JP2003266287A - 研磨治具および研磨パッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 構造が簡単で、レンズの凹面の曲率に応じて
ドームの曲率を変更するための格別な部品、手段等を設
ける必要がなく、小型・軽量化を可能にした研磨治具
と、研磨治具への取付け取外し作業が容易で、被研磨面
を確実に研磨することができる研磨パッドを提供する。 【解決手段】 ゴムによってカップ状に形成された背面
側が開放するバルーン部材２５と、このバルーン部材２
５の背面側開口部を気密に閉塞する固定具２６と、前記
バルーン部材２５の内部に流体を導入するバルブ２７と
で研磨治具９を構成し、バルーン部材２５のドーム部２
５Ａの上面にレンズの凹面を研磨する研磨パッド１０を
取付ける。バルーン部材２５をドーム部２５Ａと、ドー
ム部２５Ａの外周より後方に向かって一体に延設された
筒部２５Ｂと、係止部２８を有する内フランジ２５Ｃと
で構成し、内フランジ２５Ｃを内側固定具２９と外側固
定具３０とによって挟持し、内部を密閉空間３２とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種形状の被研磨
面の研磨に用いられる研磨治具および研磨パッドに関
し、特にプラスチックレンズのトーリック面、非球面、
非トーリック面、任意の自由曲面形状等からなる面を研
磨する研磨装置に用いて好適な研磨治具および研磨パッ
ドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＮＣ制御のカーブジェネレータで
球面やトーリック面形状に切削されたレンズの凹面を研
磨装置によって研磨するには、研磨したい凹面の形状に
略一致する凸面を有する金属製の研磨治具に研磨パッド
を貼付け、これを研磨したい凹面に押し付けた状態で研
磨治具とレンズを相対的に摺動させることにより行って
いた。しかしながら、このような方法で研磨する場合、
研磨したいレンズの凹面の形状毎に異なった研磨治具を
用意する必要がある。例えば、乱視矯正用のトーリック
レンズの場合、トーリック面（円弧を、その円弧と同一
面内にあり円弧の曲率中心を通らない軸の回りに回転さ
せて得られる面の一部）が３０００〜４０００種類にも
及ぶため、その数だけの研磨治具を用意する必要があっ
た。このため、研磨治具の製造コストが嵩むばかりか、
保管場所も広い収納スペースを必要とし、その管理が煩
雑であった。

【０００３】また、球面、トーリック面だけではなく、
非球面（頂点から周辺にかけて曲率が連続的に変化する
回転面の一部）形状、非トーリック面（曲率が異なる互
いに垂直な主経線をもつ面で、少なくとも一方の主経線
の断面が円ではない面）形状、累進多焦点レンズのよう
な自由曲面形状など複雑な形状の凹面を形成する場合が
あり、このような場合には従来の研磨治具を用いた研磨
方法では、研磨できないという問題があった。

【０００４】そこで、このような問題を解決するための
方法として、弾性材料からなり内部に流体を封入して膨
らませた状態で研磨するようにした研磨治具が種々提案
されている（例えば、特許文献１〜４参照）。なお、出
願人は本明細書に記載した先行技術文献情報で特定され
る先行技術文献以外には、本発明に密接に関連する先行
技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。

【０００５】

【特許文献１】特開２０００−１１７６０４号公報

【特許文献２】実開昭６１−１９５９７０号公報

【特許文献３】特開平２−９５５９号公報

【特許文献４】特開平９−１０３９５１号公報

【０００６】上記特開２０００−１１７６０４号公報に
記載された研磨装置および研磨治具は、被研磨物を保持
する保持具と、流体圧によってドーム状に膨らまされる
可撓性シートを有する研磨治具と、前記可撓性シートの
表面に貼付けられる研磨パッドとを備え、前記保持具の
左右および前後往復運動と、前記研磨治具の首振り旋回
運動により研磨の軌跡が１周毎に少しずつずれる無軌道
研磨軌跡で前記被研磨物の被研磨面を、前記研磨パッド
と前記被研磨面との間に供給される研磨剤とによって研
磨するようにしたものである（段落「００３０」〜「０
０３８」、図１）。

【０００７】研磨に当たっては、可撓性シートの内圧を
変化させることで、ドームの曲率を変化させるようにし
ている。また、凹面がトーリック面で互いに直交する方
向での曲率が大幅に異なる場合、球面状のドームではこ
のような凹面に追随できないおそれがあるため、可撓性
シートの互いに直交する方向の一方の方向の両端部近傍
において、押え治具を可撓性シートに押し付けて流体圧
によるシートの膨らみ方を抑制することにより、ドーム
の曲率を互いに直交する方向で異ならせて被研磨物のト
ーリック面に近づけるようにしている。

【０００８】このように、流体圧と押え治具とによって
ドームの曲率を変化させると、１つの治具で広い範囲の
凹面形状に対応できるため、凹面の形状毎に異なった研
磨治具を用意する必要がなく、研磨治具の数を大幅に削
減することができる利点がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た特開２０００−１１７６０４号公報に記載された研磨
治具は、円盤状の固定治具本体と、この固定治具本体と
同径の平板円形リング状の押圧治具とで可撓性シートの
外周部を挟んで固定し、固定治具本体と可撓性シートと
の間に密閉空間を形成して流体圧によりドーム状に膨ら
ませ、前記押圧治具の上にシートの膨らみを抑制する一
対の押え治具をドームの径方向に移動調整可能に取付け
ているため、研磨治具とレンズを互いに接触させた状態
で相対的に摺動させてレンズの凹面研磨を行なう場合、
研磨治具の研磨面の横に押圧治具と押え治具が位置して
いることから、これらの治具、特に押え治具にレンズが
当たらないようにする必要がある。

【００１０】押圧治具や押え治具にレンズが当たらない
ようにするために研磨のための摺動距離を短くすると、
大きなレンズの場合は研磨できなくなる場合が生じる。
十分な摺動距離を確保するには、研磨面の面積をレンズ
の面積より十分に大きくすればよいわけであるが、その
場合は研磨治具の外形が大きくなり大型化する。しか
も、研磨面の面積が広い場合にドームの曲率を大きくし
ようとすると研磨治具の高さがかなり高くなる。また、
一つの研磨治具で押え治具を使って多種のレンズ径と凹
面形状のレンズを研磨するには、研磨したい最も大きな
径のレンズに合わせて研磨治具の大きさを設定しなけれ
ばならないことからも研磨治具は大型化する。研磨治具
が大型化すると、必然的に重量や慣性モーメントが大き
くなるため研磨治具の首振り旋回運動に支障をきたすお
それもある。

【００１１】また、上記したような研磨治具では、治具
自体の構造上からドーム表面に研磨パッドを接着剤によ
って貼着する必要があるため、その取付け取外し作業に
長時間を要するといった問題もあった。

【００１２】本発明は、上記した従来の問題を解決する
ためになされたもので、その目的とするところは、構造
が簡単で被研磨物の凹面の曲率に応じてドームの曲率を
変更するために格別な部品や手段をドームの外周に設け
る必要がなく、小型・軽量化を可能にするとともに確実
に研磨し得るようにした研磨治具を提供することにあ
る。

【００１３】また、本発明は、研磨治具への取付け取外
し作業が容易で、研磨中に研磨面が変形したり伸縮して
も確実に研磨することができる研磨パッドを提供するこ
とにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に第１の発明は、被研磨面を研磨するために用いられる
研磨治具において、弾性材料により背面側が開放するカ
ップ状に形成され、表面側に研磨パッドが取付けられる
バルーン部材と、前記バルーン部材の背面側開口部を気
密に閉塞する固定具と、前記固定具に設けられ前記バル
ーン部材の密閉空間に流体を導入するバルブとを備え、
前記バルーン部材は、表面が扁平または緩やかな凸曲面
からなり前記密閉空間に導入される流体圧によって所定
のドーム状に変形されるドーム部と、このドーム部の外
周より後方に向かって一体に延設された筒部とを有して
おり、前記固定具は前記バルーン部材の筒部を保持して
いるものである。

【００１５】第１の発明において、バルーン部材はカッ
プ状で、密閉空間に供給される流体圧によってドーム部
が弾性変形し、その表面の曲率が被研磨面の形状に応じ
て所定の曲率に調整される。バルーン部材の密閉空間に
供給される流体としては、通常圧縮空気が用いられる。
ドーム部表面には研磨パッドが取付けられる。

【００１６】第２の発明は、上記第１の発明において、
前記固定具は、前記バルーン部材の筒部を内側と外側か
ら挟持する内側固定具および外側固定具とからなるもの
である。

【００１７】第２の発明において、内側固定具と外側固
定具はバルーン部材の筒部を内側と外側から挟持する。

【００１８】第３の発明は、上記第２の発明において、
バルーン部材が筒部の背面側開口部に設けられた内フラ
ンジを有し、内側固定具と外側固定具で前記内フランジ
を挟持するものである。

【００１９】第３の発明において、内側固定具と外側固
定具はバルーン部材の外側と内側から内フランジを挟持
することで、バルーン部材の背面側開口部を気密に閉塞
する。

【００２０】第４の発明は、上記第２の発明において、
バルーン部材の筒部の背面側開口端部をテーパ状筒部
とし、内側固定具の外周面と外側固定具の内周面にそれ
ぞれテーパ部を設け、これらのテーパ部で前記テーパ状
筒部を挟持するものである。

【００２１】第４の発明において、内側固定具と外側固
定具のテーパ部によってバルーン部材のテーパ状筒部を
外側と内側から挟持することで、バルーン部材の背面側
開口部を気密に閉塞する。

【００２２】第５の発明は、上記第１、第２、第３また
は第４の発明において、バルーン部材の筒部の厚さをド
ーム部より厚くしたものである。

【００２３】第５の発明において、バルーン部材は筒部
の剛性が増すため形状保持力に優れ、研磨時の筒部の変
形や伸縮が低減される。したがって、ドーム部を安定し
た形状に維持する。

【００２４】第６の発明は、上記第１〜第５の発明のう
ちのいずれか１つにおいて、バルーン部材の背面側開口
部に環状の係止部を一体に設け、この係止部が嵌着され
る環状の溝を固定具に設けたものである。

【００２５】第６の発明において、係止部は環状の溝に
嵌着されることにより、バルーン部材が内側固定具から
離脱するのを防止するとともに、密閉性を向上させる。

【００２６】第７の発明は、研磨治具に締付部材によっ
て着脱自在に取付けられ被研磨面を研磨する研磨パッド
であって、外周より中心に向かって形成された複数の溝
により放射状に分割された複数の花弁片を有し、これら
の花弁片のうちの２つ以上の花弁片の外縁を径方向に長
くすることにより固定片を延設し、これらの固定片が固
定具の外周面に沿って折り曲げられ前記締付部材によっ
て固定されるものである。

【００２７】第７の発明において、研磨パッドにおける
全ての花弁片によって被研磨面を研磨し、花弁片に形成
された固定片は締付部材によって研磨治具の外周に着脱
自在に固定される。研磨パッドとしては、例えば発泡ポ
リウレタン、フェルトあるいは不織布等の繊維性の布や
合成樹脂等を材料とする適宜厚さのシート材によって形
成される。固定片は、幅が広すぎると柔軟性に欠けて撓
み難くなり、狭すぎると強度的に弱くなるため研磨時に
破断し易くなる。したがって、固定片の幅は強度と柔軟
性を考慮して決められる。好ましくは、固定片の幅を花
弁片の幅より狭く形成する。こうすることにより、研磨
中のバルーン部材の変形に対し、固定片の方が撓み易く
なり、花弁片の変形は小さくてすむ。固定片の数として
は２以上で、一定の間隔をおいて配置されることが望ま
しい。

【００２８】第８の発明は、上記第７の発明において、
締付部材が線ばねによって両端部が互いに交差するよう
にリング状に形成され、自然状態で固定具の外径より小
さい直径を有するものである。

【００２９】第８の発明において、線ばねによってリン
グ状に形成された締付部材は、拡径された状態で研磨治
具の外周に嵌着され、元の形状に戻ろうとする復元力で
研磨パッドの固定片を締め付け研磨治具の外周に押し付
ける。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る研
磨治具を用いた研磨装置の概略構成図、図２はレンズに
レンズ保持体を取付けた状態を示す断面図、図３はレイ
アウトブロッカーでレンズにレンズ保持体を取付けると
きの状態を示す断面図、図４は研磨治具の平面図、図５
は研磨パッドが取付けられた同研磨治具の平面図、図６
は同研磨治具の底面図である。図７は図５のVII −VII
線断面図、図８は研磨治具の高さとバルーン部材のドー
ム部の曲率半径との関係を示す図、図９はバルブの断面
図、図１０は研磨パッドの平面図、図１１は研磨パッド
の締付部材の斜視図、図１２（ａ）、（ｂ）はそれぞれ
研磨装置の無軌道研磨軌跡を示す概念図である。

【００３１】本実施の形態においては、被研磨物である
レンズとして乱視矯正用のプラスチックレンズのトーリ
ック面からなる凹面を研磨する研磨装置に適用した例を
示す。また、研磨するレンズとしては、ウレタン系また
はエピチオ系樹脂からなる凸面だけが仕上げられたセミ
フィニッシュレンズを使用した。

【００３２】レンズ５をレンズ保持体７に取付けるに
は、図３に示すように予めレンズ５の凸面５ａに傷防止
用の保護フィルム１２を密着させておき、その上に例え
ばＬＯＨ社製のレイアウトブロッカーと呼ばれる装置に
よって前記レンズ保持体７を取付ける。

【００３３】レンズ５の製造は、最初にレンズ５の凸面
５ａにレンズ保持体７を取付け、このレンズ保持体７を
介してレンズ５をカーブジェネレータに取付け、レンズ
５の凹面５ｂを所定の形状に切削した後、同様にレンズ
保持体７を介してレンズ５を研磨装置に取付け、切削さ
れた面を研磨することにより行う。

【００３４】前記レンズ保持体７は、図３に示すレイア
ウトブロッカーの取付台１５に嵌着される工具鋼等から
なるヤトイ１３と、このヤトイ１３と前記レンズ５の凸
面５ａとの間に介在される接着剤１６とで構成されてい
る。接着剤１６としては、通常低融点のアロイ（例え
ば、Ｂｉ，Ｐｂ，Ｓｎ，Ｉｎ，Ｇａの合金、融点約４９
℃）が用いられる。レンズ５とヤトイ１３をアロイ１６
を介して固着するには、先ず取付台１５の凹陥部１５ａ
にヤトイ１３を嵌着する。また、取付台１５の上面にブ
ロッキングリング１４をヤトイ１３の外周を取り囲むよ
うに載置して位置決めピン１７で位置決めするとともに
固定具１８により固定する。次に、保護フィルム１２が
密着されたレンズ５をブロッキングリング１４の上に凸
面５ａを下にして載置し、レンズ５、ヤトイ１３、ブロ
ッキングリング１４および取付台１５の上面によって囲
まれた空間に溶融したアロイ１６を充填して冷却固化さ
せることにより、レンズ５とヤトイ１３を接着する。し
かる後、レンズ５に取付られたヤトイ１３は凹陥部１５
ａから取外されると、図２に示すようなレンズ保持体７
が取付けられたレンズ５になる。このレンズ保持体７付
きのレンズ５を研磨装置に取付けるには、レンズ保持体
７を介して前記アーム４のレンズ取付部６にレンズ５の
凹面５ｂを下にして装着される。なお、ヤトイ１３とブ
ロッキングリング１４は、レンズ５の度数、外径、凸面
５ａの曲率に応じて大きさの異なるものが用いられる。

【００３５】このようにしてレンズ保持体７が取付けら
れたレンズ５は、３次元ＮＣ制御を行うカーブジェネレ
ータに前記レンズ保持体７を介して取付けられ、凹面５
ｂを所定の面形状に切削加工される（加工精度３μｍ以
内：５０φ、表面粗さＲｙ０．３〜０．５μｍ）。

【００３６】切削加工されたレンズ５は、その切削加工
された面が被研磨面として本発明に係る研磨装置によっ
て研磨される。以下、本発明に係る研磨装置の構成等に
ついて詳述する。

【００３７】図１において、全体を符号１で示す眼鏡レ
ンズの研磨装置は、床面に設置された装置本体２と、こ
の装置本体２に紙面において左右方向に移動自在でかつ
水平な軸３を中心として紙面と直交する方向に回動自在
に配設されたアーム４と、このアーム４を左右方向に往
復移動させるとともに紙面と直交する方向に回動させる
図示しない駆動装置と、前記アーム４に設けられレンズ
５の凸面５ａをレンズ保持体７を介して保持するレンズ
取付部６と、このレンズ取付部６の下方に位置するよう
に前記装置本体２に配設され、図示しない駆動装置によ
り垂直な軸線Ｋを中心として首振り旋回運動（自転はし
ない）を行う揺動装置８等を備えている。また、前記揺
動装置８上に着脱自在に設けられた研磨治具９、この研
磨治具９に着脱自在に取付けられた研磨パッド１０、前
記レンズ取付部６を昇降させる昇降装置１１等を備えて
いる。このような研磨装置１は研磨治具９および研磨パ
ッド１０の構造が新しい点を除いて従来から一般に市販
され、レンズ５の球面やトーリック面からなる凹面５ｂ
を研磨するために広く使用されているものである（例え
ば、非特許文献１参照）。

【００３８】

【非特許文献１】ＬＯＨ社製 研磨装置（ＴＯＲＯ−Ｘ
２ＳＬ）

【００３９】前記揺動装置８は、垂直な回転軸２１に揺
動角度α（例えば、５°）で首振り旋回運動するように
傾斜して取付けられ、上面に前記研磨治具９が設置され
ている。

【００４０】図４〜図７において、前記研磨治具９は、
弾性材料である天然ゴム、合成ゴムまたはゴム状樹脂に
よってカップ状に形成された背面側が開放するバルーン
部材２５と、このバルーン部材２５の背面側開口部を閉
塞し内部を気密に保持する固定具２６と、前記バルーン
部材２５の内部に圧縮空気を供給するバルブ２７とで構
成されている。

【００４１】前記バルーン部材２５は、正面視形状が略
楕円形で表面が扁平または緩やかな凸曲面からなるドー
ム部２５Ａと、このドーム部２５Ａの外周より下方に向
かって一体に延設された略楕円形の筒部２５Ｂと、筒部
２５Ｂの後端に一体に延設された環状の内フランジ２５
Ｃとで構成されている。また、内フランジ２５Ｃの内端
には、上方に突出した環状の係止部２８が一体に設けら
れている。この係止部２８は、後述する内側固定具２９
と係合することでバルーン部材２５と内側固定具２９を
仮固定し、研磨治具９の組み立てを容易にするととも
に、外側固定具３０を取付けたときにバルーン部材２５
が固定具２６から外れるのを防止し、かつ内部の密閉を
確実にする。

【００４２】バルーン部材２５の材質としては、例えば
硬度が２０〜５０度の天然ゴムに近い合成ゴム（例え
ば、ＩＩＲ）または天然ゴムが用いられる。バルーン部
材２５の厚さＴは全体にわたって均一で、約０．５〜２
ｍｍ（通常１ｍｍ程度の等厚）である。バルーン部材２
５は、研磨するレンズ５の大きさや研磨したい被研磨面
の形状に応じて複数種類用意することが好ましい。

【００４３】前記固定具２６は、前記内側固定具２９と
外側固定具３０の２部材からなり、これらによってバル
ーン部材２５の内フランジ２５Ｃと係止部２８を内側と
外側から挟持することにより、バルーン部材２５の背面
側開口部を気密に封止している。内側固定具２９は、バ
ルーン部材２５の筒部２５Ｂの内側の形状と略同一の大
きさの楕円板からなり、表面側外周縁が面取りされ、裏
面外周部に前記内フランジ２５Ｃが嵌合する環状溝３１
が形成されている。また、環状溝３１の内周には、前記
係止部２８が嵌合する環状の溝３１ａが全周にわたって
形成されている。環状溝３１の深さＷは、内フランジ２
５Ｃの厚さ（Ｔ）より若干小さく設定されている。ま
た、内側固定具２９は、高さが筒部２５Ｂの高さより低
く設定されることにより、バルーン部材２５の内部に前
記ドーム部材２５とともに密閉空間３２を形成してい
る。

【００４４】前記密閉空間３２に圧縮空気を前記バルブ
２７を介して供給し、前記ドーム部２５Ａを上方に膨張
させると、ドーム部２５Ａの中心軸を含む断面の曲率半
径が楕円の短軸方向で最小となり、長軸方向で最大とな
るトーリック面に近い形状が形成される。この場合、ド
ーム部２５Ａの曲率半径は、図８に示すようにドーム部
２５Ａの中央高さ（頂点高さ）に応じて変化するため、
適宜な装置によってドーム中央の高さを測定し調整する
ことにより、ドーム部２５Ａの曲率半径を所望の曲率半
径とすることができる。なお、ドーム部２５Ａの形状を
レンズ５の凹面５ｂにより近づけるには長軸、短軸の寸
法またはその比率を変えたものを複数種用意しておき、
レンズ５の凹面形状に近いものを選択して使用すること
が好ましい。ドーム部２５Ａの曲率半径を、レンズ５の
凹面５ｂの曲率半径よりも小さく設定すると、レンズ凹
面をドーム部２５Ａに押し付ける際に凹面５ｂの中央部
とドーム部２５Ａの中央部との間に隙間が生じ難くなる
のでより良い。なお、図８はドーム部２５Ａの長軸が９
０ｍｍφ、長軸に対する短軸の比率が０．９のバルーン
部材を備えた研磨治具における治具高さ（研磨治具底面
からドーム部中央までの高さ）とドーム部の曲率半径の
関係を示す図である。また、ここで使用した研磨治具の
空気注入前の高さ（密閉空間３２の気圧が大気圧に等し
いときの治具高さ）は３０ｍｍである。

【００４５】本実施の形態においては、凹面５ｂがトー
リック面でレンズ径６５φ、７０φ、７５φ、８０φ
（ｍｍ）、屈折率１．７、凹面５ｂのベースカーブ０．
００〜１１．２５〔Ｄ〕、乱視度数範囲０．００〜４．
００〔Ｄ〕のレンズの研磨を行うのに、バルーン部材２
５の短軸の長軸に対する比率が０．９で、長軸の寸法が
６５φ、７０φ、７５φ、８０φ、８５φ、９０φ、９
５φ、１００φ（ｍｍ）の８種類と、バルーン部材２５
が略円形で外径が１００ｍｍの１種類の計９種類の研磨
治具９を用意し、これらをレンズ５に応じて適宜選定し
使い分けるようにしている。

【００４６】研磨治具９の選定は、レンズ径と研磨面の
曲率によって適宜選定されるが、同一径のレンズの場
合、曲率が大きくなる程長軸が短い研磨治具を使用する
とよい。例えば、直径が７０ｍｍのトーリックレンズを
研磨する場合、ベースカーブ０．００〜１．５０〔Ｄ〕
で乱視度数０．００〜２．００〔Ｄ〕の場合は長軸１０
０φ（ｍｍ）の研磨治具、同ベースカーブで乱視度数
２．２５〜４．００〔Ｄ〕以上の場合は９０φの研磨治
具、ベースカーブ１．７５〜６．００〔Ｄ〕で乱視度数
０．００〜４．００〔Ｄ〕の場合は長軸９０φの研磨治
具（ただし、ベースカーブ２．７５〜６．００〔Ｄ〕で
かつ乱視度数が２．２５〜４．００〔Ｄ〕の場合は８０
φ）、ベースカーブ６．２５〜１１．２５〔Ｄ〕で乱視
度数０．００〜４．００〔Ｄ〕の場合は長軸８０φの研
磨治具（ただし、ベースカーブ１０．００〜１１．２５
〔Ｄ〕でかつ乱視度数が２．２５〜４．００〔Ｄ〕の場
合は除く）を使用し、ドーム部２５Ａの高さ、圧力、回
転速度、研磨時間を適宜設定することで全度数範囲を研
磨できることを確認した。

【００４７】図７において、前記外側固定具３０は、上
方に開放するカップ状に形成されることにより、円板状
の底板３０Ａと、この底板３０Ａの上面外周に一体に突
設された円筒部３０Ｂとからなり、円筒部３０Ｂの内側
が前記内側固定具２９が前記バルーン部材２５の筒部２
５Ｂとともに嵌挿される凹陥部３６を形成している。内
側固定具２９は、前記バルーン部材２５の筒部２５Ｂと
ともに凹陥部３６に嵌挿され、外側固定具３０の下面側
から複数個の止めねじ３７によって凹陥部３６内に固定
され、バルーン部材２５の内フランジ２５Ｃを凹陥部３
６の底面に押し付けることによりバルーン部材２５の背
面側開口部を外側固定具３０とともに気密に封止する。

【００４８】このような外側固定具３０は、底面に設け
た係合凹部３８および係合溝３８’と揺動装置８の上面
に設けた図示しない係合部との係合によって位置決め固
定される。外側固定具３０の凹陥部３６は、前記バルー
ン部材２５の筒部２５Ｂの外形と略同一の大きさで、深
さが１０ｍｍ程度で筒部２５Ｂの高さより低い楕円形の
凹部を呈する。したがって、バルーン部材２５を固定具
２６に取付けた状態において、筒部２５Ｂは外側固定具
３０より上方に突出している。このように外側固定具３
０の高さをドーム部２５Ａよりも低くしておくと、レン
ズ５の研磨時に研磨治具９を首振り旋回運動させてもレ
ンズ５と外側固定具３０が干渉するのを防止することが
できる。なお、外側固定具３０の外形を円形にしている
が、これは後述する締付部材６６が締付け時に略円形の
リング状の場合、均等に力が加わるようにするためであ
る。

【００４９】図９において、前記バルブ２７は、内側固
定具２９に形成したねじ孔４１に外側固定具３０に形成
した貫通孔４２を通ってねじ込まれた筒状のバルブ本体
４３を備えている。バルブ本体４３は、上端部外周に前
記ねじ孔４１に螺合する雄ねじ４４が形成され、下端部
が空気供給装置の注入口４５に差込み接続されるように
形成されている。バルブ本体４３の内部は、仕切壁４６
によって上下２つの室４７ａ，４７ｂに仕切られてお
り、仕切壁４６の中央には両室４７ａ，４７ｂを連通さ
せる小孔４８が形成されている。小孔４８の上側開口部
には、円錐形の着座部４９が形成されている。上側の室
４７ａには、通常前記着座部４９に着座することにより
小孔４８を閉塞するボール５０と、このボール５０を着
座部４９に圧接する円錐コイルばね５１が組み込まれて
いる。

【００５０】一方、下側の室４７ｂには、排気用ピン５
２と、この排気用ピン５２を下方に付勢する円錐コイル
ばね５３と、前記排気用ピン５２を摺動自在に保持する
受座５５およびこの受座５５の脱落を防止するＥリング
５６が組み込まれている。排気用ピン５２は、小径部５
２ａおよび大径部５２ｂと、これら両径部５２ａ，５２
ｂの間に一体に設けられた鍔５２ｃとで構成されてい
る。小径部５２ａの上端部は前記小孔４８に挿入されて
ボール５０の直下に位置し、大径部５２ｂは前記受座５
５の中心孔５７およびＥリング５６を貫通し、前記バル
ブ本体４３の下方に突出している。前記受座５５は、外
周縁に流体通路を形成する複数個の溝５８を有し、上面
に前記排気用ピン５２の鍔５２ｃが前記円錐コイルばね
５３によって圧接されている。前記Ｅリング５６は、前
記バルブ本体４３の内部で下端側開口部付近に係着さ
れ、前記受座５５を受け止め支持している。

【００５１】前記バルーン部材２５の密閉空間３２への
圧縮空気の供給は、前記バルブ本体４３を空気供給装置
の注入口４５に差込み接続することによって行われる。
すなわち、注入口４５にバルブ本体４３の下端部を差込
むと、空気供給装置からの圧縮空気は矢印Ａで示すよう
に注入口４５−Ｅリング５６の中心孔−受座５５の溝５
８−バルブ本体４３の下側室４７ｂに導かれ、下側室４
７ｂ内の圧力を徐々に上昇させる。これによりボール５
０が円錐コイルばね５１のばね力に抗して押し上げられ
て小孔４８が開き、圧縮空気が上側室４７ａを通ってバ
ルーン部材２５の密閉空間３２に供給され、ドーム部２
５Ａを膨張させる。圧縮空気が供給されて密閉空間３２
内の圧力が高くなりドーム部２５Ａの中央の高さが所望
の高さになると圧縮空気の供給を停止し、バルブ２７を
注入口４５から抜き取る。バルブ２７を注入口４５から
抜き取ると、下側室４７ｂが大気圧に戻るため、ボール
５０は円錐コイルばね５１のばね力によって着座部４９
に押し付けられ小孔４８を閉塞する。なお、密閉空間３
２内の圧縮空気を排出してドーム部２５Ａを元の自然な
形状に戻すときは、排出用ピン５２を手で円錐コイルば
ね５３に抗して押し上げてボール５０を突上げ着座部４
９から離間させればよい。これにより小孔４８が開き、
密閉空間３２を大気開放させる。したがって、ドーム部
２５Ａは自己のもつ復元力により元の形状に復帰する。

【００５２】前記レンズ５の凹面５ｂの研磨に用いられ
る前記研磨パッド１０は、例えば発泡ポリウレタン、フ
ェルト、または不織布等の繊維性の布や合成樹脂等を材
料とする厚さ１ｍｍ程度のシート材によって形成された
もので、図１０に示すように前記バルーン部材２５のド
ーム部２５Ａの正面視形状と略同一の大きさの楕円形に
形成された研磨部６０と、この研磨部６０の周縁から外
側に伸びる複数本の固定片６１とで構成されている。研
磨部６０は、外周より中心に向かって形成された複数の
溝６２により放射状に形成された８個の花弁片６３で構
成されている。各花弁片６３は、中心側の幅が狭く、外
周側の幅が広くなるように平面視台形状に形成されてい
る。前記固定片６１は、前記８個の花弁片６３のうち、
長軸方向と短軸方向に位置する合計４つの花弁片６３の
外縁に径方向にそれぞれ延設されている。固定片６１の
幅は、花弁片６３の外縁の幅より狭く設定されている。
これは、研磨中にバルーン部材２５の変形や固定片６１
が後述する締付部材６６から引き出された際、固定片６
１の撓みを容易にするためである。

【００５３】前記固定片６１は、幅が広すぎると柔軟性
に欠けて撓み難くなり、狭すぎると強度的に弱くなるた
め研磨時に破断し易くなる。したがって、固定片６１の
幅は強度と柔軟性を考慮して決められる。例えば、厚さ
１ｍｍのフェルトを使用した場合、幅は５〜１５ｍｍ程
度とすることが望ましい。５ｍｍ以下では耐久性が低下
し、１５ｍｍ以上であると柔軟性が低下し、バルーン部
材２５の変形に追随しずらくなる。固定片６１の数とし
ては、２つ以上で一定の間隔をおいて配置されることが
望ましい。なお、固定片６１の数が多すぎると、固定片
６１と後述する締付部材６６との接触面積が大きくな
り、固定片６１にかかる締付部材６６の圧力が分散して
小さくなるため外れ易くなる。反対に少なすぎると研磨
パッド１０の研磨治具９に対する安定した固定が得られ
なくなる。したがって、固定片６１の数としては３〜５
つ程度であると、より望ましい。

【００５４】このような研磨パッド１０は、前記締付部
材６６によって前記研磨治具９に着脱自在に取付けられ
る。前記締付部材６６は、図１１に示すように適宜な太
さの線ばね６７を円形に折り曲げて端部を互いに交差さ
せたもので、自然状態で前記外側固定具３０の外径より
小さい直径を有し、両端部６７ａ，６７ｂが外側にそれ
ぞれ略直角に折り曲げられている。締付部材６６のリン
グ形状は、締付け時に各固定片６１に均等に力が加わる
ように外側固定具３０の外形に合わせて適宜設定する。
なお、外側固定具３０の外形が円形で、締付部材６６の
締付け時のリング形状が円形の場合は、向きを合わせる
必要がないため望ましい。

【００５５】前記研磨パッド１０を研磨治具９に取付け
るには、先ず圧縮空気の供給によってバルーン部材２５
のドーム部２５Ａを所定のドーム形状に膨張させた後、
その上に研磨パッド１０の研磨部６０を載置する。次
に、締付部材６６の両端部６７ａ，６７ｂを指先で挟ん
でその間隔を狭めることにより締付部材６６を拡径化
し、この状態で締付部材６６を研磨パッド１０の固定片
６１に上方から押しつけてこれらの固定片６１を下方に
折り曲げ外側固定具３０の外周に接触させる。そして、
両端部６７ａ，６７ｂから指先を離すと、締付部材６６
は元の形状に復帰して固定片６１を外側固定具３０の外
周に締付け固定し、もって研磨パッド１０の取付けが終
了する。したがって、接着剤を必要とせず、取付け取外
し作業が簡単である。

【００５６】このような構造からなる研磨装置１による
レンズ５の研磨は、以下の手順によって行われる。先
ず、アーム４のレンズ取付部６にレンズ５をレンズ保持
体７を介して装着する。次に、揺動装置８の上面に研磨
パッド１０が取付けられた研磨治具９を設置し、昇降装
置１１によってレンズ５を下降させて凹面５ｂを研磨パ
ッド１０の表面に押し付ける。この状態で研磨剤を研磨
パッド１０の表面に供給するとともに、アーム４を左右
および前後方向に往復運動させながら揺動装置８を首振
り旋回運動させる。これらの運動により、研磨の軌跡が
図１２（ａ）または（ｂ）に示すように１周毎に少しず
つずれる無軌道研磨軌跡でレンズ５の凹面５ｂを前記研
磨パッド１０と研磨剤によって研磨し、所望のトーリッ
ク面に仕上げる。研磨代は５〜９μｍ程度である。研磨
剤としては、例えば酸化アルミナ、ダイヤモンドパウダ
ー等の研磨材（砥粒）を研磨液に分散させた溶液状のも
のが用いられる。

【００５７】研磨に当たっては、カーブジェネレータに
よって切削されたレンズ５の凹面５ｂには、ＮＣ制御に
よるバックラッシュのための加工段差が切削痕に含まれ
ているので、この段差を研磨によって除去する必要があ
る。段差を研磨によって取り除く場合、硬質のパッドと
ある程度の大きさの粒径の研磨材を使用することで好適
な研磨力が得られるが、これのみでは研磨時の粒径が影
響して研磨の表面粗さに限界がある。したがって、より
精緻に鏡面仕上げして切削痕を取り除くには、研磨条件
（研磨材の粒径、研磨時間）を変えて２回研磨すること
が好ましい。すなわち、一回目の研磨においては、研磨
材の平均粒径が１．６〜１．８μｍのものを用い、温度
を８〜１４℃に制御して荒研磨する。研磨時間は２〜６
分、研磨圧は５〜４００ミリバール、回転スピードは４
００〜１０００ｒｐｍである。

【００５８】次ぎに、二回目の研磨を行う。二回目の研
磨においては研磨パッド１０を新しいものに交換し、研
磨材の平均粒径が０．８μｍ程度のものを用いて仕上げ
研磨する。研磨時間は３０秒〜１分程度、研磨圧は５〜
４００ミリバール、回転スピードは４００〜１０００ｒ
ｐｍである。一回目と二回目の研磨材としては酸化アル
ミナが用いられる。

【００５９】二回目の研磨が終了すると、目視による外
観検査とレンズメータによる度数検査とジルコンランプ
の透過光によるレンズ内面の投影検査と非点収差の光学
性能検査を行い、もってトーリックレンズの製造を終了
する。

【００６０】本発明に係る研磨治具９においては、バル
ーン部材２５を弾性材料であるゴム材によって正面視形
状が楕円形のカップ状に形成し、ドーム部２５Ａを流体
圧によって膨張させ、その曲率半径をレンズ５の凹面５
ｂの曲率半径に応じて調整するだけでよいので、レンズ
５の凹面形状に対する自由度が高く、凹面５ｂの曲率毎
に異なった研磨治具を用いる必要がなく、従来の金属製
の治具に比べて研磨治具９の数を大幅に削減することが
できる。また、バルーン部材２５のドーム部２５Ａを平
面視楕円形に形成しているので、その長軸と短軸の長さ
を変更するためにドーム部２５Ａの流体圧による膨らみ
を抑制する格別な手段や部品を設ける必要がなく、研磨
治具９自体の構造が上記した特開２０００−１１７６０
４号公報に記載された研磨治具に比べて簡単で部品点数
が少なく取り扱いが容易で、小型軽量化を可能にする。

【００６１】また、内側固定具２９と外側固定具３０
は、バルーン部材２５の内フランジ２５Ｃを挟持して厚
さ方向に圧縮しているため、この内フランジ２５Ｃによ
ってバルーン部材２５の内部を気密に保持することがで
きる。また、内フランジ２５Ｃに設けた係止部２８を内
側固定具２９に設けた環状の溝３１ａに係入させている
ので、研磨中であってもバルーン部材２５が固定具２６
から外れるおそれがない。さらに、研磨治具９の組み立
てに際しては、バルーン部材２５を内側固定具２９に嵌
合して仮止めし、外側固定具３０の凹陥部３６に嵌挿
し、複数個の止めねじ３７によって内側固定具２９と外
側固定具３０を締結するだけでよいので、研磨治具９の
組み立て作業も容易である。

【００６２】また、研磨パッド１０は、発泡ポリウレタ
ン、フェルト、不織布等の繊維性の布や合成樹脂等を材
料とするシート材によって形成され、固定片６１が線ば
ねからなる締付部材６６によって研磨治具９の外周に着
脱自在に固定されるので、研磨パッド１０の研磨治具９
への取付け取外し作業もきわめて簡単かつ容易である。
さらに、締付部材６６も線ばねによってリング状に形成
され、小径化方向への復元力によって研磨パッド１０の
固定片６１を締め付けて固定するものであるため、構造
が簡単で容易にかつ安価に製作することができるととも
に、幅を殆ど取らないため研磨の際に邪魔になることも
ない。

【００６３】ここで、研磨時において研磨治具９をレン
ズ５の凹面５ｂに押し当てる圧力や、研磨治具９をレン
ズ５に対して相対的に動かすときの摩擦抵抗などにより
バルーン部材２５が変形するが、上記のような締付部材
６６によって研磨パッド１０を研磨治具９に取付けてお
くと、バルーン部材２５の変形に伴い固定片６１が締付
け部材６６に対して若干引き出されたとしても、締付部
材６６から研磨パッド１０が外れたりすることはない。
また、研磨パッド１０の固定片６１は、花弁片６３の外
側端の幅より狭いため、バルーン部材２５が変形した
際、固定片６１の方が撓んで花弁片６３側の変形が小さ
くて済み、したがって、レンズ５の凹面５ｂの形状を変
形させるような好ましくない力が加えられることもな
く、良好に研磨することができる。

【００６４】図１３は本発明の他の実施の形態を示す断
面図である。この実施の形態は、バルーン部材２５の筒
部２５Ｂの板厚Ｔをドーム部２５Ａおよび内フランジ２
５Ｃの板厚Ｔ₁ ，Ｔ₂ より厚く設定したものであり（Ｔ
＞Ｔ ₁ ，Ｔ₂ ）、その他の構造は上記した実施の形態と
全く同一である。

【００６５】このように筒部２５Ｂを板厚がドーム部２
５Ａの板厚より厚い構造においては、筒部２５Ｂの板厚
Ｔが厚く剛性が高くなるため形状保持力に優れており、
ドーム部２５Ａを安定した状態で保持し、レンズ５との
摺動摩擦による筒部２５Ｂの変形や伸縮を軽減防止する
ことができる。

【００６６】図１４は本発明のさらに他の実施の形態を
示す断面図である。この実施の形態は、バルーン部材２
５をドーム部２５Ａと、筒部２５Ｂとで構成し、筒部２
５Ｂの背面側開口端部を内側に傾斜するテーパ状筒部２
５Ｂ-1とし、このテーパ状筒部２５Ｂ-1の先端に内側に
折り曲げられた環状の係止部７０を一体に突設すること
で、図７に示した内フランジ２５Ｃを省略している。ま
た、内側固定具２９と外側固定具３０の対向壁を前記テ
ーパ状筒部２５Ｂ-1とそれぞれ同一角度からなるテーパ
部７１，７２とし、これらのテーパ部７１，７２で前記
テーパ状筒部２５Ｂ-1を内側と外側から挟持し、前記係
止部７０を内側固定具２９のテーパ部７１に形成した環
状の溝７３に係入させることで、バルーン部材２５の背
面側開口部を気密に閉塞するようにしたものである。そ
の他の構造は図７に示した実施の形態と同一である。

【００６７】このような構造においても、図７に示した
実施の形態と同様な効果が得られることは明らかであろ
う。

【００６８】上記した実施の形態では、いずれもバルー
ン部材２５の正面視形状を楕円形とすることで、乱視矯
正用眼鏡レンズ５のトーリック面からなる凹面５ｂを研
磨する例について説明したが、本発明はこれに何ら特定
されるものではなく、被研磨面が球面、非球面、非トー
リック面、自由曲面（例えば、累進多焦点レンズ）等の
凹面や凸面さらには平面の研磨にも用いることが可能で
ある。

【００６９】また、バルーン部材２５は正面視形状が楕
円形のものに限らず研磨すべきレンズの種類に応じて円
形にすることができる。なお、レンズ凹面が非球面、非
トーリック面、自由曲面等の複雑な形状であっても上記
実施の形態ではバルーン部材２５は柔軟性を有している
ため、予め所定の形状に膨らませたバルーン部材２５に
レンズ凹面を押し当てたときにレンズ凹面形状に追随す
るようにバルーン部材２５が変形するため、研磨は可能
である。また、レンズの凸面の研磨に用いる場合もバル
ーン部材２５は柔軟性を有しているため、レンズ凸面を
バルーン部材に押し当てた時にレンズ凸面形状に追随す
るようにバルーン部材が変形する。なお、平面研磨も同
様である。

【００７０】また、上記実施の形態においては、バルー
ン部材２５に供給される流体として空気を用いたが、こ
れに限らず窒素等のガスや水等の液体を用いることも可
能である。

【００７１】また、上記実施の形態においては、バルブ
２７の一例として、ボール５０と排気用ピン５２を用い
た例を示したが、これに限らず流体の供給、閉塞、排出
ができるものであればどのような構造のものであっても
よい。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る研磨治
具は、弾性材料からなる背面側が開放するカップ状に形
成されたバルーン部材を備えており、このバルーン部材
が、表面が扁平または緩やかな凸曲面からなるドーム部
と、このドーム部の外周より後方に向かって一体に延設
された筒部とを有しているため、バルーン部材は柔軟性
を有するとともに筒部の形状保持力を有しており、ある
程度バルーン部材の形状を保持しつつ被研磨面にドーム
部を追随させることができる。また、バルーン部材の背
面側開口部を気密に閉塞する固定具が前記バルーン部材
の筒部において保持しているので、研磨治具を小型・軽
量化でき、またレンズ研磨時にレンズと固定具とが干渉
するのを防止することができる。また、研磨治具の密閉
空間に流体を流入することにより、ドーム部を所望のド
ーム形状にすることができるため、被研磨面の形状に応
じて用意しなければならない研磨治具の数を大幅に削減
することができる。また、ドーム部の曲率の変更も容易
で、特に、レンズの凹面を研磨する場合には、ドーム部
の形状を被研磨面の形状に近い所望の曲率のドーム形状
にすることができるため、レンズをドーム部に押し付け
て研磨する際に被研磨面とドーム部との間に隙間が生じ
にくく良好な研磨が可能となる。

【００７３】バルーン部材に内フランジを設けた発明に
おいては、固定具によって内フランジを挟持すること
で、研磨時にバルーン部材が固定具から外れるのを防止
することができる。

【００７４】バルーン部材の筒部の背面側開口端部をテ
ーパ状筒部とし、このテーパ状筒部を内側固定具と外側
固定具に設けたテーパ部で挟持するようにした発明にお
いても同様な効果が得られる。

【００７５】バルーン部材の筒部の厚さをドーム部より
厚くした発明においては、筒部の形状保持力が増大し、
研磨時の筒部の変形や伸縮を軽減することができる。

【００７６】バルーン部材の背面側開口部側に係止部を
設け、この係止部を内側固定具に設けた環状の溝によっ
て係止するようにした発明においては、バルーン部材を
内側固定具に仮固定するができて研磨治具の組立作業が
容易である。また、研磨中にバルーン部材が固定具から
脱落するのを防止し、しかもバルーン部材の密閉が確実
である。

【００７７】本発明に係る研磨パッドは、複数の固定片
を一体に有し、この固定片が締付部材によって研磨治具
の外周に着脱自在に固定されるので、接着剤を必要とせ
ず研磨パッドの取付け取外し作業が簡単かつ容易で短時
間に行うことができる。また、研磨中のバルーン部材の
変形に対して固定片部が撓むことで花弁片部の変形が小
さくなり、研磨中に被研磨面に無理な力が加わったりす
ることがなく、良好に研磨することができる。また、締
付部材も線ばねによってリング状に形成されているの
で、安価に製作することができ、研磨パッドの研磨治具
への取付け取外し作業が容易であり、かつ、取付けた状
態で幅を取らないため、研磨の邪魔にならない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る研磨治具を用いた研磨装置の概
略構成図である。

【図２】 レンズにレンズ保持体を取付けた状態を示す
断面図である。

【図３】 レイアウトブロッカーでレンズにレンズ保持
体を取付けるときの状態を示す断面図である。

【図４】 研磨治具の平面図である。

【図５】 研磨パッドが取付けられた同研磨治具の平面
図である。

【図６】 同研磨治具の底面図である。

【図７】 図５のVII −VII 線断面図である。

【図８】 研磨治具の高さと曲率半径の関係を示す図で
ある。

【図９】 バルブの断面図である。

【図１０】 研磨パッドの平面図である。

【図１１】 締付部材の斜視図である。

【図１２】 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ研磨装置の無軌
道研磨軌跡を示す概念図である。

【図１３】 本発明の他の実施の形態を示す断面図であ
る。

【図１４】 本発明のさらに他の実施の形態を示す断面
図である。

【符号の説明】

１…研磨装置、２…装置本体、４…アーム、５…レン
ズ、５ａ…凸面、５ｂ…凹面、６…レンズ保持部、７…
レンズ保持体、８…揺動装置、９…研磨治具、１０…研
磨パッド、２５…バルーン部材、２５Ａ…ドーム部、２
５Ｂ…筒部、２５Ｃ…内フランジ、２６…固定具、２７
…バルブ、２８…係止部、２９…内側固定具、３０…外
側固定具、３１…環状溝、３１ａ…溝、３２…密閉空
間、６０…研磨部、６１…固定片、６２…溝、６３…花
弁片、６６…締付部材、７０…係止部、７１，７２…テ
ーパ部，７３…環状の溝。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被研磨面を研磨するために用いられる研
   磨治具において、 弾性材料により背面側が開放するカップ状に形成され、
   表面側に研磨パッドが取付けられるバルーン部材と、 前記バルーン部材の背面側開口部を気密に閉塞する固定
   具と、 前記固定具に設けられ前記バルーン部材の密閉空間に流
   体を導入するバルブとを備え、 前記バルーン部材は、表面が扁平または緩やかな凸曲面
   からなり前記密閉空間に導入される流体圧によって所定
   のドーム状に変形されるドーム部と、このドーム部の外
   周より後方に向かって一体に延設された筒部とを有して
   おり、前記固定具は前記バルーン部材の筒部を保持して
   いることを特徴とする研磨治具。
2. 【請求項２】 請求項１記載の研磨治具において、 前記固定具は、前記バルーン部材の筒部を内側と外側か
   ら挟持する内側固定具および外側固定具とからなること
   を特徴とする研磨治具。
3. 【請求項３】 請求項２記載の研磨治具において、 前記バルーン部材は筒部の背面側開口部に設けられた内
   フランジを有し、内側固定具と外側固定具で前記内フラ
   ンジを挟持することを特徴とする研磨治具。
4. 【請求項４】 請求項２記載の研磨治具において、 前記バルーン部材の筒部の背面側開口端部をテーパ状筒
   部とし、内側固定具の外周面と外側固定具の内周面にそ
   れぞれテーパ部を設け、これらのテーパ部で前記テーパ
   状筒部を挟持することを特徴とする研磨治具。
5. 【請求項５】 請求項１，２，３または４記載の研磨治
   具において、 前記バルーン部材の筒部の厚さをドーム部より厚くした
   ことを特徴とする研磨治具。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のうちのいずれか１つに記
   載の研磨治具において、 前記バルーン部材の背面側開口部に環状の係止部を一体
   に設け、この係止部が嵌着される環状の溝を固定具に設
   けたことを特徴とする研磨治具。
7. 【請求項７】 研磨治具に締付部材によって着脱自在に
   取付けられ被研磨面を研磨する研磨パッドであって、 外周より中心に向かって形成された複数の溝により放射
   状に分割された複数の花弁片を有し、これらの花弁片の
   うちの２つ以上の花弁片の外縁を径方向に長くすること
   により固定片を延設し、これらの固定片が固定具の外周
   面に沿って折り曲げられ前記締付部材によって固定され
   ることを特徴とする研磨パッド。
8. 【請求項８】 請求項７記載の研磨パッドにおいて、 前記締付部材が線ばねによって両端部が互いに交差する
   ようにリング状に形成され、自然状態で固定具の外径よ
   り小さい直径を有することを特徴とする研磨パッド。