JP2003217191A - 転写基板の光学記録層上に光透過性樹脂シートを接着する接着装置及び接着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 転写基板の光学記録媒体上に光透過性樹脂シ
ートを良好に接着することを目的とする。 【解決手段】 転写基板Ｔの光学記録層１３上に紫外線
硬化樹脂系接着剤をスピンコートして接着剤層１４を形
成すると共にこの接着剤層１４上に光透過性樹脂シート
１５を重ね合わせる回転ステージ２４と、この光学記録
層１３とこの光透過性樹脂シート１５と間のこの接着剤
層１４を硬化する紫外線チャンバー３０と、転写基板投
入部２８よりのこの転写基板Ｔをこの回転ステージ２４
に搬送すると共にこの紫外線チャンバー３０のこの転写
基板Ｔを転写基板排出部３１に搬送する転写基板搬送手
段２６と、樹脂シート投入部２９よりの光透過性樹脂シ
ート１５をこの回転ステージ２４に搬送する樹脂シート
搬送手段３２と、この回転ステージ２４上のこの光学記
録層１３上にこの光透過性樹脂シート１５を重ね合わせ
た転写基板Ｔをこの紫外線チャンバー３０に搬送するチ
ャンバー移載手段２７とを有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報を光学的に記
録する光学記録層を複数層積層した多層光学記録媒体の
製造に適用して好適な転写基板の光学記録層上に光透過
性樹脂シートを接着する接着装置及び接着方法である。

【０００２】

【従来の技術】先に、情報を光学的に記録する光学記録
層を複数層積層した多層光学記録媒体（以下多層光ディ
スクという）として図６に示す如きものが提案されてい
る。

【０００３】この図６の多層光ディスクは例えばポリカ
ーボネートなどからなる厚さ１．１ｍｍ程度の基板１０
に、下層光学記録層用の凹凸パターンＧ１が形成されて
おり、その上層に例えば膜厚１５ｎｍのアルミニウムか
らなり、この凹凸パターンＧ１に対応するパターンを有
する反射膜である下層光学記録層１１が形成されてお
り、このようにして下層基板１が構成されている。

【０００４】一方、例えばポリカーボネートなどからな
る厚さ７０μｍ程度の可撓性フィルムである光透過性の
樹脂シート１５に、例えば膜厚８ｎｍのアルミニウムな
どからなり、凹凸パターンが形成された半透明膜の反射
膜である上層光学記録層１３が紫外線硬化樹脂などの接
着剤層１４により接着されており、このようにして上層
基板２が構成されている。

【０００５】下層光学記録層１１と上層光学記録層１３
が対向する状態で、この下層基板１と上層基板２が感圧
性接着剤あるいは紫外線硬化樹脂系接着剤などの接着剤
層１２により貼り合わされている。ここで、下層光学記
録層１１と上層光学記録層１３の間隔（即ち接着剤層１
２の膜厚）は、数１０μｍ程度（例えば２７μｍ）であ
る。

【０００６】この多層光ディスクは、例えば、上層光学
記録層１３及び下層光学記録層１１とが可撓性フィルム
である光透過性の樹脂シート１５側から１００μｍ程度
の深さの範囲内に位置しており、可撓性フィルムである
光透過性の樹脂シート１５側から記録情報を読み取る表
面読みの多層光ディスクとして用いられる。

【０００７】次に、この多層光ディスクの製造方法につ
いて図面を参照して説明する。まず、図７Ａに示すよう
に、アクリル樹脂からなり、例えば厚さが１．２ｍｍで
ある転写基板Ｔの表面に、上層光学記録層用の凹凸パタ
ーンＧ２を形成する。

【０００８】次に、図７Ｂに示すように、凹凸パターン
Ｇ２が形成された転写基板Ｔ上に、例えばスパッタリン
グ法により、例えば８ｎｍの膜厚のアルミニウム、ある
いは銀またはシリコンなどを堆積させ、この凹凸パター
ンＧ２に対応するパターンを有する半透明膜の反射膜で
ある上層光学記録層１３を形成する。

【０００９】次に、図８Ａに示すように、上層光学記録
層１３上に紫外線硬化樹脂などの接着剤１４ａを滴下、
その上面に、例えばポリカーボネートなどからなる厚さ
７０μｍ程度の可撓性フィルムである光透過性の樹脂シ
ート１５を重ね合わせ、これらのスピンコート法により
延転し、接着剤層を平坦化する。

【００１０】次に、図８Ｂに示すように、樹脂シート１
５側から紫外線Ｌを照射して、接着剤層１４を硬化さ
せ、樹脂シート１５と上層光学記録層１３とを接着す
る。

【００１１】次に、図９Ａに示すように、上層光学記録
層１３と転写基板Ｔの界面で剥離する。これにより、上
層光学記録層１３が可撓性フィルムである光透過性の樹
脂シート１５側に転写され、上層光学記録層１３が接着
剤層１４により可撓性フィルムである光透過性の樹脂シ
ート１５に接着された構成の上層基板２となる。

【００１２】アクリル樹脂基板からなる転写基板Ｔ上に
スパッタリング法により形成されたアルミニウム膜であ
る上層光学記録層１３は、この上層光学記録層１３を破
壊することなく、容易に剥離することができる。また、
可撓性フィルムの光透過性の樹脂シート１５が撓むこと
により、さらに剥離が容易となっている。

【００１３】次に、図９Ｂに示すように、感圧性接着剤
あるいは紫外線硬化樹脂系接着剤などの接着剤層１２に
より、予め形成しておいた下層基板１にこの上層基板２
を貼り合わせる。

【００１４】ここで、下層基板１は、例えばポリカーボ
ネートなどからなる厚さ１．１ｍｍ程度の基板１０に、
下層光学記録層用の凹凸パターンＧ１を形成し、その上
層に、例えばスパッタリング法により、例えば１５ｎｍ
の膜厚のアルミニウムなどを堆積させ、この凹凸パター
ンＧ１に対応するパターンを有する反射膜である下層光
学記録層１１を形成することにより、形成する。

【００１５】この上層基板２と下層基板１を貼り合わせ
る工程においては、下層光学記録層１１と上層光学記録
層１３を対向させた状態で貼り合わせる。ここで、下層
光学記録層１１と上層光学記録層１３の間隔（即ち接着
剤層１２の膜厚）は、数１０μｍ程度（例えば２７μ
ｍ）とする。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上層基板２
を得るのに、図８Ａ、Ｂに示す如く、転写基板Ｔの上層
光学記録層１３上に比較的薄い例えば７０μｍ程度のポ
リカーボネートより成る可撓性フィルムの光透過性樹脂
シート１５を接着する如くしているが、この光透過性樹
脂シート１５は比較的薄いためこの光透過性樹脂シート
１５を良好に接着することは比較的困難であり例えば紫
外線硬化樹脂系接着剤の接着剤層１４に気泡等が生じた
場合や、スピンコートされる接着剤層の厚さが不均一な
場合は凹凸パターンＧ２の読み取りが不可能となり不良
品となる不都合があった。

【００１７】本発明は斯る点に鑑み、この転写基板の光
学記録層上に光透過性樹脂シートを良好に接着するよう
にした接着装置及び接着方法を提案せんとするものであ
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明転写基板の光学記
録層上に光透過性樹脂シートを接着する接着装置は、転
写基板の光学記録層上に紫外線硬化樹脂系接着剤をスピ
ンコートして接着剤層を形成すると共にこの接着剤層上
に光透過性樹脂シートを重ね合わせる回転ステージと、
この光学記録層とこの光透過性樹脂シートと間のこの接
着剤層を硬化する紫外線チャンバーと、回転基板投入部
よりのこの転写基板をこの回転ステージに搬送すると共
にこの紫外線チャンバーのこの回転基板を転写基板排出
部に搬送する転写基板搬送手段と、樹脂シート投入部よ
りの光透過性樹脂シートをこの回転ステージに搬送する
樹脂シート搬送手段と、この回転ステージ上のこの光学
記録層上にこの光透過性樹脂シートを重ね合わせた転写
基板をこの紫外線チャンバーに搬送するチャンバー移載
手段とを有するものである。

【００１９】また、本発明転写基板の光学記録層上に光
透過性樹脂シートに接着する接着方法は、転写基板の光
学記録層上に紫外線硬化樹脂系接着剤を滴下し、接着剤
層を形成すると共にこの接着剤層上に光透過性樹脂シー
トを接着する接着方法において、樹脂シート搬送手段の
円盤に真空吸着されたこの光透過性樹脂シートによりこ
の転写基板の光学記録層上に滴下された紫外線硬化樹脂
系接着剤を所定間隔になるまで押し付け、その後真空破
壊によりこの光透過性樹脂シートを開放し、その後この
紫外線樹脂系接着剤をスピンコートして、この転写基板
の光学記録層上にこの光透過性樹脂シートを接着するよ
うにしたものである。

【００２０】斯る本発明によれば、転写基板の光学記録
層上に光透過性樹脂シートを良好に接着することができ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明転写
基板の光学記録層上に光透過性樹脂シートを接着する接
着装置及び接着方法の実施の形態の例につき説明する。

【００２２】図２は本例の転写基板Ｔの光学記録層１３
上に光透過性樹脂シート１５を接着する接着装置の外観
を示す概略的正面図である。この接着装置本体は外筺２
０内に配され、ダストの進入を最少にする如くなされて
いる。

【００２３】この図２においては、図７Ｂに示す如き、
表面に例えばスパッタリング法により例えば８ｎｍの膜
厚のアルミニウム、あるいは銀またはシリコンなどを堆
積して、凹凸パターンＧ２に対応するパターンを有する
半透明膜の反射膜である光学記録層１３が形成されたア
クリル樹脂より成り例えば厚さが１．２ｍｍの転写基板
Ｔを供給する転写基板供給用小窓２１をこの外筺２０の
前面を所定位置に設ける。

【００２４】また、図８Ａに示す如き例えばポリカーボ
ネートから成る厚さ７０μｍ程度の可撓性フィルムであ
る光透過性樹脂シート１５を供給する樹脂シート供給用
小窓２２をこの外筺２０の前面の所定位置に設けると共
にこの外筺２０の天井部にダスト対策として０．３μｍ
のＨＥＰＡフィルタ２３を設ける如くする。

【００２５】図１は、この外筺２０内に設けられた接着
装置本体の平面図を示す。この図１において、２４は回
転ステージを示し、この回転ステージ２４はスピンドル
モータにより回転する如くなされ、この接着装置本体を
制御する中央制御装置を構成するパーソナルコンピュー
タ２５により任意の回転速度に制御できる如くなされて
いる。例えば紫外線硬化樹脂系接着剤をスピンコートす
るときには５０００回／分で回転する如くなされてい
る。

【００２６】この回転ステージ２４は、転写基板Ｔのセ
ット時、この転写基板Ｔを真空吸着して保持する如くな
されると共に脱着可能なセンターホール用の位置決めピ
ンを有し、この転写基板Ｔのセンターホールｈで位置決
めができる如くなされている。

【００２７】またこの回転ステージ２４はこの回転ステ
ージ２４の外周に所定の落し込みが設けられており、こ
の外周の落し込みにより転写基板Ｔの外周位置決めもで
きる如くなされている。

【００２８】またこの回転ステージ２４は、この回転ス
テージ２４を所定の高さまで上昇することができる上下
機構を有しており、後述する転写基板搬送手段２６より
転写基板Ｔを受け取る際と、後述するチャンバー移載手
段２７に転写基板Ｔを渡す際に上昇する。

【００２９】この回転ステージ２４の回転制御、上下機
構の制御は図３に示す如くパーソナルコンピュータ２５
の指令に従い回転ステージコントローラ２４ａが行う如
くなされている。

【００３０】また、図１において、２８は転写基板投入
部を示し、この転写基板投入部２８は転写基板供給用小
窓２１よりの転写基板Ｔを保持する部分で、この転写基
板投入部２８は転写基板搬送手段２６のハンド部２６ａ
の３つの爪と互い違いになる位置の３つの爪で構成さ
れ、この３つの爪で転写基板Ｔを保持する如くなされて
いる。

【００３１】またこの転写基板投入部２８には転写基板
Ｔの有る無しを検出するセンサーが設けられており、こ
の転写基板投入部２８に転写基板Ｔの有無を図３に示す
如く、パーソナルコンピュータ２５に知らせる如くなさ
れている。

【００３２】また、２９は樹脂シート投入部を示し、こ
の樹脂シート投入部２９は樹脂シート供給用小窓２２よ
りの光透過性樹脂シート１５を保持するステージであ
り、このステージ上面に光透過性樹脂シート１５の光学
記録層１３が転写される面が来るので、このステージは
滑らかな面粗度としている。

【００３３】この樹脂シート投入部２９には、この光透
過性樹脂シート１５の有る無しを検出するセンサーが設
けられており、この樹脂シート投入部２９に光透過性樹
脂シート１５の有無を図３に示す如くパーソナルコンピ
ュータ２５に知らせる如くなされている。

【００３４】また、図１において、３０は紫外線チャン
バーを示し、この紫外線チャンバー３０は紫外線を照射
することにより紫外線硬化樹脂系接着剤を硬化される機
能を有する。

【００３５】この紫外線チャンバー３０には転写基板Ｔ
を保持するステージ３０ａを設け、このステージ３０ａ
は転写基板Ｔを真空吸着して保持すると共にこのステー
ジ３０ａは上下機構、回転機構及びこのチャンバー内外
への移動のための横方向の移動機構を有している。

【００３６】この紫外線チャンバー３０のステージ３０
ａの上下機構、回転機構、移動機構及び紫外線照射条件
の制御は図３に示す如くパーソナルコンピュータ２５の
指令に従い紫外線チャンバーコントローラ３０ｂが行う
如くなされている。

【００３７】転写基板搬送手段２６は、転写元である凹
凸パターンＧ２に対応するパターンを有する半透明膜の
反射膜である光学記録層１３が形成されたアクリル樹脂
より成り例えば１．２ｍｍの転写基板Ｔを搬送するもの
で、この転写基板搬送手段２６は転写基板Ｔをつかむハ
ンド部２６ａと先端にこのハンド部２６ａが設けられた
アーム部２６ｂとこのアーム部２６ｂを回転する回転部
２６ｃとより構成され、このハンド部２６ａはテーパの
ついた３つ爪のチャック機構となされ、このハンド部２
６ａにより、この転写基板Ｔの裏側から、すくい上げる
如くし、このテーパのついた３つ爪により位置決めを行
う。

【００３８】この転写基板搬送手段２６はハンド部２６
ａのチャック機構の開閉機構、このハンド部２６ａの上
下機構及びこのハンド部２６ａを含むアーム部２６ｂの
旋回機構を有している。この旋回機構によるハンド部２
６ａの旋回位置は転写基板投入部２８、回転ステージ２
４上、紫外線チャンバー３０上及び後述する転写基板排
出部３１の４ヶ所であり、之等の位置は転写基板搬送手
段２６の回転部２６ｃの回転中心と同心円上に位置して
いる。

【００３９】この転写基板搬送手段２６のハンド部２６
ａの開閉機構、このハンド部２６ａの上下機構及びハン
ド部２６ａを含むアーム部２６ｂの旋回機構即ち回動部
２６ｃの回転機構の制御は図３に示す如くパーソナルコ
ンピュータ２５の指令に従い転写基板搬送手段コントロ
ーラ２６ｄが行う如くなされている。

【００４０】また、この図１において、３２は転写先で
ある例えば７０μｍ程度のポリカーボネートより成る可
撓性フィルムの光透過性樹脂シート１５を搬送する樹脂
シート搬送手段であり、この樹脂シート搬送手段３２は
光透過性樹脂シート１５を真空吸着により保持する如く
なされた円盤より成る搬送部３２ａと先端にこの搬送部
３２ａが設けられたアーム部３２ｂとこのアーム部３２
ｂを回動する回動部３２ｃとより構成される。

【００４１】この樹脂シート搬送手段３２は搬送部３２
ａの円盤の真空吸着機構、この搬送部３２ａの円盤の上
下機構及びこの搬送部３２ａを含むアーム部３２ｂの旋
回機構を有している。この旋回機構による搬送部３２ａ
の旋回位置は樹脂シート投入部２９及び回転ステージ２
４上であり、之等の位置は樹脂シート搬送手段３２の回
動部３２ｃの回転中心として同心円上に位置している。

【００４２】この樹脂シート搬送手段３２の搬送部３２
ａの円盤の上下機構は樹脂シート投入部２９と回転ステ
ージ２４との光透過性樹脂シート１５の受け渡しの際の
上下移動速度を任意に変更できる如くする。

【００４３】また、本例において樹脂シート搬送手段３
２の搬送部３２ａの円盤の光透過性樹脂シート１５の吸
着面は鏡面となされると共に図４に示す如く複数の同心
円状に複数の例えば１ｍｍ径の真空吸着穴３２ｄ，３２
ｄ・・・形成し、この複数の真空吸着穴３２ｄ，３２ｄ
・・・夫々各半径毎に個別に電磁弁を有し、中心より外
周側に順次真空破壊できる如く構成する。

【００４４】この樹脂シート搬送手段３２の搬送部３２
ａの円盤の真空吸着機構、この搬送部３２ａの円盤の上
下機構及びこの搬送部３２ａを含むアーム部３２ｂの旋
回機構即ち回動部３２ｃの回動機構の制御は図３に示す
如く、パーソナルコンピュータ２５の指令に従い樹脂シ
ート搬送手段コントローラ３２ｅが行う如くなされてい
る。

【００４５】また図１において、３３は接着剤滴下ノズ
ルを示し、この接着剤滴下ノズル３３は回転ステージ２
４上に配された転写基板Ｔの光学記録層１３上に例えば
図８Ａに示す如く外周側に円環状に紫外線硬化樹脂系接
着剤１４ａを滴下するようになすものである。

【００４６】この接着剤滴下ノズル３３は滴下時のみ回
転ステージ２４上に配された転写基板Ｔ上に移動し、こ
の転写基板Ｔの近傍まで降下して、この紫外線硬化樹脂
系結着剤１４ａを所定量滴下し、その後上昇し、この転
写基板Ｔ上より退避する。

【００４７】この場合、この紫外線硬化樹脂系接着剤１
４ａの滴下時の接着剤滴下ノズル３３の滴下口の位置
は、この転写基板Ｔの中心直上から半径方向で外周まで
移動可能とし、この接着剤滴下中の移動もできる如くす
る。

【００４８】またこの接着剤１４ａの滴下のタイミン
グ、滴下位置は回転ステージ２４の回転と連動させて制
御しても良く、また回転ステージ２４を回転させると同
時に転写基板Ｔの中心から外周に向かってこの接着剤滴
下ノズル３３の位置を変更させ、螺旋状の滴下ができる
ようにしても良い。

【００４９】この接着剤滴下ノズル３３の制御は図３に
示す如く、パーソナルコンピュータ２５の指令に従い接
着剤滴下ノズルコントローラ３３ａが行う如くなされて
いる。

【００５０】またチャンバー移載手段２７は回転ステー
ジ２４で紫外線硬化樹脂系接着剤１４ａが滴下された転
写基板Ｔ上に光透過性樹脂シート１５が重ね合わされ、
その後スピンコートでこの接着剤を延転した転写基板Ｔ
を受け取り、紫外線チャンバー３０に移載する機能を有
する。

【００５１】このチャンバー移載手段２７の制御はパー
ソナルコンピュータ２５の指令に従ってチャンバー機構
手段コントローラ２７ａが行う如くする。またこのチャ
ンバー移載手段には転写基板Ｔの有無を検出するセンサ
ーを有し、この有無をパーソナルコンピュータ２５に知
らせる如くする。

【００５２】この場合、このチャンバー移載手段２７の
機能を転写基板搬送手段２６でも行うことができるが、
紫外線硬化樹脂系接着剤が付着することがあるので、こ
の転写基板搬送手段２６とは別にこのチャンバー移載手
段２７を設けた。

【００５３】また転写基板排出部３１は紫外線チャンバ
ー３０において紫外線硬化樹脂系接着剤が硬化された図
８Ｂに示す如き光学記録層１３上に光透過性樹脂シート
１５が接着された転写基板Ｔを転写基板搬送手段２６に
より取り出して、完成品を載置する部分である。

【００５４】次に上述の転写基板の光学記録層上に光透
過性樹脂シートを接着する接着剤装置の具体的な接着手
順につき説明する。

【００５５】本例においては、先ずこの接着装置外に備
えたダスト除去を目的としたイオン化エアガンにより、
転写基板供給用小窓２１より供給する凹凸パターンＧ２
に対応するパターンを有する半透明膜の反射膜である光
学記録層１３が形成されたアクリル樹脂より成る例えば
厚さが１．２ｍｍの転写基板Ｔの除電、ダスト除去を行
って、これを転写基板投入部２８にセットする。

【００５６】またこのイオン化エアガンにより、樹脂シ
ート供給用小窓２２より供給する例えばポリカーボネー
トから成る厚さ７０μｍ程度の可撓性フィルムである光
透過性樹脂シート１５の除電、ダスト除去を行ってこれ
を樹脂シート投入部２９にセットする。

【００５７】その後、この転写基板の光学記録層上に光
透過性樹脂シートを接着する接着装置を動作する如くす
る。このときは転写基板搬送手段２６のハンド部２６ａ
が転写基板投入部２８の転写基板Ｔを回転ステージ２４
に搬送してセットする。

【００５８】次に樹脂シートの搬送手段３２の搬送部３
２ａの円盤が樹脂シート投入部２９の光透過性樹脂シー
ト１５を真空吸着する如くする。

【００５９】このとき接着剤滴下ノズル３３が回転ステ
ージ２４にセットされた転写基板Ｔの上の予め設定され
た位置に移動し、この接着剤滴下ノズル３３から、この
転写基板Ｔの光学記録層１３上に図８Ａに示す如く紫外
線硬化樹脂系接着剤１４ａを滴下し、その後この接着剤
滴下ノズル３３を退避する。

【００６０】その後樹脂シート搬送手段３２の搬送部３
２ａが光透過性樹脂シート１５を回転ステージ２４上に
搬送し、その後、この搬送部３２ａの円盤はこの光透過
性樹脂シート１５を真空吸着したまま降下する。

【００６１】この搬送部３２の円盤の降下はこの光透過
性樹脂シート１５が転写基板Ｔの光学記録層１３上の紫
外線硬化樹脂系接着剤１４ａに触れるまでは比較的早く
降下するが、触れた後はこの降下速度を遅くして気泡の
混入を防止し、図５に示す如くこの光透過性樹脂シート
１５とこの光学記録層１３との間隔ｌが所定間隔例えば
０．３ｍｍとなるまで、この光透過性樹脂シート１５で
紫外線硬化樹脂系接着剤１４ａを押し付ける。

【００６２】その後搬送部３２ａの円盤の降下を一時停
止し、その後この搬送部３２ａの円盤を真空破壊してこ
の光透過性樹脂シート１５を開放する如くする。

【００６３】この搬送部３２ａの円盤の真空破壊は中心
から外周方向に向かって順次行う如くし、気泡の混入を
防止する如くする。

【００６４】その後回転ステージ２４を例えば５０００
回／分回転して、この紫外線硬化樹脂系接着剤１４ａを
スピンコートして振り切り、この光学記録層１３上に接
着剤層１４を介してこの光透過性樹脂シート１５を重ね
合わせる如くする。

【００６５】このスピンコートをする場合、外周部より
この接着剤１４ａを振り切る隙間が必要であるが、本例
においては、光透過性樹脂シート１５と光学記録層１３
との間隔ｌを所定間隔例えば０．３ｍｍとしているので
良好にスピンコートすることができ、接着剤層１４を均
一とすることができる。このスピンコートの時間はこの
接着剤１４ａの量、ぬれ性、粘度等により決定される。

【００６６】次に回転ステージ２４を上昇し、チャンバ
ー移載手段２７をこの回転ステージ２４の下側に移動
し、その後この回転ステージ２４を下げることによりこ
の光学記録層１３上にこの接着剤層１４を介して光透過
性樹脂シート１５が重ね合わされた転写基板Ｔをこのチ
ャンバー移載手段２７に移載し、このチャンバー移載手
段２７により、この転写基板Ｔを紫外線チャンバー３０
のステージ３０ａに搬送しセットする。

【００６７】その後、この紫外線チャンバー３０で紫外
線を照射し、この転写基板Ｔの光学記録層１３と光透過
性樹脂シート１５との間の紫外線硬化樹脂系接着剤１４
を硬化して接着する如くする。

【００６８】この紫外線チャンバー３０で紫外線を照射
するときは、このステージ３０ａをチャンバー内に移動
すると共にこれを回転しながら行う如くする。その後、
このステージ３０ａを元の位置に戻し、その後転写基板
搬送手段２６により、この紫外線チャンバー３０のステ
ージ３０ａ上の光学記録層１３上に光透過性樹脂シート
１５が接着された転写基板Ｔを転写基板排出部３１に搬
送する如くする。

【００６９】本例は上述の如く構成されているので転写
基板Ｔの光学記録層１３上に気泡の混入のない均一な接
着剤層１４により光透過性樹脂シート１５を接着するこ
とができる利益がある。

【００７０】尚、本発明は上述例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得
ることは勿論である。

【００７１】

【発明の効果】本発明によれば転写基板の光学記録層上
に気泡の混入のない均一な接着剤層により光透過性樹脂
シートを接着することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明転写基板の光学記録層上に光透過性樹脂
シートを接着する接着装置の実施の形態の例の要部を示
す平面図である。

【図２】本発明転写基板の光学記録層上に光透過性樹脂
シートを接着する接着装置の実施の形態の例を示す概略
的正面図である。

【図３】図１の制御系を示すブロック図である。

【図４】樹脂シート搬送手段の搬送部の例を示す下面図
である。

【図５】本発明の説明に供する線図である。

【図６】多層光学記録媒体の例を示す断面図である。

【図７】光学記録媒体の製造方法の例の製造工程を示す
断面図である。

【図８】光学記録媒体の製造方法の例の製造工程を示す
断面図である。

【図９】光学記録媒体の製造方法の例の製造工程を示す
断面図である。

【符号の説明】

１‥‥下層基板、２‥‥上層基板、１３‥‥光学記録
層、１４‥‥接着剤層、１４ａ‥‥紫外線硬化樹脂系接
着剤、１５‥‥光透過性樹脂シート、２４‥‥回転ステ
ージ、２５‥‥パーソナルコンピュータ、２６‥‥転写
基板搬送手段、２７‥‥チャンバー移載手段、２８‥‥
転写基板投入部、２９‥‥樹脂シート投入部、３０‥‥
紫外線チャンバー、３１‥‥転写基板排出部、３２‥‥
樹脂シート搬送手段、３２ａ‥‥搬送部、３３‥‥接着
剤滴下ノズル

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 転写基板の光学記録層上に紫外線硬化樹
   脂系接着剤をスピンコートして接着剤層を形成すると共
   に該接着剤層上に光透過性樹脂シートを重ね合わせる回
   転ステージと、 前記光学記録層と前記光透過性樹脂シートと間の前記接
   着剤層を硬化する紫外線チャンバーと、 転写基板投入部よりの前記転写基板を前記回転ステージ
   に搬送すると共に前記紫外線チャンバーの前記転写基板
   を転写基板排出部に搬送する転写基板搬送手段と、 樹脂シート投入部よりの光透過製樹脂シートを前記回転
   ステージに搬送する樹脂シート搬送手段と、 前記回転ステージ上の前記光学記録層上の前記接着剤層
   上に前記光透過性樹脂シートを重ね合わせた転写基板を
   前記紫外線チャンバーに搬送するチャンバー移載手段と
   を有することを特徴とする転写基板の光学記録層上に光
   透過性樹脂シートを接着する接着装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の転写基板の光学記録層上
   に光透過性樹脂シートを接着する接着装置において、 前記樹脂シート搬送手段の搬送部は円盤より成り、複数
   の真空吸着穴を有することを特徴とする転写基板の光学
   記録層上に光透過性樹脂シートを接着する接着装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の転写基板の光学記録層上
   に光透過性樹脂シートを接着する接着装置において、 前記樹脂シート搬送手段の円盤に真空吸着された光透過
   性樹脂シートにより前記転写基板の光学記録層上に滴下
   された紫外線硬化樹脂系接着剤を所定間隔になるまで押
   し付け、その後真空破壊により前記光透過性樹脂シート
   を開放するようにしたことを特徴とする転写基板の光学
   記録層上に光透過性樹脂シートを接着する接着装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の転写基板の光学記録層上
   に光透過性樹脂シートを接着する接着装置において、 前記樹脂シート搬送手段の円盤の真空破壊は中心から外
   周方向に順次行う如くしたことを特徴とする転写基板の
   光学記録層上に光透過性樹脂シートを接着する接着装
   置。
5. 【請求項５】 転写基板の光学記録層上に紫外線硬化樹
   脂系接着剤を滴下し、接着剤層を形成すると共に該接着
   剤層上に光透過性樹脂シートを重ね合わせて接着する転
   写基板の光学記録層上に光透過性樹脂シートを接着する
   接着方法において、 樹脂シート搬送手段の円盤に真空吸着された前記光透過
   性樹脂シートにより前記転写基板の光学記録層上に滴下
   された前記紫外線硬化樹脂系接着剤を所定間隔になるま
   で押し付け、その後真空破壊により前記光透過性樹脂シ
   ートを開放し、その後前記紫外線硬化樹脂系接着剤をス
   ピンコートして前記転写基板の光学記録層上に前記光透
   過性樹脂シートを接着するようにしたことを特徴とする
   転写基板の光学記録層上に光透過性樹脂シートを接着す
   る接着方法。
6. 【請求項６】 請求項５記載の転写基板の光学記録層上
   に光透過性樹脂シートを接着する接着方法において、 前記樹脂シート搬送手段の円盤の真空破壊は中心から外
   周方向に順次行う如くしたことを特徴とする転写基板の
   光学記録層上に光透過性樹脂シートを接着する接着方
   法。