JP2003247855A - 距離センサ及び距離検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 移動距離の検出範囲が広く、インピーダンス
の変動量と距離とをリニアな関係に補正する補正回路を
必要としない距離センサ及び距離検出方法を提供する。 【解決手段】 第１の移動体と第２の移動体との相対距
離関係を検出する距離センサ１と距離検出方法。距離セ
ンサ１は、発振回路と接続された励磁コイル２ａと、絶
縁磁性材から形成され、励磁コイルを保持する第１のコ
ア２ｂとを有し、第１及び第２の移動体の一方と連結さ
れるコイルコア２と、コイルコアの外側或いは内側に隙
間を置いて対向配置され、コイルコアと磁気回路を形成
する第２のコア３と、コイルコア２と第２のコア３との
間に配置され、第１及び第２の移動体の相対移動に伴っ
て隙間間の磁束を横切る面積が変化する導電体３ａとを
備え、第２のコア３あるいは導電体３ａの少なくとも一
方が第１及び第２の移動体の他方と連結される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、距離センサ及び距
離検出方法に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】電磁誘
導の原理を利用して直線方向に沿って移動する第１の移
動体と第２の移動体との移動距離を検出する距離センサ
は、測定対象となる金属板に対するピックアップコイル
の離接に基づいて移動距離を検出し、検出精度が高いと
いう特徴を有している。

【０００３】但し、前記距離センサは、前記金属板に対
してピックアップコイルが遠ざかると、コイルのインピ
ーダンスの変動は距離の二乗に逆比例して急速に減少す
るうえ、インピーダンスの変動量と距離との間にはリニ
アな関係が成立しない。このため、前記距離センサは、
移動距離を検出する範囲が狭いうえ、インピーダンスの
変動量と距離とをリニアな関係に補正する補正回路を必
要とするという問題があった。

【０００４】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、移動距離の検出範囲が広く、インピーダンスの変動
量と距離とをリニアな関係に補正する補正回路を必要と
しない距離センサ及び距離検出方法を提供することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の距離センサにおいては、第１の移動体と第２の
移動体との相対距離関係を検出する距離センサであっ
て、発振回路と接続された励磁コイルと、絶縁磁性材か
ら形成され、前記励磁コイルを保持する第１のコアとを
有し、前記第１及び第２の移動体の一方と連結されるコ
イルコアと、前記コイルコアの外側或いは内側に隙間を
置いて対向配置され、前記コイルコアと磁気回路を形成
する第２のコアと、前記コイルコアと前記第２のコアと
の間に配置され、前記第１及び第２の移動体の相対移動
に伴って前記隙間間の磁束を横切る面積が変化する導電
体とを備え、前記第２のコアあるいは前記導電体の少な
くとも一方が前記第１及び第２の移動体の他方と連結さ
れる構成としたのである。

【０００６】好ましくは、前記導電体を前記第２のコア
に設ける。また好ましくは、前記第１のコアと第２のコ
アのそれぞれは、一定の間隔をおいて磁気遮蔽部材に保
持されると共に、前記第１及び第２の移動体の一方と連
結され、前記導電体は前記隙間に配置され、前記第１及
び第２の移動体の他方と連結されている構成とする。

【０００７】また、上記目的を達成するため本発明の距
離検出方法においては、第１の移動体と第２の移動体と
の相対距離関係を検出する距離検出方法であって、発振
回路と接続された励磁コイルを絶縁磁性材から形成され
た第１のコアが保持したコイルコアの外側或いは内側
に、前記コイルコアとの間で磁気回路を形成する第２の
コアを隙間を置いて対向配置すると共に、前記コイルコ
アと前記第２のコアとの間に、前記第１及び第２の移動
体の相対移動に伴って前記隙間間の磁束を横切る面積が
変化する導電体を配置し、前記コイルコアを前記第１及
び第２の移動体の一方と、前記第２のコアあるいは前記
導電体の少なくとも一方を前記第１及び第２の移動体の
他方と、それぞれ連結し、前記第１及び第２の移動体が
相対移動したときの、前記隙間間の磁束を横切る前記導
電体の面積変化に基づいて第１の移動体と第２の移動体
との相対距離関係を検出する構成としたのである。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の距離センサ及び距
離検出方法に係る一実施形態を図１乃至図８に基づいて
詳細に説明する。先ず、第１の実施形態について説明す
ると、距離センサ１は、直線方向に沿って移動する第１
の移動体と第２の移動体（共に図示せず）との移動距離
を検出するセンサで、図１に示すように、コイルコア２
と導電体３ａを設けた変位コア３とを備えている。

【０００９】コイルコア２は、発振回路（図３参照）と
接続された励磁コイル２ａと、高い比透磁率を有する絶
縁磁性材から円筒状に成形され、励磁コイル２ａを外周
側に保持する第１のコア２ｂとを有し、下部に設けた連
結部材２ｃにより第２の移動体と連結される。励磁コイ
ル２ａは、後述する信号処理装置４の発振回路４ａと電
気的に接続され、交流励磁電流が流され、周囲に交流磁
界を形成している。絶縁磁性材としては、Ｎｉ−Ｚｎ
系、Ｍｎ−Ｚｎ系、Ｍｇ−Ｚｎ系のフェライトに、ナイ
ロン，ポリプロピレン（ＰＰ），ポリフェニレンスルフ
ィド（ＰＰＳ），ＡＢＳ樹脂等の電気絶縁性を有する熱
可塑性合成樹脂を１０〜７０体積％混合したものを使用
することができる。

【００１０】変位コア３は、コイルコア２の外側に隙間
を置いて対向配置され、コア２ｂと同じ絶縁磁性材によ
って円筒状に成形された第２のコアで、内周に導電体３
ａが設けられている。変位コア３は、上部に設けた連結
部材３ｃにより第１の移動体と連結される。変位コア３
は、励磁コイル２ａと協働して、コア２ｂとの間に磁気
回路Ｃmgを形成する。

【００１１】導電体３ａは、例えば、コイルコア２の内
周面と共に展開状態にした図２に示すように、斜辺が励
磁コイル２ａやコア２ｂと角度θで交差する直角三角形
状の導電性金属板で、この板を円筒状に成形して変位コ
ア３の内周に取り付けたものである。第１のコア２ｂ及
び変位コア３は、共に高い比透磁率材料を用いて作られ
ている。このため、励磁コイル２ａに励起される交流磁
束は、図１に示すように磁気回路Ｃmgの破線で示すルー
トに集中する。従って、図２の展開図においては、励磁
コイル２ａに励起される交流磁束は上下２ヶ所のコア２
ｂの部分に集中することになる。即ち、コイルコア２と
変位コア３との隙間に配置された三角形の導電体３ａを
横切る磁束は、コア２ｂと対向する部分において多く、
その他の励磁コイル２ａと対向する部分を横切る部分に
おいて非常に少なくなる。

【００１２】ここで、コイルコア２と変位コア３との間
に形成されるリング状の隙間が均一で、磁束密度も円周
上に均一に分布していると仮定する。この場合、図２に
おいては、上下２箇所のコア２ｂ部分における磁束密度
が均一に分布することになる。従って、導電体３ａがコ
ア２ｂと対向する部分の総面積が大きい程、導電体３ａ
を横切る磁束の量も大きくなる。言い換えれば、導電体
３ａを横切る磁束の量は、コア２ｂと対向する導電体３
ａの部分の総面積に比例する。

【００１３】よく知られているように、導電体３ａには
磁束が横切る際に渦電流が生じ、この渦電流量により励
磁コイル２ａのインピーダンスも一定の比例関係で変化
する。この結果、励磁コイル２ａのインピーダンスは、
導電体３ａのコア２ｂと対向する部分の総面積に比例す
ることとなる。信号処理装置４は、図示しない電線を介
して外部の電源や励磁コイル２ａと接続されている。信
号処理装置４は、図３に示すように、発振回路４ａ、分
周回路４ｂ、位相シフト部４ｃ、検出部４ｄ、コンバー
タ４ｅ、変換された電圧値のシフトレベルを調整する調
整部４ｆ及び出力回路４ｇを有している。

【００１４】発振回路４ａは、分周回路４ｂを介して特
定周波数のパルス信号を発信し、図３に示す抵抗Ｒ、励
磁コイル２ａ及びコンデンサＣを有する位相シフト部４
ｃに出力する。このとき、コンデンサＣ両端における電
圧信号の位相は、励磁コイル２ａの後述するインピーダ
ンスの変動によって変化する。コンデンサＣ両端の電圧
信号は、検出部４ｄへ出力される。

【００１５】分周回路４ｂは、前記パルス信号を分周し
て特定周波数のパルス信号を励磁コイル２ａに出力す
る。位相シフト部４ｃは、抵抗Ｒ、励磁コイル２ａ及び
コンデンサＣを有し、導電体３ａに発生する渦電流の大
きさに応じ、分周回路４ｂから励磁コイル２ａに入力さ
れた前記パルス信号の位相をシフトする。

【００１６】検出部４ｄは、コンデンサＣ両端の電圧信
号の位相シフト量を検出する。コンバータ４ｅは、検出
された前記位相シフト量を対応する電圧値に変換する。
調整部４ｆは、変換された電圧値のシフトレベルを調整
し、増幅して出力回路４ｇに出力する。出力された電圧
レベルは、励磁コイル２ａのインピーダンスに一定の比
例関係をもつ。

【００１７】出力回路４ｇは、調整部４ｆから入力され
る信号（電圧値）に基づき、前記第１の移動体と第２の
移動体、即ち、コイルコア２と変位コア３との移動距離
を検出する。上記のように構成される距離センサ１は、
連結部材２ｃ，３ｃにより第１及び第２の移動体と連結
して使用される。

【００１８】このとき、距離センサ１は、変位コア３の
内周に導電体３ａが設けられている。このため、導電体
３ａは、前記第１及び第２の移動体の相対移動に伴って
コア２ｂと対向する部分、従って磁気回路Ｃmgを横切る
面積が変化する。即ち、図２において、導電体３ａが上
方に距離ΔＸ移動したとすると、コア２ｂと対向する部
分の面積（図中斜線部分）は以下のようにΔＳ変化す
る。このとき、変化量ΔＳは、距離ΔＸの移動に伴う横
方向の長さの変化をΔＬとすると、ΔＬ＝ΔＸ・tanθ
となるから、コア２ｂの幅をＷとすれば、次式で与えら
れる。ここで、ΔＳは、図中斜線で示された２つの部分
であることに注意されたい。 ΔＳ＝２Ｗ・ΔＸ・tanθ………(１)

【００１９】そして、図２において、導電体３ａの下端
が下側のコア２ｂの最下部に位置するときを距離センサ
１の初期設定位置とし、この位置において導電体３ａが
コア２ｂと対向する部分の面積をＳ0（一定）、第１及
び第２の移動体が移動してコイルコア２と変位コア３と
が相対移動した任意の位置における導電体３ａがコア２
ｂと対向する部分の総面積をＳとすると、総面積Ｓは次
式で与えられる。 Ｓ＝ΔＳ＝Ｓ0＋２Ｗ・ΔＸ・tanθ………(２)

【００２０】(２)式において、図２に示す導電体３ａの
斜辺が励磁コイル２ａやコア２ｂと交差する角度θ並び
にコア２ｂの幅Ｗが決まると、２Ｗ・tanθは定数とな
る。このため、Ｗ・tanθ＝Ｋ（定数）とおくと、(２)式
は次式で表わされる。 Ｓ＝Ｓ0＋Ｋ・ΔＸ………(３) 即ち、総面積Ｓと導電体３ａが移動した距離ΔＸとの間
には、リニアな関係が成立する。このため、第１及び第
２の移動体が移動した距離ΔＸに基づき、導電体３ａが
磁気回路Ｃmgを横切るときに導電体３ａに生じる渦電流
の量、即ち、渦電流によって誘起される交流磁界の大き
さと、励磁コイル２ａのインピーダンスとがリニアな関
係で変化する。

【００２１】このため、距離センサ１は、従来の距離セ
ンサと異なりインピーダンスの変動量と距離とをリニア
な関係に補正する補正回路は必要ない。また、距離セン
サ１は、前記第１及び第２の移動体の相対移動に伴って
磁気回路Ｃmgを横切る導電体３ａの面積が変化する限り
第１及び第２の移動体が移動した距離ΔＸを検出するこ
とができる。従って、距離センサ１は、測定距離に応じ
た長さの導電体３ａを用いることにより、従来の距離セ
ンサよりも移動距離の検出範囲を広くとることができ
る。

【００２２】本発明方法は、第１及び第２の移動体の移
動に伴う、上記した導電体３ａが移動した距離ΔＸと励
磁コイル２ａのインピーダンスとの間のリニアな関係に
基づき、前記インピーダンスを測定して第１及び第２の
移動体の移動距離ΔＸを検出することを基本原理とす
る。即ち、距離センサ１においては、コイルコア２と変
位コア３との相対移動により励磁コイル２ａのインピー
ダンスが変動する。信号処理装置４は、前述のように、
そのインピーダンスを検出して電圧信号に変換し、更に
この電圧信号をシフト及び増幅して正規な出力電圧信号
に変換する。この処理により、信号処理装置４の出力電
圧信号は、第１及び第２の移動体間の距離Ｘ0＋ΔＸと
１対１の関係を持つこととなる。ここで、Ｘ0は、第１
及び第２の移動体間の距離の初期値である。

【００２３】従って、予めこの関係を測定しておけば、
前記出力電圧信号を測定することにより、両移動体間の
距離Ｘ0＋ΔＸを検知でき、この値から初期値Ｘ0を差し
引くことにより、両移動体間の相対移動距離ΔＸを検出
することができる。ここで、コイルコア２は、円筒状の
他、四角筒状に成形してもよく、この場合、変位コア３
も対応する四角筒状に成形する。但し、変位コア３は、
第１及び第２の移動体の移動方向に沿って面積が変化す
る板状であってもよい。

【００２４】また、導電体３ａは、前記のように両移動
体間の距離の変化に伴い、総面積Ｓを変化させることが
できれば、同一円周上に複数枚の導体片Ｓcdを設けても
よい。このとき、各々の導体片Ｓcdの形状は同一でなく
ても構わないが、例えば、図４（ａ）に示す直角三角形
や図４（ｂ）に示す二等辺三角形からなる同一形状の４
枚の導体片Ｓcdが連結された鋸刃状としてもよい。

【００２５】このように同一形状の導体片Ｓcdを複数枚
同一円周上に同じ間隔で配置すると、各導体片Ｓcdとコ
イルコア２との偏心度による誤差を小さく抑える効果が
ある。即ち、コイルコア２に対して一方の導体片Ｓcdが
離れる場所ではその導体片Ｓcdを横切る磁束量は減少す
るが、この導体片Ｓcdと対向する位置に存在する他方の
導体片Ｓcdでは、逆にコイルコア２に近づき、この導体
片Ｓcdを横切る磁束量は増加することになる。この結
果、導電体３ａ全体を横切る磁束量の変動を少なくする
ことができる。

【００２６】ここで、導体片Ｓcdは、すべてを同一形状
とすることに限定されることはなく、少なくとも対向す
る導体片Ｓcdの形状が同一であればよい。さらに、導体
片Ｓcdは、４枚に限定されることはなく、同一円周上に
同じ間隔で複数枚配置されていれば何枚であってもよ
い。また、両移動体間の相対移動距離ΔＸと総面積Ｓの
変動との関係を一定にしない方が望ましい場合、例え
ば、ある移動位置では感度を鋭く設定し、それ以外の移
動位置では感度を鈍く抑える等、センサの感度を一定に
しない場合は、導電体３ａの導体片Ｓcdは、図４（ｃ）
に示すように、点線で示す図４（ｂ）の二等辺三角形よ
りも細く形成したり、図４（ｄ）に示すように、図４
（ｂ）の二等辺三角形よりも太く形成してもよい。

【００２７】このとき、図４（ｃ）に示す導体片Ｓcdで
は、上部における面積変動が大きいので、この部分に対
応する移動位置でのセンサの感度が大きくなる。この逆
に、図４（ｄ）に示す導体片Ｓcdでは、下部における面
積変動が大きいので、この部分に対応する移動位置での
センサの感度が大きくなる。更に、コイルコア２は、多
角形の筒体とし、変位コア３は、第１及び第２の移動体
の移動方向に沿って面積が変化する対応する筒体や板状
としてもよいことは言うまでもない。

【００２８】以下、本発明の距離センサ及び距離検出方
法に係る他の実施形態について説明するが、構成が異な
るだけで測定原理は同一であるので、距離センサの構成
のみについて説明する。図５は、第２の実施形態に係る
距離センサ５を示し、円筒状に成形されたコイルコア６
の内側に変位コア７が隙間を置いて対向配置され、距離
センサ１と同様の信号処理装置を備えている。

【００２９】コイルコア６は、発振回路（図３参照）と
接続された励磁コイル６ａと、コア２ｂと同じ絶縁磁性
材によって円筒状に成形され、励磁コイル６ａを内周側
に保持する第１のコア６ｂとを有し、下部に設けた連結
部材６ｃにより第２の移動体と連結される。変位コア７
は、コア６ｂと同じ絶縁磁性材によって円筒状に成形さ
れ、導電体３ａと同じ素材並びに構成の導電体７ａが外
周に設けられている。変位コア７は、上部に設けた連結
部材７ｃにより第１の移動体と連結され、励磁コイル６
ａと協働して、コア６ｂとの間に磁気回路Ｃmgを形成す
る。

【００３０】次に、第３の実施形態に係る距離センサを
図６に基づいて説明する。距離センサ１０は、コイルコ
ア１１、変位コア１２及び導電体１３を備え、距離セン
サ１と同様の信号処理装置を有している。コイルコア１
１は、発振回路（図３参照）と接続された励磁コイル１
１ａと、コア２ｂと同じ絶縁磁性材によって円筒状に成
形され、励磁コイル１１ａを外周側に保持する第１のコ
ア１１ｂとを有し、変位コア１２と共に周囲が遮蔽層１
１ｃで覆われている。遮蔽層１１ｃは、電磁波のシール
ドを目的とし、外周側の上下面には導電体１３の後述す
る導体片１３ａが挿通される挿通孔１１ｄが設けられて
いる。コイルコア１１は、遮蔽層１１ｃ下部に設けた連
結部材１４を介して第２の移動体と連結される。

【００３１】変位コア１２は、遮蔽層１１ｃによってコ
イルコア１１との間に隙間を置いて対向配置され、コア
１１ｂと同じ絶縁磁性材によって円筒状に成形されてい
る。変位コア１２は、コイルコア１１と対向する内周面
を除いて、周囲が遮蔽層１２ａで覆われている。変位コ
ア１２は、励磁コイル１１ａと協働して、コア１１ｂと
の間に磁気回路Ｃmgを形成する。

【００３２】ここで、遮蔽層１１ｃ，１２ａの素材とし
ては、強度と電磁遮蔽効果を考慮してアルミニウム等の
金属等の導電性素材を使用する。導電体１３は、コイル
コア１１と変位コア１２との間の隙間に配置される４枚
の導体片１３ａと、コイルコア１１の上部を覆う天板１
３ｂとを有している。各導体片１３ａは、(３)式から導
き出される総面積Ｓと導電体１３の移動距離ΔＸとの間
にリニアな関係が成立するように、図４（ａ）や図４
（ｂ）に示す三角形状に形成されている。天板１３ｂ
は、中央に挿通孔１３ｃが形成されている。導電体１３
は、上部に設けた連結部材１５を介して第１の移動体と
連結される。

【００３３】従って、距離センサ１０は、第１及び第２
の移動体が矢印で示す上下方向に移動すると、導電体１
３がコイルコア１１及び変位コア１２に対して移動し、
４枚の導体片１３ａが磁気回路Ｃmgを横切る面積が変化
し、移動距離を検出することができる。一方、図８に示
す第４の実施形態に係る距離センサ１５は、コイルコア
１６、変位コア１７及びコイルばね１９を備え、距離セ
ンサ１と同様の信号処理装置を有している。

【００３４】コイルコア１６は、発振回路（図３参照）
と接続された励磁コイル１６ａと、コア２ｂと同じ絶縁
磁性材によって円筒状に成形され、励磁コイル１６ａを
外周側に保持する第１のコア１６ｂとを有し、変位コア
１７と対向する外周面を除いて、周囲が遮蔽層１６ｃで
覆われている。遮蔽層１６ｃは、電磁波のシールドを目
的とし、下部のフランジ部１６ｄには挿通孔１６ｅが形
成されている。ここで、励磁コイル１６ａは、外周に導
電体からなる薄い板１６ｆが取り付けられている。ここ
で、遮蔽層１６ｃは、筒状に形成された内側に後述する
遮蔽体１８のガイド壁１８ａが係合し、コイルコア１６
と変位コア１７、即ち、第１の移動体と第２の移動体と
の相対移動を案内する。

【００３５】変位コア１７は、コイルコア１６との間に
隙間を置いて対向配置され、コア１６ｂと同じ絶縁磁性
材によって円筒状に成形されている。変位コア１７は、
コイルコア１１と対向する内周に導電体３ａと同じ素材
によって同様に構成される導電体１７ａが設けられてい
る。変位コア１７は、励磁コイル１６ａと協働して、コ
ア１６ｂとの間に磁気回路Ｃmgを形成する。また、変位
コア１７は、外側が遮蔽体１８によって覆われている。

【００３６】遮蔽体１８は、コイルコア１６の内側に係
合するガイド壁１８ａが上フランジ１８ｂから下方に向
かって設けられると共に、変位コア１７の外周を遮蔽層
１８ｃで覆われている。ガイド壁１８ａは、 遮蔽体１
８は、上フランジ１８ｂの中央に挿通孔１８ｄが形成さ
れている。ここで、遮蔽層１６ｃや遮蔽体１８の素材と
しては、強度と電磁遮蔽効果を考慮してアルミニウム等
の金属等の導電性素材を使用する。

【００３７】コイルばね１９は、図８に示すように、フ
ック１９ａを挿通孔１８ｄに挿通して外部の第１の移動
体と、フック１９ｂを挿通孔１６ｅに挿通して外部の第
２の移動体と、それぞれ連結されると共に、コイルコア
１６と遮蔽体１８との間に配置される。このとき、コイ
ルばね１９は、上部を遮蔽体１８の挿通孔１８ｄ内側
に、下部をコイルコア１６の挿通孔１６ｅ内側に、それ
ぞれ挿通孔１６ｅ，１８ｄの周囲に係止させたり、接着
や溶接等で固定してもよい。

【００３８】従って、距離センサ１５は、第１及び第２
の移動体がコイルばね１９に沿った方向に移動すると、
距離センサ１０と同様にして移動距離を検出することが
できる。

【００３９】

【発明の効果】請求項１乃至４の発明によれば、移動距
離の検出範囲が広く、インピーダンスの変動量と距離と
をリニアな関係に補正する補正回路を必要としない距離
センサ及び距離検出方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の距離検出方法を実施する距離センサの
第１の実施形態を示す断面図である。

【図２】図１の距離センサのコイルコア及び導電体を展
開状態にして示した図で、導電体が磁気回路を横切る面
積と移動距離とがリニアな関係にあることを説明するモ
デル図である。

【図３】図１の距離センサの回路構成の一例を示す回路
図である。

【図４】図１の距離センサで使用する導電体の種々の形
態を示す展開図である。

【図５】本発明の距離センサの第２の実施形態を示す断
面図である。

【図６】本発明の距離センサの第３の実施形態を示す断
面図である。

【図７】図６の距離センサの底面図である。

【図８】本発明の距離センサの第４の実施形態を示す断
面図である。

【符号の説明】

１ 距離センサ ２ コイルコア ２ａ 励磁コイル ２ｂ 第１のコア ３ 変位コア（第２のコア） ３ａ 導電体 ４ 信号処理装置 ４ａ 発振回路 ５ 距離センサ ６ コイルコア ６ａ 励磁コイル ６ｂ 第１のコア ７ 変位コア（第２のコア） １０ 距離センサ １１ コイルコア １１ａ 励磁コイル １１ｂ 第１のコア １１ｃ 遮蔽層 １２ 変位コア（第２のコア） １２ａ 遮蔽層 １３ 導電体 １４ コイルばね １５ 距離センサ １６ コイルコア １７ 変位コア １８ 遮蔽体 １９ コイルばね Ｃmg 磁気回路 Ｓcd 導体片

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F063 AA02 CA10 CA40 DA05 GA08 GA29 GA41 KA01 LA00 2F077 AA12 AA27 CC02 FF02 FF11 FF16 FF31 FF39 TT00 TT82 VV02

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の移動体と第２の移動体との相対距
   離関係を検出する距離センサであって、 発振回路と接続された励磁コイルと、絶縁磁性材から形
   成され、前記励磁コイルを保持する第１のコアとを有
   し、前記第１及び第２の移動体の一方と連結されるコイ
   ルコアと、 前記コイルコアの外側或いは内側に隙間を置いて対向配
   置され、前記コイルコアと磁気回路を形成する第２のコ
   アと、 前記コイルコアと前記第２のコアとの間に配置され、前
   記第１及び第２の移動体の相対移動に伴って前記隙間間
   の磁束を横切る面積が変化する導電体とを備え、 前記第２のコアあるいは前記導電体の少なくとも一方が
   前記第１及び第２の移動体の他方と連結されることを特
   徴とする距離センサ。
2. 【請求項２】 前記導電体が前記第２のコアに設けられ
   ている、請求項１の距離センサ。
3. 【請求項３】 前記第１のコアと第２のコアのそれぞれ
   は、一定の間隔をおいて磁気遮蔽部材に保持されると共
   に、前記第１及び第２の移動体の一方と連結され、前記
   導電体は前記隙間に配置され、前記第１及び第２の移動
   体の他方と連結されている、請求項１の距離センサ。
4. 【請求項４】 第１の移動体と第２の移動体との相対距
   離関係を検出する距離検出方法であって、 発振回路と接続された励磁コイルを絶縁磁性材から形成
   された第１のコアが保持したコイルコアの外側或いは内
   側に、前記コイルコアとの間で磁気回路を形成する第２
   のコアを隙間を置いて対向配置すると共に、前記コイル
   コアと前記第２のコアとの間に、前記第１及び第２の移
   動体の相対移動に伴って前記隙間間の磁束を横切る面積
   が変化する導電体を配置し、 前記コイルコアを前記第１及び第２の移動体の一方と、
   前記第２のコアあるいは前記導電体の少なくとも一方を
   前記第１及び第２の移動体の他方と、それぞれ連結し、 前記第１及び第２の移動体が相対移動したときの、前記
   隙間間の磁束を横切る前記導電体の面積変化に基づいて
   第１の移動体と第２の移動体との相対距離関係を検出す
   ることを特徴とする距離検出方法。