JP2003228807A - 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに薄膜磁気ヘッド用スライダおよびその製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに薄膜磁気ヘッド用スライダおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 少ない工程数で薄膜磁気ヘッド用スライダを
製造できるようにする。 【解決手段】 スライダ２０はスライダ部２１と再生ヘ
ッド部２２とを備えている。スライダ部２１は、第１の
媒体対向面３１と空気流入端４１と記録ヘッド２３とを
有している。再生ヘッド部２２は、第２の媒体対向面３
２と空気流出端４２と再生ヘッド２４とを有している。
スライダ部２１と再生ヘッド部２２は、別個に作製さ
れ、第１の媒体対向面３１と第２の媒体対向面３２が連
続するように互いに接着される。
製造できるようにする。 【解決手段】 スライダ２０はスライダ部２１と再生ヘ
ッド部２２とを備えている。スライダ部２１は、第１の
媒体対向面３１と空気流入端４１と記録ヘッド２３とを
有している。再生ヘッド部２２は、第２の媒体対向面３
２と空気流出端４２と再生ヘッド２４とを有している。
スライダ部２１と再生ヘッド部２２は、別個に作製さ
れ、第１の媒体対向面３１と第２の媒体対向面３２が連
続するように互いに接着される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録ヘッドと再生
ヘッドとを有する薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、
ならびに記録ヘッドと再生ヘッドとを有する薄膜磁気ヘ
ッド用スライダおよびその製造方法に関する。
ヘッドとを有する薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、
ならびに記録ヘッドと再生ヘッドとを有する薄膜磁気ヘ
ッド用スライダおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ハードディスク装置の面記録密度
の向上に伴って、薄膜磁気ヘッドの性能向上が求められ
ている。薄膜磁気ヘッドとしては、書き込み用の誘導型
電磁変換素子を有する記録ヘッドと読み出し用の磁気抵
抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも
記す。）を有する再生ヘッドとを積層した構造の複合型
薄膜磁気ヘッドが広く用いられている。ＭＲ素子として
は、異方性磁気抵抗（Anisotropic Magnetoresistive）
効果を用いたＡＭＲ素子と、巨大磁気抵抗（Giant Magn
etoresistive）効果を用いたＧＭＲ素子とがあり、ＡＭ
Ｒ素子を用いた再生ヘッドはＡＭＲヘッドあるいは単に
ＭＲヘッドと呼ばれ、ＧＭＲ素子を用いた再生ヘッドは
ＧＭＲヘッドと呼ばれる。ＡＭＲヘッドは、面記録密度
が１ギガビット／（インチ）2を超える再生ヘッドとし
て利用され、ＧＭＲヘッドは、面記録密度が３ギガビッ
ト／（インチ）2を超える再生ヘッドとして利用されて
いる。近年は、ほとんどＧＭＲヘッドが利用されるよう
になってきている。
の向上に伴って、薄膜磁気ヘッドの性能向上が求められ
ている。薄膜磁気ヘッドとしては、書き込み用の誘導型
電磁変換素子を有する記録ヘッドと読み出し用の磁気抵
抗効果素子（以下、ＭＲ（Magnetoresistive）素子とも
記す。）を有する再生ヘッドとを積層した構造の複合型
薄膜磁気ヘッドが広く用いられている。ＭＲ素子として
は、異方性磁気抵抗（Anisotropic Magnetoresistive）
効果を用いたＡＭＲ素子と、巨大磁気抵抗（Giant Magn
etoresistive）効果を用いたＧＭＲ素子とがあり、ＡＭ
Ｒ素子を用いた再生ヘッドはＡＭＲヘッドあるいは単に
ＭＲヘッドと呼ばれ、ＧＭＲ素子を用いた再生ヘッドは
ＧＭＲヘッドと呼ばれる。ＡＭＲヘッドは、面記録密度
が１ギガビット／（インチ）2を超える再生ヘッドとし
て利用され、ＧＭＲヘッドは、面記録密度が３ギガビッ
ト／（インチ）2を超える再生ヘッドとして利用されて
いる。近年は、ほとんどＧＭＲヘッドが利用されるよう
になってきている。
【０００３】再生ヘッドの性能を向上させる方法として
は、ＭＲ膜をＡＭＲ膜からＧＭＲ膜等の磁気抵抗感度の
優れた材料に変える方法や、ＭＲ膜のパターン幅、すな
わち、再生トラック幅やＭＲハイトを適切化する方法等
がある。ＭＲハイトとは、ＭＲ素子のエアベアリング面
側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）をいう。
また、エアベアリング面は、薄膜磁気ヘッドにおける磁
気記録媒体と対向する面である。
は、ＭＲ膜をＡＭＲ膜からＧＭＲ膜等の磁気抵抗感度の
優れた材料に変える方法や、ＭＲ膜のパターン幅、すな
わち、再生トラック幅やＭＲハイトを適切化する方法等
がある。ＭＲハイトとは、ＭＲ素子のエアベアリング面
側の端部から反対側の端部までの長さ（高さ）をいう。
また、エアベアリング面は、薄膜磁気ヘッドにおける磁
気記録媒体と対向する面である。
【０００４】一方、再生ヘッドの性能向上に伴って、記
録ヘッドの性能向上も求められている。記録ヘッドの性
能のうち面記録密度を高めるには、記録トラック密度を
上げる必要がある。このためには、記録ギャップ層を挟
んでその上下に形成された下部磁極および上部磁極のエ
アベアリング面での幅を数ミクロンからサブミクロン寸
法まで狭くした狭トラック構造の記録ヘッドを実現する
必要があり、これを達成するために半導体加工技術が利
用されている。また、記録ヘッドの性能を決定する他の
要因としては、パターン幅、特に、スロートハイト（Th
roat Height）がある。スロートハイトは、２つの磁極
層が記録ギャップ層を介して対向する部分、すなわち磁
極部分の、エアベアリング面側の端部から反対側の端部
までの長さ（高さ）をいう。記録ヘッドの性能向上のた
めには、スロートハイトの縮小化が望まれている。この
スロートハイトは、エアベアリング面の加工の際の研磨
量によって決定される。
録ヘッドの性能向上も求められている。記録ヘッドの性
能のうち面記録密度を高めるには、記録トラック密度を
上げる必要がある。このためには、記録ギャップ層を挟
んでその上下に形成された下部磁極および上部磁極のエ
アベアリング面での幅を数ミクロンからサブミクロン寸
法まで狭くした狭トラック構造の記録ヘッドを実現する
必要があり、これを達成するために半導体加工技術が利
用されている。また、記録ヘッドの性能を決定する他の
要因としては、パターン幅、特に、スロートハイト（Th
roat Height）がある。スロートハイトは、２つの磁極
層が記録ギャップ層を介して対向する部分、すなわち磁
極部分の、エアベアリング面側の端部から反対側の端部
までの長さ（高さ）をいう。記録ヘッドの性能向上のた
めには、スロートハイトの縮小化が望まれている。この
スロートハイトは、エアベアリング面の加工の際の研磨
量によって決定される。
【０００５】このように、薄膜磁気ヘッドの性能の向上
のためには、記録ヘッドと再生ヘッドをバランスよく形
成することが重要である。
のためには、記録ヘッドと再生ヘッドをバランスよく形
成することが重要である。
【０００６】高密度記録を可能にする薄膜磁気ヘッドに
要求される条件としては、再生ヘッドについては、再生
トラック幅の縮小、再生出力の増加、ノイズの低減等が
あり、記録ヘッドについては、記録トラックの縮小、記
録媒体上の既にデータを書き込んである領域にデータを
重ね書きする場合の特性であるオーバーライト特性の向
上、非線形トランジションシフト（Non-linear Transit
ion Shift）の向上等がある。
要求される条件としては、再生ヘッドについては、再生
トラック幅の縮小、再生出力の増加、ノイズの低減等が
あり、記録ヘッドについては、記録トラックの縮小、記
録媒体上の既にデータを書き込んである領域にデータを
重ね書きする場合の特性であるオーバーライト特性の向
上、非線形トランジションシフト（Non-linear Transit
ion Shift）の向上等がある。
【０００７】ところで、ハードディスク装置等に用いら
れる浮上型薄膜磁気ヘッドは、一般的に、後端部に薄膜
磁気ヘッド素子が形成されたスライダによって構成され
るようになっている。スライダは、記録媒体の回転によ
って生じる空気流によって記録媒体の表面からわずかに
浮上するようになっている。
れる浮上型薄膜磁気ヘッドは、一般的に、後端部に薄膜
磁気ヘッド素子が形成されたスライダによって構成され
るようになっている。スライダは、記録媒体の回転によ
って生じる空気流によって記録媒体の表面からわずかに
浮上するようになっている。
【０００８】ここで、図３４ないし図３６を参照して、
従来の薄膜磁気ヘッド素子の製造方法の一例について説
明する。図３４は従来の薄膜磁気ヘッド素子のエアベア
リング面に垂直な断面を示す断面図、図３５は従来の薄
膜磁気ヘッド素子のエアベアリング面に平行な断面を示
す断面図、図３６は従来の薄膜磁気ヘッド素子の平面図
である。
従来の薄膜磁気ヘッド素子の製造方法の一例について説
明する。図３４は従来の薄膜磁気ヘッド素子のエアベア
リング面に垂直な断面を示す断面図、図３５は従来の薄
膜磁気ヘッド素子のエアベアリング面に平行な断面を示
す断面図、図３６は従来の薄膜磁気ヘッド素子の平面図
である。
【０００９】この製造方法では、まず、例えばアルミニ
ウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ2Ｏ3・Ｔ
ｉＣ）よりなる基板１０１の上に、例えばアルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）よりなる絶縁層１０２を形成する。次に、絶縁
層１０２の上に、磁性材料よりなる再生ヘッド用の下部
シールド層１０３を形成する。次に、下部シールド層１
０３の上に、アルミナ等の絶縁材料よりなる下部シール
ドギャップ膜１０４を形成する。次に、下部シールドギ
ャップ膜１０４の上に、再生用のＭＲ素子１０５を形成
する。次に、下部シールドギャップ膜１０４の上に、Ｍ
Ｒ素子１０５に電気的に接続される一対の電極層１０６
を形成する。次に、下部シールドギャップ膜１０４、Ｍ
Ｒ素子１０５および電極層１０６の上に、アルミナ等の
絶縁材料よりなる上部シールドギャップ膜１０７を形成
し、ＭＲ素子１０５をシールドギャップ膜１０４，１０
７内に埋設する。
ウムオキサイド・チタニウムカーバイド（Ａｌ2Ｏ3・Ｔ
ｉＣ）よりなる基板１０１の上に、例えばアルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3）よりなる絶縁層１０２を形成する。次に、絶縁
層１０２の上に、磁性材料よりなる再生ヘッド用の下部
シールド層１０３を形成する。次に、下部シールド層１
０３の上に、アルミナ等の絶縁材料よりなる下部シール
ドギャップ膜１０４を形成する。次に、下部シールドギ
ャップ膜１０４の上に、再生用のＭＲ素子１０５を形成
する。次に、下部シールドギャップ膜１０４の上に、Ｍ
Ｒ素子１０５に電気的に接続される一対の電極層１０６
を形成する。次に、下部シールドギャップ膜１０４、Ｍ
Ｒ素子１０５および電極層１０６の上に、アルミナ等の
絶縁材料よりなる上部シールドギャップ膜１０７を形成
し、ＭＲ素子１０５をシールドギャップ膜１０４，１０
７内に埋設する。
【００１０】次に、上部シールドギャップ膜１０７の上
に、磁性材料からなり、再生ヘッドと記録ヘッドの双方
に用いられる上部シールド層兼下部磁極層（以下、下部
磁極層と記す。）１０８を形成する。次に、下部磁極層
１０８の上に、絶縁膜、例えばアルミナ膜よりなる記録
ギャップ層１０９を形成する。次に、磁路形成のため
に、記録ギャップ層１０９を部分的にエッチングして、
コンタクトホールを形成する。次に、磁極部分における
記録ギャップ層１０９の上に、記録ヘッド用の磁性材料
よりなる上部磁極チップ１１０を形成する。このとき同
時に、磁路形成のためのコンタクトホールの上に、磁路
形成のための磁性材料からなる磁性層１１９を形成す
る。
に、磁性材料からなり、再生ヘッドと記録ヘッドの双方
に用いられる上部シールド層兼下部磁極層（以下、下部
磁極層と記す。）１０８を形成する。次に、下部磁極層
１０８の上に、絶縁膜、例えばアルミナ膜よりなる記録
ギャップ層１０９を形成する。次に、磁路形成のため
に、記録ギャップ層１０９を部分的にエッチングして、
コンタクトホールを形成する。次に、磁極部分における
記録ギャップ層１０９の上に、記録ヘッド用の磁性材料
よりなる上部磁極チップ１１０を形成する。このとき同
時に、磁路形成のためのコンタクトホールの上に、磁路
形成のための磁性材料からなる磁性層１１９を形成す
る。
【００１１】次に、上部磁極チップ１１０をマスクとし
て、イオンミリングによって、記録ギャップ層１０９と
下部磁極層１０８をエッチングする。図３５に示したよ
うに、上部磁極部分（上部磁極チップ１１０）、記録ギ
ャップ層１０９および下部磁極層１０８の一部の各側壁
が垂直に自己整合的に形成された構造は、トリム（Tri
m）構造と呼ばれる。次に、全面に、例えばアルミナ膜
よりなる絶縁層１１１を形成する。次に、この絶縁層１
１１を、上部磁極チップ１１０および磁性層１１９の表
面に至るまで研磨して平坦化する。
て、イオンミリングによって、記録ギャップ層１０９と
下部磁極層１０８をエッチングする。図３５に示したよ
うに、上部磁極部分（上部磁極チップ１１０）、記録ギ
ャップ層１０９および下部磁極層１０８の一部の各側壁
が垂直に自己整合的に形成された構造は、トリム（Tri
m）構造と呼ばれる。次に、全面に、例えばアルミナ膜
よりなる絶縁層１１１を形成する。次に、この絶縁層１
１１を、上部磁極チップ１１０および磁性層１１９の表
面に至るまで研磨して平坦化する。
【００１２】次に、平坦化された絶縁層１１１の上に、
例えば銅（Ｃｕ）よりなる誘導型の記録ヘッド用の第１
層目の薄膜コイル１１２を形成する。次に、絶縁層１１
１およびコイル１１２の上に、フォトレジスト層１１３
を、所定のパターンに形成する。次に、フォトレジスト
層１１３の表面を平坦にするために所定の温度で熱処理
する。次に、フォトレジスト層１１３の上に、第２層目
の薄膜コイル１１４を形成する。次に、フォトレジスト
層１１３およびコイル１１４上に、フォトレジスト層１
１５を、所定のパターンに形成する。次に、フォトレジ
スト層１１５の表面を平坦にするために所定の温度で熱
処理する。
例えば銅（Ｃｕ）よりなる誘導型の記録ヘッド用の第１
層目の薄膜コイル１１２を形成する。次に、絶縁層１１
１およびコイル１１２の上に、フォトレジスト層１１３
を、所定のパターンに形成する。次に、フォトレジスト
層１１３の表面を平坦にするために所定の温度で熱処理
する。次に、フォトレジスト層１１３の上に、第２層目
の薄膜コイル１１４を形成する。次に、フォトレジスト
層１１３およびコイル１１４上に、フォトレジスト層１
１５を、所定のパターンに形成する。次に、フォトレジ
スト層１１５の表面を平坦にするために所定の温度で熱
処理する。
【００１３】次に、上部磁極チップ１１０、フォトレジ
スト層１１３，１１５および磁性層１１９の上に、記録
ヘッド用の磁性材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦｅ）よ
りなる上部磁極層１１６を形成する。次に、上部磁極層
１１６の上に、例えばアルミナよりなるオーバーコート
層１１７を形成する。最後に、上記各層を含むスライダ
の機械加工を行って、記録ヘッドおよび再生ヘッドのエ
アベアリング面１１８を形成して、薄膜磁気ヘッド素子
が完成する。
スト層１１３，１１５および磁性層１１９の上に、記録
ヘッド用の磁性材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦｅ）よ
りなる上部磁極層１１６を形成する。次に、上部磁極層
１１６の上に、例えばアルミナよりなるオーバーコート
層１１７を形成する。最後に、上記各層を含むスライダ
の機械加工を行って、記録ヘッドおよび再生ヘッドのエ
アベアリング面１１８を形成して、薄膜磁気ヘッド素子
が完成する。
【００１４】なお、図３６では、オーバーコート層１１
７や、その他の絶縁層および絶縁膜を省略している。
７や、その他の絶縁層および絶縁膜を省略している。
【００１５】次に、図３７ないし図４２を参照して、従
来のスライダの構成と作用について説明する。図３７は
従来のスライダのエアベアリング面の構成の一例を示す
底面図である。図３８は従来のスライダの斜視図であ
る。図３７および図３８に示した例では、スライダ１２
０におけるエアベアリング面は、磁気ディスク等の記録
媒体の回転によって生じる空気流によってスライダ１２
０を記録媒体の表面からわずかに浮上させるために必要
な形状に形成されている。また、この例では、スライダ
１２０の空気流出端（図３７における上側の端部）の近
傍であってエアベアリング面の近傍の位置には薄膜磁気
ヘッド素子１２２が配置されている。この薄膜磁気ヘッ
ド素子１２２の構成は、例えば図３４ないし図３６に示
したようになっている。図３７におけるＡ部が、図３５
に対応する。
来のスライダの構成と作用について説明する。図３７は
従来のスライダのエアベアリング面の構成の一例を示す
底面図である。図３８は従来のスライダの斜視図であ
る。図３７および図３８に示した例では、スライダ１２
０におけるエアベアリング面は、磁気ディスク等の記録
媒体の回転によって生じる空気流によってスライダ１２
０を記録媒体の表面からわずかに浮上させるために必要
な形状に形成されている。また、この例では、スライダ
１２０の空気流出端（図３７における上側の端部）の近
傍であってエアベアリング面の近傍の位置には薄膜磁気
ヘッド素子１２２が配置されている。この薄膜磁気ヘッ
ド素子１２２の構成は、例えば図３４ないし図３６に示
したようになっている。図３７におけるＡ部が、図３５
に対応する。
【００１６】図３７および図３８に示した例では、スラ
イダ１２０のエアベアリング面は、記録媒体に最も近い
第１の面１２１ａと、この第１の面１２１ａとの間で所
定の第１の段差のある第２の面１２１ｂと、第１の面１
２１ａとの間で第１の段差よりも大きな第２の段差のあ
る第３の面１２１ｃとを有している。第１の面１２１ａ
はスライダ１２０の幅方向（図３７における左右方向）
の両側近傍と薄膜磁気ヘッド素子１２２の周辺とに配置
されている。第２の面１２１ｂは空気流入端（図３７に
おける下側の端部）の近傍に配置されている。第３の面
１２１ｃは、エアベアリング面の全体から第１の面１２
１ａおよび第２の面１２１ｂを除いた部分となってい
る。第１の面１２１ａと第２の面１２１ｂとの間の第１
の段差は１μｍ程度であり、第１の面１２１ａと第３の
面１２１ｃとの間の第２の段差は２〜３μｍ程度であ
る。
イダ１２０のエアベアリング面は、記録媒体に最も近い
第１の面１２１ａと、この第１の面１２１ａとの間で所
定の第１の段差のある第２の面１２１ｂと、第１の面１
２１ａとの間で第１の段差よりも大きな第２の段差のあ
る第３の面１２１ｃとを有している。第１の面１２１ａ
はスライダ１２０の幅方向（図３７における左右方向）
の両側近傍と薄膜磁気ヘッド素子１２２の周辺とに配置
されている。第２の面１２１ｂは空気流入端（図３７に
おける下側の端部）の近傍に配置されている。第３の面
１２１ｃは、エアベアリング面の全体から第１の面１２
１ａおよび第２の面１２１ｂを除いた部分となってい
る。第１の面１２１ａと第２の面１２１ｂとの間の第１
の段差は１μｍ程度であり、第１の面１２１ａと第３の
面１２１ｃとの間の第２の段差は２〜３μｍ程度であ
る。
【００１７】記録媒体の回転時に、図３７および図３８
に示したスライダ１２０のエアベアリング面の第１の面
１２１ａと記録媒体との間には、スライダ１２０を記録
媒体から遠ざける圧力が発生する。また、図３７および
図３８に示したスライダ１２０のエアベアリング面で
は、第２の面１２１ｂは空気流入端の近傍に配置され、
第３の面１２１ｃは第２の面１２１ｂよりも空気流出端
に近い位置に配置されている。この場合、記録媒体の回
転時に第２の面１２１ｂと記録媒体との間を通過した空
気が第３の面１２１ｃと記録媒体との間に達したとき
に、その空気の体積は増加する。そのため、第３の面１
２１ｃと記録媒体との間において、スライダ１２０を記
録媒体に近づける負圧が発生する。その結果、記録媒体
の回転時に、スライダ１２０は、空気流出端が空気流入
端よりも記録媒体に近づくように傾いて、記録媒体から
浮上する。記録媒体の面に対するスライダ１２０のエア
ベアリング面の傾きは、例えば１°以下になるように設
計される。また、エアベアリング面の形状を適切に設計
することにより、記録スライダ１２０の浮上量を小さく
することができる。
に示したスライダ１２０のエアベアリング面の第１の面
１２１ａと記録媒体との間には、スライダ１２０を記録
媒体から遠ざける圧力が発生する。また、図３７および
図３８に示したスライダ１２０のエアベアリング面で
は、第２の面１２１ｂは空気流入端の近傍に配置され、
第３の面１２１ｃは第２の面１２１ｂよりも空気流出端
に近い位置に配置されている。この場合、記録媒体の回
転時に第２の面１２１ｂと記録媒体との間を通過した空
気が第３の面１２１ｃと記録媒体との間に達したとき
に、その空気の体積は増加する。そのため、第３の面１
２１ｃと記録媒体との間において、スライダ１２０を記
録媒体に近づける負圧が発生する。その結果、記録媒体
の回転時に、スライダ１２０は、空気流出端が空気流入
端よりも記録媒体に近づくように傾いて、記録媒体から
浮上する。記録媒体の面に対するスライダ１２０のエア
ベアリング面の傾きは、例えば１°以下になるように設
計される。また、エアベアリング面の形状を適切に設計
することにより、記録スライダ１２０の浮上量を小さく
することができる。
【００１８】スライダ１２０は、以下のようにして製造
される。まず、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子１２２を含
むスライダとなる部分（以下、スライダ部分と言う。）
が複数列に配列されたウェハを一方向に切断して、スラ
イダ部分が一列に配列されたバーと呼ばれるブロックを
形成する。次に、このバーにおけるエアベアリング面と
なる面を研磨して研磨面を形成する。次に、この研磨面
のうちの第１の面１２１ａとなる部分の上に、フォトリ
ソグラフィによって第１のフォトレジストマスクを形成
する。次に、この第１のフォトレジストマスクを用い
て、研磨面を選択的にエッチングして、研磨面との間で
第１の段差のある段差面を形成する。次に、第１のフォ
トレジストマスクを除去する。次に、研磨面のうちの第
１の面１２１ａとなる部分および段差面のうちの第２の
面１２１ｂとなる部分の上に、フォトリソグラフィによ
って第２のフォトレジストマスクを形成する。次に、こ
の第２のフォトレジストマスクを用いて、段差面を選択
的にエッチングして、研磨面との間で第２の段差のある
第３の面１２１ｃを形成する。このようにして、第１の
面１２１ａ、第２の面１２１ｂおよび第３の面１２１ｃ
が形成される。次に、バーを切断して各スライダ１２０
に分離する。
される。まず、それぞれ薄膜磁気ヘッド素子１２２を含
むスライダとなる部分（以下、スライダ部分と言う。）
が複数列に配列されたウェハを一方向に切断して、スラ
イダ部分が一列に配列されたバーと呼ばれるブロックを
形成する。次に、このバーにおけるエアベアリング面と
なる面を研磨して研磨面を形成する。次に、この研磨面
のうちの第１の面１２１ａとなる部分の上に、フォトリ
ソグラフィによって第１のフォトレジストマスクを形成
する。次に、この第１のフォトレジストマスクを用い
て、研磨面を選択的にエッチングして、研磨面との間で
第１の段差のある段差面を形成する。次に、第１のフォ
トレジストマスクを除去する。次に、研磨面のうちの第
１の面１２１ａとなる部分および段差面のうちの第２の
面１２１ｂとなる部分の上に、フォトリソグラフィによ
って第２のフォトレジストマスクを形成する。次に、こ
の第２のフォトレジストマスクを用いて、段差面を選択
的にエッチングして、研磨面との間で第２の段差のある
第３の面１２１ｃを形成する。このようにして、第１の
面１２１ａ、第２の面１２１ｂおよび第３の面１２１ｃ
が形成される。次に、バーを切断して各スライダ１２０
に分離する。
【００１９】図３９は、記録媒体１４０が静止している
状態におけるスライダ１２０と記録媒体１４０とを示す
断面図である。図３９において、スライダ１２０に関し
ては、図３７の３９−３９線断面で表している。また、
図４０は、図３７における上側から見たスライダ１２０
を示している。
状態におけるスライダ１２０と記録媒体１４０とを示す
断面図である。図３９において、スライダ１２０に関し
ては、図３７の３９−３９線断面で表している。また、
図４０は、図３７における上側から見たスライダ１２０
を示している。
【００２０】図３９に示したように、スライダ１２０の
大部分は、例えばアルミニウムオキサイド・チタニウム
カーバイドよりなる基板１０１で構成されている。スラ
イダ１２０のうちの残りの部分は、例えばアルミナより
なる絶縁部１２７と、この絶縁部１２７内に形成された
薄膜磁気ヘッド素子１２２等で構成されている。絶縁部
１２７の大部分はオーバーコート層１１７である。
大部分は、例えばアルミニウムオキサイド・チタニウム
カーバイドよりなる基板１０１で構成されている。スラ
イダ１２０のうちの残りの部分は、例えばアルミナより
なる絶縁部１２７と、この絶縁部１２７内に形成された
薄膜磁気ヘッド素子１２２等で構成されている。絶縁部
１２７の大部分はオーバーコート層１１７である。
【００２１】図３９および図４０に示したスライダ１２
０では、下部シールド層１０３、下部磁極層１０８、上
部磁極チップ１１０、上部磁極層１１６等の腐食等を防
止するために、エアベアリング面に、ダイヤモンドライ
クカーボン（ＤＬＣ）等を用いた保護層１２８を形成し
ている。
０では、下部シールド層１０３、下部磁極層１０８、上
部磁極チップ１１０、上部磁極層１１６等の腐食等を防
止するために、エアベアリング面に、ダイヤモンドライ
クカーボン（ＤＬＣ）等を用いた保護層１２８を形成し
ている。
【００２２】図４１は、記録媒体１４０が停止している
状態から回転を開始した直後におけるスライダ１２０と
記録媒体１４０とを示す断面図である。また、図４２
は、記録媒体１４０が回転し、スライダ１２０が記録媒
体１４０の表面から浮上し、薄膜磁気ヘッド素子１２２
によって記録や再生が行われている状態を表している。
スライダ１２０の浮上時において、スライダ１２０と記
録媒体１４０との最短距離Ｈ１１は８〜１０ｎｍ程度で
あり、スライダ１２０の空気流出端と記録媒体１４０と
の距離Ｈ１２は、１００〜５００ｎｍ程度である。
状態から回転を開始した直後におけるスライダ１２０と
記録媒体１４０とを示す断面図である。また、図４２
は、記録媒体１４０が回転し、スライダ１２０が記録媒
体１４０の表面から浮上し、薄膜磁気ヘッド素子１２２
によって記録や再生が行われている状態を表している。
スライダ１２０の浮上時において、スライダ１２０と記
録媒体１４０との最短距離Ｈ１１は８〜１０ｎｍ程度で
あり、スライダ１２０の空気流出端と記録媒体１４０と
の距離Ｈ１２は、１００〜５００ｎｍ程度である。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ハードディ
スク装置の性能、特に面記録密度を向上させる方法に
は、線記録密度を高める方法とトラック密度を高める方
法とがある。高性能のハードディスク装置を設計する際
には、線記録密度とトラック密度のどちらに重点を置く
かによって、記録ヘッド、再生ヘッド、あるいは薄膜磁
気ヘッド全体における具体的な方策が異なる。すなわ
ち、トラック密度に重点を置いた設計の場合には、例え
ば、記録ヘッドと再生ヘッドの双方においてトラック幅
の縮小が求められる。
スク装置の性能、特に面記録密度を向上させる方法に
は、線記録密度を高める方法とトラック密度を高める方
法とがある。高性能のハードディスク装置を設計する際
には、線記録密度とトラック密度のどちらに重点を置く
かによって、記録ヘッド、再生ヘッド、あるいは薄膜磁
気ヘッド全体における具体的な方策が異なる。すなわ
ち、トラック密度に重点を置いた設計の場合には、例え
ば、記録ヘッドと再生ヘッドの双方においてトラック幅
の縮小が求められる。
【００２４】一方、線記録密度に重点を置いた設計の場
合には、例えば、再生ヘッドにおいて、再生出力の向上
や、下部シールド層と上部シールド層との間の距離であ
るシールドギャップ長の縮小が求められる。線記録密度
に重点を置いた設計の場合には、更に、記録媒体と薄膜
磁気ヘッド素子との間の距離（以下、磁気スペースと言
う。）の縮小が求められる。
合には、例えば、再生ヘッドにおいて、再生出力の向上
や、下部シールド層と上部シールド層との間の距離であ
るシールドギャップ長の縮小が求められる。線記録密度
に重点を置いた設計の場合には、更に、記録媒体と薄膜
磁気ヘッド素子との間の距離（以下、磁気スペースと言
う。）の縮小が求められる。
【００２５】磁気スペースの縮小は、スライダの浮上量
の縮小によって達成される。磁気スペースの縮小は、再
生ヘッドにおける再生出力の向上に寄与する他に、記録
ヘッドにおけるオーバーライト特性の向上に寄与する。
の縮小によって達成される。磁気スペースの縮小は、再
生ヘッドにおける再生出力の向上に寄与する他に、記録
ヘッドにおけるオーバーライト特性の向上に寄与する。
【００２６】スライダの浮上量の縮小は、例えば、図３
７および図３８に示したように、スライダのエアベアリ
ング面に、互いに段差のある第１ないし第３の面を形成
することによって実現することができる。
７および図３８に示したように、スライダのエアベアリ
ング面に、互いに段差のある第１ないし第３の面を形成
することによって実現することができる。
【００２７】しかしながら、従来のスライダの製造方法
では、ウェハを一方向に切断して複数のバーを形成した
後、各バーを研磨して研磨面を形成し、更に、各バーの
研磨面に第１ないし第３の面を形成する。バーの研磨面
に第１ないし第３の面を形成する工程は、複数のバーに
ついて同時に行うことができる。しかし、そのために
は、複数のバーを所定の配列となるように並べて配置し
た後に、これらのバーに対して、マスクの形成処理やエ
ッチング処理を施す必要がある。そのため、従来のスラ
イダの製造方法では、スライダの製造のための工程数が
多く、スライダの製造コストが高くなるという問題点が
あった。
では、ウェハを一方向に切断して複数のバーを形成した
後、各バーを研磨して研磨面を形成し、更に、各バーの
研磨面に第１ないし第３の面を形成する。バーの研磨面
に第１ないし第３の面を形成する工程は、複数のバーに
ついて同時に行うことができる。しかし、そのために
は、複数のバーを所定の配列となるように並べて配置し
た後に、これらのバーに対して、マスクの形成処理やエ
ッチング処理を施す必要がある。そのため、従来のスラ
イダの製造方法では、スライダの製造のための工程数が
多く、スライダの製造コストが高くなるという問題点が
あった。
【００２８】また、磁気スペースを縮小してゆくと、ス
ライダと記録媒体との衝突が生じやすくなり、記録媒体
や薄膜磁気ヘッド素子の損傷が生じやすくなる。これを
防止するには、記録媒体の表面の平滑性を高めることが
必要になる。しかし、記録媒体の表面の平滑性を高める
と、スライダと記録媒体との吸着が生じやすくなる。そ
の結果、記録媒体が停止して、スライダが記録媒体に接
触している状態から、記録媒体が回転を開始したとき
に、スライダが記録媒体から離れにくくなるという問題
点がある。
ライダと記録媒体との衝突が生じやすくなり、記録媒体
や薄膜磁気ヘッド素子の損傷が生じやすくなる。これを
防止するには、記録媒体の表面の平滑性を高めることが
必要になる。しかし、記録媒体の表面の平滑性を高める
と、スライダと記録媒体との吸着が生じやすくなる。そ
の結果、記録媒体が停止して、スライダが記録媒体に接
触している状態から、記録媒体が回転を開始したとき
に、スライダが記録媒体から離れにくくなるという問題
点がある。
【００２９】従来は、スライダと記録媒体との吸着を防
止するために、スライダのエアベアリング面にクラウン
やキャンバを形成していた。クラウンとは、図３９に示
したように、スライダ１２０の長手方向において緩やか
に湾曲した凸面を言う。キャンバとは、図４０に示した
ように、スライダ１２０の幅方向において緩やかに湾曲
した凸面を言う。クラウンにおける高低差Ｃ１は、１０
〜５０ｎｍ程度である。また、キャンバにおける高低差
Ｃ２は、５〜２０ｎｍ程度である。
止するために、スライダのエアベアリング面にクラウン
やキャンバを形成していた。クラウンとは、図３９に示
したように、スライダ１２０の長手方向において緩やか
に湾曲した凸面を言う。キャンバとは、図４０に示した
ように、スライダ１２０の幅方向において緩やかに湾曲
した凸面を言う。クラウンにおける高低差Ｃ１は、１０
〜５０ｎｍ程度である。また、キャンバにおける高低差
Ｃ２は、５〜２０ｎｍ程度である。
【００３０】従来、クラウンは、例えば、バーのエアベ
アリング面の研磨の際に、定盤に対するバーの姿勢を変
化させることによって形成していた。
アリング面の研磨の際に、定盤に対するバーの姿勢を変
化させることによって形成していた。
【００３１】一方、キャンバは、従来、例えば次のよう
な方法で形成していた。すなわち、まず、ＭＲハイトを
調整するためにバーのエアベアリング面の研磨を行った
後、バーにおける各スライダ部分の間の切断予定位置
に、ダイヤモンドグラインダ等によって切れ込みを入れ
る。次に、凹面形状の定盤上でバーのエアベアリング面
を軽く再研磨する。
な方法で形成していた。すなわち、まず、ＭＲハイトを
調整するためにバーのエアベアリング面の研磨を行った
後、バーにおける各スライダ部分の間の切断予定位置
に、ダイヤモンドグラインダ等によって切れ込みを入れ
る。次に、凹面形状の定盤上でバーのエアベアリング面
を軽く再研磨する。
【００３２】しかしながら、キャンバを形成するための
上記の方法では、バーのエアベアリング面の研磨によっ
てＭＲハイトを正確に調整した後に、キャンバを形成す
るために、再度、バーのエアベアリング面を１０〜２０
ｎｍ程度研磨する。そのため、この方法では、ＭＲハイ
トが所望の値からずれる場合があるという問題点があ
る。また、この方法では、凹面形状の定盤上でバーのエ
アベアリング面を研磨する際に、定盤の汚れや定盤上の
ごみによってバーに引っかき傷が入る場合があり、薄膜
磁気ヘッドの歩留りを低下させるという問題点がある。
また、この方法では、凹面形状の定盤上でバーのエアベ
アリング面を研磨する際に、ＭＲ素子に接続された電極
層の削り粉が、エアベアリング面と定盤との間に挟まれ
て延びて、スメアーと呼ばれる不良が発生する場合があ
る。このスメアーは、ＭＲ素子とシールド層との間の電
気的な短絡を引き起こす場合がある。この短絡は、再生
ヘッドの感度を低下させたり、再生出力にノイズを発生
させたりして、再生ヘッドの特性を劣化させる。
上記の方法では、バーのエアベアリング面の研磨によっ
てＭＲハイトを正確に調整した後に、キャンバを形成す
るために、再度、バーのエアベアリング面を１０〜２０
ｎｍ程度研磨する。そのため、この方法では、ＭＲハイ
トが所望の値からずれる場合があるという問題点があ
る。また、この方法では、凹面形状の定盤上でバーのエ
アベアリング面を研磨する際に、定盤の汚れや定盤上の
ごみによってバーに引っかき傷が入る場合があり、薄膜
磁気ヘッドの歩留りを低下させるという問題点がある。
また、この方法では、凹面形状の定盤上でバーのエアベ
アリング面を研磨する際に、ＭＲ素子に接続された電極
層の削り粉が、エアベアリング面と定盤との間に挟まれ
て延びて、スメアーと呼ばれる不良が発生する場合があ
る。このスメアーは、ＭＲ素子とシールド層との間の電
気的な短絡を引き起こす場合がある。この短絡は、再生
ヘッドの感度を低下させたり、再生出力にノイズを発生
させたりして、再生ヘッドの特性を劣化させる。
【００３３】また、スライダのエアベアリング面にクラ
ウンやキャンバを形成する場合には、これらの形成の工
程の存在によって、スライダの製造コストが高くなると
いう問題点がある。
ウンやキャンバを形成する場合には、これらの形成の工
程の存在によって、スライダの製造コストが高くなると
いう問題点がある。
【００３４】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その第１の目的は、少ない工程数で製造できるよ
うにした薄膜磁気ヘッドおよび薄膜磁気ヘッド用スライ
ダ、ならびにそれらの製造方法を提供することにある。
ので、その第１の目的は、少ない工程数で製造できるよ
うにした薄膜磁気ヘッドおよび薄膜磁気ヘッド用スライ
ダ、ならびにそれらの製造方法を提供することにある。
【００３５】本発明の第２の目的は、上記第１の目的に
加え、薄膜磁気ヘッド用スライダと記録媒体との衝突に
よって記録媒体や薄膜磁気ヘッドが損傷することや、薄
膜磁気ヘッド用スライダと記録媒体とが吸着することを
防止しながら、磁気スペースの縮小を可能にした薄膜磁
気ヘッド用スライダおよびその製造方法を提供すること
にある。
加え、薄膜磁気ヘッド用スライダと記録媒体との衝突に
よって記録媒体や薄膜磁気ヘッドが損傷することや、薄
膜磁気ヘッド用スライダと記録媒体とが吸着することを
防止しながら、磁気スペースの縮小を可能にした薄膜磁
気ヘッド用スライダおよびその製造方法を提供すること
にある。
【００３６】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の薄膜磁気
ヘッドは、記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録
ヘッドとを有する記録ヘッド部と、記録媒体に対向する
第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部
とを備え、記録ヘッド部と再生ヘッド部は、第１の媒体
対向面と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着
されているものである。
ヘッドは、記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録
ヘッドとを有する記録ヘッド部と、記録媒体に対向する
第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部
とを備え、記録ヘッド部と再生ヘッド部は、第１の媒体
対向面と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着
されているものである。
【００３７】本発明の第１の薄膜磁気ヘッドは、記録ヘ
ッド部と再生ヘッド部が互いに接着されて構成される。
従って、記録ヘッド部と再生ヘッド部は、それぞれ一度
に大量に作製することが可能である。
ッド部と再生ヘッド部が互いに接着されて構成される。
従って、記録ヘッド部と再生ヘッド部は、それぞれ一度
に大量に作製することが可能である。
【００３８】本発明の第１の薄膜磁気ヘッドにおいて、
記録ヘッド部は、記録ヘッドを収納すると共に、第１の
媒体対向面と、第１の媒体対向面とは反対側に配置され
た背面とを有する記録ヘッド部本体を備えていてもよ
い。記録ヘッドは、背面に露出し、外部装置と電気的に
接続される導体部と、導体部に電気的に接続された誘導
型電磁変換素子とを有していてもよい。誘導型電磁変換
素子は、導体部に電気的に接続された薄膜コイルと、第
１の媒体対向面の近傍に配置され互いに対向する第１お
よび第２の磁極部分層と、薄膜コイルの一部を囲うよう
に配置され、第１の磁極部分層と第２の磁極部分層とを
連結する磁路形成部と、第１および第２の磁極部分層の
間に設けられたギャップ部とを有していてもよい。第１
および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規定する凸
部を有し、凸部は第１の媒体対向面に露出する先端面を
含み、第１および第２の磁極部分層の厚みはスロートハ
イトを規定してもよい。
記録ヘッド部は、記録ヘッドを収納すると共に、第１の
媒体対向面と、第１の媒体対向面とは反対側に配置され
た背面とを有する記録ヘッド部本体を備えていてもよ
い。記録ヘッドは、背面に露出し、外部装置と電気的に
接続される導体部と、導体部に電気的に接続された誘導
型電磁変換素子とを有していてもよい。誘導型電磁変換
素子は、導体部に電気的に接続された薄膜コイルと、第
１の媒体対向面の近傍に配置され互いに対向する第１お
よび第２の磁極部分層と、薄膜コイルの一部を囲うよう
に配置され、第１の磁極部分層と第２の磁極部分層とを
連結する磁路形成部と、第１および第２の磁極部分層の
間に設けられたギャップ部とを有していてもよい。第１
および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規定する凸
部を有し、凸部は第１の媒体対向面に露出する先端面を
含み、第１および第２の磁極部分層の厚みはスロートハ
イトを規定してもよい。
【００３９】また、本発明の第１の薄膜磁気ヘッドにお
いて、再生ヘッド部は、再生ヘッドを収納すると共に、
第２の媒体対向面と、第２の媒体対向面とは反対側に配
置された背面とを有する再生ヘッド部本体を備えていて
もよい。再生ヘッドは、背面に露出し、外部装置と電気
的に接続される導体部と、第２の媒体対向面の近傍に配
置され導体部に電気的に接続された磁気抵抗効果素子と
を有していてもよい。
いて、再生ヘッド部は、再生ヘッドを収納すると共に、
第２の媒体対向面と、第２の媒体対向面とは反対側に配
置された背面とを有する再生ヘッド部本体を備えていて
もよい。再生ヘッドは、背面に露出し、外部装置と電気
的に接続される導体部と、第２の媒体対向面の近傍に配
置され導体部に電気的に接続された磁気抵抗効果素子と
を有していてもよい。
【００４０】本発明の第１の薄膜磁気ヘッドの製造方法
は、記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録ヘッド
とを有する記録ヘッド部と、記録媒体に対向する第２の
媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備
え、記録ヘッド部と再生ヘッド部は、第１の媒体対向面
と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着されて
いる薄膜磁気ヘッドを製造する方法であって、記録ヘッ
ド部を作製する工程と、記録ヘッド部とは別個に再生ヘ
ッド部を作製する工程と、記録ヘッド部と再生ヘッド部
とを接着する工程とを備えたものである。
は、記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録ヘッド
とを有する記録ヘッド部と、記録媒体に対向する第２の
媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備
え、記録ヘッド部と再生ヘッド部は、第１の媒体対向面
と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着されて
いる薄膜磁気ヘッドを製造する方法であって、記録ヘッ
ド部を作製する工程と、記録ヘッド部とは別個に再生ヘ
ッド部を作製する工程と、記録ヘッド部と再生ヘッド部
とを接着する工程とを備えたものである。
【００４１】本発明の第１の薄膜磁気ヘッドの製造方法
では、記録ヘッド部と再生ヘッド部とを別個に作製し、
記録ヘッド部と再生ヘッド部とを接着することによって
薄膜磁気ヘッドを製造する。従って、記録ヘッド部と再
生ヘッド部は、それぞれ一度に大量に作製することが可
能である。
では、記録ヘッド部と再生ヘッド部とを別個に作製し、
記録ヘッド部と再生ヘッド部とを接着することによって
薄膜磁気ヘッドを製造する。従って、記録ヘッド部と再
生ヘッド部は、それぞれ一度に大量に作製することが可
能である。
【００４２】本発明の第１の薄膜磁気ヘッドの製造方法
において、記録ヘッド部を作製する工程は、第１のウェ
ハの上に複数の記録ヘッドを形成する工程を含み、再生
ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の
再生ヘッドを形成する工程を含んでいてもよい。
において、記録ヘッド部を作製する工程は、第１のウェ
ハの上に複数の記録ヘッドを形成する工程を含み、再生
ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の
再生ヘッドを形成する工程を含んでいてもよい。
【００４３】また、本発明の第１の薄膜磁気ヘッドの製
造方法において、記録ヘッド部は、記録ヘッドを収納す
ると共に、第１の媒体対向面と、第１の媒体対向面とは
反対側に配置された背面とを有する記録ヘッド部本体を
備えていてもよい。記録ヘッド部を作製する工程は、背
面に露出し、外部装置と電気的に接続される導体部を形
成する工程と、誘導型電磁変換素子を形成する工程とを
含んでいてもよい。誘導型電磁変換素子は、導体部に電
気的に接続された薄膜コイルと、第１の媒体対向面の近
傍に配置され互いに対向する第１および第２の磁極部分
層と、記薄膜コイルの一部を囲うように配置され、第１
の磁極部分層と第２の磁極部分層とを連結する磁路形成
部と、第１および第２の磁極部分層の間に設けられたギ
ャップ部とを有していてもよい。第１および第２の磁極
部分層は記録トラック幅を規定する凸部を有し、凸部は
第１の媒体対向面に露出する先端面を含み、第１および
第２の磁極部分層の厚みはスロートハイトを規定しても
よい。
造方法において、記録ヘッド部は、記録ヘッドを収納す
ると共に、第１の媒体対向面と、第１の媒体対向面とは
反対側に配置された背面とを有する記録ヘッド部本体を
備えていてもよい。記録ヘッド部を作製する工程は、背
面に露出し、外部装置と電気的に接続される導体部を形
成する工程と、誘導型電磁変換素子を形成する工程とを
含んでいてもよい。誘導型電磁変換素子は、導体部に電
気的に接続された薄膜コイルと、第１の媒体対向面の近
傍に配置され互いに対向する第１および第２の磁極部分
層と、記薄膜コイルの一部を囲うように配置され、第１
の磁極部分層と第２の磁極部分層とを連結する磁路形成
部と、第１および第２の磁極部分層の間に設けられたギ
ャップ部とを有していてもよい。第１および第２の磁極
部分層は記録トラック幅を規定する凸部を有し、凸部は
第１の媒体対向面に露出する先端面を含み、第１および
第２の磁極部分層の厚みはスロートハイトを規定しても
よい。
【００４４】また、本発明の第１の薄膜磁気ヘッドの製
造方法において、再生ヘッド部は、再生ヘッドを収納す
ると共に、第２の媒体対向面と、第２の媒体対向面とは
反対側に配置された背面とを有する再生ヘッド部本体を
備えていてもよい。再生ヘッド部を作製する工程は、背
面に露出し、外部装置と電気的に接続される導体部を形
成する工程と、第２の媒体対向面の近傍に配置され導体
部に電気的に接続された磁気抵抗効果素子を形成する工
程とを含んでいてもよい。
造方法において、再生ヘッド部は、再生ヘッドを収納す
ると共に、第２の媒体対向面と、第２の媒体対向面とは
反対側に配置された背面とを有する再生ヘッド部本体を
備えていてもよい。再生ヘッド部を作製する工程は、背
面に露出し、外部装置と電気的に接続される導体部を形
成する工程と、第２の媒体対向面の近傍に配置され導体
部に電気的に接続された磁気抵抗効果素子を形成する工
程とを含んでいてもよい。
【００４５】本発明の第２の薄膜磁気ヘッドは、外部装
置と電気的に接続される導体部と、導体部に電気的に接
続された誘導型電磁変換素子と、導体部および誘導型電
磁変換素子を収納する本体とを備えている。本体は、記
録媒体に対向する媒体対向面と、この媒体対向面とは反
対側に配置された背面とを有している。導体部は背面に
露出している。誘導型電磁変換素子は導体部上に積層さ
れている。誘導型電磁変換素子は、導体部に電気的に接
続された薄膜コイルと、媒体対向面の近傍に配置され互
いに対向する第１および第２の磁極部分層と、薄膜コイ
ルの一部を囲うように配置され、第１の磁極部分層と第
２の磁極部分層とを連結する磁路形成部と、第１および
第２の磁極部分層の間に設けられたギャップ部とを有し
ている。第１および第２の磁極部分層は記録トラック幅
を規定する凸部を有し、凸部は媒体対向面に露出する先
端面を含む。第１および第２の磁極部分層の厚みはスロ
ートハイトを規定する。
置と電気的に接続される導体部と、導体部に電気的に接
続された誘導型電磁変換素子と、導体部および誘導型電
磁変換素子を収納する本体とを備えている。本体は、記
録媒体に対向する媒体対向面と、この媒体対向面とは反
対側に配置された背面とを有している。導体部は背面に
露出している。誘導型電磁変換素子は導体部上に積層さ
れている。誘導型電磁変換素子は、導体部に電気的に接
続された薄膜コイルと、媒体対向面の近傍に配置され互
いに対向する第１および第２の磁極部分層と、薄膜コイ
ルの一部を囲うように配置され、第１の磁極部分層と第
２の磁極部分層とを連結する磁路形成部と、第１および
第２の磁極部分層の間に設けられたギャップ部とを有し
ている。第１および第２の磁極部分層は記録トラック幅
を規定する凸部を有し、凸部は媒体対向面に露出する先
端面を含む。第１および第２の磁極部分層の厚みはスロ
ートハイトを規定する。
【００４６】本発明の第２の薄膜磁気ヘッドの製造方法
は、外部装置と電気的に接続される導体部と、導体部に
電気的に接続された誘導型電磁変換素子と、導体部およ
び誘導型電磁変換素子を収納する本体とを備え、本体
は、記録媒体に対向する媒体対向面と、この媒体対向面
とは反対側に配置された背面とを有し、導体部は背面に
露出している薄膜磁気ヘッドを製造する方法である。こ
の方法は、導体部を形成する工程と、導体部上に積層さ
れるように誘導型電磁変換素子を形成する工程とを含
む。誘導型電磁変換素子は、導体部に電気的に接続され
た薄膜コイルと、媒体対向面の近傍に配置され互いに対
向する第１および第２の磁極部分層と、薄膜コイルの一
部を囲うように配置され、第１の磁極部分層と第２の磁
極部分層とを連結する磁路形成部と、第１および第２の
磁極部分層の間に設けられたギャップ部とを有する。第
１および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規定する
凸部を有し、凸部は媒体対向面に露出する先端面を含
む。第１および第２の磁極部分層の厚みはスロートハイ
トを規定する。
は、外部装置と電気的に接続される導体部と、導体部に
電気的に接続された誘導型電磁変換素子と、導体部およ
び誘導型電磁変換素子を収納する本体とを備え、本体
は、記録媒体に対向する媒体対向面と、この媒体対向面
とは反対側に配置された背面とを有し、導体部は背面に
露出している薄膜磁気ヘッドを製造する方法である。こ
の方法は、導体部を形成する工程と、導体部上に積層さ
れるように誘導型電磁変換素子を形成する工程とを含
む。誘導型電磁変換素子は、導体部に電気的に接続され
た薄膜コイルと、媒体対向面の近傍に配置され互いに対
向する第１および第２の磁極部分層と、薄膜コイルの一
部を囲うように配置され、第１の磁極部分層と第２の磁
極部分層とを連結する磁路形成部と、第１および第２の
磁極部分層の間に設けられたギャップ部とを有する。第
１および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規定する
凸部を有し、凸部は媒体対向面に露出する先端面を含
む。第１および第２の磁極部分層の厚みはスロートハイ
トを規定する。
【００４７】本発明の第２の薄膜磁気ヘッドおよびその
製造方法では、導体部は、本体の背面に露出するように
配置され、誘導型電磁変換素子は、導体部上に積層され
る。誘導型電磁変換素子の第１および第２の磁極部分層
は記録トラック幅を規定する凸部を有し、この凸部の先
端面は媒体対向面に露出する。
製造方法では、導体部は、本体の背面に露出するように
配置され、誘導型電磁変換素子は、導体部上に積層され
る。誘導型電磁変換素子の第１および第２の磁極部分層
は記録トラック幅を規定する凸部を有し、この凸部の先
端面は媒体対向面に露出する。
【００４８】本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダは、回
転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録ヘッ
ドとを有するスライダ部と、記録媒体に対向する第２の
媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備
え、第１の媒体対向面は、記録媒体の回転時におけるス
ライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有し、スライダ
部と再生ヘッド部は、第１の媒体対向面と第２の媒体対
向面が連続するように互いに接着されているものであ
る。
転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面と記録ヘッ
ドとを有するスライダ部と、記録媒体に対向する第２の
媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備
え、第１の媒体対向面は、記録媒体の回転時におけるス
ライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有し、スライダ
部と再生ヘッド部は、第１の媒体対向面と第２の媒体対
向面が連続するように互いに接着されているものであ
る。
【００４９】本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダは、ス
ライダ部と再生ヘッド部が接着されて構成される。従っ
て、スライダ部と再生ヘッド部は、それぞれ一度に大量
に作製することが可能である。
ライダ部と再生ヘッド部が接着されて構成される。従っ
て、スライダ部と再生ヘッド部は、それぞれ一度に大量
に作製することが可能である。
【００５０】本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダにおい
て、記録ヘッドは誘導型電磁変換素子を含み、再生ヘッ
ドは磁気抵抗効果素子を含んでいてもよい。
て、記録ヘッドは誘導型電磁変換素子を含み、再生ヘッ
ドは磁気抵抗効果素子を含んでいてもよい。
【００５１】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
において、第１の媒体対向面は、再生ヘッド部に近い第
１の面と、再生ヘッド部から離れた第２の面と、第１の
面と第２の面との間の境界部分とを有し、第１の面およ
び第２の面の形状が境界部分において屈曲した凸形状に
なるように、第１の面と第２の面は互いに傾斜していて
もよい。
において、第１の媒体対向面は、再生ヘッド部に近い第
１の面と、再生ヘッド部から離れた第２の面と、第１の
面と第２の面との間の境界部分とを有し、第１の面およ
び第２の面の形状が境界部分において屈曲した凸形状に
なるように、第１の面と第２の面は互いに傾斜していて
もよい。
【００５２】第１の面と第２の面の少なくとも一方は、
記録媒体が回転している間、境界部分に近い位置ほど記
録媒体に近づくように記録媒体の面に対して傾いてもよ
い。
記録媒体が回転している間、境界部分に近い位置ほど記
録媒体に近づくように記録媒体の面に対して傾いてもよ
い。
【００５３】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
において、第１の媒体対向面が第１の面と第２の面と境
界部分とを有する場合には、スライダ部は、記録媒体が
静止している間は記録媒体の面に接触し、記録媒体が回
転している間は記録媒体の面から離れてもよい。この場
合、スライダ部は、記録媒体の面に対して接触を開始す
る時に、境界部分が最初に記録媒体の面に接触してもよ
い。また、スライダ部は、記録媒体の面から離れる時
に、境界部分が最後に記録媒体の面から離れてもよい。
において、第１の媒体対向面が第１の面と第２の面と境
界部分とを有する場合には、スライダ部は、記録媒体が
静止している間は記録媒体の面に接触し、記録媒体が回
転している間は記録媒体の面から離れてもよい。この場
合、スライダ部は、記録媒体の面に対して接触を開始す
る時に、境界部分が最初に記録媒体の面に接触してもよ
い。また、スライダ部は、記録媒体の面から離れる時
に、境界部分が最後に記録媒体の面から離れてもよい。
【００５４】また、記録媒体が回転している間および記
録媒体が静止している間のいずれにおいても、スライダ
部は境界部分において記録媒体の面に接触し、且つ第１
の面および第２の面は記録媒体の面に対して傾いてもよ
い。
録媒体が静止している間のいずれにおいても、スライダ
部は境界部分において記録媒体の面に接触し、且つ第１
の面および第２の面は記録媒体の面に対して傾いてもよ
い。
【００５５】また、第１の媒体対向面は、境界部分を含
む領域において形成された凹部を有していてもよい。
む領域において形成された凹部を有していてもよい。
【００５６】本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造
方法は、回転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面
と記録ヘッドとを有するスライダ部と、記録媒体に対向
する第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッ
ド部とを備え、第１の媒体対向面は、記録媒体の回転時
におけるスライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有
し、スライダ部と再生ヘッド部は、第１の媒体対向面と
第２の媒体対向面が連続するように互いに接着されてい
る薄膜磁気ヘッド用スライダを製造する方法である。
方法は、回転する記録媒体に対向する第１の媒体対向面
と記録ヘッドとを有するスライダ部と、記録媒体に対向
する第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッ
ド部とを備え、第１の媒体対向面は、記録媒体の回転時
におけるスライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有
し、スライダ部と再生ヘッド部は、第１の媒体対向面と
第２の媒体対向面が連続するように互いに接着されてい
る薄膜磁気ヘッド用スライダを製造する方法である。
【００５７】本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造
方法は、スライダ部を作製する工程と、スライダ部とは
別個に再生ヘッド部を作製する工程と、スライダ部と再
生ヘッド部とを接着する工程とを備えたものである。
方法は、スライダ部を作製する工程と、スライダ部とは
別個に再生ヘッド部を作製する工程と、スライダ部と再
生ヘッド部とを接着する工程とを備えたものである。
【００５８】本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造
方法では、スライダ部と再生ヘッド部を別個に作製し、
スライダ部と再生ヘッド部とを接着することによって薄
膜磁気ヘッド用スライダを製造する。従って、スライダ
部と再生ヘッド部は、それぞれ一度に大量に作製するこ
とが可能である。
方法では、スライダ部と再生ヘッド部を別個に作製し、
スライダ部と再生ヘッド部とを接着することによって薄
膜磁気ヘッド用スライダを製造する。従って、スライダ
部と再生ヘッド部は、それぞれ一度に大量に作製するこ
とが可能である。
【００５９】本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造
方法において、記録ヘッドは誘導型電磁変換素子を含
み、再生ヘッドは磁気抵抗効果素子を含んでいてもよ
い。
方法において、記録ヘッドは誘導型電磁変換素子を含
み、再生ヘッドは磁気抵抗効果素子を含んでいてもよ
い。
【００６０】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
の製造方法において、スライダ部を作製する工程は、第
１のウェハの上に複数の記録ヘッドを形成する工程を含
み、再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上
に複数の再生ヘッドを形成する工程を含んでいてもよ
い。
の製造方法において、スライダ部を作製する工程は、第
１のウェハの上に複数の記録ヘッドを形成する工程を含
み、再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上
に複数の再生ヘッドを形成する工程を含んでいてもよ
い。
【００６１】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
の製造方法において、スライダ部を作製する工程は、第
１のウェハの上に複数の記録ヘッドと複数の第１の媒体
対向面とを形成して、複数列に配列された複数のスライ
ダ部を含む第１のスライダ部集合体を形成する工程と、
第１のスライダ部集合体を切断して、１列に配列された
複数のスライダ部を含む第２のスライダ部集合体を形成
する工程とを含んでいてもよい。また、再生ヘッド部を
作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生ヘッド
を形成して、複数列に配列された複数の再生ヘッド部を
含む第１の再生ヘッド部集合体を形成する工程と、第１
の再生ヘッド部集合体を切断して、１列に配列された複
数の再生ヘッド部を含む第２の再生ヘッド部集合体を作
製する工程とを含んでいてもよい。また、スライダ部と
再生ヘッド部とを接着する工程は、第２のスライダ部集
合体と第２の再生ヘッド部集合体とを接着して、１列に
配列された複数の薄膜磁気ヘッド用スライダを含むスラ
イダ集合体を作製する工程を含んでいてもよい。薄膜磁
気ヘッド用スライダの製造方法は、更に、スライダ集合
体を切断して互いに分離された複数の薄膜磁気ヘッド用
スライダを作製する工程を備えていてもよい。
の製造方法において、スライダ部を作製する工程は、第
１のウェハの上に複数の記録ヘッドと複数の第１の媒体
対向面とを形成して、複数列に配列された複数のスライ
ダ部を含む第１のスライダ部集合体を形成する工程と、
第１のスライダ部集合体を切断して、１列に配列された
複数のスライダ部を含む第２のスライダ部集合体を形成
する工程とを含んでいてもよい。また、再生ヘッド部を
作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生ヘッド
を形成して、複数列に配列された複数の再生ヘッド部を
含む第１の再生ヘッド部集合体を形成する工程と、第１
の再生ヘッド部集合体を切断して、１列に配列された複
数の再生ヘッド部を含む第２の再生ヘッド部集合体を作
製する工程とを含んでいてもよい。また、スライダ部と
再生ヘッド部とを接着する工程は、第２のスライダ部集
合体と第２の再生ヘッド部集合体とを接着して、１列に
配列された複数の薄膜磁気ヘッド用スライダを含むスラ
イダ集合体を作製する工程を含んでいてもよい。薄膜磁
気ヘッド用スライダの製造方法は、更に、スライダ集合
体を切断して互いに分離された複数の薄膜磁気ヘッド用
スライダを作製する工程を備えていてもよい。
【００６２】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
の製造方法は、更に、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程の後で、第１の媒体対向面および第２の媒体
対向面が平坦化されるように、第１の媒体対向面および
第２の媒体対向面を研磨する工程を備えていてもよい。
の製造方法は、更に、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程の後で、第１の媒体対向面および第２の媒体
対向面が平坦化されるように、第１の媒体対向面および
第２の媒体対向面を研磨する工程を備えていてもよい。
【００６３】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
の製造方法は、更に、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程の後で、第１の媒体対向面が、再生ヘッド部
に近い第１の面と、再生ヘッド部から離れた第２の面
と、第１の面と第２の面との間の境界部分とを有し、第
１の面と第２の面が互いに傾斜して、第１の面および第
２の面の形状が境界部分において屈曲した凸形状になる
ように、第１の媒体対向面を研磨する工程を備えていて
もよい。この場合、薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方
法は、更に、第１の媒体対向面における境界部分を含む
領域に凹部を形成する工程を備えていてもよい。
の製造方法は、更に、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程の後で、第１の媒体対向面が、再生ヘッド部
に近い第１の面と、再生ヘッド部から離れた第２の面
と、第１の面と第２の面との間の境界部分とを有し、第
１の面と第２の面が互いに傾斜して、第１の面および第
２の面の形状が境界部分において屈曲した凸形状になる
ように、第１の媒体対向面を研磨する工程を備えていて
もよい。この場合、薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方
法は、更に、第１の媒体対向面における境界部分を含む
領域に凹部を形成する工程を備えていてもよい。
【００６４】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
の製造方法において、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程は、セラミック系の接着剤を用いてスライダ
部と再生ヘッド部とを接着してもよい。
の製造方法において、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程は、セラミック系の接着剤を用いてスライダ
部と再生ヘッド部とを接着してもよい。
【００６５】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
の製造方法において、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程は、スライダ部と再生ヘッド部との間に熱硬
化型の接着剤を配置し、接着剤を３００℃以下の温度で
加熱して接着剤を硬化させてスライダ部と再生ヘッド部
とを接着してもよい。
の製造方法において、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程は、スライダ部と再生ヘッド部との間に熱硬
化型の接着剤を配置し、接着剤を３００℃以下の温度で
加熱して接着剤を硬化させてスライダ部と再生ヘッド部
とを接着してもよい。
【００６６】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
の製造方法において、スライダ部を作製する工程は、ウ
ェハの一方の面の上に複数の記録ヘッドを形成する工程
と、ウェハの他方の面を研磨することによってウェハを
除去する工程とを含み、記録ヘッドは、研磨によって形
成される面に露出し、外部装置と電気的に接続される導
体部を有していてもよい。この場合、ウェハを除去する
工程は、複数の記録ヘッドの上に支持板を配置した状態
で、ウェハの他方の面を研磨してもよい。
の製造方法において、スライダ部を作製する工程は、ウ
ェハの一方の面の上に複数の記録ヘッドを形成する工程
と、ウェハの他方の面を研磨することによってウェハを
除去する工程とを含み、記録ヘッドは、研磨によって形
成される面に露出し、外部装置と電気的に接続される導
体部を有していてもよい。この場合、ウェハを除去する
工程は、複数の記録ヘッドの上に支持板を配置した状態
で、ウェハの他方の面を研磨してもよい。
【００６７】また、本発明の薄膜磁気ヘッド用スライダ
の製造方法において、再生ヘッド部を作製する工程は、
ウェハの一方の面の上に複数の再生ヘッドを形成する工
程と、ウェハの他方の面を研磨することによってウェハ
の少なくとも一部を除去する工程とを含んでいてもよ
い。この場合、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する
工程は、再生ヘッド部において研磨によって形成される
面とは反対側の面を、スライダ部に対して接着してもよ
い。また、ウェハを除去する工程は、複数の再生ヘッド
の上に支持板を配置した状態で、ウェハの他方の面を研
磨してもよい。
の製造方法において、再生ヘッド部を作製する工程は、
ウェハの一方の面の上に複数の再生ヘッドを形成する工
程と、ウェハの他方の面を研磨することによってウェハ
の少なくとも一部を除去する工程とを含んでいてもよ
い。この場合、スライダ部と再生ヘッド部とを接着する
工程は、再生ヘッド部において研磨によって形成される
面とは反対側の面を、スライダ部に対して接着してもよ
い。また、ウェハを除去する工程は、複数の再生ヘッド
の上に支持板を配置した状態で、ウェハの他方の面を研
磨してもよい。
【００６８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。まず、図１および図
２を参照して、本発明の一実施の形態に係る薄膜磁気ヘ
ッド用スライダ（以下、単にスライダと記す。）および
薄膜磁気ヘッドの構成について説明する。図１は本実施
の形態に係るスライダの斜視図、図２は本実施の形態に
係るスライダの底面図である。本実施の形態に係るスラ
イダは、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドを含んでい
る。
て図面を参照して詳細に説明する。まず、図１および図
２を参照して、本発明の一実施の形態に係る薄膜磁気ヘ
ッド用スライダ（以下、単にスライダと記す。）および
薄膜磁気ヘッドの構成について説明する。図１は本実施
の形態に係るスライダの斜視図、図２は本実施の形態に
係るスライダの底面図である。本実施の形態に係るスラ
イダは、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドを含んでい
る。
【００６９】本実施の形態に係るスライダ２０は、スラ
イダ部２１と再生ヘッド部２２とを備えている。スライ
ダ部２１の全体形状、再生ヘッド部２２の全体形状およ
びスライダ２０の全体形状は、それぞれほぼ直方体にな
っている。スライダ部２１は、本発明における記録ヘッ
ド部に対応する。
イダ部２１と再生ヘッド部２２とを備えている。スライ
ダ部２１の全体形状、再生ヘッド部２２の全体形状およ
びスライダ２０の全体形状は、それぞれほぼ直方体にな
っている。スライダ部２１は、本発明における記録ヘッ
ド部に対応する。
【００７０】スライダ部２１は、回転する記録媒体に対
向する第１の媒体対向面３１と、記録媒体の回転によっ
て生じる空気流が流入する端部である空気流入端４１
と、記録ヘッド２３とを有している。記録ヘッド２３
は、第１の媒体対向面３１の近傍、且つスライダ部２１
と再生ヘッド部２２の境界位置の近傍に配置されてい
る。
向する第１の媒体対向面３１と、記録媒体の回転によっ
て生じる空気流が流入する端部である空気流入端４１
と、記録ヘッド２３とを有している。記録ヘッド２３
は、第１の媒体対向面３１の近傍、且つスライダ部２１
と再生ヘッド部２２の境界位置の近傍に配置されてい
る。
【００７１】再生ヘッド部２２は、記録媒体に対向する
第２の媒体対向面３２と、記録媒体の回転によって生じ
る空気流が流出する端部である空気流出端４２と、再生
ヘッド２４とを有している。再生ヘッド２４は、第２の
媒体対向面３２の近傍、且つスライダ部２１と再生ヘッ
ド部２２の境界位置の近傍に配置されている。
第２の媒体対向面３２と、記録媒体の回転によって生じ
る空気流が流出する端部である空気流出端４２と、再生
ヘッド２４とを有している。再生ヘッド２４は、第２の
媒体対向面３２の近傍、且つスライダ部２１と再生ヘッ
ド部２２の境界位置の近傍に配置されている。
【００７２】スライダ部２１と再生ヘッド部２２は、第
１の媒体対向面３１と第２の媒体対向面３２が連続し、
且つ空気流入端４１と空気流出端４２とが第１の媒体対
向面３１および第２の媒体対向面３２を挟んで反対側に
配置されるように互いに接着されている。また、記録ヘ
ッド２３と再生ヘッド２４は、互いに近接した位置に配
置されている。本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドは、
記録ヘッド２３と再生ヘッド２４とを含む。
１の媒体対向面３１と第２の媒体対向面３２が連続し、
且つ空気流入端４１と空気流出端４２とが第１の媒体対
向面３１および第２の媒体対向面３２を挟んで反対側に
配置されるように互いに接着されている。また、記録ヘ
ッド２３と再生ヘッド２４は、互いに近接した位置に配
置されている。本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドは、
記録ヘッド２３と再生ヘッド２４とを含む。
【００７３】第１の媒体対向面３１は、記録媒体の回転
時におけるスライダ部２１の姿勢を制御するための凹凸
を有している。具体的には、第１の媒体対向面３１は、
再生ヘッド部２２に近い第１の面３３と、空気流入端４
１に近い第２の面３４と、第１の面３３と第２の面３４
との間の境界部分３５とを有している。第１の面３３
は、スライダ部２１の幅方向の両側近傍に配置された２
つの部分と、再生ヘッド部２２側の端部近傍に配置され
た１つの部分とを含んでいる。第２の面３４は、スライ
ダ部２１の幅方向の両側近傍に配置されて空気通過方向
に延びると共に、第１の面３３の上記２つの部分に接続
された２つの部分を含んでいる。第１の媒体対向面３１
は、更に、第２の面３４の２つの部分の間に配置されて
空気通過方向に延びる部分を含む第３の面３６を有して
いる。
時におけるスライダ部２１の姿勢を制御するための凹凸
を有している。具体的には、第１の媒体対向面３１は、
再生ヘッド部２２に近い第１の面３３と、空気流入端４
１に近い第２の面３４と、第１の面３３と第２の面３４
との間の境界部分３５とを有している。第１の面３３
は、スライダ部２１の幅方向の両側近傍に配置された２
つの部分と、再生ヘッド部２２側の端部近傍に配置され
た１つの部分とを含んでいる。第２の面３４は、スライ
ダ部２１の幅方向の両側近傍に配置されて空気通過方向
に延びると共に、第１の面３３の上記２つの部分に接続
された２つの部分を含んでいる。第１の媒体対向面３１
は、更に、第２の面３４の２つの部分の間に配置されて
空気通過方向に延びる部分を含む第３の面３６を有して
いる。
【００７４】第２の面３４は、第１の面３３および第２
の面３４の形状が境界部分３５において屈曲した凸形状
（屋根形）になるように、第１の面３３に対して傾斜し
ている。第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は３
０°以下であることが好ましく、１０°以下であること
がより好ましい。また、第１の面３３と第２の面３４と
のなす角度は０．１°以上であることが好ましい。
の面３４の形状が境界部分３５において屈曲した凸形状
（屋根形）になるように、第１の面３３に対して傾斜し
ている。第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は３
０°以下であることが好ましく、１０°以下であること
がより好ましい。また、第１の面３３と第２の面３４と
のなす角度は０．１°以上であることが好ましい。
【００７５】第１の面３３および第３の面３６は、スラ
イダ部２１における第１の媒体対向面３１とは反対側の
面に対して平行になっている。第２の面３４と第３の面
３６との間には、第２の面３４よりも第３の面３６の方
が記録媒体から離れるように段差がある。この段差は再
生ヘッド部２２に近い位置ほど大きくなるように連続的
に変化している。言い換えると、第２の面３４は第３の
面３６に対して傾いた面になっている。第２の面３４と
第３の面３６とのなす角度は、３０°以下であることが
好ましく、１０°以下であることがより好ましい。ま
た、第２の面３４と第３の面３６とのなす角度は０．１
°以上であることが好ましい。
イダ部２１における第１の媒体対向面３１とは反対側の
面に対して平行になっている。第２の面３４と第３の面
３６との間には、第２の面３４よりも第３の面３６の方
が記録媒体から離れるように段差がある。この段差は再
生ヘッド部２２に近い位置ほど大きくなるように連続的
に変化している。言い換えると、第２の面３４は第３の
面３６に対して傾いた面になっている。第２の面３４と
第３の面３６とのなす角度は、３０°以下であることが
好ましく、１０°以下であることがより好ましい。ま
た、第２の面３４と第３の面３６とのなす角度は０．１
°以上であることが好ましい。
【００７６】第１の媒体対向面３１のうち、境界部分３
５から再生ヘッド部２２側の端部までの長さは、第１の
媒体対向面３１の再生ヘッド部２２側の端部から空気流
入端４１までの長さの５０％以下であることが好まし
い。
５から再生ヘッド部２２側の端部までの長さは、第１の
媒体対向面３１の再生ヘッド部２２側の端部から空気流
入端４１までの長さの５０％以下であることが好まし
い。
【００７７】本実施の形態に係るスライダ２０では、第
１の媒体対向面３１における凹凸の形状に応じて、空気
流によって、スライダ部２１に対して記録媒体から離れ
る方向の力または記録媒体に近づく方向の力を与えるこ
とができる。従って、第１の媒体対向面３１における凹
凸の形状の設計によって、記録媒体の回転時におけるス
ライダ２０の姿勢を制御することが可能である。
１の媒体対向面３１における凹凸の形状に応じて、空気
流によって、スライダ部２１に対して記録媒体から離れ
る方向の力または記録媒体に近づく方向の力を与えるこ
とができる。従って、第１の媒体対向面３１における凹
凸の形状の設計によって、記録媒体の回転時におけるス
ライダ２０の姿勢を制御することが可能である。
【００７８】また、図１および図２には示していない
が、スライダ２０は、第１の媒体対向面３１および第２
の媒体対向面３２を覆う保護層を備えていてもよい。こ
の保護層は、例えばアルミナまたはダイヤモンドライク
カーボンによって構成される。
が、スライダ２０は、第１の媒体対向面３１および第２
の媒体対向面３２を覆う保護層を備えていてもよい。こ
の保護層は、例えばアルミナまたはダイヤモンドライク
カーボンによって構成される。
【００７９】次に、本実施の形態に係るスライダ２０の
製造方法と、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４の構
成について説明する。本実施の形態に係るスライダ２０
の製造方法は、スライダ部２１を作製する工程と、スラ
イダ部２１とは別個に再生ヘッド部２２を作製する工程
と、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着する工
程とを備えている。
製造方法と、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４の構
成について説明する。本実施の形態に係るスライダ２０
の製造方法は、スライダ部２１を作製する工程と、スラ
イダ部２１とは別個に再生ヘッド部２２を作製する工程
と、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着する工
程とを備えている。
【００８０】始めに、スライダ部２１を作製する工程に
ついて説明する。図３に示したように、スライダ部２１
を作製する工程は、第１のウェハの上に複数のスライダ
部２１に対応する複数の記録ヘッド２３と複数の第１の
媒体対向面３１とを形成して、複数列に配列された複数
のスライダ部２１を含む第１のスライダ部集合体５１Ａ
を形成する工程と、第１のスライダ部集合体５１Ａを、
図２において符号５２で示した位置で切断して、１列に
配列された複数のスライダ部２１を含む第２のスライダ
部集合体を形成する工程とを含む。第１のウェハは、シ
リコンで形成されていてもよいし、アルミニウムオキサ
イド・チタニウムカーバイド等のセラミックで形成され
ていてもよい。
ついて説明する。図３に示したように、スライダ部２１
を作製する工程は、第１のウェハの上に複数のスライダ
部２１に対応する複数の記録ヘッド２３と複数の第１の
媒体対向面３１とを形成して、複数列に配列された複数
のスライダ部２１を含む第１のスライダ部集合体５１Ａ
を形成する工程と、第１のスライダ部集合体５１Ａを、
図２において符号５２で示した位置で切断して、１列に
配列された複数のスライダ部２１を含む第２のスライダ
部集合体を形成する工程とを含む。第１のウェハは、シ
リコンで形成されていてもよいし、アルミニウムオキサ
イド・チタニウムカーバイド等のセラミックで形成され
ていてもよい。
【００８１】以下、図４ないし図９を参照して、スライ
ダ部２１を作製する工程について詳しく説明する。図４
ないし図９はそれぞれスライダ部２１を作製する工程を
説明するための断面図である。この工程では、まず、図
４に示したように、第１のウェハ５０の一方の面の上
に、例えばアルミナよりなる絶縁層２を形成する。絶縁
層２の厚みは、例えば１０μｍである。
ダ部２１を作製する工程について詳しく説明する。図４
ないし図９はそれぞれスライダ部２１を作製する工程を
説明するための断面図である。この工程では、まず、図
４に示したように、第１のウェハ５０の一方の面の上
に、例えばアルミナよりなる絶縁層２を形成する。絶縁
層２の厚みは、例えば１０μｍである。
【００８２】次に、絶縁層２の一部をエッチングして、
絶縁層２に２つの開口部を形成する。次に、例えばめっ
き法によって、２つの開口部内に選択的に、導電性材料
よりなる２つの導体部３を形成する。導電性材料は、例
えばＣｕである。次に、例えば化学機械研磨（以下、Ｃ
ＭＰと記す。）によって、導体部３のうち開口部よりは
み出した余分な部分を除去し、絶縁層２および導体部３
の上面を平坦化する。
絶縁層２に２つの開口部を形成する。次に、例えばめっ
き法によって、２つの開口部内に選択的に、導電性材料
よりなる２つの導体部３を形成する。導電性材料は、例
えばＣｕである。次に、例えば化学機械研磨（以下、Ｃ
ＭＰと記す。）によって、導体部３のうち開口部よりは
み出した余分な部分を除去し、絶縁層２および導体部３
の上面を平坦化する。
【００８３】次に、例えばめっき法によって、絶縁層２
の上に磁性層４を形成する。このとき同時に、２つの導
体部３の上に２つの連結層５を形成する。磁性層４およ
び連結層５の材料としては、導電性の磁性材料、例えば
パーマロイ（ＮｉＦｅ）が用いられる。また、磁性層４
および連結層５の厚みは、例えば３μｍである。次に、
全体に、例えばアルミナよりなる絶縁層６を、例えば３
μｍの厚みに形成する。次に、例えばＣＭＰによって、
磁性層４および連結層５が露出するまで絶縁層６を研磨
して、絶縁層６の表面を平坦化する。
の上に磁性層４を形成する。このとき同時に、２つの導
体部３の上に２つの連結層５を形成する。磁性層４およ
び連結層５の材料としては、導電性の磁性材料、例えば
パーマロイ（ＮｉＦｅ）が用いられる。また、磁性層４
および連結層５の厚みは、例えば３μｍである。次に、
全体に、例えばアルミナよりなる絶縁層６を、例えば３
μｍの厚みに形成する。次に、例えばＣＭＰによって、
磁性層４および連結層５が露出するまで絶縁層６を研磨
して、絶縁層６の表面を平坦化する。
【００８４】次に、図５に示したように、磁性層４およ
び絶縁層６の上面のうち、後で薄膜コイル８が形成され
る予定の位置に、絶縁膜７を形成する。次に、例えばめ
っき法によって、絶縁膜７の上に薄膜コイル８を形成す
る。薄膜コイル８の材料は例えばＣｕである。薄膜コイ
ル８の厚みは例えば１．５μｍである。薄膜コイル８の
巻線の内側の端部および外側の端部は、それぞれ別個の
連結層５に電気的に接続される。これにより、薄膜コイ
ル８の巻線の両端部は２つの導体部３に電気的に接続さ
れる。
び絶縁層６の上面のうち、後で薄膜コイル８が形成され
る予定の位置に、絶縁膜７を形成する。次に、例えばめ
っき法によって、絶縁膜７の上に薄膜コイル８を形成す
る。薄膜コイル８の材料は例えばＣｕである。薄膜コイ
ル８の厚みは例えば１．５μｍである。薄膜コイル８の
巻線の内側の端部および外側の端部は、それぞれ別個の
連結層５に電気的に接続される。これにより、薄膜コイ
ル８の巻線の両端部は２つの導体部３に電気的に接続さ
れる。
【００８５】次に、例えばめっき法によって、磁性層４
の上に磁性層９，１０を形成する。磁性層９は薄膜コイ
ル８の外周端縁の外側に配置され、磁性層１０は薄膜コ
イル８の内周端縁の内側に配置される。磁性層９，１０
の材料は例えばＣｏＮｉＦｅである。磁性層９，１０の
厚みは例えば３μｍである。次に、全体に、例えばアル
ミナよりなる絶縁層１１を、例えば３μｍの厚みに形成
する。次に、例えばＣＭＰによって、磁性層９，１０が
露出するまで絶縁層１１を研磨して、絶縁層１１の表面
を平坦化する。
の上に磁性層９，１０を形成する。磁性層９は薄膜コイ
ル８の外周端縁の外側に配置され、磁性層１０は薄膜コ
イル８の内周端縁の内側に配置される。磁性層９，１０
の材料は例えばＣｏＮｉＦｅである。磁性層９，１０の
厚みは例えば３μｍである。次に、全体に、例えばアル
ミナよりなる絶縁層１１を、例えば３μｍの厚みに形成
する。次に、例えばＣＭＰによって、磁性層９，１０が
露出するまで絶縁層１１を研磨して、絶縁層１１の表面
を平坦化する。
【００８６】次に、図６に示したように、磁性層９の上
に第１の磁極部分層１２を形成すると共に、磁性層１０
および絶縁層１１の上に磁性層１３を形成する。磁性層
１３は、薄膜コイル８を挟んで磁性層４に対向する位置
に配置される。また、第１の磁極部分層１２と磁性層１
３とは、所定の間隔を開けて隔てられる。第１の磁極部
分層１２および磁性層１３の材料としては、ＦｅＣｏ等
の高飽和磁束密度材料を用いるのが好ましい。磁極部分
層１２および磁性層１３の厚みは例えば１μｍである。
に第１の磁極部分層１２を形成すると共に、磁性層１０
および絶縁層１１の上に磁性層１３を形成する。磁性層
１３は、薄膜コイル８を挟んで磁性層４に対向する位置
に配置される。また、第１の磁極部分層１２と磁性層１
３とは、所定の間隔を開けて隔てられる。第１の磁極部
分層１２および磁性層１３の材料としては、ＦｅＣｏ等
の高飽和磁束密度材料を用いるのが好ましい。磁極部分
層１２および磁性層１３の厚みは例えば１μｍである。
【００８７】次に、第１の磁極部分層１２を覆うよう
に、例えばアルミナよりなる記録ギャップ層１４を形成
する。記録ギャップ層１４の厚みは例えば０．１μｍで
ある。次に、絶縁層１１の上面のうちの第１の磁極部分
層１２と磁性層１３との間の位置とその周辺に、第２の
磁極部分層１５を形成する。磁極部分層１５の一部は、
磁極部分層１２の上の記録ギャップ層１４の上に乗り上
げ、磁極部分層１５の他の一部は磁性層１３の上に乗り
上げる。磁極部分層１５の材料としては、ＦｅＣｏ等の
高飽和磁束密度材料を用いるのが好ましい。磁極部分層
１５の厚みは例えば１μｍである。
に、例えばアルミナよりなる記録ギャップ層１４を形成
する。記録ギャップ層１４の厚みは例えば０．１μｍで
ある。次に、絶縁層１１の上面のうちの第１の磁極部分
層１２と磁性層１３との間の位置とその周辺に、第２の
磁極部分層１５を形成する。磁極部分層１５の一部は、
磁極部分層１２の上の記録ギャップ層１４の上に乗り上
げ、磁極部分層１５の他の一部は磁性層１３の上に乗り
上げる。磁極部分層１５の材料としては、ＦｅＣｏ等の
高飽和磁束密度材料を用いるのが好ましい。磁極部分層
１５の厚みは例えば１μｍである。
【００８８】次に、図７に示したように、次に、全体
に、例えばアルミナよりなる絶縁層１６を形成する。次
に、例えばＣＭＰによって、磁極部分層１２，１５が露
出するまで絶縁層１６を研磨して、絶縁層１６の表面を
平坦化する。研磨によって形成された面において、磁極
部分層１２，１５は記録ギャップ層１４を挟んで互いに
対向する。
に、例えばアルミナよりなる絶縁層１６を形成する。次
に、例えばＣＭＰによって、磁極部分層１２，１５が露
出するまで絶縁層１６を研磨して、絶縁層１６の表面を
平坦化する。研磨によって形成された面において、磁極
部分層１２，１５は記録ギャップ層１４を挟んで互いに
対向する。
【００８９】次に、磁極部分層１２，１５およびこれら
の間の記録ギャップ層１４の上に、記録トラック幅を規
定するための図示しないエッチングマスクを形成する。
このエッチングマスクは、例えば、フォトレジストより
なり、フォトリソグラフィによって形成される。
の間の記録ギャップ層１４の上に、記録トラック幅を規
定するための図示しないエッチングマスクを形成する。
このエッチングマスクは、例えば、フォトレジストより
なり、フォトリソグラフィによって形成される。
【００９０】次に、図８に示したように、上記エッチン
グマスクを用いて、磁極部分層１２，１５および記録ギ
ャップ層１４の各一部をエッチングして、磁極部分層１
２，１５および記録ギャップ層１４の上面に、それぞれ
記録トラック幅を規定する凸部を形成する。エッチング
には、反応性イオンエッチングやイオンミリング等のド
ライエッチングが用いられる。エッチングの深さは、例
えば０．５μｍ以上とする。各凸部の先端面の幅Ｗ（図
２参照）は記録トラック幅となる。この記録トラック幅
は、例えば０．１μｍ以下とする。
グマスクを用いて、磁極部分層１２，１５および記録ギ
ャップ層１４の各一部をエッチングして、磁極部分層１
２，１５および記録ギャップ層１４の上面に、それぞれ
記録トラック幅を規定する凸部を形成する。エッチング
には、反応性イオンエッチングやイオンミリング等のド
ライエッチングが用いられる。エッチングの深さは、例
えば０．５μｍ以上とする。各凸部の先端面の幅Ｗ（図
２参照）は記録トラック幅となる。この記録トラック幅
は、例えば０．１μｍ以下とする。
【００９１】次に、全体に、例えばアルミナまたはダイ
ヤモンドライクカーボンよりなる絶縁膜１７を形成す
る。絶縁膜１７の厚みは例えば０．７μｍである。次
に、例えばＣＭＰによって、磁極部分層１２，１５およ
び記録ギャップ層１４が露出するまで絶縁膜１７を研磨
して、絶縁膜１７の表面を平坦化する。
ヤモンドライクカーボンよりなる絶縁膜１７を形成す
る。絶縁膜１７の厚みは例えば０．７μｍである。次
に、例えばＣＭＰによって、磁極部分層１２，１５およ
び記録ギャップ層１４が露出するまで絶縁膜１７を研磨
して、絶縁膜１７の表面を平坦化する。
【００９２】次に、図８に示した積層体の上面に、スラ
イダ部２１の姿勢制御用の凹凸を形成するための、図示
しないエッチングマスクを形成する。このエッチングマ
スクは、例えば、フォトレジストよりなり、フォトリソ
グラフィによって形成される。次に、上記エッチングマ
スクを用いて、上記積層体の上面をエッチングして、上
記姿勢制御用の凹凸を形成する。このときのエッチング
の深さは、例えば２〜３μｍとする。このエッチングに
よって、第１の媒体対向面３１における第３の面３６が
形成される。
イダ部２１の姿勢制御用の凹凸を形成するための、図示
しないエッチングマスクを形成する。このエッチングマ
スクは、例えば、フォトレジストよりなり、フォトリソ
グラフィによって形成される。次に、上記エッチングマ
スクを用いて、上記積層体の上面をエッチングして、上
記姿勢制御用の凹凸を形成する。このときのエッチング
の深さは、例えば２〜３μｍとする。このエッチングに
よって、第１の媒体対向面３１における第３の面３６が
形成される。
【００９３】このようにして、第１のウェハ５０の一方
の面の上に、それぞれ記録ヘッド２３を含む複数のスラ
イダ部２１が形成される。
の面の上に、それぞれ記録ヘッド２３を含む複数のスラ
イダ部２１が形成される。
【００９４】次に、図９に示したように、複数のスライ
ダ部２１の上に支持板１８を配置し、この支持板１８を
スライダ部２１に貼り付ける。次に、例えばグラインダ
によって第１のウェハ５０の他方の面（図８における下
側の面）を研磨することによって第１のウェハ５０を除
去して、導体部３を露出させる。
ダ部２１の上に支持板１８を配置し、この支持板１８を
スライダ部２１に貼り付ける。次に、例えばグラインダ
によって第１のウェハ５０の他方の面（図８における下
側の面）を研磨することによって第１のウェハ５０を除
去して、導体部３を露出させる。
【００９５】以上のようにして、図３に示した第１のス
ライダ部集合体５１Ａが作製される。この第１のスライ
ダ部集合体５１Ａは、図３において符号５２で示した位
置で切断される。これにより、１列に配列された複数の
スライダ部２１を含む第２のスライダ部集合体が形成さ
れる。スライダ部２１において、磁極部分層１２，１５
および記録ギャップ層１４が露出した面は第１の媒体対
向面３１となる。また、スライダ部２１において、導体
部３が露出した面は、第１の媒体対向面３１とは反対側
に配置された背面１９（図９参照）となる。
ライダ部集合体５１Ａが作製される。この第１のスライ
ダ部集合体５１Ａは、図３において符号５２で示した位
置で切断される。これにより、１列に配列された複数の
スライダ部２１を含む第２のスライダ部集合体が形成さ
れる。スライダ部２１において、磁極部分層１２，１５
および記録ギャップ層１４が露出した面は第１の媒体対
向面３１となる。また、スライダ部２１において、導体
部３が露出した面は、第１の媒体対向面３１とは反対側
に配置された背面１９（図９参照）となる。
【００９６】スライダ部２１は、記録ヘッド２３を収納
する本体２５を備えている。この本体２５は、第１の媒
体対向面３１とこの第１の媒体対向面３１とは反対側に
配置された背面１９とを有している。本体２５は、本発
明における記録ヘッド部本体に対応する。記録ヘッド２
３は、背面１９に露出し、外部装置と電気的に接続され
る導体部３と、この導体部３に電気的に接続された誘導
型電磁変換素子とを有している。誘導型電磁変換素子
は、導体部３に電気的に接続された薄膜コイル８と、第
１の媒体対向面３１の近傍に配置され互いに対向する第
１および第２の磁極部分層１２，１５と、薄膜コイル８
の一部を囲うように配置され、第１の磁極部分層１２と
第２の磁極部分層１５とを連結する磁路形成部と、第１
および第２の磁極部分層１２，１５の間に設けられた記
録ギャップ層１４とを有している。磁路形成部は、磁性
層４，９，１０，１３によって形成される。
する本体２５を備えている。この本体２５は、第１の媒
体対向面３１とこの第１の媒体対向面３１とは反対側に
配置された背面１９とを有している。本体２５は、本発
明における記録ヘッド部本体に対応する。記録ヘッド２
３は、背面１９に露出し、外部装置と電気的に接続され
る導体部３と、この導体部３に電気的に接続された誘導
型電磁変換素子とを有している。誘導型電磁変換素子
は、導体部３に電気的に接続された薄膜コイル８と、第
１の媒体対向面３１の近傍に配置され互いに対向する第
１および第２の磁極部分層１２，１５と、薄膜コイル８
の一部を囲うように配置され、第１の磁極部分層１２と
第２の磁極部分層１５とを連結する磁路形成部と、第１
および第２の磁極部分層１２，１５の間に設けられた記
録ギャップ層１４とを有している。磁路形成部は、磁性
層４，９，１０，１３によって形成される。
【００９７】第１および第２の磁極部分層１２，１５
は、それぞれ記録トラック幅を規定する凸部を有し、各
凸部の先端面は第１の媒体対向面３１に露出している。
また、第１および第２の磁極部分層１２，１５の厚みは
スロートハイトを規定する。
は、それぞれ記録トラック幅を規定する凸部を有し、各
凸部の先端面は第１の媒体対向面３１に露出している。
また、第１および第２の磁極部分層１２，１５の厚みは
スロートハイトを規定する。
【００９８】次に、再生ヘッド部２２を作製する工程に
ついて説明する。図１０に示したように、再生ヘッド部
２２を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生
ヘッド２４を形成して、複数列に配列された複数の再生
ヘッド部２２を含む第１の再生ヘッド部集合体６１Ａを
形成する工程と、第１の再生ヘッド部集合体６１Ａを、
図１０において符号６２で示した位置で切断して、１列
に配列された複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生
ヘッド部集合体を作製する工程とを含む。第２のウェハ
は、シリコンで形成されていてもよいし、アルミニウム
オキサイド・チタニウムカーバイド等のセラミックで形
成されていてもよい。
ついて説明する。図１０に示したように、再生ヘッド部
２２を作製する工程は、第２のウェハの上に複数の再生
ヘッド２４を形成して、複数列に配列された複数の再生
ヘッド部２２を含む第１の再生ヘッド部集合体６１Ａを
形成する工程と、第１の再生ヘッド部集合体６１Ａを、
図１０において符号６２で示した位置で切断して、１列
に配列された複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生
ヘッド部集合体を作製する工程とを含む。第２のウェハ
は、シリコンで形成されていてもよいし、アルミニウム
オキサイド・チタニウムカーバイド等のセラミックで形
成されていてもよい。
【００９９】以下、図１１ないし図１５を参照して、再
生ヘッド部２２を作製する工程について詳しく説明す
る。図１１ないし図１５はそれぞれ再生ヘッド部２２を
作製する工程を説明するための断面図である。図１１な
いし図１５において、（ａ）は後で形成される第２の媒
体対向面３２に垂直な断面を表し、（ｂ）は第２の媒体
対向面３２に平行な断面を表している。
生ヘッド部２２を作製する工程について詳しく説明す
る。図１１ないし図１５はそれぞれ再生ヘッド部２２を
作製する工程を説明するための断面図である。図１１な
いし図１５において、（ａ）は後で形成される第２の媒
体対向面３２に垂直な断面を表し、（ｂ）は第２の媒体
対向面３２に平行な断面を表している。
【０１００】再生ヘッド部２２を作製する工程では、ま
ず、図１１に示したように、第２のウェハ６０の一方の
面の上に、例えばアルミナよりなる絶縁層７２を形成す
る。絶縁層７２の厚みは、例えば１０μｍである。次
に、絶縁層７２の一部をエッチングして、絶縁層７２に
２つの開口部を形成する。次に、例えばめっき法によっ
て、２つの開口部内に選択的に、導電性材料よりなる２
つの導体部７３を形成する。なお、図１１（ａ）には１
つの導体部７３のみが示されている。導電性材料は、例
えばＣｕである。次に、例えばＣＭＰによって、導体部
７３のうち開口部よりはみ出した余分な部分を除去し、
絶縁層７２および導体部７３の上面を平坦化する。
ず、図１１に示したように、第２のウェハ６０の一方の
面の上に、例えばアルミナよりなる絶縁層７２を形成す
る。絶縁層７２の厚みは、例えば１０μｍである。次
に、絶縁層７２の一部をエッチングして、絶縁層７２に
２つの開口部を形成する。次に、例えばめっき法によっ
て、２つの開口部内に選択的に、導電性材料よりなる２
つの導体部７３を形成する。なお、図１１（ａ）には１
つの導体部７３のみが示されている。導電性材料は、例
えばＣｕである。次に、例えばＣＭＰによって、導体部
７３のうち開口部よりはみ出した余分な部分を除去し、
絶縁層７２および導体部７３の上面を平坦化する。
【０１０１】次に、例えばめっき法によって、絶縁層７
２の上に第１のシールド層７４を形成する。このとき同
時に、２つの導体部７３の上に２つの連結層７５を形成
する。第１のシールド層７４および連結層７５の材料と
しては、導電性の磁性材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦ
ｅ）が用いられる。また、第１のシールド層７４および
連結層７５の厚みは、例えば３μｍである。
２の上に第１のシールド層７４を形成する。このとき同
時に、２つの導体部７３の上に２つの連結層７５を形成
する。第１のシールド層７４および連結層７５の材料と
しては、導電性の磁性材料、例えばパーマロイ（ＮｉＦ
ｅ）が用いられる。また、第１のシールド層７４および
連結層７５の厚みは、例えば３μｍである。
【０１０２】次に、図１２に示したように、全体に、例
えばアルミナよりなる絶縁層７６を、例えば３μｍの厚
みに形成する。次に、例えばＣＭＰによって、第１のシ
ールド層７４および連結層７５が露出するまで絶縁層７
６を研磨して、絶縁層７６の表面を平坦化する。次に、
第１のシールド層７４を覆うように、アルミナ等の絶縁
材料よりなる第１のシールドギャップ膜７７を、例えば
３０ｎｍの厚みに形成する。この第１のシールドギャッ
プ膜７７は、連結層７５を覆わないように配置される。
えばアルミナよりなる絶縁層７６を、例えば３μｍの厚
みに形成する。次に、例えばＣＭＰによって、第１のシ
ールド層７４および連結層７５が露出するまで絶縁層７
６を研磨して、絶縁層７６の表面を平坦化する。次に、
第１のシールド層７４を覆うように、アルミナ等の絶縁
材料よりなる第１のシールドギャップ膜７７を、例えば
３０ｎｍの厚みに形成する。この第１のシールドギャッ
プ膜７７は、連結層７５を覆わないように配置される。
【０１０３】次に、図１３に示したように、第１のシー
ルドギャップ膜７７の上に、再生用のＭＲ素子７８を形
成する。ＭＲ素子７８には、ＡＭＲ素子、ＧＭＲ素子、
あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気
抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができ
る。次に、第１のシールドギャップ膜７７の上に、ＭＲ
素子７８に電気的に接続される一対の電極層７９を形成
する。この２つの電極層７９は、それぞれ別個の連結層
７５に電気的に接続される。これにより、ＭＲ素子７８
は２つの導体部７３に電気的に接続される。次に、ＭＲ
素子７８および電極層７９を覆うように、アルミナ等の
絶縁材料よりなる第２のシールドギャップ膜８０を、例
えば３０ｎｍの厚みに形成する。
ルドギャップ膜７７の上に、再生用のＭＲ素子７８を形
成する。ＭＲ素子７８には、ＡＭＲ素子、ＧＭＲ素子、
あるいはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気
抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子を用いることができ
る。次に、第１のシールドギャップ膜７７の上に、ＭＲ
素子７８に電気的に接続される一対の電極層７９を形成
する。この２つの電極層７９は、それぞれ別個の連結層
７５に電気的に接続される。これにより、ＭＲ素子７８
は２つの導体部７３に電気的に接続される。次に、ＭＲ
素子７８および電極層７９を覆うように、アルミナ等の
絶縁材料よりなる第２のシールドギャップ膜８０を、例
えば３０ｎｍの厚みに形成する。
【０１０４】次に、図１４に示したように、第２のシー
ルドギャップ膜８０の上に、第２のシールド層８１を形
成する。第２のシールド層８１の材料としては、磁性材
料、例えばパーマロイ（ＮｉＦｅ）が用いられる。ま
た、第２のシールド層８１の厚みは、例えば２μｍであ
る。第２のシールド層８１は、第１のシールド層７４に
対向する位置に配置される。ＭＲ素子７８は、第１のシ
ールド層７４と第２のシールド層８１によって挟まれ、
これらによってシールドされる。
ルドギャップ膜８０の上に、第２のシールド層８１を形
成する。第２のシールド層８１の材料としては、磁性材
料、例えばパーマロイ（ＮｉＦｅ）が用いられる。ま
た、第２のシールド層８１の厚みは、例えば２μｍであ
る。第２のシールド層８１は、第１のシールド層７４に
対向する位置に配置される。ＭＲ素子７８は、第１のシ
ールド層７４と第２のシールド層８１によって挟まれ、
これらによってシールドされる。
【０１０５】次に、全体に、例えばアルミナよりなる絶
縁層８２を、例えば３μｍの厚みに形成する。次に、例
えばＣＭＰによって、第２のシールド層８１が露出する
まで絶縁層８２を研磨して、絶縁層８２の表面を平坦化
する。
縁層８２を、例えば３μｍの厚みに形成する。次に、例
えばＣＭＰによって、第２のシールド層８１が露出する
まで絶縁層８２を研磨して、絶縁層８２の表面を平坦化
する。
【０１０６】このようにして、第２のウェハ６０の一方
の面の上に、それぞれ再生ヘッド２４を含む複数の再生
ヘッド部２２が形成される。
の面の上に、それぞれ再生ヘッド２４を含む複数の再生
ヘッド部２２が形成される。
【０１０７】次に、図１５に示したように、複数の再生
ヘッド部２２の上に支持板８３を配置し、この支持板８
３を再生ヘッド部２２に貼り付ける。次に、例えばグラ
インダによって第２のウェハ６０の他方の面（図１４に
おける下側の面）を研磨することによって第２のウェハ
６０の少なくとも一部を除去する。
ヘッド部２２の上に支持板８３を配置し、この支持板８
３を再生ヘッド部２２に貼り付ける。次に、例えばグラ
インダによって第２のウェハ６０の他方の面（図１４に
おける下側の面）を研磨することによって第２のウェハ
６０の少なくとも一部を除去する。
【０１０８】以上のようにして、図１０に示した第１の
再生ヘッド部集合体６１Ａが作製される。この第１の再
生ヘッド部集合体６１Ａは、図１０において符号６２で
示した位置で切断される。これにより、１列に配列され
た複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生ヘッド部集
合体が形成される。図１６は、再生ヘッド部２２の平面
図である。図１６に示したように、再生ヘッド部２２
（第２の再生ヘッド部集合体）は、２つの切断面を有す
る。一方の切断面にはＭＲ素子７８が露出し、他方の切
断面には導体層７３が露出する。一方の切断面は、第２
の媒体対向面３２となる。他方の切断面は、第２の媒体
対向面３２とは反対側に配置された背面８５となる。
再生ヘッド部集合体６１Ａが作製される。この第１の再
生ヘッド部集合体６１Ａは、図１０において符号６２で
示した位置で切断される。これにより、１列に配列され
た複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生ヘッド部集
合体が形成される。図１６は、再生ヘッド部２２の平面
図である。図１６に示したように、再生ヘッド部２２
（第２の再生ヘッド部集合体）は、２つの切断面を有す
る。一方の切断面にはＭＲ素子７８が露出し、他方の切
断面には導体層７３が露出する。一方の切断面は、第２
の媒体対向面３２となる。他方の切断面は、第２の媒体
対向面３２とは反対側に配置された背面８５となる。
【０１０９】図１６に示したように、再生ヘッド部２２
は、再生ヘッド２４を収納すると共に、第２の媒体対向
面３２とこの第２の媒体対向面３２とは反対側に配置さ
れた背面８５とを有する本体２６を備えている。本体２
６は、本発明における再生ヘッド部本体に対応する。再
生ヘッド２４は、背面８５に露出し、外部装置と電気的
に接続される導体部７３と、第２の媒体対向面３２の近
傍に配置され導体部７３に電気的に接続されたＭＲ素子
７８とを有している。
は、再生ヘッド２４を収納すると共に、第２の媒体対向
面３２とこの第２の媒体対向面３２とは反対側に配置さ
れた背面８５とを有する本体２６を備えている。本体２
６は、本発明における再生ヘッド部本体に対応する。再
生ヘッド２４は、背面８５に露出し、外部装置と電気的
に接続される導体部７３と、第２の媒体対向面３２の近
傍に配置され導体部７３に電気的に接続されたＭＲ素子
７８とを有している。
【０１１０】次に、スライダ部２１と再生ヘッド部２２
とを接着する工程について説明する。スライダ部２１と
再生ヘッド部２２とを接着する工程では、図１７に示し
たように、１列に配列された複数のスライダ部２１を含
む第２のスライダ部集合体５１Ｂと、１列に配列された
複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生ヘッド部集合
体６１Ｂとを、接着剤８６を用いて接着して、図１８に
示したような、１列に配列された複数のスライダ２０を
含むスライダ集合体９０を作製する。
とを接着する工程について説明する。スライダ部２１と
再生ヘッド部２２とを接着する工程では、図１７に示し
たように、１列に配列された複数のスライダ部２１を含
む第２のスライダ部集合体５１Ｂと、１列に配列された
複数の再生ヘッド部２２を含む第２の再生ヘッド部集合
体６１Ｂとを、接着剤８６を用いて接着して、図１８に
示したような、１列に配列された複数のスライダ２０を
含むスライダ集合体９０を作製する。
【０１１１】スライダ部２１において再生ヘッド部２２
と接着される面は、第１のスライダ部集合体５１Ａを、
図３において符号５２で示した位置で切断することによ
って形成される２つの面のうち、記録ヘッド２３に近い
面である。一方、再生ヘッド部２２においてスライダ部
２１と接着される面は、図１５に示した工程における研
磨によって形成される面とは反対側の面である。
と接着される面は、第１のスライダ部集合体５１Ａを、
図３において符号５２で示した位置で切断することによ
って形成される２つの面のうち、記録ヘッド２３に近い
面である。一方、再生ヘッド部２２においてスライダ部
２１と接着される面は、図１５に示した工程における研
磨によって形成される面とは反対側の面である。
【０１１２】スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接
着するための接着剤８６としては、例えばセラミック系
で熱硬化型の接着剤が用いられる。この場合、ＭＲ素子
７８を構成する一部の膜のように熱に対して弱い膜の破
損を防止するために、接着剤８６を３００℃以下の温度
で加熱して接着剤８６を硬化させてスライダ部２１と再
生ヘッド部２２とを接着することが好ましい。
着するための接着剤８６としては、例えばセラミック系
で熱硬化型の接着剤が用いられる。この場合、ＭＲ素子
７８を構成する一部の膜のように熱に対して弱い膜の破
損を防止するために、接着剤８６を３００℃以下の温度
で加熱して接着剤８６を硬化させてスライダ部２１と再
生ヘッド部２２とを接着することが好ましい。
【０１１３】本実施の形態に係るスライダの製造方法
は、上述のようにスライダ部２１と再生ヘッド部２２を
接着した後に、第１の媒体対向面３１および第２の媒体
対向面３２が平坦化されるように、第１の媒体対向面３
１および第２の媒体対向面３２を研磨する工程を備えて
いる。この研磨は、図１９に示したように、１列に配列
された複数のスライダ２０を含むスライダ集合体９０に
おける第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３
２とは反対側の面に支持板９１を貼り付けて、第１の媒
体対向面３１および第２の媒体対向面３２を研磨装置の
定盤に接触させて行われる。このように第１の媒体対向
面３１および第２の媒体対向面３２を研磨することによ
り、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着する際
の両者の位置合わせの精度が低くても、第１の媒体対向
面３１および第２の媒体対向面３２を平坦化することが
できる。
は、上述のようにスライダ部２１と再生ヘッド部２２を
接着した後に、第１の媒体対向面３１および第２の媒体
対向面３２が平坦化されるように、第１の媒体対向面３
１および第２の媒体対向面３２を研磨する工程を備えて
いる。この研磨は、図１９に示したように、１列に配列
された複数のスライダ２０を含むスライダ集合体９０に
おける第１の媒体対向面３１および第２の媒体対向面３
２とは反対側の面に支持板９１を貼り付けて、第１の媒
体対向面３１および第２の媒体対向面３２を研磨装置の
定盤に接触させて行われる。このように第１の媒体対向
面３１および第２の媒体対向面３２を研磨することによ
り、スライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着する際
の両者の位置合わせの精度が低くても、第１の媒体対向
面３１および第２の媒体対向面３２を平坦化することが
できる。
【０１１４】また、スライダ集合体９０の研磨は、スラ
イダ集合体９０に含まれる複数の再生ヘッド部２２のＭ
Ｒ素子７８の抵抗値を検出しながら、複数のスライダ２
０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトが等しくな
るように行われる。
イダ集合体９０に含まれる複数の再生ヘッド部２２のＭ
Ｒ素子７８の抵抗値を検出しながら、複数のスライダ２
０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトが等しくな
るように行われる。
【０１１５】次に、図２０に示したように、定盤に対す
るスライダ集合体９０の姿勢を、第１の媒体対向面３１
および第２の媒体対向面３２を研磨する際とは異ならせ
て、スライダ集合体９０の研磨を行うことによって、第
１の媒体対向面３１の一部を研磨する。これにより、第
１の媒体対向面３１に、第１の面３３、第２の面３４お
よび境界部分３５が形成される。第１の面３３と第２の
面３４とのなす角度は、前述のように０．１°以上、３
０°以下であることが好ましい。ここでは、第１の面３
３と第２の面３４とのなす角度を、０．１〜１．０°の
範囲内の角度、例えば０．５°とする。
るスライダ集合体９０の姿勢を、第１の媒体対向面３１
および第２の媒体対向面３２を研磨する際とは異ならせ
て、スライダ集合体９０の研磨を行うことによって、第
１の媒体対向面３１の一部を研磨する。これにより、第
１の媒体対向面３１に、第１の面３３、第２の面３４お
よび境界部分３５が形成される。第１の面３３と第２の
面３４とのなす角度は、前述のように０．１°以上、３
０°以下であることが好ましい。ここでは、第１の面３
３と第２の面３４とのなす角度を、０．１〜１．０°の
範囲内の角度、例えば０．５°とする。
【０１１６】ここで、図２１および図２２を参照して、
スライダ集合体９０に含まれる複数の再生ヘッド部２２
のＭＲ素子７８の抵抗値を検出しながら、複数のスライ
ダ２０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトが等し
くなるように、スライダ集合体９０の研磨を行う方法の
一例について説明する。
スライダ集合体９０に含まれる複数の再生ヘッド部２２
のＭＲ素子７８の抵抗値を検出しながら、複数のスライ
ダ２０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトが等し
くなるように、スライダ集合体９０の研磨を行う方法の
一例について説明する。
【０１１７】図２１は、スライダ集合体９０の研磨を行
うための研磨装置の概略の構成を示す斜視図である。こ
の研磨装置１５１は、テーブル１６０と、このテーブル
１６０上に設けられた回転ラッピングテーブル１６１
と、この回転ラッピングテーブル１６１の側方におい
て、テーブル１６０上に設けられた支柱１６２と、この
支柱１６２に対してアーム１６３を介して取り付けられ
た素材支持部１７０とを備えている。回転ラッピングテ
ーブル１６１は、スライダ集合体９０における第１の媒
体対向面３１および第２の媒体対向面３２に当接するラ
ッピングプレート（定盤）１６１ａを有している。
うための研磨装置の概略の構成を示す斜視図である。こ
の研磨装置１５１は、テーブル１６０と、このテーブル
１６０上に設けられた回転ラッピングテーブル１６１
と、この回転ラッピングテーブル１６１の側方におい
て、テーブル１６０上に設けられた支柱１６２と、この
支柱１６２に対してアーム１６３を介して取り付けられ
た素材支持部１７０とを備えている。回転ラッピングテ
ーブル１６１は、スライダ集合体９０における第１の媒
体対向面３１および第２の媒体対向面３２に当接するラ
ッピングプレート（定盤）１６１ａを有している。
【０１１８】素材支持部１７０は、冶具保持部１７３
と、この治具保持部１７３の前方位置に等間隔に配設さ
れた３本の荷重付加棒１７５Ａ，１７５Ｂ，１７５Ｃと
を有している。冶具保持部１７３には、治具１８０が固
定されるようになっている。治具１８０には、断面が長
円形の孔からなる３つの荷重付加部が設けられている。
荷重付加棒１７５Ａ，１７５Ｂ，１７５Ｃの各下端部に
は、それぞれ、冶具１８０の各荷重付加部（孔）に挿入
される断面が長円形の頭部を有する荷重付加ピンが設け
られている。各荷重付加ピンは、それぞれ図示しないア
クチュエータによって、上下方向、左右方向（治具１８
０の長手方向）および回転方向に駆動されるようになっ
ている。
と、この治具保持部１７３の前方位置に等間隔に配設さ
れた３本の荷重付加棒１７５Ａ，１７５Ｂ，１７５Ｃと
を有している。冶具保持部１７３には、治具１８０が固
定されるようになっている。治具１８０には、断面が長
円形の孔からなる３つの荷重付加部が設けられている。
荷重付加棒１７５Ａ，１７５Ｂ，１７５Ｃの各下端部に
は、それぞれ、冶具１８０の各荷重付加部（孔）に挿入
される断面が長円形の頭部を有する荷重付加ピンが設け
られている。各荷重付加ピンは、それぞれ図示しないア
クチュエータによって、上下方向、左右方向（治具１８
０の長手方向）および回転方向に駆動されるようになっ
ている。
【０１１９】治具１８０は、スライダ集合体９０を保持
する保持部を有している。この治具１８０では、３つの
荷重付加部に対して種々の方向の荷重を付加することに
より、保持部およびスライダ集合体９０が変形される。
これにより、スライダ集合体９０に含まれる複数のスラ
イダ２０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトの値
を目標とする値となるように制御しながら、スライダ集
合体９０における第１の媒体対向面３１および第２の媒
体対向面３２をラッピングすることが可能となる。
する保持部を有している。この治具１８０では、３つの
荷重付加部に対して種々の方向の荷重を付加することに
より、保持部およびスライダ集合体９０が変形される。
これにより、スライダ集合体９０に含まれる複数のスラ
イダ２０におけるＭＲハイトおよびスロートハイトの値
を目標とする値となるように制御しながら、スライダ集
合体９０における第１の媒体対向面３１および第２の媒
体対向面３２をラッピングすることが可能となる。
【０１２０】図２２は、図２１に示した研磨装置の回路
構成の一例を示すブロック図である。この研磨装置は、
治具１８０の各荷重付加部にそれぞれ３方向の荷重を付
加するための９つアクチュエータ１９１〜１９９と、ス
ライダ集合体９０内の複数のＭＲ素子７８の抵抗値を監
視してアクチュエータ１９１〜１９９を制御する制御装
置１８６と、図示しないコネクタを介して、スライダ集
合体９０内の複数のＭＲ素子７８に接続され、これらの
ＭＲ素子７８のいずれかを選択的に制御装置１８６に接
続するマルチプレクサ１８７とを備えている。
構成の一例を示すブロック図である。この研磨装置は、
治具１８０の各荷重付加部にそれぞれ３方向の荷重を付
加するための９つアクチュエータ１９１〜１９９と、ス
ライダ集合体９０内の複数のＭＲ素子７８の抵抗値を監
視してアクチュエータ１９１〜１９９を制御する制御装
置１８６と、図示しないコネクタを介して、スライダ集
合体９０内の複数のＭＲ素子７８に接続され、これらの
ＭＲ素子７８のいずれかを選択的に制御装置１８６に接
続するマルチプレクサ１８７とを備えている。
【０１２１】この研磨装置では、制御装置１８６は、マ
ルチプレクサ１８７を介してスライダ集合体９０内の複
数のＭＲ素子７８の抵抗値を監視して、スライダ集合体
９０に含まれる複数のスライダ２０におけるＭＲハイト
およびスロートハイトが全て許容誤差の範囲内となるよ
うに、アクチュエータ１９１〜１９９を制御する。
ルチプレクサ１８７を介してスライダ集合体９０内の複
数のＭＲ素子７８の抵抗値を監視して、スライダ集合体
９０に含まれる複数のスライダ２０におけるＭＲハイト
およびスロートハイトが全て許容誤差の範囲内となるよ
うに、アクチュエータ１９１〜１９９を制御する。
【０１２２】図２０に示したように第１の媒体対向面３
１の研磨が終了したスライダ集合体９０は切断され、こ
れにより、互いに分離された複数のスライダ２０が作製
される。スライダ集合体９０の切断は、スライダ集合体
９０に支持板９１を取り付けた状態で行ってもよいし、
スライダ集合体９０から支持板９１を取り外した状態で
行ってもよい。
１の研磨が終了したスライダ集合体９０は切断され、こ
れにより、互いに分離された複数のスライダ２０が作製
される。スライダ集合体９０の切断は、スライダ集合体
９０に支持板９１を取り付けた状態で行ってもよいし、
スライダ集合体９０から支持板９１を取り外した状態で
行ってもよい。
【０１２３】次に、図２３に示したように、スライダ２
０は、サスペンション２２１に取り付けられる。このサ
スペンション２２１は、それぞれ導体よりなりスライダ
２０の２つの導体部３に対向する位置に配置された２つ
の端子部２７１と、それぞれ導体よりなりスライダ２０
の２つの導体部７３に対向する位置に配置された２つの
端子部２７２とを有している。これらの端子部２７１，
２７２は、それぞれ図示しないリードの一端が接続され
ている。リードの他端は、外部装置に接続されるように
なっている。
０は、サスペンション２２１に取り付けられる。このサ
スペンション２２１は、それぞれ導体よりなりスライダ
２０の２つの導体部３に対向する位置に配置された２つ
の端子部２７１と、それぞれ導体よりなりスライダ２０
の２つの導体部７３に対向する位置に配置された２つの
端子部２７２とを有している。これらの端子部２７１，
２７２は、それぞれ図示しないリードの一端が接続され
ている。リードの他端は、外部装置に接続されるように
なっている。
【０１２４】スライダ２０の導体部３，７３と、サスペ
ンション２２１の端子部２７１，２７２とは、半田等の
導電性接合剤２７３によって電気的および機械的に接続
されるようになっている。また、これにより、スライダ
２０とサスペンション２２１とが機械的に結合されるよ
うになっている。このように、本実施の形態では、スラ
イダ２０をサスペンション２２１に結合させる際に、同
時にスライダ２０の導体部３，７３とサスペンション２
２１の端子部２７１，２７２とが電気的に接続されるよ
うにしている。これにより、スライダ２０とサスペンシ
ョン２２１との間に余分なリードを設ける必要がなくな
り、その結果、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４を
より高い周波数で動作させることが可能になる。
ンション２２１の端子部２７１，２７２とは、半田等の
導電性接合剤２７３によって電気的および機械的に接続
されるようになっている。また、これにより、スライダ
２０とサスペンション２２１とが機械的に結合されるよ
うになっている。このように、本実施の形態では、スラ
イダ２０をサスペンション２２１に結合させる際に、同
時にスライダ２０の導体部３，７３とサスペンション２
２１の端子部２７１，２７２とが電気的に接続されるよ
うにしている。これにより、スライダ２０とサスペンシ
ョン２２１との間に余分なリードを設ける必要がなくな
り、その結果、記録ヘッド２３および再生ヘッド２４を
より高い周波数で動作させることが可能になる。
【０１２５】次に、図２４ないし図２６を参照して、本
実施の形態に係るスライダ２０が取り付けられるヘッド
ジンバルアセンブリおよびハードディスク装置について
説明する。まず、図２４を参照して、ヘッドジンバルア
センブリ２２０について説明する。ハードディスク装置
において、スライダ２０は、回転駆動される円盤状の記
録媒体であるハードディスク２６２に対向するように配
置される。ヘッドジンバルアセンブリ２２０は、スライ
ダ２０と、このスライダ２０を弾性的に支持するサスペ
ンション２２１とを備えている。サスペンション２２１
は、例えばステンレス鋼によって形成された板ばね状の
ロードビーム２２２、このロードビーム２２２の一端部
に設けられると共にスライダ２０が接合され、スライダ
２０に適度な自由度を与えるフレクシャ２２３と、ロー
ドビーム２２２の他端部に設けられたベースプレート２
２４とを有している。ベースプレート２２４は、スライ
ダ２０をハードディスク２６２のトラック横断方向ｘに
移動させるためのアクチュエータのアーム２３０に取り
付けられるようになっている。アクチュエータは、アー
ム２３０と、このアーム２３０を駆動するボイスコイル
モータとを有している。フレクシャ２２３において、ス
ライダ２０が取り付けられる部分には、スライダ２０の
姿勢を一定に保つためのジンバル部が設けられている。
実施の形態に係るスライダ２０が取り付けられるヘッド
ジンバルアセンブリおよびハードディスク装置について
説明する。まず、図２４を参照して、ヘッドジンバルア
センブリ２２０について説明する。ハードディスク装置
において、スライダ２０は、回転駆動される円盤状の記
録媒体であるハードディスク２６２に対向するように配
置される。ヘッドジンバルアセンブリ２２０は、スライ
ダ２０と、このスライダ２０を弾性的に支持するサスペ
ンション２２１とを備えている。サスペンション２２１
は、例えばステンレス鋼によって形成された板ばね状の
ロードビーム２２２、このロードビーム２２２の一端部
に設けられると共にスライダ２０が接合され、スライダ
２０に適度な自由度を与えるフレクシャ２２３と、ロー
ドビーム２２２の他端部に設けられたベースプレート２
２４とを有している。ベースプレート２２４は、スライ
ダ２０をハードディスク２６２のトラック横断方向ｘに
移動させるためのアクチュエータのアーム２３０に取り
付けられるようになっている。アクチュエータは、アー
ム２３０と、このアーム２３０を駆動するボイスコイル
モータとを有している。フレクシャ２２３において、ス
ライダ２０が取り付けられる部分には、スライダ２０の
姿勢を一定に保つためのジンバル部が設けられている。
【０１２６】ヘッドジンバルアセンブリ２２０は、アク
チュエータのアーム２３０に取り付けられる。１つのア
ーム２３０にヘッドジンバルアセンブリ２２０を取り付
けたものはヘッドアームアセンブリと呼ばれる。また、
複数のアームを有するキャリッジの各アームにヘッドジ
ンバルアセンブリ２２０を取り付けたものはヘッドスタ
ックアセンブリと呼ばれる。
チュエータのアーム２３０に取り付けられる。１つのア
ーム２３０にヘッドジンバルアセンブリ２２０を取り付
けたものはヘッドアームアセンブリと呼ばれる。また、
複数のアームを有するキャリッジの各アームにヘッドジ
ンバルアセンブリ２２０を取り付けたものはヘッドスタ
ックアセンブリと呼ばれる。
【０１２７】図２４は、ヘッドアームアセンブリの一例
を示している。このヘッドアームアセンブリでは、アー
ム２３０の一端部にヘッドジンバルアセンブリ２２０が
取り付けられている。アーム２３０の他端部には、ボイ
スコイルモータの一部となるコイル２３１が取り付けら
れている。アーム２３０の中間部には、アーム２３０を
回動自在に支持するための軸２３４に取り付けられる軸
受け部２３３が設けられている。
を示している。このヘッドアームアセンブリでは、アー
ム２３０の一端部にヘッドジンバルアセンブリ２２０が
取り付けられている。アーム２３０の他端部には、ボイ
スコイルモータの一部となるコイル２３１が取り付けら
れている。アーム２３０の中間部には、アーム２３０を
回動自在に支持するための軸２３４に取り付けられる軸
受け部２３３が設けられている。
【０１２８】次に、図２５および図２６を参照して、ヘ
ッドスタックアセンブリの一例とハードディスク装置に
ついて説明する。図２５はハードディスク装置の要部を
示す説明図、図２６はハードディスク装置の平面図であ
る。ヘッドスタックアセンブリ２５０は、複数のアーム
２５２を有するキャリッジ２５１を有している。複数の
アーム２５２には、複数のヘッドジンバルアセンブリ２
２０が、互いに間隔を開けて垂直方向に並ぶように取り
付けられている。キャリッジ２５１においてアーム２５
２とは反対側には、ボイスコイルモータの一部となるコ
イル２５３が取り付けられている。ヘッドスタックアセ
ンブリ２５０は、ハードディスク装置に組み込まれる。
ハードディスク装置は、スピンドルモータ２６１に取り
付けられた複数枚のハードディスク２６２を有してい
る。各ハードディスク２６２毎に、ハードディスク２６
２を挟んで対向するように２つのスライダ２０が配置さ
れる。また、ボイスコイルモータは、ヘッドスタックア
センブリ２５０のコイル２５３を挟んで対向する位置に
配置された永久磁石２６３を有している。
ッドスタックアセンブリの一例とハードディスク装置に
ついて説明する。図２５はハードディスク装置の要部を
示す説明図、図２６はハードディスク装置の平面図であ
る。ヘッドスタックアセンブリ２５０は、複数のアーム
２５２を有するキャリッジ２５１を有している。複数の
アーム２５２には、複数のヘッドジンバルアセンブリ２
２０が、互いに間隔を開けて垂直方向に並ぶように取り
付けられている。キャリッジ２５１においてアーム２５
２とは反対側には、ボイスコイルモータの一部となるコ
イル２５３が取り付けられている。ヘッドスタックアセ
ンブリ２５０は、ハードディスク装置に組み込まれる。
ハードディスク装置は、スピンドルモータ２６１に取り
付けられた複数枚のハードディスク２６２を有してい
る。各ハードディスク２６２毎に、ハードディスク２６
２を挟んで対向するように２つのスライダ２０が配置さ
れる。また、ボイスコイルモータは、ヘッドスタックア
センブリ２５０のコイル２５３を挟んで対向する位置に
配置された永久磁石２６３を有している。
【０１２９】スライダ２０を除くヘッドスタックアセン
ブリ２５０およびアクチュエータは、スライダ２０を支
持すると共にハードディスク２６２に対して位置決めす
る。
ブリ２５０およびアクチュエータは、スライダ２０を支
持すると共にハードディスク２６２に対して位置決めす
る。
【０１３０】このハードディスク装置では、アクチュエ
ータによって、スライダ２０をハードディスク２６２の
トラック横断方向に移動させて、スライダ２０をハード
ディスク２６２に対して位置決めする。スライダ２０に
含まれる薄膜磁気ヘッドは、記録ヘッドによって、ハー
ドディスク２６２に情報を記録し、再生ヘッドによっ
て、ハードディスク２６２に記録されている情報を再生
する。
ータによって、スライダ２０をハードディスク２６２の
トラック横断方向に移動させて、スライダ２０をハード
ディスク２６２に対して位置決めする。スライダ２０に
含まれる薄膜磁気ヘッドは、記録ヘッドによって、ハー
ドディスク２６２に情報を記録し、再生ヘッドによっ
て、ハードディスク２６２に記録されている情報を再生
する。
【０１３１】次に、図２７および図２８を参照して、本
実施の形態に係るスライダ２０の作用について説明す
る。図２７は記録媒体４５が回転しているときのスライ
ダ２０の状態を示す断面図、図２８は記録媒体４５が静
止しているときのスライダ２０の状態を示す断面図であ
る。
実施の形態に係るスライダ２０の作用について説明す
る。図２７は記録媒体４５が回転しているときのスライ
ダ２０の状態を示す断面図、図２８は記録媒体４５が静
止しているときのスライダ２０の状態を示す断面図であ
る。
【０１３２】図２７に示したように、スライダ部２１
は、記録媒体４５が回転している間は、記録媒体４５の
回転によって生じる空気流によって浮上して、記録媒体
４５の面から離れる。図２７において、記録媒体４５は
左側へ進行する。一方、図２８に示したように、スライ
ダ部２１は、記録媒体４５が静止している間は、記録媒
体４５の面に接触する。
は、記録媒体４５が回転している間は、記録媒体４５の
回転によって生じる空気流によって浮上して、記録媒体
４５の面から離れる。図２７において、記録媒体４５は
左側へ進行する。一方、図２８に示したように、スライ
ダ部２１は、記録媒体４５が静止している間は、記録媒
体４５の面に接触する。
【０１３３】図２７に示したように、記録媒体４５が回
転している間、第１の媒体対向面３１の第２の面３４
は、境界部分３５に近い位置ほど記録媒体４５に近づく
ように記録媒体４５の面に対して傾く。また、記録媒体
４５が回転している間、第１の媒体対向面３１の第１の
面３３と第２の媒体対向面３２は、記録媒体４５の面に
対してほぼ平行になる。記録媒体４５が回転している
間、第２の面３４と記録媒体４５の面とのなす角度は３
０°以下であることが好ましく、１０°以下であること
がより好ましい。また、第２の面３４と記録媒体４５の
面とのなす角度は０．１°以上であることが好ましい。
記録媒体４５が回転しているときの第２の面３４と記録
媒体４５の面とのなす角度は、第１の媒体対向面３１の
凹凸の形状によって制御することができる。
転している間、第１の媒体対向面３１の第２の面３４
は、境界部分３５に近い位置ほど記録媒体４５に近づく
ように記録媒体４５の面に対して傾く。また、記録媒体
４５が回転している間、第１の媒体対向面３１の第１の
面３３と第２の媒体対向面３２は、記録媒体４５の面に
対してほぼ平行になる。記録媒体４５が回転している
間、第２の面３４と記録媒体４５の面とのなす角度は３
０°以下であることが好ましく、１０°以下であること
がより好ましい。また、第２の面３４と記録媒体４５の
面とのなす角度は０．１°以上であることが好ましい。
記録媒体４５が回転しているときの第２の面３４と記録
媒体４５の面とのなす角度は、第１の媒体対向面３１の
凹凸の形状によって制御することができる。
【０１３４】以上説明したように、本実施の形態では、
スライダ部２１と再生ヘッド部２２を別個に作製し、ス
ライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着することによ
ってスライダ２０を完成させる。そのため、本実施の形
態によれば、スライダ部２１と再生ヘッド部２２を、そ
れぞれ一度に大量に作製することができる。特に、本実
施の形態によれば、第１のウェハ５０の上に、多数の記
録ヘッド２３および第１の媒体対向面３１を同時に形成
することができる。従来のスライダの製造方法では、複
数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウェハを切断して
複数のバーを形成し、各バーを研磨して研磨面を形成
し、更に、各バーの研磨面をエッチングして媒体対向面
を形成していた。従って、本実施の形態に係るスライダ
２０およびその製造方法によれば、従来のスライダおよ
びその製造方法に比べて、大幅に少ない工程数で大量の
スライダ２０を製造することができ、スライダ２０の製
造コストを大幅に低減することができる。
スライダ部２１と再生ヘッド部２２を別個に作製し、ス
ライダ部２１と再生ヘッド部２２とを接着することによ
ってスライダ２０を完成させる。そのため、本実施の形
態によれば、スライダ部２１と再生ヘッド部２２を、そ
れぞれ一度に大量に作製することができる。特に、本実
施の形態によれば、第１のウェハ５０の上に、多数の記
録ヘッド２３および第１の媒体対向面３１を同時に形成
することができる。従来のスライダの製造方法では、複
数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウェハを切断して
複数のバーを形成し、各バーを研磨して研磨面を形成
し、更に、各バーの研磨面をエッチングして媒体対向面
を形成していた。従って、本実施の形態に係るスライダ
２０およびその製造方法によれば、従来のスライダおよ
びその製造方法に比べて、大幅に少ない工程数で大量の
スライダ２０を製造することができ、スライダ２０の製
造コストを大幅に低減することができる。
【０１３５】また、本実施の形態では、第１のウェハ５
０上に形成された多数のスライダ部２１において、第１
および第２の磁極部分層１２，１５は、第１の媒体対向
面３１となる面に露出する。そして、この面に露出した
磁極部分層１２，１５をエッチングすることによって、
磁極部分層１２，１５に対して、記録トラック幅を規定
する凸部を形成する。従って、本実施の形態によれば、
微小な記録トラック幅を正確に規定することが可能にな
る。
０上に形成された多数のスライダ部２１において、第１
および第２の磁極部分層１２，１５は、第１の媒体対向
面３１となる面に露出する。そして、この面に露出した
磁極部分層１２，１５をエッチングすることによって、
磁極部分層１２，１５に対して、記録トラック幅を規定
する凸部を形成する。従って、本実施の形態によれば、
微小な記録トラック幅を正確に規定することが可能にな
る。
【０１３６】また、本実施の形態では、薄膜コイル８
は、第１の媒体対向面３１の近くで、第１の媒体対向面
３１に対してほぼ平行に配置される。従って、本実施の
形態によれば、薄膜コイル８を効率よく冷却することが
可能になる。その結果、本実施の形態によれば、薄膜コ
イル８が発生する熱によって磁極部分が記録媒体に近づ
くように突出することを防止でき、これにより、磁気ス
ペースを小さくすることが可能になる。
は、第１の媒体対向面３１の近くで、第１の媒体対向面
３１に対してほぼ平行に配置される。従って、本実施の
形態によれば、薄膜コイル８を効率よく冷却することが
可能になる。その結果、本実施の形態によれば、薄膜コ
イル８が発生する熱によって磁極部分が記録媒体に近づ
くように突出することを防止でき、これにより、磁気ス
ペースを小さくすることが可能になる。
【０１３７】ところで、本実施の形態では、記録媒体４
５の回転時に、第２の面３４と記録媒体４５との間に
は、スライダ部２１を記録媒体４５から遠ざける圧力が
発生する。また、本実施の形態では、第２の面３４と第
３の面３６との間の段差が、再生ヘッド部２２に近い位
置ほど大きくなるように連続的に変化しているので、記
録媒体４５の回転時に第３の面３６と記録媒体４５との
間を通過する空気の体積は徐々に増加する。そのため、
第３の面３６と記録媒体４５との間において、スライダ
部２１を記録媒体４５に近づける負圧が発生する。この
負圧により、記録媒体４５の回転時に、特にスライダ部
２１のうち再生ヘッド部２２に近い部分を記録媒体４５
に近づけることができる。その結果、本実施の形態に係
るスライダ２０によれば、磁気スペースを縮小すること
ができる。第１の媒体対向面３１の凹凸の形状を適切に
設計することによって、本実施の形態に係るスライダ２
０は、磁気スペースの縮小に関して、図３８に示したよ
うに媒体対向面が互いに段差のある３つの面を有するス
ライダ１２０と同等以上の性能を発揮することが可能で
ある。
５の回転時に、第２の面３４と記録媒体４５との間に
は、スライダ部２１を記録媒体４５から遠ざける圧力が
発生する。また、本実施の形態では、第２の面３４と第
３の面３６との間の段差が、再生ヘッド部２２に近い位
置ほど大きくなるように連続的に変化しているので、記
録媒体４５の回転時に第３の面３６と記録媒体４５との
間を通過する空気の体積は徐々に増加する。そのため、
第３の面３６と記録媒体４５との間において、スライダ
部２１を記録媒体４５に近づける負圧が発生する。この
負圧により、記録媒体４５の回転時に、特にスライダ部
２１のうち再生ヘッド部２２に近い部分を記録媒体４５
に近づけることができる。その結果、本実施の形態に係
るスライダ２０によれば、磁気スペースを縮小すること
ができる。第１の媒体対向面３１の凹凸の形状を適切に
設計することによって、本実施の形態に係るスライダ２
０は、磁気スペースの縮小に関して、図３８に示したよ
うに媒体対向面が互いに段差のある３つの面を有するス
ライダ１２０と同等以上の性能を発揮することが可能で
ある。
【０１３８】ところで、図３８に示したように互いに段
差のある３つの面を有する媒体対向面では、段差のある
面１２１ｂと面１２１ｃとによって負圧を発生させる。
これに対し、本実施の形態では、途中に段差のない第３
の面３６によって負圧を発生させる。従って、本実施の
形態によれば、図３８に示したスライダ１２０に比べ
て、スライダ２０と記録媒体４５との間を通過する空気
の流れがスムーズになる。その結果、本実施の形態によ
れば、記録媒体４５の回転時におけるスライダ２０の姿
勢の制御が容易になる。
差のある３つの面を有する媒体対向面では、段差のある
面１２１ｂと面１２１ｃとによって負圧を発生させる。
これに対し、本実施の形態では、途中に段差のない第３
の面３６によって負圧を発生させる。従って、本実施の
形態によれば、図３８に示したスライダ１２０に比べ
て、スライダ２０と記録媒体４５との間を通過する空気
の流れがスムーズになる。その結果、本実施の形態によ
れば、記録媒体４５の回転時におけるスライダ２０の姿
勢の制御が容易になる。
【０１３９】また、本実施の形態において、記録媒体４
５が回転状態から静止状態に移行する際に、スライダ部
２１が記録媒体４５の面に対して接触を開始する時に
は、境界部分３５が最初に記録媒体４５の面に接触す
る。また、記録媒体４５が静止状態から回転状態に移行
する際に、スライダ部２１が記録媒体４５の面から離れ
る時には、境界部分３５が最後に記録媒体４５の面から
離れる。このように、境界部分３５は、飛行機の車輪の
ような機能を有する。
５が回転状態から静止状態に移行する際に、スライダ部
２１が記録媒体４５の面に対して接触を開始する時に
は、境界部分３５が最初に記録媒体４５の面に接触す
る。また、記録媒体４５が静止状態から回転状態に移行
する際に、スライダ部２１が記録媒体４５の面から離れ
る時には、境界部分３５が最後に記録媒体４５の面から
離れる。このように、境界部分３５は、飛行機の車輪の
ような機能を有する。
【０１４０】このように、本実施の形態に係るスライダ
２０では、スライダ部２１は境界部分３５において記録
媒体４５の面に接触する。そのため、従来のスライダに
比べて、スライダ部２１と記録媒体４５の面との接触面
積が非常に小さくなり、スライダ部２１と記録媒体４５
の面との摩擦抵抗も非常に小さくなる。従って、本実施
の形態に係るスライダ２０によれば、記録媒体４５の面
に対するスライダ部２１の接触の開始と、記録媒体４５
の面からのスライダ部２１の分離とを円滑に行うことが
できる。その結果、本実施の形態によれば、スライダ２
０と記録媒体４５との衝突によって記録媒体４５や薄膜
磁気ヘッドの損傷が生じることを防止することができ
る。
２０では、スライダ部２１は境界部分３５において記録
媒体４５の面に接触する。そのため、従来のスライダに
比べて、スライダ部２１と記録媒体４５の面との接触面
積が非常に小さくなり、スライダ部２１と記録媒体４５
の面との摩擦抵抗も非常に小さくなる。従って、本実施
の形態に係るスライダ２０によれば、記録媒体４５の面
に対するスライダ部２１の接触の開始と、記録媒体４５
の面からのスライダ部２１の分離とを円滑に行うことが
できる。その結果、本実施の形態によれば、スライダ２
０と記録媒体４５との衝突によって記録媒体４５や薄膜
磁気ヘッドの損傷が生じることを防止することができ
る。
【０１４１】更に、本実施の形態に係るスライダ２０に
よれば、従来のスライダに比べて、記録媒体４５の静止
時におけるスライダ部２１と記録媒体４５の面との接触
面積が非常に小さくなる。従って、スライダ２０と記録
媒体４５とが吸着することを防止することができる。
よれば、従来のスライダに比べて、記録媒体４５の静止
時におけるスライダ部２１と記録媒体４５の面との接触
面積が非常に小さくなる。従って、スライダ２０と記録
媒体４５とが吸着することを防止することができる。
【０１４２】また、本実施の形態に係るスライダ２０で
は、図２７に示したように、記録媒体４５が回転してい
る間、第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、空気流
入端４１に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように
記録媒体４５の面に対して傾く。その結果、記録ヘッド
２３および再生ヘッド２４は記録媒体４５の面に接近す
る。そのため、本実施の形態に係るスライダ２０によれ
ば、記録媒体４５が回転している間、記録ヘッド２３お
よび再生ヘッド２４を記録媒体４５の面の近くに配置し
ながら、第２の面３４を、記録ヘッド２３および再生ヘ
ッド２４に比べて記録媒体４５から離すことができる。
従って、本実施の形態によれば、磁気スペースをより縮
小しながら、スライダ２０と記録媒体４５との衝突を防
止することができる。
は、図２７に示したように、記録媒体４５が回転してい
る間、第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、空気流
入端４１に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように
記録媒体４５の面に対して傾く。その結果、記録ヘッド
２３および再生ヘッド２４は記録媒体４５の面に接近す
る。そのため、本実施の形態に係るスライダ２０によれ
ば、記録媒体４５が回転している間、記録ヘッド２３お
よび再生ヘッド２４を記録媒体４５の面の近くに配置し
ながら、第２の面３４を、記録ヘッド２３および再生ヘ
ッド２４に比べて記録媒体４５から離すことができる。
従って、本実施の形態によれば、磁気スペースをより縮
小しながら、スライダ２０と記録媒体４５との衝突を防
止することができる。
【０１４３】以上のことから、本実施の形態に係るスラ
イダ２０によれば、スライダ２０と記録媒体４５との衝
突によって記録媒体４５、記録ヘッド２３または再生ヘ
ッド２４が損傷することや、スライダ２０と記録媒体４
５とが吸着することを防止しながら、磁気スペースを縮
小することができる。
イダ２０によれば、スライダ２０と記録媒体４５との衝
突によって記録媒体４５、記録ヘッド２３または再生ヘ
ッド２４が損傷することや、スライダ２０と記録媒体４
５とが吸着することを防止しながら、磁気スペースを縮
小することができる。
【０１４４】また、本実施の形態によれば、磁気スペー
スの縮小により、記録ヘッド２３におけるオーバーライ
ト特性や非線形トランジションシフトを向上させること
が可能になる。また、本実施の形態によれば、磁気スペ
ースの縮小により、再生ヘッド２４における再生出力の
向上や半値幅の縮小が可能になり、その結果、記録密度
を向上させることができる。
スの縮小により、記録ヘッド２３におけるオーバーライ
ト特性や非線形トランジションシフトを向上させること
が可能になる。また、本実施の形態によれば、磁気スペ
ースの縮小により、再生ヘッド２４における再生出力の
向上や半値幅の縮小が可能になり、その結果、記録密度
を向上させることができる。
【０１４５】このように、本実施の形態によれば、記録
ヘッド２３および再生ヘッド２４の双方の特性を向上さ
せることができ、その結果、本実施の形態に係るスライ
ダ２０を用いるハードディスク装置の歩留りを向上させ
ることができる。
ヘッド２３および再生ヘッド２４の双方の特性を向上さ
せることができ、その結果、本実施の形態に係るスライ
ダ２０を用いるハードディスク装置の歩留りを向上させ
ることができる。
【０１４６】ところで、図３８に示したように互いに段
差のある３つの面を有する媒体対向面を形成するには、
２回のエッチングマスクを形成する工程と、２回のエッ
チング工程が必要になる。これに対し、本実施の形態で
は、エッチングマスクを形成する工程とエッチング工程
は１回ずつで済む。その代わり、本実施の形態では、図
３８に示したような媒体対向面を形成する場合に比べ
て、第１の媒体対向面３１の研磨工程が１回多く必要に
なる。しかし、第１の媒体対向面３１の研磨工程は、エ
ッチングマスクを形成し、更にエッチングする工程に比
べると簡単である。従って、本実施の形態によれば、図
３８に示したような媒体対向面を形成する場合に比べ
て、第１の媒体対向面３１の形成工程が簡単になり、そ
の結果、スライダ２０の製造コストを低減することがで
きる。
差のある３つの面を有する媒体対向面を形成するには、
２回のエッチングマスクを形成する工程と、２回のエッ
チング工程が必要になる。これに対し、本実施の形態で
は、エッチングマスクを形成する工程とエッチング工程
は１回ずつで済む。その代わり、本実施の形態では、図
３８に示したような媒体対向面を形成する場合に比べ
て、第１の媒体対向面３１の研磨工程が１回多く必要に
なる。しかし、第１の媒体対向面３１の研磨工程は、エ
ッチングマスクを形成し、更にエッチングする工程に比
べると簡単である。従って、本実施の形態によれば、図
３８に示したような媒体対向面を形成する場合に比べ
て、第１の媒体対向面３１の形成工程が簡単になり、そ
の結果、スライダ２０の製造コストを低減することがで
きる。
【０１４７】また、本実施の形態では、スライダの媒体
対向面にクラウンやキャンバを形成する場合に比べて、
第１の媒体対向面３１の形成を容易に行うことができる
と共に、クラウンやキャンバを形成する場合における不
具合の発生がない。従って、本実施の形態によれば、ス
ライダの媒体対向面にクラウンやキャンバを形成する場
合に比べて、第１の媒体対向面３１の形状を正確に決定
でき、スライダ２０の歩留りを向上させることができ、
スライダ２０の製造コストを低減することができ、更に
これらのことから量産性に優れている。
対向面にクラウンやキャンバを形成する場合に比べて、
第１の媒体対向面３１の形成を容易に行うことができる
と共に、クラウンやキャンバを形成する場合における不
具合の発生がない。従って、本実施の形態によれば、ス
ライダの媒体対向面にクラウンやキャンバを形成する場
合に比べて、第１の媒体対向面３１の形状を正確に決定
でき、スライダ２０の歩留りを向上させることができ、
スライダ２０の製造コストを低減することができ、更に
これらのことから量産性に優れている。
【０１４８】また、本実施の形態において、第１の媒体
対向面３１のうち、境界部分３５から再生ヘッド部２２
側の端部までの長さは、第１の媒体対向面３１の再生ヘ
ッド部２２側の端部から空気流入端４１までの長さの５
０％以下であることが好ましい。これにより、記録媒体
４５の回転時に、スライダ部２１全体のうち、記録媒体
４５の面に接近する部分（境界部分３５から再生ヘッド
部２２側の端部までの部分）の長さが、記録媒体４５の
面から離れる部分（第２の面３４）の長さ以下になり、
スライダ２０と記録媒体４５との衝突をより確実に防止
することができる。
対向面３１のうち、境界部分３５から再生ヘッド部２２
側の端部までの長さは、第１の媒体対向面３１の再生ヘ
ッド部２２側の端部から空気流入端４１までの長さの５
０％以下であることが好ましい。これにより、記録媒体
４５の回転時に、スライダ部２１全体のうち、記録媒体
４５の面に接近する部分（境界部分３５から再生ヘッド
部２２側の端部までの部分）の長さが、記録媒体４５の
面から離れる部分（第２の面３４）の長さ以下になり、
スライダ２０と記録媒体４５との衝突をより確実に防止
することができる。
【０１４９】ところで、本実施の形態では、スライダ部
２１と再生ヘッド部２２とを接着してスライダ２０を構
成している。そのため、スライダ２０において、スライ
ダ部２１と再生ヘッド部２２の接着部分は、他の部分に
比べて強度的に弱い。従って、スライダ２０の破損を防
止するために、スライダ部２１と再生ヘッド部２２の接
着部分に外力が加わらないようにするのが好ましい。本
実施の形態に係るスライダ２０では、境界部分３５にお
いて記録媒体４５の面に接触する。そのため、スライダ
部２１と再生ヘッド部２２の接着部分は記録媒体４５の
面に接触しない。従って、本実施の形態によれば、スラ
イダ部２１と再生ヘッド部２２の接着部分に記録媒体４
５によって外力が加えられることによるスライダ２０の
破損を防止することができる。
２１と再生ヘッド部２２とを接着してスライダ２０を構
成している。そのため、スライダ２０において、スライ
ダ部２１と再生ヘッド部２２の接着部分は、他の部分に
比べて強度的に弱い。従って、スライダ２０の破損を防
止するために、スライダ部２１と再生ヘッド部２２の接
着部分に外力が加わらないようにするのが好ましい。本
実施の形態に係るスライダ２０では、境界部分３５にお
いて記録媒体４５の面に接触する。そのため、スライダ
部２１と再生ヘッド部２２の接着部分は記録媒体４５の
面に接触しない。従って、本実施の形態によれば、スラ
イダ部２１と再生ヘッド部２２の接着部分に記録媒体４
５によって外力が加えられることによるスライダ２０の
破損を防止することができる。
【０１５０】以下、本実施の形態に係るスライダ２０の
３つの変形例について説明する。図２９および図３０
は、第１の変形例のスライダ２０を示している。図２９
は記録媒体４５が回転しているときのスライダ２０を示
す断面図、図３０は記録媒体４５が静止しているときの
スライダ２０を示す断面図である。第１の変形例のスラ
イダ２０では、再生ヘッド部２２における第２の媒体対
向面３２のスライダ部２１から離れた端部が空気流入端
４１になり、スライダ部２１における第１の媒体対向面
３１の再生ヘッド部２２から離れた端部が空気流出端４
２になっている。
３つの変形例について説明する。図２９および図３０
は、第１の変形例のスライダ２０を示している。図２９
は記録媒体４５が回転しているときのスライダ２０を示
す断面図、図３０は記録媒体４５が静止しているときの
スライダ２０を示す断面図である。第１の変形例のスラ
イダ２０では、再生ヘッド部２２における第２の媒体対
向面３２のスライダ部２１から離れた端部が空気流入端
４１になり、スライダ部２１における第１の媒体対向面
３１の再生ヘッド部２２から離れた端部が空気流出端４
２になっている。
【０１５１】また、第１の変形例のスライダ２０では、
第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、スライダ部２
１における第１の媒体対向面３１とは反対側の面および
第３の面３６に対して平行になっている。また、第１の
変形例では、第１の面３３および第２の面３４の形状が
境界部分３５において屈曲した凸形状（屋根形）になる
ように、第１の面３３は第２の面３４に対して傾斜して
いる。第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は３０
°以下であることが好ましく、１０°以下であることが
より好ましい。また、第１の面３３と第２の面３４との
なす角度は０．１°以上であることが好ましい。
第１の媒体対向面３１の第２の面３４は、スライダ部２
１における第１の媒体対向面３１とは反対側の面および
第３の面３６に対して平行になっている。また、第１の
変形例では、第１の面３３および第２の面３４の形状が
境界部分３５において屈曲した凸形状（屋根形）になる
ように、第１の面３３は第２の面３４に対して傾斜して
いる。第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は３０
°以下であることが好ましく、１０°以下であることが
より好ましい。また、第１の面３３と第２の面３４との
なす角度は０．１°以上であることが好ましい。
【０１５２】また、第１の変形例のスライダ２０では、
第２の媒体対向面３２は、第１の媒体対向面３１の第１
の面３３に連続するように形成され、且つ空気流入端４
１に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように湾曲し
た面になっている。
第２の媒体対向面３２は、第１の媒体対向面３１の第１
の面３３に連続するように形成され、且つ空気流入端４
１に近い位置ほど記録媒体４５から離れるように湾曲し
た面になっている。
【０１５３】第１の変形例のスライダ２０では、図２９
に示したように、スライダ部２１は、記録媒体４５が回
転している間は、記録媒体４５の回転によって生じる空
気流によって浮上して、記録媒体４５の面から離れる。
図２９において、記録媒体４５は右側へ進行する。記録
媒体４５の回転時において、再生ヘッド２４と記録媒体
４５の面との間の距離は、例えば５〜８ｎｍである。一
方、図３０に示したように、スライダ部２１は、記録媒
体４５が静止している間は、記録媒体４５の面に接触す
る。
に示したように、スライダ部２１は、記録媒体４５が回
転している間は、記録媒体４５の回転によって生じる空
気流によって浮上して、記録媒体４５の面から離れる。
図２９において、記録媒体４５は右側へ進行する。記録
媒体４５の回転時において、再生ヘッド２４と記録媒体
４５の面との間の距離は、例えば５〜８ｎｍである。一
方、図３０に示したように、スライダ部２１は、記録媒
体４５が静止している間は、記録媒体４５の面に接触す
る。
【０１５４】第１の変形例のスライダ２０では、記録媒
体４５が回転状態から静止状態に移行する際に、スライ
ダ部２１が記録媒体４５の面に対して接触を開始する時
には、境界部分３５が最初に記録媒体４５の面に接触す
る。また、記録媒体４５が静止状態から回転状態に移行
する際に、スライダ部２１が記録媒体４５の面から離れ
る時には、境界部分３５が最後に記録媒体４５の面から
離れる。
体４５が回転状態から静止状態に移行する際に、スライ
ダ部２１が記録媒体４５の面に対して接触を開始する時
には、境界部分３５が最初に記録媒体４５の面に接触す
る。また、記録媒体４５が静止状態から回転状態に移行
する際に、スライダ部２１が記録媒体４５の面から離れ
る時には、境界部分３５が最後に記録媒体４５の面から
離れる。
【０１５５】第１の変形例のスライダ２０の製造方法で
は、図２０に示した工程で第１の媒体対向面３１の一部
を研磨して第２の面３４を形成する代わりに、第１の媒
体対向面３１の一部と第２の媒体対向面３２とを研磨し
て、第１の媒体対向面３１の第１の面３３と第２の媒体
対向面３２の形状を決定する。
は、図２０に示した工程で第１の媒体対向面３１の一部
を研磨して第２の面３４を形成する代わりに、第１の媒
体対向面３１の一部と第２の媒体対向面３２とを研磨し
て、第１の媒体対向面３１の第１の面３３と第２の媒体
対向面３２の形状を決定する。
【０１５６】第１の変形例のスライダ２０のその他の構
成および第１の変形例のスライダ２０の製造方法におけ
るその他の工程は、図１および図２に示したスライダ２
０の場合と同様である。
成および第１の変形例のスライダ２０の製造方法におけ
るその他の工程は、図１および図２に示したスライダ２
０の場合と同様である。
【０１５７】図３１は、第２の変形例のスライダ２０を
示す断面図である。第２の変形例のスライダ２０では、
スライダ部２１における第１の媒体対向面３１の再生ヘ
ッド部２２から離れた端部が空気流入端４１になり、再
生ヘッド部２２における第２の媒体対向面３２のスライ
ダ部２１から離れた端部が空気流出端４２になってい
る。
示す断面図である。第２の変形例のスライダ２０では、
スライダ部２１における第１の媒体対向面３１の再生ヘ
ッド部２２から離れた端部が空気流入端４１になり、再
生ヘッド部２２における第２の媒体対向面３２のスライ
ダ部２１から離れた端部が空気流出端４２になってい
る。
【０１５８】第２の変形例のスライダ２０では、第１の
媒体対向面３１の第２の面３４は、図１および図２に示
したスライダ２０と同様に、第３の面３６に対して傾斜
している。また、第２の変形例のスライダ２０では、第
１の媒体対向面３１の第１の面３３は、第１の変形例と
同様に第３の面３６に対して傾斜している。その結果、
第１の面３３と第２の面３４は、第１の面３３および第
２の面３４の形状が境界部分３５において屈曲した凸形
状（屋根形）になるように、互いに傾斜している。第１
の面３３と第２の面３４とのなす角度は３０°以下であ
ることが好ましく、１０°以下であることがより好まし
い。また、第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は
０．１°以上であることが好ましい。
媒体対向面３１の第２の面３４は、図１および図２に示
したスライダ２０と同様に、第３の面３６に対して傾斜
している。また、第２の変形例のスライダ２０では、第
１の媒体対向面３１の第１の面３３は、第１の変形例と
同様に第３の面３６に対して傾斜している。その結果、
第１の面３３と第２の面３４は、第１の面３３および第
２の面３４の形状が境界部分３５において屈曲した凸形
状（屋根形）になるように、互いに傾斜している。第１
の面３３と第２の面３４とのなす角度は３０°以下であ
ることが好ましく、１０°以下であることがより好まし
い。また、第１の面３３と第２の面３４とのなす角度は
０．１°以上であることが好ましい。
【０１５９】また、第２の変形例のスライダ２０では、
第１の変形例と同様に、第２の媒体対向面３２は、第１
の媒体対向面３１の第１の面３３に連続するように形成
され、且つ空気流入端４１に近い位置ほど記録媒体４５
から離れるように湾曲した面になっている。
第１の変形例と同様に、第２の媒体対向面３２は、第１
の媒体対向面３１の第１の面３３に連続するように形成
され、且つ空気流入端４１に近い位置ほど記録媒体４５
から離れるように湾曲した面になっている。
【０１６０】図３１に示したように、第２の変形例のス
ライダ２０は、記録媒体４５が回転している間および記
録媒体４５が静止している間のいずれにおいても、スラ
イダ部２１が境界部分３５において記録媒体４５の面に
接触する。また、記録媒体４５が回転している間、第１
の媒体対向面３１の第２の面３４は、空気流入端４１に
近い位置ほど記録媒体４５から離れるように記録媒体４
５の面に対して傾き、第１の媒体対向面３１の第１の面
３３と第２の媒体対向面３２は、空気流出端４２に近い
位置ほど記録媒体４５から離れるように記録媒体４５の
面に対して傾く。また、記録媒体４５が静止している
間、第１の媒体対向面３１の第１の面３３と第２の面３
４の一方は、記録媒体４５の面に接触していてもよい。
ライダ２０は、記録媒体４５が回転している間および記
録媒体４５が静止している間のいずれにおいても、スラ
イダ部２１が境界部分３５において記録媒体４５の面に
接触する。また、記録媒体４５が回転している間、第１
の媒体対向面３１の第２の面３４は、空気流入端４１に
近い位置ほど記録媒体４５から離れるように記録媒体４
５の面に対して傾き、第１の媒体対向面３１の第１の面
３３と第２の媒体対向面３２は、空気流出端４２に近い
位置ほど記録媒体４５から離れるように記録媒体４５の
面に対して傾く。また、記録媒体４５が静止している
間、第１の媒体対向面３１の第１の面３３と第２の面３
４の一方は、記録媒体４５の面に接触していてもよい。
【０１６１】第２の変形例のスライダ２０では、記録媒
体４５が回転している間もスライダ２０が記録媒体４５
の面に接触しているので、磁気スペースをより縮小する
ことができる。また、第２の変形例のスライダ２０で
は、スライダ部２１が常に記録媒体４５の面に接触して
いるので、スライダ部２１が記録媒体４５の面に接触し
たり離れたりすることによるスライダ部２１と記録媒体
４５との衝突の発生を防止することができる。
体４５が回転している間もスライダ２０が記録媒体４５
の面に接触しているので、磁気スペースをより縮小する
ことができる。また、第２の変形例のスライダ２０で
は、スライダ部２１が常に記録媒体４５の面に接触して
いるので、スライダ部２１が記録媒体４５の面に接触し
たり離れたりすることによるスライダ部２１と記録媒体
４５との衝突の発生を防止することができる。
【０１６２】第２の変形例のスライダ２０の製造方法で
は、図２０に示した工程で第１の媒体対向面３１の一部
を研磨して第２の面３４を形成した後に、更に、第１の
媒体対向面３１の他の一部と第２の媒体対向面３２を研
磨して、第１の面３３および第２の媒体対向面３２の形
状を決定する。
は、図２０に示した工程で第１の媒体対向面３１の一部
を研磨して第２の面３４を形成した後に、更に、第１の
媒体対向面３１の他の一部と第２の媒体対向面３２を研
磨して、第１の面３３および第２の媒体対向面３２の形
状を決定する。
【０１６３】第２の変形例のスライダ２０のその他の構
成および第２の変形例のスライダ２０の製造方法におけ
るその他の工程は、図１および図２に示したスライダ２
０または第１の変形例のスライダ２０の場合と同様であ
る。
成および第２の変形例のスライダ２０の製造方法におけ
るその他の工程は、図１および図２に示したスライダ２
０または第１の変形例のスライダ２０の場合と同様であ
る。
【０１６４】ここで、図３２を参照して、スライダ２０
と記録媒体４５との位置関係について説明する。図３２
において、符号４６で示す矢印は記録媒体４５の回転方
向を表し、符号４７で示す矢印は空気流の方向を表して
いる。図１および図２に示したスライダ２０および第２
の変形例のスライダ２０は、図３２において下側に描か
れたスライダ２０のように配置される。すなわち、この
スライダ２０では、スライダ部２１が空気流の上流側に
配置され、再生ヘッド部２２が空気流の下流側に配置さ
れる。これに対し、第１の変形例のスライダ２０は、図
３２において上側に描かれたスライダ２０のように配置
される。すなわち、このスライダ２０では、再生ヘッド
部２２が空気流の上流側に配置され、スライダ部２１が
空気流の下流側に配置される。
と記録媒体４５との位置関係について説明する。図３２
において、符号４６で示す矢印は記録媒体４５の回転方
向を表し、符号４７で示す矢印は空気流の方向を表して
いる。図１および図２に示したスライダ２０および第２
の変形例のスライダ２０は、図３２において下側に描か
れたスライダ２０のように配置される。すなわち、この
スライダ２０では、スライダ部２１が空気流の上流側に
配置され、再生ヘッド部２２が空気流の下流側に配置さ
れる。これに対し、第１の変形例のスライダ２０は、図
３２において上側に描かれたスライダ２０のように配置
される。すなわち、このスライダ２０では、再生ヘッド
部２２が空気流の上流側に配置され、スライダ部２１が
空気流の下流側に配置される。
【０１６５】図３３は、第３の変形例のスライダ２０を
示す斜視図である。第３の変形例のスライダ２０では、
第１の媒体対向面３１は、境界部分３５を含む領域にお
いて形成された複数の凹部３８を有している。第３の変
形例のスライダ２０のその他の構成は、図１および図２
に示したスライダ２０と同様である。
示す斜視図である。第３の変形例のスライダ２０では、
第１の媒体対向面３１は、境界部分３５を含む領域にお
いて形成された複数の凹部３８を有している。第３の変
形例のスライダ２０のその他の構成は、図１および図２
に示したスライダ２０と同様である。
【０１６６】凹部３８は、第１の媒体対向面３１および
第２の媒体対向面３２を形成する絶縁層または保護層を
エッチングすることによって形成される。第３の変形例
の製造方法におけるその他の工程は、図１および図２に
示したスライダ２０の場合と同様である。
第２の媒体対向面３２を形成する絶縁層または保護層を
エッチングすることによって形成される。第３の変形例
の製造方法におけるその他の工程は、図１および図２に
示したスライダ２０の場合と同様である。
【０１６７】第３の変形例のスライダ２０は、図１およ
び図２に示したスライダ２０と同様に、記録媒体４５の
回転時には記録媒体４５の面から離れ、記録媒体４５の
静止時には記録媒体４５の面に接触するものでもよい
し、第２の変形例と同様に、記録媒体４５の回転時およ
び静止時のいずれにおいても、スライダ部２１が境界部
分３５において記録媒体４５の面に接触するものでもよ
い。
び図２に示したスライダ２０と同様に、記録媒体４５の
回転時には記録媒体４５の面から離れ、記録媒体４５の
静止時には記録媒体４５の面に接触するものでもよい
し、第２の変形例と同様に、記録媒体４５の回転時およ
び静止時のいずれにおいても、スライダ部２１が境界部
分３５において記録媒体４５の面に接触するものでもよ
い。
【０１６８】第３の変形例のスライダ２０によれば、凹
部３８がない場合に比べて、スライダ部２１と記録媒体
４５の面との接触面積が小さくなり、スライダ部２１と
記録媒体４５の面との摩擦抵抗を小さくすることができ
る。
部３８がない場合に比べて、スライダ部２１と記録媒体
４５の面との接触面積が小さくなり、スライダ部２１と
記録媒体４５の面との摩擦抵抗を小さくすることができ
る。
【０１６９】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れず、種々の変更が可能である。例えば、本発明のスラ
イダは、スライダ部と再生ヘッド部が接着されて構成さ
れたスライダであれば、媒体対向面が図３８に示したよ
うに互いに段差のある３つの面を有するスライダも含
む。
れず、種々の変更が可能である。例えば、本発明のスラ
イダは、スライダ部と再生ヘッド部が接着されて構成さ
れたスライダであれば、媒体対向面が図３８に示したよ
うに互いに段差のある３つの面を有するスライダも含
む。
【０１７０】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１ないし３
のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッドは、第１の媒体対向
面と記録ヘッドとを有する記録ヘッド部と、第２の媒体
対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、
これらが互いに接着されて構成される。そのため、本発
明によれば、記録ヘッド部と再生ヘッド部は、それぞれ
一度に大量に作製することが可能である。従って、本発
明によれば、少ない工程数で大量の薄膜磁気ヘッドを製
造することが可能になるという効果を奏する。
のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッドは、第１の媒体対向
面と記録ヘッドとを有する記録ヘッド部と、第２の媒体
対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、
これらが互いに接着されて構成される。そのため、本発
明によれば、記録ヘッド部と再生ヘッド部は、それぞれ
一度に大量に作製することが可能である。従って、本発
明によれば、少ない工程数で大量の薄膜磁気ヘッドを製
造することが可能になるという効果を奏する。
【０１７１】また、請求項４ないし７のいずれかに記載
の薄膜磁気ヘッドの製造方法では、第１の媒体対向面と
記録ヘッドとを有する記録ヘッド部と、第２の媒体対向
面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを別個に作製
し、これらを接着して、薄膜磁気ヘッドを完成させる。
そのため、本発明によれば、記録ヘッド部と再生ヘッド
部は、それぞれ一度に大量に作製することが可能であ
る。従って、本発明によれば、少ない工程数で大量の薄
膜磁気ヘッドを製造することが可能になるという効果を
奏する。
の薄膜磁気ヘッドの製造方法では、第１の媒体対向面と
記録ヘッドとを有する記録ヘッド部と、第２の媒体対向
面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを別個に作製
し、これらを接着して、薄膜磁気ヘッドを完成させる。
そのため、本発明によれば、記録ヘッド部と再生ヘッド
部は、それぞれ一度に大量に作製することが可能であ
る。従って、本発明によれば、少ない工程数で大量の薄
膜磁気ヘッドを製造することが可能になるという効果を
奏する。
【０１７２】また、請求項８記載の薄膜磁気ヘッドは、
導体部と誘導型電磁変換素子と本体とを備えている。本
体は媒体対向面と背面とを有している。導体部は背面に
露出し、誘導型電磁変換素子は導体部上に積層されてい
る。誘導型電磁変換素子は、第１および第２の磁極部分
層と、これらの間に設けられたギャップ部とを有してい
る。第１および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規
定する凸部を有し、凸部は媒体対向面に露出する先端面
を含む。第１および第２の磁極部分層の厚みはスロート
ハイトを規定する。本発明によれば、それぞれ誘導型電
磁変換素子および媒体対向面を含む多数の薄膜磁気ヘッ
ドを同時に作製することが可能になる。従って、本発明
によれば、少ない工程数で大量の薄膜磁気ヘッドを製造
することが可能になるという効果を奏する。
導体部と誘導型電磁変換素子と本体とを備えている。本
体は媒体対向面と背面とを有している。導体部は背面に
露出し、誘導型電磁変換素子は導体部上に積層されてい
る。誘導型電磁変換素子は、第１および第２の磁極部分
層と、これらの間に設けられたギャップ部とを有してい
る。第１および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規
定する凸部を有し、凸部は媒体対向面に露出する先端面
を含む。第１および第２の磁極部分層の厚みはスロート
ハイトを規定する。本発明によれば、それぞれ誘導型電
磁変換素子および媒体対向面を含む多数の薄膜磁気ヘッ
ドを同時に作製することが可能になる。従って、本発明
によれば、少ない工程数で大量の薄膜磁気ヘッドを製造
することが可能になるという効果を奏する。
【０１７３】また、請求項９記載の薄膜磁気ヘッドの製
造方法では、導体部を形成し、この導体部上に誘導型電
磁変換素子を積層する。誘導型電磁変換素子は、第１お
よび第２の磁極部分層と、これらの間に設けられたギャ
ップ部とを有している。第１および第２の磁極部分層は
記録トラック幅を規定する凸部を有し、凸部は媒体対向
面に露出する先端面を含む。第１および第２の磁極部分
層の厚みはスロートハイトを規定する。本発明によれ
ば、それぞれ誘導型電磁変換素子および媒体対向面を含
む多数の薄膜磁気ヘッドを同時に作製することが可能に
なる。従って、本発明によれば、少ない工程数で大量の
薄膜磁気ヘッドを製造することが可能になるという効果
を奏する。
造方法では、導体部を形成し、この導体部上に誘導型電
磁変換素子を積層する。誘導型電磁変換素子は、第１お
よび第２の磁極部分層と、これらの間に設けられたギャ
ップ部とを有している。第１および第２の磁極部分層は
記録トラック幅を規定する凸部を有し、凸部は媒体対向
面に露出する先端面を含む。第１および第２の磁極部分
層の厚みはスロートハイトを規定する。本発明によれ
ば、それぞれ誘導型電磁変換素子および媒体対向面を含
む多数の薄膜磁気ヘッドを同時に作製することが可能に
なる。従って、本発明によれば、少ない工程数で大量の
薄膜磁気ヘッドを製造することが可能になるという効果
を奏する。
【０１７４】また、請求項１０ないし１８のいずれかに
記載の薄膜磁気ヘッド用スライダは、第１の媒体対向面
と記録ヘッドとを有するスライダ部と、第２の媒体対向
面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、これ
らが接着されて構成される。そのため、本発明によれ
ば、スライダ部と再生ヘッド部をそれぞれ一度に大量に
作製することが可能になる。従って、本発明によれば、
少ない工程数でスライダを製造することが可能になると
いう効果を奏する。
記載の薄膜磁気ヘッド用スライダは、第１の媒体対向面
と記録ヘッドとを有するスライダ部と、第２の媒体対向
面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部とを備え、これ
らが接着されて構成される。そのため、本発明によれ
ば、スライダ部と再生ヘッド部をそれぞれ一度に大量に
作製することが可能になる。従って、本発明によれば、
少ない工程数でスライダを製造することが可能になると
いう効果を奏する。
【０１７５】また、請求項１２ないし１８のいずれかに
記載の薄膜磁気ヘッド用スライダでは、第１の媒体対向
面は、再生ヘッド部に近い第１の面と、再生ヘッド部か
ら離れた第２の面と、第１の面と第２の面との間の境界
部分とを有し、第１の面および第２の面の形状が境界部
分において屈曲した凸形状になるように、第１の面と第
２の面は互いに傾斜している。このスライダでは、スラ
イダ部が記録媒体の面に接触する際には、境界部分が記
録媒体の面に接触する。従って、本発明によれば、スラ
イダと記録媒体との衝突によって記録媒体や薄膜磁気ヘ
ッドが損傷することや、スライダと記録媒体とが吸着す
ることを防止しながら、磁気スペースを縮小することが
可能になるという効果を奏する。また、本発明によれ
ば、スライダ部と再生ヘッド部の接着部分が記録媒体の
面に接触しないので、スライダ部と再生ヘッド部の接着
部分に記録媒体によって外力が加えられることによるス
ライダの破損を防止することができるという効果を奏す
る。
記載の薄膜磁気ヘッド用スライダでは、第１の媒体対向
面は、再生ヘッド部に近い第１の面と、再生ヘッド部か
ら離れた第２の面と、第１の面と第２の面との間の境界
部分とを有し、第１の面および第２の面の形状が境界部
分において屈曲した凸形状になるように、第１の面と第
２の面は互いに傾斜している。このスライダでは、スラ
イダ部が記録媒体の面に接触する際には、境界部分が記
録媒体の面に接触する。従って、本発明によれば、スラ
イダと記録媒体との衝突によって記録媒体や薄膜磁気ヘ
ッドが損傷することや、スライダと記録媒体とが吸着す
ることを防止しながら、磁気スペースを縮小することが
可能になるという効果を奏する。また、本発明によれ
ば、スライダ部と再生ヘッド部の接着部分が記録媒体の
面に接触しないので、スライダ部と再生ヘッド部の接着
部分に記録媒体によって外力が加えられることによるス
ライダの破損を防止することができるという効果を奏す
る。
【０１７６】また、請求項１９ないし３２のいずれかに
記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法では、第１
の媒体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、第
２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部と
を別個に作製し、これらを接着してスライダを完成させ
る。そのため、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッ
ド部をそれぞれ一度に大量に作製することが可能にな
る。従って、本発明によれば、少ない工程数でスライダ
を製造することが可能になるという効果を奏する。
記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法では、第１
の媒体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、第
２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生ヘッド部と
を別個に作製し、これらを接着してスライダを完成させ
る。そのため、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッ
ド部をそれぞれ一度に大量に作製することが可能にな
る。従って、本発明によれば、少ない工程数でスライダ
を製造することが可能になるという効果を奏する。
【０１７７】また、請求項２３記載の薄膜磁気ヘッド用
スライダの製造方法は、スライダ部と再生ヘッド部とを
接着する工程の後で、第１の媒体対向面および第２の媒
体対向面が平坦化されるように、第１の媒体対向面およ
び第２の媒体対向面を研磨する工程を備えている。従っ
て、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する際の両者の位置合わせの精度が低くても、第１の
媒体対向面および第２の媒体対向面を平坦化することが
できるという効果を奏する。
スライダの製造方法は、スライダ部と再生ヘッド部とを
接着する工程の後で、第１の媒体対向面および第２の媒
体対向面が平坦化されるように、第１の媒体対向面およ
び第２の媒体対向面を研磨する工程を備えている。従っ
て、本発明によれば、スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する際の両者の位置合わせの精度が低くても、第１の
媒体対向面および第２の媒体対向面を平坦化することが
できるという効果を奏する。
【０１７８】また、請求項２４または２５記載の薄膜磁
気ヘッド用スライダの製造方法は、スライダ部と再生ヘ
ッド部とを接着する工程の後で、第１の媒体対向面が、
再生ヘッド部に近い第１の面と、再生ヘッド部から離れ
た第２の面と、第１の面と第２の面との間の境界部分と
を有し、第１の面と第２の面が互いに傾斜して、第１の
面および第２の面の形状が境界部分において屈曲した凸
形状になるように、第１の媒体対向面を研磨する工程を
備えている。この製造方法によって製造されるスライダ
では、スライダ部が記録媒体の面に接触する際には、境
界部分が記録媒体の面に接触する。従って、本発明によ
れば、スライダと記録媒体との衝突によって記録媒体や
薄膜磁気ヘッドが損傷することや、スライダと記録媒体
とが吸着することを防止しながら、磁気スペースを縮小
することが可能になるという効果を奏する。また、本発
明によれば、スライダ部と再生ヘッド部の接着部分が記
録媒体の面に接触しないので、スライダ部と再生ヘッド
部の接着部分に記録媒体によって外力が加えられること
によるスライダの破損を防止することができるという効
果を奏する。
気ヘッド用スライダの製造方法は、スライダ部と再生ヘ
ッド部とを接着する工程の後で、第１の媒体対向面が、
再生ヘッド部に近い第１の面と、再生ヘッド部から離れ
た第２の面と、第１の面と第２の面との間の境界部分と
を有し、第１の面と第２の面が互いに傾斜して、第１の
面および第２の面の形状が境界部分において屈曲した凸
形状になるように、第１の媒体対向面を研磨する工程を
備えている。この製造方法によって製造されるスライダ
では、スライダ部が記録媒体の面に接触する際には、境
界部分が記録媒体の面に接触する。従って、本発明によ
れば、スライダと記録媒体との衝突によって記録媒体や
薄膜磁気ヘッドが損傷することや、スライダと記録媒体
とが吸着することを防止しながら、磁気スペースを縮小
することが可能になるという効果を奏する。また、本発
明によれば、スライダ部と再生ヘッド部の接着部分が記
録媒体の面に接触しないので、スライダ部と再生ヘッド
部の接着部分に記録媒体によって外力が加えられること
によるスライダの破損を防止することができるという効
果を奏する。
【図１】本発明の一実施の形態に係るスライダの斜視図
である。
である。
【図２】本発明の一実施の形態に係るスライダの底面図
である。
である。
【図３】本発明の一実施の形態における第１のスライダ
部集合体を示す平面図である。
部集合体を示す平面図である。
【図４】本発明の一実施の形態におけるスライダ部を作
製する工程を説明するための断面図である。
製する工程を説明するための断面図である。
【図５】図４に続く工程を説明するための断面図であ
る。
る。
【図６】図５に続く工程を説明するための断面図であ
る。
る。
【図７】図６に続く工程を説明するための断面図であ
る。
る。
【図８】図７に続く工程を説明するための断面図であ
る。
る。
【図９】図８に続く工程を説明するための断面図であ
る。
る。
【図１０】本発明の一実施の形態における第１の再生ヘ
ッド部集合体を示す平面図である。
ッド部集合体を示す平面図である。
【図１１】本発明の一実施の形態における再生ヘッド部
を作製する工程を説明するための断面図である。
を作製する工程を説明するための断面図である。
【図１２】図１１に続く工程を説明するための断面図で
ある。
ある。
【図１３】図１２に続く工程を説明するための断面図で
ある。
ある。
【図１４】図１３に続く工程を説明するための断面図で
ある。
ある。
【図１５】図１４に続く工程を説明するための断面図で
ある。
ある。
【図１６】本発明の一実施の形態における再生ヘッド部
の平面図である。
の平面図である。
【図１７】本発明の一実施の形態におけるスライダ部と
再生ヘッド部とを接着する工程を説明するための断面図
である。
再生ヘッド部とを接着する工程を説明するための断面図
である。
【図１８】本発明の一実施の形態におけるスライダ部と
再生ヘッド部とを接着する工程を説明するための断面図
である。
再生ヘッド部とを接着する工程を説明するための断面図
である。
【図１９】図１８に続く工程を説明するための断面図で
ある。
ある。
【図２０】図１９に続く工程を説明するための断面図で
ある。
ある。
【図２１】本発明の一実施の形態におけるスライダ集合
体の研磨を行うための研磨装置の概略の構成を示す斜視
図である。
体の研磨を行うための研磨装置の概略の構成を示す斜視
図である。
【図２２】図２１に示した研磨装置の回路構成の一例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２３】本発明の一実施の形態におけるスライダをサ
スペンションに取り付ける工程を説明するための断面図
である。
スペンションに取り付ける工程を説明するための断面図
である。
【図２４】本発明の一実施の形態に係るスライダが取り
付けられるヘッドジンバルアセンブリを示す斜視図であ
る。
付けられるヘッドジンバルアセンブリを示す斜視図であ
る。
【図２５】本発明の一実施の形態に係るスライダが用い
られるハードディスク装置の要部を示す説明図である。
られるハードディスク装置の要部を示す説明図である。
【図２６】本発明の一実施の形態に係るスライダが用い
られるハードディスク装置の平面図である。
られるハードディスク装置の平面図である。
【図２７】記録媒体の回転時における本発明の一実施の
形態に係るスライダの状態を示す断面図である。
形態に係るスライダの状態を示す断面図である。
【図２８】記録媒体の静止時における本発明の一実施の
形態に係るスライダの状態を示す断面図である。
形態に係るスライダの状態を示す断面図である。
【図２９】本発明の一実施の形態における第１の変形例
のスライダを示す断面図である。
のスライダを示す断面図である。
【図３０】本発明の一実施の形態における第１の変形例
のスライダを示す断面図である。
のスライダを示す断面図である。
【図３１】本発明の一実施の形態における第２の変形例
のスライダを示す断面図である。
のスライダを示す断面図である。
【図３２】スライダと記録媒体との位置関係を説明する
ための説明図である。
ための説明図である。
【図３３】本発明の一実施の形態における第３の変形例
のスライダを示す斜視図である。
のスライダを示す斜視図である。
【図３４】従来の薄膜磁気ヘッド素子の断面図である。
【図３５】従来の薄膜磁気ヘッド素子の断面図である。
【図３６】従来の薄膜磁気ヘッド素子の平面図である。
【図３７】従来のスライダのエアベアリング面の構成の
一例を示す底面図である。
一例を示す底面図である。
【図３８】従来のスライダの斜視図である。
【図３９】記録媒体が静止している状態における従来の
スライダと記録媒体とを示す断面図である。
スライダと記録媒体とを示す断面図である。
【図４０】図３７における上側から見た従来のスライダ
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図４１】記録媒体が停止している状態から回転を開始
した直後における従来のスライダと記録媒体とを示す断
面図である。
した直後における従来のスライダと記録媒体とを示す断
面図である。
【図４２】記録媒体の表面から浮上した状態の従来のス
ライダを示す断面図である。
ライダを示す断面図である。
【符号の説明】
２…絶縁層、３…導体部、４，９，１０，１３…磁性
層、８…薄膜コイル、１２…第１の磁極部分層、１４…
記録ギャップ層、１５…第２の磁極部分層、２０…スラ
イダ、２１…スライダ部、２２…再生ヘッド部、２３…
記録ヘッド、２４…再生ヘッド、３１…第１の媒体対向
面、３２…第２の媒体対向面、４１…空気流入端、４２
…空気流出端、７３…導体部、７８…ＭＲ素子、７９…
電極層。
層、８…薄膜コイル、１２…第１の磁極部分層、１４…
記録ギャップ層、１５…第２の磁極部分層、２０…スラ
イダ、２１…スライダ部、２２…再生ヘッド部、２３…
記録ヘッド、２４…再生ヘッド、３１…第１の媒体対向
面、３２…第２の媒体対向面、４１…空気流入端、４２
…空気流出端、７３…導体部、７８…ＭＲ素子、７９…
電極層。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ１１Ｂ 5/31 Ｇ１１Ｂ 5/31 Ｍ
5/39 5/39
5/60 5/60 Ｃ
(71)出願人 501416070
エスエーイー マグネティクス（エイチ.
ケー．）リミティド
香港，ニュー テリトリーズ，クワイ チ
ュン，クワイ フン クレセント 38−
42，エスエーイー タワー
(72)発明者 佐々木 芳高
アメリカ合衆国 カリフォルニア州
95035 ミルピタス サウス・ヒルビュ
ー・ドライブ 678 ヘッドウェイテクノ
ロジーズ インコーポレイテッド内
(72)発明者 上釜 健宏
中華人民共和国 香港 エヌ・ティー ク
ワイ・チュン クワイ・フン・クレセント
38−42 エスエーイータワー エスエー
イー マグネティクス（エイチ．ケー．)
リミティド内
Ｆターム(参考） 5D033 BA13 BA39 BA51 BB14 BB43
DA01 DA31
5D034 BA02 BA08 BB05 BB12 DA07
5D042 NA02 PA03 PA09 QA02 QA04
RA01 RA04
Claims (32)
- 【請求項１】 記録媒体に対向する第１の媒体対向面と
記録ヘッドとを有する記録ヘッド部と、 前記記録媒体に対向する第２の媒体対向面と再生ヘッド
とを有する再生ヘッド部とを備え、 前記記録ヘッド部と前記再生ヘッド部は、前記第１の媒
体対向面と第２の媒体対向面が連続するように互いに接
着されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記記録ヘッド部は、前記記録ヘッドを
収納すると共に、前記第１の媒体対向面と、前記第１の
媒体対向面とは反対側に配置された背面とを有する記録
ヘッド部本体を備え、 前記記録ヘッドは、前記背面に露出し、外部装置と電気
的に接続される導体部と、前記導体部に電気的に接続さ
れた誘導型電磁変換素子とを有し、 前記誘導型電磁変換素子は、前記導体部に電気的に接続
された薄膜コイルと、前記第１の媒体対向面の近傍に配
置され互いに対向する第１および第２の磁極部分層と、
前記薄膜コイルの一部を囲うように配置され、前記第１
の磁極部分層と第２の磁極部分層とを連結する磁路形成
部と、前記第１および第２の磁極部分層の間に設けられ
たギャップ部とを有し、 前記第１および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規
定する凸部を有し、前記凸部は前記第１の媒体対向面に
露出する先端面を含み、 前記第１および第２の磁極部分層の厚みはスロートハイ
トを規定することを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気
ヘッド。 - 【請求項３】 前記再生ヘッド部は、前記再生ヘッドを
収納すると共に、前記第２の媒体対向面と、前記第２の
媒体対向面とは反対側に配置された背面とを有する再生
ヘッド部本体を備え、 前記再生ヘッドは、前記背面に露出し、外部装置と電気
的に接続される導体部と、前記第２の媒体対向面の近傍
に配置され前記導体部に電気的に接続された磁気抵抗効
果素子とを有することを特徴とする請求項１記載の薄膜
磁気ヘッド。 - 【請求項４】 記録媒体に対向する第１の媒体対向面と
記録ヘッドとを有する記録ヘッド部と、前記記録媒体に
対向する第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有する再生
ヘッド部とを備え、前記記録ヘッド部と前記再生ヘッド
部は、前記第１の媒体対向面と第２の媒体対向面が連続
するように互いに接着されている薄膜磁気ヘッドを製造
する方法であって、 前記記録ヘッド部を作製する工程と、 前記記録ヘッド部とは別個に前記再生ヘッド部を作製す
る工程と、 前記記録ヘッド部と前記再生ヘッド部とを接着する工程
とを備えたことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項５】 前記記録ヘッド部を作製する工程は、第
１のウェハの上に複数の記録ヘッドを形成する工程を含
み、前記再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハ
の上に複数の再生ヘッドを形成する工程を含むことを特
徴とする請求項４記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記記録ヘッド部は、前記記録ヘッドを
収納すると共に、前記第１の媒体対向面と、前記第１の
媒体対向面とは反対側に配置された背面とを有する記録
ヘッド部本体を備え、 前記記録ヘッド部を作製する工程は、 前記背面に露出し、外部装置と電気的に接続される導体
部を形成する工程と、 前記導体部に電気的に接続された薄膜コイルと、前記第
１の媒体対向面の近傍に配置され互いに対向する第１お
よび第２の磁極部分層と、前記薄膜コイルの一部を囲う
ように配置され、前記第１の磁極部分層と第２の磁極部
分層とを連結する磁路形成部と、前記第１および第２の
磁極部分層の間に設けられたギャップ部とを有する誘導
型電磁変換素子を形成する工程とを含み、 前記第１および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規
定する凸部を有し、前記凸部は前記第１の媒体対向面に
露出する先端面を含み、 前記第１および第２の磁極部分層の厚みはスロートハイ
トを規定することを特徴とする請求項４記載の薄膜磁気
ヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 前記再生ヘッド部は、前記再生ヘッドを
収納すると共に、前記第２の媒体対向面と、前記第２の
媒体対向面とは反対側に配置された背面とを有する再生
ヘッド部本体を備え、 前記再生ヘッド部を作製する工程は、 前記背面に露出し、外部装置と電気的に接続される導体
部を形成する工程と、 前記第２の媒体対向面の近傍に配置され前記導体部に電
気的に接続された磁気抵抗効果素子を形成する工程とを
含むことを特徴とする請求項４記載の薄膜磁気ヘッドの
製造方法。 - 【請求項８】 外部装置と電気的に接続される導体部
と、前記導体部に電気的に接続された誘導型電磁変換素
子と、前記導体部および誘導型電磁変換素子を収納する
本体とを備えた薄膜磁気ヘッドであって、 前記本体は、記録媒体に対向する媒体対向面と、この媒
体対向面とは反対側に配置された背面とを有し、 前記導体部は前記背面に露出し、 前記誘導型電磁変換素子は前記導体部上に積層され、 前記誘導型電磁変換素子は、前記導体部に電気的に接続
された薄膜コイルと、前記媒体対向面の近傍に配置され
互いに対向する第１および第２の磁極部分層と、前記薄
膜コイルの一部を囲うように配置され、前記第１の磁極
部分層と第２の磁極部分層とを連結する磁路形成部と、
前記第１および第２の磁極部分層の間に設けられたギャ
ップ部とを有し、 前記第１および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規
定する凸部を有し、前記凸部は前記媒体対向面に露出す
る先端面を含み、 前記第１および第２の磁極部分層の厚みはスロートハイ
トを規定することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項９】 外部装置と電気的に接続される導体部
と、前記導体部に電気的に接続された誘導型電磁変換素
子と、前記導体部および誘導型電磁変換素子を収納する
本体とを備え、前記本体は、記録媒体に対向する媒体対
向面と、この媒体対向面とは反対側に配置された背面と
を有し、前記導体部は前記背面に露出する薄膜磁気ヘッ
ドを製造する方法であって、 前記導体部を形成する工程と、 前記導体部に電気的に接続された薄膜コイルと、前記媒
体対向面の近傍に配置され互いに対向する第１および第
２の磁極部分層と、前記薄膜コイルの一部を囲うように
配置され、前記第１の磁極部分層と第２の磁極部分層と
を連結する磁路形成部と、前記第１および第２の磁極部
分層の間に設けられたギャップ部とを有する前記誘導型
電磁変換素子を、前記導体部上に積層されるように形成
する工程とを含み、 前記第１および第２の磁極部分層は記録トラック幅を規
定する凸部を有し、前記凸部は前記媒体対向面に露出す
る先端面を含み、 前記第１および第２の磁極部分層の厚みはスロートハイ
トを規定することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項１０】 回転する記録媒体に対向する第１の媒
体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、 前記記録媒体に対向する第２の媒体対向面と再生ヘッド
とを有する再生ヘッド部とを備え、 前記第１の媒体対向面は、前記記録媒体の回転時におけ
る前記スライダ部の姿勢を制御するための凹凸を有し、 前記スライダ部と前記再生ヘッド部は、前記第１の媒体
対向面と第２の媒体対向面が連続するように互いに接着
されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド用スライ
ダ。 - 【請求項１１】 前記記録ヘッドは誘導型電磁変換素子
を含み、前記再生ヘッドは磁気抵抗効果素子を含むこと
を特徴とする請求項１０記載の薄膜磁気ヘッド用スライ
ダ。 - 【請求項１２】 前記第１の媒体対向面は、前記再生ヘ
ッド部に近い第１の面と、前記再生ヘッド部から離れた
第２の面と、前記第１の面と第２の面との間の境界部分
とを有し、前記第１の面および前記第２の面の形状が前
記境界部分において屈曲した凸形状になるように、前記
第１の面と前記第２の面は互いに傾斜していることを特
徴とする請求項１０または１１記載の薄膜磁気ヘッド用
スライダ。 - 【請求項１３】 前記第１の面と第２の面の少なくとも
一方は、前記記録媒体が回転している間、前記境界部分
に近い位置ほど記録媒体に近づくように記録媒体の面に
対して傾くことを特徴とする請求項１２記載の薄膜磁気
ヘッド用スライダ。 - 【請求項１４】 前記スライダ部は、前記記録媒体が静
止している間は記録媒体の面に接触し、前記記録媒体が
回転している間は記録媒体の面から離れることを特徴と
する請求項１２または１３記載の薄膜磁気ヘッド用スラ
イダ。 - 【請求項１５】 前記スライダ部は、前記記録媒体の面
に対して接触を開始する時に、前記境界部分が最初に記
録媒体の面に接触することを特徴とする請求項１４記載
の薄膜磁気ヘッド用スライダ。 - 【請求項１６】 前記スライダ部は、前記記録媒体の面
から離れる時に、前記境界部分が最後に記録媒体の面か
ら離れることを特徴とする請求項１４または１５記載の
薄膜磁気ヘッド用スライダ。 - 【請求項１７】 前記記録媒体が回転している間および
前記記録媒体が静止している間のいずれにおいても、前
記スライダ部は前記境界部分において記録媒体の面に接
触し、且つ前記第１の面および第２の面は記録媒体の面
に対して傾くことを特徴とする請求項１２記載の薄膜磁
気ヘッド用スライダ。 - 【請求項１８】 前記第１の媒体対向面は、前記境界部
分を含む領域において形成された凹部を有することを特
徴とする請求項１２ないし１７のいずれかに記載の薄膜
磁気ヘッド用スライダ。 - 【請求項１９】 回転する記録媒体に対向する第１の媒
体対向面と記録ヘッドとを有するスライダ部と、前記記
録媒体に対向する第２の媒体対向面と再生ヘッドとを有
する再生ヘッド部とを備え、前記第１の媒体対向面は、
前記記録媒体の回転時における前記スライダ部の姿勢を
制御するための凹凸を有し、前記スライダ部と前記再生
ヘッド部は、前記第１の媒体対向面と第２の媒体対向面
が連続するように互いに接着されている薄膜磁気ヘッド
用スライダを製造する方法であって、 前記スライダ部を作製する工程と、 前記スライダ部とは別個に前記再生ヘッド部を作製する
工程と、 前記スライダ部と前記再生ヘッド部とを接着する工程と
を備えたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド用スライダの
製造方法。 - 【請求項２０】 前記記録ヘッドは誘導型電磁変換素子
を含み、前記再生ヘッドは磁気抵抗効果素子を含むこと
を特徴とする請求項１９記載の薄膜磁気ヘッド用スライ
ダの製造方法。 - 【請求項２１】 前記スライダ部を作製する工程は、第
１のウェハの上に複数の記録ヘッドを形成する工程を含
み、前記再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハ
の上に複数の再生ヘッドを形成する工程を含むことを特
徴とする請求項１９または２０記載の薄膜磁気ヘッド用
スライダの製造方法。 - 【請求項２２】 前記スライダ部を作製する工程は、第
１のウェハの上に複数の記録ヘッドと複数の第１の媒体
対向面とを形成して、複数列に配列された複数のスライ
ダ部を含む第１のスライダ部集合体を形成する工程と、
前記第１のスライダ部集合体を切断して、１列に配列さ
れた複数のスライダ部を含む第２のスライダ部集合体を
形成する工程とを含み、 前記再生ヘッド部を作製する工程は、第２のウェハの上
に複数の再生ヘッドを形成して、複数列に配列された複
数の再生ヘッド部を含む第１の再生ヘッド部集合体を形
成する工程と、前記第１の再生ヘッド部集合体を切断し
て、１列に配列された複数の再生ヘッド部を含む第２の
再生ヘッド部集合体を作製する工程とを含み、 前記スライダ部と再生ヘッド部とを接着する工程は、前
記第２のスライダ部集合体と前記第２の再生ヘッド部集
合体とを接着して、１列に配列された複数の薄膜磁気ヘ
ッド用スライダを含むスライダ集合体を作製する工程を
含み、 薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法は、更に、前記ス
ライダ集合体を切断して互いに分離された複数の薄膜磁
気ヘッド用スライダを作製する工程を備えたことを特徴
とする請求項１９または２０記載の薄膜磁気ヘッド用ス
ライダの製造方法。 - 【請求項２３】 更に、前記スライダ部と前記再生ヘッ
ド部とを接着する工程の後で、前記第１の媒体対向面お
よび第２の媒体対向面が平坦化されるように、前記第１
の媒体対向面および第２の媒体対向面を研磨する工程を
備えたことを特徴とする請求項１９ないし２２のいずれ
かに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。 - 【請求項２４】 更に、前記スライダ部と前記再生ヘッ
ド部とを接着する工程の後で、第１の媒体対向面が、前
記再生ヘッド部に近い第１の面と、前記再生ヘッド部か
ら離れた第２の面と、前記第１の面と第２の面との間の
境界部分とを有し、前記第１の面と前記第２の面が互い
に傾斜して、前記第１の面および前記第２の面の形状が
前記境界部分において屈曲した凸形状になるように、前
記第１の媒体対向面を研磨する工程を備えたことを特徴
とする請求項１９ないし２２のいずれかに記載の薄膜磁
気ヘッド用スライダの製造方法。 - 【請求項２５】 更に、前記第１の媒体対向面における
前記境界部分を含む領域に凹部を形成する工程を備えた
ことを特徴とする請求項２４記載の薄膜磁気ヘッド用ス
ライダの製造方法。 - 【請求項２６】 前記スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程は、セラミック系の接着剤を用いてスライダ
部と再生ヘッド部とを接着することを特徴とする請求項
１９ないし２５のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用ス
ライダの製造方法。 - 【請求項２７】 前記スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程は、スライダ部と再生ヘッド部との間に熱硬
化型の接着剤を配置し、前記接着剤を３００℃以下の温
度で加熱して接着剤を硬化させてスライダ部と再生ヘッ
ド部とを接着することを特徴とする請求項１９ないし２
５のいずれかに記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造
方法。 - 【請求項２８】 前記スライダ部を作製する工程は、ウ
ェハの一方の面の上に複数の記録ヘッドを形成する工程
と、前記ウェハの他方の面を研磨することによって前記
ウェハを除去する工程とを含み、前記記録ヘッドは、前
記研磨によって形成される面に露出し、外部装置と電気
的に接続される導体部を有することを特徴とする請求項
１９記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。 - 【請求項２９】 前記ウェハを除去する工程は、複数の
記録ヘッドの上に支持板を配置した状態で、ウェハの他
方の面を研磨することを特徴とする請求項２８記載の薄
膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。 - 【請求項３０】 前記再生ヘッド部を作製する工程は、
ウェハの一方の面の上に複数の再生ヘッドを形成する工
程と、前記ウェハの他方の面を研磨することによって前
記ウェハの少なくとも一部を除去する工程とを含むこと
を特徴とする請求項１９記載の薄膜磁気ヘッド用スライ
ダの製造方法。 - 【請求項３１】 前記スライダ部と再生ヘッド部とを接
着する工程は、前記再生ヘッド部において前記研磨によ
って形成される面とは反対側の面を、前記スライダ部に
対して接着することを特徴とする請求項３０記載の薄膜
磁気ヘッド用スライダの製造方法。 - 【請求項３２】 前記ウェハの少なくとも一部を除去す
る工程は、複数の再生ヘッドの上に支持板を配置した状
態で、ウェハの他方の面を研磨することを特徴とする請
求項３０または３１記載の薄膜磁気ヘッド用スライダの
製造方法。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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| JPS6342018A (ja) | 1986-08-08 | 1988-02-23 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ヘツド |
| FR2630244B1 (fr) * | 1988-04-15 | 1990-07-13 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'ecriture et de lecture sur un support magnetique et son procede de fabrication |
| US5020213A (en) * | 1989-12-14 | 1991-06-04 | Applied Magnetics Corporation | Method of producing a head core slider |
| JPH04298806A (ja) | 1991-03-13 | 1992-10-22 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
| JP3158487B2 (ja) * | 1991-05-23 | 2001-04-23 | 株式会社日立製作所 | ヘッド支持機構 |
| JPH05282627A (ja) | 1992-04-02 | 1993-10-29 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
| US5331493A (en) * | 1992-08-21 | 1994-07-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Bidirectional thin-film magnetoresistive tape head assembly |
| JPH06208708A (ja) | 1993-01-11 | 1994-07-26 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
| US5566038A (en) * | 1993-05-13 | 1996-10-15 | Seagate Technology, Inc. | Thin film magnetic head having core to coil over-voltage protection |
| JP2790011B2 (ja) * | 1993-08-20 | 1998-08-27 | 日本電気株式会社 | 浮動ヘッドスライダの製造方法 |
| JPH07161023A (ja) | 1993-12-07 | 1995-06-23 | Hitachi Ltd | 磁気記憶装置 |
| US5610783A (en) * | 1994-04-22 | 1997-03-11 | Seagate Technology, Inc. | Insulator pattern for thin film head sliders |
| JPH0963027A (ja) | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Yamaha Corp | 磁気ヘッド |
| US5914834A (en) * | 1996-06-17 | 1999-06-22 | Hutchinson Technology, Inc. | Head suspension assembly with electrical interconnect by slider bond pads and gimbal bonding zones |
| US5822153A (en) * | 1997-01-03 | 1998-10-13 | Censtor Corp. | Hard disk drive having contact write and recessed magnetorestive read head |
| JPH11185418A (ja) | 1997-12-17 | 1999-07-09 | Hitachi Metals Ltd | 浮上式磁気ヘッド |
| JP2000003570A (ja) | 1998-06-12 | 2000-01-07 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
| JP2000215429A (ja) | 1999-01-22 | 2000-08-04 | Citizen Watch Co Ltd | 磁気ヘッドスライダの研磨方法および研磨治具 |
| JP2001210037A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-08-03 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘッドスライダ |
| JP3437834B2 (ja) * | 2001-01-19 | 2003-08-18 | ティーディーケイ株式会社 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法ならびに薄膜磁気ヘッドにおける薄膜パターンの形成方法 |
| US6731464B2 (en) * | 2002-01-10 | 2004-05-04 | Headway Technologies, Inc. | Slider of thin-film magnetic head |
-
2002
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-
2005
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009076173A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Sharp Corp | 負圧スライダ |
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