JP2005257663A - 変位センサ - Google Patents

Abstract

【課題】 振動等が加わっても精度よく検出でき、しかも小型化が可能で組み立てが容易な変位センサを提供する。
【解決手段】 一方の面に導電性部材を周方向に沿って幅を変化させて設けられたセンシング板２ｂが貼付され、他方の面に磁性部材からなる磁性板２ｃが貼付され、回転軸Ｓｈに取付けられるロータ２と、交流励磁電流が流され磁気回路Ｃｍｇを形成する励磁コイル４ｂと絶縁磁性材からなり前記励磁コイル４ｂを保持するコア４ａとを有するコイルコア４を、ケース３内で前記コイルコア４の励磁コイル４ｂを前記センシング板２ｂに数ｍｍ程度の間隔を置いて対向配置して収納して変位センサ１を設ける。前記磁気回路Ｃｍｇは前記センシング板２ｂを通過してから磁性板２ｃを通過して形成される。
【選択図】 図２

Description

本発明は、変位センサに関するものである。

従来、電磁誘導の原理を利用した変位センサは多数提案されている。（特許文献１、特許文献２、特許文献３及び特許文献４参照）。その一例として、回転するシャフトの軸線方向所定位置に取り付けられ、周方向に沿って幅が変化するセンシング部を有するロータと、励磁コイルを保持して、固定部材に取り付けられた固定コアとを有し、前記ロータを挟んでサブコアが前記励磁コイルと対向配置して設けられ、前記励磁コイルに発振手段が接続されて、回転角度を測定する変位センサが提案されている。（特許文献１参照）。

この変位センサは、変位センサの、励磁コイルとコア本体の端面における交流磁界のシャフト方向の不均一な分布を改善するためにサブコアが設けられたもので、これにより前記交流磁界の不均一度を改善することができ、ロータのセンシング部と固定コアとの間のギャップが変動した際にセンシング部に誘起される渦電流の量の変動により生じるノイズを抑えることができる。

図２２に、従来の変位センサ２０の一例を示す。図２２は、従来の変位センサ２０の主要部を示した概略図である。円板状に形成されたロータ２１は、一方の面に、周方向に沿って幅を変化させて設けられたセンシング部２１ａが設けられ、シャフトＳｈに取り付けられている。コイルコア４は、前記センシング部２１ａに対して前記シャフトの軸線方向に距離Ａの間隔を置いて対向配置され、固定部材（図示せず）に取付け固定されている。この変位センサ２０が、例えば自動車内等振動が加わる箇所に配置された場合、振動によりセンシング部２１ａとコイルコア４との間隔は、距離α分が変動する。そうすると、図２３に示すように出力変動もＢのように大きくなり、回転角度を精度よく検出できないという問題があった。

このような問題を解決するため、固定コアを前記ロータを挟んで励磁コイルに対向配置して設けて回転角度を測定する変位センサが提案されている。（特許文献１参照）。

前記変位センサは、ロータを挟んで各固定コアを対向配置することにより各固定コア間の距離を常に一定に保持し、この変位センサに振動が加わってロータが回転軸Ｓｈ方向に振動しても、ロータと各固定コアとの距離は、一方の固定コアとの距離が短くなった分他方の固定コアとの距離は長くなるので、コイルインピーダンスの変動も、相互に補完されて互いに打ち消し合うことになり、振動に起因したノイズが更に低減されて回転角度の検出誤差が大幅に小さく抑えられ、回転角度を検出する精度をより向上することができる。

特開２００３−２０２２４０公報（発明の詳細な説明の項の段落番号０００７乃至００３７、００５１乃至００６１、図１乃至１０、図１３乃至１６） 特開２００３−３３７０４９公報 特開２００３−２４７８５５公報 特開２００２−２１３９０４公報

サブコアが設けられた変位センサは、サブコアとコア本体とで協同して磁気回路を形成することによって励磁コイルとコア本体の端面の交流磁界のシャフト方向の不均一な分布を改善することはできるが、変位センサに振動が加わりロータが回転軸Ｓｈ方向に振動した場合には、励磁コイルのインピーダンスはこの振動に敏感に反応して回転角度が精度よく検出できないという問題があり、要求される回転角度の精度によっては適用できないという問題があった。

固定コアを対向配置した変位センサは、変位センサに振動が加わりロータが回転軸Ｓｈ方向に振動した場合であっても回転角度は精度よく検出できるが、対向配置してもうひとつのコイルコアを設けるのでこのコイルコアの高さ分変位センサは大型化してしまい、スペース的に余裕のない箇所には設けることができないという問題があった。また、対向配置してもうひとつのコイルコアを設ける分コスト高となるという問題もあった。さらに、ロータは、対向配置されたコイルコア間に設けられるので、特にコイルコアが複数箇所にわたって設けられる場合など、組立て難いという問題もあった。

本発明の目的は、振動等が加わっても精度よく検出でき、しかも小型化が可能で組み立てが容易な変位センサを提供することにある。

上記の目的を達成するために、本発明の請求項１に記載された発明は、導電性部材を周方向、あるいは長手方向に沿って幅を変化させて設けられたセンシング部を有するセンシング部材と、交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材からなり前記励磁コイルを保持するコアとを有し、前記センシング部に対して所定の間隔を置いて対向配置されるコイルコアとを備え、前記センシング部材とコイルコアとを、前記センシング部に沿って相対的に移動させてその変位量を検出する変位センサであって、磁性部材からなる磁性体を、前記磁気回路が前記センシング部を介して当該磁性体を通過するように配置して、前記センシング部材に設けたことを特徴とするである。

本発明の請求項２に記載された発明は、導電性部材を周方向に沿って幅を変化させて設けられたセンシング部を有し、回転軸に取り付けられるロータと、交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材からなり前記励磁コイルを保持するコアとを有し、前記センシング部に対して前記回転軸の軸線方向に間隔を置いて対向配置されて固定部材に取り付けられるコイルコアとを備えた変位センサであって、磁性部材からなる磁性体を、前記磁気回路が前記センシング部を介して当該磁性体を通過するように配置して、前記センシング部に設けたことを特徴とするものである。

本発明の請求項３に記載された発明は、導電性部材を長手方向に沿って幅を変化させて設けられたセンシング部を有し、長手方向に移動可能な移動子に取付けられる移動部材と、交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材からなり前記励磁コイルを保持するコアとを有し、前記センシング部に対して所定の間隔を置いて対向配置されるコイルコアとを備えた変位センサであって、磁性部材からなる磁性体を、前記磁気回路が前記センシング部を介して当該磁性体を通過するように配置して、前記センシング部に設けたことを特徴とするものである。

本発明の請求項４に記載された発明は請求項２または３に記載の変位センサであって、前記ロータ、あるいは前記移動部材は板状に形成され、一方の面にセンシング部が設けられ、他方の面に磁性体が設けられていることを特徴とするものである。

本発明の変位センサによれば、センシング部と磁性体は一体的に設けられているので、変位センサに振動等が加わってセンシング部とコイルコアとの間隔が変化しても、センシング部のコイルのインピーダンスに与える影響と、磁性体のコイルのインピーダンスに与える影響とは相殺され、変位センサの検出誤差を低減させることができる。

さらにコイルコア同士をセンシング部を介して対向して設けなくてもよいので、その分変位センサを小型化でき、またコストを低減することもできる。そして変位センサを容易に組立てることもできる。

次に、本発明の実施形態を図面により詳細に説明する。図１乃至図６は本発明に係る変位センサ１の第１実施形態を示したもので、図１乃至図５は変位センサ１を示す概要図である。

図１は、変位センサ１の全体を示した平面図で、変位センサ１は、例えば自動車のステアリングシャフト等の回転軸Ｓｈに組み付けられて、回転軸Ｓｈの回転角度を検知してこれにより回転軸Ｓｈの舵角あるいは回転軸Ｓｈに発生するトルクを検出したり、あるいは回転軸Ｓｈの回転数を検出したりして用いられる。

図２は、図１の変位センサ１の断面図を示したもので、変位センサ１は、ロータ２、コイルコア４及び測定装置６を備え、これらロータ２、コイルコア４及び測定装置６はケース３内に収納される。

ロータ２は、図２、及び図３に示すように、ロータ板２ａ、センシング板２ｂ、磁性板２ｃ及び取付部２ｄとから構成され、シャフト等の回転軸Ｓｈに取付け固定される。

前記ロータ板２ａは、合成樹脂等（例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたＦＲＰ（繊維強化プラスチック）等）からなり、円板状に形成され、中央部に回転軸Ｓｈが挿通される孔を有する。

前記センシング板２ｂは、導電性部材（例えば、銅、銀、アルミニウム、黄銅等）製の薄板からなり、前記ロータ板２ａの一方の面に、接着剤等により貼付して設けられている。図３に示すように、センシング板２ｂは、前記ロータ板２ａの周方向に沿って幅Ｗを変化させて設けられ、位置Ｐ１で最小の幅を有し、１８０°回転した位置Ｐ２で最大の幅を有し、ロータ２の回転角度に対応して半径方向の幅が変化するように形成されている。このセンシング板２ｂには、後述する交流磁界によって回転角度に対応した大きさの渦電流が誘起される。

前記磁性板２ｃは、磁性体（例えば、ステンレス材（例えばＳＵＳ４３０等）、アモルファス材、フェライト材等）からなる薄板で、前記センシング板２ｂの前記ロータ板２ａに貼付されている面の面積よりも大きな面積を有し、この面の全面を覆うことができる大きさでドーナツ状に形成されている。この磁性板２ｃは、前記ロータ板２ａを介して前記センシング板２ｂの全面に対向させて、前記ロータ板２ａの他方の面に、この面からはみ出ないように接着剤等により貼付して設けられている。尚、磁性板２ｃは、前記ロータ板２ａを介して前記センシング板２ｂの全面に対向して設けることができればどのような形状でもよく、ドーナツ状に限定されない。

前記取付部２ｄは、リング状に形成され、前記ロータ２の孔に固定して設けられる。この取付部２ｄはシャフト等の回転軸Ｓｈに取付けられ、前記ロータ２は、取付部２ｄを介してシャフト等の回転軸Ｓｈに固定されて回転軸Ｓｈと一体に回転する。

コイルコア４は、図１乃至図３に示すように、交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイル４ｂと、この励磁コイル４ｂを保持するコア４ａとから構成され、前記ロータ２の周方向に沿って中心角９０°間隔で４箇所に配置され、これらのコイルコア４は、上面側が前記センシング板２ｂに対して対向配置され、下面側がサブステータ５に固定して設けられる。

前記コア４ａは、絶縁磁性材（例えば、Ｎｉ−Ｚｎ系、Ｍｎ−Ｚｎ系、Ｍｇ−Ｚｎ系のフェライトに、ナイロン、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成樹脂を混合したもの、あるいはセラミック等）からなり、円柱状に形成され、上面側に励磁コイル４ｂを収容するリング状の空間部を有する。

前記励磁コイル４ｂは、例えばエナメル線等を巻回して形成され、前記コア４ａの空間部に収容され保持されて、前記センシング板２ｂに対して対向配置して設けられる。各励磁コイル４ｂは、直列に接続され測定装置６に電気的に接続され、交流励磁電流が流される。これらの励磁コイル４ｂは、交流励磁電流が流れると、周囲に交流磁界を形成して、磁気回路Ｃｍｇを形成する。

ケース３は、図１、及び図２に示すように、中央部に回転軸Ｓｈが挿通される孔３ｃが形成された円板状の上ケース３ａと、中央部に回転軸Ｓｈが挿通される孔３ｄが形成された円板状の底板部に円環状に側壁が設けられた下ケース３ｂとから構成され、これら上下ケース３ａ、３ｂは合成樹脂等（例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたＦＲＰ（繊維強化プラスチック）等）あるいは導電性部材（例えば、銅、銀、アルミニウム、黄銅等）から形成される。そして、ケース３は、上ケース３ａと下ケース３ｂとを係合して設けられ、前記ロータ２、各コイルコア４及び測定装置６は、前記上ケース３ａと下ケース３ｂとにより形成される円環状の空隙部に収納して設けられている。

図２に示すように、前記ロータ２は、センシング板２ｂを下ケース３ｂの底板部側に向けて、前記ケース３内で回転軸Ｓｈと一体に回転可能に設けられる。前記各コイルコア４は、励磁コイル４ｂを前記センシング板２ｂに対向して前記センシング板２ｂに対して前記回転軸Ｓｈの軸線方向に数ｍｍ程度の間隔を置いて対向配置されて、下ケース３ｂ内に固定して設けられた板状のサブステータ５の上面側に固定して設けられる。前記測定装置６は、前記サブステータ５の下面側に固定して設けられている。そして、ケース３は、図示しない固定部材に固定して配置される。

測定装置６は、基板に回路を構成して設けられ、測定装置６は、ケース３から外部へ延出させた複数の電線１９に設けられたコネクタ（図示せず）を介して電源や信号伝送用のワイヤハーネスと接続されると共に、ケース３の外部に設けられた外部装置と電気的に接続される。測定装置６は、図５に示すように、分周回路６ｂと測定部６ｇとの間に、位相シフト部６ｃ１、位相シフト量検出部６ｄ１、コンバータ６ｅ1、位相シフト部６ｃ２、位相シフト量検出部６ｄ２、コンバータ６ｅ２、位相シフト部６ｃ３、位相シフト量検出部６ｄ３、コンバータ６ｅ３及び位相シフト部６ｃ４、位相シフト量検出部６ｄ４、コンバータ６ｅ４が並列に接続されている。尚、サブステータ５を設けずに、測定装置６の基板をサブステータとして用いてもよい。

コンバータ６ｅ１の出力信号Ｓｃ１とコンバータ６ｅ２の出力信号Ｓｃ２は、差動アンプ６ｈ１で差分された後、図示しない増幅器で増幅されて測定部６ｇのＡ／Ｄコンバータへ電圧信号の出力Ｐｏ１として出力される他、直接測定部６ｇへと出力される。また、差動アンプ６ｈ１には、増幅された電圧値の電圧レベルを調整するシフトレベル調整部６ｊ１が接続されている。

同様に、コンバータ６ｅ３の出力信号Ｓｃ３とコンバータ６ｅ４の出力信号Ｓｃ４は、差動アンプ６ｈ２で差分された後、図示しない増幅器で増幅されて測定部６ｇのＡ／Ｄコンバータへ電圧信号の出力Ｐｏ２として出力される他、直接測定部６ｇへと出力される。また、差動アンプ６ｈ２には、増幅された電圧値の電圧レベルを調整するシフトレベル調整部６ｊ２が接続されている。さらに、コンバータ６ｅ５の出力信号Ｓｃ５は、直接測定部６ｇへ出力される。

発振回路６ａは、分周回路６ｂを介して特定周波数の発振信号を、図５に示す抵抗Ｒ１〜Ｒ４、励磁コイル４ｂ１〜４ｂ４、及びコンデンサＣ１〜Ｃ４からなる位相シフト部６ｃ１〜６ｃ４に出力する。このとき、各コンデンサＣ１〜Ｃ４の両端における電圧信号の位相は、励磁コイル４ｂ１〜４ｂ４の後述するインピーダンスの変動によって変化する。コンデンサＣ１〜Ｃ４両端の電圧信号は、位相シフト量検出部６ｄ１〜６ｄ４へ出力される。

各位相シフト量検出部６ｄ１〜６ｄ４は、各コンデンサＣ１〜Ｃ４両端の電圧信号の位相シフト量を検出する。コンバータ６ｅ１〜６ｅ４は、検出された前記位相シフト量を対応する電圧値に変換する。変位センサ１は、例えば、ワンチップマイクロプロセッサ等を用いた測定部６ｇに、図５に示すように、増幅された２つの差分信号である出力Ｐｏ１、Ｐｏ２及び４つのコンバータ６ｅ１〜６ｅ４からの出力信号Ｓｃ１〜Ｓｃ４が入力される。すると、測定部６ｇは、先ず、４つの出力信号Ｓｃ１〜Ｓｃ４のレベルの大小関係を比較することによって、ロータ２のセンシング部３ｂにおいて、励磁コイル４ｂ１〜４ｂ４が配置された位置を判別する。その後、その位置に従い、リニアリティが優れている励磁コイル４ｂ１〜４ｂ４の差分信号を用いて測定部６ｇが適当な信号処理を行い、処理された信号を角度信号としてワンチップマイクロプロセッサから出力する。本実施例では、測定部６ｇのワンチップマイクロプロセッサから出力される角度信号は、一定周期のパルス信号で、そのデューティー比はロータ２の回転角度に比例する。

上記のように構成される変位センサ１は、各励磁コイル４ｂに交流励磁電流が流されると、図４に示されるように、各励磁コイル４ｂは、周囲に交流磁界を形成し、コア４ａと磁性板２ｃは協同して磁気回路Ｃｍｇを形成する。この磁気回路Ｃｍｇは、センシング板２ｂを介して磁性板２ｃを通過して形成され、コア４ａからの磁束はセンシング板２ｂを横切ってから磁性板２ｃを通過する。このとき、磁束がセンシング板２ｂを横切ると、センシング板２ｂの表面には渦電流が誘起され、励磁コイル４ｂのインピーダンスを変動させる。このインピーダンスの変動量は、センシング板２ｂの表面に誘起される渦電流量に対応して変動する。センシング板２ｂの表面に誘起される渦電流量は、コイルコア４に対向する部分のセンシング板２ｂの面積により変動する。よって、ロータ２が回転すると、各コイルコア４と対向するロータ２のセンシング板２ｂの幅はロータ２の回転角度に比例して変動し、これに伴って、センシング板２ｂのコイルコア４に対向する部分の面積も変動する。この結果、各励磁コイル４ｂのインピーダンスの変動が生じ、この変動を前記測定装置６が検知し、ロータ２の角度信号に変換して、ロータ２の回転角度を３６０度にわたって検出することができる。これにより、回転軸Ｓｈの回転角度は３６０度にわたって検出される。

ここで、例えば変位センサ１が自動車等、振動が加わる箇所に配置される等して変位センサ１に振動が加わった場合、前記コイルコア４とロータ２との間隔は変動するため、センシング板２ｂの磁束に与える影響は変動し、これに伴いセンシング板２ｂの各励磁コイル４ｂのインピーダンスに与える影響も変動する。また、ロータ板２ａの他方の面には磁性板２ｃが設けられているため、磁性板２ｃの磁束に与える影響も変動して、これに伴い磁性板２ｃの各励磁コイル４ｂのインピーダンスに与える影響も変動する。このとき、センシング板２ｂと磁性板２ｃはロータ板２ａに一体に設けられているので、両者の各励磁コイル４ｂとの間隔の変動量は同じである。物性上、センシング板２ｂは磁束を通しにくくするものであるのに対して磁性板２ｃは磁束を通し易くするものであるため、それぞれの磁束へ与える影響は相反する。よってセンシング板２ｂと磁性板２ｃが、各励磁コイル４ｂのインピーダンスに与える影響も相反するものとなり、両者の励磁コイル４ｂのインピーダンスに与える影響は相殺される。この結果、図４に示すように、センシング板２ｂとコイルコア４との間隔をＡ、センシング板２ｂとコイルコア４との間隔の変動量をα、この変動量αによる変位センサ１の出力変動の大きさをＢとすると、図６に示すように、変位センサ１の振動等に起因する出力変動は、従来の変位センサ２０の出力変動と比較して１／１０程度となり、検出誤差を低減させることができる。さらに、従来技術のように各コイルコア４を対向して設ける必要はなく、磁性板２ｃの厚みはコイルコア４の高さ方向の寸法と比較して小さいため、ケース３の回転軸Ｓｈの軸線方向の高さを低くして変位センサ１を小型化でき、コストを低減することができる。また、変位センサ１を容易に組立てることもできる。

尚、本実施形態では図２あるいは図４に示されるように、ロータ板２ａの一方の面にセンシング板２ｂを貼付して設け、他方の面に磁性板２ｃを設けてロータ２を形成したが、図７に示すように、センシング板２ｂの全面が覆われるようにセンシング板２ｂと磁性板２ｃとを貼り合わせて設けたものを、センシング板２ｂがコイルコア４の励磁コイル４ｂ側に配置されるようにロータ板２ａの下面側に貼付して、磁気回路Ｃｍｇが前記センシング板２ｂを介して磁性板２ｃを通過するようにロータ２′を形成してもよい。

また、図８に示すように、センシング板２ｂの全面が覆われるようにセンシング板２ｂと磁性板２ｃとを貼り合わせて設けたものを、センシング板２ｂがコイルコア４の励磁コイル４ｂ側に配置されるようにロータ板２ａの上面側に貼付して、磁気回路Ｃｍｇが前記センシング板２ｂを介して磁性板２ｃを通過するようにロータ２″を形成してもよい。

さらに、図７あるいは図８において、特に支障なければ、取付部２ｄを磁性板２ｃに設ける等してロータ板２ａを省略することもできる。

次に、本発明の第２実施形態の変位センサ７を図９により説明する。図９は、本発明の第２実施形態の変位センサ７の要部を示した断面図である。この変位センサ７は、本発明の第１実施形態における変位センサ１において、ロータ２の代わりにロータ８を用いたもので、その他の構成は第１実施形態の変位センサ１と同じである。また、ロータ８を構成する各部材の材質と形状も、ロータ２の各部材の材質と形状と実質的に同じである。

図９に示すように、ロータ８は、導電性部材を周方向に沿って幅を変化させて設けられた環状のセンシング板８ｂと磁性部材からなる環状の磁性板８ｃとを、ロータ板８ａの一方の面に貼り付けて設けられ、両者は、磁気回路Ｃｍｇが前記センシング板８ｂを介して磁性板８ｃを通過するように配置される。

変位センサ７の各コイルコア４の各励磁コイル４ｂに交流励磁電流が流されると、各励磁コイル４ｂは周囲に交流磁界を形成し、コア４ａと磁性板８ｃは協同して磁気回路Ｃｍｇを形成する。この磁気回路Ｃｍｇは、センシング板８ｂを介して磁性板８ｃを通過して形成され、コア４ａからの磁束はセンシング板８ｂを通過してから磁性板８ｃを通過する。このとき、磁束がセンシング板８ｂを通過すると、センシング板８ｂには渦電流が誘起され、励磁コイル４ｂのインピーダンスを変動させる。このインピーダンスの変動量は、ロータ８の回転に伴い、ロータ８の回転角度に比例して変動するように設けられているので、この各励磁コイル４ｂのインピーダンスの変動を前記測定装置６で検知し、ロータ８の角度信号に変換して、ロータ８の回転角度を検出することができる。これにより、回転軸Ｓｈの回転角度は検出される。

このように構成しても、センシング板８ｂと磁性板８ｃはロータ板８ａに一体に設けられているので両者の励磁コイル４ｂのインピーダンスに与える影響を相殺することができ、変位センサ１と同様に、振動等に起因する変位センサ７の検出誤差を低減して回転軸Ｓｈの回転角度を検出することができる。さらに、変位センサ７を小型化でき、コストを低減することができる。また、変位センサ７を容易に組立てることもできる。尚、センシング板８ｂと磁性板８ｃとを、磁気回路Ｃｍｇが前記センシング板８ｂを介して磁性板８ｃを通過するように配置して設ければ、両者をロータ板８ａの他方の面側に設けてもよい。

次に、本発明の第３実施形態の変位センサ９を図１０乃至図１４により説明する。変位センサ９は、対象物の回転数を検出するセンサである。

変位センサ９は、図１０、図１１に示すように、例えば、本発明の第１実施形態の変位センサ１近傍に配置され、変位センサ１のロータ２の回転数を検出することができる。尚、変位センサ９を、本発明の第２実施形態の変位センサ７近傍に配置して、変位センサ７のロータ８の回転数を検出してもよい。

図１１は、図１０の変位センサ９の断面図を示したもので、変位センサ９は、ロータ１０、コイルコア１２及び測定装置１３を備え、これらロータ１０、コイルコア１２及び測定装置１３は、変位センサ１のロータ２、コイルコア及び測定装置等と共にケース１１内に収納されている。尚、変位センサ１のロータ２は、ロータ板の側縁部に１つの突出部２ｅが径方向に突き出して設けられている。

尚、ロータ２の代わりに、図７に示されるロータ２′または図８に示されるロータ２″を用いてもよい。

ロータ１０は、図１０乃至図１２に示すように、ロータ板１０ａ、センシング板１０ｂ、磁性板１０ｃ及び突部１０ｄとから構成される。

前記ロータ板１０ａは合成樹脂等（例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたＦＲＰ（繊維強化プラスチック）等）からなり、円板状に形成される。また、ロータ板１０ａの中央部には回転軸Ｚが設けられる。さらに、ロータ板１０ａの一方の面には、５つの突部１０ｄが、周方向に中心角７２°の等間隔で５個所に配置されて一体に設けられている。これらの突部１０ｄは、前記変位センサ１のロータ２が一回転する度に該ロータ２の突出部２ｅと係合される。尚、突部の数は、５個所に限定されることはなく、いくつ設けてもよい。

前記センシング板１０ｂは、導電性部材（例えば、銅、銀、アルミニウム、黄銅等）製の薄板からなり、前記ロータ板１０ａの他方の面に、接着剤等により貼付して設けられている。センシング板１０ｂは、図１２に示すように、前記ロータ板１０ａの周方向に沿って幅を変化させて、ロータ１０の回転角度に対応して半径方向の幅が変化するように形成されている。このセンシング板１０ｂには、変位センサ１のロータ２のセンシング板と同様に交流磁界によって回転角度に対応した大きさの渦電流が誘起される。

前記磁性板１０ｃは、磁性体（例えば、ステンレス材（例えばＳＵＳ４３０等）、アモルファス材、フェライト材等）からなる薄板で、前記センシング板１０ｂの前記ロータ板１０ａに貼付されている面の面積よりも大きな面積を有し、この面の全面を覆うことができる大きさでドーナツ状に形成されている。この磁性板１０ｃは、前記ロータ板１０ａを介して前記センシング板１０ｂの全面に対向させて、前記ロータ板１０ａの一方の面に、この面からはみ出ないように接着剤等により貼付して設けられている。尚、磁性板１０ｃは、前記ロータ板１０ａを介して前記センシング板１０ｂの全面に対向して設けることができればどのような形状でもよく、ドーナツ状に限定されない。

コイルコア１２は、図１０及び図１１に示すように、交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイル１２ｂと、この励磁コイル１２ｂを保持するコア１２ａとから構成され、前記センシング板１０ｂに対して上面側を対向配置して、下面側を測定装置１３に固定して設けられる。

前記コア１２ａは、絶縁磁性材（例えば、Ｎｉ−Ｚｎ系、Ｍｎ−Ｚｎ系、Ｍｇ−Ｚｎ系のフェライトに、ナイロン、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成樹脂を混合したもの、あるいはセラミック等）からなり、円柱状に形成され、上面側に励磁コイル１２ｂを収容するリング状の空間部を有する。

前記励磁コイル１２ｂは、例えばエナメル線等を巻回して形成され、前記コア１２ａの空間部に収容され保持されて、前記センシング板１０ｂに対して対向配置して設けられる。励磁コイル１２ｂは測定装置１３に電気的に接続され、交流励磁電流が流される。この励磁コイル１２ｂは、交流励磁電流が流れると、周囲に交流磁界を形成して、磁気回路Ｃｍｇを形成する。

ケース１１は、図１０、及び図１１に示すように、円板状の上ケース１１ａと、円板状の底板部に円環状に側壁が設けられた下ケース１１ｂとから構成され、これら上下ケース１１ａ、１１ｂは合成樹脂等（例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたＦＲＰ（繊維強化プラスチック）等）あるいは導電性部材（例えば、銅、銀、アルミニウム、黄銅等）から形成される。そして、ケース１１は、上ケース１１ａと下ケース１１ｂとを係合して設けられ、前記ロータ１０、コイルコア１２及び測定装置１３は、前記上ケース１１ａと下ケース１１ｂとにより形成される空隙部に収納して設けられている。さらに、変位センサ１のロータ２、コイルコア及び測定装置も、第１実施形態におけるケース１内に設けられるのと同様にケース１１内に収納して設けられる。

図１１に示すように、前記測定装置１３が設けられた基板は、前記下ケース１１ｂの底板部上面に固定して設けられている。前記ロータ１０は、センシング板１０ｂを下ケース１１ｂの底板部側に向けて、前記突部１０ｄが前記変位センサ１のロータ２の突出部２ｅと係合可能に配置され、前記回転軸Ｚと一体に回転可能に設けられる。前記回転軸Ｚは下ケース１１ｂに回転自在に軸支される。前記コイルコア１２は、励磁コイル１２ｂを前記センシング板１０ｂに対向して前記センシング板１０ｂに対して前記回転軸Ｚの軸線方向に数ｍｍ程度の間隔を置いて対向配置されて、前記測定装置１３の基板の上面側に固定して設けられる。そして、ケース１１は、図示しない固定部材に固定して配置される。

尚、変位センサ９のロータ１０の突部１０ｄと、変位センサ１のロータ２の突出部２ｅは互いに係合可能に設けられているので、前記ロータ１０は、前記ロータ２が１回転する毎に突出部２ｅが突部１０ｄと係合して７２°ずつ回転される。

測定装置１３は、基板に回路を構成して設けられ、測定装置１３は、ケース１１から外部へ延出させた複数の電線１９に設けられたコネクタ（図示せず）を介して電源や信号伝送用のワイヤハーネスと接続されると共に、ケース１１の外部に設けられた外部装置と電気的に接続される。測定装置１３は、図１３に示すように、分周回路１３ｂと測定部１３ｇとの間に、位相シフト部１３ｃ、位相シフト量検出部１３ｄ、コンバータ１３ｅ及び増幅回路１３ｆが接続されている。

発振回路１３ａは、分周回路１３ｂを介して特定周波数の発振信号を、図１３に示す抵抗Ｒ、励磁コイル１２ｂ、及びコンデンサＣからなる位相シフト部１３ｃに出力する。このとき、コンデンサＣの両端における電圧信号の位相は、励磁コイル１２ｂのインピーダンスの変動によって変化する。コンデンサＣの両端の電圧信号は、位相シフト量検出部１３ｄへ出力される。

位相シフト量検出部１３ｄは、コンデンサＣの両端の電圧信号の位相シフト量を検出する。コンバータ１３ｅは、検出された前記位相シフト量を対応する電圧値に変換する。変位センサ９は、例えば、ワンチップマイクロプロセッサ等を用いた測定部１３ｇに、図１３に示すように、コンバータ１３ｅからの出力信号Ｓｃが増幅回路１３ｆで増幅されて入力される。すると、測定部１３ｇは、出力信号Ｓｃの電圧値を読み取り、適当な信号処理を行い、後述するようにロータ１０の回転数を検出する。

上記のように構成される変位センサ９においては励磁コイル１２に交流励磁電流が流されると、励磁コイル１２ｂは、周囲に交流磁界を形成し、コア１２ａと磁性板１０ｃは協同して磁気回路Ｃｍｇを形成する。この磁気回路Ｃｍｇは、センシング板１０ｂを介して磁性板１０ｃを通過して形成され、コア１０ａからの磁束はセンシング板１０ｂを横切ってから磁性板１０ｃを通過する。このとき、磁束がセンシング板１０ｂを横切ると、センシング板１０ｂの表面には渦電流が誘起され、励磁コイル１２ｂのインピーダンスを変動させる。このインピーダンスの変動量は、センシング板１２ｂの表面に誘起される渦電流量に対応して変動する。センシング板１０ｂの表面に誘起される渦電流量は、コイルコア１２に対向する部分のセンシング板１０ｂの面積により変動する。よって、ロータ１０が、変位センサ１のロータ２が１回転する度にこれに伴い間欠的に回転すると、コイルコア１２と対向するロータ１０のセンシング板１０ｂの幅はロータ１０の回転に伴って変動し、センシング板１０ｂのコイルコア１２に対向する部分の面積も変動する。この結果、励磁コイル１２ｂのインピーダンスの変動が生じ、この変動を前記測定装置１３が検知し、ロータ１０の回転数信号に変換して、図１４に示されるように、ロータ１０の回転数が５段階にわたって検出される。これにより、前記ロータ２の回転数を５段階にわたって検出できる。

よって、変位センサ１と変位センサ９とを組み合わせて用いることにより、変位センサ１が取付け固定された回転軸Ｓｈの回転角度は、時計回り方向に９００度、反時計回り方向に９００度ずつ（左右に２回転半ずつ）、あわせて１８００度にわたって検出することができる。

ここで、例えば変位センサ９が自動車等、振動が加わる箇所に配置される等して変位センサ９に振動が加わった場合、前記コイルコア１２とロータ１０との間隔は変動するため、センシング板１０ｂの磁束に与える影響は変動し、これに伴いセンシング板１０ｂの各励磁コイル１２ｂのインピーダンスに与える影響も変動する。また、ロータ板１０ａの一方の面には磁性板１０ｃが設けられているため、磁性板１０ｃの磁束に与える影響も変動して、これに伴い磁性板１０ｃの励磁コイル１２ｂのインピーダンスに与える影響も変動する。このとき、センシング板１０ｂと磁性板１０ｃはロータ板１０ａに一体に設けられているので、両者の励磁コイル１２ｂとの間隔の変動量は同じである。物性上、センシング板１０ｂは磁束を通しにくくするものであるのに対して磁性板１０ｃは磁束を通し易くするものであるため、それぞれの磁束へ与える影響は相反する。よって、センシング板１０ｂと磁性板１０ｃが、各励磁コイル１２ｂのインピーダンスに与える影響も相反するものとなり、両者の励磁コイル１２ｂのインピーダンスに与える影響は相殺される。この結果、振動等に起因する変位センサ９の検出誤差を低減させることができる。

尚、測定装置１３は、変位センサ１の測定装置６と同じ基板に回路を形成して設けてもよい。この場合、前記位相シフト部１３ｃ、位相シフト量検出部１３ｄ及びコンバータ１３ｅは、測定部６の各位相シフト部、位相シフト量検出部及びコンバータ等と並列に接続して設けられ、コンバータ１３ｅからの出力信号Ｓｃを変位センサ１の測定装置６の測定部６ｇに入力して処理してもよい。

次に、本発明の第４実施形態の変位センサ１４を図１５乃至図１９により説明する。変位センサ１４は、対象物の直線方向の移動量を検出するセンサである。

図１５は、変位センサ１４の全体を示した図である。変位センサ１４は、移動子１５ｄを、例えば自動車のシート等の直線方向に移動可能に設けられた部材に取り付けて、前記部材の長手方向の移動量を検知して用いられる。

図１６は、図１５の変位センサ１４の断面図を示したもので、変位センサ１４は、移動体１５、コイルコア１７及び測定装置１８を備え、これら移動体１５、コイルコア１７及び測定装置１８はケース１６内に収納されている。

移動体１５は、図１６及び図１７に示すように、移動板１５ａ、センシング板１５ｂ、磁性板１５ｃ及び移動子１５ｄから構成され、移動子１５ｄが例えば自動車内のシート等に取付け固定して設けられる。

前記移動板１５ａは、合成樹脂等（例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたＦＲＰ（繊維強化プラスチック）等）からなり、板状に形成され、センシングの対象となる移動部材に取り付け固定されて該移動部材と共に移動する棒状の移動子１５ｄが、端部に一体に設けられる。

図１７に示すように、前記センシング板１５ｂは、導電性部材（例えば、銅、銀、アルミニウム、黄銅等）製の薄板からなり、前記移動板１５ａの一方の面に、接着剤等により貼付して設けられている。センシング板１５ｂは、前記移動板１５ａの長手方向に沿って幅を変化させて、移動体１５の移動量に対応して長手方向の幅が変化するように形成されている。このセンシング板１５ｂには、後述する交流磁界によって移動量に対応した大きさの渦電流が誘起される。

前記磁性板１５ｃは、磁性体（例えば、ステンレス材（例えばＳＵＳ４３０等）、アモルファス材、フェライト材等）からなる薄板で、前記センシング板１５ｂの前記移動板１５ａに貼付されている面の面積よりも大きな面積を有し、この面の全面を覆うことができる大きさで長方形に形成されている。この磁性板１５ｃは、前記移動板１５ａを介して前記センシング板１５ｂの全面に対向させて、前記移動板１５ａの他方の面に、この面からはみ出ないように接着剤等により貼付して設けられている。尚、磁性板１５ｃは、前記移動板１５ａを介して前記センシング板１５ｂの全面に対向して設けることができればどのような形状でもよく、長方形に限定されない。

コイルコア１７は、図１５及び図１６に示すように、交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイル１７ｂと、この励磁コイル１７ｂを保持するコア１７ａとから構成される。このコイルコア１７は、上面側が前記センシング板１７ｂに対して対向配置され、下面側を測定装置１８に固定して設けられる。

前記コア１７ａは、絶縁磁性材（例えば、Ｎｉ−Ｚｎ系、Ｍｎ−Ｚｎ系、Ｍｇ−Ｚｎ系のフェライトに、ナイロン、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成樹脂を混合したもの、あるいはセラミック等）からなり、円柱状に形成され、上面側に励磁コイル１７ｂを収容するリング状の空間部を有する。

前記励磁コイル１７ｂは、例えばエナメル線等を巻回して形成され、前記コア１７ａの空間部に収容され保持されて、前記センシング板１５ｂに対して対向配置して設けられる。励磁コイル１７ｂは測定装置１８に電気的に接続され、交流励磁電流が流される。この励磁コイル１７ｂは、交流励磁電流が流れると、周囲に交流磁界を形成して、磁気回路Ｃｍｇを形成する。

ケース１６は、図１５及び図１６に示すように、中央部に長手方向にわたって前記移動子１５ｄが挿通される長孔１６ｄが設けられた板状の上ケース１６ａと、板状の底板部に同じ高さを有する４枚の長方形の側壁が設けられ、前記移動体１５を所定のクリアランスを確保して保持する一対の保持部１６ｃが、前記側壁内側に対向させて形成された下ケース１６ｂとから構成され、これら上下ケース１６ａ、１６ｂは合成樹脂等（例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたＦＲＰ（繊維強化プラスチック）等）あるいは導電性部材（例えば、銅、銀、アルミニウム、黄銅等）から形成される。そして、ケース１６は、上ケース１６ａと下ケース１６ｂとを係合して設けられ、前記移動体１５、コイルコア１７及び測定装置１８は、前記上ケース１６ａと下ケース１６ｂとにより形成される直方体状の空隙部に収納して設けられる。

図１７に示すように、前記測定装置１８が設けられた基板は、前記下ケース１６ｂの底板部上面に固定して設けられている。前記移動体１５は、センシング板１５ｂを下ケース１６ｂの底板部側に向けて、移動板１５ａの長辺縁部を前記保持部１６上に移動可能に保持されてケース１６内に設けられる。前記コイルコア１７は、励磁コイル１７ｂを前記センシング板１５ｂに対向して前記センシング板１５ｂに対して数ｍｍ程度の間隔を置いて対向配置されて、前記測定装置１８の基板の上面側に固定して設けられる。そして、上ケース１６ａは、前記長孔１６ｄに前記移動子１５ｄが挿通されて下ケース１６ｂと係合されてケース１６が設けられ、このケース１６は、図示しない固定部材に固定して配置される。

測定装置１８は、基板に回路を構成して設けられ、測定装置１８は、ケース１６から外部へ延出させた複数の電線１９に設けられたコネクタ（図示せず）を介して電源や信号伝送用のワイヤハーネスと接続されると共に、ケース１６の外部に設けられた外部装置と電気的に接続される。測定装置１８は、図１８に示すように、分周回路１８ｂと測定部１８ｇとの間に、位相シフト部１８ｃ、位相シフト量検出部１８ｄ、コンバータ１８ｅ及び増幅回路１８ｆが接続されている。

発振回路１８ａは、分周回路１８ｂを介して特定周波数の発振信号を、図１８に示す抵抗Ｒ、励磁コイル１８ｂ、及びコンデンサＣからなる位相シフト部１８ｃに出力する。このとき、コンデンサＣの両端における電圧信号の位相は、励磁コイル１８ｂのインピーダンスの変動によって変化する。コンデンサＣの両端の電圧信号は、位相シフト量検出部１８ｄへ出力される。

位相シフト量検出部１８ｄは、コンデンサＣの両端の電圧信号の位相シフト量を検出する。コンバータ１８ｅは、検出された前記位相シフト量を対応する電圧値に変換する。変位センサ１４は、例えば、ワンチップマイクロプロセッサ等を用いた測定部１８ｇに、図１８に示すように、コンバータ１８ｅからの出力信号Ｓｃが増幅回路１８ｆで増幅されて入力される。すると、測定部１８ｇは、出力信号Ｓｃの電圧値を読み取り、適当な信号処理を行い、後述するように移動体１５の移動量を検出する。

上記のように構成される変位センサ１４においては励磁コイル１７ｂに交流励磁電流が流されると、励磁コイル１７ｂは、周囲に交流磁界を形成し、コア１７ａと磁性板１５ｃは協同して磁気回路Ｃｍｇを形成する。この磁気回路Ｃｍｇは、センシング板１５ｂを介して磁性板１５ｃを通過して形成され、コア１７ａからの磁束はセンシング板１５ｂを横切ってから磁性板１５ｃを通過する。このとき、磁束がセンシング板１５ｂを横切ると、センシング板１５ｂの表面には渦電流が誘起され、励磁コイル１７ｂのインピーダンスを変動させる。このインピーダンスの変動量は、センシング板１５ｂの表面に誘起される渦電流量に対応して変動する。センシング板１５ｂの表面に誘起される渦電流量は、コイルコア１７に対向する部分のセンシング板１５ｂの面積により変動する。よって、移動体１５が長手方向に移動すると、コイルコア１７と対向する移動体１５のセンシング板１５ｂの幅は移動体１５の移動量に比例して変動し、これに伴って、センシング板１５ｂのコイルコア１７に対向する部分の面積も変動する。この結果、励磁コイル１７ｂのインピーダンスの変動が生じ、この変動を前記測定装置１８が検知し、移動体１５の移動信号に変換して、図１９に示すように、移動体１５が取り付け固定されているシート等の移動量が検出される。

ここで、例えば変位センサ１４が自動車等、振動が加わる箇所に配置される等して変位センサ１４に振動が加わった場合、移動体１５は移動し易くするために所定のクリアランスを有して保持部１６ｃに保持されているので、前記コイルコア１７と移動体１５との間隔は前記クリアランスの範囲内で変動するため、センシング板１５ｂの磁束に与える影響は変動し、これに伴いセンシング板１５ｂの励磁コイル１７ｂのインピーダンスに与える影響も変動する。また、移動板１５ａの他方の面には磁性板１５ｃが設けられているため、磁性板１５ｃの磁束に与える影響も変動して、これに伴い磁性板１５ｃの励磁コイル１７ｂのインピーダンスに与える影響も変動する。このとき、センシング板１５ｂと磁性板１５ｃは移動板１５ａに一体に設けられているので、両者の励磁コイル１７ｂとの間隔の変動量は同じである。物性上、センシング板２ｂは磁束を通しにくくするものであるのに対して磁性板２ｃは磁束を通し易くするものであるため、それぞれの磁束へ与える影響は相反する。よって、センシング板１５ｂと磁性板１５ｃが、各励磁コイル１７ｂのインピーダンスに与える影響も相反するものとなり、両者の励磁コイル１７ｂのインピーダンスに与える影響は相殺される。この結果、振動等に起因する変位センサ１４の検出誤差を低減させることができる。さらに、２つのコイルコア１７を対向して設ける必要はなく、ケース１６の高さを低くして変位センサ１４を小型化でき、コストを低減することができる。また、変位センサ１４を容易に組立てることもできる。

尚、本実施形態では図１６に示されるように、移動板１５ａの一方の面にセンシング板１５ｂを貼付して設け、他方の面に磁性板１５ｃを設けて移動体１５を形成したが、図２０に示すように、センシング板１５ｂの全面が覆われるようにセンシング板１５ｂと磁性板１５ｃとを貼り合わせて設けたものを、センシング板１５ｂがコイルコア１７の励磁コイル１７ｂ側に配置されるように移動板１５ａの下面側に貼付して、磁気回路が前記センシング板１５ｂを介して磁性板１５ｃを通過するように移動板１５´を形成してもよい。

また、図２１に示すように、センシング板１５ｂの全面が覆われるようにセンシング板１５ｂと磁性板１５ｃとを貼り合わせて設けたものを、センシング板１５ｂがコイルコア１７の励磁コイル１７ｂ側に配置されるように移動板１５ａの上面側に貼付して、磁気回路が前記センシング板１５ｂを介して磁性板１５ｃを通過するように移動板１５″を形成してもよい。

さらに、図２０あるいは図２１において、特に支障なければ、移動子１５ｄを磁性板１５ｃに設ける等して移動板１５ａを省略することもできる。

尚、上述した各実施形態では、コイルコア側を固定し、このコイルコアに対してセンシング部材側を相対的に移動させたが、センシング部材側を固定して、このセンシング部材に対してコイルコア側を相対的に移動させてもよい。

本発明に係る変位センサの第１実施形態を示す概要図である。 図１の変位センサの断面を示す概要図である。 図１の変位センサのロータを示す概要図である。 図１の変位センサのロータの要部を、対応する固定体及びサブコアと共に示した断面図である。 図１の変位センサで使用する測定装置の一例を示す回路図である。 図１の変位センサにおける励磁コイルの出力信号と測定装置の測定部から出力される回転数信号の出力特性図である。 図１の変位センサのロータの変形例を示す概要図である。 図１の変位センサのロータの変形例を示す概要図である。 本発明に係る変位センサの第２実施形態の要部を示す概要図である。 本発明に係る変位センサの第３実施形態を示す概要図である。 図１０の変位センサの断面を示す概要図である。 図１０の変位センサのロータを示す概要図である。 図１０の変位センサで使用する測定装置の一例を示す回路図である。 図１０の変位センサにおける励磁コイルの出力信号と測定装置の測定部から出力される角度信号の出力特性図である。 本発明に係る変位センサの第４実施形態を示す概要図である。 図１５の変位センサの断面を示す概要図である。 図１５の変位センサの移動体を示す概要図である。 図１５の変位センサで使用する測定装置の一例を示す回路図である。 図１５の変位センサにおける励磁コイルの出力信号と測定装置の測定部から出力される移動信号の出力特性図である。 図１５の変位センサの移動体の変形例を示す概要図である。 図１５の変位センサの移動体の変形例を示す概要図である。 従来の変位センサを示す概要図である。 図２２の変位センサにおける励磁コイルの出力信号と出力される角度信号の出力特性図である。

符号の説明

１、７、９、１４ 変位センサ
２、２′、２″、８、１０ ロータ
２ｂ、８ｂ、１０ｂ、１５ｂ センシング板
２ｃ、８ｃ、１０ｃ、１５ｃ 磁性板
３、１１、１６ ケース
４、１２、１７ コイルコア
４ａ、１２ａ、１７ａ コア
４ｂ、１２ｂ、１７ｂ 励磁コイル
６、１３、１８ 測定装置
１５、１５´、１５″ 移動体

Claims (4)

1. 導電性部材を周方向、あるいは長手方向に沿って幅を変化させて設けられたセンシング部を有するセンシング部材と、
   交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材からなり前記励磁コイルを保持するコアとを有し、前記センシング部に対して所定の間隔を置いて対向配置されるコイルコアとを備え、
   前記センシング部材とコイルコアとを、前記センシング部に沿って相対的に移動させてその変位量を検出する変位センサであって、
   磁性部材からなる磁性体を、前記磁気回路が前記センシング部を介して当該磁性体を通過するように配置して、前記センシング部材に設けたことを特徴とする変位センサ。
2. 導電性部材を周方向に沿って幅を変化させて設けられたセンシング部を有し、回転軸に取り付けられるロータと、
   交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材からなり前記励磁コイルを保持するコアとを有し、前記センシング部に対して前記回転軸の軸線方向に間隔を置いて対向配置されて固定部材に取り付けられるコイルコアとを備えた変位センサであって、
   磁性部材からなる磁性体を、前記磁気回路が前記センシング部を介して当該磁性体を通過するように配置して、前記センシング部に設けたことを特徴とする変位センサ。
3. 導電性部材を長手方向に沿って幅を変化させて設けられたセンシング部を有し、長手方向に移動可能な移動子に取付けられる移動部材と、
   交流励磁電流が流され磁気回路を形成する励磁コイルと、磁性材からなり前記励磁コイルを保持するコアとを有し、前記センシング部に対して所定の間隔を置いて対向配置されるコイルコアとを備えた変位センサであって、
   磁性部材からなる磁性体を、前記磁気回路が前記センシング部を介して当該磁性体を通過するように配置して、前記センシング部に設けたことを特徴とする変位センサ。
4. 前記ロータ、あるいは前記移動部材は板状に形成され、一方の面にセンシング部が設けられ、他方の面に磁性体が設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載の変位センサ。
   

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