JP2003238628A - Tfeの熱処理可能なコポリマー - Google Patents

Tfeの熱処理可能なコポリマー

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    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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    • C08F214/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen
    • C08F214/18Monomers containing fluorine
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体産業において、以下の特性の組み合わ
せ:室温(23℃)で、射出成形品のウエルドライン上で
測定される優れた機械的特性、ポリマー重量に対し1重
量ppm以下の、ポリマーペレットについてのF-遊離値、
ポリマー重量に対し0.2重量ppm未満の、抽出可能なCl-
の値、5.10-4モル/ポリマーkg以下の、イオン末端基の
量、250℃の温度までの優れた熱機械的特性を有する製
品を製造することができる熱処理可能なフルオロポリマ
ーを入手することを課題とする。 【解決手段】 以下のモノマー:(a)FMVE、(b)式: 【化1】 のパーフルオロジオキソール[ここで、組成物A)および
B)における100重量%に対する差補は、TFEである]によ
って本質的に形成されるTFEの熱処理可能なコポリマー
により上記の課題を解決する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体産業で使
用され、例えば、射出成形により得られ、従ってウエル
ドラインの存在を特徴とする製品を製造するための熱処
理可能なパーフッ素化ポリマーに関する。特に、本発明
は、ペレットに関して1ppm以下の非常に低い値の抽出可
能なF-[それに、250℃までの温度で非常に優れた熱機
械特性およびエラストマー特性、ならびにウエルドライ
ンに沿って23℃で測定される破断点伸び≧130%が関連
する]を示すテトラフルオロエチレン(TFE)の熱処理
可能なコポリマーに関する。したがって、前記の熱処理
可能なポリマーは、化学製品および超純水の貯蔵および
運搬に用いられる継手およびタンク[ウエルド部または
ウエルドラインが存在する]の製造における半導体産業
での使用に特に適している。さらに、本発明のテトラフ
ルオロエチレン(TFE)の熱処理可能なコポリマーは、
ポリマーの重量に対し0.2重量ppm未満の非常に低い値の
抽出可能な塩化物(Cl-)を示す。
【0002】
【従来の技術】半導体産業では、フッ素化ポリマー化合
物により形成されるタンクおよび管システム(管および
継手)が、使用中にF-イオンを遊離しうることがよく知
られている。運搬液体を汚さず、かつシリコンベースウ
ェーハーの損傷を防止するために、遊離F-イオン量は、
非常に低い、1ppm以下であることが要求される。実際、
1990年の7月に「State Solid Technology」から出版さ
れた出版物「Fluoride Contamination from Fluoropoly
mers in Semiconductor Manufacture」の65〜68頁(非
特許文献1)には、半導体産業にとって、使用中に1ppm
またはそれ未満の量のF-を遊離する完成製品が望ましい
であろうことが述べられている。F-遊離が少ないポリマ
ー化合物は、種々の溶融した化合物の前面のウエルドラ
イン上の適切な機械的耐性を保証するために、金型内で
優れた機械的特性および流動性も有さなければならな
い。ウエルドライン上の適切な機械的特性の指数は、ウ
エルドライン上の破断点伸びの値であり、≧130%でな
ければならない。
【0003】半導体産業用の製品は、一般的に、PFA類
に属する、TFEおよびパーフルオロプロピルビニルエー
テル(PPVE)の熱処理可能なコポリマー[PPVEは約3.5
〜4.5重量%である]で製造される。該コポリマーは水
性エマルジョン中で重合工程により得られるの好まし
く、それにより高生産性および高分子量を有するポリマ
ー構造の生成を得ることが可能なため、優れた機械的特
性および優れた延性を特徴とする。しかしながら、その
ように得られたTFE/PPVEコポリマーは、一定量のイオン
型-CF2COOHおよび-COFの鎖末端基を含む。加工中に、例
えば、管または継手を製造するための処理中に、末端基
-COFおよび-CF2COOHが分解して、フッ化水素酸を生成し
うる。その間に生成されたフッ化水素酸は製品によって
遊離される。したがって、半導体製造プラントにおける
製品の使用により、シリコンベースウェーハーの腐蝕現
象を導きうる。加工中、完成製品が最少量の抽出可能な
F-を示すようHFの生成を最小限にするために、先行技術
では、フッ素化工程を用いて、末端基をパーフッ素化し
た安定基に変換している。例えば米国特許第4,743,658
号(特許文献1)を参照。そこでは、TFE/PPVEコポリマ
ーをフッ素元素でのフッ素化に付してイオン末端基の量
を減少させ、完成製品から抽出可能なフッ素がポリマー
に対して3重量ppm未満にしている。前記方法は追加の工
程が必要であり、非常に攻撃的な薬剤である上記フッ素
元素を用いるため、産業的視点から容易には実現可能で
はない。よって、フッ素化工程には、工業規模でそれを
実現するために特別なプラントが必要である。したがっ
て、上記解決法は、前記ポリマーの製造工場のための追
加費用を意味する。
【0004】先行技術では、パーフッ素化コポリマーに
おけるイオン末端基の数を減らすための他の方法が提案
されてきた。例えば米国特許第5,093,409号(特許文献
2)を参照。そこでは、ラテックス状のTFE/PPVEコポリ
マーを、160〜400℃でイオン末端基-CF2COOHを-CF2H基
に転化するのに十分な時間、アミンで処理する。該後処
理は、フッ素化について上記と同じ欠点を示す。非常に
高い化学的不活性および熱安定性を有するTFEの熱処理
可能なコポリマーの種類は、米国特許第5,463,006号
(特許文献3)に記載されており、その中にTFE/PPVE/P
MVE(パーフルオロメチルビニルエーテル)で形成され
るターポリマーが記載されている。前記ポリマーは、登
録商標HYFLONという名で市販されている。本発明者によ
り行われた試験により、前記ターポリマーでの(ペレッ
ト状)ポリマーについて1ppm未満のF-遊離値が得られな
いことが示される(比較例を参照)。この場合もまた、
抽出可能なF-の値を要求されたレベルに減少させるため
に上記後処理のうち1つを行うことが必要である。
【0005】したがって、半導体産業で使用することが
できる先行技術のTFEの熱処理可能なコポリマーは、以
下の特性の組み合わせ:高温および低温での優れた機械
的特性、1ppm未満のF-の遊離値を示している。しかしな
がら、前記ポリマーの欠点は、上述のように、それらを
末端基の特定なフッ素化または転化処理に付すという条
件下で、上記特性の組み合わせが得られることである。
欧州特許公報第1,167,401号(特許文献4)には、半導
体産業での用途に使用することができ、特に、F-遊離が
低い管システムを製造するのに適したフッ素化ポリマー
が記載されている。F-遊離が低い該フッ素化ポリマーを
得るための方法は、上記追加工程のいずれも必要でない
ような方法である。しかしながら、ウエルドラインに沿
って測定されるそれぞれの機械的特性を有する製品の射
出成形には言及されていない。実際、継手についての適
用例は報告されていない。本発明者により行われた試験
は、前記特許出願で示された組成物で稼働することによ
って、ウエルドラインに沿って、高温での優れた機械的
特性と室温での優れた機械的特性、特に、≧130%の破
断点伸びの最適な組み合わせを得ることはできないこと
を示した。
【0006】公知のように、半導体製造用のプラント
は、押出で得ることができる配管システムのほかに、一
般的に射出成形により製造されるバルブ、継手およびコ
ネクターでも形成される。前記方法で得られる製品は、
1つ以上のウエルドライン[溶融した同じ化合物の異な
る前面が接触する金型の部位である]を示している。そ
れらは冷却金型壁と接触して固化する。溶融した物質の
異なる前面が互いにうまく溶接せず、ウエルドラインに
沿って測定される破断点伸びの値が130%未満に低くな
り、それが不十分な機械的特性に関連すると、該線は製
品の弱点となる。
【0007】
【特許文献1】米国特許第4,743,658号明細書
【特許文献2】米国特許第5,093,409号明細書
【特許文献3】米国特許第5,463,006号明細書
【特許文献4】欧州特許第1,167,401号明細書
【非特許文献1】「フルオライド・コンタミネーション
・フロム・フルオロポリマーズ・イン・セミコンダクタ
ー・マニュファクチャー(Fluoride Contamination fro
m Fluoropolymers in Semiconductor Manufactur
e)」,ステート・ソリッド・テクノロジー(State Sol
id Technology)出版、1990年7月、p.65−68
【0008】
【発明が解決しようとする課題】半導体産業において、
以下の特性の組み合わせ: − 室温(23℃)で、射出成形品のウエルドライン上で
測定される優れた機械的特性、特に≧130%の破断点伸
び、 − ポリマー重量に対し1重量ppm以下の、ポリマーペレ
ットについてのF-遊離値、 − ポリマー重量に対し0.2重量ppm未満の、抽出可能な
Cl-の値、 − 5.10-4モル/ポリマーkg以下の、イオン末端基の
量、 − 250℃の温度までの優れた熱機械的特性[特に、射
出成形で処理可能なポリマーについては、破断点応力
(strees at break)は2.5Mpaまたはそれ以上で、破断
点伸びは250%またはそれ以上でなければならない]を
有する製品、特に、継手を製造することができる熱処理
可能なフルオロポリマーを入手することの必要性が感じ
られていた。
【0009】
【課題を解決するための手段】驚くべきことに、本発明
者は、下記のようにTFEの熱処理可能なコポリマーの特
定なモノマー組成物を用いて、上記特性の組み合わせを
得ることができることを予期せぬことに見出した。した
がって、本発明の目的は、表示される量の以下のモノマ
ー: A) (a)8.6〜9.8重量%のパーフルオロメチルビニルエ
ーテル(FMVE)、(b)0.3〜1.2重量%の式:
【0010】
【化2】 [式中、Y=F、ORf、Rf(式中、Rfは1〜5の炭素原子を有
するパーフルオロアルキルである)、X1およびX2は、同
一または互いに異なり、-Fまたは-CF3である]のパーフ
ルオロジオキソール[ただし(a)+(b)の重量パーセ
ントの合計が8.9〜11重量%である]、または
【0011】B)(a)4.5〜8.5重量%のパーフルオロメ
チルビニルエーテル(FMVE)、(b)1.7〜7.5重量%の
A)で定義されたパーフルオロジオキソール[ただし、
(a)+(b)の重量パーセントの合計が6.2〜11重量%で
ある]から本質的になるTFEの熱処理可能なコポリマー
である。
【0012】組成物A)およびB)における100重量%に
対する差補はTFEである。前記コポリマーは、 - 5×10-4モル/ポリマーKg以下の、-COOHおよび-COF型
のイオン末端基の量、 - ポリマー重量に対し1重量ppm以下の、ペレット状の
ポリマーについて測定されるF-イオンの遊離値、を有
し、ここで、組成物A)またはB)を有するポリマーから得
られる製品は、以下の機械的特性: - 射出成形品のウエルドラインに沿って23℃で測定さ
れる、≧130%の破断点伸び、 - 圧縮成形プラック上250℃で測定される、≧2.5MPaの
破断点応力および≧250%の破断点伸びを示す。
【0013】
【発明の実施の形態】コモノマー(b)のうち、例え
ば、パーフルオロ-2,2-ジメチル-1,3-ジオキソール(PD
D)として知られる式(I)[式中、Y=F、X1=X2=CF3]を
有するジオキソールが挙げられる。例えば、米国特許第
3,865,845号を参照。本発明では、式(I)[式中、Y= O
Rf、Rfが-CF3で、X1=X2=F]で得られうる化合物2,2,4-
トリフルオロ-5-トリフルオロメトキシ-1,3-ジオキソー
ル(TTD)がモノマー(b)として使用されることが好ま
しい。前述されるように、本発明のコポリマーは、ペレ
ットについて1ppm以下の抽出可能なF-値を得るために、
上記末端基のフッ素化または変換処理のいずれも必要な
い。
【0014】372℃で5Kgの負荷で測定される本発明のコ
ポリマーのメルトフローインデックスは1〜40g/10'あっ
てもよい。コポリマーが、管用の継手、バルブ、コネク
ター等を成形して得るために使用される場合、それらの
MFIは6〜30g/10'であることが好ましい。本発明のコポ
リマーは、水性媒体および有機媒体中の双方において、
ラジカルルートでモノマーを重合して得ることができ
る。水性媒体での重合は、任意に、第一鉄塩、銅塩また
は銀塩と組み合わせた、例えば、過硫酸アンモニウムお
よび/または過硫酸カリウムおよび/または過硫酸ナトリ
ウムのような無機ラジカル開始剤の存在下、エマルジョ
ンまたはマイクロエマルジョン中で行うことができる。
開始剤の供給は、連続方法で行ってもよく、または重合
開始時に1回の添加もしくは反応中に次の添加を行って
もよい。
【0015】最後の2つの様式は、ポリマー中イオン末
端基含有量が等しくて、重合時間を短縮するため、好ま
しい。本発明者は、使用する開始剤の量が少なくなけれ
ばならないことを見出した。実際、開始剤の量は重合で
用いられる条件次第である。例えば、75℃の温度で21絶
対バール(21.105Pa)の圧力で操作することによって、
供給される開始剤、例えば過硫酸カリウムの量が≦0.03
g/水リットルである場合、上記の数のイオン末端基を
得ることが可能である。重合工程では、パーフルオロジ
オキソールモノマー(b)は全反応中、連続方法で供給
されることが好ましい。重合温度は25〜120℃の範囲で
あることができる。重合が過硫酸塩の存在下エマルジョ
ンまたは水性マイクロエマルジョン中で行われる場合、
50〜95℃の範囲の温度が好ましい。重合は、10バール
(106Pa)〜50バール(5.106Pa)の圧力で行うことがで
きる。
【0016】水性媒体での重合は界面活性剤の存在が必
要である。例えば、パーフルオロオクタノエート、また
は相当するアンモニウム塩、カリウム塩もしくはナトリ
ウム塩のパーフルオロオクタノエート、パーフルオロノ
ナノエート、パーフルオロデカノエート混合物のような
フッ素化界面活性剤が特に好ましい。その結果、それは
界面活性剤としてパーフルオロポリエーテル類の存在
下、水相での重合を行うのに特に適している。米国特許
第4,864,006号に記載されるように、前記パーフルオロ
ポリエーテル類は、マイクロエマルジョン状で反応媒体
に添加してもよい。本発明の分子量制御のために、例え
ば、半導体産業における本発明の用途に適している水素
添加型末端基を生じる水素、メタン、エタン、プロパン
のようなターポリマー連鎖移動剤が用いられる。塩素化
移動剤は、許容できない量の抽出可能なCl-を生成する
ので使用されない。
【0017】重合ラテックスを硝酸のような凝固剤で凝
固させ、次いで、スラリー洗浄を行ない、続いて、ウェ
ットポリマーの乾燥を行う。その後、粉末を2つの脱気
領域を備える二軸スクリュー押出機で小球状にする。上
記情報を考慮して、当業者であれば、所望範囲のMFIを
有する本発明のフッ素化コポリマーを得ることができ
る。上述されるように、本発明の熱処理可能なコポリマ
ーは、継手、バルブ、継手用のコネクターを製造するの
に使用することができる。本発明のポリマーで形成さ
れ、射出成形で得られる製品は、最適な熱時および冷時
の機械的特性およびウエルドライン上で予期せぬ優れた
機械的特性を有する。
【0018】本発明のTFEの熱処理可能なコポリマーで
得ることができる製品は、以下の機械的特性を有する:
≧130%、好ましくは150〜300%の、ウエルドライン上2
3℃で測定される破断点伸び;≧2.5MPa、好ましくは2.5
〜6MPaの、250℃での破断点応力;≧250%、好ましくは
270〜500%の、250℃での破断点伸び。前記製品を半導
体産業での使用に適させる特性の組み合わせを得るため
に、本発明者は、コモノマー(a)および(b)の量が上
記のとおりである組成物A)またはB)を重合中に用いるこ
とが必要であることを見出した。さらに、本発明者によ
り行われた試験(比較例を参照)により、パーフルオロ
ジオキソールおよびパーフルオロメチルビニルエーテル
の濃度の合計が上記制限の11重量%を越える場合、250
℃で機械的特性が悪化することが示されている。特に、
破断点応力は2.5MPa未満で、破断点伸びは250%未満で
ある。
【0019】パーフルオロメチルビニルエーテルおよび
/またはパーフルオロジオキソールの割合が、組成物A)
およびB)で表示される値より低い場合、ポリマーは射出
成形品のウエルドラインに沿った破断点伸びの低い値を
示し、従って半導体産業での適用に適していない。本発
明の熱処理可能なフルオロポリマーは、射出成形で製造
される製品を得るのに使用可能である。本発明は以下の
実施例で、より良く例証されるであろうが、それらは単
に例示しているのであって本発明の範囲を限定するもの
ではない。
【0020】
【実施例】特徴付け 本発明のコポリマー顆粒について以下の測定を行う: − MFI、ASTM D 1238-52T法に従って、5Kgの負荷で372
℃の温度で測定される、 − DSCでの第2溶融温度の測定。 Perkin-Elmer mod. IV熱量計を用いた。約10mgの試験片
を、10℃/分の勾配を用いて室温から開始して350℃まで
加熱した。試験片を350℃で5分間維持し、次いで、前工
程と同じ温度勾配を用いて室温で冷却した。最後に、試
験片を上記の同じ方式で室温から350℃に再度加熱した。
最後の工程の間、溶融吸熱曲線の最大値に相当する温度
が測定され、それは第2溶融温度に相当する(溶融T(I
I))。
【0021】− 引張特性(ASTM D 1708法による、室
温(23℃)および250℃双方での破断点応力および破断
点伸び、降伏応力およびヤング率)。 − 1999年Journal of Fluorine Chemistry 95で出版さ
れた「End-groups in Fluoropolymer」の71〜84頁に記
載されるような、冷間圧縮でペレットから得られた試験
片について行われるIR分析により測定される鎖末端基。
【0022】− イオンクロマトグラフィーによる85℃
でのペレットについてのF-アニオン遊離測定。試験片の
調製は、18mΩで脱イオン化した水と、5gのペレットに
等しい量で満たしたKaPak(登録商標)/Scotchpack容器
を用いて行われる。ポリマー試験片を含む容器を閉め、
85℃で24時間浴槽に保存した。次いで、以下の条件で、
容器に入れられた水をイオンクロマトグラフィーで分析
した: − カラムおよびプレカラムAS4A+AG4A-Dionex、 − 溶離剤:Na2B4O7 3.0mM、流量1cc/分 − 検出:圧縮導電率、
【0023】− ウエルドライン上の(23℃の温度で測
定される)機械的特性を測定するための試験片を得るた
めに、2つの対辺に長方形の二重射出成形用金型を備え
るNegri-Bossi(登録商標)NB25プレスを用いてペレッ
トを射出成形した。得られた製品(成形プラック)は約
46gであった。操作条件は、 − 機械で調整される温度分布 バレル温度領域1:325℃、 バレル温度領域2および領域3:340℃、 ダイ温度:360℃。 − 溶融温度:365℃。 − 成形温度:210℃である。 17バール(1.7.106Pa)〜22バール(1.8.106Pa)の射出
圧力および維持圧力を実施例で使用した。射出時間は約3
5秒であった。
【0024】実施例1 以下の公称組成:FMVE 5.6重量%、TTD 1.8重量%、FMV
E+TTD=7.4重量%を含む本発明のフルオロポリマーの入
手。400rpmで稼動する攪拌器を備える22リットルのAISI
316のスチール製直立型オートクレーブに、真空にした
後、13.9リットルの脱イオン水、10gの2,2,4-トリフル
オロメトキシ-1,3-ジオキソール(TTD)および米国特許
第4,864,006号の実施例1に記載された手順に従って製造
されたパーフルオロポリエーテルの水性マイクロエマル
ジョン160gを次々と供給した。
【0025】オートクレーブを75℃の反応温度まで加熱
し、次いで: − 0.51絶対バール(5.1.104Pa)のエタン、 − 2.86絶対バール(2.86.105Pa)のパーフルオロメチ
ルビニルエーテル(FMVE)を供給した。 モル比:TFE/FMVE 27.31、FMVE/TTD 3.9およびTFE/TTD
106.22を有するガス状混合物を、オートクレーブ内の21
絶対バール(2.1.106Pa)の圧力まで圧縮機で供給し
た。
【0026】オートクレーブのヘッドスペースに存在す
るガス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成
分のモルパーセント:TFE 81.2%、FMVE 16.4%、TTD
0.7%およびエタン 1.5%により構成されていた。定量
ポンプで、150mlの過硫酸カリウム0.0103M溶液を供給し
た。上記の比率を有するモノマー混合物を供給して、重
合圧力を一定に維持した。8,800gの前記混合物を供給し
たときに反応を止め、反応器を室温に冷却し、エマルジ
ョンを取り出して65%のHNO3で凝固した。続いて、ポリ
マーを洗浄し、220℃で乾燥した。
【0027】重量パーセントとしてのポリマーの公称組
成、即ち、供給されたモノマー量に基づいて測定された
組成は、FMVE 5.6%、TTD 1.8%、TFE 92.6%であっ
た。ポリマーの組成、物理化学的特性(MFIおよび溶融T
(II))、(IRで測定された)イオン末端基の数および
ペレットについての抽出可能なF-の値を表1に示す。冷
時(23℃)および熱時(250℃)機械的特性を表2に示
す。射出成形で得られたプラックのウエルドラインに沿
って測定された機械的特性を表4に示す。
【0028】実施例2(比較例) 以下の公称組成:FMVE 6.3重量%、TTD 0.7重量%、F
MVE+TTD=7.0重量%を含むフルオロポリマーの入手。実
施例1で使用された同じオートクレーブに、真空にした
後、13.9リットルの脱イオン水、4.2gのTTDおよび160g
の上記マイクロエマルジョンを次々と供給した。オート
クレーブを75℃の反応温度まで加熱し、次いで、0.485
バール(4.85.10 4Pa)のエタン、3バール(3.105Pa)の
FMVEを供給した。21絶対バール(2.1.106Pa)の圧力ま
で、成分のうち以下のモル比:TFE/FMVE=24.55、FMVE/T
TD=10.83、TFE/TTD=265.94を有するガス状混合物を圧縮
機で供給した。
【0029】オートクレーブのヘッドスペースに存在す
るガス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成
分のモルパーセント:TFE 79%、TTD 0.4%、FMVE 18.9
3%およびエタン 1.6%から構成されていた。実施例1に
記載される方法をポリマー乾燥まで続けた。重量パーセ
ントとしてのポリマーの公称組成は、FMVE 6.3%、TTD
0.7%、TFE93.0%であった。前記組成は、組成物A)の場
合の限界量より低い量のFMVEを含む。比較例に関するデ
ータは、本発明の実施例の表1に対応する表6に示す。
表3および5は、本発明の実施例の表2および4に対応す
る。
【0030】実施例3 以下の公称組成:FMVE 5.6重量%、TTD 2重量%、FMVE+
TTD=7.6重量%を含む本発明のフルオロポリマーの入
手。実施例1で使用された同じオートクレーブに、真空
にした後、13.9リットルの脱イオン水、12gのTTDおよび
160gの上記マイクロエマルジョンを次々供給した。オー
トクレーブを75℃の反応温度まで加熱し、次いで、0.51
バール(5.1.104Pa)のエタンおよび2.86バール(2.86.
105Pa)のFMVEを供給した。
【0031】21絶対バール(2.1.106Pa)の圧力まで、
成分のうち以下のモル比:TFE/FMVE=27.28、FMVE/TTD=
3.5、TFE/TTD=95.5を有するガス状混合物を圧縮機で供
給した。オートクレーブのヘッドスペースに存在するガ
ス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分析し
た。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成分の
モルパーセント:TFE 81%、TTD 0.8%、FMVE 16.5%お
よびエタン 1.7%から構成されていた。ポリマー乾燥ま
で実施例1に記載された方法に従った。重量パーセント
としてのポリマーの公称組成は、FMVE 5.6%、TTD 2.0
%、TFE92.4%であった。実施例1に示されるようなデー
タを表1、2および4に示す。
【0032】実施例4 以下の公称組成:FMVE 5.6重量%、TTD 3重量%、FMVE+
TTD=8.6重量%を含む本発明のフルオロポリマーの入
手。実施例1で使用された同じオートクレーブに、真空
にした後、13.9リットルの脱イオン水、18gのTTDおよび
160gの前記マイクロエマルジョンを次々供給した。オー
トクレーブを75℃の反応温度まで加熱し、次いで、0.49
バール(4.9.104Pa)のエタンおよび2.86バール(2.86.
105Pa)のFMVEを供給した。21絶対バール(2.1.106Pa)
の圧力まで、成分のうち以下のモル比:TFE/FMVE=27.1
4、FMVE/TTD=2.33、TFE/TTD=63.33を有するガス状混合
物を圧縮機で供給した。
【0033】オートクレーブのヘッドスペースに存在す
るガス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成
分のモルパーセント:TFE 80.7%、TTD 1.4%、FMVE 1
6.3%およびエタン 1.6%から構成されていた。ポリマ
ー乾燥まで実施例1に記載された方法に従った。重量パ
ーセントとしてのポリマー公称組成は、FMVE 5.6%、TT
D 3.0%、TFE 91.4%であった。実施例1に示されるよう
なデータは表1、2および4に示す。
【0034】実施例5 以下の公称組成:FMVE 5.6重量%、TTD 4重量%、FMVE+
TTD=9.6重量%を含む本発明のフルオロポリマーの入
手。実施例1で使用された同じオートクレーブに、真空
にした後、13.9リットルの脱イオン水、23.4gのTTDおよ
び160gの上記マイクロエマルジョン(実施例1)を次々
供給した。オートクレーブを75℃の反応温度まで加熱
し、次いで、0.49絶対バール(4.9.104Pa)のエタンお
よび2.86絶対バール(2.86.105Pa)のFMVEを供給した。
【0035】21絶対バール(2.1.106Pa)の圧力まで、
成分のうち以下のモル比:TFE/FMVE=27.0、FMVE/TTD=1.
75、TFE/TTD=47.25を有するガス状混合物を圧縮機で供
給した。オートクレーブのヘッドスペースに存在するガ
ス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分析し
た。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成分の
モルパーセント:TFE 79.5%、TTD 1.9%、FMVE 17%お
よびエタン 1.6%から構成されていた。ポリマー乾燥ま
で実施例1に記載された方法に従った。重量パーセント
としてのポリマー公称組成は、FMVE 5.6%、TTD 4.0
%、TFE 90.4%であった。実施例1に示されるようなデ
ータは表1、2および4に示す。
【0036】実施例6 以下の公称組成:FMVE 6.4重量%、TTD 1.7重量%、FMV
E+TTD=8.1重量%を含む本発明のフルオロポリマーの入
手。実施例1で使用された同じオートクレーブに、真空
にした後、13.9リットルの脱イオン水、9.5gのTTDおよ
び160gの上記マイクロエマルジョン(実施例1)を次々
供給した。オートクレーブを75℃の反応温度まで加熱
し、次いで、0.51絶対バール(5.1.104Pa)のエタンお
よび3.1絶対バール(3.1.105Pa)のFMVEを供給した。21
絶対バール(2.1.106Pa)の圧力まで、成分のうち以下
のモル比:TFE/FMVE=23.8、FMVE/TTD=4.76、TFE/TTD=11
3.28を有するガス状混合物を圧縮機で供給した。
【0037】オートクレーブのヘッドスペースに存在す
るガス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成
分のモルパーセント:TFE 78.4%、TTD 0.81%、FMVE 1
8.8%およびエタン 1.99%から構成されていた。95mlの
過硫酸カリウム溶液0.0103Mを定量ポンプで供給し、250
分後、さらに45mlの同じ溶液を導入した。ポリマー乾燥
まで実施例1に記載された方法に従った。重量パーセン
トとしてのポリマー公称組成は、FMVE 6.4%、TTD 1.7
%、TFE 91.9%であった。実施例1に示されるデータは
表1、2および4に示す。
【0038】実施例7 以下の公称組成:FMVE 8.8重量%、TTD 0.7重量%、FMV
E+TTD=9.5重量%を含む本発明のフルオロポリマーの入
手。実施例1で使用された同じオートクレーブに、真空
にした後、13.9リットルの脱イオン水、4.2gのTTDおよ
び160gの前記マイクロエマルジョン(実施例1)を次々
供給した。オートクレーブを75℃の反応温度まで加熱
し、次いで、0.46絶対バール(4.6.104Pa)のエタンお
よび4.14絶対バール(4.14.105Pa)のFMVEを供給した。
21絶対バール(2.1.106Pa)の圧力まで、成分のうち以
下のモル比:TFE/FMVE=17.12、FMVE/TTD=15.71、TFE/TT
D=269を有するガス状混合物を圧縮機で供給した。
【0039】オートクレーブのヘッドスペースに存在す
るガス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成
分のモルパーセント:TFE 72.6%、TTD 0.4%、FMVE 2
5.3%およびエタン 1.7%から構成されていた。過硫酸カ
リウムの溶液を実施例6のとおりに供給した。ポリマー
乾燥まで実施例1に記載された方法に従った。重量パー
セントとしてのポリマー公称組成は、FMVE 8.8%、TTD
0.7%、TFE 90.5%であった。実施例1に示されるような
データは表1、2および4に示す。
【0040】実施例8(比較例) 以下の公称組成:FMVE 5.6重量%、TTD 0.4重量%、FMV
E+TTD=6重量%を含むフルオロポリマーの入手。実施例1
で使用された同じオートクレーブに、真空にした後、1
3.9リットルの脱イオン水、2.92gのTTDおよび160gの上
記マイクロエマルジョン(実施例1)を次々供給した。オ
ートクレーブを75℃の反応温度まで加熱し、次いで、0.
5絶対バール(5.104Pa)のエタン、2.86絶対バール(2.
86.105Pa)のFMVEを供給した。21絶対バール(2.1.106P
a)の圧力まで、成分のうち以下のモル比:TFE/FMVE=2
7.51、FMVE/TTD=17.5、TFE/TTD=481.5を有するガス状混
合物を圧縮機で供給した。
【0041】オートクレーブのヘッドスペースに存在す
るガス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成
分のモルパーセント:TFE 81.5%、TTD 0.4%、FMVE 1
6.7%およびエタン 1.4%から構成されていた。ポリマー
乾燥まで実施例1に記載された方法に従った。重量パー
セントとしてのポリマーの公称組成は、FMVE 5.6%、TT
D 0.4%、TFE94%であった。したがって、ポリマーは組
成物B)の場合の限界量よりも少ない量のTTDを含む。比
較例に関するデータは、本発明の実施例の表1に対応す
る表6に示す。表3および5は、本発明の実施例の表2お
よび4に対応する。
【0042】実施例9(比較例) 以下の公称組成:FMVE 3.7重量%、TTD 1.8重量%、FMV
E+TTD=5.5重量%を含むフルオロポリマーの入手。実施
例1で使用された同じオートクレーブに、真空にした
後、13.9リットルの脱イオン水、9.2gのTTDおよび160g
の上記マイクロエマルジョンを次々供給した。オートク
レーブを75℃の反応温度まで加熱し、次いで、0.59絶対
バール(5.9.104Pa)のエタンおよび1.89絶対バール
(1.89.105Pa)のFMVEを導入した。21絶対バール(2.1.1
06Pa)の圧力まで、成分のうち以下のモル比:TFE/FMVE
=42.09、FMVE/TTD=1.56、TFE/TTD=107.6を有するガス状
混合物を圧縮機で供給した。
【0043】オートクレーブのヘッドスペースに存在す
るガス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成
分のモルパーセント:TFE 84.2%、TTD 0.9%、FMVE 1
2.5%およびエタン2.4%から構成されていた。95mlの過
硫酸カリウム溶液0.0103Mを定量ポンプで供給し、250分
後、さらに45mlの同じ溶液を導入した。ポリマー乾燥ま
で実施例1に記載された方法に従った。重量パーセント
としてのポリマー公称組成は、FMVE 3.7%、TTD 1.8
%、TFE 94.5%であった。ポリマーは組成物B)の場合
の限界量よりも少ない量のFMVEを含む。比較例に関する
データは、本発明の実施例の表1に対応する表6に示
す。表3および5は、本発明の実施例の表2および4に対応
する。
【0044】実施例10(比較例) 以下の公称組成:FMVE 5.6重量%、TTD 6.0重量%、FMV
E+TTD=11.6重量%を含むフルオロポリマーの入手。実施
例1で使用された同じオートクレーブに、真空にした
後、13.9リットルの脱イオン水、36.14gのTTDおよび160
gの上記マイクロエマルジョンを次々供給した。オートク
レーブを75℃の反応温度まで加熱し、次いで、0.51絶対
バール(5.1.104Pa)のエタンおよび2.86絶対バール
(2.86.105Pa)のFMVEを導入した。21絶対バール(2.1.1
06Pa)の圧力まで、成分のうち以下のモル比:TFE/FMVE
=26.71、FMVE/TTD=1.17、TFE/TTD=31.17を有するガス状
混合物を圧縮機で供給した。
【0045】オートクレーブのヘッドスペースに存在す
るガス状混合物の組成物をガスクロマトグラフィーで分
析した。その結果、反応が開始する前に気相は以下の成
分のモルパーセント:TFE 76%、TTD 3.5%、FMVE 17%
およびエタン 1.5%から構成されていた。過硫酸カリウ
ム溶液0.0103Mを実施例10に記載されるように供給した。
上記比率を有するモノマー混合物を供給して、重合圧力
を一定に維持し、5,000gの混合物を供給したとき反応を
止めた。反応器を室温に冷却し、ポリマー乾燥まで実施
例1に記載された方法に従った。重量パーセントとして
のポリマーの公称組成は、FMVE 5.6%、TTD 6%、TFE 8
8.4%であった。コモノマーの重量パーセントはB)で定
義される組成物に含まれるが、コモノマーFMVE+TTDの合
計は11重量%の限界を越えた。比較例に関するデータ
は、本発明の実施例の表1に対応する表6に示す。表3お
よび5は、本発明の実施例の表2および4に対応する。
【0046】実施例11(比較例) FMVEおよびFPVE(パーフルオロプロピルビニルエーテ
ル)およびTFEを含有する市販のフルオロポリマーHYFLO
N(登録商標)MFA 640を用いた。比較例に関するデータ
は、本発明の実施例の表1に対応する表6に示す。表3お
よび5は、本発明の実施例の表2および4に対応する。
【0047】表についてのコメント表1および6から、
新規のポリマーが参考の市販試験片の値よりも明らかに
低いイオン末端基および抽出可能なF-の値を示すことが
証明された(比較例11)。表2および3を比較することに
よって、TTD+FMVEの合計が限界を越えることを特徴とす
る比較例10の試験片は、250%未満の破断点伸びおよび
2.5MPa未満の破断点応力を示す(表3)ため、考慮され
る温度で許容可能な機械的特性はないことが示された。
【0048】表4および5を比較することによって、以
下: − 比較例2および8のFMVEの重量パーセントが、組成物
A)のFMVE%の限度より低い; − 比較例2および8のFMVEおよびTTDの重量パーセント
が、組成物B)のTTD%の限度より低い; − 比較例9のFMVEおよびTTDの各重量パーセントが、組
成物A)の相当する限度より低く、かつ高い; − 比較例9のFMVEの重量パーセントが、組成物B)のFMV
E%の限度より低い;のポリマーで製造された比較例2、
8および9に関する化合物は、ウエルドラインに沿って測
定された破断点伸び(23℃)が130%未満を示すことが
証明された。本発明によって得られた試験片は、比較例
2、8および9ならびに市販の試験片(比較例11)の双方
よりも高い破断点伸びを示す。
【0049】
【表1】
【0050】
【表1つづき】
【0051】
【表2】
【0052】
【表3】
【0053】
【表4】
【0054】
【表5】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ギウリオ ブリナティ イタリア、20139 ミラノ、ヴィア オグ リオ 1 (72)発明者 ギャンバッティスタ ベサナ イタリア、コモ、22066 マリアーノ コ メンセ、ヴィア アルバート ダ ギゥッ サーノ 61 Fターム(参考) 4F071 AA27 AA76 BB05 BC05 BC07 4J100 AC26P AE09Q AR32R BB18Q CA05 JA46

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 以下に表示される量のモノマー: A) (a)8.6〜9.8重量%のパーフルオロメチルビニルエ
    ーテル(FMVE)、 (b)0.3〜1.2重量%の式: 【化1】 [式中、Y=F、ORf、Rf(式中、Rfは1〜5の炭素原子を有
    するパーフルオロアルキルである)、X1およびX2は同一
    または互いに異なって、-Fまたは-CF3である]のパーフ
    ルオロジオキソール[ただし、(a)+(b)の重量パー
    セントの合計が8.9〜11重量%である]または B)(a)4.5〜8.5重量%のパーフルオロメチルビニルエ
    ーテル(FMVE)、 (b)1.7〜7.5重量%のA)で定義されたパーフルオロジ
    オキソール[ただし、(a)+(b)の重量パーセントの
    合計が6.2〜11重量%である]から本質的になり、 − 5×10-4モル/ポリマーKg以下の、イオン末端基-COO
    Hおよび-COFの量、 − ポリマー重量に対し1重量ppm以下の、ペレット状の
    ポリマーについて測定されるF-イオンの遊離値、を有
    し、組成物A)およびB)における100重量%に対する差
    補はTFEである[ここで、組成物A)またはB)を有するポ
    リマーから得られる製品は、以下の機械的特性: − 射出成形品のウエルドラインに沿って23℃で測定さ
    れる、≧130%の破断点伸び、 − 圧縮成形プラック上250℃で測定される、≧2.5MPa
    の破断点応力および≧250%の破断点伸びを示す]TFEの
    熱処理可能なコポリマー。
  2. 【請求項2】 コモノマー(b)の式(I)中、Y= ORf
    Rf=-CF3、X1=X2=Fである請求項1によるコポリマー。
  3. 【請求項3】 372℃で5Kgの負荷で測定されるメルトフ
    ローインデックスが1〜40g/10'、好ましくは6〜30g/10'
    である請求項1または2によるコポリマー。
  4. 【請求項4】 以下の機械的特性: − 150〜300%の、ウエルドライン上23℃で測定される
    破断点伸び、 − 2.5〜6MPaの、250℃での破断点応力、 − 270〜500%の、250℃での破断点伸びを有する、請
    求項1〜3のいずれか1つによる熱処理可能なコポリマー
    の射出成形によって得ることができる製品。
  5. 【請求項5】 継手の形状の請求項4による製品。
  6. 【請求項6】 射出成形により製品を得るための請求項
    1〜3のいずれか1つによるコポリマーの使用。
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