JP2003279420A - 温度検出回路 - Google Patents
温度検出回路Info
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Abstract
得るのが困難で、その電圧の温度傾斜も固定のため使い
勝手が悪い。 【解決手段】 第1の電圧源回路は正の温度係数を有す
る電圧を出力し、第2の電圧源回路は負の温度係数を有
する電圧を出力する。比較回路は、第1の電圧源回路の
出力電圧と第2の電圧源回路の出力電圧とを加算して温
度係数を持たない基準電圧を作成し、その基準電圧と、
第1の電圧源回路出力電圧とを比較する。第1および第
2の電圧源回路では、ゲートの仕事関数差の原理を応用
して温度係数を有する電圧および温度係数を持たない基
準電圧を得る。
Description
度を検出するための温度検出回路に関する。
れたり、周囲温度が上昇して半導体集積回路が高温にな
ると、半導体集積回路は破壊されてしまう。この破壊を
防ぐためには、検出した温度が高温になると半導体集積
回路の動作を停止させることが必要になる。このような
機能を有する回路は、絶対温度に比例する電圧(PTA
T:proportional to absolute temperature)を発生す
る回路と、基準電圧発生回路と、両者の出力を比較処理
する回路から構成されている。
め半導体集積回路を停止させたい温度Tに対応する電
圧)を超えると、半導体集績回路を停止させる信号(チッ
プイネーブルCE信号)をアクティブにする。
悪いと、半導体集積回路が動作温度範囲内であるにもか
かわらずCE信号がアクティブになってしまい半導体集
積回路の動作を停止させたり、動作温度範囲を超えてい
るにもかかわらずCE信号がアクティブにならず半導体
回路の破壊を引き起こしたりする。従っこの種の温度保
護回路ではPTAT電圧および基準電圧の双方の出力精
度が重要となる。
サ」は、図7に示すように、チャネル幅Wとチャネル長
Lの比(W/L)が互いに異なる2つのMOSトランジス
タN1、N2に同じ電流Idを流すと、2つのMOSト
ランジスタのゲート・ソース間電圧Vgs1、Vgs2が異な
り、その差(Vgs1−Vgs2)が両トランジスタの動作温度
に比例することから、これをPTAT信号として用いて
いる。2つのMOSトランジスタのW/L比の大小を調
整することで、正あるいは負の温度係数を持つ信号を得
ることができる。
タもしくはNPNトランジスタをダイオード接続とし、
これに一定電流を流した時に、ダイオードの両端に負の
温度係数を持つ電圧Vtが得られる。そのVtが基準電圧
Vrefを上回った時に、比較器から所定の信号Toutが出
力される。
トランジスタのVgsの差を出力するものでは、PTAT
電圧を精度よく取り出せる温度範囲が−50〜100℃
の範囲に限られ、半導体集積回路の破壊につながるよう
な100℃以上の高温では精度が保証されない。
AT電圧はプロセスのバラツキの影響を受けてしまい、
精度の高いPTAT電圧を出力することはできない。ま
たPTAT電圧の絶対温度に比例する傾き(温度傾斜)は
プロセスにより決まってしまい自由に設定することはで
きないので、温度傾斜が大きな高精度な回路や温度傾斜
が小さい低電圧動作の回路などを作ることはできなかっ
た。
圧の比較対象となる基準電圧は、温度に依存しない一定
電圧でなくてはならないがそのような基準電圧を作るの
も容易ではなかった。
温度傾斜を自由に設定できるPTAT電圧発生回路を実
現し、それを用いた高精度もしくは低電圧動作可能な温
度検出機能を有する基準電圧発生回路を得ることであ
る。
464号公報に開示されたゲートの仕事関数差の原理を応
用した温度検出回路である。この温度検出回路は、図1
に示すように、絶対温度に比例して正の温度係数を有す
るPTAT電圧(以下これをTvptatと記す)と、このTv
ptatを抵抗分圧回路により得た、正の温度係数を有する
電圧(以下これをVptatと記す)を発生する第1の電圧源
回路Aと、絶対温度に比例して負の温度係数を有する電
圧を発生し、この負の温度係数の電圧にVptatを所定の
比で加算することにより、温度係数に依存しない第1の
基準電圧Tvrefおよび第2の基準電圧Vrefを出力する
第2の電圧源回路Bと、この第1の基準電圧Tvrefと前
記Tvptatを比較してその比較結果Toutを出力する比較
回路Cとから構成される。
ートの仕事関数差の原理を応用したため、Vptatを半導
体の動作限界温度まで精度よく発生することができる。
また、簡単な抵抗分割でVptatの温度傾斜を調整できる
ので、高精度版や低電圧版など目的に応じた温度検出機
能を有する基準電圧発生回路を得ることができる。さら
に、第2の電圧源回路Bにもゲートの仕事関数差の原理
を応用しているため、基準電圧であるVrefおよびTvre
fも半導体の動作限界温度まで精度よく発生することが
できる。
する基準電圧発生回路の実施形態を示す。この実施形態
では本回路をn型基板上に構築している。第1の電圧源
回路は、n型チャンネルの電界効果トランジスタ(以下
単にトランジスタと記す)M1、M2、M3と抵抗R
1、R2、R5で構成されている。このトランジスタM
1、M2は、基板やチャネルドープの不純物濃度は等し
く、n型基板のpウェル内に形成され、各トランジスタ
の基板電位はソース電位と等しくしてある。また、チャ
ネル幅Wとチャネル長Lの比(W/L)は互いに等しい。
ち、トランジスタM2は低濃度n型ゲートを持ち、両ト
ランジスタは直列に接続される。トランジスタM1は、
そのゲートをソースに結線して定電流回路として用い
る。トランジスタM3と抵抗R1、R2、R5との直列
接続によるソースフォロア回路が形成される。トランジ
スタM3は低濃度n型ゲートで、そのソースと抵抗R1
との接続点からTvptatが出力され、抵抗R1とR2と
の接続点からVptatが出力され、そして、抵抗R2とR
5の接続点の電位が、トランジスタM2のゲートに供給
される。
果トランジスタM4、M5と、p型チャネル電界効果ト
ランジスタM6、M7、M8と抵抗R3、R4で構成さ
れている。このトランジスタM4、M5は、基板やチャ
ネルドープの不純物濃度は等しく、n型基板のpウェル
内に形成され、各トランジスタの基板電位はソース電位
と等しくしてある。また、チャネル幅Wとチャネル長L
の比(W/L)は互いに等しい。
で、トランジスタM5は、高濃度p型ゲートである。こ
の導電型のみ異なるペアのトランジスタM4とM5は、
差動増幅器の入力トランジスタであり、そしてトランジ
スタM6とM7でカレントミラー回路を構成するため、
トランジスタM4、M5には同じドレイン電流が流れ
る。また、この差動増幅器(M4、M5)とトランジスタ
M8との間でフィードバックループを構成している。ト
ランジスタM5のゲートの出力Vrefは、抵抗R3と抵
抗R4で分圧され、Tvrefとして比較回路に供給され
る。
ジスタM9、M10、M14と、p型チャネル電界効果
トランジスタM11、M12、M13から構成されてい
る。トランジスタM11とM12は、カレントミラー回
路を構成しており、トランジスタM9とM10は、差動
増幅器の入力トランジスタであり、トランジスタM9の
ゲートには第2の電圧源回路よりTvrefが、トランジス
タM10のゲートには第1の電圧源回路よりTvptatが
供給される。この差動増幅器を比較器として用いる。差
動増輻器の出力は、p型チャネルのトランジスタM13
とn型チャネルのトランジスタM14からなるインバー
タ回路に供給され、このインバータ回路の出力がTout
となる。
1の電圧源回路は、同一導電型で不純物濃度のみ異なる
ペアのトランジスタM1、M2には同一のドレイン電流
が流れ、かつトランジスタM1のソース・ゲート間電圧
が0のため、特開2001-284464号公報に記載されている
通り、ソース・ゲート間電圧の差は、トランジスタM2
のソース・ゲート間の電圧に等しく、そのためこれがP
TAT電圧となり、これをVptat'とする。
M4に供給されるVptatは、 Vptat=(R2+R5)/R5*Vptat' となる。また、比較回路のトランジスタM10に供給さ
れるTvptatは、 Tvptat=(R1+R2+R5)/R5*Vptat' …(1) となる。もともとVptat'は正の温度係数を持つので、
VptatおよびTvptatも正の温度係数を持つ。
入力トランジスタとして、異種導電型のペアのトランジ
スタM4、M5を用い、p型チャネルトランジスタM
6、M7でカレントミラー回路を構成しているのでトラ
ンジスタM4、M5には同一の電流が流れる。また、こ
の差動増幅器(M4、M5)とトランジスタM8との間で
フィードバックループが形成されているため、特開2001
-284464号公報に記載されている通り、この差動増幅器
(M4、M5)は、トランジスタM4のゲートと、トラン
ジスタM5のゲートとでVpnの入力オフセットを持ち、
しかもこのVpnは負の温度係数を持つ。
の電圧源回路からのVptatが印加されると、トランジス
タM5のゲートに、VptatにVpnを加算したVxが出力
される。
温特を持つVpnを足し合わせているので温度特性を持た
ず、一定の基準電圧Vrefとなる。また、第3の電圧源
回路のトランジスタM9に供給されるTvrefは、 Tvref=R4/(R3+R4)*Vref …(2) となり、これも温度特性を持たない。
トランジスタM11、M12でカレントミラー回路を構
成し、入力トランジスタとして、n型チャネルトランジ
スタM9、M10をもち、トランジスタM9のゲートに
はTvrefが、トランジスタM10のゲートにはTvptat
が入力される。図3に示すように、Tvrefは、温度特性
を持たないので温度が変化しても常に一定である。それ
に対し、Tvpatは正の温度特性を持ち、絶対温度に比例
して電圧が上昇する。
性のラインが交差するようにTvrefまたはTvptatを設
定すれば、検出温度が設定温度Tより低いときは、Tvp
tat<Tvrefなので、比較器(M9、M10)部の出力はH
ighとなり、最終出力ToutはLowになる。検出温度が上
昇して設定温度Tより高くなると、Tvptat>Tvrefと
なるので、比較器の出力はLowとなり、最終出力Toutは
Highになる。このToutをチップイネーブル信号として
使用すれば、半導体集積回路を温度保護できる。
にあるように抵抗R3とR4との比を調整し、また、T
vptatを所望の大きさにするには、(1)式にあるように
(R1+R2+R5)とR5との比を調整すればよい。
2+R5)/R5*Vptat'なので、前記温度傾斜、即
ち、検出温度1℃の変化に対する電圧変化量ΔTvptat
もΔVptat'の(R1+R2+R5)/R5倍になる。この
△Tvptatが大きければ、抵抗R3とR4の抵抗比のば
らつきなどでTvrefがばらついても、そのばらつきが△
Tvptatより小さければ精度への影響は小さく、より高
精度が期待できる。
Tになっても、Tvptatが高い電圧にならないので回路
を低電圧化ができる。これらのTvptatとTvrefは、抵
抗R1、R2、R5と、抵抗R3とR4で簡単に調整で
きる。これらの抵抗比は製造時に固定してもいいし、製
造後、図5に示すように、×の個所をレーザ一でトリミ
ングをして抵抗値を調整してもよい。
は、第2の電圧源回路で発生させたVrefを使用でき
る。以上述べたこれらの電圧は、ゲートの仕事関数差の
原理を応用して発生させたものであるので、動作温度に
影響を受けず、半導体自身の動作限界温度まで精度よく
出力される。
この実施形態では温度検出機能を有する基準電圧発生回
路を、p型基板上に構築しており、第1の電圧源回路と
第2の電圧源回路と比較回路から構成される。
界効果トランジスタM1、M2、M3と抵抗R6、R
7、R8で構成されている。このトランジスタM1、M
2は、基板やチャネルドープの不純物濃度は等しく、p
型基板のnウェル内に形成され、各トランジスタの基板
電位はソース電位と等しくしてある。また、チャネル幅
Wとチャネル長Lの比(W/L)は、共に等しい。トラン
ジスタM2は、低濃度n型ゲートでそのゲートをソース
に結線して定電流回路として用いる。
で、トランジスタM3と抵抗R6からなるソースフォロ
ア回路によりゲート電位が与えられる。また、トランジ
スタM1のソース・ゲート間の電位をVptat、トランジ
スタM3のドレインよりVptatB、さらにVptatBを抵抗
R7と抵抗R8で分圧してTvptatBを出力している。
果トランジスタM4、M5と、p型チャネル電界効果ト
ランジスタM6、M7、M8と、抵抗R9、R10で構
成されている。このトランジスタM4、M5は、基板や
チャネルドープの不純物濃度は等しく、p型基板に形成
され、トランジスタの基板電位はGND電位である。ま
た、チャネル幅Wとチャネル長Lの比(W/L)は共に等
しい。
で、トランジスタM5は、高濃度p型ゲートである。ペ
アをなすトランジスタM4とM5は、差動増幅器の入力
トランジスタである。そしてp型チャネル電界効果トラ
ンジスタM6とM7でカレントミラー回路を構成してい
る。差動増幅器(M4、M5)と、p型チャネル電界効果
トランジスタM8との間でフイードバックループを構成
している。差動増幅器(M4、M5)の出力Vrefは、抵
抗R9と抵抗R10で分圧され、Tvrefとして出力して
いる。
ジスタM9、M10、M14と、p型チャネル電界効果
トランジスタM11、M12、M13から構成されてい
る。トランジスタM11とM12は、カレントミラー回
路を構成しており、トランジスタM9とM10は、差動
増幅器の入力トランジスタであり、トランジスタM9の
ゲートには第2の電圧源回路よりTvrefが、トランジス
タM10には第1の電圧源回路よりVptatBが入力しさ
れる。この差動増幅器(M9、M10)の出力は、p型チ
ャネル電界効果トランジスタM13とn型チャネル電界
効果トランジスタM14からなるインバータ回路へ入力
されており、このインバーター回路の出力がToutとな
る。
1の電圧源回路は、ペアをなすトランジスタM1とM2
に、同一の電流が流れるため、第1の実施形態と同様
に、トランジスタM1のソース・ゲート間の電圧がVpt
atとなる。また、抵抗R6に流れる電流と同じ電流が抵
抗R7とR8にも流れるので、VptatBは、((R7+R
8)/R6)*Vptatとなる。さらに、TvptatBは、(R
8/(R7+R8))*VptatBとなる。Vptatは既述した
ように正の温度係数を持つので、VptatBもTvptatBも
正の温度係数を持つ。
入力トランジスタとして、異種導電型のペアのトランジ
スタM4、M5を用い、p型チャネルトランジスタM
6、M7でカレントミラー回路を構成しているのでトラ
ンジスタM4、M5には同一の電流が流れる。また、こ
の差動増幅器(M4、M5)とトランジスタM8との間で
フィードバックループが形成されているため、この差動
増幅器(M4、M5)は、トランジスタM4のゲートと、
トランジスタM5のゲートとでVpnの入力オフセットを
持ち、しかもこのVpnは負の温度係数を持つ。
1の電圧源回路からのVptatが印加されると、トランジ
スタM5のゲートに、VptatにVpnを加算したVrefが
出力される。
の温特を持つVpnを足し合わせているので温度特性を持
たず、一定の基準電圧となる。また、第3の電圧源回路
のトランジスタM9に供給されるTvrefは、 Tvref=R10/(R9+R10)*Vref となり、これも温度特性を持たない。
トランジスタM11、M12でカレントミラー回路を構
成し、入力トランジスタとして、n型チャネルトランジ
スタM9、M10をもち、トランジスタM9のゲートに
はTvrefが、トランジスタM10のゲートにはTvptat
が入力される。Tvrefは、温度特性を持たないので温度
が変化しても常に一定である。それに対し、Tvpatは正
の温度特性を持ち、絶対温度に比例して電圧が上昇す
る。
ときは、TvptatB<Tvrefなので、比較器(M9、M1
0)部の出力はHighとなり、最終出力ToutはLowにな
る。検出温度が上昇して設定温度Tより高くなると、T
vptatB>Tvrefとなるので、比較器の出力はLowとな
り、最終出力ToutはHighになる。このToutをチップイ
ネーブル信号として使用すれば、半導体集積回路を温度
保護できる。
9とR10との比を調整し、また、TvptatBを所望の大
きさにするには、(R7+R8)/R6の比を調整すれば
よい。
が可能な、かつ高精度あるいは低電圧動作ができる温度
検出機能を有する基準電圧発生同路を得ることができ
る。また、第1の電圧源回路に正の温度係数を有する電
圧を発生させ、第2の電圧源回路で負の温度係数を有す
る電圧を発生させているが、もちろん、第1の電圧源回
路に負の温度係数を有する電圧を発生させ、第2の電圧
源回路で正の温度係数を有する電圧を発生させても同様
の結果が得られる。その場合は、第1の電圧源回路から
負の温度係数を有する電圧Tvptatを得る。
路」(特願2002-77915)は、温度信号に含まれる2次の温
度係数をなくし、一次の温度係数のみを持つ高精度の温
度信号を出力するものであり、この温度信号を、本発明
の第1の電圧源回路で得た正の温度係数を有する電圧T
vptatに替えて採用すれば、更に高精度の温度検出が可
能となる。
源回路の出力電圧と第2の電圧源回路の出力電圧とを加
算して作った温度係数を持たない基準電圧と、いずれか
一方の電圧源回路よりの正もしくは負の温度特性を有す
る出力電圧とを比較するようにしたものであり、請求項
3、4および請求項6、7のごとく、第1および第2の
電圧源回路にて、ゲートの仕事関数差の原理を応用して
温度係数を有する電圧および温度係数を持たない基準電
圧を得ているため、これらの電圧を半導体の動作限界温
度まで精度よく発生することができ、広範囲の温度で精
度の良い温度検出が可能となる。
発生電圧の大きさを決定する抵抗の値を製造の際の拡
散、成膜工程後に調整可能したので、温度係数を持たな
い高精度な基準電圧を得ることができ、また、正の温度
係数を有する電圧の温度傾斜を自在に設定できるため、
温度傾斜を大きくしてより高精度な回路にしたり、温度
傾斜を小さくして低電圧動作の回路などを作ることがで
きる。
(判定信号)に加えて、基準電圧も外部出力するため、判
定信号で保護しようとする半導体集積回路に基準電圧を
供給でき、回路のサイズを小型化できる。
電圧の温度変化を示したグラフ
電圧の温度変化を示したグラフ
Claims (10)
- 【請求項1】 正または負の温度係数を有する電圧を出
力する第1の電圧源回路と、 第1の電圧源回路の出力と逆の温度係数を有する電圧を
出力する第2の電圧源回路と、 第1の電圧源回路の出力電圧と第2の電圧源回路の出力
電圧とを加算して作った温度係数を持たない基準電圧
と、第1または第2の電圧源回路よりの正もしくは負の
温度係数を有する出力電圧とを比較する比較回路とを備
えたことを特徴とする温度検出回路。 - 【請求項2】 正の温度係数を有する電圧を出力する第
1の電圧源回路と、 負の温度係数を有する電圧を出力する第2の電圧源回路
と、 第1の電圧源回路の出力電圧と第2の電圧源回路の出力
電圧とを加算して作った温度係数を持たない基準電圧
と、第1の電圧源回路出力電圧とを比較する比較回路と
を備えたことを特徴とする温度検出回路。 - 【請求項3】 第1の電圧源回路は、不純物濃度の異な
るゲートを持つ複数の電界効果トランジスタからなる請
求項2記載の温度検出回路。 - 【請求項4】 第1の電圧源回路は、高濃度n型ゲート
の第1の電界効果トランジスタと、低濃度n型ゲートの
第2の電界効果トランジスタと、第2の電界効果トラン
ジスタにゲート電位を与えるソースフォロア回路からな
る請求項3記載の温度検出回路。 - 【請求項5】 ソースフォロア回路は、第3の電界効果
トランジスタ、複数の抵抗からなり、出力電圧を加減で
きるように、製造の際の拡散、成膜工程後に、前記抵抗
の値を調整可能とする手段を備えた請求項4記載の温度
検出回路。 - 【請求項6】 第2の電圧源回路は、異種導電型のゲー
トを持つ複数の電界効果トランジスタからなる請求項2
〜5のいずれかに記載の温度検出回路。 - 【請求項7】 第2の電圧源回路は、高濃度n型ゲート
の第1の電界効果トランジスタと、高濃度p型ゲートの
第2の電界効果トランジスタと、第2の電界効果トラン
ジスタにゲート電位を与えるソースフォロア回路からな
る請求項6記載の温度検出回路。 - 【請求項8】 ソースフォロア回路は、第3の電界効果
トランジスタと、複数の抵抗から構成され、出力電圧を
加減できるように、製造の際の拡散、成膜工程後に、前
記抵抗の値を調整可能とする手段を備える請求項7記載
の温度検出回路。 - 【請求項9】 比較回路は、第1の電圧源回路のソース
フォロア回路の出力がゲートに入力する第1の電界効果
トランジスタと、第2の電圧源回路の第1のソースフォ
ロア回路の出力がゲートに入力する第2の電界効果トラ
ンジスタとを入力トランジスタとした差動アンプからな
り、前記両入力電圧の大小を比較して所定の判定信号を
出力する請求項2〜8のいずれかに記載の温度検出回
路。 - 【請求項10】 上記温度係数を持たない基準電圧をも
外部出力する請求項2〜9のいずれかに記載の温度検出
回路。
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