JP2003267742A - Method for scribing hard fragile plate - Google Patents
Method for scribing hard fragile plateInfo
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- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/027—Scoring tool holders; Driving mechanisms therefor
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス板やセラ
ミック板などの硬質脆性板を所定の分割線に沿って分割
するために、当該硬質脆性板の表面にスクライブ線（引
っ掻き溝）を刻設する装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention engraves a scribe line (scratch groove) on the surface of a hard brittle plate such as a glass plate or a ceramic plate in order to divide the hard brittle plate along a predetermined dividing line. It is related to the device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ガラスやセラミックス板を基板とする電
子デバイスの製造には、ガラス基板やセラミック基板を
分割する工程が不可欠である。このような硬質脆性板の
分割方法として、硬質脆性板上に尖針カッタや回転カッ
タを押付けて走行させることによりスクライブ線を刻設
した後、衝撃や曲げ応力を加えてスクライブ線に沿って
ブレークするという方法が古くから行われている。１枚
の板を縦横の複数の位置で分割するときは、作業性の点
から、まず縦横のスクライブ線を刻設してその後ブレー
クするという方法が用いられる。2. Description of the Related Art A step of dividing a glass substrate or a ceramic substrate is indispensable for manufacturing an electronic device using a glass or ceramic plate as a substrate. As a method of dividing such a hard brittle plate, a scribe line is engraved by running by pressing a pointed cutter or a rotary cutter on the hard brittle plate, and then a shock or bending stress is applied to break along the scribe line. The method of doing has been used for a long time. When a single plate is divided at a plurality of vertical and horizontal positions, a method of first engraving vertical and horizontal scribe lines and then breaking is used in terms of workability.
【０００３】スクライブ−ブレークによる硬質脆性板の
分割は、硬質脆性板の表面にカッタを押接して走行させ
ることにより硬質脆性板板にクラックを発生させ、ブレ
ーク工程における衝撃や曲げ応力により、このクラック
に沿って割断するというものである。スクライブ工程で
生じるクラックには、板の厚さ方向に成長する垂直クラ
ックと面方向に成長する水平クラックとがある。ブレー
クに際しては垂直クラックが有効である一方、水平クラ
ックは周縁部の欠けやひび割れによる不良品発生の原因
となる。従って、スクライブ工程においては、可能な限
り水平クラックを発生させないで、所望深さの垂直クラ
ックを発生させることが要点となる。The division of the hard brittle plate by scribe-break causes a crack to be generated in the hard brittle plate by pushing a cutter against the surface of the hard brittle plate and running, and due to impact and bending stress in the break process, the cracks. It is to cut along the line. The cracks generated in the scribing process include vertical cracks that grow in the plate thickness direction and horizontal cracks that grow in the plane direction. Vertical cracks are effective at the time of break, while horizontal cracks cause defective products due to chipping and cracking at the peripheral edge. Therefore, in the scribing process, it is important to generate vertical cracks of a desired depth without generating horizontal cracks as much as possible.
【０００４】そこでスクライブ装置には、カッタの昇降
装置と付圧装置とを設けて、分割しようとする硬質脆性
板の材質や厚さに応じてカッタの切込み深さを調整し
て、可能な限り水平クラックを発生させないで、必要深
さの垂直クラックを発生させるようにしている。すなわ
ち、スクライブ工程においては、不良品の原因となる欠
けや潜在的なひび割れを発生させないように、カッタの
切込み深さを注意深く調整している。Therefore, the scribing device is provided with a cutter elevating device and a pressurizing device, and the cutting depth of the cutter is adjusted according to the material and thickness of the hard brittle plate to be divided, and as much as possible. Instead of generating horizontal cracks, vertical cracks of the required depth are generated. That is, in the scribing process, the cutting depth of the cutter is carefully adjusted so as not to generate a chip or a potential crack that causes a defective product.
【０００５】スクライブは、ガラス板をサクション孔を
設けたテーブル上に位置決めしてサクションで吸着固定
し、このテーブル面と平行なガイドレールに沿って走行
する走行台に装着したカッタでガラス板の表面を引っ掻
く操作であるが、テーブル面やガイドレールの誤差を０
にすることはできない。現実にはガラス板の厚さ方向に
５０μ程度の加工誤差が存在する。この誤差は、確実で
安定なブレークを実現するために必要なスクライブ溝深
さの精度より遙かに大きく、従ってカッタの高さ設定で
正確なスクライブ線を加工することは不可能である。そ
こで従来は、カッタの切込み深さを０．１５ｍｍ程度の
値に固定してテーブルのうねりなどに基づく板厚方向の
誤差を付圧装置で吸収するという手段が採用されてい
る。In the scribe, the glass plate is positioned on a table provided with suction holes, sucked and fixed by suction, and the surface of the glass plate is cut by a cutter mounted on a traveling table which runs along a guide rail parallel to the table surface. Although it is an operation to scratch the
You can't. In reality, a processing error of about 50 μ exists in the thickness direction of the glass plate. This error is much larger than the accuracy of the scribe groove depth required to realize a reliable and stable break, and therefore it is impossible to machine an accurate scribe line by setting the height of the cutter. Therefore, conventionally, a means has been adopted in which the cutting depth of the cutter is fixed to a value of about 0.15 mm and an error in the plate thickness direction due to the waviness of the table is absorbed by the pressure device.
【０００６】硬質脆性板に縦横のスクライブ線を刻設す
るクロススクライブでは、第２の方向のスクライブ線を
刻設するとき、すでに刻設されている第１の方向のスク
ライブ線を横切るクロス点で飛び線が発生するという問
題がある。すなわち、スクライブ線は図５に拡大断面で
示すように、溝２５の縁に盛り上がり２６を生ずるの
で、カッタが既に刻設されている第１の方向のスクライ
ブ線を横切るときにカッタが刻線から衝撃的な反力を受
けて、クロス点で大きな水平クラックを生じたり、カッ
タが瞬間的に浮き上って所望深さの垂直クラックが形成
されないということが起こる。このような飛び線が発生
すると、ブレーク工程において角部に欠けや分割線の歪
みが発生する。In the cross scribing in which the vertical and horizontal scribing lines are engraved on the hard brittle plate, when engraving the scribing line in the second direction, at the cross point crossing the already existing scribing line in the first direction. There is a problem that jump lines occur. That is, as shown in the enlarged cross section in FIG. 5, the scribe line causes a bulge 26 at the edge of the groove 25, so that when the cutter crosses the scribe line in the first direction in which the cutter has already been engraved, the cutter is removed from the scribe line. Due to the shocking reaction force, a large horizontal crack may occur at the cross point, or the cutter may momentarily float up and a vertical crack having a desired depth may not be formed. When such jump lines occur, chipping or distortion of dividing lines occurs at the corners in the break process.
【０００７】そこでこの現象を避けるために、作業者は
既に刻設されている第１の方向のスクライブ線と交差す
る第２の方向のスクライブ線を刻設するときに、カッタ
の付圧力を第１の方向のスクライブ線を刻設するときの
付圧力より大きな値に設定して、クロス点で飛び線が発
生しないようにしていた。Therefore, in order to avoid this phenomenon, the operator must first apply the pressure to the cutter when engraving the scribe line in the second direction that intersects the scribe line in the first direction which has already been engraved. The scribe line in the direction 1 was set to a value larger than the pressure applied when engraving so that no jump line was generated at the cross point.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところが前述したよう
に、スクライブ線を刻設するときのカッタの切り込み深
さや切り込み力は、できるだけ水平クラックを発生させ
ないで必要深さの垂直クラックを発生させるという条件
を満足するように設定されるべきものであるところ、第
２の方向のスクライブ線を刻設するときのカッタの付圧
力を第１の方向のスクライブ線を刻設するときのそれよ
りも大きく設定するということは、第１の方向のスクラ
イブ線を刻設するときの付圧力と第２の方向のスクライ
ブ線を刻設するときの付圧力とのいずれか一方又は両方
（付圧力の差を振り分けて設定したとき）を適正値から
ずらす必要があるということである。However, as described above, the cutting depth and cutting force of the cutter when engraving the scribe line are such that vertical cracks of the required depth are generated without causing horizontal cracks as much as possible. The pressure applied to the cutter when engraving the scribe line in the second direction is set to be larger than that when engraving the scribe line in the first direction. Means that either one or both of the pressure applied when engraving the scribe line in the first direction and the pressure applied when engraving the scribe line in the second direction (the difference in the pressure applied is distributed. It is necessary to deviate from the appropriate value.
【０００９】そのため上記のような従来方法では、互い
に交差する第１と第２の方向のスクライブ線の刻設条件
をクラック発生の最適条件に設定することができず、少
なくともいずれか一方のスクライブ線が適正値から外れ
た条件で刻設されることになり、ブレーク工程における
不良品の発生を最少にするという要求を達成できない。Therefore, in the conventional method as described above, the engraving conditions of the scribe lines in the first and second directions intersecting with each other cannot be set to the optimum condition for crack generation, and at least one of the scribe lines is not scribed. Will be engraved under conditions that deviate from the proper values, and the requirement to minimize the occurrence of defective products in the break process cannot be achieved.
【００１０】この発明は、上記のような従来のスクライ
ブ−ブレークによる硬質脆性板の分割技術の問題を解決
することを目的としてなされたもので、カッタの刃先に
変動する加工反力や衝撃力が作用しても常に一定深さの
スクライブ溝を刻設することが可能な技術手段を得るこ
とを課題としている。The present invention has been made for the purpose of solving the problem of the conventional technique for dividing a hard brittle plate by scribe-break as described above. It is an object to obtain a technical means capable of engraving a scribe groove having a constant depth even if it works.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】この発明のスクライブ方
法は、分割しようとする硬質脆性板ないし同一位置で分
割しようとする複数枚の硬質脆性板の最初の１枚をテー
ブル上の所定位置に位置決めして固定したあと、定めら
れたスクライブ線の刻設ラインに沿って硬質脆性板表面
の高さを計測して制御装置にカッタの走行位置と関係付
けて記憶し、スクライブ線の刻設時にこの記憶値に基づ
いてカッタを昇降させる昇降装置の高さをカッタの切り
込み深さがスクライブ線の全長にわたって一定となるよ
うにサーボ制御するというものである。According to the scribing method of the present invention, a hard brittle plate to be divided or a first one of a plurality of hard brittle plates to be divided at the same position is positioned at a predetermined position on a table. Then, the height of the surface of the hard brittle plate is measured along the engraved line of the scribe line and stored in the control device in association with the traveling position of the cutter. Based on the stored value, the height of the lifting device for lifting the cutter is servo-controlled so that the cutting depth of the cutter is constant over the entire length of the scribe line.
【００１２】請求項２の方法は、カッタ６をテーブル３
の面と平行に走行する走行台５に昇降装置７を介して装
着し、スクライブ線の刻設ラインに沿う硬質脆性板表面
の高さの計測を、刻設ラインに沿う複数位置でカッタ６
を硬質脆性板の表面に押接したときの高さを計測して制
御装置に走行台の位置と関係付けて記憶してカッタの切
り込み深さを制御するというものである。According to the method of claim 2, the cutter 6 is placed on the table 3.
Of the hard brittle plate along the scribe line engraving line, and the height of the surface of the hard brittle plate is measured by the cutter 6 at a plurality of positions along the engraving line.
Is to measure the height of the blade when it is pressed against the surface of the hard brittle plate and store it in the controller in association with the position of the traveling platform to control the cutting depth of the cutter.
【００１３】請求項３の方法は、上記請求項２の方法に
おいて、カッタ６をクッション装置１０を介して昇降装
置７で昇降する昇降台９に装着し、この昇降台とカッタ
保持部材１２との位置関係を検出するセンサ１９を設置
し、スクライブ線の刻設時には上記クッション装置の昇
降動作を固定するスクライブ方法である。According to a third aspect of the present invention, in the method according to the second aspect, the cutter 6 is mounted on an elevating table 9 which is elevated by an elevating device 7 via a cushion device 10, and the elevating table and the cutter holding member 12 are combined. This is a scribing method in which a sensor 19 for detecting a positional relationship is installed, and when the scribing line is engraved, the lifting operation of the cushion device is fixed.
【００１４】また請求項４の方法は、上記請求項２の方
法において、昇降装置７を駆動するサーボモータ８の負
荷上昇を検出する負荷センサを設け、この負荷センサが
負荷の増大を検出した時に昇降台９の高さを計測するス
クライブ方法である。According to a fourth aspect of the present invention, in the method according to the second aspect, a load sensor for detecting a load increase of the servomotor 8 for driving the lifting device 7 is provided, and when the load sensor detects an increase in the load. This is a scribing method for measuring the height of the lift 9.
【００１５】カッタ６を硬質脆性板の表面に押し付けて
高さを計測するときは、その計測時に、実際にスクライ
ブ線を刻設するときの加工反力に対応するクッション力
ないし負荷力でカッタ６を硬質脆性板表面に押接するの
が好ましい。When the height of the cutter 6 is measured by pressing the cutter 6 against the surface of the hard brittle plate, the cutter 6 is loaded with a cushioning force or a load force corresponding to the processing reaction force when the scribe line is actually engraved. Is preferably pressed against the surface of the hard brittle plate.
【００１６】クッション装置としては、空気圧シリンダ
やばねを用いることができ、クッション装置の昇降動作
の固定は、楔やクランパなどを用いる構造の他、クッシ
ョンシリンダやばねの上昇ストローク端を利用する構造
が可能である。また負荷センサとしては、実施例に示し
た位置偏差の検出装置の他、モータの電流検出器を用い
ることもできる。As the cushion device, a pneumatic cylinder or a spring can be used, and in order to fix the raising and lowering motion of the cushion device, a structure using a wedge cylinder or a clamper or a structure utilizing the rising stroke end of the cushion cylinder or spring is available. It is possible. As the load sensor, a current detector of the motor can be used in addition to the position deviation detecting device shown in the embodiment.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】図１及び図２はこの発明の方法の
実施に用いるスクライブ装置の第１例を示す図である。
図において、３はガラス板を載置するテーブルで、図２
の左右方向に移動位置決め自在かつテーブルセンタを中
心として、鉛直方向（図の上下方向）の旋回軸回りに回
転可能である。このテーブルの周囲３方には位置決め装
置が設けられており、分割しようとするガラス板１は、
位置決めされた後、テーブル３上に真空吸着等により定
置される。２はテーブル３の上面と平行に装架された図
２の紙面直角方向に延びる走行ガイド、４は走行ガイド
２と平行に装架されて図示しない走行モータで回転駆動
されるボールねじである。５はカッタ６を走行させる走
行台で、走行ガイド２に図２の紙面直角方向に移動自在
に装着され、ボールねじ４に螺合している。７は走行台
５に上下方向に軸支された昇降ねじで、サーボモータ８
で正逆方向に回転駆動される。９は走行台５に上下移動
自在に案内されて昇降ねじ７に螺合している昇降台であ
る。昇降台９には、図に点線で示すクッションシリンダ
１０が図２の紙面直角方向に離隔して２本形成されてお
り、当該クッションシリンダで下方に付勢される２本の
ピストンロッド１１にカッタヘッド１２が固定されてい
る。ピストンロッド１１を２本設けているのは、カッタ
ヘッド１２の鉛直軸回りの回転を防止するためである。1 and 2 are views showing a first example of a scribing apparatus used for carrying out the method of the present invention.
In the figure, 3 is a table on which a glass plate is placed, and FIG.
Can be moved and positioned in the left-right direction, and can be rotated around a pivot axis in the vertical direction (vertical direction in the figure) about the table center. Positioning devices are provided on three sides of the table, and the glass plate 1 to be divided is
After being positioned, it is placed on the table 3 by vacuum suction or the like. Reference numeral 2 denotes a traveling guide which is mounted parallel to the upper surface of the table 3 and extends in the direction perpendicular to the plane of FIG. 2 and 4 is a ball screw which is mounted parallel to the traveling guide 2 and is rotationally driven by a traveling motor not shown. Reference numeral 5 denotes a traveling table on which the cutter 6 travels, which is mounted on the traveling guide 2 so as to be movable in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. Reference numeral 7 is a lifting screw pivotally supported on the traveling table 5 in the vertical direction.
It is driven to rotate in forward and reverse directions. Reference numeral 9 denotes an elevating table which is guided by the traveling table 5 so as to be vertically movable and is screwed into the elevating screw 7. Two cushion cylinders 10 shown by a dotted line in the figure are formed on the lift table 9 so as to be separated from each other in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. The head 12 is fixed. Two piston rods 11 are provided to prevent the cutter head 12 from rotating around the vertical axis.
【００１８】１４は昇降台９とカッタヘッド１２との間
に設けられたロック楔で、１５はこのロック楔を進退さ
せるシリンダである。ロック楔１４が進出するとカッタ
ヘッド１２が押し下げられてピストンロッド１１の下端
のストロークエンドの位置でカッタヘッド１２が固定さ
れる。１３はカッタヘッド１２に垂直軸回りに揺動可能
に軸支された揺動軸で、この揺動軸の下端にトレーリン
グ方向（引きずり方向）に偏倚させて回転カッタ６が自
由回転状態で軸支されている。Reference numeral 14 is a lock wedge provided between the lifting table 9 and the cutter head 12, and 15 is a cylinder for moving the lock wedge forward and backward. When the lock wedge 14 advances, the cutter head 12 is pushed down, and the cutter head 12 is fixed at the stroke end position of the lower end of the piston rod 11. Reference numeral 13 denotes a swing shaft that is swingably supported by the cutter head 12 about a vertical axis, and is biased to the lower end of this swing shaft in the trailing direction (drag direction) so that the rotary cutter 6 is free to rotate. It is supported.
【００１９】クッションシリンダ１０の頂部には、圧力
設定器１５と切換弁１７とを経て空気圧が供給されてい
る。切換弁１７のオンオフととサーボモータ８の回転角
は制御器１６で制御されている。１８はサーボ制御装置
である。昇降台９の下端には近接センサ１９が上向きに
装着されており、この近接センサの直上にカッタヘッド
１２に固定したセンサ板２０が対向している。クッショ
ンピストンがクッションシリンダ１０の下端のストロー
クエンドにあるとき、近接センサ１９がセンサ板２０を
検出してオフ信号を出力し、カッタヘッド１２が上動す
ると近接センサ１９はオン信号を出力する。Air pressure is supplied to the top of the cushion cylinder 10 through a pressure setter 15 and a switching valve 17. The controller 16 controls the on / off of the switching valve 17 and the rotation angle of the servomotor 8. Reference numeral 18 is a servo control device. A proximity sensor 19 is mounted on the lower end of the lifting platform 9 so as to face upward, and a sensor plate 20 fixed to the cutter head 12 faces directly above the proximity sensor. When the cushion piston is at the stroke end at the lower end of the cushion cylinder 10, the proximity sensor 19 detects the sensor plate 20 and outputs an off signal, and when the cutter head 12 moves upward, the proximity sensor 19 outputs an on signal.
【００２０】図３は、この発明の実施形態を示す説明図
である。同一位置にスクライブ線を刻設するガラス板１
の最初の１枚を加工するとき、当該ガラス板をテーブル
３上に載置して位置決めした後、真空吸着によりテーブ
ル３上に固定する。ガラス板１は薄いため、真空吸着さ
れたガラス板１は、テーブル面のうねりに沿って屈曲し
て密着する。この状態でテーブル３をスクライブ線を刻
設する位置まで移動し、クッションシリンダ１０に所定
圧の空気圧を供給してカッタヘッド１２を下方に付勢し
かつ昇降台９を上動させた状態で、走行台５を所定ピッ
チＰで間欠移動する。そして、間欠移動の各停止位置毎
にサーボモータ８を回転して昇降台９を下降させ、近接
センサ１９がオフ信号を発したときのサーボモータ８の
原点からの回転角を検出して記憶する。このようにして
刻設しようとするスクライブ線に沿う複数の計測点
ｘ1、ｘ2、ｘ3、ｘ4・・・ｘnにおけるサーボモータ８
の回転角をテーブル３の位置（スクライブ線の位置に対
応する）と関連づけて記憶する。複数のスクライブ線を
刻設するときは、上記操作を各スクライブ線の位置にお
いて行う。FIG. 3 is an explanatory view showing an embodiment of the present invention. Glass plate 1 with scribe lines engraved at the same position
When processing the first one, the glass plate is placed on the table 3 and positioned, and then fixed on the table 3 by vacuum suction. Since the glass plate 1 is thin, the vacuum-adsorbed glass plate 1 bends and adheres along the undulations of the table surface. In this state, the table 3 is moved to a position where a scribe line is engraved, air pressure of a predetermined pressure is supplied to the cushion cylinder 10 to urge the cutter head 12 downward and the lift 9 is moved upward. The traveling platform 5 is intermittently moved at a predetermined pitch P. Then, the servo motor 8 is rotated at each stop position of the intermittent movement to lower the elevating table 9, and the rotation angle from the origin of the servo motor 8 when the proximity sensor 19 issues an OFF signal is detected and stored. . Servo motor 8 at a plurality of measurement points x 1 , x 2 , x 3 , x 4 ... x n along the scribe line to be engraved in this way
The rotation angle is stored in association with the position of the table 3 (corresponding to the position of the scribe line). When engraving a plurality of scribe lines, the above operation is performed at the position of each scribe line.
【００２１】上記の操作でスクライブ線に沿うガラス板
表面の高さを計測したら、ロック楔１４を昇降台９とカ
ッタヘッド１２との間に進出して、カッタヘッド１２の
上動を固定する。そして、この状態で走行台５の各走行
位置における回転角が上記記憶した回転角に所望の切込
み深さ分の回転角を加えた回転角となるようにサーボモ
ータ８を制御しながら、走行台５を一定速度で走行させ
る。計測点ｘ1、ｘ2、ｘ3、ｘ4・・・ｘnの間のサーボ
モータ８の回転角は、直線又は曲線補完により演算した
回転角を用いる。After the height of the glass plate surface along the scribe line is measured by the above operation, the lock wedge 14 is advanced between the lift 9 and the cutter head 12 to fix the upward movement of the cutter head 12. Then, in this state, while controlling the servo motor 8 so that the rotation angle at each traveling position of the traveling platform 5 becomes the rotation angle obtained by adding the rotation angle corresponding to the desired cutting depth to the stored rotation angle, the traveling platform 5 is controlled. 5 is run at a constant speed. As the rotation angle of the servo motor 8 between the measurement points x 1 , x 2 , x 3 , x 4 ... X n , the rotation angle calculated by the straight line or curve complement is used.
【００２２】同一の位置にスクライブ線を刻設する２枚
目以降のガラス板は、記憶している１枚目のガラス板の
計測値を用いて、上記方法でスクライブ線を刻設する。
液晶などに用いるガラス板の厚さの精度は十分に高いの
で、最初の１枚のガラス板に対する計測値を２枚目以降
のスクライブ溝の刻設に使用しても、ブレーク操作に問
題が生ずることがなく、従ってテーブル上におけるガラ
ス板表面の高さの測定は、最初の１枚にのみ行ってやれ
ば十分である。For the second and subsequent glass plates on which the scribe line is engraved at the same position, the scribe line is engraved by the above method using the stored measured value of the first glass plate.
Since the accuracy of the thickness of the glass plate used for liquid crystal etc. is sufficiently high, even if the measured value for the first glass plate is used for engraving the scribe grooves of the second and subsequent plates, there will be a problem in the break operation. Therefore, it is sufficient to measure the height of the glass plate surface on the table only for the first one.
【００２３】図４は、この発明の方法に用いるスクライ
ブ装置の第２例を示した図で、この第２例のスクライブ
装置は、クッション装置（クッションシリンダやクッシ
ョンばね）を備えていない。これに代えてサーボモータ
８のトルク制限装置２２と位置偏差検出装置２３とが設
けられている。トルク制限装置は、サーボモータ８に流
れる最大電流の設定器であり、位置偏差検出装置２３
は、制御器１６のソフトウェアである。トルク制限装置
２２のオンオフは、制御器１６で制御する。FIG. 4 is a view showing a second example of the scribing device used in the method of the present invention. The scribing device of the second example does not include a cushion device (cushion cylinder or cushion spring). Instead, a torque limiting device 22 and a position deviation detecting device 23 for the servo motor 8 are provided. The torque limiting device is a setter for the maximum current flowing through the servo motor 8, and the position deviation detecting device 23
Is software of the controller 16. The controller 16 controls ON / OFF of the torque limiting device 22.
【００２４】この第２例のものでは、各計測点ｘ1、
ｘ2、ｘ3、ｘ4・・・ｘnにおいて、サーボモータ８のト
ルクを制限した状態で昇降台９を下降させ、位置偏差が
上昇したときのサーボモータ８の原点からの回転角によ
ってガラス板表面の高さの計測を行う。位置偏差は、制
御器からサーボ制御装置に与える指令値と、サーボモー
タ８からのフィードバック値の差信号である。サーボモ
ータ８のトルクが制限されている関係上、カッタ６がガ
ラス板１に当接すると、昇降台９の下降が停止し、指令
された位置とフィードバックされる位置との差（位置偏
差）が大きくなるので、この時のサーボモータ８の回転
角がテーブル３上のガラス板１の表面の高さに対応する
こととなる。In the second example, each measurement point x 1 ,
At x 2 , x 3 , x 4 ... x n , the elevating table 9 is lowered while the torque of the servo motor 8 is limited, and the glass is adjusted according to the rotation angle from the origin of the servo motor 8 when the position deviation increases. Measure the height of the board surface. The position deviation is a difference signal between the command value given from the controller to the servo control device and the feedback value from the servo motor 8. When the cutter 6 comes into contact with the glass plate 1 because the torque of the servo motor 8 is limited, the lowering of the lifting platform 9 is stopped, and a difference (positional deviation) between the commanded position and the feedback position is generated. Since it becomes large, the rotation angle of the servo motor 8 at this time corresponds to the height of the surface of the glass plate 1 on the table 3.
【００２５】このようにして、図３に示す各計測点でサ
ーボモータ８の回転角を計測して記憶し、実際のスクラ
イブ線の刻設を行うときは、サーボモータ８のトルク制
限を解除し、サーボモータ８の回転角を計測値に切込深
さに対応する回転角を加えた角度に連続的に制御しなが
ら走行台５を走行させることにより、ガラス板１上に一
定深さのスクライブ溝を刻設することができる。In this way, the rotation angle of the servo motor 8 is measured and stored at each measurement point shown in FIG. 3, and when the actual scribe line is engraved, the torque limit of the servo motor 8 is released. By continuously moving the traveling table 5 while controlling the rotation angle of the servo motor 8 to an angle obtained by adding the rotation angle corresponding to the cut depth to the measured value, the scribing of a constant depth on the glass plate 1 is performed. Grooves can be engraved.
【図１】スクライブ装置の第１例の部分正面図FIG. 1 is a partial front view of a first example of a scribing device.
【図２】図１の装置の側面図2 is a side view of the device of FIG.
【図３】スクライブ線に沿う計測点を示す説明図FIG. 3 is an explanatory diagram showing measurement points along a scribe line.
【図４】スクライブ装置の第２例を示す側面図FIG. 4 is a side view showing a second example of the scribing device.
【図５】スクライブ溝の拡大断面図FIG. 5 is an enlarged sectional view of a scribe groove.
１ ガラス板 ３ テーブル ５ 走行台 ６ カッタ ９ 昇降台 10 クッションシリンダ 12 カッタヘッド 19 近接センサ 1 glass plate 3 tables 5 platform 6 cutters 9 elevators 10 Cushion cylinder 12 cutter head 19 Proximity sensor
Claims (5)
して走行させる硬質脆性板のスクライブ方法において、
分割しようとする硬質脆性板ないし同一位置で分割しよ
うとする複数枚の硬質脆性板の最初の１枚をテーブル上
の所定位置に位置決めして固定したあと、定められたス
クライブ線の刻設ラインに沿って硬質脆性板表面の高さ
を計測して制御装置にカッタの走行位置と関係付けて記
憶し、スクライブ線の刻設時にこの記憶値に基づいてカ
ッタを昇降させる昇降装置の高さをカッタの切り込み深
さがスクライブ線の全長にわたって一定となるようにサ
ーボ制御することを特徴とする、スクライブ方法。1. A method for scribing a hard brittle plate (1) in which a cutter (6) is pressed against the surface of the hard brittle plate to run,
The hard brittle plate to be divided or the first one of the plurality of hard brittle plates to be divided at the same position is positioned and fixed at a predetermined position on the table, and then fixed on the engraved line of the scribe line. The height of the surface of the hard brittle plate is measured and stored in the controller in relation to the traveling position of the cutter, and the height of the lifting device that raises and lowers the cutter based on this stored value when the scribe line is engraved is cut by the cutter. The scribe method is characterized in that the servo control is performed so that the cutting depth of the scribe is constant over the entire length of the scribe line.
台(5)に昇降装置(7)を介して装着したカッタ(6)を、上
記テーブルに載置した硬質脆性板(1)の表面に押接して
走行台(5)を走行させる硬質脆性板のスクライブ方法に
おいて、分割しようとする硬質脆性板ないし同一位置で
分割しようとする複数枚の硬質脆性板の最初の１枚をテ
ーブル上の所定位置に位置決めして固定したあと、定め
られたスクライブ線の刻設ラインに沿う複数位置で上記
昇降装置によりカッタ(6)を硬質脆性板の表面に押接し
たときの高さを計測して制御装置に走行台の位置と関係
付けて記憶し、スクライブ線の刻設時には昇降装置７の
高さを上記記憶値に基づいてスクライブ線の全長にわた
ってカッタの切り込み深さが一定となるようにサーボ制
御することを特徴とする、スクライブ方法。2. A hard brittle plate (1) having a cutter (6) mounted on a table (3), which runs parallel to the surface of a table (3), via a lifting device (7), mounted on the table. In the scribing method of the hard brittle plate which is pressed against the surface of the table and travels on the traveling platform (5), the hard brittle plate to be divided or the first one of the plurality of hard brittle plates to be divided at the same position is used as a table. After positioning and fixing at the above specified position, measure the height when the cutter (6) is pressed against the surface of the hard brittle plate by the above-mentioned lifting device at multiple positions along the engraved line of the scribe line. The height of the lifting device 7 is kept constant in the control device based on the above-mentioned stored value when the scribe line is engraved so that the cutting depth of the cutter is constant over the entire length of the scribe line. Characterized by the servo control Eve way.
て前記昇降装置で昇降する昇降台(9)に装着し、この昇
降台とカッタ保持部材(12)との位置関係を検出するセン
サ(19)を設置し、スクライブ線の刻設時には上記クッシ
ョン装置の昇降動作を固定する、請求項２記載のスクラ
イブ方法。3. A sensor for mounting the cutter on a lift table (9) which is lifted and lowered by the lift device via a cushion device (10) and detecting a positional relationship between the lift table and a cutter holding member (12). The scribing method according to claim 2, wherein 19) is installed, and when the scribing line is engraved, the lifting operation of the cushion device is fixed.
(8)の負荷上昇を検出する負荷センサを設け、この負荷
センサが負荷の増大を検出したときに昇降台(9)の高さ
を計測する、請求項２記載のスクライブ方法。4. A servomotor for driving the lifting device.
3. The scribing method according to claim 2, further comprising a load sensor for detecting a load increase of (8), and measuring the height of the lifting platform (9) when the load sensor detects a load increase.
イブ線を刻設するときの加工反力に対応するクッション
力ないし負荷力でカッタ(6)を硬質脆性板表面に押接す
る、請求項２記載のスクライブ方法。5. The cutter (6) is pressed against the hard brittle plate surface by a cushioning force or a load force corresponding to a processing reaction force when engraving a scribe line having a predetermined depth when measuring the height. The scribe method according to item 2.
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| JP2002069040A JP2003267742A (en) | 2002-03-13 | 2002-03-13 | Method for scribing hard fragile plate |
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