JP2005144621A - 仕上げ研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の仕上げ研磨方法は、研磨エレメントと研磨材を用いて表面を研磨するものであって、a)研磨前に、変形可能な材料からなるサポートに研磨エレメントを恒久的に付着させる工程と、b)前記研磨エレメントが研磨される前記表面と接触した状態において、変形可能な前記サポートに圧力を加えることによって、前記表面の外形に適合するように前記研磨エレメントを成形する工程と、c)前記成形する工程において成形された前記研磨エレメントを用いて仕上げ研磨する工程とを包含
【選択図】 図1A
Description
a)前記仕上げ研磨する前に、変形可能な材料からなるサポートに前記研磨エレメントを恒久的に付着させる工程と、
b)前記研磨エレメントが研磨される前記表面と接触した状態において、変形可能な前記サポートに圧力を加えることによって、前記表面の外形に適合するように前記研磨エレメントを成形する工程と、
c)前記成形する工程において成形された前記研磨エレメントを用いて仕上げ研磨する工程とを包含する仕上げ研磨方法を提供する。
1)荒削り: 本工程は、ガラス、セラミックまたはシリコンのような材料を加工するときに通常行われるものであり、低粗度表面が形成されるサポート(支持体)の成形を含む。
2 研磨エレメント
3 ピッチ
4 サポート
6 研磨される表面(研磨面)
Claims (13)
- 研磨エレメントおよび研磨材を用いて表面を仕上げ研磨する方法であって、
a)前記仕上げ研磨する前に、変形可能な材料からなるサポートに前記研磨エレメントを恒久的に付着させる工程と、
b)前記研磨エレメントが研磨される前記表面と接触した状態において、変形可能な前記サポートに圧力を加えることによって、前記表面の外形に適合するように前記研磨エレメントを成形する工程と、
c)前記成形する工程において成形された前記研磨エレメントを用いて仕上げ研磨する工程と
を包含する方法。 - 前記変形可能な材料は、硬化可能であるか、クリープ変形可能であるか、或いは、硬化可能であって且つクリープ変形可能である、請求項1記載の方法。
- 前記変形可能な材料は、クリープ現象が生じ得る温度まで加熱され、かつ、ひとたび前記研磨エレメントが成形された場合には硬化するために十分に冷却されるピッチである請求項2に記載の方法。
- 前記変形可能な材料は、ひとたび前記研磨エレメントが成形された場合には、重合化により、あるいは、紫外線などの光の照射により硬化されるゲル状の接着剤である請求項2に記載の方法。
- 前記変形可能な材料はプラスターである請求項2記載の方法。
- 前記研磨エレメントはフェルトである請求項1〜5の何れかに記載の方法。
- 前記変形可能な材料は、研磨サポートによって保持される請求項1〜6の何れかに記載の方法。
- 前記仕上げ研磨を行う工程は、前記研磨エレメントと前記研磨される表面との間で、互いに直交する2つの方向に沿った相対的移動を可能にする配置装置を備える機械を用いて実行される請求項1〜7の何れかに記載の方法。
- 前記配置装置は、前記2つの方向のうちの一方に平行な軸の回りでの相対的な回転運動を可能にするように構成されている請求項8に記載の方法。
- 前記表面は、前記2つの方向のうちの一方に平行な方向の母線を有する請求項8または9に記載の方法。
- 前記仕上げ研磨が行われる表面に対して、予備研磨工程または粗研磨工程と、研磨工程とを実行する請求項1〜10の何れかに記載の方法。
- 前記表面は、前記研磨工程後に、3Å〜15Åの粗度を有し、かつ、仕上げ研磨後に1Å〜5Åの粗度を示す請求項11に記載の方法。
- 前記仕上げ研磨後の粗度は、ガラス、シリカ、シリコン、またはセラミックの表面について1Å〜3Åであり、ニッケルコーティングされた金属表面について3Å〜5Åである請求項12に記載の方法。
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2003
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