JP2003282160A - 酸化チタン製膜方法及び色素増感太陽電池素子 - Google Patents

酸化チタン製膜方法及び色素増感太陽電池素子

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Abstract

(57)【要約】 【課題】プラスチックフィルムなどの耐熱性のない基板
上にも成膜が可能な酸化チタン薄膜の作製方法、及びそ
の方法で作製された色素増感太陽電池素子を提供する。 【解決手段】チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及びチ
タニアゾルゲル混合体のいずれかを基板上に塗布して塗
布膜を形成し、該塗布膜を密閉容器内で加熱処理すると
同時に加圧処理し結晶化させることにより、酸化チタン
薄膜を得ることを特徴とする薄膜形成方法。色素増感太
陽電池において、金属酸化物半導体電極として、上記方
法で形成した酸化チタン半導体電極を構成要素に持つこ
とを特徴とする太陽電池素子。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、色素増感型太陽電
池、特にその構成要素である金属酸化物半導体電極に関
し、従来と比較して、より低い温度条件で金属酸化物半
導体である酸化チタン薄膜を得るための方法とその膜を
用いた色素増感型太陽電池素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光エネルギーを電気エネルギーに変換す
る太陽電池にはいくつかの種類があるが、実用化されて
いるものはシリコン半導体のものが主流である。これら
の太陽電池は現状では製造コストが高く普及を妨げる要
因となっている。低コスト化としてGraetzelらが1991年
に発表した色素増感型太陽電池が注目されている。この
電池は、シリコン太陽電池に匹敵する変換効率と製造コ
ストが安価なために実用化への期待が高まっている。色
素増感型太陽電池の基本構造は、金属酸化物半導体電極
と、その表面に吸着したルテニウム錯体などの光増感色
素と、酸化還元対としての電解質および対向電極で構成
されている。
【0003】色素増感型太陽電池は酸化チタン薄膜を製
膜する過程で焼成温度を400℃以上にする必要があ
る。したがって基板にはガラスなどの耐熱性のあるもの
に限られ、プラスチックなどの耐熱性の低い基板を使用
することができなかった。
【0004】これに対し、特願平11−124562号
において、アモルファス型過酸化チタンゾルを含む塗布
液を基板上に塗布し、300℃前後の従来より低い加熱
温度で焼成して得られる酸化チタン半導体電極を用いた
色素増感型太陽電池が提案されている。しかし、この場
合でもプラスチック導電性フィルムなどの耐熱性の低い
基板の使用は不可能であった。なお、本発明において従
来よりも低い温度とは、270℃以下の温度を意味する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のような問題点を
解決し、従来と比較してより低い温度で製膜が可能で、
例えばプラスチックフィルムなどの耐熱性のない基板上
でも成膜可能でかつ光触媒活性も高い酸化チタン薄膜の
作製方法を提供することにある。また、プラスチック導
電性フィルムなどの耐熱性のない基板上でも形成可能な
酸化チタン半導体電極を提供することにある。さらに、
上記酸化チタン半導体電極を用いた色素増感太陽電池素
子を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、チタニアゾル
溶液、チタニアゲル体及びチタニアゾルゲル混合体のい
ずれかを基板上に塗布して塗布膜を形成し、該塗布膜を
密閉容器内で加熱処理すると同時に加圧処理し結晶化さ
せることを特長とする。その結果、低い温度で酸化チタ
ン薄膜が得られる。また上記において、結晶酸化チタン
を含むチタニアゾル溶液、チタニアゲル体及びチタニア
ゾルゲル混合体のいずれかを基板に塗布し、密閉容器内
で加熱処理すると同時に加圧処理する場合にも良好な酸
化チタン薄膜が得られる。また上記結晶酸化チタンの結
晶型がアナターゼ型であると光触媒活性の高い酸化チタ
ン薄膜が得られる。また、チタニアゾル溶液、チタニア
ゲル体及びチタニアゾルゲル混合体のいずれかが過酸化
チタンを含むことにより、光触媒活性と基板との密着に
優れた酸化チタン薄膜が得られる。また、チタニアゾル
溶液、チタニアゲル体及びチタニアゾルゲル混合体のい
ずれかに界面活性剤を混合するとプラスチックフィルム
などの基板上にも製膜性の良好な酸化チタン薄膜が得ら
れる。また、チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及びチ
タニアゾルゲル混合体のいずれかを基板上に塗布形成し
た塗布膜を密閉容器内で60℃〜270℃の範囲の温度範囲
で加熱すると低温状態においても良好な酸化チタン薄膜
が得られる。また、チタニアゾル溶液、チタニアゲル体
及びチタニアゾルゲル混合体のいずれかを基板上に塗布
形成した塗布膜と溶媒を密閉容器内に個別に配置し、密
閉容器を加熱することにより溶媒を蒸発させ、蒸発した
溶媒ガスにより密閉容器内を加圧するとより好適な圧力
および溶媒ガス下で良好な酸化チタン薄膜が得られる。
また、チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及びチタニア
ゾルゲル混合体のいずれかを基板上に塗布形成した塗布
膜を密閉容器内に配置し、密閉容器を水蒸気で加圧する
ことによって、好適な圧力下で良好な酸化チタン薄膜が
得られる。また、色素増感型太陽電池の金属半導体電極
として、プラスチック導電性フィルムなどの耐熱性のな
い基板上に該酸化チタン薄膜を形成し、光電変換素子と
して提供することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を詳細に
説明する。本発明における酸化チタン薄膜は例えば次の
ようにして得ることができる。まず、チタンを含むゾル
溶液、ゲル体及びゾルゲル混合体のいずれかを基板に塗
布して薄膜を形成する。これを密閉容器内で加熱処理す
ると同時に加圧処理し結晶化させることにより、結晶酸
化チタンへと変化する。この時、水分を含んだ薄膜は水
熱合成作用を受けることにより、焼結されたのと同じ状
態となり、基板上に酸化チタン薄膜が形成されることと
なる(請求項1)。この場合、加熱温度を60℃〜270℃
の範囲にすることが好ましい。(請求項6)。
【0008】また、チタンを含むゾル溶液、ゲル体及び
ゾルゲル混合体のいずれかの中に結晶酸化チタンを含む
場合も塗布膜を密閉容器内で加熱処理すると同時に加圧
処理することにより酸化チタン薄膜が形成できる。この
場合、存在する結晶酸化チタン粒子同士を結合する形で
結晶化されるため、結晶酸化チタンによる光触媒効果に
加えて光散乱が期待できる(請求項2)。さらに、結晶
型がアナターゼ型のものを使用すると光触媒活性が高い
酸化チタン薄膜が得られる(請求項3)。
【0009】また、チタンを含むゾル溶液、ゲル体及び
ゾルゲル混合体のいずれかが少なくとも過酸化チタンを
含む場合、基板との密着性や光触媒活性が向上し、高活
性な酸化チタン薄膜が得られるので好ましい(請求項
4)。
【0010】さらにチタンを含むゾル溶液、ゲル体及び
ゾルゲル混合体のいずれかの表面張力を下げるような界
面活性剤を加えることで基板に塗布する際の製膜性が向
上し、均一な酸化チタン薄膜が得られる(請求項5)。
この場合、界面活性剤の添加量は、塗布液全重量に対し
て0.01〜4%程度が好ましい。
【0011】また、基板上に塗布形成した塗布膜と溶媒
を密閉容器内に個別に配置し、密閉容器を加熱すること
により溶媒を蒸発させ、蒸発した溶媒ガスにより密閉容
器内を加圧することで、容器内全体を水熱合成反応が達
成される雰囲気とすることにより結晶性の高い酸化チタ
ン薄膜が得られる(請求項7)。この場合、溶媒として
水を用いることができる。
【0012】また、基板上に塗布形成した塗布膜を配置
した密閉容器に水蒸気を導入することで密閉容器内を加
圧し、水蒸気により容器内全体を水熱合成反応が達成さ
れる雰囲気とすることにより良好な酸化チタン薄膜が得
られる(請求項8)。
【0013】また、基板材料としてITOやFTO(SnO
2:F)などの導電性層を設けたものを適用することによ
り、本発明における酸化チタン半導体電極を得ることが
できる(請求項9)。
【0014】また、本発明における酸化チタン半導体電
極を構成要素に持つ色素増感太陽電池素子が得られる方
法を以下に説明する(請求項10)。
【0015】まず、本発明における光電変換素子の構成
を図1に基づいて以下に説明する。本発明にかかる色素
増感太陽電池は、酸化物半導体電極10と、この酸化物
半導体電極10と対向する対電極20と電解質30とか
ら構成される。酸化物半導体電極10は、ガラス、プラ
スチック等の基板1およびITO,SnO2:F膜等か
らなる透明導電膜2であり、その基板上に酸化チタン膜
3を形成し、酸化チタン半導体上に増感色素4が保持さ
れている。電解質30は、例えばヨウ素およびテトラプ
ロピルアンモニウムイオダイドのエチレングリコール溶
液とすることができ、この溶液は、ヨウ素(I-/I3-)
イオンカップルを含んでいる。対電極20は、ガラス、
プラスチック等の基板1およびITO,SnO2:F膜
等からなる透明導電膜2であり、抵抗を低下させるため
に白金5を蒸着したもの等が使用される。
【0016】次に、上記光電変換素子の製造方法の一例
を説明する。まず、透明導電膜を2枚用意する。基板は
ガラスに限らず、プラスチックフィルムなども適用でき
る。また、透明導電膜としては上記の基板上にITOや
SnO2:F等の層を設けたものが適用できる。透明導
電膜のシート抵抗として50Ω/□以下、好ましくは1
0Ω/□以下とするのが望ましい。
【0017】これらの内の一方には前述のチタンを含む
ゾル溶液、ゲル体及びゾルゲル混合体のいずれかを基板
に塗布して密閉容器内で加熱処理すると同時に加圧処理
し結晶化させることにより、酸化チタン薄膜3を形成す
る。
【0018】例えばチタンを含むゾル溶液を過酸化チタ
ンとした場合、該ゾル液は、四塩化チタンや硫酸チタン
水溶液にアンモニア水や水酸化ナトリウムのようなアル
カリを加えてさらに過酸化水素水と反応させることで得
られる。また、有機チタンを使用する場合には、例え
ば、チタンテトライソプロポキシドと過酸化水素水とを
反応させることにより得られる。
【0019】ゾル液中に結晶酸化チタンを含む場合に
は、結晶酸化チタンの粒径としては1〜80nmが好ま
しく、特に10〜30nmが好ましい。また、結晶型は
アナターゼ型が光触媒活性の点から好ましい。
【0020】ゾル液中に基板に対する成膜性を向上させ
るために界面活性剤を加えることができる。界面活性剤
は、ゾル状塗布の表面張力を下げるものであればよく、
例えば、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非
イオン性界面活性剤が挙げられる。また、ポリエチレン
グリコール等を添加して塗布液の粘性を上げて塗布性を
向上したり、製膜後の多孔質化を調整することもでき
る。
【0021】上記のゾル液を基板に塗布するためには、
例えばディッピング、スプレー塗布等の公知の方法が利
用できる。
【0022】過酸化チタンを結晶酸化チタンに変化させ
るための加熱加圧密閉容器としては、オートクレーブな
どの耐圧容器を使用することができる。
【0023】酸化チタン薄膜が得られたら、次に増感色
素4、例えばルテニウム錯体を吸着させる。酸化チタン
薄膜に色素を吸着させるには酸化チタン半導体電極を、
無水エタノールにルテニウム錯体を溶かした溶液に浸漬
すれば良い。ルテニウム錯体としては、 [RuL2(NCS)2,
L=4.4'-dicarboxy-2,2' bipyridine]などが色素として
好ましい。
【0024】前記のもう一方のSnO2:F膜上にはス
パッタリング法、蒸着法等により例えばPt膜5を形成
する。その膜厚は1〜50nm程度が好ましい。
【0025】上記のように形成された一対の基板をスペ
ーサーを介して重ね合わせた後、例えばヨウ素イオンカ
ップルを含む電解質30を注入し、シール剤で封止す
る。
【0026】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明の実施の形態はこれらの実施例に限定され
るものではない。
【0027】[実施例1](酸化チタン半導体電極の作
製)チタンゾル溶液として、アモルファス型過酸化チタ
ンゾルを以下の方法により製造する。チタンテトライソ
プロポキシド2gと過酸化水素10cc(35.5%)を混合
し、加水分解反応を行い、その後、さらに過酸化水素7
5cc(35.5%)を添加し、約5時間反応させる。この時
の温度は、2℃前後とする。この後、水酸化アンモニウ
ム水溶液でpH2.2に調節し濃縮後、チタンゾル溶液
を得た。このゾル溶液に界面活性剤であるトリトン(ア
ルドリッチ製)を0.5vol%加えたものを塗布ゾル
溶液とした。この塗布液をシート抵抗が10Ω/□のI
TO膜ガラス膜にブレード塗布し密閉容器内で2時間1
30℃で加熱処理すると同時に加圧処理酸化チタン半導
体電極を得た。
【0028】[実施例2](色素増感太陽電池素子の作
製)実施例1の酸化チタン半導体電極を[RuL2(NCS)2, L
=4.4'-dicarboxy-2,2' bipyridine]で表されるルテニウ
ム錯体のエタノール溶液中に24時間浸漬し、TiO2
電極表面にルテニウム錯体を吸着させた。また、シート
抵抗が10Ω/□のITO膜ガラス基板上にスパッタに
よりPt膜を堆積した。これらの両基板をスペーサーを
介して重ね合わせ、電解質溶液を注入した後、接着剤で
シールした。完成した色素増感型太陽電池にキセノンラ
ンプを照射して起電力を測定したところ1cm2あたりの短
絡電流は、30μA、開放電圧は、450mVであった。
【0029】[実施例3](酸化チタン半導体電極の作
製)チタンゾルゲル混合体として、過酸化チタンゾルゲ
ル混合体を以下の方法により製造する。四塩化チタンを
400ccの蒸留水に添加し、さらに蒸留水を加えて50
0ccとする。この溶液に過酸化水素20cc(30.0%)
を加え、水酸化アンモニウム水溶液でpH6.5に調節
する。24時間後に生成した沈殿物をろ過、水洗し、過
酸化水素5cc(30.0%)を加えてチタンゾルゲル混合
体を作成した。この混合体に結晶酸化チタンの結晶型が
アナターゼ型であるST-01(石原産業製)を0.1g添加し、
さらに界面活性剤であるトリトン(アルドリッチ製)を
0.5vol%加えたものを塗布用チタンゾルゲル混合
体とした。この混合体をシート抵抗が10Ω/□のIT
Oプラスチック膜にブレード塗布した。その後、蒸留水
を容器下部に2cc添加した密閉容器(容量50cc)の中央
付近に塗布膜を固定し、2時間150℃で加熱処理する
と同時に加圧処理することにより、容器下部の蒸留水を
ガス化させることにより、チタンゾルゲル混合体を酸化
チタンに結晶化させて半導体電極を得た。
【0030】[実施例4](色素増感太陽電池素子の作
製)実施例3の酸化チタン半導体電極を[RuL2(NCS)2, L
=4.4'-dicarboxy-2,2' bipyridine]で表されるルテニウ
ム錯体のエタノール溶液中に24時間浸漬し、TiO2
電極表面にルテニウム錯体を吸着させた。また、シート
抵抗が10Ω/□のITO膜ガラス基板上にスパッタに
よりPt膜を堆積した。これらの両基板をスペーサーを
介して重ね合わせ、電解質溶液を注入した後、接着剤で
シールした。完成した色素増感型太陽電池にキセノンラ
ンプを照射して起電力を測定したところ1cm2あたりの短
絡電流は、80μA、開放電圧は、500mVであった。
【0031】
【発明の効果】チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及び
チタニアゾルゲル混合体のいずれかを基板上に塗布して
塗布膜を形成し、該塗布膜を密閉容器内で加熱処理する
と同時に加圧処理し結晶化させることにより、水熱合成
反応が塗布膜に対し進行することで、プラスチックフィ
ルムなどの耐熱性のない基板上にも成膜が可能な酸化チ
タン薄膜を得ることができる。また、色素増感太陽電池
において、上記方法で形成した酸化チタン半導体電極を
構成要素に持つことを特徴とする色素増感太陽電池素子
は、作製温度が低くできるので、耐熱性のない基板に対
しても製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による色素増感型太陽電池素子の一例を
模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
10 酸化物半導体電極 20 対電極 30 電解液 1 基板 2 透明導電膜 3 酸化チタン膜 4 増感色素 5 白金

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及び
    チタニアゾルゲル混合体のいずれかを基板上に塗布して
    塗布膜を形成し、該塗布膜を密閉容器内で加熱処理する
    と同時に加圧処理し結晶化させることにより、酸化チタ
    ン薄膜を得ることを特徴とする薄膜形成方法。
  2. 【請求項2】 チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及び
    チタニアゾルゲル混合体のいずれかにさらに結晶酸化チ
    タンを加えたものを基板上に塗布して、前記塗布膜を形
    成したことを特徴とする請求項1に記載の薄膜形成方
    法。
  3. 【請求項3】 前記結晶酸化チタンの結晶型がアナター
    ゼ型であることを特徴とする請求項2に記載の薄膜形成
    方法。
  4. 【請求項4】 チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及び
    チタニアゾルゲル混合体のいずれかに過酸化チタンが含
    まれていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一
    項に記載の薄膜形成方法。
  5. 【請求項5】 チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及び
    チタニアゾルゲル混合体のいずれかがさらに界面活性剤
    を含むことを特徴とする請求項1〜4いずれか一項に記
    載の薄膜形成方法。
  6. 【請求項6】 チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及び
    チタニアゾルゲル混合体のいずれかを基板上に塗布して
    形成した塗布膜を密閉容器内にて60℃〜270℃の範囲の
    温度で加熱処理する請求項1〜5のいずれか一項に記載
    の薄膜形成方法。
  7. 【請求項7】 チタニアゾル溶液、チタニアゲル体及び
    チタニアゾルゲル混合体のいずれかを基板上に塗布して
    形成した塗布膜と溶媒を密閉容器内に個別に配置し、密
    閉容器を加熱することにより溶媒を蒸発させ、蒸発した
    溶媒ガスにより密閉容器内を加圧する請求項1〜5のい
    ずれか一項に記載の薄膜形成方法。
  8. 【請求項8】 前記加圧処理が密閉容器内に水蒸気を導
    入することにより、おこなわれることを特長とする請求
    項1〜5のいずれか一項に記載の薄膜形成方法。
  9. 【請求項9】 請求項1〜8のいずれか一項に記載の方
    法により形成された酸化チタン薄膜が導電性基板上に設
    けられていることを特徴とする酸化チタン半導体電極。
  10. 【請求項10】 色素増感太陽電池素子において、金属
    酸化物半導体電極として、請求項9に記載の酸化チタン
    半導体電極を構成要素に持つことを特徴とする光電変換
    素子。
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