JP2003295170A - 液晶表示装置とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 ＩＴＯなどのエッチングパターンやカラーフ
ィルタのパターン寸法が、設計寸法からのずれが小さい
液晶表示装置を提供する。 【解決手段】 少なくとも一方の基板が樹脂基板である
一対の基板間に液晶層を挟持し、前記基板の表面上に選
択的に形成された導電膜を備えた液晶表示装置の製造方
法であって、前記樹脂基板上に、第１のパターンを形成
する第１のパターニング工程と、第２のパターンを形成
する第２のパターニング工程とを含むパターニング工程
と、前記一対の基板のうちいずれか一方に枠状のシール
剤を形成するシール形成工程と、前記一対の基板を貼り
合わせる貼り合わせ工程と、前記一対の基板間に液晶を
注入することにより液晶層を形成する液晶注入工程とを
備え、前記第２のパターニング工程では、形成された前
記第１のパターンに対応させて第２のパターンを形成す
るパターン調整が行われることを特徴とする液晶表示装
置の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、樹脂基板を用いた
液晶表示装置およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置は、基板上に透明電極、お
よび配向膜などが形成され、配向処理がされた一対の基
板を、それぞれの電極面が対向するよう貼り合わせて形
成される。

【０００３】液晶表示装置に用いられる基板としては、
一般にガラス基板が挙げられる。一方、近年、シート
状、またはフィルム状の樹脂基板をガラス基板の代わり
に採用した液晶表示装置が実用化されている。樹脂基板
を用いた装置は、ガラス基板を用いたものに比べて軽
く、また装置を薄く構成できることから、開発が進めら
れている。例えば、ＳＴＮモードの液晶表示装置につい
ては、０．１ｍｍ〜１．０ｍｍの厚みを有する樹脂基材
が開発されている。特に、ポリエーテルスルホン（以
下、「ＰＥＳ」という）、ポリカーボネート（以下、
「ＰＣ」という）などからなる樹脂基板が、量産化され
ている。また、上記ＰＥＳ、ＰＣよりもさらに表面平坦
性の優れた樹脂基材として、アクリル系プラスチック、
あるいはエポキシ系プラスチックなども開発されている
（例えば、特開平１０−５４９８０号公報など）。

【０００４】しかし、樹脂基板を用いた液晶表示装置に
は、以下のような欠点がある。すなわち、樹脂基板は、
雰囲気温度、吸湿による寸法変化が大きい。このため、
例えばＩＴＯなどのパターンやカラーフィルタのパター
ンを形成する場合に基板が伸縮した状態で、レジストを
露光すると、ＩＴＯやカラーフィルタの寸法が、設計寸
法より大きく異なる場合がある。図６は、従来の方法で
作製した基板を概念的に表す図である。図６(ａ)は、基
板上のカラーフィルタと導電膜の関係を説明するための
概念図であり、図６(ｂ)は、基板上のカラーフィルタと
導電膜の関係を説明するための断面概念図である。この
図では、ブラックマトリクスなどの他の構成要素を省略
している。図６からわかるように、基板１０１上では、
カラーフィルタ１０２のパターンと導電膜１０２のパタ
ーンとが一致していない。

【０００５】一般に、雰囲気温度、吸湿による寸法変化
の問題を解消するために、樹脂基板上にガスバリア層を
形成し、吸湿による寸法変化を抑える試みがなされてい
る（特開平２−３６４４１７号公報、特開平９−１４６
０８０号公報）。ガスバリア層としては、たとえばＳｉ
Ｏ_x膜やＳｉＮ_x膜などが知られている。しかし、ガスバ
リア層を用いても、樹脂基板の吸湿を完全に防ぐことは
できない。一方、樹脂基板を室温で放置しても、急激な
寸法変化は起きないものの、液晶表示装置の製造工程で
は大きな寸法変化を生ずる。

【０００６】また、大きな寸法変化を生じた基板同士を
貼り合わせた場合に、対向基板同士で、電極やカラーフ
ィルタのパターンが一致しない場合が発生している。こ
の結果、画素の大きさ（開口率）が変動し、例えばコン
トラストなどの表示特性に影響を及ぼしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題に鑑
みなされたものであり、その目的は、ＩＴＯなどのエッ
チングパターンやカラーフィルタのパターン寸法が、設
計寸法からのずれが小さい液晶表示装置を提供すること
を目的とする。

【０００８】また、画素の大きさ（開口率）が変動せ
ず、例えばコントラストなどの表示特性に優れる液晶表
示装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、以下の発明を見出
した。すなわち、本発明の液晶表示装置は、以下の方法
により製造される。

【００１０】少なくとも一方の基板が樹脂基板である一
対の基板間に液晶層を挟持し、前記基板の表面上に選択
的に形成された導電膜を備えた液晶表示装置の製造方法
であって、前記樹脂基板上に、第１のパターンを形成す
る第１のパターニング工程と、第２のパターンを形成す
る第２のパターニング工程とを含むパターニング工程
と、前記一対の基板のうちいずれか一方に枠状のシール
剤を形成するシール形成工程と、前記一対の基板を貼り
合わせる貼り合わせ工程と、前記一対の基板間に液晶を
注入することにより液晶層を形成する液晶注入工程とを
備え、前記第２のパターニング工程では、形成された前
記第１のパターンに対応させて第２のパターンを形成す
るパターン調整が行われることを特徴とする液晶表示装
置の製造方法。

【００１１】第１のパターニング工程から第２のパター
ニング工程までの間に、樹脂基板が加熱工程を経ている
場合には、樹脂基板に寸法の変化を生じる。また、第１
のパターニング工程から第２のパターニング工程までの
間に、樹脂基板が置かれていた温度、雰囲気によっても
樹脂基板に寸法の変化を生じる。本発明では、この寸法
の変化を、前記第２のパターニング工程において、第１
のパターンに対応させて第２のパターンを形成するパタ
ーン調整を行うことにより寸法の変化を調整する。

【００１２】パターン調整の方法としては、例えば、前
記第１のパターニング工程と前記第２のパターニング工
程の際に、基板の含水率を測定し、含水率の変化を調整
する方法や、基板にあらかじめマークを設けておき、こ
のマークの位置の変化を用いてパターン調整を行う方法
などが挙げられる。マークを設けてパータン調整を行う
調整を行う方法は、具体的には以下のように行う。

【００１３】第２のパターンを形成する前に、前記樹脂
基板上に予め設けられているマークの位置を検出して、
第１のパターニング工程の際に当該マークのあった位置
からのずれをまず算出する。なお、このずれは、基板の
縦方向、横方向いずれのずれであってもよい。上記原因
により生ずる基板の伸縮は、基板の縦方向、横方向いず
れの方向においても、均等に生ずると考えられるからで
ある。

【００１４】次に、上記算出された位置ずれを補正する
ための露光倍率を求める。この露光倍率に基づいて第２
のパターニングを行う。この結果、第１のパターニング
と第２のパターニングとの間に生じた基板の伸縮を補正
して第２のパターニングが行われるので、第１のパター
ニングで形成されたパターンと第のパターニングで形成
されたパターンとの寸法のずれがなくなる。

【００１５】また、上記算出された位置ずれから、第２
のパターニングをする際に、位置ずれを補正するように
基板の温度を変えてもよい。基板の温度を変えること
で、上記伸縮した基板サイズを第１のパターニング時の
サイズにすることができるので、設計寸法に影響を与え
ず、第２のパターニングができる。

【００１６】さらに、上記算出された位置ずれから、第
２のパターニングをする際に、この位置ずれを補正する
ように、パターンやピッチの大きさの異なるマスクを用
いて露光することによっても、パターン調整をすること
ができる。

【００１７】前記マークは、前記第１のパターニング工
程の前、あるいは後、または、前記第１のパターニング
工程と同時に形成されればよい。第２のパターニング工
程において、設計寸法からのずれが主として問題となる
のは、第１のパターニング工程から第２のパターニング
工程までの間の熱履歴、湿度である。したがって、前記
前記第１のパターニング工程の前、あるいは後、また
は、前記第１のパターニング工程と同時に、マークが形
成されれば、該マークを使用して第２のパターニング工
程を行う際に設計寸法からのずれを補正できる。この結
果、表示特性の優れた液晶表示装置を提供できる。

【００１８】前記マークは、前記第１のパターニング工
程の前に形成されていてもよい。この場合には、第１の
パターニングを行う際にも、マークの位置のずれを算出
して、露光倍率を変える、または基板の温度を変化させ
るなどのパターン調整により、第１のパターニングを行
うことができるので、設計寸法からのずれの小さい、よ
り寸法管理に優れた液晶表示装置が提供できる。

【００１９】前記第１のパターニング工程で、カラーフ
ィルタが形成され、前記第１のパターニング工程終了時
までに、前記マークが形成されることが好ましい。カラ
ーフィルタの形成時から導電膜を形成するまでの間に生
じた基板の伸縮が開口率の低下に大きな影響を与える。
したがって、前記第１のパターニング工程終了時まで
に、前記マークが形成されれば、基板の伸縮による開口
率の低下をより効果的に補正できるからである。

【００２０】前記マークが、ブラックマトリクスととも
に形成されることが好ましい。カラーフィルタ、導電膜
をパターニングする際に、パターン調整のために利用で
きるからである。また、ブラックマトリクス自体をマー
クとして用いても良い。ブラックマトリクスは、識別し
やすいマークとなるからである。

【００２１】前記第１のパタニング工程で、カラーフィ
ルタが形成されるとよい。

【００２２】前記第２のパターニング工程で、導電膜が
形成されるとよい。カラーフィルタと導電膜との寸法の
ずれが開口率の変動に影響を与えるからである。

【００２３】本発明の液晶表示装置の製造方法は、前記
第１のパターニング工程で短冊状の色材膜がストライプ
状に配列されたカラーフィルタを形成し、前記第２のパ
ターニング工程で透明導電膜を形成する液晶表示装置の
製造方法であって、透明導電膜は、前記パターン調整が
行なわれることにより、前記短冊状の色材膜を個々に被
覆し、かつ表示領域においては各色材膜の長辺と略平行
に形成されることを特徴とする。

【００２４】この製造方法によれば、カラーフィルタ形
成時から、導電膜形成時までに生じた樹脂基板の伸縮を
補正して、導電膜が短冊状の色材膜を個々に被覆し、か
つ各色材膜の長辺と略平行になるように導電膜を形成す
ることができる。この結果、電極のパターンとカラーフ
ィルタのパターンとが一致するので、開口率が変動せ
ず、表示特性に優れた液晶表示装置が製造できる。

【００２５】なお、ブッラクマトリクスを設ける場合に
は、導電膜は、色材膜の長辺と合致していても、色材膜
の長辺からブラックマトリクス側へはみ出していてもよ
い。導電膜が色材膜の長辺と略平行に形成されており、
隣接する導電膜同士が接触しなければ、開口率の大きい
液晶表示装置が得られるからである。一方、ブラックマ
トリクスを設けない場合には、導電膜は、色材膜の長辺
に略平行に、かつ色材膜の長辺より内側に設ける必要が
ある。隣接する導電膜同士が接触してショートするから
である。

【００２６】導電膜が、表示領域において該色材膜の長
辺と略平行に形成されていれば、少なくとも開口率が変
動せず、表示特性に優れる液晶表示装置が提供できる。
なお、他の領域に関しては、導電膜は各色材膜の長辺と
略平行に形成されていても、いなくてもよい。かかる領
域では、導電膜のパターンと色材膜のパターンが一致し
ていなくても、開口率に影響を与えないからである。

【００２７】他方の基板も樹脂基板である場合には、前
記一方の樹脂基板上に予め設けられたマークのずれを補
正するための補正値を用いて、前記他方の基板に導電膜
が形成されてもよい。

【００２８】この方法によると、対向基板上の導電膜の
パターンも、カラーフィルタのパターンと一致させるこ
とができるので、より表示特性に優れた液晶表示装置が
製造できる。

【００２９】上記の方法で製造された液晶表示装置は、
一対の基板間に液晶層を挟持し、前記基板の表面上に選
択的に形成された導電膜を備えた液晶表示装置であっ
て、少なくとも一方の基板が樹脂基板であり、前記樹脂
基板上には、短冊状の色材膜がストライプ状に配列され
たカラーフィルタが形成され、透明導電膜は前記短冊状
の色材膜を個々に被覆し、表示領域においては前記透明
導電膜の形状と各色材膜の形状とが略同一で、かつ各透
明導電膜の位置が各色材膜の位置と略一致している。

【００３０】本発明の液晶表示装置では、表示領域にお
いて、前記透明導電膜の形状と各色材膜の形状とが略同
一で、かつ各透明導電膜の位置が各色材膜の位置と略一
致している。この結果、開口率が変動せず、表示特性に
優れる液晶表示装置が提供できる。

【００３１】上記液晶表示装置において、隣接する前記
色材膜の内側の辺を結ぶ長さ（Ｆ１）と、当該色材膜を
被覆する透明導電膜の内側の辺を結ぶ長さ（Ｉ１）と
が、 ｜１−（Ｉ１／Ｆ１）｜≦１００ｐｐｍ の関係にあればよい。

【００３２】隣接する前記色材膜の内側の辺を結ぶ長さ
（Ｆ１）と当該色材膜を被覆する透明導電膜の内側の辺
を結ぶ長さ（Ｉ１）とが上記の関係にあれば、隣接する
色材膜上に設けられた透明導電膜は各色材膜の位置と略
一致しているので、開口率が低下しない。

【００３３】上記方法で製造された液晶表示装置は、一
対の基板間に液晶層を挟持し、前記基板の表面上に選択
的に形成された導電膜を備えた液晶表示装置であって、
少なくとも一方の基板が樹脂基板であり、前記樹脂基板
上には、短冊状の色材膜がストライプ状に配列されたカ
ラーフィルタが形成され、透明導電膜は前記短冊状の色
材膜を個々に被覆し、表示領域においては前記透明導電
膜の形状と各色材膜の形状とが略同一で、かつ各透明導
電膜の位置が各色材膜の位置と略一致しており、前記色
材膜のうち、基板の両端に配置されている色材膜の外側
の辺と同士を結ぶ長さと、前記短冊状の色材膜上に設け
られた複数の導電膜のうち、基板の両端に配置されてい
る導電膜の外側の辺同士を結ぶ長さとが、略等しいもの
である。

【００３４】樹脂基板上に形成されたパターンは、基板
の伸縮に伴って、伸縮する。基板は、理想的には縦方
向、横方向いずれの方向にも均一に伸縮する。したがっ
て、個々の短冊状の色材膜の間隔が等しくなる。しか
し、現実には、個々の短冊状の色材膜の間隔は異なる。
本発明の液晶表示装置では、第１のパターンに対応させ
て第２のパターンを形成するので、該色材膜のうち、基
板の両端に配置されている色材膜の外側の辺同士を結ぶ
長さと、前記短冊状の色材膜上に設けられた複数の導電
膜のうち、基板の両端に配置されている導電膜の外側の
辺同士を結ぶ長さとが、略等しくなる。この結果、導電
膜をカラーフィルタのパターンに対応させてパターン形
成するので、導電膜とカラーフィルタの寸法のずれを小
さくできる。

【００３５】上記液晶表示装置において、前記基板の両
端に配置されている色材膜の外側の辺を結ぶ長さ（Ｆ
２）と、当該色材膜を被覆する透明導電膜の外側の辺を
結ぶ長さ（Ｉ２）とが、 ｜１−（Ｉ２／Ｆ２）｜≦１００ｐｐｍ の関係にあれば、基板の両端に配置されている導電膜の
外側の辺同士を結ぶ長さとが、略等しくなる。

【００３６】上記樹脂基板は、アクリル樹脂、エポキシ
樹脂、ケイ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート
樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリエチレン樹脂、
およびこれらの共重合体からなる群から選択された樹脂
で構成されていればよい。

【００３７】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）本発明の実施の
形態を図面に基いて説明する。但し、説明に不要な部分
は省略し、また説明を容易にするため拡大あるいは縮小
等して図示した部分がある。

【００３８】図１は、本発明の液晶表示装置にかかる樹
脂基板にパターニングする方法を説明するための図であ
る。図１(ａ)は、第１のパターニングがされた状態の樹
脂基板が示されており、図１(ｂ)は、第２のパターニン
グの前工程を説明するための図であり、図１(ｃ)は、熱
処理により樹脂基板が伸長した状態を示す図である。

【００３９】本発明にかかる樹脂基板１に用いられる樹
脂としては、上記樹脂が挙げられる。これらの樹脂の中
で、少なくとも１００℃以上の耐熱性を有し、かつ光学
的に等方性の樹脂が好ましい。

【００４０】樹脂基板１の厚みとしては、０．１ｍｍ〜
１．０ｍｍであればよい。また、この厚みが担保できる
ものであれば、上記複数の樹脂で、複数の層からなる基
板であっても良い。

【００４１】樹脂基板上の液晶表示装置の背向する表面
に、液晶層内へ酸素や水蒸気などが進入することを防ぐ
ガスバリア膜４が設けられていても良い。ガスバリア膜
４の材料としては、公知の材料を用いることができる。
例えば、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウ
ム、酸化チタン、酸化ジルコニウムなどの透明な無機
膜、またはエチレン−ビニルアルコール共重合体、アク
リロニトリルなどの透明な有機膜などが挙げられる。ま
た、反射型の液晶表示装置の場合、アルミニウム、銀な
どの金属、またはそれらの合金、および誘電体多層膜な
どの非透過のガスバリア膜を設けても良い。

【００４２】樹脂基板１上の液晶表示装置の対向する表
面には、例えばアルミニウムなどで、半透過層５が設け
られていても良い。

【００４３】上記基板１の上に、パターンを形成する。
形成されるパターンとしては、ブラックマトリクス、カ
ラーフィルタ、または導電膜が挙げられる。これらのパ
ターンのうち、ブラックマトリクス６、またはカラーフ
ィルタ２が第１のパターンとなる。カラーフィルタ２を
第１のパターンとするのが好ましい。カラーフィルタと
導電膜とのずれが開口率の低下を招くからである。

【００４４】ブラックマトリクス６とカラーフィルタ２
とは、どちらを先にあるいは同時に形成してもよい。ブ
ラックマトリクス６を先に形成して、その後に第１のパ
ターンとしてカラーフィルタ２を形成すれば、ブラック
マトリクス６をマーク７として利用できる。また、逆に
カラーフィルタ２をマーク７として利用してもよい。

【００４５】次に、基板１上に、第２のパターンを形成
する。第２のパターンは、第１のパターンに対応させて
形成する。例えば、カラーフィルタに対応させてブラッ
クマトリクスを、ブラックマトリクスに対応させてカラ
ーフィルタを、またはカラーフィルタあるいはブラック
マトリクスに対応させて導電膜を形成する。図１の例で
は、カラーフィルタ２に対応させて導電膜を形成してい
る。ブラックマトリクス６、およびカラーフィルタ２
は、公知の材料を用いて、定法にしたがって形成する。

【００４６】図１の例では、カラーフィルタ２の形成が
されると同時にマーク７を形成した（図１(ａ)）。この
ときのマーク間の距離はｘである。また、この基板上に
は、平坦化膜８が設けられている。マークを形成する場
合は、公知のアライメントマークを作製する方法により
マークを形成すれば良い。

【００４７】次に、図１(ｂ)に示すように、平坦化膜８
の上に、ＩＴＯなどの導電膜形成材料９を製膜する。次
に、導電膜形成材料９の上に、レジスト１０を塗布す
る。

【００４８】このレジストを加熱乾燥させると、樹脂基
板が熱により伸長し、図１(ｃ)に示すようにマーク間の
間隔がｘ’となる。このｘ’とｘのずれを補正する。例
えば、露光倍率を用いて位置ずれを補正する場合には、
ｘ’／ｘの露光倍率で、上記基板に露光する。

【００４９】図２は、投影方式を用いた露光方法によ
り、本発明にかかる基板を露光する方法を示す図であ
る。光は、所定のマスクパターンを有するマスク１１を
透過して投影レンズ１２に入る。ここで、光の露光倍率
をｘ’／ｘ倍にして光を照射すると、伸張したカラーフ
ィルタのピッチに対応したレジストのパターンが基板上
に形成される。

【００５０】次に、この基板を、現像、露光、レジスト
の除去などの通常のフォトリソグラフィの方法にしたが
って処理すると、図３に示す基板が得られる。図３は、
本発明の液晶表示装置にかかる基板上に設けられたカラ
ーフィルタと導電膜の関係を説明するための概念図であ
る。図３(ａ)は、基板上に設けられたカラーフィルタと
導電膜の関係を示す概念図であり、図３(ｂ)は、基板上
に設けられたカラーフィルタと導電膜の関係を示す概念
断面図である。

【００５１】本発明の方法を用いると、樹脂基板を用い
ても、第１のパターンと第２のパターンとの位置ずれを
容易に補正できるので、パターン同士の位置ずれの少な
い、開口率が一定な液晶表示装置が製造できる。特に、
ＳＴＮモードの液晶表示装置の製造に適している。樹脂
基板を用いたＳＴＮモードの液晶表示装置では、色材膜
がストライプ配列されたカラーフィルタの色材膜の上に
導電膜を色材膜のストライプ方向と同一方向にストライ
プ配列させると、カラーフィルタと導電膜との位置ずれ
が少なくなる。しかし、この構造においても、上記した
ようにカラーフィルタと導電膜との位置ずれを生ずる。
本発明の製造方法を用いると、カラーフィルタと導電膜
との位置ずれがさらに少なくなる。

【００５２】本発明の製造方法を用いると、図３に示す
ように前記第１のパターニング工程によりカラーフィル
タ２が形成され、前記第２のパターニング工程により導
電膜３が形成された液晶表示装置であって、前記カラー
フィルタ２は、短冊状の色材膜がストライプ状に配列さ
れており、前記導電膜３は、前記短冊状の色材膜を被覆
し、かつ該色材膜の間隙には位置しないように形成され
ることができる。

【００５３】この例では、投影方式を用いて露光倍率を
調整したが、ステップリピート方式を用いた場合も同様
にして露光倍率を調整できる。

【００５４】プロキシミティ法を用いる場合には、異な
る大きさのパターンとピッチを有するマスクを用いて、
位置ずれを補正することができる。具体的には第１のパ
ターン形成時に所定の大きさのパターンとピッチのマス
クを用いた場合には、第２のパターンを形成する際に
は、ｘ’ ／ｘ倍の大きさのパターンとピッチのマスク
を用いれば良い。

【００５５】また、基板の温度を変えて、位置ずれを補
正する場合は、ｘ’／ｘの値が１より大きいときは、基
板の温度を下げてｘ’／ｘが１になるように調整すれば
良い。一方、ｘ’／ｘが１より小さいときは、基板の温
度を上げてｘ’／ｘが１になるように調整すれば良い。

【００５６】含水率を用いて、第１のパターンに対応さ
せて第２のパターンを形成するには、第１のパターニン
グ工程終了時と第２のパターニング工程開始直前におけ
る含水率を測定し、第２のパターニング工程における含
水率を第１のパターニング工程終了時における含水率と
同じにすることによってもパターン調整をすることがで
きる。

【００５７】本発明の液晶表示装置に係る樹脂基板で
は、表示領域においては前記透明導電膜の形状と各色材
膜の形状とが略同一で、かつ各透明導電膜の位置が各色
材膜の位置と略一致している。すなわち、カラーフィル
タと導電膜の位置ずれは、小さい。

【００５８】具体的には、図３に示すように、隣接する
色材膜の内側の辺同士を結ぶ長さＦ１と該色材膜上に設
けられた導電膜の内側の辺同士を結ぶ長さＩ１は、略等
しくなる。したがって、｜１−Ｉ１／Ｆ１｜は、１００
ｐｐｍ以下、好ましくは５０ｐｐｍ以下、より好ましく
は１０ｐｐｍ以下になる。一方、図６の例では、パター
ン調整されていないので、｜１−Ｉ１／Ｆ１｜は、１０
０ｐｐｍより大きくなり、カラーフィルタと導電膜の位
置ずれは大きい。

【００５９】また、本発明の液晶表示装置に係る樹脂基
板では、表示領域においては前記透明導電膜の形状と各
色材膜の形状とが略同一で、かつ各透明導電膜の位置が
各色材膜の位置と略一致している。すなわち、カラーフ
ィルタと導電膜の位置ずれは、小さい。

【００６０】具体的には、図３に示すように、基板の両
端に配置されている色材膜の外側の辺同士を結ぶ長さＦ
２と基板の両端に配置されている導電膜の外側の辺同士
を結ぶ長さＩ２が、略等しくなる。したがって、｜１−
Ｉ２／Ｆ２｜は、１００ｐｐｍ以下、好ましくは５０ｐ
ｐｍ以下、より好ましくは１０ｐｐｍ以下になる。一
方、図６の例では、パターン調整されていないので、｜
１−Ｉ２／Ｆ２｜は、１００ｐｐｍより大きくなり、カ
ラーフィルタと導電膜の位置ずれは大きい。

【００６１】他方の基板が、ガラス基板の場合は、公知
の方法で導電膜を形成すれば良い。また、他方の基板が
樹脂基板の場合には、上記パターン調整の条件を用い
て、他方の基板に導電膜を形成すると、対向基板間にお
いてもパターンのずれのない液晶表示装置が形成でき
る。なお、ＳＴＮモードの液晶表示装置の場合、他方の
基板の導電膜は、一方の基板上に設けられている導電膜
のストライプ方向と略直交する方向にストライプ状の導
電膜を形成した基板を貼りつければ良い。

【００６２】次に基板の対向面に配向膜を形成する。そ
の後、貼り合わせ工程、液晶注入工程を経て、本発明の
液晶表示装置が得られる。

【００６３】（実施の形態２）図４は、本発明の液晶表
示装置にかかる樹脂基板にパターニングする別の方法を
説明するための図である。図４(ａ)は、第１のパターニ
ングがされた状態の樹脂基板が示されており、図４(ｂ)
は、第２のパターニングの前工程を説明するための図で
あり、図４(ｃ)は、熱処理により樹脂基板が伸長した状
態を示す図である。図４に示すように、この実施の形態
では、マークを形成していない。なお、以下の説明で
は、実施の形態１と異なる点についてのみ述べる。

【００６４】図４の例では、ブラックマトリクス６を形
成して、該ブラックマトリクス６をマークとして利用す
る。カラーフィルタ２が形成されたときの、基板の両端
に形成されたブラックマトリクス６間の距離はｘである
（図４(ａ)）。また、この基板上には、平坦化膜８が設
けられている。

【００６５】次に、図４(ｂ)に示すように、平坦化膜８
の上に、ＩＴＯなどの導電膜形成材料９を製膜する。次
に、導電膜形成材料９の上に、レジスト１０を塗布す
る。

【００６６】このレジストを加熱乾燥させると、樹脂基
板が熱により伸長し、図４(ｃ)に示すようにマーク間の
間隔がｘ’となる。このｘ’とｘのずれを補正する。例
えば、露光倍率を用いて位置ずれを補正する場合には、
ｘ’／ｘの露光倍率で、上記基板に露光する。このあと
の工程は、実施の形態１と同様である。

【００６７】この例では、第１のパターンはカラーフィ
ルタであるが、第１のパターンがブラックマトリクスで
あっても良い。また、カラーフィルタを形成したあと
に、ブラックマトリクスを形成しても良い。

【００６８】また、この例では、ブラックマトリクスを
マークとして使用したが、カラーフィルタをマークとし
て使用してもよい。さらに、マークとして用いるパター
ンがを第１のパターニング工程前に形成されている場合
には、該パターンをマークとして用いて、第１のパター
ニング工程を行っても良い。

【００６９】（実施の形態３）図５は、本発明の液晶表
示装置にかかる樹脂基板にパターニングするさらに別の
方法を説明するための図である。図５(ａ)は、樹脂基板
上にマークが形成された状態の樹脂基板が示されてお
り、図５(ｂ)は、樹脂基板上にブラックマトリクスが形
成された状態の樹脂基板が示されており、図５(ｃ)は、
熱処理により樹脂基板が伸びた状態を示す図であり、図
５(ｄ)は、樹脂基板が伸張した状態でカラーフィルタが
形成される過程を示す図である。図５に示すように、こ
の実施の形態では、パターンを形成する前に、マークを
形成している。なお、以下の説明では、実施の形態１と
異なる点についてのみ述べる。

【００７０】上記基板１の上に、マーク７を形成する
（図５(ａ)）。このマークは、公知の方法により形成す
る。このときのマーク間の距離はｙである。次に、この
基板上にパターンを形成する。このパターンは、ブラッ
クマトリクス、またはカラーフィルタである。本実施の
形態の例ではブラックマトリクス６である（図５
(ｂ)）。

【００７１】次に、この基板上に、ブラックマトリクス
６のパターンに対応させてカラーフィルタ２を形成す
る。具体的には、図５(ｃ)に示すように、基板上にカラ
ーフィルタ形成材料１３を製膜する。次に、カラーフィ
ルタ形成材料９の上に、カラーフィルタ形成用レジスト
１４を塗布する。

【００７２】このレジスト１４を加熱乾燥させると、樹
脂基板が熱により伸長し、図５(ｃ)に示すようにマーク
間の間隔がｙ’となる。このｙ’とｙのずれを補正す
る。例えば、露光倍率を用いて位置ずれを補正する場合
には、ｙ’／ｙの露光倍率で上記基板に露光する。位置
ずれを補正する方法は、上記実施の形態１における第２
のパターンを形成する場合と同様に行う。

【００７３】位置ずれを補正した状態で、図５(ｄ)に示
すように、カラーフィルタ２を形成する。この工程によ
り、赤、青、緑のいずれかの色材膜が基板上に形成され
る。上記工程を繰り返して、カラーフィルタ２を形成す
る。このようにして得られた基板上に平坦化膜を形成し
て、図１(ａ)に示す基板を得る。次に、実施の形態１の
工程を行うことにより本発明にかかる液晶表示装置が得
られる。

【００７４】ブラックマトリクス６とカラーフィルタ２
とは、どちらを先に形成してもよい。ブラックマトリク
ス６を先に形成して、その後に第１のパターンとしてカ
ラーフィルタ２を形成すれば、ブラックマトリクス６の
パターンに対応したカラーフィルタを形成できる。逆に
カラーフィルタ２を先に形成して、その後に第１のパタ
ーンとしてブラックマトリクスを形成してもよい。

【００７５】なお、上記実施の形態１〜３では、ブラッ
クマトリクスを形成したが、ブラックマトリクスを形成
しない場合も、本発明の効果が得られる。

【実施例】以下、実施例に基づいて、本発明の内容を具
体的に説明する。 （実施例１）図１に示す方法を用いて、本発明の液晶表
示装置を作成した。樹脂基板１として、ポリカーボネー
トフィルム（フィルム厚０．２ｎｍ）を用いた。このフ
ィルムの一方の面には、ガスバリア膜４を設け、他方の
面には、アルミニウムからなる半透過膜５を設けた。

【００７６】上記樹脂基板１の半透過膜５が設けられて
いる側に、公知の方法を用いて、ブラックマトリクス６
を形成した。

【００７７】次に、色材膜（赤、緑、青）を８０μｍピ
ッチで形成し、カラーフィルタ２を作成した。その際、
同時に基板１の４隅に、マーク７を形成した。この場合
に、マーク７相互間の距離ｘを測定した。

【００７８】次に、このカラーフィルタ２の上に、平坦
化膜８を設けた後、インジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）か
らなる透明導電膜材料９を厚み１５０ｎｍで設けた。次
に、このＩＴＯ膜の上に、ポジ型フォトレジスト１０を
塗布して、１００℃で、５分間乾燥した。

【００７９】次に、上記形成したマーク７から、マーク
７の位置の変化ｘ’を読み取り、マークの位置のずれを
計算した。位置ずれを補正するための露光倍率（ｘ’／
ｘ）を求めた。図２に示すようにマスク１１を用いて、
この露光倍率で露光した。露光は、非遮光部／遮光部＝
１０／９０で、８０μｍピッチの短冊状のマスク１１を
通して行った。その後、レジスト膜を、現像、エッチン
グし、最後に基板上に残ったレジストを剥離して、基板
上に図３に示すようにストライプ状のパターンを有する
透明導電膜３が形成された。

【００８０】次に、ガスバリア膜を設けたポリカーボネ
ートフィルム（フィルム厚０．２ｎｍ）を用いて、他方
の基板を作成した。ガスバリア膜を設けていない面に、
インジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）からなる透明導電膜材
料を厚み１５０ｎｍで設けた。次に、このＩＴＯ膜の上
に、ポジ型フォトレジストを塗布して、１００℃で、５
分間乾燥した。

【００８１】次に、上記一方の基板を作製するときに用
いた露光倍率で、マスクを用いて、基板を露光した。露
光は、非遮光部／遮光部＝１０／９０で、８０μｍピッ
チの短冊状のパターンを有するマスクを通して行った。
その後、レジスト膜を、現像、エッチングし、最後に基
板上に残ったレジストを剥離して、基板上にストライプ
状のパターンを有する透明導電膜が形成された。

【００８２】次に、上記基板の透明導電膜を設けた面
に、ポリイミドを塗布した後、ラビングを行い、配向膜
を形成した。片方の基板に球状のプラスチックからなる
スペーサを散布し、円柱状のガラスからなるスペーサを
混練したエポキシ樹脂を主成分とするシール樹脂を印刷
した。上記２つの基板を透明導電膜が形成されている面
を導電膜のストライプ方向が略直交するように内側にし
て貼り合わせ、液晶セル（空セル）を作製した。この液
晶セルに、液晶を注入し、封入した。この液晶セルの両
面に、偏光板を貼り、液晶パネルを完成させた。

【００８３】最後に、引き出し電極に液晶駆動用ドライ
バを接続して、液晶表示装置を作製した。

【００８４】この液晶表示装置は、｜１−（Ｉ１／Ｆ
１）｜は、８ｐｐｍと１０ｐｐｍ以下で、｜１−（Ｉ２
／Ｆ２）｜も、７ｐｐｍと１０ｐｐｍ以下であり、カラ
ーフィルタと透明導電膜のパターンずれによる開口率低
下などの表示不良は殆ど発生しなかった。

【００８５】一方、カラーフィルタを先に形成して、次
にブラックマトリクスを形成した。ブラックマトリクス
を第１のパターンとして、これに対応させて導電膜を形
成した。これ以外は、上記と同様にして液晶表示装置を
作製した。この液晶表示装置も、｜１−（Ｉ１／Ｆ１）
｜は、９ｐｐｍと１０ｐｐｍ以下で、｜１−（Ｉ２／Ｆ
２）｜は、７ｐｐｍと１０ｐｐｍ以下であり、カラーフ
ィルタと透明導電膜のパターンずれによる開口率低下な
どの表示不良は殆ど発生しなかった。

【００８６】プロキシミティ法を用いて、露光倍率を調
整しても、上記と同様の表示不良が殆ど発生しない液晶
表示装置が得られた。

【００８７】基板の温度を変えて位置ずれを補正した場
合にも、含水率を変えて基板の収縮率を形成した場合に
も、上記と同様の表示不良が殆ど発生しない液晶表示装
置が得られた。

【００８８】なお、上記実施例では、予め空セルを作成
した後で液晶を注入したが、シール樹脂を塗布した基板
に液晶を滴下し、真空下で貼り合わせた液晶表示装置に
おいても、同様の効果が得られた。

【００８９】（比較例１）位置ずれを補正するための露
光倍率を求めなかったこと以外、すなわち露光倍率を用
いて、ＩＴＯを露光しなかった以外は、実施例１と同様
にして、比較例１の液晶表示装置を製造した。

【００９０】この液晶表示装置は、｜１−（Ｉ１／Ｆ
１）｜は、１１０ｐｐｍと１００ｐｐｍより大きく、｜
１−（Ｉ２／Ｆ２）｜も、１１０ｐｐｍと１００ｐｐｍ
より大きく、カラーフィルタと透明導電膜のパターンず
れによる開口率低下などの表示不良が多数発生した。

【００９１】（実施例２）実施例１で、マークを形成す
る代わりに、ブラックマトリクスをマークとして用いた
以外は、実施例１と同様にして、実施例２の液晶表示装
置を作成した。

【００９２】この液晶表示装置は、｜１−（Ｉ１／Ｆ
１）｜は、８ｐｐｍと１０ｐｐｍ以下で、｜１−（Ｉ２
／Ｆ２）｜は、７ｐｐｍと１０ｐｐｍ以下であり、カラ
ーフィルタと透明導電膜のパターンずれによる開口率低
下などの表示不良は殆ど発生しなかった。

【００９３】（比較例２）位置ずれを補正するための露
光倍率を求めなかったこと以外、すなわち露光倍率を用
いて、ＩＴＯを露光しなかった以外は、実施例２と同様
にして、比較例２の液晶表示装置を製造した。

【００９４】この液晶表示装置は、｜１−（Ｉ１／Ｆ
１）｜は、１２０ｐｐｍと１００ｐｐｍより大きく、｜
１−（Ｉ２／Ｆ２）｜も、１３０ｐｐｍと１００ｐｐｍ
より大きく、カラーフィルタと透明導電膜のパターンず
れによる開口率低下などの表示不良が多数発生した。

【００９５】（実施例３）図５に示すように、樹脂基板
１として、エポキシ樹脂（フィルム厚０．４ｎｍ）を用
いた。このフィルムの一方の面には、ガスバリア膜４を
設け、他方の面には、アルミニウムからなる半透過膜５
を設けた。半透過膜５を形成すると同時に、同時に基板
１の４隅に、マーク７を形成した。この場合に、マーク
７相互は所定の距離ｙを有していた。

【００９６】上記樹脂基板１の半透過膜５が設けられて
いる側に、ブラックマトリクス６を形成した。次に色材
膜（赤、緑、青）を８０μｍピッチで形成し、カラーフ
ィルタ２とした。ブラックマトリクス／カラーフィルタ
＝１０／９０であった。カラーフィルタ作製時における
マークの位置の変化ｙ’を読み取り、補正値（ｙ’／
ｙ）を計算した。位置ずれを補正するために基板の温度
を変えて、カラーフィルタ２を形成した。

【００９７】次に、このカラーフィルタ２の上に、平坦
化膜８を設けた後、実施例１と同様にして透明導電膜を
設けた。すなわち、インジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）か
らなる透明導電膜を厚み１５０ｎｍで設けた。次に、こ
のＩＴＯ膜の上に、ポジ型フォトレジストを塗布して、
１００℃で、５分間乾燥した。

【００９８】次に、上記形成したマークから、マークの
位置の変化を読み取り、補正値（ｘ’／ｘ）を計算し
た。位置ずれを補正するため基板の温度を変えて、マス
クを用いて、露光した。露光は、アンマスク／マスク＝
１０／９０で、８０μｍピッチの短冊状のマスクを通し
て行った。その後、レジスト膜を、現像、エッチング
し、最後に基板上に残ったレジストを剥離すると、基板
上には、ストライプ状のパターンを有する透明導電膜が
形成された。

【００９９】次に、ガスバリア膜を設けたポリカーボネ
ートフィルム（フィルム厚０．２ｎｍ）を用いて、他方
の基板を作成した。ガスバリア膜を設けていない面に、
インジウム・錫酸化物（ＩＴＯ）からなる透明導電膜を
厚み１５０ｎｍで設けた。次に、このＩＴＯ膜の上に、
ポジ型フォトレジストを塗布して、１００℃で、５分間
乾燥した。

【０１００】次に、上記一方の基板を作製するときに用
いた露光倍率で、マスクを用いて、基板を露光した。露
光は、非遮光部／遮光部＝１０／９０で、８０μｍピッ
チの短冊状のマスクを通して行った。その後、レジスト
膜を、現像、エッチングし、最後に基板上に残ったレジ
ストを剥離して、他方の基板にストライプ状のパターン
を有する透明導電膜が形成された。

【０１０１】次に、上記基板の透明導電膜を設けた面
に、ポリイミドを塗布した後、ラビングを行い、配向膜
を形成した。片方の基板に球状のプラスチックからなる
スペーサを散布し、円柱状のガラスからなるスペーサを
混練したエポキシ樹脂を主成分とするシール樹脂を印刷
した。上記２つの基板を透明導電膜が形成されている面
を導電膜のストライプ方向が略直交するように内側にし
て貼り合わせ、液晶セル（空セル）を作製した。この液
晶セルに、液晶を注入し、封入した。この液晶セルの両
面に、偏光板を貼り、液晶パネルを完成させた。

【０１０２】最後に、引き出し電極に液晶駆動用ドライ
バを接続して、液晶表示装置を作製した。

【０１０３】この液晶表示装置は、｜１−（Ｉ１／Ｆ
１）｜は、８ｐｐｍと１０ｐｐｍ以下で、｜１−（Ｉ２
／Ｆ２）｜も、８ｐｐｍと１０ｐｐｍ以下であり、カラ
ーフィルタと透明導電膜のパターンずれによる開口率低
下などの表示不良の大幅な低減を図ることができた。

【０１０４】（比較例３）位置ずれを補正するための基
板の温度を変えなかった以外は、実施例３と同様にし
て、比較例３の液晶表示装置を製造した。

【０１０５】この液晶表示装置は、｜１−（Ｉ１／Ｆ
１）｜は、１１０ｐｐｍと１００ｐｐｍより大きく、｜
１−（Ｉ２／Ｆ２）｜も、１１０ｐｐｍと１００ｐｐｍ
より大きく、カラーフィルタと透明導電膜のパターンず
れによる開口率低下などの表示不良が多数発生した。

【０１０６】

【発明の効果】本発明の液晶表示装置の製造方法を用い
れば、パターン形成時に先のパターンからの基板のずれ
を調整してパターンが形成されるので、ＩＴＯなどのエ
ッチングパターンやカラーフィルタのパターン寸法が、
設計寸法からのずれが小さい液晶表示装置を提供するこ
とができる。

【０１０７】また、画素の大きさ（開口率）が変動せ
ず、例えばコントラストなどの表示特性に優れる液晶表
示装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の液晶表示装置にかかる樹脂基
板にパターニングする方法を説明するための図である。
図１(ａ)は、第１のパターニングがされた状態の樹脂基
板が示されている。図１(ｂ)は、第２のパターニングの
前工程を説明するための図である。図１(ｃ)は、熱処理
により樹脂基板が伸長した状態を示す図である。

【図２】図２は、投影方式を用いた露光方法により、本
発明にかかる基板を露光する方法を示す図である。

【図３】図３は、本発明の液晶表示装置にかかる基板上
に設けられたカラーフィルタと導電膜の関係を説明する
ための概念図である。図３(ａ)は、基板上に設けられた
カラーフィルタと導電膜の関係を示す概念図である。図
３(ｂ)は、基板上に設けられたカラーフィルタと導電膜
の関係を示す概念断面図である。

【図４】図４は、本発明の液晶表示装置にかかる樹脂基
板にパターニングする別の方法を説明するための図であ
る。図４(ａ)は、第１のパターニングがされた状態の樹
脂基板が示されている。図４(ｂ)は、第２のパターニン
グの前工程を説明するための図である。図４(ｃ)は、熱
処理により樹脂基板が伸長した状態を示す図である。

【図５】図５は、本発明の液晶表示装置にかかる樹脂基
板にパターニングするさらに別の方法を説明するための
図である。図５(ａ)は、樹脂基板上にマークが形成され
た状態の樹脂基板が示されている。図５(ｂ)は、樹脂基
板上にブラックマトリクスが形成された状態の樹脂基板
が示されている。図５(ｃ)は、熱処理により樹脂基板が
伸びた状態を示す図である。図５(ｄ)は、樹脂基板が伸
張した状態でカラーフィルタが形成される過程を示す図
である。

【図６】図６は、従来の方法で作製した基板を概念的に
表す図である。図６(ａ)は、基板上のカラーフィルタと
導電膜の関係を説明するための概念図である。図６(ｂ)
は、基板上のカラーフィルタと導電膜の関係を説明する
ための断面概念図である。

【符号の説明】

１ 樹脂基板 ２ カラーフィルタ ３ 導電膜 ４ ガスバリア膜 ５ 半透過膜 ６ ブラックマトリクス ７ マーク ８ 平坦化膜 ９ 導電膜形成材料 １０ レジスト １１ マスク １２ 投影レンズ １３ カラーフィルタ形成材料 １４ カラーフィルタ用レジスト １０１ 樹脂基板 １０２ カラーフィルタ １０３ 導電膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｆ 1/1343 Ｇ０２Ｆ 1/1343 ２Ｈ０９７ Ｇ０３Ｆ 7/20 ５０１ Ｇ０３Ｆ 7/20 ５０１ (72)発明者 金子 尚美 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 BA11 BA45 BA48 BB02 BB07 BB08 BB42 2H089 LA41 NA24 QA16 RA10 TA01 TA12 TA13 TA15 2H090 HC11 JB02 JB03 JD11 JD15 KA08 LA09 LA15 2H091 FA02Y FA08X FA08Z FA35Y GA01 HA10 LA30 2H092 GA05 GA11 HA04 MA13 MA14 MA16 MA37 NA07 NA25 NA29 PA01 PA08 PA09 QA10 2H097 CA12 KA13 LA12

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一方の基板が樹脂基板であ
   る一対の基板間に液晶層を挟持し、前記基板の表面上に
   選択的に形成された導電膜を備えた液晶表示装置の製造
   方法であって、 前記樹脂基板上に、第１のパターンを形成する第１のパ
   ターニング工程と、第２のパターンを形成する第２のパ
   ターニング工程とを含むパターニング工程と、 前記一対の基板のうちいずれか一方に枠状のシール剤を
   形成するシール形成工程と、 前記一対の基板を貼り合わせる貼り合わせ工程と、 前記一対の基板間に液晶を注入することにより液晶層を
   形成する液晶注入工程とを備え、 前記第２のパターニング工程では、形成された前記第１
   のパターンに対応させて第２のパターンを形成するパタ
   ーン調整が行われることを特徴とする液晶表示装置の製
   造方法。
2. 【請求項２】 前記パターン調整が、前記第２のパタ
   ーニング工程の際に、前記樹脂基板上に予め設けられて
   いるマークの位置を検出し、前記第１のパターニング工
   程終了時における前記マークの位置からのずれを算出
   し、当該位置ずれを補正するための補正値を用いて、第
   １のパターンに対応させて第２のパターンを形成するも
   のである請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
3. 【請求項３】 前記パターン調整が、前記位置ずれを
   補正するための露光倍率を求め、当該露光倍率を用いて
   前記第２のパターンを形成するものである請求項２に記
   載の液晶表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 前記パターン調整が、前記位置ずれを
   補正するために、基板の温度を変えて前記第２のパター
   ンを形成するものである請求項２に記載の液晶表示装置
   の製造方法。
5. 【請求項５】 前記第１のパターンが、カラーフィル
   タまたはブラックマトリクスである請求項１ないし請求
   項４のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
6. 【請求項６】 前記第２のパターンが、導電膜である
   請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の液晶表示装
   置の製造方法。
7. 【請求項７】 前記第１のパターンが、カラーフィル
   タまたはブラックマトリクスであり、前記第２のパター
   ンが、導電膜である請求項１ないし請求項４のいずれか
   に記載の液晶表示装置の製造方法。
8. 【請求項８】 前記マークが、前記第１のパターニン
   グ工程の前、あるいは後、または、前記第１のパターニ
   ング工程と同時に形成されることを特徴とする請求項２
   ないし請求項７のいずれかに記載の液晶表示装置の製造
   方法。
9. 【請求項９】 前記マークが前記第１のパターニング
   工程の前に基板上に形成されており、第１のパターニン
   グ工程の際にも、前記マークの位置のずれを算出し、位
   置のずれを補正して前記第１のパターンを形成すること
   を特徴とする請求項２ないし請求項７のいずれかに記載
   の液晶表示装置の製造方法。
10. 【請求項１０】 前記第１のパターニング工程で、カ
    ラーフィルタが形成され、前記第１のパターニング工程
    終了時までに、前記マークが形成されることを特徴とす
    る請求項２ないし請求項７のいずれかに記載の液晶表示
    装置の製造方法。
11. 【請求項１１】 前記マークが、ブラックマトリクス
    とともに形成されたことを特徴とする請求項２ないし請
    求項１０のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
12. 【請求項１２】 前記第１のパターニング工程で基板
    上に短冊状の色材膜がストライプ状に配列されたカラー
    フィルタを形成し、前記第２のパターニング工程で基板
    上に透明導電膜を形成する液晶表示装置の製造方法であ
    って、透明導電膜は、前記パターン調整が行なわれるこ
    とにより、前記短冊状の色材膜を個々に被覆し、かつ表
    示領域においては各色材膜の長辺と略平行に形成される
    ことを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれかに
    記載の液晶表示装置の製造方法。
13. 【請求項１３】 他方の基板が樹脂基板であり、前記
    一方の樹脂基板上に予め設けられたマークのずれを補正
    するための補正値を用いて、前記他方の基板に導電膜が
    形成されることを特徴とする請求項２ないし請求項１３
    のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法。
14. 【請求項１４】 一対の基板間に液晶層を挟持し、前
    記基板の表面上に選択的に形成された導電膜を備えた液
    晶表示装置であって、 少なくとも一方の基板が樹脂基板であり、 前記樹脂基板上には、短冊状の色材膜がストライプ状に
    配列されたカラーフィルタが形成され、 透明導電膜は前記短冊状の色材膜を個々に被覆し、表示
    領域においては前記透明導電膜の形状と各色材膜の形状
    とが略同一で、かつ各透明導電膜の位置が各色材膜の位
    置と略一致していることを特徴とする液晶表示装置。
15. 【請求項１５】 隣接する前記色材膜の内側の辺を結
    ぶ長さ（Ｆ１）と、 当該色材膜を被覆する透明導電膜の内側の辺を結ぶ長さ
    （Ｉ１）とが、 ｜１−（Ｉ１／Ｆ１）｜≦１００ｐｐｍ の関係にあることを特徴とする請求項１４に記載の液晶
    表示装置。
16. 【請求項１６】 一対の基板間に液晶層を挟持し、前
    記基板の表面上に選択的に形成された導電膜を備えた液
    晶表示装置であって、 少なくとも一方の基板が樹脂基板であり、 前記樹脂基板上には、短冊状の色材膜がストライプ状に
    配列されたカラーフィルタが形成され、 透明導電膜は前記短冊状の色材膜を個々に被覆し、表示
    領域においては前記透明導電膜の形状と各色材膜の形状
    とが略同一で、かつ各透明導電膜の位置が各色材膜の位
    置と略一致しており、 前記色材膜のうち、基板の両端に配置されている色材膜
    の外側の辺と同士を結ぶ長さと、前記短冊状の色材膜上
    に設けられた複数の導電膜のうち、基板の両端に配置さ
    れている導電膜の外側の辺同士を結ぶ長さとが、略等し
    いことを特徴とする液晶表示装置。
17. 【請求項１７】 前記基板の両端に配置されている色
    材膜の外側の辺を結ぶ長さ（Ｆ２）と、 当該色材膜を被覆する透明導電膜の外側の辺を結ぶ長さ
    （Ｉ２）とが、 ｜１−（Ｉ２／Ｆ２）｜≦１００ｐｐｍ の関係にあることを特徴とする請求項１６に記載の液晶
    表示装置。
18. 【請求項１８】 前記樹脂基板が、アクリル樹脂、エ
    ポキシ樹脂、ケイ素樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボ
    ネート樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリエチレン
    樹脂、およびこれらの共重合体からなる群から選択され
    た樹脂で構成されている請求項１４〜請求項１７のいず
    れかに記載の液晶表示装置。