JP2003248018A - 測定用プローブ、及び該測定用プローブの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気信号の減衰を防止すると共に、安定した
電気信号を取り出し、さらに小形化を図る測定用プロー
ブを提供する 【解決手段】 測定用プローブ１ａは、導電性を有する
金属であって、探針部６と、Ｖ溝（螺旋溝）３ａにより
形成した螺旋バネ５ａとを有するブロック２ａからな
り、Ｖ溝３ａは、Ｖ溝の頂点１１ａが内側面１２ａ上に
存し、螺旋バネ５ａは、探針部６を中心としてＶ溝の頂
点１１ａを介し螺旋状に接触している。探針部６が被測
定物に接触・加圧して被測定物の電気信号を取り出す
際、加圧方向と平行な垂直面１０ａは、傾斜端部１９ａ
と離れることなく傾斜端部１９ａ上を摺動し、垂直面１
０ａのＦ方向の長さを螺旋バネ５ａのストロークとして
その接触を維持する。また、取り出された被測定物の電
気信号は、螺旋バネ５ａを螺旋状に流れることなく、互
いに接触する螺旋バネ５ａを通って加圧方向に直接流れ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ部品、ＬＳ
Ｉ（半導体集積回路）、ＬＣＤ（液晶デバイス）などの
電子部品の端子から電気信号を取り出して周波数特性試
験などの電気的測定を行う際に用いる測定用プローブ、
並びに当該測定用プローブの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、チップ部品、ＬＳＩ、ＬＣＤなど
の電子部品の端子から電気信号を取り出して、周波数特
性試験などの電気的測定を行なうために、ピン接触型の
測定用プローブを用いた測定装置が用いられている。

【０００３】図９は、従来のピン接触型の測定用プロー
ブを用いた測定装置の一例を示す概略図であり、該測定
装置３０は、図９に示すように探針部３３を有す従来の
測定用プローブ３１と、絶縁性のブロック３２とを備え
ている。該測定用プローブ３１は、探針部３３を図面上
方に向けた形で、ブロック３２に形成された保持孔３５
に保持されることより、不図示の被測定物（半導体集積
回路、液晶デバイスなど）に応じた所定測定ピッチＰ_３
を介して複数配列されており、探針部３３が被測定物に
接触・加圧して被測定物の電気信号を取り出す。

【０００４】図１０は、従来のピン接触型の測定用プロ
ーブの一例を示す断面図であり、該測定用プローブ３１
は、プランジャー３６、バネ３７、ボール３９、パイプ
４０、及びソケット４１を備えており、その先端部に探
針部３３が形成された導電性のプランジャー３６が、縮
設された螺旋状のバネ３７と、導電性のボール３９とを
介して、探針部３３をパイプ４０の外部に突出させて導
電性のパイプ４０から抜けないように保持されている。
さらにパイプ４０は、電気信号を出力する配線４２が固
着された導電性のソケット４１にその外周が保持されて
いる。つまり探針部３３より取り出した電気信号は、プ
ランジャー３６、パイプ４０、ソケット４１、及び配線
４２を介し、あるいはプランジャー３６、バネ３７、ボ
ール３９、パイプ４０、ソケット４１、及び配線４２を
介した経路を通して出力される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の測
定用プローブ３１における電気信号の経路は、上述した
ように複数の部品３６、３７、３９、４０、４１を介す
ので、該従来の測定用プローブ３１のインピーダンス
は、上記複数の部品間の接触抵抗を含むために安定せ
ず、電気信号が安定しない虞があった。また、上記イン
ピーダンスは上述した複数の各部品３６、３７、３９、
４０、４１の各抵抗Ｒ［Ω］やバネ３７のインダクタン
スＬ［Ｈ］の合成からなるので、該インピーダンスは大
きなものとなり、上記電気信号を減衰させてしまう虞が
あり、さらに、近年電子部品における電気信号の高周波
化に伴い、上記インピーダンスのうちバネ３７によるイ
ンダクタンスＬ［Ｈ］が該電気信号をさらに減衰させて
しまう虞があった。また、近年高密度実装による電子部
品の微細化に伴い、被測定物の測定ピッチが狭小となる
ため、これに応じた測定用プローブの小形化の要求があ
るが、上記測定用プローブ３１は、上述のように複数の
部品により構成されるため、測定用プローブの小形化を
図ることが容易でない問題があった。

【０００６】そこで、本発明は、安定した電気信号を取
り出すと共に、電気信号の減衰を防止するとことがで
き、さらに小形化を図ることができる測定用プローブを
提供することを目的とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明は
（例えば図１ないし図８参照）、探針部（６）が被測定
物に接触・加圧し、前記被測定物の電気信号を取り出す
測定用プローブ（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ）にお
いて、導電性を有する金属であって、前記探針部（６）
と、螺旋溝（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ）により形
成した螺旋バネ（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ）と、
を一体に有するブロック（２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２
ｅ）を備え、前記探針部（６）が前記螺旋バネ（５ａ、
５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ）に基づき前記被測定物に加圧
して接触すると共に、前記一体の探針部（６）及び螺旋
バネ（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ）を通って前記被
測定物の電気信号を取り出してなる、ことを特徴とする
測定用プローブ（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ）にあ
る。

【０００８】請求項２に係る本発明は（例えば図１ない
し図８参照）、前記探針部（６）が前記被測定物に接触
・加圧して該被測定物の電気信号を取り出す際、前記螺
旋溝（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ）を閉じて、前記
電気信号が、互いに接触する前記螺旋バネ（５ａ、５
ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ）を通って前記加圧方向に直接流
れてなる、請求項１記載の測定用プローブ（１ａ、１
ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ）にある。

【０００９】請求項３に係る本発明は（例えば図１ない
し図５参照）、前記ブロック（２ａ、２ｂ）は、全周に
傾斜した外側面（７ａ、７ｂ）を有する立体形状からな
り、前記螺旋溝はＶ溝（３ａ、３ｂ）であって、前記Ｖ
溝の一の面（１０ａ、１０ｂ）が前記加圧方向と平行で
あると共に、前記Ｖ溝の頂点（１１ａ、１１ｂ）が前記
傾斜した外側面（７ａ、７ｂ）上または内側面（１２
ａ、１２ｂ）上に存してなり、かつ前記螺旋バネ（５
ａ、５ｂ）は、該螺旋の周方向に隣り合う前記螺旋バネ
（５ａ、５ｂ）同士が前記Ｖ溝の一の面（１０ａ、１０
ｂ）を介して前記加圧方向に対し接触・維持してなる、
請求項２記載の測定用プローブ（１ａ、１ｂ）にある。

【００１０】請求項４に係る本発明は（例えば図１ない
し図３、及び図６、図７参照）、前記ブロック（２ｃ、
２ｄ）は、前記螺旋溝（３ｃ、３ｄ）の向かい合う切断
面（１３ｃ、１３ｄ）が平行部分を有するように形成し
た螺旋バネ（５ｃ、５ｄ）を有してなる、請求項１また
は２記載の測定用プローブ（１ｃ、１ｄ）にある。

【００１１】請求項５に係る本発明は（例えば図１ない
し図６参照）、前記ブロック（２ａ、２ｂ、２ｃ）は、
略円錐形状からなる、請求項１ないし４いずれか記載の
測定用プローブ（１ａ、１ｂ、１ｃ）にある。

【００１２】請求項６に係る本発明は（例えば図１ない
し図３、図７、及び図８参照）、前記ブロック（２ｄ、
２ｅ）は、上面及び底面が略同一形状である立体形状か
らなる、請求項１、２または４記載の測定用プローブ
（１ｄ、１ｅ）にある。

【００１３】請求項７に係る本発明は（例えば図１ない
し図８参照）、前記ブロック（２ａ、２ｂ、２ｃ、２
ｄ、２ｅ）は、ベリリウム銅、リン青銅またはステンレ
ス鋼からなる、請求項１ないし６いずれか記載の測定用
プローブ（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ）にある。

【００１４】請求項８に係る本発明は（例えば図１ない
し図８参照）、探針部（６）が被測定物に接触・加圧
し、前記被測定物の電気信号を取り出す測定用プローブ
（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ）の製造方法におい
て、導電性を有する金属であって、前記探針部（６）
と、薄板（１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅ）
で囲まれた中空部（１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、
１４ｅ）とを有するブロック部材（１５ａ、１５ｂ、１
５ｃ、１５ｄ、１５ｅ）を形成する工程と、螺旋溝（３
ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ）を前記薄板（１７ａ、１
７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅ）に形成することにより
螺旋バネ（５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ）を形成する
工程と、を備え、前記測定用プローブ（１ａ、１ｂ、１
ｃ、１ｄ、１ｅ）は、前記探針部（６）が前記被測定物
に接触・加圧して該被測定物の電気信号を取り出す際、
前記探針部（６）が前記螺旋バネ（５ａ、５ｂ、５ｃ、
５ｄ、５ｅ）に基づき前記被測定物に加圧して接触する
と共に、前記一体の探針部（６）及び螺旋バネ（５ａ、
５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ）を通って前記被測定物の電気
信号を取り出してなる、ことを特徴とする測定用プロー
ブ（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ）の製造方法にあ
る。

【００１５】請求項９に係る本発明は（例えば図４及び
図５参照）、前記ブロック部材（１５ａ、１５ｂ）を形
成する工程は、全周に傾斜した外側面（７ａ、７ｂ）を
有する立体形状を前記ブロック部材（１５ａ、１５ｂ）
に形成し、前記螺旋バネ（５ａ、５ｂ）を形成する工程
は、Ｖ溝（３ａ、３ｂ）であって、前記Ｖ溝の一の面
（１０ａ、１０ｂ）が前記加圧方向と平行であると共
に、前記Ｖ溝の頂点（１１ａ、１１ｂ）が前記傾斜し外
側面（７ａ、７ｂ）上または内側面（１２ａ、１２ｂ）
上に存する前記螺旋溝を、前記薄板（１７ａ、１７ｂ）
に形成し、前記螺旋バネ（５ａ、５ｂ）を、該螺旋の周
方向に隣り合う前記螺旋バネ（５ａ、５ｂ）同士が前記
Ｖ溝の一の面（１０ａ、１０ｂ）を介して前記加圧方向
に対し接触・維持するように形成して、前記探針部
（６）が前記被測定物に接触・加圧して該被測定物の電
気信号を取り出す際、前記螺旋溝（３ａ、３ｂ）を閉じ
て、前記電気信号が、互いに接触する前記螺旋バネ（５
ａ、５ｂ）を通って前記加圧方向に直接流れてなる、請
求項８記載の測定用プローブ（１ａ、１ｂ）の製造方法
にある。

【００１６】請求項１０に係る本発明は（例えば図６及
び図７参照）、前記螺旋バネ（５ｃ、５ｄ）を形成する
工程は、向かい合う切断面（１３ｃ、１３ｄ）が平行部
分を有す前記螺旋溝（３ｃ、３ｄ）を前記薄板（１７
ｃ、１７ｄ）に形成する、請求項８記載の測定用プロー
ブ（１ｃ、１ｄ）の製造方法にある。

【００１７】

【発明の効果】請求項１の発明に係る本発明によると、
被測定物から取り出された電気信号は、部品間の接触抵
抗を含まない一体の探針部と螺旋バネを通って出力され
るので、測定用プローブのインピーダンスを安定化する
ことができ、これにより安定した電気信号を取り出すこ
とができる。また該インピーダンスは、複数の部品の抵
抗などの合成からなるのではなく、一体の探針部と螺旋
バネを備えたブロックからなるので、上記インピーダン
スを小さくすることができ、これにより電気信号の減衰
を防止することができる。さらに上記測定用プローブ
は、複数の部品により構成されることなく、上記ブロッ
クからなるので、測定用プローブの小形化を図ることが
でき、これにより被測定物の狭小な端子ピッチに応ずる
ことができる。

【００１８】請求項２の発明に係る本発明によると、被
測定物から取り出された電気信号は、被測定物への加圧
によって螺旋溝が閉じることにより、螺旋バネを通るだ
けでなく、互いに接触する螺旋バネを通って加圧方向に
直接流れて出力するので、上記インピーダンスをさらに
小さくすることができ、これにより電気信号の減衰をさ
らに防止することができる。また電気信号は、上記螺旋
バネを螺旋状に通ることなく出力されるので、電気信号
の周波数が高い場合であっても、該インピーダンスのう
ちインダクタンスを略０にすることができ、これにより
電気信号の減衰をさらに防止することができる。

【００１９】請求項３の発明に係る本発明によると、螺
旋バネは、被測定物への加圧による螺旋バネの押し込み
量に拘わらず、螺旋の周方向に隣り合う螺旋バネ同士が
Ｖ溝の一の面を介して加圧方向に対し接触・維持して付
勢するストロークを有すると共に、被測定物から取り出
された電気信号は、螺旋の周方向に隣り合い接触する螺
旋バネ同士の広い接触面積を直接流れて出力するので、
上記インピーダンスを確実に小さくすることができ、こ
れにより電気信号の減衰を確実に防止できる。

【００２０】請求項４の発明に係る本発明によると、螺
旋溝の向かい合う切断面は平行部分を有し、断面が略均
一な螺旋バネが形成されるので、螺旋バネを通る電気信
号を絞ることなく、上記インピーダンスをさらに小さく
することができ、これにより電気信号の減衰をさらに防
止することができる。また電気信号を取り出す際、螺旋
溝を閉じる場合にあっては、螺旋溝の向かい合う平行部
分を有す切断面が、被測定物への加圧により該平行部分
において略全面で、かつ該加圧による荷重を受けて接触
し、被測定物から取り出された電気信号は、該荷重を受
けて接触する面を通って出力するので、上記インピーダ
ンスを確実に小さくすることができ、これにより電気信
号の減衰を確実に防止することができる。

【００２１】請求項５の発明に係る本発明によると、上
記ブロックは、略円錐形状からなり、該ブロックが有す
る螺旋バネは、略円錐形状の異形状に形成されるので、
螺旋バネの機械的寿命を向上することができ、これによ
り測定用プローブの耐久性を向上することができる。ま
た、Ｖ溝より形成された螺旋バネにあっては、Ｖ溝形状
の均一なバネからなる螺旋バネが形成されるので、螺旋
の周方向に隣り合う螺旋バネ同士が接触・維持するスト
ロークを長くすることができ、これにより上記インピー
ダンスをさらに確実に小さくすることができる。

【００２２】請求項６の発明に係る本発明によると、上
記ブロックは、上面及び底面が略同一形状である立体形
状からなり、該ブロックが有する螺旋バネは、該螺旋バ
ネの板幅方向を加圧方向と略平行に付勢し、バネ強度の
大きい螺旋バネが形成されるので、螺旋バネの機械的寿
命を向上することができ、これにより測定用プローブの
耐久性を向上することができる。

【００２３】請求項７の発明に係る本発明によると、上
記ブロックは、ベリリウム銅、リン青銅またはステンレ
ス鋼からなるので、螺旋バネの機械的寿命を向上するこ
とができ、これにより測定用プローブの耐久性をさらに
向上することができる。

【００２４】請求項８の発明に係る本発明によると、測
定用プローブは、導電性を有する金属であって、探針部
と、薄板で囲まれた中空部とを有するブロック部材が形
成され、該薄板に螺旋溝を形成することにより螺旋バネ
が形成されて製造されるので、複数の部品より構成され
ることなく、探針部と、螺旋バネとを一体に有すブロッ
クからなる測定用プローブを製造することができ、これ
により測定用プローブを構成する部品数を削減すること
ができ、製造コストを低減することができる。また、上
記螺旋バネの形状を変更することより、螺旋バネのバネ
強度を自在に変更することができる。

【００２５】請求項９の発明に係る本発明によると、螺
旋溝は、全周に傾斜した外側面を有する立体形状から形
成されたブロック部材の薄板に、Ｖ溝の一の面が加圧方
向と平行であると共にＶ溝の頂点が上記傾斜した外側面
上または内側面上に存するように形成されるので、Ｖ溝
のピッチを変更することにより、螺旋バネのバネ強度を
確実かつ自在に変更することができる。

【００２６】請求項１０の発明に係る本発明によると、
螺旋溝は向かい合う切断面が平行部分を有するように薄
板に形成されるので、螺旋溝のピッチを変更することに
より、螺旋バネのバネ強度を確実かつ自在に変更するこ
とができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る測定用プロー
ブ１を第１の実施の形態ないし第５の実施の形態に沿っ
て説明する。

【００２８】＜第１の実施の形態＞本発明に係る測定用
プローブを用いた測定装置の構成について図１ないし図
３に沿って説明する。

【００２９】図１は、本発明に係る測定用プローブを用
いた片側可動型の測定装置の一例を示す概略断面図であ
る。片側可動型の測定装置２０ａは、探針部６を有す測
定用プローブ１ａ、基板２１ａ、及びボード２２を備え
ており、上記測定用プローブ１ａは、基板２１ａ上に半
田２３などで固着されており、該半田２３を介して被測
定物の電気信号を出力する配線２９が接続され、該配線
２９は、基板２１ａに穿設された基盤穴部２４を通り、
上記電気信号を出力する不図示の出力装置に接続されて
いる。さらに測定用プローブ１ａは、探針部６を図面上
方に向けて、不図示の被測定物に応じた所定ピッチＰを
介し、かつ該被測定物に応じて（例えば電子部品の端子
数に応じて）複数個が直列に配置されており、該所定ピ
ッチＰと略同間隔でボード穴部２８が穿設されたボード
２２は、探針部６が該ボード穴部２８から突出し、かつ
ボード穴部２８と干渉しないように支持されている。

【００３０】図２は、本発明に係る測定用プローブを用
いた両側可動型の測定装置の一例を示す概略断面図であ
る。両側可動型の測定装置２０ｂは、上述同様に測定用
プローブ１ａ、基板２１ｂ、及びボード２２を備えてい
る。測定用プローブ１ａは、探針部６の外周を囲むよう
に延出形成された受け部２７と、探針部６に対し反対側
に嵌入された裏面探針部２５を備えており、上記出力装
置に接続される不図示の配線が接続されていると共に、
裏面探針部２５を介して基板２１ｂ上に固着されてい
る。該固着された測定用プローブ１ａは、図１と同様に
探針部６を図２上方に向けて、被測定物に応じた所定ピ
ッチＰを介し、かつ該被測定物に応じて複数個が直列に
配置されており、該所定ピッチＰと略同間隔でボード穴
部２８が穿設されたボード２２は、探針部６が該ボード
穴部２８から突出し、かつボード穴部２８と干渉しない
ように、さらに受け部２７がボード２２の内側に当接さ
れた状態で支持されている。一方、上記裏面探針部２５
は、該所定ピッチＰと略同間隔で基板２１ｂに穿設され
た基板穴部２４から突出し、かつ基板穴部２４と干渉し
ないように配設されている。

【００３１】図３は、本発明に係る測定用プローブを用
いた脱着型の測定装置の一例を示す概略断面図である。
脱着型の測定装置２０ｃは、上述同様に測定用プローブ
１ａ、基板２１ｃ、及びボード２２を備えている。該測
定用プローブ１ａは、探針部６に対し反対側に嵌入され
た脱着自在の脱着部２６を備えており、脱着部２６に接
続された配線２９は、図１と同様に基板２１ｃに穿設さ
れた基盤穴部２４を通り不図示の出力装置に接続されて
いる。さらに測定用プローブ１ａは、脱着部２６を介し
て基板２１ｃ上に固着されると共に、図１と同様に探針
部６を図面上方に向けて、不図示の被測定物に応じた所
定ピッチＰを介し、かつ該被測定物に応じた複数個が直
列に配置されている。該所定ピッチＰと略同間隔でボー
ド穴部２８が穿設されたボード２２は、探針部６が該ボ
ード穴部２８から突出し、かつボード穴部２８と干渉し
ないように支持されている。

【００３２】また上述した測定装置２０ａ、２０ｂ、２
０ｃにおいて、上記所定ピッチＰは、高密度実装用パッ
ケージの端子ピッチに応じるような所定間隔であり、例
えば該ピッチが１〜１．５［ｍｍ］のＢＧＡ（Ｂａｌｌ
Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）のみならず、０．８［ｍｍ］
以下のＦＢＧＡ（Ｆｉｎｅ−ｐｉｔｃｈ ＢａｌｌＧｒ
ｉｄ Ａｒｒａｙ）などのＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ
Ｐａｃｋａｇｅ）に応じた所定間隔である。

【００３３】ついで、第１の実施の形態に係る測定用プ
ローブ１ａの構成について説明する。

【００３４】図４は、本発明に係る測定用プローブの第
１の実施の形態を示す側面図であり、（ａ）は自由状態
の螺旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを示
す図である。第１の実施の形態に係る測定用プローブ１
ａは、図４（ａ）に示すように、被測定物への加圧・接
触する探針部６がその略頂点に突出形成された略円錐形
状のブロック２ａからなり、該ブロック２ａは円錐形状
の内側面１２ａからなる中空部１４ａを有している。さ
らにブロック２ａの外側面７ａには、螺旋溝としてＶ溝
３ａが探針部６を中心として螺旋状に形成されている。
つまり測定用プローブ１ａは、探針部６と、Ｖ溝（螺旋
溝）３ａにより形成された螺旋バネ５ａとを一体に有す
ブロック２ａを備えている。なお、図４（ａ）に示すよ
うに、Ｖ溝３ａが略一定の角度で外側面７ａ上を図面上
方から降下するように形成される一例を示したが、これ
に限らずＶ溝３ａは、探針部６を中心として螺旋状に形
成されるものであればいずれのものであってもよく、例
えば上記角度が降下と共に次第に増加、あるいは減少す
るように変化させて、Ｖ溝３ａを形成してもよい。

【００３５】外側面７ａ上に形成されたＶ溝３ａは、図
４（ａ）に示すように、被測定物への加圧方向（図４の
上方向）と平行である垂直面（Ｖ溝の一の面）１０ａ
と、傾斜面１６ａとからなる。該垂直面１０ａは、同図
下側の端部である垂直端部１８ａを有し、また該傾斜面
１６ａは、内周側の端部である傾斜端部１９ａを有し、
さらにＶ溝の頂点１１ａは、これら垂直端部１８ａと傾
斜端部１９ａとからなる。即ちＶ溝３ａは、上記Ｖ溝の
頂点１１ａが内側面１２ａ上に存してなり、探針部６を
中心としてＶ溝の頂点１１ａを介し螺旋状に接触してい
る。つまりブロック２ａは、Ｖ溝３ａにより探針部６を
中心として螺旋状に形成された螺旋バネ５ａを有すると
共に、該螺旋の周方向に隣り合う螺旋バネ５ａが、Ｖ溝
の頂点１１ａを介して接触・維持している。

【００３６】なお図４に示すように、上記Ｖ溝３ａの角
度、つまり垂直面１０ａと傾斜面１６ａからなる角度が
垂直である一例を示したが、垂直面１０ａが上記加圧方
向と平行あればいずれのものであってもよく、例えば上
記角度が鋭角であっても、あるいは鈍角であってもよ
い。また、図４に示すように内側面１２ａと、外側面７
ａとが平行であるブロック２ａの一例を示したが、Ｖ溝
の頂点１１ａが内側面１２ａ上に存していればいずれの
ものであってもよく、例えば内側面１２ａと、外側面７
ａとが平行でない（つまり厚さが一定でない）ブロック
２ａであってもよい。

【００３７】上記図４に示すブロック２ａは、ベリリウ
ム銅、リン青銅、またはステンレス鋼など金属材料によ
り形成され、螺旋バネ５ａの機械的寿命を向上すること
ができ、これにより測定用プローブ１ａの耐久性を向上
することができる。なお、被測定物に接触・加圧し得る
バネ強度と、電気信号の減衰を防止し得る導電性とを有
する金属であれば、これに限らず本発明に適用すること
ができる。また、被測定物に対する探針部６の接触抵抗
が安定する材料が好ましいが、該接触抵抗が安定しない
材料であっても、金メッキなどの貴金属メッキを施すこ
とにより本発明に適用することも可能である。

【００３８】ついで、第１の実施の形態に係る測定用プ
ローブ１ａの製造方法について説明する。

【００３９】まず、上述した金属材料から、全周に傾斜
した外側面７ａを有す立体形状として、例えば高さ１
［ｍｍ]の円錐形状を加工すると共に、円錐形状の略頂
点に探針部６を形成し、さらに該円錐形状の大形側（つ
まり底面側）から上記円錐形状と頂点の立体角が略同じ
円錐形状からなる中空部１４ａを形成する。つまり第１
の工程において、上記探針部６と、内側面１２ａと外側
面７ａ（図４（ａ）に示す一点破線を含む）からなり、
かつその板厚が例えば０．０３〜０．０５[ｍｍ］の薄
板１７ａで囲まれた中空部１４ａと、を有すブロック部
材１５ａを形成する。なお上記探針部６の形状は、図４
（ａ）に示す形状に限る必要はなく、被測定物の端子形
状などに応じた形状とすることが接触安定上好ましい。

【００４０】次に上記薄板１７ａに、Ｖ溝（螺旋溝）３
ａを、垂直面（Ｖ溝の一の面）１０ａが上記加圧方向と
平行であると共に、Ｖ溝の頂点１１ａが内側面１２ａ上
に存するように加工する。つまり第２の工程において、
Ｖ溝（螺旋溝）３ａを薄板１７ａに形成することにより
螺旋バネ５ａを形成する。なお、上記加工は上述した寸
法の加工が可能であればいずれの加工方法を採用しても
よく、例えば切削加工、放電加工、あるいはエッチング
加工などでもよい。

【００４１】ついで、第１の実施の形態に係る測定用プ
ローブ１ａの作用について図４（ｂ）に沿って説明す
る。

【００４２】例えば、図１に示す片側可動型の測定装置
２０ａにおいて、複数配置された測定用プローブ１ａの
探針部６が不図示の被測定物に接触・加圧すると、螺旋
バネ５ａは、図４（ｂ）に示すように例えばＦ方向の荷
重を受ける。荷重を受けた螺旋バネ５ａは、Ｆ方向の荷
重に対し付勢しながら、螺旋の周方向に隣り合う内周側
の螺旋バネ５ａが、外周側の螺旋バネ５ａ内に沈み込む
ように撓む。この際、垂直端部１８ａが傾斜端部１９ａ
と離れＦ方向に移動するが、垂直面１０ａは、傾斜端部
１９ａと離れることなく傾斜端部１９ａ上を摺動し、垂
直面１０ａのＦ方向の長さを螺旋バネ５ａのストローク
としてその接触を維持する。つまり、探針部６が被測定
物に接触・加圧して該被測定物の電気信号を取り出す
際、螺旋バネ５ａが付勢すると共に、Ｖ溝（螺旋溝）３
ａが閉じるように構成され、さらに螺旋バネ５ａは、螺
旋の周方向に隣り合う螺旋バネ５ａ同士が垂直面（Ｖ溝
の一の面）１０ａを介して上記加圧方向に対し接触・維
持する。

【００４３】そして被測定物の電気信号は、被測定物に
接触・加圧した探針部６から螺旋バネ５ａ内に流れ込
み、上述したように接触が維持される垂直面１０ａと傾
斜端部１９ａを介して、螺旋バネ５ａを螺旋状に流れる
ことなく（つまり電流が周回して螺旋バネがコイルとな
ることなく）、互いに接触する螺旋バネ５ａを（接触す
る螺旋バネ５ａ同士の広い接触面積を）通って加圧方向
に直接流れ、また上述した金属材料からなるブロック２
ａのみを介して（つまり部品間の接触抵抗を介さず）、
薄板１７ａの図４下方の下端から出力する。即ち、測定
用プローブ１ａのインピーダンスは、僅か高さ１[ｍ
ｍ］の金属材料からなるブロック２ａからなり、部品間
の接触抵抗を含まないだけでなく、インダクタンスＬ
［Ｈ］をも含まないものである。

【００４４】なお、図２に示す両側可動型の測定装置２
０ｂにおいては、各探針部６が、上記片側可動型の測定
装置２０ａと同様に、ボード２２上方（図面上方）に位
置する不図示の被測定物に接触・加圧すると共に、探針
部６と反対側に配設された裏面探針部２５が、ボード２
２内側に当接された受け部２７が支持されて、基板２１
ｂ下方（図面下方）に位置する不図示の被測定物に接触
・加圧して電気信号を取り出す。また、図３に示す脱着
型の測定装置２０ｃにおいても、例えば被測定物の端子
形状の変更などに伴いこれに応じた測定用プローブ１ａ
に脱着・交換し、上述した片側可動型の測定装置２０ａ
と同様に、測定用プローブ１ａの各探針部６が、ボード
２２上方（図面上方）に位置する不図示の被測定物に接
触・加圧して電気信号を取り出す。

【００４５】以上のように、第１の実施の形態に係る測
定用プローブ１ａによると、被測定物から取り出された
電気信号は、部品間の接触抵抗を含まない一体の探針部
６及び螺旋バネ５ａを通って出力されるので、測定用プ
ローブ１ａのインピーダンスを安定化することができ、
これにより安定した電気信号を取り出すことができる。
また該インピーダンスは、複数の部品の抵抗などの合成
からなるのではなく、一体の探針部６及び螺旋バネ５ａ
を備えたブロック２ａからなるので、上記インピーダン
スを小さくすることができ、これにより電気信号の減衰
を防止することができる。さらに上記測定用プローブ１
ａは、複数の部品により構成されることなく、上記ブロ
ック２ａからなるので、測定用プローブ１ａの小形化を
図ることができ、これにより被測定物の狭小な端子ピッ
チ（例えば上述したＢＧＡ、ＣＳＰなどの高密度実装用
パッケージの端子ピッチ）に応ずることができる。

【００４６】また、被測定物から取り出された電気信号
は、被測定物への加圧によってＶ溝（螺旋溝）３ａが閉
じることにより、螺旋バネ５ａを通るだけでなく、互い
に接触する螺旋バネ５ａを通って加圧方向に直接流れて
出力するので、上記インピーダンスをさらに小さくする
ことができ、これにより電気信号の減衰をさらに防止す
ることができる。また電気信号は、上記螺旋バネ５ａを
螺旋状に通ることなく出力されるので、電気信号の周波
数が高い場合であっても、該インピーダンスのうちイン
ダクタンスＬ[Ｈ]を略０にすることができ、これにより
電気信号の減衰をさらに防止することができる。

【００４７】さらに螺旋バネ５ａは、被測定物への加圧
による螺旋バネ５ａの押し込み量に拘わらず、螺旋の周
方向に隣り合う螺旋バネ５ａ同士が垂直面（Ｖ溝３ａの
一の面）１０ａを介して加圧方向に対し接触・維持して
付勢するストロークを有すると共に、被測定物から取り
出された電気信号は、螺旋の周方向に隣り合い接触する
螺旋バネ５ａ同士の広い接触面積を直接流れて出力する
ので、上記インピーダンスを確実に小さくすることがで
き、これにより電気信号の減衰を確実に防止できる。

【００４８】また上記ブロック２ａは、略円錐形状から
なり、該ブロック２ａが有する螺旋バネ５ａは、略円錐
形状の異形状に形成されるので、螺旋バネ５ａの機械的
寿命を向上することができ、これにより測定用プローブ
１ａの耐久性を向上することができる。また、Ｖ溝３ａ
より形成された螺旋バネ５ａにあっては、Ｖ溝形状の均
一なバネからなる螺旋バネ５ａが形成されるので、螺旋
の周方向に隣り合う螺旋バネ５ａ同士が接触・維持する
ストロークを長くすることができ、これにより上記イン
ピーダンスをさらに確実に小さくすることができる。

【００４９】また測定用プローブ１ａは、導電性を有す
る金属であって、探針部６と、薄板１７ａで囲まれた中
空部１４ａと、を有するブロック部材１５ａが形成さ
れ、該薄板１７ａにＶ溝（螺旋溝）３ａを形成すること
により螺旋バネ５ａが形成されて製造されるので、複数
の部品より構成されることなく、探針部６及び螺旋バネ
５ａを一体に有すブロック２ａからなる測定用プローブ
１ａを製造することができ、これにより測定用プローブ
１ａを構成する部品数を削減することができ、製造コス
トを低減することができる。また、上記螺旋バネ５ａの
形状（例えば薄板１７ａの板厚）を変更することによ
り、螺旋バネ５ａのバネ強度を自在に変更することがで
きる。さらに、螺旋溝としてＶ溝３ａを形成することに
よる螺旋バネ５ａの形成にあっては、Ｖ溝３ａのピッチ
（Ｖ溝３ａ間の間隔）を変更することにより、螺旋バネ
５ａのバネ強度を確実かつ自在に変更することができ
る。

【００５０】なお、上述したブロック２ａは、円錐形状
からなる一例を示したが、これに限らず全周に傾斜した
外側面を有する立体形状からなるものであれば、いずれ
のものであってもよく、例えば角錐、側断面が台形とな
るように上部をスライスした円錐、並びに半球でもよ
い。また探針部６は、必ずしも円錐、角錐などの頂点を
形成する必要もなく、例えば探針部６を円錐、角錐など
の底面に配置しその上下方向を反転したものでもよい。

【００５１】＜第２の実施の形態＞ついで、上記第１の
実施の形態を一部変更した第２の実施の形態について説
明する。なお、本第２の実施の形態においては、一部変
更部分を除き、同様な部分はその説明を省略する。

【００５２】まず、第２の実施の形態に係る測定用プロ
ーブ１ｂの構成について図５に沿って説明する。

【００５３】図５は、本発明に係る測定用プローブの第
２の実施の形態を示す側断面図であり、（ａ）は自由状
態の螺旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを
示す図である。第２の実施の形態に係る測定用プローブ
１ｂは、図５（ａ）に示すように、被測定物への加圧・
接触する探針部６がその略頂点に突出形成された略円錐
形状のブロック２ｂからなり、該ブロック２ｂは円錐状
の内側面１２ｂからなる中空部１４ｂを有しており、第
１の実施の形態で説明した測定用プローブ１ａと異な
り、ブロック２ｂの内側面１２ｂに、螺旋溝としてＶ溝
３ｂが探針部６を中心として螺旋状に形成されている。
つまり測定用プローブ１ｂは、探針部６と、Ｖ溝（螺旋
溝）３ｂにより形成された螺旋バネ５ｂとを一体に有す
ブロック２ｂを備えている。

【００５４】内側面１２ｂ上に形成されたＶ溝３ｂは、
図５（ａ）に示すように、被測定物への加圧方向（図５
の上方向）と平行である垂直面（Ｖ溝の一の面）１０ｂ
と、傾斜面１６ｂとからなる。該垂直面１０ｂは、同図
上側の端部である垂直端部１８ｂを有し、また該傾斜面
１６ｂは、外周側の端部である傾斜端部１９ｂを有し、
さらにＶ溝の頂点１１ｂは、これら垂直端部１８ｂと傾
斜端部１９ｂとからなる。即ちＶ溝３ｂは、上記Ｖ溝の
頂点１１ｂが外側面７ｂ上に存してなり、探針部６を中
心としてＶ溝の頂点１１ｂを介し螺旋状に接触してい
る。つまりブロック２ｂは、第１の実施の形態と同様
に、Ｖ溝３ｂにより探針部６を中心として螺旋状に形成
された螺旋バネ５ｂを有すると共に、該螺旋の周方向に
隣り合う螺旋バネ５ｂが、Ｖ溝の頂点１１ｂを介して接
触・維持している。

【００５５】なお図５に示すように、上記Ｖ溝３ｂの角
度、つまり垂直面１０ｂと傾斜面１６ｂからなる角度が
垂直である一例を示したが、垂直面１０ｂが上記加圧方
向と平行であればいずれのものであってもよく、例えば
上記角度が鋭角であっても、あるいは鈍角であってもよ
い。また、図５に示すように内側面１２ｂと、外側面７
ｂとが平行であるブロック２ｂの一例を示したが、Ｖ溝
の頂点１１ｂが外側面７ｂ上に存していればいずれのも
のであってもよく、内側面１２ｂと、外側面７ｂとが平
行でない（つまり厚さが一定でない）ブロック２ｂであ
ってもよい。

【００５６】第２の実施の形態に係る測定用プローブ１
ｂの製造方法は、第１工程において、第１の実施の形態
で説明した測定用プローブ１ａと同様に、探針部６と、
内側面１２ｂと外側面７ｂ（図５（ａ）に示す一点破線
を含む）からなり薄板１７ｂで囲まれた中空部１４ｂ
と、を有すブロック部材１５ｂを形成し、該ブロック部
材１５ｂが有す薄板１７ｂに、Ｖ溝（螺旋溝）３ｂを、
垂直面（Ｖ溝の一の面）１０ｂが上記加圧方向と平行で
あると共に、Ｖ溝の頂点１１ｂが外側面７ｂ上に存する
ように加工する。つまり第２の工程において、Ｖ溝（螺
旋溝）３ｂを薄板１７ｂに形成することにより螺旋バネ
５を形成する。

【００５７】ついで、第２の実施の形態に係る測定用プ
ローブ１ｂの作用について図５（ｂ）に沿って説明す
る。

【００５８】探針部６が不図示の被測定物に接触・加圧
すると、螺旋バネ５ｂは、図５（ｂ）に示すように例え
ばＦ方向の荷重を受ける。荷重を受けた螺旋バネ５ｂ
は、第１の実施の形態で説明した測定用プローブ１ａと
同様に、Ｆ方向の荷重に対し付勢しながら、螺旋の周方
向に隣り合う内周側の螺旋バネ５ｂが、外周側の螺旋バ
ネ５ｂ内に沈み込むように撓む。この際、傾斜端部１９
ｂが垂直端部１８ｂと離れＦ方向に移動するが、垂直面
１０ｂは、傾斜端部１９ｂと離れることなく傾斜端部１
９ｂ上を摺動し、垂直面１０ｂのＦ方向の長さをストロ
ークとしてその接触を維持する。つまり、探針部６が被
測定物に接触・加圧して該被測定物の電気信号を取り出
す際、螺旋バネ５ｂが付勢すると共に、Ｖ溝（螺旋溝）
３ｂが閉じるように構成され、さらに螺旋バネ５ｂは、
第１の実施の形態と同様に、螺旋の周方向に隣り合う螺
旋バネ５ｂ同士が垂直面（Ｖ溝の一の面）１０ｂを介し
て上記加圧方向に対し接触・維持する。

【００５９】そして被測定物の電気信号は、被測定物に
接触・加圧した探針部６から入力されて螺旋バネ５ｂ内
に流れ込み、上述したように接触が維持される垂直面１
０ｂと傾斜端部１９ｂを介して、螺旋バネ５ｂを螺旋状
に通過することなく（つまり電流が周回して螺旋バネが
コイルとなることなく）、互いに接触する螺旋バネ５ｂ
を（接触する螺旋バネ５ｂ同士の広い接触面積を）通っ
て加圧方向に直接流れ、また上述した金属材料からなる
ブロック２ｂのみを介して（つまり部品間の接触抵抗を
介さず）、薄板１７ｂの図５下方の下端から出力され
る。即ち、測定用プローブ１ｂのインピーダンスは、僅
か高さ１[ｍｍ］の金属材料からなるブロック２ｂから
なり、部品間の接触抵抗を含まないだけでなく、インダ
クタンスＬ［Ｈ］をも含まないものである。

【００６０】以上のように、第２の実施の形態に係る測
定用プローブ１ｂによると、被測定物から取り出された
電気信号は、部品間の接触抵抗を含まない一体の探針部
６及び螺旋バネ５ｂを通って出力されるので、測定用プ
ローブ１ｂのインピーダンスを安定化することができ、
これにより安定した電気信号を取り出すことができる。
また該インピーダンスは、複数の部品の抵抗などの合成
からなるのではなく、一体の探針部６及び螺旋バネ５ｂ
を備えたブロック２ｂからなるので、上記インピーダン
スを小さくすることができ、これにより電気信号の減衰
を防止することができる。さらに上記測定用プローブ１
ｂは、複数の部品により構成されることなく、上記ブロ
ック２ｂからなるので、測定用プローブ１ｂの小形化を
図ることができ、これにより被測定物の狭小な端子ピッ
チ（例えば上述したＢＧＡ、ＣＳＰなどの高密度実装用
パッケージの端子ピッチ）に応ずることができる。

【００６１】また、被測定物から取り出された電気信号
は、被測定物への加圧によってＶ溝（螺旋溝）３ｂが閉
じることにより、螺旋バネ５ｂを通るだけでなく、互い
に接触する螺旋バネ５ｂを通って加圧方向に直接流れて
出力するので、上記インピーダンスをさらに小さくする
ことができ、これにより電気信号の減衰をさらに防止す
ることができる。また電気信号は、上記螺旋バネ５ｂを
螺旋状に通ることなく出力されるので、電気信号の周波
数が高い場合であっても、該インピーダンスのうちイン
ダクタンスＬ[Ｈ]を略０にすることができ、これにより
電気信号の減衰をさらに防止することができる。

【００６２】さらに螺旋バネ５ｂは、被測定物への加圧
による螺旋バネ５ｂの押し込み量に拘わらず、螺旋の周
方向に隣り合う螺旋バネ５ｂ同士が垂直面（Ｖ溝３ｂの
一の面）１０ｂを介して加圧方向に対し接触・維持して
付勢するストロークを有すると共に、被測定物から取り
出された電気信号は、螺旋の周方向に隣り合い接触する
螺旋バネ５ｂ同士の広い接触面積を直接流れて出力する
ので、上記インピーダンスを確実に小さくすることがで
き、これにより電気信号の減衰を確実に防止できる。

【００６３】また上記ブロック２ｂは、略円錐形状から
なり、該ブロック２ｂが有する螺旋バネ５ｂは、略円錐
形状の異形状に形成されるので、螺旋バネ５ｂの機械的
寿命を向上することができ、これにより測定用プローブ
１ｂの耐久性を向上することができる。また、Ｖ溝３ｂ
より形成された螺旋バネ５ｂにあっては、Ｖ溝形状の均
一なバネからなる螺旋バネ５ｂが形成されるので、螺旋
の周方向に隣り合う螺旋バネ５ｂ同士が接触・維持する
ストロークを長くすることができ、これにより上記イン
ピーダンスをさらに確実に小さくすることができる。

【００６４】また測定用プローブ１ｂは、導電性を有す
る金属であって、探針部６と、薄板１７ｂで囲まれた中
空部１４ｂと、を有するブロック部材１５ｂが形成さ
れ、該薄板１７ｂにＶ溝（螺旋溝）３ｂを形成すること
により螺旋バネ５ｂが形成されて製造されるので、複数
の部品より構成されることなく、探針部６及び螺旋バネ
５ｂを一体に有すブロック２ｂからなる測定用プローブ
１ｂを製造することができ、これにより測定用プローブ
１ｂを構成する部品数を削減することができ、製造コス
トを低減することができる。また、上記螺旋バネ５ｂの
形状（例えば薄板１７ｂの板厚）を変更することによ
り、螺旋バネ５ｂのバネ強度を自在に変更することがで
きる。さらに、螺旋溝としてＶ溝３ｂを形成することに
よる螺旋バネ５ｂの形成にあっては、Ｖ溝３ｂのピッチ
（Ｖ溝３ｂ間の間隔）を変更することにより、螺旋バネ
５ｂのバネ強度を確実かつ自在に変更することができ
る。

【００６５】＜第３の実施の形態＞ついで、上記第１の
実施の形態を一部変更した第３の実施の形態について説
明する。なお、本第３の実施の形態においては、第２の
実施の形態と同様に、一部変更部分を除き同様な部分は
その説明を省略する。

【００６６】まず、第３の実施の形態に係る測定用プロ
ーブ１ｃの構成について図６に沿って説明する。

【００６７】図６は、本発明に係る測定用プローブの第
３の実施の形態を示す側面図であり、（ａ）は自由状態
の螺旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを示
す図である。第３の実施の形態に係る測定用プローブ１
ｃは、図６（ａ）に示すように、被測定物への加圧・接
触する探針部６がその略頂点に突出形成された略円錐形
状のブロック２ｃからなり、該ブロック２ｃは、円錐状
の内側面１２ｃからなる中空部１４ｃを有しており、第
１及び第２の実施の形態で説明した測定用プローブ１
ａ、１ｂと異なり、外側面７ｃ・内側面１２ｃ間を穿設
した螺旋溝３ｃが、探針部６を中心として螺旋状に形成
されており、さらに上記螺旋溝３ｃは、図６（ａ）に示
すように向かい合う平行な切断面１３ｃ、１３ｃを有し
ている。つまり上記ブロック２ｃは、螺旋溝３ｃの向か
い合う切断面１３ｃ、１３ｃが平行部分を有するように
（切断面１３ｃ、１３ｃ全体が平行部分になるように）
形成された螺旋バネ５ｃを有している。なお図６に示す
ように、内側面１２ｃと、外側面７ｃとが平行であるブ
ロック２ｃの一例を示したが、向かい合う切断面１３
ｃ、１３ｃが平行部分を有するように形成された螺旋バ
ネ５ｃを有すものであればいずれのものであってもよ
く、内側面１２ｃと、外側面７ｃとが平行でない（つま
り厚さが一定でない）ブロック２ｃであってもよい。

【００６８】第３の実施の形態に係る測定用プローブ１
ｃの製造方法は、第１工程において、探針部６と、内側
面１２ｃと外側面７ｃ（図６（ａ）に示す一点破線を含
む）からなり薄板１７ｃで囲まれた中空部１４ｃと、を
有すブロック部材１５ｃを形成し、第２の工程におい
て、第１及び第２の実施の形態で説明した測定用プロー
ブ１ａ，１ｂと異なり、向かい合う切断面１３ｃ、１３
ｃが平行部分を有す螺旋溝３ｃを、上記ブロック部材１
５ｃが有す薄板１７ｃに形成する。

【００６９】ついで、第３の実施の形態に係る測定用プ
ローブ１ｃの作用について図６（ｂ）に沿って説明す
る。

【００７０】探針部６が不図示の被測定物に接触・加圧
すると、螺旋バネ５ｃは、図６（ｂ）に示すように例え
ばＦ方向の荷重を受ける。荷重を受けた螺旋バネ５ｃ
は、Ｆ方向の荷重に対し付勢しながら撓み、向かい合う
平行な切断面１３ｃ、１３ｃが略全面で、上記Ｆ方向の
荷重を受けて接触することにより螺旋溝３ｃが閉じる。

【００７１】そして被測定物の電気信号は、上記付勢さ
れた螺旋バネ５ｃにより被測定物に接触・加圧した探針
部６から入力されて螺旋バネ５ｃ内に流れ込み、上述し
たように接触・加圧により閉じて接触している切断面１
３ｃ、１３ｃを介して、螺旋バネ５ｃを螺旋状に流れる
ことなく（つまり電流が周回して螺旋バネがコイルとな
ることなく）互いに接触する螺旋バネ５ｃを通って加圧
方向に直接流れ、また上述した金属材料からなるブロッ
ク２ｃのみを介して（つまり部品間の接触抵抗を介さ
ず）、薄板１７ｃの図６下方の下端から出力される。即
ち、測定用プローブ１ｃのインピーダンスは、僅か高さ
１[ｍｍ］の金属材料からなるブロック２ｃからなり、
部品間の接触抵抗を含まないだけでなく、インダクタン
スＬ［Ｈ］をも含まないものである。

【００７２】なお上述したように、螺旋溝３ｃが閉じた
状態において被測定物から電気信号を取り出す一例を示
したが、螺旋溝３ｃが閉じない状態において電気信号を
取り出す場合であっても、取り出された電気信号は、十
分な断面積を有す（つまり電気信号が絞られることな
く）探針部６及び螺旋バネ５ｃを通って、部品間の接触
抵抗を含むことなく、かつ探針部６及び螺旋バネ５ｃを
一体に有すブロック２ｃのみからなるインピーダンスを
介して、薄板１７ｃの図６下方の下端から出力される。

【００７３】以上のように、第３の実施の形態に係る測
定用プローブ１ｃによると、被測定物から取り出された
電気信号は、部品間の接触抵抗を含まない一体の探針部
６及び螺旋バネ５ｃを通って出力されるので、測定用プ
ローブ１ｃのインピーダンスを安定化することができ、
これにより安定した電気信号を取り出すことができる。
また該インピーダンスは、複数の部品の抵抗などの合成
からなるのではなく、一体の探針部６及び螺旋バネ５ｃ
を備えたブロック２ｃからなるので、上記インピーダン
スを小さくすることができ、これにより電気信号の減衰
を防止することができる。さらに上記測定用プローブ１
ｃは、複数の部品により構成されることなく、上記ブロ
ック２ｃからなるので、測定用プローブ１ｃの小形化を
図ることができ、これにより被測定物の狭小な端子ピッ
チ（例えば上述したＢＧＡ、ＣＳＰなどの高密度実装用
パッケージの端子ピッチ）に応ずることができる。

【００７４】また、被測定物から取り出された電気信号
は、被測定物への加圧によって螺旋溝３ｃが閉じること
により、螺旋バネ５ｃを通るだけでなく、互いに接触す
る螺旋バネ５ｃを通って加圧方向に直接流れて出力する
ので、上記インピーダンスをさらに小さくすることがで
き、これにより電気信号の減衰をさらに防止することが
できる。また電気信号は、上記螺旋バネ５ｃを螺旋状に
通ることなく出力されるので、電気信号の周波数が高い
場合であっても、該インピーダンスのうちインダクタン
スＬ[Ｈ]を略０にすることができ、これにより電気信号
の減衰をさらに防止することができる。

【００７５】さらに、螺旋溝３ｃの向かい合う切断面１
３ｃ、１３ｃは平行部分を有し、断面が略均一な螺旋バ
ネ５ｃが形成されるので、螺旋バネ５ｃを通る電気信号
を絞ることなく、上記インピーダンスをさらに小さくす
ることができ、これにより電気信号の減衰をさらに防止
することができる。また電気信号を取り出す際、螺旋溝
３ｃを閉じる場合にあっては、螺旋溝３ｃの向かい合う
平行部分を有す切断面１３ｃ、１３ｃが、被測定物への
加圧により該平行部分において略全面で、かつ該加圧に
よる荷重を受けて接触し、被測定物から取り出された電
気信号は、該荷重を受けて接触する面を通って出力する
ので、上記インピーダンスを確実に小さくすることがで
き、これにより電気信号の減衰を確実に防止することが
できる。そして上記ブロック２ｃは、略円錐形状からな
り、該ブロック２ｃが有する螺旋バネ５ｃは、略円錐形
状の異形状に形成されるので、螺旋バネ５ｃの機械的寿
命を向上することができ、これにより測定用プローブ１
ｃの耐久性を向上することができる。

【００７６】また測定用プローブ１ｃは、導電性を有す
る金属であって、探針部６と、薄板１７ｃで囲まれた中
空部１４ｃと、を有するブロック部材１５ｃが形成さ
れ、該薄板１７ｃに螺旋溝３ｃを形成することにより螺
旋バネ５ｃが形成されて製造されるので、複数の部品よ
り構成されることなく、探針部６及び螺旋バネ５ｃを一
体に有すブロック２ｃからなる測定用プローブ１ｃを製
造することができ、これにより測定用プローブ１ｃを構
成する部品数を削減することができ、製造コストを低減
することができる。また、上記螺旋バネ５ｃの形状（例
えば薄板１７ｃの板厚）を変更することにより、螺旋バ
ネ５ｃのバネ強度を自在に変更することができる。さら
に、切断面１３ｃ、１３ｃが平行部分を有す螺旋溝３ｃ
を形成することによる螺旋バネ５ｃの形成にあっては、
該螺旋溝３ｃのピッチ（螺旋溝３ｃ間の間隔）を変更す
ることにより、螺旋バネ５ｃのバネ強度を確実かつ自在
に変更することができる。

【００７７】＜第４の実施の形態＞ついで、上記第１の
実施の形態を一部変更した第４の実施の形態について説
明する。なお、本第４の実施の形態においては、第２及
び第３の実施の形態と同様に、一部変更部分を除き同様
な部分はその説明を省略する。

【００７８】まず、第４の実施の形態に係る測定用プロ
ーブ１ｄの構成について図７に沿って説明する。

【００７９】図７は、本発明に係る測定用プローブの第
４の実施の形態を示す側面図であり、（ａ）は自由状態
の螺旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを示
す図である。第４の実施の形態に係る測定用プローブ１
ｄは、図７（ａ）に示すように、被測定物への加圧・接
触する探針部６がその上面（図面上方）に突出形成され
た略円筒形状のブロック２ｄからなり、該ブロック２ｄ
は円筒形状の内側面１２ｄからなる中空部１４ｄを有し
ており、第３の実施の形態と同様に外側面７ｄ・内側面
１２ｄ間を穿設した螺旋溝３ｄが、上記円筒形状の中心
軸を中心として螺旋状に形成されており、さらに上記螺
旋溝３ｄは、図７（ａ）に示すように向かい合う平行な
切断面１３ｄ、１３ｄを有している。つまり上記ブロッ
ク２ｄは、螺旋溝３ｄの向かい合う切断面１３ｄ、１３
ｄが平行部分を有するように（切断面１３ｄ、１３ｄ全
体が平行部分になるように）形成された螺旋バネ５ｄを
有している。なお図７に示すように、内側面１２ｄと、
外側面７ｄとが平行であるブロック２ｄの一例を示した
が、向かい合う切断面１３ｄ、１３ｄが平行部分を有す
るように形成された螺旋バネ５ｄを有すものであれば、
いずれのものであってもよく、内側面１２ｄと、外側面
７ｄとが平行でない（つまり厚さが一定でない）ブロッ
ク２ｄであってもよい。

【００８０】第４の実施の形態に係る測定用プローブ１
ｄの製造方法は、第１工程において、第３の実施の形態
で説明した測定用プローブ１ｃと同様に、探針部６と、
内側面１２ｄと外側面７ｄ（図７（ａ）に示す一点破線
を含む）からなり薄板１７ｄで囲まれた中空部１４ｄ
と、を有すブロック部材１５ｄを形成し、第２の工程に
おいて、向かい合う切断面１３ｄ、１３ｄが平行部分を
有す螺旋溝３ｄを、上記ブロック部材１５ｄが有す薄板
１７ｄに形成する。

【００８１】ついで、第４の実施の形態に係る測定用プ
ローブ１ｄの作用について図７（ｂ）に沿って説明す
る。

【００８２】探針部６が不図示の被測定物に接触・加圧
すると、螺旋バネ５ｄは、図７（ｂ）に示すように例え
ばＦ方向の荷重を受ける。荷重を受けた螺旋バネ５ｄ
は、Ｆ方向の荷重に対し付勢しながら撓み、向かい合う
平行な切断面１３ｄ、１３ｄが略全面で、上記Ｆ方向の
荷重を受けて接触することより螺旋溝３ｄが閉じる。

【００８３】そして被測定物の電気信号は、被測定物に
接触・加圧した探針部６から入力されて螺旋バネ５ｄ内
に流れ込み、上述したように接触・加圧により閉じて接
触している切断面１３ｄ、１３ｄを介して、螺旋バネ５
ｄを螺旋状に流れることなく（つまり電流が周回して螺
旋バネがコイルとなることなく）互いに接触する螺旋バ
ネ５ｄを通って加圧方向に直接流れ、また上述した金属
材料からなるブロック２ｄのみを介して（つまり部品間
の接触抵抗を介さず）、薄板１７ｄの同図下方の下端か
ら出力される。即ち、測定用プローブ１ｄのインピーダ
ンスは、僅か高さ１[ｍｍ］の金属材料からなるブロッ
ク２ｄからなり、部品間の接触抵抗を含まないだけでな
く、インダクタンスＬ［Ｈ］をも含まないものである。

【００８４】なお上述したように、螺旋溝３ｄが閉じた
状態において被測定物から電気信号を取り出す一例を示
したが、螺旋溝３ｄが閉じない状態において電気信号を
取り出す場合であっても、取り出された電気信号は、十
分な断面積を有す（つまり電気信号が絞られることな
く）探針部６及び螺旋バネ５ｄを通って、部品間の接触
抵抗を含むことなく、かつ探針部６及び螺旋バネ５ｄを
一体に有すブロック２ｄのみからなるインピーダンスを
介して、薄板１７ｄの図７下方の下端から出力される。

【００８５】以上のように、第４の実施の形態に係る測
定用プローブ１ｄによると、被測定物から取り出された
電気信号は、部品間の接触抵抗を含まない一体の探針部
６及び螺旋バネ５ｄを通って出力されるので、測定用プ
ローブ１ｄのインピーダンスを安定化することができ、
これにより安定した電気信号を取り出すことができる。
また該インピーダンスは、複数の部品の抵抗などの合成
からなるのではなく、一体の探針部６及び螺旋バネ５ｄ
を備えたブロック２ｄからなるので、上記インピーダン
スを小さくすることができ、これにより電気信号の減衰
を防止することができる。さらに上記測定用プローブ１
ｄは、複数の部品により構成されることなく、上記ブロ
ック２ｄからなるので、測定用プローブ１ｄの小形化を
図ることができ、これにより被測定物の狭小な端子ピッ
チ（例えば上述したＢＧＡ、ＣＳＰなどの高密度実装用
パッケージの端子ピッチ）に応ずることができる。

【００８６】また、被測定物から取り出された電気信号
は、被測定物への加圧によって螺旋溝３ｄが閉じること
により、螺旋バネ５ｄを通るだけでなく、互いに接触す
る螺旋バネ５ｄを通って加圧方向に直接流れて出力する
ので、上記インピーダンスをさらに小さくすることがで
き、これにより電気信号の減衰をさらに防止することが
できる。また電気信号は、上記螺旋バネ５ｄを螺旋状に
通ることなく出力されるので、電気信号の周波数が高い
場合であっても、該インピーダンスのうちインダクタン
スＬ[Ｈ]を略０にすることができ、これにより電気信号
の減衰をさらに防止することができる。

【００８７】さらに、螺旋溝３ｄの向かい合う切断面１
３ｄ、１３ｄは平行部分を有し、断面が略均一な螺旋バ
ネ５ｄが形成されるので、螺旋バネ５ｄを通る電気信号
を絞ることなく、上記インピーダンスをさらに小さくす
ることができ、これにより電気信号の減衰をさらに防止
することができる。また電気信号を取り出す際、螺旋溝
３ｄを閉じる場合にあっては、螺旋溝３ｄの向かい合う
平行部分を有す切断面１３ｄ、１３ｄが、被測定物への
加圧により該平行部分において略全面で、かつ該加圧に
よる荷重を受けて接触し、被測定物から取り出された電
気信号は、該荷重を受けて接触する面を通って出力する
ので、上記インピーダンスを確実に小さくすることがで
き、これにより電気信号の減衰を確実に防止することが
できる。そして上記ブロック２ｄは、上面及び底面が略
同一形状である立体形状からなり、該ブロック２ｄが有
する螺旋バネ５ｄは、該螺旋バネ５ｄの板幅方向を加圧
方向と略平行に付勢し、バネ強度の大きい螺旋バネ５ｄ
が形成されるので、螺旋バネ５ｄの機械的寿命を向上す
ることができ、これにより測定用プローブ１ｄの耐久性
を向上することができる。

【００８８】また測定用プローブ１ｄは、導電性を有す
る金属であって、探針部６と、薄板１７ｄで囲まれた中
空部１４ｄと、を有するブロック部材１５ｄが形成さ
れ、該薄板１７ｄに螺旋溝３ｄを形成することにより螺
旋バネ５ｄが形成されて製造されるので、複数の部品よ
り構成されることなく、探針部６及び螺旋バネ５ｄを一
体に有すブロック２ｄからなる測定用プローブ１ｄを製
造することができ、これにより測定用プローブ１ｄを構
成する部品数を削減することができ、製造コストを低減
することができる。また、上記螺旋バネ５ｄの形状（例
えば薄板１７ｄの板厚）を変更することにより、螺旋バ
ネ５ｄのバネ強度を自在に変更することができる。さら
に、切断面１３ｄ、１３ｄが平行部分を有す螺旋溝３ｄ
を形成することによる螺旋バネ５ｄの形成にあっては、
該螺旋溝３ｄのピッチ（螺旋溝３ｄ間の間隔）を変更す
ることにより、螺旋バネ５ｄのバネ強度を確実かつ自在
に変更することができる。

【００８９】なお、上述したブロック２ｄは、円筒形状
からなる一例を示したが、これに限らず上面及び底面が
略同一形状である立体形状からなるものであれば、いず
れのものであってもよく、例えば角柱、円柱などでもよ
い。 ＜第５の実施の形態＞ついで、上記第１の実施の形態を
一部変更した第５の実施の形態について説明する。な
お、本第５の実施の形態においては、第２ないし第４の
実施の形態と同様に、一部変更部分を除き同様な部分は
その説明を省略する。

【００９０】まず、第５の実施の形態に係る測定用プロ
ーブ１ｅの構成について図８に沿って説明する。

【００９１】図８は、本発明に係る測定用プローブの第
５の実施の形態を示す側断面図であり、（ａ）は自由状
態の螺旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを
示す図である。第５の実施の形態に係る測定用プローブ
１ｅは、図８（ａ）に示すように、第４の実施の形態で
説明した測定用プローブ１ｄと同様に、被測定物への加
圧・接触する探針部６がその上面（図面上方）に突出形
成された略円筒形状のブロック２ｅからなり、該ブロッ
ク２ｅは円筒形状の内側面１２ｅからなる中空部１４ｅ
を有しており、外側面７ｅ・内側面１２ｅ間を穿設した
螺旋溝３ｅが、上記円筒形状の中心軸を中心として螺旋
状に形成されている。該形成された螺旋溝３ｅは、第３
及び第４の実施の形態と異なり、向かい合う切断面１３
ｅ、１３ｅの間隔が上記円筒形状の中心軸に向けて次第
に狭くなる台形溝であり、該切断面１３ｅ、１３ｅは、
円筒形状の内周側において内側面１２ｅとの境界に螺旋
状の切断面端部８ｅ、８ｅを有している。なお図８に示
すように、内側面１２ｅと、外側面７ｅとが平行である
ブロック２ｅの一例を示したが、これに限らず内側面１
２ｅと、外側面７ｅとが平行でない（つまり厚さが一定
でない）ブロック２ｅであってもよい。

【００９２】第５の実施の形態に係る測定用プローブ１
ｅの製造方法は、第１工程において、第３及び第４の実
施の形態で説明した測定用プローブ１ｃ，１ｄと同様
に、探針部６と、内側面１２ｅと外側面７ｅ（図８
（ａ）に示す一点破線含む）からなり薄板１７ｅで囲ま
れた中空部１４ｅと、を有すブロック部材１５ｅを形成
し、第２の工程において、上記台形溝からなる螺旋溝３
ｅを、上記ブロック部材１５ｅが有す薄板１７ｅに形成
する。

【００９３】ついで、第５の実施の形態に係る測定用プ
ローブ１ｅの作用について図８（ｂ）に沿って説明す
る。

【００９４】探針部６が不図示の被測定物に接触・加圧
すると、螺旋バネ５ｅは、図８（ｂ）に示すように例え
ばＦ方向の荷重を受ける。荷重を受けた螺旋バネ５ｅ
は、第４の実施の形態と同様に、該螺旋バネ５ｅの板幅
方向を加圧方向（つまりＦ方向）と略平行に（つまりバ
ネ強度の大きい形に）付勢して撓み、切断面１３ｅ、１
３ｅは、切断面端部８ｅ、８ｅにおいて上記Ｆ方向の荷
重を受けて接触し、螺旋溝３ｅが閉じる。

【００９５】そして被測定物の電気信号は、被測定物に
接触・加圧した探針部６から入力されて螺旋バネ５ｅ内
に流れ込み、上述したように接触・加圧により閉じた切
断面１３ｅ、１３ｅの接触する部分を介して、螺旋バネ
５ｅを螺旋状に流れることなく（つまり電流が周回して
螺旋バネがコイルとなることなく）互いに接触する螺旋
バネ５ｅを通って加圧方向に直接流れ、また上述した金
属材料からなるブロック２ｅのみを介して（つまり部品
間の接触抵抗を介さず）、薄板１７ｅの同図下方の下端
から出力される。即ち、測定用プローブ１ｅのインピー
ダンスは、僅か高さ１[ｍｍ］の金属材料からなるブロ
ック２ｅからなり、部品間の接触抵抗を含まないだけで
なく、インダクタンスＬ［Ｈ］をも含まないものであ
る。

【００９６】なお上述したように、螺旋溝３ｅが閉じた
状態において被測定物から電気信号を取り出す一例を示
したが、螺旋溝３ｅが閉じない状態において電気信号を
取り出す場合であっても、取り出された電気信号は、十
分な断面積を有す（つまり電気信号が絞られることな
く）探針部６及び螺旋バネ５ｅを通って、部品間の接触
抵抗を含むことなく、かつ探針部６及び螺旋バネ５ｅを
一体に有すブロック２ｅのみからなるインピーダンスを
介して、薄板１７ｅの図８下方の下端から出力される。

【００９７】以上のように、第５の実施の形態に係る測
定用プローブ１ｅによると、被測定物から取り出された
電気信号は、部品間の接触抵抗を含まない一体の探針部
６及び螺旋バネ５ｅを通って出力されるので、測定用プ
ローブ１ｅのインピーダンスを安定化することができ、
これにより安定した電気信号を取り出すことができる。
また該インピーダンスは、複数の部品の抵抗などの合成
からなるのではなく、一体の探針部６及び螺旋バネ５ｅ
を備えたブロック２ｅからなるので、上記インピーダン
スを小さくすることができ、これにより電気信号の減衰
を防止することができる。さらに上記測定用プローブ１
ｅは、複数の部品により構成されることなく、上記ブロ
ック２ｅからなるので、測定用プローブ１ｅの小形化を
図ることができ、これにより被測定物の狭小な端子ピッ
チ（例えば上述したＢＧＡ、ＣＳＰなどの高密度実装用
パッケージの端子ピッチ）に応ずることができる。

【００９８】また、被測定物から取り出された電気信号
は、被測定物への加圧によって螺旋溝３ｅが閉じること
により、螺旋バネ５ｅを通るだけでなく、互いに接触す
る螺旋バネ５ｅを通って加圧方向に直接流れて出力する
ので、上記インピーダンスをさらに小さくすることがで
き、これにより電気信号の減衰をさらに防止することが
できる。また電気信号は、上記螺旋バネ５ｅを螺旋状に
通ることなく出力されるので、電気信号の周波数が高い
場合であっても、該インピーダンスのうちインダクタン
スＬ[Ｈ]を略０にすることができ、これにより電気信号
の減衰をさらに防止することができる。

【００９９】さらに上記ブロック２ｅは、上面及び底面
が略同一形状である立体形状からなり、該ブロック２ｅ
が有する螺旋バネ５ｅは、該螺旋バネ５ｅの板幅方向を
加圧方向と略平行に付勢し、バネ強度の大きい螺旋バネ
５ｅが形成されるので、螺旋バネ５ｅの機械的寿命を向
上することができ、これにより測定用プローブ１ｅの耐
久性を向上することができる。

【０１００】また測定用プローブ１ｅは、導電性を有す
る金属であって、探針部６と、薄板１７ｅで囲まれた中
空部１４ｅと、を有するブロック部材１５ｅが形成さ
れ、該薄板１７ｅに螺旋溝３ｅを形成することにより螺
旋バネ５ｅが形成されて製造されるので、複数の部品よ
り構成されることなく、探針部６及び螺旋バネ５ｅを一
体に有すブロック２ｅからなる測定用プローブ１ｅを製
造することができ、これにより測定用プローブ１ｅを構
成する部品数を削減することができ、製造コストを低減
することができる。また、上記螺旋バネ５ｅの形状（例
えば薄板１７ｅの板厚）を変更することにより、螺旋バ
ネ５ｅのバネ強度を自在に変更することができる。

【０１０１】なお、上述したブロック２ｅは、円筒形状
からなる一例を示したが、これに限らず上面及び底面が
略同一形状である立体形状からなるものであれば、いず
れのものであってもよく、例えば角柱、円柱などでもよ
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係る測定用プローブを用いた
片側可動型の測定装置の一例を示す概略断面図。

【図２】図２は、本発明に係る測定用プローブを用いた
両側可動型の測定装置の一例を示す概略断面図。

【図３】図３は、本発明に係る測定用プローブを用いた
脱着型の測定装置の一例を示す概略断面図。

【図４】図４は、本発明に係る測定用プローブの第１の
実施の形態を示す側面図であり、（ａ）は自由状態の螺
旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを示す
図。

【図５】図５は、本発明に係る測定用プローブの第２の
実施の形態を示す側断面図であり、（ａ）は自由状態の
螺旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを示す
図。

【図６】図６は、本発明に係る測定用プローブの第３の
実施の形態を示す側面図であり、（ａ）は自由状態の螺
旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを示す
図。

【図７】図７は、本発明に係る測定用プローブの第４の
実施の形態を示す側面図であり、（ａ）は自由状態の螺
旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを示す
図。

【図８】図８は、本発明に係る測定用プローブの第５の
実施の形態を示す側断面図であり、（ａ）は自由状態の
螺旋バネを示す図、（ｂ）は付勢状態の螺旋バネを示す
図。

【図９】図９は、従来のピン接触型の測定用プローブを
用いた測定装置の一例を示す概略図。

【図１０】図１０は、従来のピン接触型の測定用プロー
ブの一例を示す断面図。

【符号の説明】

１ａ〜１ｅ 測定用プローブ ２ａ〜２ｅ ブロック ３ａ〜３ｅ 螺旋溝 ３ａ、３ｂ Ｖ溝 ５ａ〜５ｅ 螺旋バネ ６ 探針部 ７ａ〜７ｅ 外側面 １０ａ、１０ｂ Ｖ溝の一の面（垂直面） １１ａ、１１ｂ Ｖ溝の頂点 １２ａ〜１２ｅ 内側面 １３ｃ、１３ｄ、１３ｅ 切断面 １５ａ〜１５ｅ ブロック部材

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 探針部が被測定物に接触・加圧し、前記
   被測定物の電気信号を取り出す測定用プローブにおい
   て、 導電性を有する金属であって、前記探針部と、螺旋溝に
   より形成した螺旋バネと、を一体に有するブロックを備
   え、前記探針部が前記螺旋バネに基づき前記被測定物に
   加圧して接触すると共に、前記一体の探針部及び螺旋バ
   ネを通って前記被測定物の電気信号を取り出してなる、 ことを特徴とする測定用プローブ。
2. 【請求項２】 前記探針部が前記被測定物に接触・加圧
   して該被測定物の電気信号を取り出す際、前記螺旋溝を
   閉じて、前記電気信号が、互いに接触する前記螺旋バネ
   を通って前記加圧方向に直接流れてなる、 請求項１記載の測定用プローブ。
3. 【請求項３】 前記ブロックは、全周に傾斜した外側面
   を有する立体形状からなり、前記螺旋溝はＶ溝であっ
   て、前記Ｖ溝の一の面が前記加圧方向と平行であると共
   に、前記Ｖ溝の頂点が前記傾斜した外側面上または内側
   面上に存してなり、かつ前記螺旋バネは、該螺旋の周方
   向に隣り合う前記螺旋バネ同士が前記Ｖ溝の一の面を介
   して前記加圧方向に対し接触・維持してなる、 請求項２記載の測定用プローブ。
4. 【請求項４】 前記ブロックは、前記螺旋溝の向かい合
   う切断面が平行部分を有するように形成した螺旋バネを
   有してなる、 請求項１または２記載の測定用プローブ。
5. 【請求項５】 前記ブロックは、略円錐形状からなる、 請求項１ないし４いずれか記載の測定用プローブ。
6. 【請求項６】 前記ブロックは、上面及び底面が略同一
   形状である立体形状からなる、 請求項１、２または４記載の測定用プローブ。
7. 【請求項７】 前記ブロックは、ベリリウム銅、リン青
   銅またはステンレス鋼からなる、 請求項１ないし６いずれか記載の測定用プローブ。
8. 【請求項８】 探針部が被測定物に接触・加圧し、前記
   被測定物の電気信号を取り出す測定用プローブの製造方
   法において、 導電性を有する金属であって、前記探針部と、薄板で囲
   まれた中空部とを有するブロック部材を形成する工程
   と、 螺旋溝を前記薄板に形成することにより螺旋バネを形成
   する工程と、を備え、 前記測定用プローブは、前記探針部が前記被測定物に接
   触・加圧して該被測定物の電気信号を取り出す際、前記
   探針部が前記螺旋バネに基づき前記被測定物に加圧して
   接触すると共に、前記一体の探針部及び螺旋バネを通っ
   て前記被測定物の電気信号を取り出してなる、 ことを特徴とする測定用プローブの製造方法。
9. 【請求項９】 前記ブロック部材を形成する工程は、全
   周に傾斜した外側面を有する立体形状を前記ブロック部
   材に形成し、 前記螺旋バネを形成する工程は、Ｖ溝であって、前記Ｖ
   溝の一の面が前記加圧方向と平行であると共に、前記Ｖ
   溝の頂点が前記傾斜した外側面上または内側面上に存す
   る前記螺旋溝を、前記薄板に形成し、 前記螺旋バネを、該螺旋の周方向に隣り合う前記螺旋バ
   ネ同士が前記Ｖ溝の一の面を介して前記加圧方向に対し
   接触・維持するように形成して、前記探針部が前記被測
   定物に接触・加圧して該被測定物の電気信号を取り出す
   際、前記螺旋溝を閉じて、前記電気信号が、互いに接触
   する前記螺旋バネを通って前記加圧方向に直接流れてな
   る、 請求項８記載の測定用プローブの製造方法。
10. 【請求項１０】 前記螺旋バネを形成する工程は、向か
    い合う切断面が平行部分を有す前記螺旋溝を前記薄板に
    形成する、 請求項８記載の測定用プローブの製造方法。