JP2003291917A - ゴム成形体の梱包方法 - Google Patents
ゴム成形体の梱包方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ゴム成形部品を合成樹脂製袋に梱包するにあ
たり、室内の微量な有機成分（ガス）などがゴム成形品
へ付着することを防止すると同時に、梱包された状態で
の輸送にあたり、合成樹脂製袋への衝撃からゴム成形部
品を守ることが可能な梱包方法を提供する。 【解決手段】 ゴム成形体が収容されている合成樹脂製
袋の口部にガス供給源に連結されたノズルを挿入した
後、口部をパッドにより所定圧力で挾み込んで合成樹脂
製袋とノズルとの隙間を閉塞し、合成樹脂製袋とノズル
の隙間が閉塞されている状態でガス供給源からガスを合
成樹脂製袋内に充填して、所定量のガスを充填後、口部
をシールして密封することを特徴とするゴム成形体の梱
包方法。
たり、室内の微量な有機成分（ガス）などがゴム成形品
へ付着することを防止すると同時に、梱包された状態で
の輸送にあたり、合成樹脂製袋への衝撃からゴム成形部
品を守ることが可能な梱包方法を提供する。 【解決手段】 ゴム成形体が収容されている合成樹脂製
袋の口部にガス供給源に連結されたノズルを挿入した
後、口部をパッドにより所定圧力で挾み込んで合成樹脂
製袋とノズルとの隙間を閉塞し、合成樹脂製袋とノズル
の隙間が閉塞されている状態でガス供給源からガスを合
成樹脂製袋内に充填して、所定量のガスを充填後、口部
をシールして密封することを特徴とするゴム成形体の梱
包方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ゴム成形体の梱包
方法に関し、特に半導体製造装置や真空用機器等の清浄
さが要求される機器に使用されるシール材等に適した梱
包方法に関する。
方法に関し、特に半導体製造装置や真空用機器等の清浄
さが要求される機器に使用されるシール材等に適した梱
包方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の製造には非常に高いレベル
のクリーン度が要求されており、半導体製造装置やそれ
に付随する真空装置についても低パーティクル、低アウ
トガスなどが要求されている。 半導体製造装置に用い
る部品についても同様で、部品の製造はいうにおよば
ず、製造装置組み立て工程までの運搬に関しても高いレ
ベルのクリーン度が求められている。
のクリーン度が要求されており、半導体製造装置やそれ
に付随する真空装置についても低パーティクル、低アウ
トガスなどが要求されている。 半導体製造装置に用い
る部品についても同様で、部品の製造はいうにおよば
ず、製造装置組み立て工程までの運搬に関しても高いレ
ベルのクリーン度が求められている。
【０００３】そのため、例えば、半導体製造装置や真空
用機器に使用されるゴムＯリング等のシール材の梱包に
おいても、不純物を含まないクリーンなポリエチレン袋
が使用されている。このポリエチレン袋の内部は、シー
ル材を投入後そのまま真空にされ、シールされている。
また、梱包に際してクリーンルーム内で行われ、余分
なガスの付着を嫌う場合には袋内を真空にして出荷する
場合もある。
用機器に使用されるゴムＯリング等のシール材の梱包に
おいても、不純物を含まないクリーンなポリエチレン袋
が使用されている。このポリエチレン袋の内部は、シー
ル材を投入後そのまま真空にされ、シールされている。
また、梱包に際してクリーンルーム内で行われ、余分
なガスの付着を嫌う場合には袋内を真空にして出荷する
場合もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の梱包方法ではク
リーンルーム内で梱包しているとはいえ、環境中の空気
をそのまま巻き込むことになるため、室内の空気中に含
まれる微量の有機成分（ガス）などの付着を防ぐことが
出来ない。具体的には、有機成分としては、エタノー
ル、イソプロピルアルコール(IPA)や、アセトン、トル
エンなどの炭化水素類が主であるが、これらは溶剤とし
てクリーンルーム内で部品の洗浄等に広く使用されてお
り、完全に排除するのは困難である。また、クリーンル
ームのクリーン度は主にパーティクル（粒子状物質）の
カウントで測定されており、低分子量の炭化水素などの
ガス成分についてはそれほどクリーンにはなっていな
い。
リーンルーム内で梱包しているとはいえ、環境中の空気
をそのまま巻き込むことになるため、室内の空気中に含
まれる微量の有機成分（ガス）などの付着を防ぐことが
出来ない。具体的には、有機成分としては、エタノー
ル、イソプロピルアルコール(IPA)や、アセトン、トル
エンなどの炭化水素類が主であるが、これらは溶剤とし
てクリーンルーム内で部品の洗浄等に広く使用されてお
り、完全に排除するのは困難である。また、クリーンル
ームのクリーン度は主にパーティクル（粒子状物質）の
カウントで測定されており、低分子量の炭化水素などの
ガス成分についてはそれほどクリーンにはなっていな
い。
【０００５】また、真空にした場合にはゴム製のシール
材がポリエチレン袋に粘着し、取り出し時に作業性が悪
いという不具合もある。更には，ポリエチレン袋に収容
した状態で搬送に供した場合、外部からの衝撃がシール
材に直接伝わるという問題もある。
材がポリエチレン袋に粘着し、取り出し時に作業性が悪
いという不具合もある。更には，ポリエチレン袋に収容
した状態で搬送に供した場合、外部からの衝撃がシール
材に直接伝わるという問題もある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような状
況に鑑みてなされたものであり、ゴム成形部品を合成樹
脂製袋に梱包するにあたり、室内の微量な有機成分（ガ
ス）などがゴム成形品へ付着することを防止すると同時
に、梱包された状態での輸送にあたり、合成樹脂製袋へ
の衝撃からゴム成形部品を守ることが可能な梱包方法を
提供することを目的とする。
況に鑑みてなされたものであり、ゴム成形部品を合成樹
脂製袋に梱包するにあたり、室内の微量な有機成分（ガ
ス）などがゴム成形品へ付着することを防止すると同時
に、梱包された状態での輸送にあたり、合成樹脂製袋へ
の衝撃からゴム成形部品を守ることが可能な梱包方法を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、ゴム成形体が収容されている合成樹脂製
袋の口部にガス供給源に連結されたノズルを挿入した
後、口部をパッドにより所定圧力で挾み込んで合成樹脂
製袋とノズルとの隙間を閉塞し、合成樹脂製袋とノズル
の隙間が閉塞されている状態でガス供給源から不活性ガ
スを合成樹脂製袋内に充填して、所定量のガスを充填
後、口部をシールして密封することを特徴とするゴム成
形体の梱包方法を提供する。
決するために、ゴム成形体が収容されている合成樹脂製
袋の口部にガス供給源に連結されたノズルを挿入した
後、口部をパッドにより所定圧力で挾み込んで合成樹脂
製袋とノズルとの隙間を閉塞し、合成樹脂製袋とノズル
の隙間が閉塞されている状態でガス供給源から不活性ガ
スを合成樹脂製袋内に充填して、所定量のガスを充填
後、口部をシールして密封することを特徴とするゴム成
形体の梱包方法を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に関して図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【０００９】図１は、本発明の梱包方法を実施するため
の装置の一例を示す構成図である。図示されるように、
開閉蓋２０により開閉可能に、かつ密封できるように構
成されたチャンバー１の内部に、ゴムＯリング等のゴム
成形体が収容された合成樹脂製袋２が配置されている。
の装置の一例を示す構成図である。図示されるように、
開閉蓋２０により開閉可能に、かつ密封できるように構
成されたチャンバー１の内部に、ゴムＯリング等のゴム
成形体が収容された合成樹脂製袋２が配置されている。
【００１０】合成樹脂製袋２の口部には、その口部をシ
ールするための口部シール用の固定シール板３と、それ
に対向する位置に可動シール板４が、そしてガス充填時
に合成樹脂製袋２からガスが漏れないようにノズルごと
口部を挾むための固定パッド５が設けられており、その
固定パッド５に対向して可動パッド６が口部押え込み用
シリンダ装置（図示せず）によって上下動可能に設けら
れている。 また、合成樹脂製袋２の内部にガスを充填
するためのノズル７が、固定パッド５と可動パッド６と
の間に配置されている。
ールするための口部シール用の固定シール板３と、それ
に対向する位置に可動シール板４が、そしてガス充填時
に合成樹脂製袋２からガスが漏れないようにノズルごと
口部を挾むための固定パッド５が設けられており、その
固定パッド５に対向して可動パッド６が口部押え込み用
シリンダ装置（図示せず）によって上下動可能に設けら
れている。 また、合成樹脂製袋２の内部にガスを充填
するためのノズル７が、固定パッド５と可動パッド６と
の間に配置されている。
【００１１】合成樹脂製袋２にガスを吹き込む際には、
合成樹脂製袋２の内面とノズル７の外周面との間に隙間
を作ることのないように、固定パッド５とそれに対向し
てある可動パッド６が、ノズル７を含んだ状態で合成樹
脂製袋６の口部を押え込むことができるように構成され
ている。また、合成樹脂製袋２の内部にガスを吹き込む
時に合成樹脂製袋２の外部にガスが逃げないようにする
ために、合成樹脂製袋２とノズル７との隙間を完全に押
え付けて密封する必要がある。そのため、固定パッド５
及び可動パット６は、ノズル７の形に応じて変形できる
ようにスポンジ等の軟質材で形成され、且つノズル７を
押え付ける可動パット６の押え込み圧力が十分に確保で
きるようになっている。
合成樹脂製袋２の内面とノズル７の外周面との間に隙間
を作ることのないように、固定パッド５とそれに対向し
てある可動パッド６が、ノズル７を含んだ状態で合成樹
脂製袋６の口部を押え込むことができるように構成され
ている。また、合成樹脂製袋２の内部にガスを吹き込む
時に合成樹脂製袋２の外部にガスが逃げないようにする
ために、合成樹脂製袋２とノズル７との隙間を完全に押
え付けて密封する必要がある。そのため、固定パッド５
及び可動パット６は、ノズル７の形に応じて変形できる
ようにスポンジ等の軟質材で形成され、且つノズル７を
押え付ける可動パット６の押え込み圧力が十分に確保で
きるようになっている。
【００１２】可動パット６の押え込み圧力は、この圧力
が低いとガスが漏れ易くなり、合成樹脂製袋２へのガス
の充填量にバラツキが出てしまう。そのため、可動パッ
ド６の押え込み圧力は、通常０.５kg/cm2〜１.２kg/cm2
が好ましく、最適圧力は０.７〜１.０kg/cm2の範囲であ
る。この圧力より低い場合には、密封性が悪くガス漏れ
が生じやすくなる。
が低いとガスが漏れ易くなり、合成樹脂製袋２へのガス
の充填量にバラツキが出てしまう。そのため、可動パッ
ド６の押え込み圧力は、通常０.５kg/cm2〜１.２kg/cm2
が好ましく、最適圧力は０.７〜１.０kg/cm2の範囲であ
る。この圧力より低い場合には、密封性が悪くガス漏れ
が生じやすくなる。
【００１３】ノズル７は、金属、好ましくはステンレス
で形成される。また、ノズル７は、天然ゴム・合成ゴム
等の弾性材で形成してもよい。しかし、天然ゴムや合成
ゴム等では、不活性ガスを充填するときに自身から生じ
る有機成分や微量のパーティクルが袋内に混入すること
があり、金属製とすることが好ましい。また、ノズル７
の形状は、例えば図２に示されるような先端部分７ａが
狭窄した円筒状のものも使用できるが、図３（側面図）
及び図４（図３の上面図）に示すように、先端部分７ａ
が楕円等の幅広の扁平形状に形成されていると共に、そ
の中央部に扁平状のノズル孔７ｂが形成されているもの
が望ましいい。また、先端部７ａの厚みはノズル孔７ｂ
がある中央部が厚くその両側部が連続的に次第に薄くな
るように形成されており、これにより軟質のパッドで押
えたとき、段差ができずパウチ壁内面とノズル表面とが
密着して隙間の形成を防止することができる。このよう
な効果を得るために、先端部７ａのノズル形状はできる
だけ扁平であることが望ましい。
で形成される。また、ノズル７は、天然ゴム・合成ゴム
等の弾性材で形成してもよい。しかし、天然ゴムや合成
ゴム等では、不活性ガスを充填するときに自身から生じ
る有機成分や微量のパーティクルが袋内に混入すること
があり、金属製とすることが好ましい。また、ノズル７
の形状は、例えば図２に示されるような先端部分７ａが
狭窄した円筒状のものも使用できるが、図３（側面図）
及び図４（図３の上面図）に示すように、先端部分７ａ
が楕円等の幅広の扁平形状に形成されていると共に、そ
の中央部に扁平状のノズル孔７ｂが形成されているもの
が望ましいい。また、先端部７ａの厚みはノズル孔７ｂ
がある中央部が厚くその両側部が連続的に次第に薄くな
るように形成されており、これにより軟質のパッドで押
えたとき、段差ができずパウチ壁内面とノズル表面とが
密着して隙間の形成を防止することができる。このよう
な効果を得るために、先端部７ａのノズル形状はできる
だけ扁平であることが望ましい。
【００１４】また、ノズル７が天然ゴムや合成ゴムから
形成される場合、その硬さは合成樹脂製袋２と密着して
高い密封度を保つために重要である。硬度としてはＪＩ
ＳＫ ６３０１によるスプリング式硬さ試験機Ａ型によ
る測定で、４０〜６０度が良い。４０度より低いと軟ら
か過ぎ、６０度より高いと硬過ぎてガス漏れが発生し易
くなるからである。
形成される場合、その硬さは合成樹脂製袋２と密着して
高い密封度を保つために重要である。硬度としてはＪＩ
ＳＫ ６３０１によるスプリング式硬さ試験機Ａ型によ
る測定で、４０〜６０度が良い。４０度より低いと軟ら
か過ぎ、６０度より高いと硬過ぎてガス漏れが発生し易
くなるからである。
【００１５】ノズル７は、ガス配管を介してガスタンク
１３と接続されている。ガスは窒素あるいはその他の不
活性ガスが用いられるが、高純度の窒素ガスが好まし
く、中でも９９．９９９９％以上の純度の窒素ガスが好
ましい。このような高純度の窒素ガスを合成樹脂製袋２
に充填することにより、収容されているゴム成形体の充
填ガスによるコンタミを抑えることができる。
１３と接続されている。ガスは窒素あるいはその他の不
活性ガスが用いられるが、高純度の窒素ガスが好まし
く、中でも９９．９９９９％以上の純度の窒素ガスが好
ましい。このような高純度の窒素ガスを合成樹脂製袋２
に充填することにより、収容されているゴム成形体の充
填ガスによるコンタミを抑えることができる。
【００１６】ノズル７とガスタンク１３との配管途中に
は、ガス流量計８が取り付けられており、ノズル７のガ
ス流量を計測している。そして、ガス流量計８の量を検
出して作動する電磁弁９により、一定量のガスがノズル
７に供給される。
は、ガス流量計８が取り付けられており、ノズル７のガ
ス流量を計測している。そして、ガス流量計８の量を検
出して作動する電磁弁９により、一定量のガスがノズル
７に供給される。
【００１７】また、 チャンバー１には、チャンバー内
を真空にするための真空ポンプ１０が接続されている。
を真空にするための真空ポンプ１０が接続されている。
【００１８】さらに、チャンバー１には、内部を真空に
した後、後述する理由によりチャンバー１の内部に所定
量の不活性ガス又は空気を供給できるように、チャンバ
ー用ガス配管の途中には、エアー源に連結又は大気に開
放したエアー供給分岐管１１及び不活性ガスを充填した
ガスタンク２１に連結したガス供給分岐管１２が分岐し
て設けられている。それらの分岐管１１，１２には、そ
れぞれの分岐管の流路を開閉してチャンバー１への空気
又は不活性ガスの流量を制御する電磁弁１４、１５及び
ニードルバルブ１６、１７が設けられている。
した後、後述する理由によりチャンバー１の内部に所定
量の不活性ガス又は空気を供給できるように、チャンバ
ー用ガス配管の途中には、エアー源に連結又は大気に開
放したエアー供給分岐管１１及び不活性ガスを充填した
ガスタンク２１に連結したガス供給分岐管１２が分岐し
て設けられている。それらの分岐管１１，１２には、そ
れぞれの分岐管の流路を開閉してチャンバー１への空気
又は不活性ガスの流量を制御する電磁弁１４、１５及び
ニードルバルブ１６、１７が設けられている。
【００１９】上記の如く構成される装置を用い、 合成
樹脂製袋２に以下の手順により不活性ガスを供給する。
樹脂製袋２に以下の手順により不活性ガスを供給する。
【００２０】先ず、チャンバー１内にゴム成形部品が入
れられた合成樹脂製袋２の口部にノズル７を挿入する。
次いで、開閉蓋２０を閉じてチャンバー１内を密閉し、
真空ポンプ１０によりチャンバー１内を排気して真空状
態にする。それにより、合成樹脂製袋２の内部の空気も
除去される。次に、ノズル７が挿入されている合成樹脂
製袋２の口部を可動パッド６と固定パッド５とで押え付
けて密封する。
れられた合成樹脂製袋２の口部にノズル７を挿入する。
次いで、開閉蓋２０を閉じてチャンバー１内を密閉し、
真空ポンプ１０によりチャンバー１内を排気して真空状
態にする。それにより、合成樹脂製袋２の内部の空気も
除去される。次に、ノズル７が挿入されている合成樹脂
製袋２の口部を可動パッド６と固定パッド５とで押え付
けて密封する。
【００２１】次いで、合成樹脂製袋２の口部を閉塞した
状態で、ガス供給分岐管１２の電磁弁１４を作動させ、
ガスタンク２１から真空状態にあるチャンバー１内に所
定量の不活性ガスを吹き込み、チャンバー１内を真空か
ら大気より低い圧力、例えば０.５気圧程度の雰囲気に
戻す。チャンバー１内が真空状態のまま合成樹脂製袋２
にガスを充填すると、合成樹脂製袋２の内外の圧力差が
大きくなり過ぎて合成樹脂製袋２が異常に膨らむ。そこ
で、不活性ガスによりチャンバー１内を０．５気圧程度
に加圧しておく。尚、チャンバー１内に供給するガス
は、不活性ガスでなくても良く、エアー供給分岐管１１
の電磁弁１５を作動させて大気を導入するようにすると
不活性ガスを消費しなくて済む。
状態で、ガス供給分岐管１２の電磁弁１４を作動させ、
ガスタンク２１から真空状態にあるチャンバー１内に所
定量の不活性ガスを吹き込み、チャンバー１内を真空か
ら大気より低い圧力、例えば０.５気圧程度の雰囲気に
戻す。チャンバー１内が真空状態のまま合成樹脂製袋２
にガスを充填すると、合成樹脂製袋２の内外の圧力差が
大きくなり過ぎて合成樹脂製袋２が異常に膨らむ。そこ
で、不活性ガスによりチャンバー１内を０．５気圧程度
に加圧しておく。尚、チャンバー１内に供給するガス
は、不活性ガスでなくても良く、エアー供給分岐管１１
の電磁弁１５を作動させて大気を導入するようにすると
不活性ガスを消費しなくて済む。
【００２２】次に、合成樹脂製袋２に接続されたガス配
管に配置された電磁弁１４を作動させ、ノズル７を介し
て合成樹脂製袋２に所定量の不活性ガス、好ましくは上
記した高純度の窒素ガスを充填する。合成樹脂製袋２に
充填する不活性ガス量は予め設定されており、ガス量流
量計８がその量を検出すると電磁弁９が自動的に作動し
て不活性ガスの供給を停止する構成となっている。 こ
のようにして、合成樹脂製袋２への不活性ガスが充填さ
れた後、合成樹脂製袋２の口部を完全に閉塞し、ノズル
７を引き抜くことにより、一連の不活性ガスの充填操作
が完了する。
管に配置された電磁弁１４を作動させ、ノズル７を介し
て合成樹脂製袋２に所定量の不活性ガス、好ましくは上
記した高純度の窒素ガスを充填する。合成樹脂製袋２に
充填する不活性ガス量は予め設定されており、ガス量流
量計８がその量を検出すると電磁弁９が自動的に作動し
て不活性ガスの供給を停止する構成となっている。 こ
のようにして、合成樹脂製袋２への不活性ガスが充填さ
れた後、合成樹脂製袋２の口部を完全に閉塞し、ノズル
７を引き抜くことにより、一連の不活性ガスの充填操作
が完了する。
【００２３】合成樹脂製袋２への不活性ガスの充填量
は、合成樹脂製袋２の容量に対して２０〜７０％とする
ことが好ましい。充填量が２０％に満たないと、合成樹
脂製袋２と収容されている成形部品とが密着しやすくな
る。一方、充填量が７０％を超えると、合成樹脂製袋２
が嵩高となり好ましくない。具体的には、大きさが１５
０ｍｍ×２５０ｍｍのポリエチレン製の袋（容量１３０
０ｃｃ）に、窒素ガスを７００ｃｃ充填する（充填率５
４％）。また、大きさが２５０ｍｍ×４００ｍｍのポリ
エチレン製の袋（容量３５００ｃｃ）に、窒素ガスを９
５０ｃｃ充填する（充填率２７％）。
は、合成樹脂製袋２の容量に対して２０〜７０％とする
ことが好ましい。充填量が２０％に満たないと、合成樹
脂製袋２と収容されている成形部品とが密着しやすくな
る。一方、充填量が７０％を超えると、合成樹脂製袋２
が嵩高となり好ましくない。具体的には、大きさが１５
０ｍｍ×２５０ｍｍのポリエチレン製の袋（容量１３０
０ｃｃ）に、窒素ガスを７００ｃｃ充填する（充填率５
４％）。また、大きさが２５０ｍｍ×４００ｍｍのポリ
エチレン製の袋（容量３５００ｃｃ）に、窒素ガスを９
５０ｃｃ充填する（充填率２７％）。
【００２４】上記のガス充填が完了すると、可動シール
板４を作動させるシリンダ装置（図示せず）が作動し、
ノズル７の先端から離れた位置の口部を可動シール板４
と固定シール板３とで挟圧加熱して口部をシールし、不
活性ガスが充填された合成樹脂製袋２を密封する。
板４を作動させるシリンダ装置（図示せず）が作動し、
ノズル７の先端から離れた位置の口部を可動シール板４
と固定シール板３とで挟圧加熱して口部をシールし、不
活性ガスが充填された合成樹脂製袋２を密封する。
【００２５】本発明の梱包方法は、上記のようにチャン
バー１を用いることなく実施することも可能である。そ
の場合、真空ポンプ１０に接続された配管を直接合成樹
脂製袋２に挿入されたノズル７に接続し、合成樹脂製袋
２の内部を一旦真空状態にする。次いで、不活性ガスを
ガスタンク１３から真空状態にある合成樹脂製袋２に不
活性ガスを吹き込む。その後は、上記と同様に、可動シ
ール板４を作動させるシリンダ装置（図示せず）が作動
し、ノズル７の先端から離れた位置の口部を可動シール
板４と固定シール板３とで挟圧加熱して口部をシール
し、不活性ガスが充填された合成樹脂製袋２を密封す
る。このように、チャンバー１を使用せずに梱包を行う
には、真空ポンプ１０に接続された配管を、ガスタンク
１３に接続された配管の途中にバルブを設けて接続する
ことで容易に達成できる。
バー１を用いることなく実施することも可能である。そ
の場合、真空ポンプ１０に接続された配管を直接合成樹
脂製袋２に挿入されたノズル７に接続し、合成樹脂製袋
２の内部を一旦真空状態にする。次いで、不活性ガスを
ガスタンク１３から真空状態にある合成樹脂製袋２に不
活性ガスを吹き込む。その後は、上記と同様に、可動シ
ール板４を作動させるシリンダ装置（図示せず）が作動
し、ノズル７の先端から離れた位置の口部を可動シール
板４と固定シール板３とで挟圧加熱して口部をシール
し、不活性ガスが充填された合成樹脂製袋２を密封す
る。このように、チャンバー１を使用せずに梱包を行う
には、真空ポンプ１０に接続された配管を、ガスタンク
１３に接続された配管の途中にバルブを設けて接続する
ことで容易に達成できる。
【００２６】尚、合成樹脂製袋２としては、ポリエチレ
ン製の袋の他に、ポリエチレン層、接着剤層およびアル
ミニウム膜コーティングポリエチレン層を積層したも
の、望ましくはアルミニウム膜コーティングポリエチレ
ン層が積層されたものが使用される。
ン製の袋の他に、ポリエチレン層、接着剤層およびアル
ミニウム膜コーティングポリエチレン層を積層したも
の、望ましくはアルミニウム膜コーティングポリエチレ
ン層が積層されたものが使用される。
【００２７】また、合成樹脂製袋２に充填する不活性ガ
スとして高純度窒素ガスを用いない場合には、ガスタン
ク１３とガスタンク２１とを共通にして一つのガスタン
クとしてもよい。
スとして高純度窒素ガスを用いない場合には、ガスタン
ク１３とガスタンク２１とを共通にして一つのガスタン
クとしてもよい。
【００２８】本発明の梱包方法は、上記のように不純物
を混入しないため、各種のゴム製シール材、特に半導体
製造装置や真空用機器等の清浄さが要求される機器に使
用されるシール材に適する。
を混入しないため、各種のゴム製シール材、特に半導体
製造装置や真空用機器等の清浄さが要求される機器に使
用されるシール材に適する。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の梱包方法
によれば、ゴム成形体を収納した合成樹脂製袋の内部が
不活性ガス、好ましくは高純度窒素ガスで置換されてい
ることにより有機物のコンタミが少なく、それに伴い収
容されているゴム成形体への有機物の吸着が少なく、使
用時にアウトガスが少ないゴム成形体を提供することが
可能になる。また、合成樹脂製袋に不活性ガスが充填さ
れているため、合成樹脂製袋の内部を真空にした場合と
比べて、収容物であるゴム成形体に対する外部からの衝
撃を緩和することができる。
によれば、ゴム成形体を収納した合成樹脂製袋の内部が
不活性ガス、好ましくは高純度窒素ガスで置換されてい
ることにより有機物のコンタミが少なく、それに伴い収
容されているゴム成形体への有機物の吸着が少なく、使
用時にアウトガスが少ないゴム成形体を提供することが
可能になる。また、合成樹脂製袋に不活性ガスが充填さ
れているため、合成樹脂製袋の内部を真空にした場合と
比べて、収容物であるゴム成形体に対する外部からの衝
撃を緩和することができる。
【図１】本発明の梱包方法を実施するための装置の一例
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図２】ノズルの一例を示す斜視図である。
【図３】ノズルの他の例を示す側面図である。
【図４】図３に示したノズルの上面図である。
１ チャンバー
２ 合成樹脂製袋
７ ノズル
１０ 真空ポンプ
１３ ガスタンク（高純度窒素ガス充填）
２１ ガスタンク（不活性ガス充填）
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3E053 AA06 BA10 CA01 CB04 DA03
EA10 FA01 JA10
3E067 AA26 AB99 AC03 BA12A
BB15A BB25A BB26A CA04
FA01 FC01 GA19
Claims (4)
- 【請求項１】 ゴム成形体が収容されている合成樹脂製
袋の口部にガス供給源に連結されたノズルを挿入した
後、口部をパッドにより所定圧力で挾み込んで合成樹脂
製袋とノズルとの隙間を閉塞し、合成樹脂製袋とノズル
の隙間が閉塞されている状態でガス供給源から不活性ガ
スを合成樹脂製袋内に充填して、所定量のガスを充填
後、口部をシールして密封することを特徴とするゴム成
形体の梱包方法。 - 【請求項２】 ガスを合成樹脂製袋の容量の２０〜７０
％となるように充填することを特徴とする請求項１記載
のゴム成形体の梱包方法。 - 【請求項３】 ガスが純度99.9999％以上の高純度窒素
であることを特徴とする請求項１または２記載のゴム成
形体の梱包方法。 - 【請求項４】 ゴム成形体がシール材であることを特徴
とする請求項１〜３の何れか１項に記載のゴム成形体の
梱包方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002095257A JP2003291917A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | ゴム成形体の梱包方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002095257A JP2003291917A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | ゴム成形体の梱包方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003291917A true JP2003291917A (ja) | 2003-10-15 |
Family
ID=29238834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002095257A Pending JP2003291917A (ja) | 2002-03-29 | 2002-03-29 | ゴム成形体の梱包方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003291917A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102295082A (zh) * | 2011-05-20 | 2011-12-28 | 苏州工业园区森德保鲜科技有限公司 | 真空充气包装设备 |
| CN105217080A (zh) * | 2015-10-10 | 2016-01-06 | 杨朝轩 | 一种双工位真空充氮包装机 |
| WO2016059337A1 (fr) | 2014-10-17 | 2016-04-21 | Aptar Stelmi Sas | Procédé et dispositif de conditionnement de pièces en élastomère |
-
2002
- 2002-03-29 JP JP2002095257A patent/JP2003291917A/ja active Pending
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| FR3027288A1 (fr) * | 2014-10-17 | 2016-04-22 | Aptar Stelmi Sas | Procede et dispositif de conditionnement de pieces en elastomere. |
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