JP2003248130A - 石英系光導波路部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光通信システムに用いられる偏波依存性を小
さくした石英系光導波路部品を提供する。 【解決手段】 石英系光導波路部品１０は、基板１と、
前記基板上に形成された中間層１２と、前記中間層の上
に石英系材料で形成されたコア３と該コアを収容する石
英系材料で形成されたクラッド層５とからなる石英系光
導波路層７とを備え、前記中間層のヤング率は、前記石
英系光導波路層及び前記基板のそれぞれのヤング率より
も小さい。また、中間層は、シリコンまたはシリコン酸
化物を主成分とする多孔質層が好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信システムに
用いられる石英系光導波路部品に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、光通信システムの大容量化、高度
化、多機能化が進み、その機構部品となる光ファイバや
光導波路部品には、高性能化、高機能化が求められてい
る。中でも石英系ガラス材料を用いた光ファイバは、低
損失、高信頼性の点から最も多用されている。この石英
系光ファイバとマッチングが容易な、同じ石英系材料を
用いた石英系光導波路部品もその応用が広がりつつあ
る。この石英系光導波路部品は、半導体製造プロセスで
用いられる成膜・加工プロセスを応用し、基板上に任意
の光導波路パターンを作り込んだもので、主な応用例と
しては波長分割多重（ＷＤＭ）システムの光合分波器に
用いるアレイ導波路などがある。このアレイ導波路は複
雑な回路パターンを必要とするが、半導体製造プロセス
の適用により、優れた特性のものを一括して再現性良く
製造することができ、量産性と製造コストの点で極めて
有利である。

【０００３】次に、一般的な光導波路部品の構成につい
て説明する。光導波路部品は、基板上に光導波路層を積
層して作製される。このため、光導波路部品は、例え
ば、図１０の断面図に示すように、基板５１と、該基板
５１の上に形成された下部クラッド層５２、コア５３、
及び上部クラッド層５４からなる光導波路層とから構成
される。ここで、コア５３の屈折率を、該コア５３を収
容している下部クラッド層５２及び上部クラッド層５４
（合せてクラッド層５５という）の屈折率より僅かに大
きくすることにより、光をコア５３内に閉じ込めて導波
させることができる。また、この光導波路の材料とし
て、一般的な光ファイバと同じ石英系ガラス材料を用い
ることにより、石英系光導波路部品となる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
に、石英系光導波路部品は基板上に導波路を作り込むと
いう手法ゆえに、基板と導波路膜との熱膨張率の差に起
因した偏波依存性が避けられなかった。これは、石英系
光導波路部品の膜面方向と膜厚方向の残留応力、あるい
は加熱あるいは冷却時の発生応力に差が生じるために、
導波路が複屈折性をもつことによる。つまり、膜厚方向
の応力は常にほぼ解放状態であるのに対して、膜面方向
は基板と導波路膜との熱膨張率の差に起因する引っ張
り、あるいは圧縮応力が働き、環境温度によりその傾向
が変化する。従来、この複屈折性を低減するために基板
を導波路膜の材料に合わせることにより、あるいは逆に
基板の熱膨張率に合わせた導波路膜を形成することによ
り、その低減が図られてきた。例えば、基板と、導波路
膜とにそれぞれ石英を用いる方法や、基板としてシリコ
ンウエハを用い、リンを高濃度添加した導波路膜を用い
る方法などがある。しかし、これらの場合、基板材料が
限られたり、導波路膜に過剰な添加元素が導入されるこ
とからガラス材料として不安定になるなどの問題があっ
た。また、別の方法として、導波路上面に応力付与膜を
設ける方法もあるが、低減の効果は小さい。

【０００５】そこで、本発明の目的は、偏波依存性を小
さくした石英系光導波路部品を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る石英系光導
波路部品は、基板と、前記基板上に形成された中間層
と、前記中間層の上に石英系材料で形成されたコアと該
コアを収容する石英系材料で形成されたクラッド層とか
らなる石英系光導波路層とを備え、前記中間層のヤング
率は、前記石英系光導波路層及び前記基板のそれぞれの
ヤング率よりも小さいことを特徴とする。

【０００７】また、本発明に係る石英系光導波路部品
は、本発明に係る石英系光導波路部品は、前記中間層
は、シリコンまたはシリコン酸化物を主成分とする多孔
質層からなることを特徴とする。

【０００８】本発明に係る石英系光導波路部品は、両面
に膜を有する基板と、前記少なくとも一方の膜の上に石
英系材料で形成されたコアと該コアを収容する石英系材
料で形成されたクラッド層とからなる石英系光導波路層
とを備え、前記両面に膜を有する基板の全体の熱膨張率
は、前記石英系光導波路層の熱膨張率と実質的に同一で
あることを特徴とする。

【０００９】また、本発明に係る石英系光導波路部品
は、前記石英系光導波路部品であって、前記膜は、シリ
コンを含む材料からなることを特徴とする。

【００１０】本発明に係るフィルム状石英系光導波路部
品は、石英系材料で形成されたコアと、該コアを収容す
る石英系材料で形成されたクラッド層とを備え、前記ク
ラッド層は、平板状であることを特徴とする。

【００１１】また、本発明に係るフィルム状石英系光導
波路部品は、前記フィルム状石英系光導波路部品であっ
て、前記クラッド層内に複数のコアで構成される光回路
を備えることを特徴とする。

【００１２】さらに、本発明に係るフィルム状石英系光
導波路部品は、前記フィルム状石英系光導波路部品であ
って、前記クラッド層の周囲を保護する保護膜をさらに
備えたことを特徴とする。

【００１３】本発明に係る石英系光導波路部品は、基板
と、請求項５から７のいずれか一項に記載の前記フィル
ム状石英系光導波路部品と、前記基板と前記フィルム状
石英系光導波路部品の少なくとも一部とを接着する接着
層とを備えたことを特徴とする。

【００１４】また、本発明に係る石英系光導波路部品
は、前記石英系光導波路部品であって、前記接着層は、
前記石英系光導波路部品の前記コアと、該コアと対向す
る前記基板との間に中空部分を備えたことを特徴とす
る。

【００１５】さらに、本発明に係る石英系光導波路部品
は、前記石英系光導波路部品であって、前記基板は、伸
縮制御可能であることを特徴とする。

【００１６】またさらに、本発明に係る石英系光導波路
部品は、前記石英系光導波路部品であって、前記基板
は、圧電体基板又はバイメタル板からなることを特徴と
する。

【００１７】また、本発明に係る石英系光導波路部品
は、前記石英系光導波路部品であって、前記基板は、ヒ
ータ又はペルティエ素子を備えることを特徴とする。

【００１８】さらに、本発明に係る石英系光導波路部品
は、前記石英系光導波路部品であって、前記接着層は、
樹脂系接着剤、低融点ガラス及び低融点金属の群から選
ばれる少なくとも１つからなることを特徴とする。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態に係る石英系
光導波路部品について、添付図面を用いて説明する。な
お、実質的に同一の部材には同一符号を付している。

【００２０】実施の形態１．本発明の実施の形態１に係
る石英系光導波路部品について、図１を用いて説明す
る。この石英系光導波路部品１０は、基板１と、該基板
１の上に形成された中間層１２と、該中間層１２の上に
形成された下部クラッド層２、コア３及び上部クラッド
層４とからなる石英系導波路層７とを備えている。中間
層１２は、そのヤング率が、石英系光導波路層７と基板
１のそれぞれのヤング率よりも小さい材料により形成し
ている。この中間層１２を設けることによって、光導波
路層７と基板１との熱膨張率差に起因して発生する応力
を緩和し、その結果、光導波路層７における複屈折性が
低減され、偏波依存性を低減することができる。

【００２１】この石英系光導波路部品１０では、中間層
１２の材料等を適宜選択することにより、光導波路層７
の複屈折性を低減しつつ、光導波路層７および基板１の
材料の選択の幅を広げることができる。ヤング率が石英
系光導波路層７と基板１のヤング率よりも小さい中間層
１２としては、例えばシリコンの多孔質膜、シリコン酸
化物（石英膜）の多孔質膜などが好ましい。これらの中
間層であれば、石英系材料の合成温度でも変質すること
がないので、その上部に石英系光導波路層７の形成をそ
のまま行なうことができる。ただし、これらの材料は一
例であって、この二つに限るものではない。

【００２２】以下に、上記実施の形態１に係る石英系光
導波路部品について、実施例１においてさらに詳細に説
明する。

【００２３】実施例１．本発明の実施例１に係る石英系
光導波路部品について、図１を用いて説明する。この石
英系光導波路部品１０は、シリコンウエハからなる基板
１と、該基板１の上に形成されたシリコン多孔質膜から
なる中間層１２と、該中間層１２の上に形成された下部
クラッド層２、コア３及び上部クラッド層４とからなる
石英系導波路層７とを備えている。この中間層１２に
は、ヤング率が石英系光導波路層７と基板１のそれぞれ
のヤング率よりも小さいシリコン多孔質膜を用いてい
る。このように中間層１２を設けることによって、光導
波路層７と基板１との熱膨張率差に起因して発生する応
力を緩和し、その結果、光導波路層７における複屈折性
が低減され、偏波依存性を低減することができる。

【００２４】この石英系光導波路部品１０では、中間層
１２の材料又は形態を適宜選択することにより、光導波
路層７の複屈折性を低減しつつ、光導波路層７および基
板１の材料の選択の幅を広げることができる。ヤング率
が石英系光導波路層７と基板１のヤング率よりも小さい
中間層１２としては、上記シリコンの多孔質膜に限られ
ず、シリコン酸化物（石英膜）の多孔質膜等を用いるこ
とができる。これらの中間層であれば、石英系材料の合
成温度でも変質することがないので、その上部に石英系
光導波路層７の形成をそのまま行なうことができる。

【００２５】次に、この石英系光導波路部品１０の製造
方法について説明する。この製造方法では、基板１に中
間層１２を形成し、その中間層１２の上に石英系光導波
路層７を形成している。 （ａ）先ず、基板１として外形寸法１５．２４ｃｍ（６
インチ）、厚さ０．６ｍｍのシリコンウエハを用意し、
該基板１の裏面に絶縁皮膜を形成した。 （ｂ）そして、シリコンウエハ１の表面側に、陽極酸化
法により厚さ２０〜１００μｍのシリコン多孔質膜を形
成した。この陽極酸化の条件を制御して表面近傍の孔径
が小さくなるようにし、多孔質膜の孔径がおよそ０．０
５〜１μｍとなるようにした。 （ｃ）その後、裏面の絶縁膜を除去し、多孔質膜の表面
にＣＶＤ法によりシリコン膜を形成し、さらに該シリコ
ン膜の表面の平坦化処理を行った。これによってシリコ
ン多孔質膜を中間層１２とした。平坦化処理は、水素中
での高温アニール又は化学機械研磨法のどちらで行なっ
てもよい。 （ｄ）次に平坦化したシリコン多孔質膜１２の上部に石
英系光導波路層７を形成した。まず、厚さ１５μｍの下
部クラッド層２をＣＶＤ法により形成し、引き続きその
上部に厚さ６μｍ、屈折率差０．７％のコア層３をＣＶ
Ｄ法により形成した。次に、写真製版法とエッチング工
程によりコア層３を幅６μｍの直線パターンとした後、
そのコアパターンを覆うように厚さ１５μｍの上部クラ
ッド層４をＣＶＤ法により形成した。これによって、コ
ア３と、該コア３を収容するクラッド層５とからなる光
導波路層７を形成した。

【００２６】さらに、作製した石英系光導波路部品の評
価方法及び評価結果について説明する。ここでは、グレ
ーティングフィルタにおける偏波依存性を評価してい
る。まず、作製した石英系光導波路部品のコア３に水素
添加処理と紫外線照射を行なって１．５μｍ帯用グレー
ティングフィルタを形成した。このグレーティングフィ
ルタについて、互いに直交する二つの異なる偏波光（Ｔ
Ｍ光とＴＥ光）による反射の中心波長のずれを測定し偏
波依存性を評価した。その結果、中間層１２のシリコン
多孔質層の厚さが厚くなるほど中心波長のずれは小さく
なり、厚さが２０μｍ程度で０．０１ｎｍ、厚さが１０
０μｍで０．００５ｎｍとすることができた。なお、比
較として、中間層を設けないで基板の上に直接光導波路
層を形成している従来の石英系光導波路部品の場合につ
いて、上記と同様にグレーティングフィルタを形成し、
その偏波依存性を評価した。その結果、中心波長のずれ
は０．１ｎｍと非常に大きかった。従来のように、基板
にシリコンウエハを用い、光導波路に石英系材料を用い
た場合には、両材料の熱膨張率の違いからくる複屈折性
を避けられなかったが、この石英系光導波路部品では、
基板と光導波路層との間に熱膨張率差による歪みを緩和
するための中間層を設けることによって、偏波依存性を
大幅に改善することができた。

【００２７】ここで用いる中間層について検討する。こ
の中間層は、基板と光導波路層の材料よりもヤング率が
小さければよい。例えば、材料固有のヤング率が小さい
材料をそのままバルクとして用いるか、または材料固有
のヤング率が高い材料であっても見かけのヤング率を減
少させた構造体、例えば、内部に空孔等の間隙を多く含
む多孔質膜等を用いることができる。この中間層の厚さ
が厚くなるほど、また多孔質膜の空孔率が大きいほど歪
みを緩和する効果が大きくなる。ただし、膜厚を厚くす
るほど、また空孔率を大きくするほど光導波路部品全体
としての機械的な強度は弱くなる。

【００２８】また、この中間層として、上記シリコン多
孔質膜以外の中間層を形成する場合について説明する。
まず、中間層として、上記シリコン多孔質膜よりもさら
に材料的にヤング率を小さいシリコン酸化膜とする方法
がある。この場合、上記シリコン多孔質及びシリコン膜
を形成した後に当該部分を熱酸化し、シリコン酸化膜
（石英）とする。このシリコン酸化膜を中間層として用
いた石英系光導波路部品に上記と同様に１．５μｍ帯用
グレーティングフィルタを形成し、互いに直交する二つ
の異なる偏波光による中心波長のずれを測定した。その
結果、中間層の厚さが２０μｍ程度で０．０１ｎｍ、厚
さが５０μｍで０．００５ｎｍとシリコン多孔質膜を形
成した場合よりも歪みを緩和する効果が大きくなった。

【００２９】さらに、中間層として、上記シリコン酸化
膜よりもさらに構造的にヤング率を低くできるシリコン
酸化物多孔質膜を形成する方法について説明する。この
シリコン酸化物多孔質膜は、半導体用途の塗布型低誘電
率層間絶縁膜を形成する方法によって得られる。これは
塗布法によりペーストの皮膜を形成し、熱処理により発
泡させながらシリコン系の多孔質膜とするものである。
なお、形成工程は簡単であるが厚膜の形成がやや困難な
場合がある。このような構成で作製した本発明の光導波
路部品に上記と同様に１．５μｍ帯用グレーティングフ
ィルタを形成し、互いに直交する二つの異なる偏波光に
よる中心波長のずれを測定した。その結果、中間層の厚
さが１０μｍ程度の場合、中心波長のずれは０．０１ｎ
ｍ、厚さが２０μｍの場合で０．００５ｎｍが得られ
た。このように、基板と光導波路の間にヤング率が両者
よりも小さい中間層を設けることにより、熱膨張率差に
よる歪みが緩和され、光導波路部品の複屈折性が減少
し、偏波依存性が大きく改善される。

【００３０】実施の形態２．本発明の実施の形態２に係
る石英系光導波路部品について図２を用いて説明する。
この石英系光導波路部品２０は、実施の形態１に係る石
英系光導波路部品と比較すると、基板１の両面に熱膨張
率を制御する基板制御膜１４を形成され、基板制御膜１
４の少なくとも一つの面に石英系光導波路層７が形成さ
れている点で相違する。ここで、両面に基板制御膜１４
を有する基板の全体の熱膨張率、いわゆる見かけの基板
１１の熱膨張率は、石英系光導波路層７の熱膨張率と実
質的に同一に調整されている。これによって、見かけの
基板１１と石英系光導波路層７との熱膨張率の差がない
ので、温度変化を受けた場合にも石英系光導波路層７へ
の応力が発生せず、導波路の複屈折性を低減し、偏波依
存性を小さくすることができる。

【００３１】また、この石英系光導波路部品では、熱膨
張率を制御する基板制御膜１４が基板１の両面に形成さ
れた見かけの基板１１を実質的な基板としてみることが
できる。この見かけの基板１１の熱膨張率は、基板１と
基板制御膜１４の厚さの比と、それぞれの部分の熱膨張
率とを適宜選択することにより決定することができる。
最も単純な例としては、基板１の両面に同じ材質で同じ
膜厚の基板制御膜１４を形成した場合である。また、複
雑な例としては熱膨張率の異なる基板制御膜１４を基板
１のそれぞれの面に形成し、それぞれの基板制御膜１４
の厚さを変える場合である。どちらの場合でも、基板１
と基板制御膜１４を含めた見かけの基板１１でのそりが
発生しない。また、見かけの基板１１の熱膨張率を、そ
の上に成膜する石英系光導波路層７の熱膨張率と実質的
に同じとすることによって石英系光導波路膜への応力が
発生せず、光導波路層７における複屈折性を低減し、偏
波依存性を小さくすることができる。

【００３２】以下に、上記実施の形態２に係る石英系光
導波路部品について、実施例２においてさらに詳細に説
明する。

【００３３】実施例２．本発明の実施例２に係る石英系
光導波路部品について、図２を用いて説明する。この石
英系光導波路部品２０は、実施例１に係る石英系光導波
路部品と比較すると、基板１の両面に熱膨張率を制御す
る基板制御膜１４として熱酸化膜が形成され、基板制御
膜１４の少なくとも一つの面に石英系光導波路層７が形
成されている点で相違する。ここで、両面に基板制御膜
１４としての熱酸化膜を有する基板の全体の熱膨張率、
いわゆる見かけの基板１１の熱膨張率は、石英系光導波
路層７の熱膨張率と実質的に同一に制御されている。こ
れによって、見かけの基板１１と石英系光導波路層７と
の熱膨張率の差がないので、温度変化を受けた場合にも
石英系光導波路層７への応力が発生せず、導波路の複屈
折性を低減し、偏波依存性を小さくすることができる。
なお、基板制御膜１４は、上記熱酸化膜に限られず、石
英薄板等を貼付して用いてもよい。

【００３４】この石英系光導波路部品２０では、熱膨張
率を制御する基板制御膜１４が基板１の両面に形成され
た見かけの基板１１を実質的な基板としてみることがで
きる。この見かけの基板１１の熱膨張率は、基板１と基
板制御膜１４の厚さの比と、それぞれの部分の熱膨張率
とを適宜選択することにより決定することができる。最
も単純な例としては、基板１の両面に同じ材質で同じ膜
厚の基板制御膜１４を形成した場合である。また、複雑
な例としては熱膨張率の異なる基板制御膜１４を基板１
のそれぞれの面に形成し、それぞれの基板制御膜１４の
厚さを変える場合である。どちらの場合でも、基板１と
基板制御膜１４を含めた見かけの基板１１でのそりが発
生しない。また、見かけの基板１１の熱膨張率を、その
上に成膜する石英系光導波路層７の熱膨張率と実質的に
同じとすることによって石英系光導波路層７への応力が
発生せず、光導波路層７における複屈折性を低減し、偏
波依存性を小さくすることができる。

【００３５】次に、この石英系光導波路部品２０の製造
方法について説明する。この製造方法では、基板１の両
面に基板制御膜１４として熱酸化膜を形成した後、光導
波路層７を形成している。 （ａ）まず、基板１として外形寸法１０．１６ｃｍ（４
インチ）、厚さ０．１５ｍｍのシリコンウエハを用意し
た。 （ｂ）シリコンウエハ１の両面を熱酸化によって厚さ１
５〜３０μｍの熱酸化膜１４を形成した。この熱酸化の
方法は、通常用いられる方法で行なうことができる。な
お、熱酸化膜なので、基板１の両面に均一な膜厚で形成
することができる。 （ｃ）次いで、基板の両面に形成した熱酸化膜１４のう
ち、片面の熱酸化膜１４の上に光導波路層７を形成し
た。まず、厚さ２０μｍの下部クラッド層２をＣＶＤ法
で形成し、引き続きその上部に厚さ８μｍ、屈折率差
０．３％のコア層３をＣＶＤ法により形成した。次に、
写真製版法とエッチング工程によりコア層３を幅８μｍ
の直線パターンとした後、そのコアパターンを覆うよう
に厚さ２０μｍの上部クラッド層４をＣＶＤ法により形
成した。これによって、コア３と、該コア３を収容する
クラッド層５とからなる光導波路層７を形成した。

【００３６】さらに、作製した石英系光導波路部品２０
の評価方法及び評価結果について説明する。ここでは、
グレーティングフィルタにおける偏波依存性を評価して
いる。まず、作製した石英系光導波路部品２０のコア３
に水素添加処理と紫外線照射を行なって１．５μｍ帯用
グレーティングフィルタを形成した。このグレーティン
グフィルタについて、互いに直交する二つの異なる偏波
光（ＴＭ光とＴＥ光）による反射の中心波長のずれを測
定し偏波依存性を評価したところ、０．０２〜０．００
５ｎｍと小さな値が得られた。

【００３７】また、この石英系光導波路部品２０の製造
方法の別の例について説明する。この場合には基板制御
膜１４として石英薄板を用いて、基板１の両面に貼付し
ている。 （ａ）まず、基板１として外形寸法１０．１６ｃｍ（４
インチ）、厚さ０．５ｍｍのシリコンウエハを用意す
る。 （ｂ）次に、接着用ガラスとして厚さ１５〜３０μｍの
硼素添加（３〜１０ｗｔ％）ガラス膜をＣＶＤ法により
両面に形成した。 （ｃ）そして、シリコン基板１の両面に形成された接着
用ガラスの上に、外形寸法１０．１６ｃｍ（４イン
チ）、厚さ０．１〜０．２ｍｍの石英薄板１４を被着
し、 （ｄ）真空中で９００〜１２００℃の範囲の温度で熱処
理を施し、シリコン基板１と石英薄板１４の被着を行っ
た。 （ｅ）このシリコン基板１の両面に被着した石英薄板１
４のうち、一方の石英薄板の上に石英系光導波路層７を
形成した。まず、厚さ１５μｍの下部クラッド層２をＣ
ＶＤ法で形成し、引き続きその上部に厚さ６μｍ、屈折
率差０．７％のコア層３をＣＶＤ法により形成した。次
に写真製版法とエッチング工程によりコア層３を幅６μ
ｍの直線パターンとした後、そのコアパターンを覆うよ
うに厚さ１５μｍの上部クラッド層４をＣＶＤ法により
形成した。これによって、コア３と、該コア３を収容す
るクラッド層５とからなる光導波路層７を形成した。

【００３８】さらに、作製した石英系光導波路部品の評
価方法及び評価結果について説明する。ここでは、グレ
ーティングフィルタにおける偏波依存性を評価してい
る。まず、作製した本発明による光導波路部品に水素添
加処理と紫外線照射を行なって１．５μｍ帯用グレーテ
ィングフィルタを形成した。このグレーティングフィル
タについて、互いに直交する二つの異なる偏波光（ＴＭ
光とＴＥ光）による反射の中心波長のずれを測定し、偏
波依存性を評価したところ、０．０１〜０．００５ｎｍ
と小さな値が得られた。

【００３９】このように、シリコン基板１の両面に熱膨
張率を制御する基板制御膜１４を形成することにより、
見かけの基板１１の熱膨張率を光導波路層７の熱膨張率
と同等にすることができる。これにより、基板１と光導
波路層７の熱膨張率差に起因する偏波依存性を小さく抑
えることができる。また、本実施例では、基板１の両面
に同一の基板制御膜１４を形成したが、例えば異なる膜
種の組み合わせであってもよい。例えば、シリコン酸化
膜、シリコン窒化膜、多結晶シリコン膜などの任意の組
み合わせでも良い。また、基板制御膜の熱膨張率と膜厚
との最適化により、基板と基板制御膜の組み合わせとし
て基板の両面に働く応力を等しくすることでそりを生じ
ることなく、しかも見かけの基板１１の熱膨張率を光導
波路層７の熱膨張率と実質的に等しくすることができ
る。

【００４０】実施の形態３．本発明の実施の形態４に係
るフィルム状石英系光導波路部品について、図３を用い
て説明する。このフィルム状石英系光導波路部品１７
は、実施の形態１及び２に係る石英系光導波路部品と比
較すると、基板を有することなく、コア３と該コア３を
収納するクラッド層５とからなる光導波路層のみのフィ
ルム状石英系光導波路部品である点で相違する。また、
このフィルム状石英系光導波路部品１７は、光ファイバ
と比較すると、クラッド層５が平板状、換言すればフィ
ルム状である点で相違する。このように基板に積層され
ていないので、基板側から受ける応力に起因する複屈折
性を解消でき、偏波依存性を改善できる。さらに、クラ
ッド層５内に複数のコア３からなる光回路を構成しても
よい。なお、このフィルム状石英系光導波路部品は、基
板上に石英系光導波路層を積層形成した後、基板の部分
を除去することによってフィルム状の石英系光導波路層
のみとしたものである。その製造方法の詳細は実施例３
において述べる。

【００４１】以下に、上記実施の形態３に係るフィルム
状石英系光導波路部品について、実施例３及び実施例４
においてさらに詳細に説明する。

【００４２】実施例３．本発明の実施例３に係るフィル
ム状石英系光導波路部品について説明する。このフィル
ム状石英系光導波路部品１７は、実施例１及び２に係る
石英系光導波路部品と比較すると、基板を有することな
く、コア３と該コア３を収納するクラッド層５とからな
る光導波路層のみのフィルム状石英系光導波路部品であ
る点で相違する。また、このフィルム状石英系光導波路
部品１７は、光ファイバと比較すると、クラッド層５が
平板状、換言すればフィルム状である点で相違する。な
お、厚みはクラッド層の厚みを適宜制御することによっ
て、２０μｍ〜１００μｍの範囲、好ましくは３０〜５
０μｍの範囲にすることができる。このように基板に積
層されていないので、基板側から受ける応力に起因する
複屈折性を解消でき、偏波依存性を改善できる。さら
に、クラッド層５内に複数のコア３からなる光回路を構
成することができる。

【００４３】さらに、このフィルム状石英系光導波路部
品をアクリル系、エポキシ系、シリコンゴム系、および
ポリイミド系樹脂等の樹脂膜で被覆してもよい。このよ
うに樹脂膜で被覆することで保護することができる。ま
た、光ファイバとの接続部分のみに基板を接着すること
により、偏波依存性、および温度依存性のさらに小さな
石英系光導波路部品が実現できる。

【００４４】次に、このフィルム状石英系光導波路部品
の製造方法について説明する。 （ａ）先ず、基板１として外形寸法１０．１６ｃｍ（４
インチ）、厚さ１ｍｍのシリコンウエハ（（１００）
面）を用意した。 （ｂ）次に、基板１の片面に光導波路層を形成した。ま
ず、厚さ１５μｍの下部クラッド層２をＣＶＤ法で形成
し、引き続きその上部に厚さ６μｍ、屈折率差０．７％
のコア層３をＣＶＤ法により形成した。次いで、写真製
版法とエッチング工程によりコア層３を幅６μｍの直線
パターンとした後、そのコアパターンを覆うように厚さ
１５μｍの上部クラッド層４をＣＶＤ法により形成し
た。これによって、コア３と、該コア３を収容するクラ
ッド層５とからなる光導波路層７を形成した。 （ｄ）その後、所望の大きさに切り出してから、基板１
を裏面研削することにより全体の厚さを０．１〜０．２
ｍｍとし、さらに、加熱した苛性カリ系エッチング液に
浸し、シリコン基板１を溶解除去して、フィルム状の石
英系光導波路層１７とした。 上記手順によってフィルム状石英系光導波路部品を得る
ことができた。その形状は平板状、あるいはフィルム状
であって、厚みは約３６μｍである。

【００４５】実施例４．本発明の実施例４に係るフィル
ム状アレイ導波路フィルタ（ＡＷＧ）について図９を用
いて説明する。このアレイ導波路フィルタは、実施例３
に係るフィルム状石英系光導波路部品と比較すると、複
数のコアで構成されるアレイ導波路フィルタの光回路が
構成されている点で相違する。このようにフィルム状石
英系光導波路部品を用いることによって、基板との間の
熱膨張率差に起因する応力を受けないので、偏波依存性
を大幅に低減できる。また、フィルム状であるため、熱
容量が小さく、例えば、薄膜ヒータ等を用いて容易に加
熱でき、フィルタ中心波長を容易にシフトさせることが
できる。なお、薄膜ヒータはこのアレイ導波路フィルタ
に必須ではないので任意に用いることができる。

【００４６】次に、このフィルム状アレイ導波路フィル
タの各構成要素について、図９を用いて説明する。この
フィルム状アレイ導波路フィルタ４０は、入力光側から
出力光側にわたって、入力光ファイバアレイ固定用治具
３１、一括波長調整用ヒータ３３、一括波長調整用ヒー
タ端子３４、個別波長調整用ヒータ３５、個別波長調整
用ヒータ端子３６、出力光ファイバアレイ固定治具３２
を含んでいる。このうち、フィルム状であるため、各端
子部分は機械的に補強するのが好ましいので、入力光フ
ァイバアレイ固定用治具３１、一括波長調整用ヒータ端
子３４、個別波長調整用ヒータ端子３６、出力光ファイ
バアレイ固定治具３２をフィルム状光導波路部品３７の
片面又は両面に被着している。なお、これらは装架する
ことが好ましい。さらに、このフィルム状アレイ導波路
フィルタ４０の全体をゲル状またはゴム状の充填物を用
いてケース内に封入したり、樹脂被膜等で全体を被覆し
て、保護することができる。

【００４７】実施の形態４．本発明の実施の形態４に係
る石英系光導波路部品について、図４を用いて説明す
る。この石英系光導波路部品３０は、実施の形態３に係
るフィルム状石英系光導波路部品１７が基板２１の上に
接着層２２で接着されている。このようにフィルム状石
英系光導波路部品１７を用い、接着層２２と基板２１の
材料を選択することによって、光導波路層１７には応力
が及ばないようにすることで、複屈折性を低減した石英
系光導波路部品とすることができる。また、温度変化に
よる特性の変動をうち消す方向に応力をかけることもで
きる。

【００４８】また、このフィルム状石英系光導波路部品
１７を用いた石英系光導波路部品３０ａの別の例につい
て、図５を用いて説明する。この石英系光導波路部品３
０ａは、図４に示した上記石英系光導波路部品と比較す
ると、フィルム状石英系光導波路１７の一部のみを基板
２１に接着層２２で接着し、接着層２２にはフィルム状
石英系光導波路１７と基板２１との間に中空部分２３を
設けている点で相違する。例えば、この石英系導波路部
品は、光導波路層１７の周辺部分のみを接着層２２で基
板２１に接着し、コア３の直下の基板２１との間に中空
部分２３を設けている。このようにフィルム状石英系光
導波路１７を接着する面積を少なくすることによって、
光導波路１７が受ける応力に起因する複屈折性を低減で
きる。

【００４９】以下に、上記実施の形態４に係る石英系光
導波路部品について、実施例５及び実施例６においてさ
らに詳細に説明する。

【００５０】実施例５．本発明の実施例５に係る石英系
光導波路部品について、図４を用いて説明する。この石
英系光導波路部品３０は、実施例３に係るフィルム状石
英系光導波路部品１７が基板２１の上に接着層２２で接
着されている。このようにフィルム状石英系光導波路部
品１７を用い、接着層２２と基板２１の材料を選択する
ことによって、光導波路層１７には応力が及ばないよう
にすることで、複屈折性を低減した石英系光導波路部品
とすることができる。また、温度変化による特性の変動
をうち消す方向に応力をかけることもできる。

【００５１】また、上記フィルム状石英系光導波路部品
１７を用いた石英系光導波路部品の別の例について、図
５を用いて説明する。この石英系光導波路部品３０ａ
は、図４に示した上記石英系光導波路部品と比較する
と、フィルム状石英系光導波路１７の一部のみを基板２
１に接着層２２で接着し、フィルム状石英系光導波路１
７と基板２１との間に中空部分２３を設けている点で相
違する。例えば、この石英系導波路部品は、光導波路層
１７の周辺部分のみを接着層２２で基板２１に接着し、
接着層２２にはコア３の直下の基板２１との間に中空部
分２３を設けている。このようにフィルム状石英系光導
波路１７を接着する面積を少なくすることによって、光
導波路１７が受ける応力に起因する複屈折性を低減でき
る。特に、図５に示すように、フィルム状石英系光導波
路部品１７と基板２１との接着部分を周辺部のみに限定
し、導波路のコア３の直下を中空とすることで、基板と
導波路層の熱膨張率差に起因する偏波依存性、および温
度依存性を小さくできる。

【００５２】次に、この石英系光導波路部品の製造方法
について説明する。 （ａ）まず、上記フィルム状石英系光導波路部品１７を
用意する。なお、この製造方法は実施例３で説明した製
造方法と同様である。 （ｂ）次に、フィルム状石英系光導波路部品１７のコア
３に水素添加処理と紫外線照射を行なって１．５μｍ帯
用グレーティングフィルタを形成する。 （ｃ）次いで、接着層８として樹脂系接着剤のシリコン
ゴム系接着剤を用いて、フィルム状石英系光導波路部品
１７を実質的に同じ大きさのシリコン基板２１に接着し
た。

【００５３】さらに、作製した石英系光導波路部品の評
価方法及び評価結果について説明する。ここでは、グレ
ーティングフィルタにおける偏波依存性を評価してい
る。まず、作製した石英系光導波路部品３０，３０ａに
対して、互いに直交する二つの異なる偏波光（ＴＭ光と
ＴＥ光）による反射の中心波長のずれを測定し偏波依存
性を評価したところ、０．００５ｎｍ〜０．００１ｎｍ
と非常に小さい値が得られた。なお、比較として、基板
上にそのまま光導波路層を積層した従来の石英系光導波
路部品について、１．５μｍ帯用グレーティングフィル
タを形成し、中心波長のずれを測定したところ、０．１
ｎｍと非常に大きかった。このように、基板にシリコ
ン、光導波路に石英系材料を用いた場合は、両材料の熱
膨張率の違いからくる複屈折性が避けられなかったが、
この石英系光導波路部品では、フィルム状石英系光導波
路部品を、樹脂系接着剤で基板に接着することにより、
光導波路層にかかる応力を非常に小さくすることがで
き、その結果として偏波依存性が大幅に改善された。

【００５４】また、ここでは、接着層８に樹脂系接着剤
のシリコンゴム系接着剤を用いたが、他の種々の接着剤
を使用してもよい。例えば、アクリル樹脂系、エポキシ
樹脂系、合成ゴム系接着剤等の樹脂系接着剤、高ナトリ
ウムガラス系又は鉛ガラス系の低融点ガラス、インジウ
ムやはんだ等の低融点金属、およびこれらを組み合わせ
て用いてもよい。例えば、光ファイバーとの接合によ
り、機械強度が必要な端面部分は硬度の高い紫外線硬化
樹脂接着剤を用い、低応力であることが必要なグレーテ
ィングフィルタ部分は柔らかい合成ゴム系接着剤を用い
る方法などがある。

【００５５】実施例６．本発明の実施例６に係るフィル
ム状石英系光導波路部品及び石英系光導波路部品につい
て説明する。このフィルム状石英系光導波路部品２７
は、実施例３に係るフィルム状石英系光導波路部品と比
較すると、図６に示すように、クラッド層５中に複数の
コア３への分岐部分を備えた光回路を含んでいる点で相
違する。このフィルム状石英系光導波路部品２７では、
フィルム状のクラッド層５内にあらかじめ光回路を構成
することができるので、複数本の光ファイバを組み合わ
せて光回路を構成する場合よりもコンパクトに光回路を
構成することができる。

【００５６】次に、上記フィルム状石英系光導波路部品
２７を用いた石英系光導波路部品３０ｂについて図７及
び図８を用いて説明する。この石英系光導波路部品３０
ｂは、複数の異なる波長のレーザダイオード２４と上記
フィルム状石英系光導波路部品２７を組み合わせた合波
モジュールである。この合波モジュールは、上記フィル
ム状石英系光導波路部品２７を基板２１の上に接着層で
接着し、コア３の端部にレーザチップ２４をマウントし
ている。この石英系光導波路部品３０ｂでは、レーザチ
ップ２４を放熱性の良好な基板２１にマウントした場合
でも、導波路層の偏波依存性を小さくできる。また、図
８は、この石英系光導波路部品３０ｂの出射光側の端部
の構成を示す端面図である。この端面には、光ファイバ
との融着を可能とする石英ブロック２５が面一となるよ
うに固着されているので、中空の光導波路モジュールで
ありながら光ファイバの融着が可能となる。

【００５７】実施の形態５．本発明の実施の形態５に係
る石英系光導波路部品について、図４を用いて説明す
る。この石英系光導波路部品は、実施の形態４に係る石
英系光導波路部品と比較すると、基板２１として、伸縮
あるいは屈曲状態の制御が可能な伸縮制御基板を用いる
点で相違する。この伸縮制御基板を用いることによっ
て、光導波路への応力を制御することができる。例え
ば、光導波路層２１のコア３にグレーティングフィルタ
を形成している場合には、中心波長の温度依存性を制御
することができる。この伸縮制御基板としては、例え
ば、圧電体基板、バイメタル板、あるいは任意の基板の
裏面に機械的な伸縮機構を配置した基板等の機械的伸縮
制御基板、熱膨張率の大きな金属板や樹脂板とヒータ又
はペルティエ素子とを組み合わせた温度制御による温度
制御型伸縮制御基板、又はこれらを複合したものなどを
使用することができる。さらに、金属、ガラス、セラミ
ックス、樹脂等の基板材料を組み合わせてもよい。ま
た、石英系光導波路部分は薄いガラス膜であるので、保
護のための樹脂膜で被覆したものも使用可能である。

【００５８】以下に、上記実施の形態５に係る石英系光
導波路部品について、実施例７においてさらに詳細に説
明する。

【００５９】実施例７．本発明の実施例７に係る石英系
光導波路部品について説明する。この石英系光導波路部
品は、実施例５及び６に係る石英系光導波路部品と比較
すると、フィルム状石英系光導波路部品を接着している
基板２１が伸縮を制御できる伸縮制御基板である点で相
違する。この伸縮の制御が可能な伸縮制御基板を用いる
ことによって、石英系光導波路部品の偏波依存性及びグ
レーティングフィルタの中心波長の能動あるいは受動制
御が可能となる。例えば、基板２１に圧電体基板を光の
導波方向と直角方向に伸縮を制御できるように配置する
ことによって、偏波依存性の調整が可能となる。また、
光導波路部品にグレーティングフィルタを設け、光の導
波方向と平行に伸縮を制御できるように配置することに
よって、フィルタの中心波長の調整が可能となる。

【００６０】ここで、基板２１として、上記圧電体基板
の他、バイメタル板、裏面に機械的な伸縮機構を配置し
た基板等の機械的伸縮制御基板、ヒータ又はペルチェ素
子等を備えた温度制御型伸縮制御基板、又はこれらの組
み合わせを用いてもよい。さらに、一般的な樹脂材料の
ように熱膨張率の大きな材料、負膨張性ガラスセラミッ
クスのような熱膨張率が負の材料、低熱膨張ガラスのよ
うに熱膨張率がゼロに近い材料、あるいはそれらの組み
合わせた基板を用いてもよい。これにより、光導波路の
温度依存性を任意に制御する事が可能となる。また、バ
イメタル板のように温度に応じて屈曲する基板を用い、
屈曲の凸面か凹面のどちらかの面に張り付ける事によ
り、グレーティングフィルタの中心波長の温度依存性任
意に受動制御することが可能となる。

【００６１】なお、上記実施例では主にグレーティング
フィルタやアレイ導波路フィルタ（ＡＷＧ）を形成する
ことにより本発明の効果を説明したが、本発明の石英系
光導波路部品はグレーティングフィルタ、ＡＷＧの他、
方向性結合器、カプラ型光合分波器、および導波路型光
スイッチなど、光導波路を使用する全ての光部品に対し
て適用することができる。また、従来、偏波依存性が悪
かったために光導波路が用いられなかった光部品に対し
ても、光導波路化が可能となり生産性の向上が期待でき
る。

【００６２】

【発明の効果】以上、詳述したように、本発明に係る石
英系光導波路部品は、コアと、該コアを収容する上部ク
ラッド層及び下部クラッド層からなる石英系光導波路層
が、中間層を介して基板に積層されている。この中間層
のヤング率を石英系光導波路層と基板よりも小さくする
ことにより、光導波路層と基板との熱膨張率差に起因し
て発生する応力を緩和する。その結果、光導波路層にお
ける複屈折性が低減され、偏波依存性を低減することが
でき、光導波路の複屈折性を低減した偏波依存性の小さ
な光導波路部品が実現できる。

【００６３】また、本発明に係る石英系光導波路部品
は、中間層としてシリコンまたはシリコン酸化物を主成
分とする多孔質層を用いることにより、石英系材料の合
成温度でも変質することがないので、その上部に石英系
光導波路層７の形成をそのまま行なうことができる。

【００６４】本発明に係る石英系光導波路部品は、両面
に基板制御膜を有する基板を用い、その基板制御膜の上
に石英系光導波路層を形成している。この両面に基板制
御膜を有する基板の全体の熱膨張率、いわゆる見かけの
基板の熱膨張率は、石英系光導波路層の熱膨張率と実質
的に同一に制御されている。これによって、見かけの基
板と石英系光導波路層との熱膨張率の差がないので、温
度変化を受けた場合にも石英系光導波路層への応力が発
生せず、導波路の複屈折性を低減し、偏波依存性を小さ
くすることができる。

【００６５】また、本発明に係る石英系光導波路部品
は、基板の両面に有する膜がシリコンを含む材料からな
るので、例えば、シリコン基板の両面を熱酸化して得ら
れる熱酸化膜を基板制御膜とすることができる。これに
よって、熱酸化により基板の両面に容易に同じ膜厚の基
板制御膜を形成することができ、導波路の複屈折性を低
減し、偏波依存性を小さくすることができる。

【００６６】本発明に係るフィルム状石英系光導波路部
品は、コアと該コアを収容する平板状のクラッド層とを
備えている。このように基板を有しないので、基板から
受ける応力がなく、光導波路における複屈折性を低減
し、偏波依存性を小さくすることができる。

【００６７】また、本発明に係るフィルム状石英系光導
波路部品は、クラッド層内に複数のコアで構成される光
回路を備えているので、光ファイバに比べてコンパクト
に光回路を構成することができる。

【００６８】さらに、本発明に係るフィルム状石英系光
導波路部品は、クラッド層の周囲を保護する保護膜をさ
らに備えるので、基板を用いることなく使用できる。

【００６９】本発明に係る石英系光導波路部品は、フィ
ルム状石英系光導波路部品の一部を接着層で基板に接着
している。このようにフィルム状石英系光導波路を基板
に接着しているので使用しやすく、また、光導波路への
応力を考慮して接着できるので、複屈折性を低く抑える
ことができる。

【００７０】また、本発明に係る石英系光導波路部品
は、接着層がコアの直下に中空部分を設けているので、
フィルム状石英系導波路の基板への接着によってコアが
受ける応力の影響を低く抑えることができる。これによ
り、光導波路における複屈折性を低減することができ
る。

【００７１】さらに、本発明に係る石英系光導波路部品
は、伸縮の制御が可能な基板を用いているので、光導波
路の複屈折性を能動的又は受動的に制御することがで
き、これによって偏波依存性を制御できる。

【００７２】またさらに、本発明に係る石英系光導波路
部品は、伸縮制御できる基板が圧電体基板又はバイメタ
ル板からなるので、機械的に基板の伸縮を制御でき、光
導波路の複屈折性を能動的又は受動的に制御することが
でき、これによって偏波依存性を制御できる。

【００７３】また、本発明に係る石英系光導波路部品
は、伸縮制御できる基板がヒータ又はペルティエ素子を
備えるので、温度によって基板の伸縮を制御でき、光導
波路の複屈折性を能動的又は受動的に制御することがで
き、これによって偏波依存性を制御できる。

【００７４】さらに、本発明に係る石英系光導波路部品
は、接着層は、樹脂系接着剤、低融点ガラス及び低融点
金属の群から選ばれる少なくとも１つからなる。これに
よって、基板に接着した場合にも光導波路に加わる応力
を低く抑えることができ、光導波路の複屈折性を抑制す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１及び実施例１に係る石
英系光導波路部品の導波方向に垂直な断面構造を示す断
面図である。

【図２】 本発明の実施の形態２及び実施例２に係る石
英系光導波路部品の導波方向に垂直な断面構造を示す断
面図である。

【図３】 本発明の実施の形態３及び実施例３に係るフ
ィルム状の石英系光導波路部品の導波方向に垂直な断面
構造を示す断面図である。

【図４】 実施の形態４及び実施例５に係る石英系光導
波路部品の導波方向に垂直な断面構造を示す断面図であ
る。

【図５】 実施の形態４及び実施例６に係る石英系光導
波路部品の別の例の導波方向に垂直な断面構造を示す断
面図である。

【図６】 本発明の実施例７に係るフィルム状石英系光
導波路部品の導波方向に垂直な断面構造を示す断面図で
ある。

【図７】 図６のフィルム状石英系光導波路部品を基板
の上に接着した場合の導波方向に垂直な断面構造を示す
断面図である。

【図８】 図７の合波モジュールにおける出射光側の端
面部分を示す図である。

【図９】 実施例４に係るアレイ導波路フィルタ（ＡＷ
Ｇ）の平面図である。

【図１０】 従来の光導波路部品の導波方向に垂直な断
面構造を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 基板、２ 下部クラッド層、３ コア、４ 上部ク
ラッド層、５ クラッド層、７ 石英系光導波路層、１
０、２０、３０、３０ａ、３０ｂ 石英系光導波路部
品、１１ 見かけの基板、１２ 中間層、１４ 基板制
御膜、１７、２７、３７ フィルム状石英系光導波路部
品、２１ 基板、２２ 接着層、２３ 中空部分、２４
レーザダイオードチップ、２５ 光ファイバ融着用石
英ブロック、３１ 入力光ファイバ固定用治具、３２
出力光ファイバ固定用治具３３ 一括波長調整用薄膜ヒ
ータ、３４ 一括波長調整用ヒータ端子、３５ 個別波
長調整用薄膜ヒータ、３６ 個別波長調整用ヒータ端
子、４０ アレイ導波路フィルタ、５０ 光導波路部
品、５１ 基板、５２ 下部クラッド層、５３コア、５
４ 上部クラッド層、５５ クラッド層、５７ 光導波
路層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉新 喜市 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 大平 卓也 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 松本 貞行 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 高林 正和 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 並木 亮介 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2H047 KA04 PA05 PA21 PA24 QA02 QA04 TA21

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、 前記基板上に形成された中間層と、 前記中間層の上に石英系材料で形成されたコアと該コア
   を収容する石英系材料で形成されたクラッド層とからな
   る石英系光導波路層とを備え、 前記中間層のヤング率は、前記石英系光導波路層及び前
   記基板のそれぞれのヤング率よりも小さいことを特徴と
   する石英系光導波路部品。
2. 【請求項２】 前記中間層は、シリコンまたはシリコン
   酸化物を主成分とする多孔質層からなることを特徴とす
   る請求項１に記載の石英系光導波路部品。
3. 【請求項３】 両面に膜を有する基板と、 前記少なくとも一方の膜の上に石英系材料で形成された
   コアと該コアを収容する石英系材料で形成されたクラッ
   ド層とからなる石英系光導波路層とを備え、 前記両面に膜を有する基板の全体の熱膨張率は、前記石
   英系光導波路層の熱膨張率と実質的に同一であることを
   特徴とする石英系光導波路部品。
4. 【請求項４】 前記膜は、シリコンを含む材料からなる
   ことを特徴とする請求項３に記載の石英系光導波路部
   品。
5. 【請求項５】 石英系材料で形成されたコアと、該コア
   を収容する石英系材料で形成されたクラッド層とを備
   え、 前記クラッド層は、平板状であることを特徴とするフィ
   ルム状石英系光導波路部品。
6. 【請求項６】 前記クラッド層内に複数のコアで構成さ
   れる光回路を備えることを特徴とする請求項５に記載の
   フィルム状石英系光導波路部品。
7. 【請求項７】 前記クラッド層の周囲を保護する保護膜
   をさらに備えたことを特徴とする請求項５又は６に記載
   のフィルム状石英系光導波路部品。
8. 【請求項８】 基板と、 請求項５から７のいずれか一項に記載の前記フィルム状
   石英系光導波路部品と、 前記基板と前記フィルム状石英系光導波路部品の少なく
   とも一部とを接着する接着層とを備えたことを特徴とす
   る石英系光導波路部品。
9. 【請求項９】 前記接着層は、前記石英系光導波路部品
   の前記コアと、該コアと対向する前記基板との間に中空
   部分を備えたことを特徴とする請求項８に記載の石英系
   光導波路部品。
10. 【請求項１０】 前記基板は、伸縮制御可能であること
    を特徴とする請求項８又は９に記載の石英系光導波路部
    品。
11. 【請求項１１】 前記基板は、圧電体基板又はバイメタ
    ル板からなることを特徴とする請求項１０に記載の石英
    系光導波路部品。
12. 【請求項１２】 前記基板は、ヒータ又はペルティエ素
    子を備えることを特徴とする請求項１０に記載の石英系
    光導波路部品。
13. 【請求項１３】 前記接着層は、樹脂系接着剤、低融点
    ガラス及び低融点金属の群から選ばれる少なくとも１つ
    からなることを特徴とする請求項８から１２のいずれか
    一項に記載の石英系光導波路部品。