、液晶表示パネル、液晶表示パネルの製造装置及び製造方法、並びに基板貼り合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶を滴下した表示基板の貼り合わせにおい
て、接着剤のシール破れを回避する。 【解決手段】 シール剤（接着剤）２，２１〜２３は、
対向する両基板１Ａ，１Ｂの双方に、しかも貼り合わせ
たとき一致して互いに重なるように塗布される。従っ
て、両基板１Ａ，１Ｂは、接着剤同士の強い接着力を得
て、強く貼り合わされる。また２重，３重の閉曲線形成
により、真空状態から大気圧下への移行に際して、内外
圧力差に対するシール剤の耐久力が強化され、シール破
れを回避して高品質なセルギャップの均一化が行われ
て、液晶表示パネルの製造上の歩留まりを向上を実現で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、接着剤塗布装置、
接着剤塗布装置を用いて製造される液晶表示パネル、そ
の液晶表示パネルの製造装置及び製造方法、並びに液晶
表示パネル等の製造に好適な基板貼り合わせ装置の改良
に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、パソコンやＴＶ受像機、あるい
は各種モニター用等のディスプレイに採用される液晶表
示パネルは、２枚のガラス製の基板が、液晶表示面を囲
むように塗布された接着剤を介した貼り合わせにより製
造される。

【０００３】貼り合わされた２枚の基板間には、液晶が
封入されるが、その液晶の封入には液晶注入方式や液晶
滴下方式がある。

【０００４】いずれの液晶封入方式においても、２枚の
基板は、液晶を封入して一定の間隔（セルギャップ）を
得るべく、予め一方の基板の表示面に多数のスペーサが
散布あるいは配設されて貼り合わせが行われる。

【０００５】図１１（ａ）は、液晶滴下方式による従来
の液晶表示パネルの製造工程において貼り合わされる２
枚の基板のうち、一方の下基板に接着剤であるシール剤
が塗布された状態を示す平面図、図１１（ｂ）は、図１
１（ａ）に示した下基板上に、対向する他方の上基板が
重ね合わされて、液晶表示パネルが形成される状態を示
した正面図である。

【０００６】図１１（ａ）に示すように、矩形状をなし
たガラス製の下基板１Ａには、１点鎖線で示した液晶表
示面１ａの外側に、接着剤であるシール剤２が幅Ｄをな
した閉曲線を形成するように塗布されている。また、そ
の下基板１Ａの液晶表示面１ａには、図１１（ｂ）に示
すように予めスペーサ３が散布あるいは配設されるとと
もに、液晶４が滴下ないしは塗布されている。

【０００７】下基板１Ａと上基板１Ｂとの貼り合わせ
は、通常、真空チャンバ内で行われる。

【０００８】チャンバ内における上下両基板１Ｂ，１Ａ
の貼り合わせ手順は、まず最初に、上基板１Ｂがチャン
バ内に搬送され、チャンバ内の上ステージの下面に吸着
保持され、次に、下基板１Ａが同様にチャンバ内に搬入
され、チャンバ内の下ステージ上に吸着保持された後、
チャンバは閉じられ、閉空間が形成され排気される。

【０００９】チャンバ内の排気による真空雰囲気の中
で、上ステージに吸着保持された上基板１Ｂは降下して
下基板１Ａに近づき、そこで位置合わせが行われた後、
更に降下して、シール剤２を介して下基板１Ａを押圧
し、下基板１Ａに貼り合わされる。

【００１０】貼り合わされた後の両基板１Ａ，１Ｂは、
上ステージからの上基板１Ｂの吸着解放、及びチャンバ
内の真空破壊による大気圧への開放復帰、及び下基板１
Ａの吸着解放を経てチャンバ内から搬出されるが、その
とき貼り合わされた両基板１Ａ，１Ｂは、真空雰囲気中
から大気圧下にさらされるので、シール剤２で取り囲ま
れた上下２枚の基板間１Ｂ，１Ａ間の空間、すなわちセ
ル空間は、大きな内外圧力差を受けて収縮する。

【００１１】従って、貼り合わされた２枚の基板１Ａ，
１Ｂは、さらにスペーサ３を押圧して、ミクロン単位の
精度の均一な間隙（セルギャップ）を形成する。

【００１２】このようにして貼り合わされた両基板１
Ａ，１Ｂは、チャンバ内において、あるいはチャンバ内
から搬出された後に、シール剤２に対する紫外線（Ｕ
Ｖ）照射あるいは加熱による硬化操作を経て液晶表示パ
ネルが製造される。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、液晶滴
下方式による液晶表示パネルの製造では、真空雰囲気中
において接着剤を介した両基板１Ａ，１Ｂの貼り合わせ
が行われ、その後チャンバ内は大気圧に開放されるが、
その際、両基板１Ａ，１Ｂはもとより、両基板１Ａ，１
Ｂを貼り合わせたシール剤２も、真空状態のセル空間と
大気圧下にある外側との間にあって大きな内外圧力差を
受ける。

【００１４】従って、両基板１Ａ，１Ｂを貼り合わせる
ように閉曲線を描いて塗布されたシール剤２が、いずれ
か１ヶ所でも、わずかな隙間が生じていたり、あるいは
内外圧力差を支えるだけの十分な幅や厚さで接着してい
ない箇所があると、外側からそこを押し広げるようにし
て空気がセル内に入り込む、いわゆるシール破れが発生
し、良好な液晶表示機能が得られなくなる。

【００１５】従って、液晶表示パネルの製造では、シー
ル破れが生じない、適正な基板の貼り合わせが要求され
る。そのためにシール剤２は、閉曲線の全領域にわたり
押圧力を受けて、適切な押しつぶれ状態が形成されるこ
とが必要である。

【００１６】２枚の基板の貼り合わせに関し、その基板
の表示パネルサイズが比較的小さい場合は、両基板を吸
着保持する各上下プレートの面積も小さくて済むので、
その吸着面全体をミクロン単位で良好な平坦性が得られ
るように加工することは可能である。

【００１７】しかしながら、表示パネルが益々大型化さ
れる昨今、例えば表示面の一辺が１ｍにも達する大型デ
ィスプレイになると、基板吸着面全体を、ミクロン単位
の高精度な平坦度を実現するのは容易ではない。

【００１８】従って、均一な幅Ｄ並びに均一な高さＨ
で、シール剤２自体が高品質に基板面に塗布されたとし
ても、２枚の基板１Ａ，１Ｂを吸着保持して押圧する上
下各プレート面の歪みから、シール剤２に十分な押圧力
が加わらない箇所が形成されやすくなり、そこからシー
ル破れが発生する。

【００１９】このように、表示画面が大型化してくる
と、２枚の基板を貼り合わせたシール剤２のいずれかの
箇所において接着あるいは押圧不良が発生しやすくな
り、そこでのシール破れにより、液晶表示パネル製造上
の歩留まりが低下し、また高品質な液晶表示パネルが得
られにくくなったので改善が要望されていた。

【００２０】そこで本発明は、大型化された基板におい
ても、接着剤の耐シール破壊特性が向上し、一対の基板
の貼り合わせを良好に行うことができる接着剤塗布装
置、及び接着剤による基板間の貼り合わせが良好に行わ
れる液晶表示パネル、及びその液晶表示パネルの製造装
置及び製造方法、並びに一対の基板の貼り合わせを適切
に行うことが可能な基板貼り合わせ装置を提供すること
を目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記従来の課題を解決す
るため、第１の発明は、対向する一対の液晶表示用基板
を貼り合わせるために、基板の対向面に接着剤を塗布す
る接着剤塗布装置において、液晶表示面を２重に囲むよ
うに閉曲線を形成し、外側に閉曲線を描いて基板に塗布
された側の接着剤の横断面積が、内側に閉曲線を描いて
基板に塗布された側の接着剤の横断面積よりも大となる
ように、基板への接着剤塗布が可能に構成されたことを
特徴とする。

【００２２】第２の発明は、同じく対向する一対の液晶
表示用基板を貼り合わせるために、基板の対向面に接着
剤を塗布する接着剤塗布装置において、液晶表示面を囲
む少なくとも３重の閉曲線が形成されるように、前記接
着剤を塗布可能に構成されたことを特徴とする。

【００２３】上記のように、第１及び第２の発明によれ
ば、液晶表示面を２重に囲むように閉曲線を形成し、外
側の接着剤の横断面積が、内側の接着剤の横断面積より
も大となるように、または液晶表示面を囲む少なくとも
３重の閉曲線を形成可能に構成されたので、接着剤の耐
シール破壊特性が向上し、シール破れが軽減され、液晶
表示パネルの製造上の歩留まりを向上させることができ
る。

【００２４】第３の発明は、対向する一対の液晶表示用
基板を貼り合わせるために、基板の対向面に接着剤を塗
布する接着剤塗布装置において、一方の基板と他方の基
板とを対向して貼り合わせたときに、一方の基板におれ
る接着剤の塗布位置が、他方の基板に塗布された接着剤
の位置と重なるように接着剤を塗布可能に構成されたこ
とを特徴とする。

【００２５】このように第３の発明によれば、他方の基
板に塗布された接着剤の位置と重なるように接着剤を塗
布できるので、貼り合わせに際し、各接着剤は互いに重
なり合い、接着剤同士の良好な接着力のもとに２枚の基
板の貼り合わせが行われるので、基板間の貼り合わせ不
良を回避して、液晶表示パネル製造上の歩留まりを向上
させることができる。

【００２６】第４の発明は、液晶表示パネルにおいて、
対向する一対の基板と、この一対の基板を貼り合わせる
ために、前記一対の基板間にあって、液晶表示面を２重
に囲むように閉曲線を形成して基板面に塗布された接着
剤とを有し、前記接着剤は、外側に閉曲線を描いて塗布
された側の横断面積が、内側に閉曲線を描いて塗布され
た側の横断面積よりも大となるように塗布されたことを
特徴とする。

【００２７】第５の発明は、同じく液晶表示パネルにお
いて、対向する一対の基板と、この一対の基板を接合す
るために、前記一対の基板間にあって、液晶表示面を囲
む少なくとも３重の閉曲線が形成されるように基板面に
塗布された接着剤とからなることを特徴とする。

【００２８】このように、第４及び第５の発明によれ
ば、液晶表示面を２重に囲むように閉曲線を形成し、外
側の接着剤の横断面積を内側の接着剤の横断面積よりも
大としたので、あるいは液晶表示面を囲む少なくとも３
重の閉曲線を形成するように接着剤が塗布されたので、
接着剤の塗布全領域において耐シール破壊特性が向上
し、シール破れにより空気がセル内に侵入して、液晶表
示面における表示機能が低下するのを回避できる。

【００２９】第６の発明は、液晶表示パネルにおいて、
対向する一対の基板と、この一対の基板を貼り合わせる
ために、前記一対の基板間にあって、液晶表示面を囲む
閉曲線を形成するように基板面に塗布された接着剤とを
有し、前記接着剤は、形成された閉曲線が重なるよう
に、対向する一対の基板の双方に塗布されたことを特徴
とする。

【００３０】このように第６の発明によれば、基板の各
対向面に接着剤を塗布して、貼り合わせたとき、接着剤
が互いに重なる位置に塗布されているので、一対の基板
は、その接着剤同士の良好な接着力を得て貼り合わされ
るので、シール破壊を回避した、品質の良い液晶表示パ
ネルを提供することができる。

【００３１】第７の発明は、液晶表示パネルの製造装置
において、対向する一対の基板を貼り合わせるために、
液晶表示面を２重に囲む閉曲線を形成し、かつ外側の閉
曲線の横断面積が内側の閉曲線の横断面積よりも大とな
るように接着剤を塗布可能な塗布手段と、前記一対の基
板の少なくともいずれか一方の基板の液晶表示面に液晶
を塗布または滴下可能な手段と、この手段で少なくとも
いずれか一方の基板に液晶が塗布または滴下され、かつ
前記塗布手段で接着剤が塗布された前記一対の基板を真
空雰囲気中で貼り合わせ可能な貼り合わせ手段と、前記
塗布手段で塗布された接着剤を硬化可能な硬化手段とを
具備することを特徴とする。

【００３２】第８の発明は、液晶表示パネルの製造装置
において、対向する一対の基板を貼り合わせるために、
液晶表示面を囲み、かつ隣接する間で間隔を有する少な
くとも３重の閉曲線を形成するように接着剤を塗布可能
な塗布手段と、前記一対の基板の少なくともいずれか一
方の液晶表示面に液晶を塗布または滴下可能な手段と、
この手段で液晶が塗布または滴下され、かつ前記塗布手
段で接着剤が塗布された前記一対の基板を真空雰囲気中
で貼り合わせ可能な貼り合わせ手段と、前記塗布手段で
塗布された接着剤を硬化可能な硬化手段を具備すること
を特徴とする。

【００３３】上記のように、第７及び第８の発明によれ
ば、接着剤は、液晶表示面を２重に囲むように閉曲線を
形成し、外側の接着剤の横断面積が、内側の接着剤の横
断面積よりも大となり得るように、あるいは液晶表示面
を囲む少なくとも３重の閉曲線を形成できるように構成
されたので、接着剤の耐シール破壊特性は向上し、シー
ル破れを回避して、歩留まりの良い液晶表示パネル製造
装置を提供することができる。

【００３４】第９の発明は、液晶表示パネルの製造装置
において、対向する一対の基板を貼り合わせるために、
貼り合わされる前記一対の基板間にあって、液晶表示面
を囲む閉曲線を形成するとともに、その形成された閉曲
線が重なるように、対向する前記一対の基板に接着剤を
塗布可能な塗布手段と、前記一対の基板の少なくともい
ずれか一方の基板の液晶表示面に、液晶を塗布または滴
下可能な手段と、この手段により少なくともいずれか一
方の基板面に液晶が塗布または滴下され、かつ前記塗布
手段で接着剤が塗布された前記一対の基板を真空雰囲気
中で貼り合わせ可能な貼り合わせ手段と、前記塗布手段
で塗布された接着剤を硬化可能な硬化手段とを具備する
ことを特徴とする。

【００３５】このように第９の発明によれば、基板の各
対向面に接着剤を塗布して貼り合わせるとき、接着剤を
互いに重なる位置に塗布できるので、一対の基板は、塗
布された接着剤同士の良好な接着力により貼り合わさ
れ、シール破れを回避して、品質の良い液晶表示パネル
を製造することができる。

【００３６】第１０の発明は、基板貼り合わせ装置にお
いて、対向する一対の基板を貼り合わせるために、貼り
合わされる前記一対の基板間にあって、表示面を囲む閉
曲線を形成するとともに、その形成された閉曲線が重な
るように、前記対向する一対の基板に接着剤を塗布可能
な塗布手段と、この塗布手段で接着剤が塗布された前記
一対の基板を貼り合わせ可能な貼り合わせ手段とを具備
することを特徴とする。

【００３７】このように第１０の発明によれば、基板の
対向面に接着剤を塗布して貼り合わせたとき、接着剤が
互いに重なる位置に塗布できるように構成されたので、
一対の基板は塗布された接着剤同士の良好な接着力のも
とで良好な貼り合わせが行われるので、これを採用して
高品質な液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネル
等を製造することができる。

【００３８】第１１の発明は、液晶表示パネルの製造方
法において、対向する一対の基板を貼り合わせるため
に、液晶表示面を囲む２重の閉曲線を形成し、かつ外側
の閉曲線の横断面積が内側の閉曲線の横断面積よりも大
となるように接着剤を基板面に塗布する塗布工程と、前
記対向する一対の基板の少なくともいずれか一方の基板
の液晶表示面に液晶を塗布または滴下する工程と、この
工程で少なくともいずれか一方の基板に液晶が塗布また
は滴下され、かつ前記塗布工程で接着剤が塗布された前
記一対の基板を真空雰囲気中で貼り合わせる貼り合わせ
工程と、この貼り合わせ工程による貼り合わせ後に、塗
布された接着剤を硬化させる硬化工程とからなることを
特徴とする。

【００３９】第１２の発明は、液晶表示パネルの製造方
法において、対向する一対の基板を接合するために、液
晶表示面を囲む少なくとも３重の閉曲線を形成するよう
に接着剤を塗布する塗布工程と、前記一対の基板の少な
くともいずれか一方の基板の液晶表示面に液晶を塗布ま
たは滴下する工程と、この工程で少なくともいずれか一
方の基板に液晶が塗布または滴下され、かつ前記塗布工
程で接着剤が塗布された前記一対の基板を真空雰囲気中
で貼り合わせる貼り合わせ工程と、この貼り合わせ工程
の後に、基板面に塗布された前記接着剤を硬化させる硬
化工程とからなることを特徴とする。

【００４０】上記のように第１１及び第１２の発明によ
れば、液晶表示面を２重に囲むように閉曲線を形成し、
外側の接着剤の横断面積が、内側の接着剤の横断面積よ
りも大となるように、あるいはまた液晶表示面を囲む少
なくとも３重の閉曲線が形成されるように接着剤が塗布
されるので、接着剤全体の耐シール破壊特性は向上し、
シール破れを回避して、液晶表示パネルの製造上の歩留
まりを改善することができる。

【００４１】第１３の発明は、液晶表示パネルの製造方
法において、対向する一対の基板を貼り合わせるため
に、貼り合わされる前記一対の基板間にあって、液晶表
示面を囲む閉曲線を形成するとともに、その形成された
閉曲線が重なるように、対向する前記一対の基板に接着
剤を塗布する塗布工程と、前記一対の基板の少なくとも
いずれか一方の基板の液晶表示面に、液晶を塗布または
滴下する工程と、この工程により少なくともいずれか一
方の基板面に液晶が塗布または滴下され、かつ前記塗布
工程で接着剤が塗布された前記一対の基板を真空雰囲気
中で貼り合わせる貼り合わせ工程と、この貼り合わせ工
程により前記対向する一対の基板を貼り合わせた接着剤
を硬化させる硬化工程とからなることを特徴とする。

【００４２】このように第１３の発明によれば、基板の
対向面に接着剤を塗布して、貼り合わせたとき、互いに
重なる位置に接着剤が塗布されるので、一対の基板は接
着剤同士の良好な接着力のもとで良好に貼り合わされ、
シール破れを回避して、品質の良い液晶表示パネルを製
造することができる。

【００４３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る基板貼り合わ
せ装置を採用した液晶表示パネルの製造装置の一実施の
形態について、図１ないし図１０を参照して詳細に説明
する。なお、これらの図において、図１１に示した従来
の構成と同一構成には同一符号を付し詳細な説明は省略
する。

【００４４】図１ないし図６は、本発明による基板貼り
合わせ装置を用いた液晶表示パネル製造装置の第１の実
施の形態を示したもので、図１は製造装置全体の構成
図、図２は図１に示した製造装置を構成する接着剤塗布
部の斜視図、図３は同じくその製造装置を構成する液晶
滴下部、搬送部、並びに貼り合わせ・接着剤硬化部の各
構成図、また図４は、図３に示した貼り合わせ・接着剤
硬化部の動作説明図、図５は図１に示した製造装置によ
り貼り合わされる２枚の基板を示す構成図、そして図６
は、図１に示した装置における２枚の基板の貼り合わせ
操作を説明した説明図である。

【００４５】すなわち、第１の実施の形態による液晶表
示パネルの製造装置５は、図１に示すように接着剤塗布
部５１、液晶滴下部５２、搬送部５３、及び貼り合わせ
・接着剤硬化部５４とから構成される。

【００４６】液晶表示パネルを形成するために貼り合わ
される矩形状の２枚の基板のうち、一方のガラス製の上
基板１Ｂは、接着剤塗布部５１において、接着剤である
シール剤を液晶表示面を囲むように塗布された後、搬送
部５３を介して、貼り合わせ・接着剤硬化部５４に搬送
される。

【００４７】また、上基板１Ｂに貼り合わされる他方の
下基板１Ａは、同様に接着剤塗布部５１でシール剤が塗
布された後、液晶滴下部５２における表示面への液晶の
滴下ないしは塗布を経てから、搬送部５３を介して、貼
り合わせ・接着剤硬化部５４に搬送され、先に搬送され
た上基板１Ａと接着剤を介した貼り合わせが行われる。

【００４８】貼り合わせ・接着剤硬化部５４における両
基板１Ａ，１Ｂの貼り合わせは、真空雰囲気中で、位置
合わせを経てシール剤を介した貼り合わせが行われ、そ
の後、真空破壊により大気圧に戻された後、さらに紫外
線（ＵＶ）照射等による２枚の基板を貼り合わせたシー
ル剤の硬化を経て液晶表示パネルが製造される。なお、
この実施の形態では、接着剤塗布部５１においてシール
剤が塗布される下基板１Ａの液晶表示面には、予めスペ
ーサが散布あるいは配置されている。

【００４９】上記のように、接着剤塗布部５１に供給さ
れた両基板１Ｂ，１Ａは、順次、液晶表示面を囲むよう
にシール剤が塗布されるが、接着剤塗布部５１における
シール剤の塗布操作を図２及び図５を参照して説明す
る。

【００５０】接着剤塗布部５１は、図２に示すように構
成されている。

【００５１】すなわち、架台５１１上には、Ｘ−Ｙ−θ
移動テーブル５１２が搭載され、Ｘ−Ｙ−θ移動テーブ
ル５１２のＹ軸移動機構５１２ａには、吸着盤を備えた
基板テーブル５１３が載置されている。そこで順次供給
される上基板１Ｂ及び下基板１Ａはこの基板テーブル５
１３上に載置される。

【００５２】Ｘ−Ｙ−θ移動テーブル５１２のＸ軸移動
機構５１２ｂと平行する方向に、架台５１１上には別途
支持枠５１４が立設されており、その支持枠５１４に
は、不図示のボールねじ機構により、矢印Ｘ方向に移動
可能なＺ軸移動機構５１５が取り付けられている。

【００５３】そのＺ軸移動機構５１５には、サーボモー
タ５１５ａが取付けられ、サーボモータ５１５ａの駆動
により、接着剤であるシール剤を収納したシリンジ５１
６は矢印Ｚ（上下）方向に移動可能に組み込み構成され
ている。

【００５４】なお、シリンジ５１６には、不図示の距離
計が一体に取り付け固定され、シリンジ５１６のノズル
先端と載置した基板１Ａ（または１Ｂ）面までの距離
（間隔）を測定し、その距離測定データは制御器５１７
に供給される。

【００５５】制御器５１７には、マイコンが内蔵されて
いて、距離計からの距離測定データの供給を受けて、シ
リンジ５１６のノズル先端と基板１Ａ（または１Ｂ）面
との間の間隔が一定となるようにサーボモータ５１５ａ
を制御するとともに、予め設定された塗布プログラムに
沿いＸ−Ｙ−θ移動テーブル５１２を駆動制御するの
で、シリンジ５１６のノズル先端から吐出されたシール
剤は、基板１Ａ（または１Ｂ）の液晶表示面を囲んで閉
曲線を描くように塗布される。

【００５６】シール剤が、基板１Ａ，１Ｂに、均一な幅
及び厚さで品質良く塗布されためには、シリンジ５１６
のノズル先端と基板１Ａ，１Ｂ面との間の間隔が一定で
あることに加えて、ノズルと基板１Ａ，１Ｂとの間の相
対移動速度が一定であること、及びノズルから吐出され
るシール剤の単位時間当たりの吐出量が一定であること
等が条件とされる。

【００５７】そこで、図２に示すように、制御器５１７
とシリンジ５１６との間に吐出量制御器５１８が接続さ
れ、制御器５１７を介した吐出量制御器５１８の制御に
より、シリンジ５１６における吐出圧力、すなわちシー
ル剤の単位時間当たりの吐出量が常に一定となるように
制御される。また、基板１Ａ，１Ｂに塗布するシール剤
の塗布量を変更するときには、たとえば、吐出量制御器
５１８によりシリンジ５１６に供給する吐出圧力の大き
さを変化させるように制御する。すなわち、塗布量を増
加させるときにはシリンジ５１６に供給する吐出圧力の
大きさを増加させ、塗布量を減少させるときにはシリン
ジ５１６に供給する吐出圧力の大きさを減少させる。な
お、基板１Ａ、１Ｂに塗布するシール剤の塗布量は、シ
リンジ５１６のノズルと基板１Ａ、１Ｂとの間の間隔ｔ
や、ノズルと基板１Ａ、１Ｂとの間の相対移動速度ｖの
いずれかを変更することでも変化させることが可能であ
る。たとえば、間隔ｔとシール剤の塗布量との関係は、
間隔ｔが大きくなるほど塗布量が増加する関係にある。
これは間隔ｔが小さくなればなるほどシリンジ５１６の
ノズルから吐出されるシール剤の吐出抵抗が増大するこ
とに起因する。また、相対移動速度ｖとシール剤の塗布
量との関係は、相対移動速度ｖが増加するほど塗布量が
減少する関係にある。

【００５８】なお、制御器５１７によるＸ−Ｙ−θ移動
テーブル５１２の制御では、Ｚ軸移動機構５１５に、不
図示の画像認識カメラが一体に組み込まれていて、その
画像認識カメラで撮影された基板１Ａ（または１Ｂ）の
撮像画像が制御器５１７に供給されるように構成されて
いるので、制御器５１７はシール剤の塗布位置を高精度
で制御することができる。

【００５９】また、制御器５１７には、モニタディスプ
レイ５１９及びキーボード５２０が接続されており、作
業員によるキーボード５２０の操作により、各基板１
Ａ，１Ｂ上におけるシール剤の塗布位置や、シリンジ５
１６のノズル高さ位置、それにシリンジ５１６における
シール剤の吐出圧力、並びにシリンジ５１６のノズルと
基板１Ａ，１Ｂとの間の相対移動速度等を調整すること
ができる。従って、これらを調整することによって、基
板１Ａ，１Ｂに塗布するシール剤の塗布量や、基板１
Ａ，１Ｂ上に描くシール剤の塗布パターンを自由に設定
することができる。

【００６０】そこで、この実施の形態では、シール剤自
体は、材質の異なるたとえばガラス製の基板１Ａ，１Ｂ
面に対する接着力よりも、同じシール剤同士の接着力の
方がより強いという性質を有することに着目してなされ
たもので、塗布手段である接着剤塗布部５１では、上基
板１Ｂと下基板１Ａが対向して貼り合わされるとき、液
晶表示面を囲んで互いに重なり合う位置の基板面にシー
ル剤が塗布される。

【００６１】すなわち、図５（ａ）は、接着剤塗布部５
１において、シール剤２が幅Ｄを形成して液晶表示面１
ａを囲んで塗布された下基板１Ａの平面図を示したもの
であるが、図５（ｂ）の正面図、及び図５（ｃ）のその
要部拡大図にそれぞれ示したように、他方の上基板１Ｂ
に対しても、シール剤２は、ほぼ同じ幅Ｄ及びほぼ同じ
高さＨで、しかも下基板１Ａと重ね合わせて貼りあわせ
たとき、互いに対向して重なり合うように塗布される。

【００６２】このように、この第１の実施の形態の液晶
表示パネルの製造装置は、シール剤２は２枚の基板１
Ａ，１Ｂを貼りあわせたとき、シール剤２同士が重なり
合って強い接着力で接合するので、後述するように、貼
り合わせ・接着剤硬化部５４において、シール剤２に対
する押圧力が小さい場合であっても、基板１Ａ，１Ｂ間
の貼り合わせが良好に行われ、シール破れ現象の発生を
回避することができる。

【００６３】そこで、接着剤塗布部５１において、シー
ル剤２は上基板１Ｂ及び下基板１Ａに順次塗布される
が、先にシール剤２が塗布された上基板１Ｂは、表裏反
転された後、搬送部５３を介して、貼り合わせ・接着剤
硬化部５４に供給される。これに対し、シール剤２が塗
布された下基板１Ａは、液晶滴下部５２における表示面
へ液晶の滴下あるいは塗布を経て搬送され、貼り合わせ
・接着剤硬化部５４に供給される。

【００６４】図３は、搬送部５３と貼り合わせ・接着剤
硬化部５４とが一体に組み合わされ、さらに搬送部５３
に液晶滴下部５２が付加された構成を示したものであ
る。

【００６５】そこで、上基板１Ｂ、次に下基板１Ａの順
に搬送供給される貼り合わせ・接着剤硬化部５４は、先
に搬送された上基板１Ｂを吸着保持する上ステージ５４
１ｂを有する上チャンバ５４１と、その後搬送されてく
る下基板１Ａを吸着保持する下ステージ５４２ａを有す
る下チャンバ５４２とから構成されている。ただし、図
３では、下チャンバ５４２は、搬送レール５３ａからな
る搬送部５３に載置されて矢印Ｘ方向に移動して、上下
両基板１Ｂ，１Ａをチャンバ内まで搬送するよう構成さ
れ、また上チャンバ５４１は、不図示の移動機構により
上下（矢印Ｚ）方向に移動可能に構成されている。

【００６６】そこで前述のように、上ステージ５４１ｂ
は、反転により、シール剤２の塗布面を下方にした上基
板１Ｂを吸着保持することになるので、これを搬送する
下チャンバ５４２の下ステージ５４２ａは、その上面か
ら上下動可能に突出する支持ピンを有し、反転した上基
板１Ｂをその支持ピンで支持しつつ上チャンバ５４１の
下方位置まで搬送する。上チャンバ５４１の下方位置ま
で搬送された上基板１Ｂは、上チャンバ５４１に組み込
まれた移動機構５４１ａの駆動制御により、上ステージ
５４１ｂが降下し、下ステージ５４２ａ上の上基板１Ｂ
を吸着保持した後上昇して待機する。

【００６７】一方、上面にシール剤２が塗布された下基
板１Ａは、下ステージ５４２ｂ上に吸着保持されて搬送
レール５３ａ上を移動して搬送されるが、上ステージ５
４１ｂの下方位置に搬送される途中で、表示面に対し液
晶滴下部５２のディスペンサ５２ａから吐出された液晶
４の滴下を受ける。

【００６８】上下両基板１Ｂ，１Ａがチャンバ内で対向
した状態で、上チャンバ５４１が下降し、図４に示した
ように、上チャンバ５４１の下端部に取り付けられた弾
性部材５４１ｃが下チャンバ５４２に接触し押し付けら
れて、チャンバ内に気密性の閉空間が形成される。

【００６９】上下両チャンバ５４１，５４２の連結によ
り形成された閉空間内は、以下説明の構成による動作に
より、排気され真空雰囲気が形成される。

【００７０】すなわち、図３及び図４に示すように、下
チャンバ５４２には、チャンバ内空間に向け開口した配
管５４４を介して、真空ポンプ５４５が連結されるとと
もに、配管５４４にはバルブ５４４ａが、また真空ポン
プ５４５の排出管には排出バルブ５４５ａがそれぞれ設
けられている。そこで制御器５４３による真空ポンプ５
４５に対する起動、バルブ５４４ａ及び排出バルブ５４
５ａに対する開制御により、チャンバ内の排気が行わ
れ、上下両基板１Ｂ，１Ａが対向配置されたチャンバ内
に真空雰囲気が形成される。

【００７１】チャンバ内の真空雰囲気中で、それぞれシ
ール剤２が塗布された側を相手側に面して対向した上下
両基板１Ｂ，１Ａは、制御器５４３の制御による移動機
構５４１ａの駆動制御により、上ステージ５４１ｂを降
下させ、上下両基板１Ｂ，１Ａの各シール剤２，２がご
く接近した状態で、両基板１Ａ，１Ｂ間の位置合わせが
行われる。

【００７２】両基板１Ａ，１Ｂの位置合わせが完了した
後、制御器５４３による移動機構５４１ａの制御によ
り、上ステージ５４１ｂがさらに押し下げられるので、
両基板１Ｂ，１Ａの各シール剤２，２は重ね合わされつ
つ押込まれ接合するので、両基板１Ｂ，１Ａは各シール
剤２，２同士の強い接着力により、良好に貼り合わされ
る。

【００７３】なお、上記説明において、チャンバ内では
上下両基板１Ｂ，１Ａの位置合わせが行われる旨説明し
たが、その位置合わせのために、図示のように下チャン
バ５４２には、撮像カメラ５４２ｂ，５４２ｂが設置さ
れていて、その撮像カメラ５４２ｂ，５４２ｂにより撮
影された各基板１Ａ，１Ｂの位置合わせ用のマーク（ア
ライメントマーク）の映像が制御器５４３に供給され
る。制御器５４３は、パターン認識手法を用いてマーク
位置の位置ずれ量を検出し、その検出信号に基づく移動
機構５４１ａの補正制御により、Ｘ−Ｙ−θ方向の位置
補正を行い、上下両基板１Ｂ，１Ａに対する相対的な位
置合わせが行われる。

【００７４】このようにして、真空チャンバ内におい
て、適正に位置合わせが行われ、シール剤同士の強力な
接着力を得て貼り合わせが行われた両基板１Ａ，１Ｂ
は、次に、チャンバ内の真空破壊により大気圧下にさら
されるので、セル空間は内外圧力差を受けて収縮し、２
枚の基板１Ａ，１Ｂはスペーサ３を挟むようにして高精
度のセルギャップを形成する。

【００７５】すなわち、図３及び図４に示した構成にお
いて、上チャンバ５４１の天井壁に設けられた復帰口５
４１ｄには流入パイプ５４６が連結され、その流入パイ
プ５４６は窒素ガス等の不活性ガスを含む気体が収容さ
れた圧力源５４７に接続されて構成されている。そこで
制御器５４３は、流入パイプ５４６の復帰用バルブ５４
６ａを開制御して、圧力源５４７からの気体をチャンバ
内に流入させるので、チャンバ内は大気圧に向け復帰す
る。なお、復帰口５４１ｃが設けられた上チャンバ５４
１内には、図示のようにその開口部を覆うようにエアフ
イルタ５４１ｅが取り付けられ、流入する気体に含む埃
や塵を除去するとともに、流入気体流の勢いを抑制する
作用をも備えている。

【００７６】上記のように、チャンバ内の両基板１Ａ，
１Ｂは、真空雰囲気中での貼り合わせ後に大気圧下にさ
らされるので大きな内外圧力差を受けるが、両基板１
Ａ，１Ｂとともに、両基板１Ａ，１Ｂ間を接着している
シール剤２自体も、大きな内外圧力差を受けることにな
る。しかしながら、この第１の実施の形態では、上述の
ようにシール剤２同士の強力な接着力のもとに両基板１
Ａ，１Ｂを貼り合わせているので、良好な接合状態が得
られ、シール剤２がシール破れを引き起こすような現象
の発生は回避できる。

【００７７】このようにして、チャンバ内において良好
に貼り合わされた上下両基板１Ｂ，１Ａは、次に図３及
び図４に示したように、上ステージ５４１ｂに設けられ
た光源５４１ｆから、シール剤２に向けた紫外線（Ｕ
Ｖ）照射あるいは加熱が行われ、シール剤２の硬化が行
われる。

【００７８】この紫外線照射等によるシール剤硬化の
後、上基板１Ｂに対する上ステージ５４１ｂからの吸着
解放、上チャンバ５４１の上昇移動、及び下チャンバ５
４２の搬送レール５３ａ上の移動による搬出、及び下ス
テージ５４２ａの下基板１Ａに対する吸着解放を経て取
り出される。

【００７９】図６は、上記説明の液晶表示パネルの製造
装置による液晶表示パネルの製造工程を示したフローチ
ャートである。

【００８０】すなわち、まずステップ６１において、貼
り合わされる上下２枚の基板１Ｂ，１Ａ双方の対向面
に、液晶表示面１ａを囲み、また互いに重なる位置にシ
ール剤２，２がそれぞれ塗布される。

【００８１】次に、ステップ６２において、一方の基板
（１Ａ）の液晶表示面に液晶４が滴下（あるいは塗布）
される。

【００８２】次にステップ６３において、２枚の基板１
Ａ，１Ｂは、従来と同様に、チャンバ内に搬送され、真
空雰囲気中で位置合わせが行われて押圧されるので、シ
ール剤２，２を介した貼り合わせが行われる。

【００８３】次にステップ６４において、チャンバ内は
大気圧下に解放され、内外圧力差に基づく基板セルギャ
ップの均一化が図られる。

【００８４】最後に、ステップ６５において、２枚の基
板１Ａ，１Ｂを貼り合わせたシール剤２，２に対し、加
熱またはＵＶ（紫外線）の照射が行われ、貼り合わせ接
着したシール剤２，２の硬化が行われる。

【００８５】上記説明の製造工程において、ステップ６
１とステップ６２とが平行して行われても良く、あるい
はステップ６１の工程に先立ち、ステップ６２における
液晶滴下を行うようにしても良い。

【００８６】いずれにしても、この第１の実施の形態に
よる液晶表示パネルの製造方法では、２枚の基板１Ａ，
１Ｂは、それぞれ塗布されたシール剤２，２同士の接合
に基づき強力に貼り合わされるものであり、シール剤２
がその後のセルギャップ均一化操作に向けた真空破壊か
ら大気圧下への移行により、大きな内外圧力差を受けた
としても、シール破れを回避して良好な貼り合わせ基板
を製造することができる。

【００８７】また、２枚の基板１Ａ，１Ｂに塗布された
シール剤２は、両基板１Ａ，１Ｂを貼り合わせたときに
互いに重なり合うように塗布されているので、このよう
な場合には、塗布されたシール剤２の横断面積が仮に同
じであれば、一方の基板のみにシール剤２が塗布された
ものに比べ、シール剤２の塗布高さＨを実質的に２倍に
得ることができるので、基板１Ａ，１Ｂの平面度にばら
つきを有する場合であっても２枚の基板１Ａ、１Ｂに塗
布されたシール剤２の間に隙間が生じる確立を減少させ
ることができ、その結果、液晶表示パネルを歩留まり良
く製造することができる。

【００８８】次に、本発明による液晶表示パネルの製造
装置の第２の実施の形態を、上記第１の実施の形態で参
照した図１ないし図５に、図７及び図８を新たに加えて
以下説明する。

【００８９】図７（ａ）は、第２の実施の形態において
シール剤が塗布された状態を示す下基板の平面図、図７
（ｂ）は、図７（ａ）に示した下基板上に、シール剤が
塗布された上基板が重ね合わされて、液晶表示パネルが
形成される状態を示した正面図、図７（ｃ）は、図７
（ｂ）の要部拡大図である。

【００９０】図７（ａ）ないし（ｃ）に示したように、
第２の実施の形態の液晶表示パネルは、矩形状をなし対
向するガラス製の基板１Ａ、１Ｂの双方に、液晶表示部
１ａの外側に間隔Ｌをなして２重の閉曲線を形成するよ
うにシール剤２１，２２が塗布されると同時に、より外
側に閉曲線を描いて塗布された側（シール剤２２）の横
断面積Ｓ２が、内側に閉曲線を描いて塗布された側（シ
ール剤２１）の横断面積Ｓ１よりも大となるように構成
されたものである。

【００９１】すなわち、この第２の実施の形態において
は、図２に示した接着剤塗布部５１において、制御器５
１７及び塗出量制御器５１８の制御により、シール剤２
１，２２が２重の閉曲線を形成するように塗布形成され
る。そして、塗出量制御器５１８の制御により吐出量の
切り替え制御により、図７（ｃ）に拡大して示すよう
に、内側のシール剤２１の線幅Ｄ１が外側のシール剤２
２の線幅Ｄ２より小さく（Ｄ１＜Ｄ２）、すなわちシー
ル剤２１の断面積Ｓ１がシール剤２２の断面積Ｓ２より
も小さく（Ｓ１＜Ｓ２）なるように各基板１Ａ，１Ｂの
液晶表示面を囲むように塗布される。

【００９２】このシール剤２の塗布手段である接着剤塗
布部５１における動作以外、たとえば次の液晶滴下部５
２における液晶４の滴下あるいは塗布、搬送部５３を介
して搬送された後の貼り合わせ・接着剤硬化部５４の個
々の構成及び動作は、上記説明の第１の実施の形態と同
様であるので説明は省略する。

【００９３】図８は、上記第２の実施の形態による液晶
表示パネルの製造工程を示したフローチャートである。

【００９４】図６に示した第１の実施の形態における工
程と相違する点は、ステップ６１に対応したステップ８
１のみであり、以下の各他の工程はそれぞれ第１の実施
の形態における工程と同一であるので説明は省略する。

【００９５】すなわち、この第２の実施の形態では、ス
テップ８１において、貼り合わされる２枚の基板１Ａ，
１Ｂの各対向面に、横断面積が内側（２１）よりも外側
（２２）が大（Ｓ１＜Ｓ２）となる２重に閉曲線を形成
するようにシール剤２１，２２が塗布されることを特徴
とする。

【００９６】従って、この第２の実施の形態によれば、
第１の実施の形態と同様に対向する２枚の基板１Ａ，１
Ｂの双方に、また互いに重なる位置にそれぞれシール剤
２１，２１、２２，２２が塗布されたので、シール剤同
士の接着により良好な貼り合わせが行われる。

【００９７】加えてこの第２の実施の形態では、基板の
面方向に２重の閉曲線を形成し、塗布された２本のシー
ル剤２１，２２の内、外側のシール剤２２の断面積（Ｓ
２）を内側のシール剤２１の断面積（Ｓ２）より大きく
したので、基板１Ａ，１Ｂ間の間隙が同じであれば接着
面積を広く得ることができ、内側よりも外側においてシ
ール破れに対するより大きな耐久力が得られる。

【００９８】従って、真空破壊時におけるシール破れが
発生しようとしても、まず断面積の大きな外側のシール
剤２２で抑止され、その抑止力が作用している間に、塗
布された内側のシール剤２１の硬化が進行してより強固
となるので、外の空気がセル内に侵入するような接着剤
のシール破れを回避し、良好な液晶表示パネルを製造す
ることができ、また製造された液晶表示パネルの品質向
上を実現することができる。

【００９９】なお、上記説明において、この第２の実施
の形態では、シール剤２１，２２は上下両基板１Ａ，１
Ｂ双方に塗布したが、いずれか一方への塗布、あるいは
それらを任意に組み合わせた塗布を行うようにしても良
い。従って、その場合は上記説明の第１の実施の形態と
は相違し、たとえば一方の上基板１Ｂは接着剤塗布部５
１でシール剤２が塗布されることなく、そのまま貼り合
わせ・接着剤硬化部５４に搬送することができる。ある
いはまた、２重のシール剤２１，２２を上下基板１Ｂ，
１Ａに振り分けて塗布しても良い。

【０１００】以上説明のように、この第２の実施の形態
によれば、少なくとも外側のシール剤の横断面積が内側
のシール剤の横断面積よりも大となるように塗布したの
で、貼り合わせ後の大気圧下への解放により、たとえ貼
り合わせたシール剤に大きな内外圧力差が加えられたと
しても、外部からセル内に空気が入り込み、あるいはセ
ル内の液晶が外に漏れ出すような不具合は回避され、液
晶表示パネルの製造上の歩留まりを改善することができ
る。

【０１０１】次に、本発明による液晶表示パネルの製造
装置の第３の実施の形態を、上記第１及び第２の実施の
形態で参照した図１ないし図５に、図９及び図１０新た
に加えて以下説明する。

【０１０２】図９（ａ）は、第３の実施の形態におい
て、シール剤が塗布された状態を示す下基板の平面図、
図９（ｂ）は、図９（ａ）に示した下基板上に、シール
剤が塗布された上基板が重ね合わされて、液晶表示パネ
ルが形成される状態を示した正面図、図９（ｃ）は図９
（ｂ）の要部拡大図である。

【０１０３】図９（ａ）ないし（ｃ）に示したように、
この第３の実施の形態の液晶表示パネルは、対向するガ
ラス製の各基板１Ａ，１Ｂの双方対応一致する位置に、
それぞれ幅Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３の各線幅をなした３重の閉
曲線を形成するように、シール剤２１，２２，２３が液
晶表示部１ａを囲んで順次間隔Ｌ１，Ｌ２をなして３重
の閉曲線を描いて塗布されるとともに、内側の間隔Ｌ１
より外側の間隔Ｌ２の幅がよりも長くなるように構成さ
れたものである。

【０１０４】すなわち、この第３の実施の形態では、図
２に示した接着剤塗布部５１において、制御器５１７及
び吐出量制御器５１８の制御により、内側から間隔Ｌ
１，Ｌ２をなし、塗布高さＨで、線幅Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３
のシール剤２１，２２，２３が塗布されるように構成さ
れる。

【０１０５】従って、第３の実施の形態においても、第
１及び第２の実施の形態と同様に、対向する２枚の基板
１Ａ，１Ｂの双方に位置が重なるようにシール剤２１，
２１、２２，２２、２３，２３が塗布されたので、シー
ル剤同士の強力な接着力により、良好な貼り合わせが行
われる。

【０１０６】また、この第３の実施の形態では、閉曲線
を描いたシール剤２１，２２，２３の外側の間隔Ｌ２が
内側の間隔Ｌ１よりも広く（Ｌ１＜Ｌ２）なるように３
重に塗布されたものである。

【０１０７】従って、この実施の形態では、シール破れ
が３重に阻止されるのみならず、仮に外側からシール剤
２３，２２，２１の順でシール破れが発生するとき、ま
ず最初に、最も外側のシール剤２３がシール破れが発生
し、次に中間のシール剤２２のシール破れが発生するま
での間、シール剤２３とシール剤２２との間の比較的広
い空間（間隔Ｌ２）が存在して、空気が侵入して次のシ
ール剤２２がシール破れに至るまでには長い時間を要す
る。従って、その間、シール剤２２さらにはシール剤２
１のシール硬化が進行し、対シール破壊特性が向上する
ので、最終的にシール破れにより液晶表示機能を阻害す
るような不具合発生は回避することができる。

【０１０８】図１０は、この第３の実施の形態による液
晶表示パネルの製造工程を示したフローチャートであ
る。

【０１０９】図６及び図８に示した第１及び第２の実施
の形態における工程と相違する点は、ステップ６１及び
ステップ８１に対応したステップ１０１のみであり、以
下の各他の工程はそれぞれ第１及び第２の実施の形態に
おける工程と同一であるので説明は省略する。

【０１１０】すなわち、この第３の実施の形態では、ス
テップ１０１において、貼り合わされる２枚の基板１
Ａ，１Ｂの各対向面に、少なくとも３重の閉曲線を形成
するようにシール剤２１，２２，２３をそれぞれ塗布し
たものである。

【０１１１】この実施の形態によれば、第１及び第２の
実施の形態と同様に、対向する２枚の基板１Ａ，１Ｂの
互いに重なる位置に、シール剤２１，２２，２３２が塗
布されたので、シール剤同士の強力な接着力により、良
好な貼り合わせが行われるとともに、基板１Ａ，１Ｂの
外周縁に間隔を隔てて少なくとも３重の閉曲線を形成し
たので、貼り合わせ後の真空破壊時におけるシール破れ
を抑制することができる。

【０１１２】以上説明のように、この第３の実施の形態
においても、基板貼り合わせ後の大気圧への解放による
セルギャップ均一化に際して、剥がれ等、シール剤のシ
ール破れを回避して、液晶表示パネル製造上の歩留まり
を向上させることができる。

【０１１３】なお、上記第３の実施の形態において、シ
ール剤は３重（シール剤２１，２２，２３）に塗布する
ように説明したが、４重以上に塗布しても良い。また、
各塗布されたシール剤２１，２２，２３間の間隔Ｌ１，
Ｌ２の幅が異なるように説明したが、ほぼ同じような広
さの間隔幅となるように形成しても良い。

【０１１４】また、この第３の実施の形態では、シール
剤２１，２２，２３は上下両基板１Ａ，１Ｂ双方に塗布
したが、いずれか一方への塗布、あるいはそれらを任意
に組み合わせた塗布を行うようにしても良い。従って、
その場合も上記説明の第１の実施の形態とは相違し、た
とえば一方の上基板１Ｂは接着部塗布部５１でシール剤
２が塗布されることなく、そのまま貼り合わせ・接着剤
硬化部５４に搬送することができる。あるいはまた、３
重のシール剤２１，２２，２３を上下基板１Ｂ，１Ａに
選択的に振り分けて塗布しても良い。

【０１１５】さらにまた、この第３の実施の形態におい
て、上記第２の実施の形態におけるシール剤塗布の考え
方を採用し、より外側のシール剤２３，２２の断面積が
それぞれより内側のシール剤２２，２１の断面積よりも
大きくなるように幅広に塗布を行い、外側に位置して塗
布されたシール剤２３（あるいは２２）のシール破れの
回避効果あるいはシール破れの遅延効果をより高めて、
信頼性の高い液晶表示パネルを得ることができる。

【０１１６】いずれにしても、本発明による接着剤塗布
装置によれば、液晶表示面を囲んで２重あるいは３重の
閉曲線を形成したり、外側の接着剤の横断面積が、内側
の接着剤の横断面積よりも大となるように、あるいは外
側の接着剤の横断面積が内側の接着剤の横断面積よりも
大としたので、接着剤の耐シール破壊特性が向上し、液
晶表示パネルの製造上の歩留まりを向上させることがで
きる。

【０１１７】また、他方の基板に塗布された接着剤の位
置と重なるように接着剤を塗布することにより、貼り合
わせに際し、各接着剤は互いに重なり合い、接着剤同士
の良好な接着力のもとに貼り合わせが行われるので、貼
り合わせの良好な良好な液晶表示パネルあるいはプラズ
マディスプレイを提供することができる。

【０１１８】

【発明の効果】以上説明のように、本発明による接着剤
塗布装置、液晶表示パネル、その製造装置及び製造方
法、並びに基板貼り合わせ装置によれば、一対の基板の
貼り合わせを良好に行なうことが可能となり、従って、
高品質な液晶表示パネル等を歩留まり良く製造できるも
のであり、実用に際し得られる効果大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明による基板貼り合わせ装置を採用
した液晶表示パネルの製造装置の一実施の形態を示した
装置全体の構成図である。

【図２】図１に示した接着剤塗布部を示す斜視図であ
る。

【図３】図１に示した液晶滴下部、搬送部、並びに貼り
合わせ・接着剤硬化部を示す構成図である。

【図４】図３に示した貼り合わせ・接着剤硬化部の動作
説明図である。

【図５】図５は図１に示した装置による第１の実施の形
態で貼り合わされる２枚の基板の説明図である。

【図６】図１に示した装置による第１の実施の形態の液
晶表示パネルの製造工程を示すフローチャートである。

【図７】本発明による基板貼り合わせ装置を採用した液
晶表示パネルの製造装置による第２の実施の形態で製造
される２枚の基板の貼り合わせを示す説明図である。

【図８】図７に示した液晶表示パネルの製造工程を示す
フローチャートである。

【図９】本発明による基板貼り合わせ装置を採用した液
晶表示パネルの製造装置による第３の実施の形態で製造
される２枚の基板の貼り合わせを示す説明図である。

【図１０】図９に示した液晶表示パネルの製造工程を示
すフローチャートである。

【図１１】従来の液晶表示パネルを示したもので、図１
１（ａ）は、シール剤が塗布された下基板の平面図、図
１１（ｂ）は、上下２枚の基板が重ね合わされる状態を
示す正面図である。

【符号の説明】

１Ａ 下基板 １Ｂ 上基板 １ａ 液晶表示面 ２，２１，２２，２３ シール剤（接着剤） ３ スペーサ ４ 液晶 ５ 液晶表示パネルの製造装置 ５１ 接着剤塗布部（塗布手段） ５１２ Ｘ−Ｙ−θ移動テーブル ５１５ａ サーボモータ ５１６ シリンジ ５１７ 制御器 ５１８ 吐出量制御器 ５２ 液晶滴下部 ５３ 搬送部 ５４ 貼り合わせ・接着硬化部（貼り合わせ手段、硬化
手段） ５４１ 上チャンバ ５４１ｂ 上ステージ ５４２ 下チャンバ ５４２ａ 下ステージ ５４５ 真空ポンプ ５４７ 圧力源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA03 FA04 FA09 FA16 FA17 FA18 FA24 FA30 MA16 2H089 LA27 LA42 NA19 NA22 NA32 NA34 NA40 NA44 NA49 NA60 QA11 QA12 4F041 AA05 AA18 AB01 4F042 AA06 AB00 BA03 BA11 DB01 DB41 DD27 ED05

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する一対の液晶表示用基板を貼り合
   わせるために、基板の対向面に接着剤を塗布する接着剤
   塗布装置において、 液晶表示面を２重に囲むように閉曲線を形成し、外側に
   閉曲線を描いて基板に塗布された側の接着剤の横断面積
   が、内側に閉曲線を描いて基板に塗布された側の接着剤
   の横断面積よりも大となるように、基板への接着剤塗布
   が可能に構成されたことを特徴とする接着剤塗布装置。
2. 【請求項２】 対向する一対の液晶表示用基板を貼り合
   わせるために、基板の対向面に接着剤を塗布する接着剤
   塗布装置において、 液晶表示面を囲む少なくとも３重の閉曲線が形成される
   ように、前記接着剤を塗布可能に構成されたことを特徴
   とする接着剤塗布装置。
3. 【請求項３】 前記少なくとも３重の閉曲線が形成され
   るように塗布された接着剤は、外側に閉曲線を形成した
   側の横断面積が、より内側に閉曲線を形成した側の横断
   面積よりも大であることを特徴とする請求項２記載の接
   着剤塗布装置。
4. 【請求項４】 前記少なくとも３重の閉曲線を形成した
   接着剤の間隔は、外側で隣接する閉曲線間の間隔が、よ
   り内側で隣接する間隔よりも広いことを特徴とする請求
   項２または３に記載の接着剤塗布装置。
5. 【請求項５】 前記接着剤は、形成された閉曲線が、当
   該基板と他方の基板とが貼り合わされたとき、この他方
   の基板に塗布された接着剤と重なるように塗布されたこ
   とを特徴とする請求項１ないし４のうちのいずれか１項
   に記載の接着剤塗布装置。
6. 【請求項６】 対向する一対の液晶表示用基板を貼り合
   わせるために、基板の対向面に接着剤を塗布する接着剤
   塗布装置において、 一方の基板と他方の基板とを対向して貼り合わせたとき
   に、一方の基板における接着剤の塗布位置が、他方の基
   板に塗布された接着剤の位置と重なるように接着剤を塗
   布可能に構成されたことを特徴とする接着剤塗布装置。
7. 【請求項７】 対向する一対の基板と、この一対の基板
   を貼り合わせるために、前記一対の基板間にあって、液
   晶表示面を２重に囲むように閉曲線を形成して基板面に
   塗布された接着剤とを有し、 前記接着剤は、外側に閉曲線を描いて塗布された側の横
   断面積が、内側に閉曲線を描いて塗布された側の横断面
   積よりも大となるように塗布されたことを特徴とする液
   晶表示パネル。
8. 【請求項８】 対向する一対の基板と、 この一対の基板を接合するために、前記一対の基板間に
   あって、液晶表示面を囲む少なくとも３重の閉曲線が形
   成されるように基板面に塗布された接着剤とからなるこ
   とを特徴とする液晶表示パネル。
9. 【請求項９】 前記少なくとも３重の閉曲線を形成する
   ように塗布された接着剤は、外側に閉曲線を形成した側
   の横断面積が、より内側に閉曲線を形成した側の横断面
   積よりも大であることを特徴とする請求項８記載の液晶
   表示パネル。
10. 【請求項１０】 前記少なくとも３重の閉曲線を形成し
    た接着剤の間隔は、外側で隣接する閉曲線間の間隔が、
    より内側で隣接する間隔よりも広いことを特徴とする請
    求項８または９に記載の液晶表示パネル。
11. 【請求項１１】 前記接着剤は、形成された閉曲線が重
    なるように、対向する一対の基板の双方に塗布されたこ
    とを特徴とする請求項７ないし１０のうちのいずれか１
    項に記載の液晶表示パネル。
12. 【請求項１２】 対向する一対の基板と、この一対の基
    板を貼り合わせるために、前記一対の基板間にあって、
    液晶表示面を囲む閉曲線を形成するように基板面に塗布
    された接着剤とを有し、 前記接着剤は、形成された閉曲線が重なるように、対向
    する一対の基板の双方に塗布されたことを特徴とする液
    晶表示パネル。
13. 【請求項１３】 対向する一対の基板を貼り合わせるた
    めに、液晶表示面を２重に囲む閉曲線を形成し、かつ外
    側の閉曲線の横断面積が内側の閉曲線の横断面積よりも
    大となるように接着剤を塗布可能な塗布手段と、 前記一対の基板の少なくともいずれか一方の基板の液晶
    表示面に液晶を塗布または滴下可能な手段と、 この手段で少なくともいずれか一方の基板に液晶が塗布
    または滴下され、かつ前記塗布手段で接着剤が塗布され
    た前記一対の基板を真空雰囲気中で貼り合わせ可能な貼
    り合わせ手段と、 前記塗布手段で塗布された接着剤を硬化可能な硬化手段
    とを具備することを特徴とする液晶表示パネルの製造装
    置。
14. 【請求項１４】 対向する一対の基板を貼り合わせるた
    めに、液晶表示面を囲み、かつ隣接する間で間隔を有す
    る少なくとも３重の閉曲線を形成するように接着剤を塗
    布可能な塗布手段と、 前記一対の基板の少なくともいずれか一方の液晶表示面
    に液晶を塗布または滴下可能な手段と、 この手段で液晶が塗布または滴下され、かつ前記塗布手
    段で接着剤が塗布された前記一対の基板を真空雰囲気中
    で貼り合わせ可能な貼り合わせ手段と、 前記塗布手段で塗布された接着剤を硬化可能な硬化手段
    とを具備することを特徴とする液晶表示パネルの製造装
    置。
15. 【請求項１５】 対向する一対の基板を貼り合わせるた
    めに、貼り合わされる前記一対の基板間にあって、液晶
    表示面を囲む閉曲線を形成するとともに、その形成され
    た閉曲線が重なるように、対向する前記一対の基板に接
    着剤を塗布可能な塗布手段と、 前記一対の基板の少なくともいずれか一方の基板の液晶
    表示面に、液晶を塗布または滴下可能な手段と、 この手段により少なくともいずれか一方の基板面に液晶
    が塗布または滴下され、かつ前記塗布手段で接着剤が塗
    布された前記一対の基板を真空雰囲気中で貼り合わせ可
    能な貼り合わせ手段と、 前記塗布手段で塗布された接着剤を硬化可能な硬化手段
    とを具備することを特徴とする液晶表示パネルの製造装
    置。
16. 【請求項１６】 対向する一対の基板を貼り合わせるた
    めに、貼り合わされる前記一対の基板間にあって、表示
    面を囲む閉曲線を形成するとともに、その形成された閉
    曲線が重なるように、前記対向する一対の基板に接着剤
    を塗布可能な塗布手段と、 この塗布手段で接着剤が塗布された前記一対の基板を貼
    り合わせ可能な貼り合わせ手段とを具備することを特徴
    とする基板貼り合わせ装置。
17. 【請求項１７】 対向する一対の基板を貼り合わせるた
    めに、液晶表示面を囲む２重の閉曲線を形成し、かつ外
    側の閉曲線の横断面積が内側の閉曲線の横断面積よりも
    大となるように接着剤を基板面に塗布する塗布工程と、 前記対向する一対の基板の少なくともいずれか一方の基
    板の液晶表示面に液晶を塗布または滴下する工程と、 この工程で少なくともいずれか一方の基板に液晶が塗布
    または滴下され、かつ前記塗布工程で接着剤が塗布され
    た前記一対の基板を真空雰囲気中で貼り合わせる貼り合
    わせ工程と、 この貼り合わせ工程による貼り合わせ後に、塗布された
    接着剤を硬化させる硬化工程とからなることを特徴とす
    る液晶表示パネルの製造方法。
18. 【請求項１８】 対向する一対の基板を接合するため
    に、液晶表示面を囲む少なくとも３重の閉曲線を形成す
    るように接着剤を基板面に塗布する塗布工程と、 前記一対の基板の少なくともいずれか一方の液晶表示面
    に液晶を塗布または滴下する工程と、 この工程で少なくともいずれか一方の基板に液晶が塗布
    または滴下され、かつ前記塗布工程で接着剤が塗布され
    た前記一対の基板を真空雰囲気中で貼り合わせる貼り合
    わせ工程と、 この貼り合わせ工程の後に、基板面に塗布された前記接
    着剤を硬化させる硬化工程とからなることを特徴とする
    液晶表示パネルの製造方法。
19. 【請求項１９】 前記塗布工程において、外側に閉曲線
    を形成した接着剤の横断面積が、より内側に閉曲線を形
    成した接着剤の横断面積よりも大であることを特徴とす
    る請求項１８記載の液晶表示パネルの製造方法。
20. 【請求項２０】 前記塗布工程において、少なくとも３
    重の閉曲線を形成した接着剤は、外側で隣接する閉曲線
    間の間隔が、より内側で隣接する閉曲線間の間隔よりも
    広くなるように基板に塗布されることを特徴とする請求
    項１８または１９に記載の液晶表示パネルの製造方法。
21. 【請求項２１】 前記塗布工程において、前記接着剤
    は、形成された閉曲線が重なるように、対向する一対の
    基板の双方に塗布されることを特徴とする請求項１７な
    いし２０のうちのいずれか１項に記載の液晶表示パネル
    の製造方法。
22. 【請求項２２】 対向する一対の基板を貼り合わせるた
    めに、貼り合わされる前記一対の基板間にあって、液晶
    表示面を囲む閉曲線を形成するとともに、その形成され
    た閉曲線が重なるように、対向する前記一対の基板に接
    着剤を塗布する塗布工程と、 前記一対の基板の少なくともいずれか一方の基板の液晶
    表示面に、液晶を塗布または滴下する工程と、 この工程により少なくともいずれか一方の基板面に液晶
    が塗布または滴下され、かつ前記塗布工程で接着剤が塗
    布された前記一対の基板を真空雰囲気中で貼り合わせる
    貼り合わせ工程と、 この貼り合わせ工程により前記対向する一対の基板を貼
    り合わせた接着剤を硬化させる硬化工程とからなること
    を特徴とする液晶表示パネルの製造方法。