JP2003212562A - 多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置 - Google Patents
多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置Info
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
(57)【要約】
【課題】光ファイバの原材となる多孔質ガラス母材を気
相合成するバーナへ、液滴を含まない原料ガスを供給す
る装置を提供する。 【解決手段】多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置は、
気相合成される多孔質ガラス母材の原料液１６の気化器
１４が、気化した原料ガスの送出配管１８を介し、原料
ガス中の液滴を除去するノックアウト容器１９に接続
し、ノックアウト容器１９が、原料ガスの供給配管２０
を介し、多孔質ガラス母材合成バーナ２５に接続してい
る。
相合成するバーナへ、液滴を含まない原料ガスを供給す
る装置を提供する。 【解決手段】多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置は、
気相合成される多孔質ガラス母材の原料液１６の気化器
１４が、気化した原料ガスの送出配管１８を介し、原料
ガス中の液滴を除去するノックアウト容器１９に接続
し、ノックアウト容器１９が、原料ガスの供給配管２０
を介し、多孔質ガラス母材合成バーナ２５に接続してい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバの原材
となる多孔質ガラス母材を気相合成するバーナへ、原料
ガスを供給する装置に関するものである。
となる多孔質ガラス母材を気相合成するバーナへ、原料
ガスを供給する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバは、常温常圧で液状のテトラ
クロロシランやテトラクロロゲルマニウムのような原料
液が気化した原料ガスをバーナの酸水素火炎により加水
分解させ、生成したガラス微粒子を堆積させる気相合成
により得た多孔質ガラス母材を、原材としている。この
母材を焼結して脱水および透明ガラス化し、延伸後、線
引きすると光ファイバが得られる。
クロロシランやテトラクロロゲルマニウムのような原料
液が気化した原料ガスをバーナの酸水素火炎により加水
分解させ、生成したガラス微粒子を堆積させる気相合成
により得た多孔質ガラス母材を、原材としている。この
母材を焼結して脱水および透明ガラス化し、延伸後、線
引きすると光ファイバが得られる。
【０００３】この原料液は、加熱して沸騰させる気化器
により気化されて単一組成の原料ガスにされたり、キャ
リアガスであるアルゴンガスや酸素ガスでバブリングす
る気化器により気化されて平衡蒸気圧の分圧を有する原
料ガスにされたりした後、ガス流量を調整されてバーナ
へ供給される。
により気化されて単一組成の原料ガスにされたり、キャ
リアガスであるアルゴンガスや酸素ガスでバブリングす
る気化器により気化されて平衡蒸気圧の分圧を有する原
料ガスにされたりした後、ガス流量を調整されてバーナ
へ供給される。
【０００４】原料ガスは、気化の際に沸騰した泡やバブ
リングした気泡が原料液の液面ではじけて飛散したミス
トと呼ばれる微小な液滴を、少量含んでいる。この液滴
は、原料液中の高沸点物や固形物の不純異物が混ざって
いることもある。
リングした気泡が原料液の液面ではじけて飛散したミス
トと呼ばれる微小な液滴を、少量含んでいる。この液滴
は、原料液中の高沸点物や固形物の不純異物が混ざって
いることもある。
【０００５】バーナへ供給される原料ガスが液滴を含ん
でいると、バーナへの流量を調整するマスフローコント
ローラー（質量流量制御装置）、フィルター、配管等の
精密な供給経路に液滴が付着する結果原料ガスが流量変
動したり、液滴中の不純異物が詰まる結果原料ガスが流
れなくなったりして、多孔質ガラス母材が安定して形成
できなくなる。さらに、供給経路が一旦閉塞してしまう
と、閉塞部分を取り替えなければならず、面倒であるう
え莫大な費用がかかってしまう。
でいると、バーナへの流量を調整するマスフローコント
ローラー（質量流量制御装置）、フィルター、配管等の
精密な供給経路に液滴が付着する結果原料ガスが流量変
動したり、液滴中の不純異物が詰まる結果原料ガスが流
れなくなったりして、多孔質ガラス母材が安定して形成
できなくなる。さらに、供給経路が一旦閉塞してしまう
と、閉塞部分を取り替えなければならず、面倒であるう
え莫大な費用がかかってしまう。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の課題を
解決するためになされたもので、光ファイバの原材とな
る多孔質ガラス母材を気相合成するバーナへ、液滴を含
まない原料ガスを供給する装置を提供することを目的と
する。
解決するためになされたもので、光ファイバの原材とな
る多孔質ガラス母材を気相合成するバーナへ、液滴を含
まない原料ガスを供給する装置を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めになされた本発明の多孔質ガラス母材原料ガスの供給
装置は、実施例に対応する図１を参照して説明すると、
気相合成される多孔質ガラス母材の原料液１６の気化器
１４が、気化した原料ガスの送出配管１８を介し、原料
ガス中の液滴を除去するノックアウト容器１９に接続
し、ノックアウト容器１９が、原料ガスの供給配管２０
を介し、多孔質ガラス母材合成バーナ２５に接続してい
る。
めになされた本発明の多孔質ガラス母材原料ガスの供給
装置は、実施例に対応する図１を参照して説明すると、
気相合成される多孔質ガラス母材の原料液１６の気化器
１４が、気化した原料ガスの送出配管１８を介し、原料
ガス中の液滴を除去するノックアウト容器１９に接続
し、ノックアウト容器１９が、原料ガスの供給配管２０
を介し、多孔質ガラス母材合成バーナ２５に接続してい
る。
【０００８】ノックアウト容器１９は、例えば空のタン
クである。原料ガスが送出配管１８を経てこのタンク１
９に緩々と流れ込むと、原料ガス中の液滴は沈降する。
その結果、液滴をほとんど含まない原料ガスがタンク１
９の上方に溜まり、タンク１９の上部にある原料ガス供
給配管２０を経て、バーナ２５へ供給される。
クである。原料ガスが送出配管１８を経てこのタンク１
９に緩々と流れ込むと、原料ガス中の液滴は沈降する。
その結果、液滴をほとんど含まない原料ガスがタンク１
９の上方に溜まり、タンク１９の上部にある原料ガス供
給配管２０を経て、バーナ２５へ供給される。
【０００９】気化器１４がノックアウト容器１９と一体
化し、気化器１４内で液滴が飛散しても気化器１４上部
にある送出配管１８にまで達しないほどの十分な空間１
５を有していてもよい。これにより、液滴を含まない原
料ガスがバーナ２５へ供給される。
化し、気化器１４内で液滴が飛散しても気化器１４上部
にある送出配管１８にまで達しないほどの十分な空間１
５を有していてもよい。これにより、液滴を含まない原
料ガスがバーナ２５へ供給される。
【００１０】ノックアウト容器１９内への原料ガスの単
位面積あたり質量流量は、３００ｋｇ／ｍ２ｈ以下であ
ることが好ましい。これより多いとノックアウト容器１
９内を上昇する原料ガスの勢いが強すぎて、液滴が沈降
せずに舞い上がるため、原料ガス中の液滴を除去できな
い。
位面積あたり質量流量は、３００ｋｇ／ｍ２ｈ以下であ
ることが好ましい。これより多いとノックアウト容器１
９内を上昇する原料ガスの勢いが強すぎて、液滴が沈降
せずに舞い上がるため、原料ガス中の液滴を除去できな
い。
【００１１】多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置は、
図２に示すように、送出配管１８がノックアウト容器１
９内にまで挿入されており、その先端が下向きになって
いてもよい。
図２に示すように、送出配管１８がノックアウト容器１
９内にまで挿入されており、その先端が下向きになって
いてもよい。
【００１２】多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置は、
ノックアウト容器１９内に、液滴の拡散を防止する部材
が設けられていてもよい。この部材は、例えば図３に示
すように、下向きに折れ曲がった遮蔽板からなるバッフ
ル３１であってもよい。またこの部材は、図４に示すよ
うに、広く送出配管１８をおおう遮蔽平板であるバッフ
ル３２であってよい。さらにこの部材は、ノックアウト
容器１９内で上方から送出配管１８へ向けてガスを噴き
出すデミスターであってもよい。
ノックアウト容器１９内に、液滴の拡散を防止する部材
が設けられていてもよい。この部材は、例えば図３に示
すように、下向きに折れ曲がった遮蔽板からなるバッフ
ル３１であってもよい。またこの部材は、図４に示すよ
うに、広く送出配管１８をおおう遮蔽平板であるバッフ
ル３２であってよい。さらにこの部材は、ノックアウト
容器１９内で上方から送出配管１８へ向けてガスを噴き
出すデミスターであってもよい。
【００１３】原料ガス供給配管２０が、原料液の圧力に
おける沸点以上に加熱するヒータ２１・２４を有してい
ることが好ましい。
おける沸点以上に加熱するヒータ２１・２４を有してい
ることが好ましい。
【００１４】ヒータは、原料液の圧力における沸点以上
で原料ガス中の液滴を完全に気化させる加熱ヒータ２１
と、それを経た原料ガスを保温するヒータ２４とであっ
てもよい。
で原料ガス中の液滴を完全に気化させる加熱ヒータ２１
と、それを経た原料ガスを保温するヒータ２４とであっ
てもよい。
【００１５】加熱ヒータ２１は、二重管式熱交換器や、
シェルチューブ熱交換器が好ましく、単純な構造である
二重管式熱交換器が一層好ましい。加熱ヒータ２１によ
り、原料ガスはその圧力下での原料液の沸点よりも２０
℃以上高く加熱されていることが好ましい。例えば原料
液が、圧力０．１ＭＰａＧで沸点８０℃のテトラクロロ
シランである場合には、約１００℃に加熱される。ノッ
クアウト容器１９で除去できなかった極微小の液滴が残
存していても、加熱ヒータ２１により完全に気化され
る。
シェルチューブ熱交換器が好ましく、単純な構造である
二重管式熱交換器が一層好ましい。加熱ヒータ２１によ
り、原料ガスはその圧力下での原料液の沸点よりも２０
℃以上高く加熱されていることが好ましい。例えば原料
液が、圧力０．１ＭＰａＧで沸点８０℃のテトラクロロ
シランである場合には、約１００℃に加熱される。ノッ
クアウト容器１９で除去できなかった極微小の液滴が残
存していても、加熱ヒータ２１により完全に気化され
る。
【００１６】保温ヒータ２４は、電気ヒータ、熱媒オイ
ルを熱源とするヒータ、スチームを熱源とするヒータで
あることが好ましい。この保温ヒータ２４により原料ガ
スは、原料液の圧力における沸点以上で加熱ヒータの加
熱温度未満の適度な温度で保温され、凝縮することなく
完全に気化したままバーナ２５へ供給される。
ルを熱源とするヒータ、スチームを熱源とするヒータで
あることが好ましい。この保温ヒータ２４により原料ガ
スは、原料液の圧力における沸点以上で加熱ヒータの加
熱温度未満の適度な温度で保温され、凝縮することなく
完全に気化したままバーナ２５へ供給される。
【００１７】気化器１４は、上下鏡板とした円筒縦型ま
たは円筒横型であることが好ましく、耐圧であって一定
して気化させ易い円筒縦型であると一層好ましい。気化
器１４の外壁に、電気ヒータ、スチーム、熱媒オイルの
ような熱源１７が設けられている。気化器１４の熱源１
７は、原料液１６に投入されて原料液１６を直接加熱す
るスチーム還流チューブ、電気ヒータであってもよい。
たは円筒横型であることが好ましく、耐圧であって一定
して気化させ易い円筒縦型であると一層好ましい。気化
器１４の外壁に、電気ヒータ、スチーム、熱媒オイルの
ような熱源１７が設けられている。気化器１４の熱源１
７は、原料液１６に投入されて原料液１６を直接加熱す
るスチーム還流チューブ、電気ヒータであってもよい。
【００１８】また気化器１４は不活性ガスをバブリング
させつつ加熱するものであってもよい。
させつつ加熱するものであってもよい。
【００１９】この多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置
を用いると、液滴を含まない原料ガスをバーナ２５へ安
定して供給することができる。
を用いると、液滴を含まない原料ガスをバーナ２５へ安
定して供給することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用する多孔質ガ
ラス母材原料ガスの供給装置の実施例を詳細に説明す
る。
ラス母材原料ガスの供給装置の実施例を詳細に説明す
る。
【００２１】図１は、多孔質ガラス母材原料ガスの供給
装置の骨格構成図である。
装置の骨格構成図である。
【００２２】この装置は、原料液貯蔵容器１１へ繋がっ
ている気化器１４が原料ガス送出配管１８を介しノック
アウト容器１９に接続し、ノックアウト容器１９が原料
ガス供給配管２０を介してバーナ２５に接続している。
ている気化器１４が原料ガス送出配管１８を介しノック
アウト容器１９に接続し、ノックアウト容器１９が原料
ガス供給配管２０を介してバーナ２５に接続している。
【００２３】貯蔵容器１１の上部に、窒素ガス源が繋が
っている。この貯蔵容器１１に、テトラクロロシラン、
テトラクロロゲルマニウム、またはハロゲン化アルキル
シランのような多孔質ガラス母材原料液１２が充填され
ている。この貯蔵容器１１の下部から、流量調整弁１３
を有する補給管が、延びて、気化器１４の底近傍にまで
挿入されている。
っている。この貯蔵容器１１に、テトラクロロシラン、
テトラクロロゲルマニウム、またはハロゲン化アルキル
シランのような多孔質ガラス母材原料液１２が充填され
ている。この貯蔵容器１１の下部から、流量調整弁１３
を有する補給管が、延びて、気化器１４の底近傍にまで
挿入されている。
【００２４】気化器１４は、円筒縦型であって、熱源１
７である電気ヒータが外壁を取囲んでおり、多孔質ガラ
ス母材原料液１６が充填されている。原料ガス送出配管
１８が気化器１４の上部から延び、空のタンクであるノ
ックアウト容器１９の胴部の中程に接続されている。
７である電気ヒータが外壁を取囲んでおり、多孔質ガラ
ス母材原料液１６が充填されている。原料ガス送出配管
１８が気化器１４の上部から延び、空のタンクであるノ
ックアウト容器１９の胴部の中程に接続されている。
【００２５】送出配管１８は、ノックアウト容器１９の
内部にまで挿入されていることが好ましい。なお、図２
のように送出配管１８は、先端が垂直な下向きになって
いてもよい。図３のように、ノックアウト容器１９内
で、送出配管１８よりも高い内壁から突き出して、下向
きに折れ曲がって送出配管１８の先端を遮る遮蔽板であ
るバッフル３１が設けられていてもよい。図４のよう
に、ノックアウト容器１９の内壁から水平に突き出して
送出配管１８よりも高く設けられ、送出配管１８を蔽い
つつ、容器１９の胴の過半分を塞ぐ遮蔽平板であるバッ
フル３２が設けられていてもよい。ノックアウト容器１
９の上方で内部へむけてガスを噴き出すデミスターであ
ってもよい。これらを組み合わせると液滴の拡散が一層
少なくなる。
内部にまで挿入されていることが好ましい。なお、図２
のように送出配管１８は、先端が垂直な下向きになって
いてもよい。図３のように、ノックアウト容器１９内
で、送出配管１８よりも高い内壁から突き出して、下向
きに折れ曲がって送出配管１８の先端を遮る遮蔽板であ
るバッフル３１が設けられていてもよい。図４のよう
に、ノックアウト容器１９の内壁から水平に突き出して
送出配管１８よりも高く設けられ、送出配管１８を蔽い
つつ、容器１９の胴の過半分を塞ぐ遮蔽平板であるバッ
フル３２が設けられていてもよい。ノックアウト容器１
９の上方で内部へむけてガスを噴き出すデミスターであ
ってもよい。これらを組み合わせると液滴の拡散が一層
少なくなる。
【００２６】ノックアウト容器１９の下部から、必要に
応じて、開閉弁と逆止弁とを有する還流管３０が延び
て、気化器１４に挿入されている。
応じて、開閉弁と逆止弁とを有する還流管３０が延び
て、気化器１４に挿入されている。
【００２７】ノックアウト容器１９の上部から、二重管
式熱交換器である加熱ヒータ２１を有する原料ガス供給
配管２０が延びている。その先で原料ガス供給配管２０
が分岐し、各々にフィルター２２とマスフローコントロ
ーラー２３とが設けられ、その周囲に電気ヒータである
保温ヒータ２４が設置されている。マスフローコントロ
ーラー２３は、バーナ２５に接続している。バーナ２５
は、水素ガス源および酸素ガス源に繋がっている。
式熱交換器である加熱ヒータ２１を有する原料ガス供給
配管２０が延びている。その先で原料ガス供給配管２０
が分岐し、各々にフィルター２２とマスフローコントロ
ーラー２３とが設けられ、その周囲に電気ヒータである
保温ヒータ２４が設置されている。マスフローコントロ
ーラー２３は、バーナ２５に接続している。バーナ２５
は、水素ガス源および酸素ガス源に繋がっている。
【００２８】この多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置
は、以下のように動作する。
は、以下のように動作する。
【００２９】貯蔵容器１１に窒素ガスを導入する。流量
調整弁１３を開閉または開度調整し、気化器１４に原料
液１６が常に十分充填されているように、貯蔵容器１１
の原料液１２を随時補充する。
調整弁１３を開閉または開度調整し、気化器１４に原料
液１６が常に十分充填されているように、貯蔵容器１１
の原料液１２を随時補充する。
【００３０】気化器１４の電気ヒータ１７で、気化器１
４内の原料液１６を加熱し沸騰させる。原料液１６は、
沸騰の際に液面で泡がはじけて飛散した微小な液滴を含
んだ原料ガスとなる。
４内の原料液１６を加熱し沸騰させる。原料液１６は、
沸騰の際に液面で泡がはじけて飛散した微小な液滴を含
んだ原料ガスとなる。
【００３１】この原料ガスは、気化器１４から原料ガス
送出配管１８を経て、ノックアウト容器１９へ緩々と流
れ込む。原料ガスに含まれている液滴は、ノックアウト
容器１９内で自重のために沈降し、凝集して遂には液状
になってノックアウト容器１９内の底に溜まる。凝集液
がある程度溜まると、開閉弁を開き還流管３０を経て、
気化器１４へ戻される。なお、この開閉弁を常に開いて
いてもよい。
送出配管１８を経て、ノックアウト容器１９へ緩々と流
れ込む。原料ガスに含まれている液滴は、ノックアウト
容器１９内で自重のために沈降し、凝集して遂には液状
になってノックアウト容器１９内の底に溜まる。凝集液
がある程度溜まると、開閉弁を開き還流管３０を経て、
気化器１４へ戻される。なお、この開閉弁を常に開いて
いてもよい。
【００３２】一方、ノックアウト容器１９内の上方に、
極僅かに極微細な液滴の残存することのある原料ガスが
溜まる。この原料ガスは、ノックアウト容器１９から原
料ガス供給配管２０へ流れ、加熱ヒータ２１で、原料液
の圧力における沸点以上に加熱され、完全に気化され
る。
極僅かに極微細な液滴の残存することのある原料ガスが
溜まる。この原料ガスは、ノックアウト容器１９から原
料ガス供給配管２０へ流れ、加熱ヒータ２１で、原料液
の圧力における沸点以上に加熱され、完全に気化され
る。
【００３３】完全に気化した原料ガスは、分岐されて流
れ、保温ヒータ２４で温められながら、フィルター２２
を通過しマスフローコントローラー２３で流量を調整さ
れて、バーナ２５へ供給される。
れ、保温ヒータ２４で温められながら、フィルター２２
を通過しマスフローコントローラー２３で流量を調整さ
れて、バーナ２５へ供給される。
【００３４】バーナ２５の酸水素火炎によって原料ガス
は加水分解される。これにより生成したガラス微粒子を
堆積させて、多孔質ガラス母材２６が形成される。
は加水分解される。これにより生成したガラス微粒子を
堆積させて、多孔質ガラス母材２６が形成される。
【００３５】前記実施例に従い多孔質ガラス母材原料ガ
スの供給装置を用いて、多孔質ガラス母材を製造した例
を以下の実施例１および２に示す。
スの供給装置を用いて、多孔質ガラス母材を製造した例
を以下の実施例１および２に示す。
【００３６】（実施例１）多孔質ガラス母材原料液１６
としてテトラクロロシランを用いた。気化器１４の運転
圧力は０．１ＭＰａＧであった。ノックアウト容器１９
として直径１１００ｍｍで断面積０．９５ｍ２のものを
用い、そこから原料ガス供給配管２０へ流れた原料ガス
を加熱ヒータ２１で１１０℃に加熱し、加熱ヒータ２１
からフィルター２２とマスフローコントローラー２３と
を経てバーナ２５に至るまでの原料ガス供給配管を保温
ヒータ２４で１００℃に温めた。原料ガスをバッチ運転
の可能な１６台のバーナ２５へ供給した。バッチ運転し
ているバーナ２５の数の変動とともに、気化器１４から
ノックアウト容器１９へ流れる原料ガスの質量流量は１
５０〜２５０ｋｇ／ｈであったため、ノックアウト容器
１９内への単位面積当たりの質量流量は１５８〜２６３
ｋｇ／ｍ２ｈで変動した。
としてテトラクロロシランを用いた。気化器１４の運転
圧力は０．１ＭＰａＧであった。ノックアウト容器１９
として直径１１００ｍｍで断面積０．９５ｍ２のものを
用い、そこから原料ガス供給配管２０へ流れた原料ガス
を加熱ヒータ２１で１１０℃に加熱し、加熱ヒータ２１
からフィルター２２とマスフローコントローラー２３と
を経てバーナ２５に至るまでの原料ガス供給配管を保温
ヒータ２４で１００℃に温めた。原料ガスをバッチ運転
の可能な１６台のバーナ２５へ供給した。バッチ運転し
ているバーナ２５の数の変動とともに、気化器１４から
ノックアウト容器１９へ流れる原料ガスの質量流量は１
５０〜２５０ｋｇ／ｈであったため、ノックアウト容器
１９内への単位面積当たりの質量流量は１５８〜２６３
ｋｇ／ｍ２ｈで変動した。
【００３７】供給装置を６ヶ月継続して運転したが、供
給装置は何処も閉塞しなかった。その間、原料ガスのバ
ーナ２５への供給量は安定しており、多孔質ガラス母材
２６を連続的に形成することができた。
給装置は何処も閉塞しなかった。その間、原料ガスのバ
ーナ２５への供給量は安定しており、多孔質ガラス母材
２６を連続的に形成することができた。
【００３８】（実施例２）多孔質ガラス母材原料液１６
としてテトラクロロシランを用いた。気化器１４の運転
圧力は０．０５ＭＰａＧであった。ノックアウト容器１
９として直径８００ｍｍで断面積０．５０ｍ２のものを
用い、そこから原料ガス供給配管２０へ流れた原料ガス
は、加熱ヒータを用いず、バーナ２５に至るまでの原料
ガス供給配管を保温ヒータ２４で１００℃に温めた。原
料ガスをバッチ運転の可能な１８台のバーナ２５へ供給
した。バッチ運転しているバーナ２５の数の変動ととも
に、気化器１４からノックアウト容器１９へ流れる原料
ガスの質量流量は２０〜４０ｋｇ／ｈであったので単位
面積当たりの質量流量は４０〜８０ｋｇ／ｍ２ｈで変動
した。
としてテトラクロロシランを用いた。気化器１４の運転
圧力は０．０５ＭＰａＧであった。ノックアウト容器１
９として直径８００ｍｍで断面積０．５０ｍ２のものを
用い、そこから原料ガス供給配管２０へ流れた原料ガス
は、加熱ヒータを用いず、バーナ２５に至るまでの原料
ガス供給配管を保温ヒータ２４で１００℃に温めた。原
料ガスをバッチ運転の可能な１８台のバーナ２５へ供給
した。バッチ運転しているバーナ２５の数の変動ととも
に、気化器１４からノックアウト容器１９へ流れる原料
ガスの質量流量は２０〜４０ｋｇ／ｈであったので単位
面積当たりの質量流量は４０〜８０ｋｇ／ｍ２ｈで変動
した。
【００３９】供給装置を６ヶ月継続して運転したが、供
給装置は何処も閉塞しなかった。その間、原料ガスのバ
ーナ２５への供給量は安定しており、多孔質ガラス母材
２６を連続的に形成することができた。
給装置は何処も閉塞しなかった。その間、原料ガスのバ
ーナ２５への供給量は安定しており、多孔質ガラス母材
２６を連続的に形成することができた。
【００４０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明の多
孔質ガラス母材原料ガスの供給装置を用いると、液滴を
含まず完全に気化した原料ガスをバーナへ安定して供給
することができる。
孔質ガラス母材原料ガスの供給装置を用いると、液滴を
含まず完全に気化した原料ガスをバーナへ安定して供給
することができる。
【００４１】気化器により原料液を激しく気化させ原料
ガスに液滴が多く含まれても、バーナに供給するまでの
間に、確実に液滴を除去できるので、気化効率を上げる
ことができる。さらに穏やかに気化させる必要がないの
で気化器をコンパクトにすることができる。
ガスに液滴が多く含まれても、バーナに供給するまでの
間に、確実に液滴を除去できるので、気化効率を上げる
ことができる。さらに穏やかに気化させる必要がないの
で気化器をコンパクトにすることができる。
【００４２】また、液滴を含まない原料ガスをバーナへ
供給することができるので、それを用いた気相軸付け法
（ＶＡＤ法）や外付け蒸着法（ＯＶＤ法）の気相合成で
形成した多孔質ガラス母材は、均質で品質が優れてい
る。
供給することができるので、それを用いた気相軸付け法
（ＶＡＤ法）や外付け蒸着法（ＯＶＤ法）の気相合成で
形成した多孔質ガラス母材は、均質で品質が優れてい
る。
【図１】本発明を適用する多孔質ガラス母材原料液の供
給装置の実施例を示す骨格構成図である。
給装置の実施例を示す骨格構成図である。
【図２】本発明を適用する多孔質ガラス母材原料液の供
給装置の別な実施例を示す部分骨格構成図である。
給装置の別な実施例を示す部分骨格構成図である。
【図３】本発明を適用する多孔質ガラス母材原料液の供
給装置の別な実施例を示す部分骨格構成図である。
給装置の別な実施例を示す部分骨格構成図である。
【図４】本発明を適用する多孔質ガラス母材原料液の供
給装置の別な実施例を示す部分骨格構成図である。
給装置の別な実施例を示す部分骨格構成図である。
１１は貯蔵容器、１２は原料液、１３は流量調整弁、１
４は気化器、１５は空間、１６は原料液、１７は熱源、
１８は原料ガス送出配管、１９はノックアウト容器、２
０は原料ガス供給配管、２１は加熱ヒータ、２２はフィ
ルター、２３はマスフローコントローラー、２４は保温
ヒータ、２５はバーナ、２６は多孔質ガラス母材、３０
は還流管、３１・３２はバッフルである。
４は気化器、１５は空間、１６は原料液、１７は熱源、
１８は原料ガス送出配管、１９はノックアウト容器、２
０は原料ガス供給配管、２１は加熱ヒータ、２２はフィ
ルター、２３はマスフローコントローラー、２４は保温
ヒータ、２５はバーナ、２６は多孔質ガラス母材、３０
は還流管、３１・３２はバッフルである。
Claims (6)
- 【請求項１】 気相合成される多孔質ガラス母材の原
料液の気化器が、気化した原料ガスの送出配管を介し、
該原料ガス中の液滴を除去するノックアウト容器に接続
し、該ノックアウト容器が、原料ガスの供給配管を介
し、多孔質ガラス母材合成バーナに接続していることを
特徴とする多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置。 - 【請求項２】 該ノックアウト容器内への該原料ガス
の単位面積あたり質量流量は、３００ｋｇ／ｍ２ｈ以下
であることを特徴とする請求項１に記載の多孔質ガラス
母材原料ガスの供給装置。 - 【請求項３】 該送出配管が該ノックアウト容器内に
まで挿入されており、その先端が下向きになっているこ
とを特徴とする請求項１または２に記載の多孔質ガラス
母材原料ガスの供給装置。 - 【請求項４】 該ノックアウト容器内に、該液滴の拡
散を防止する部材が設けられていることを特徴とする請
求項１または２に記載の多孔質ガラス母材原料ガスの供
給装置。 - 【請求項５】 該原料ガス供給配管が、該原料液の圧
力における沸点以上に加熱するヒータを有していること
を特徴とする請求項１または２に記載の多孔質ガラス母
材原料ガスの供給装置。 - 【請求項６】 該ヒータは、該原料液の圧力における
沸点以上で該原料ガス中の液滴を完全に気化させる加熱
ヒータと、それを経た原料ガスを保温するヒータとであ
ることを特徴とする請求項５に記載の多孔質ガラス母材
原料ガスの供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002016832A JP2003212562A (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002016832A JP2003212562A (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003212562A true JP2003212562A (ja) | 2003-07-30 |
Family
ID=27652758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002016832A Pending JP2003212562A (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 多孔質ガラス母材原料ガスの供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003212562A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012020905A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体製造方法およびガラス体製造方法 |
| WO2020194808A1 (ja) * | 2019-03-22 | 2020-10-01 | 積水化学工業株式会社 | 有機化合物の製造システム |
| JP2021008391A (ja) * | 2019-07-03 | 2021-01-28 | 住友電気工業株式会社 | ガラス原料供給装置およびガラス原料供給装置のフィルタ交換方法 |
| CN112512980A (zh) * | 2018-08-23 | 2021-03-16 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用多孔玻璃基材的制造方法及制造装置 |
-
2002
- 2002-01-25 JP JP2002016832A patent/JP2003212562A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012020905A (ja) * | 2010-07-15 | 2012-02-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス微粒子堆積体製造方法およびガラス体製造方法 |
| CN112512980A (zh) * | 2018-08-23 | 2021-03-16 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用多孔玻璃基材的制造方法及制造装置 |
| WO2020194808A1 (ja) * | 2019-03-22 | 2020-10-01 | 積水化学工業株式会社 | 有機化合物の製造システム |
| JP6810282B1 (ja) * | 2019-03-22 | 2021-01-06 | 積水化学工業株式会社 | 有機化合物の製造システム |
| JP2021008391A (ja) * | 2019-07-03 | 2021-01-28 | 住友電気工業株式会社 | ガラス原料供給装置およびガラス原料供給装置のフィルタ交換方法 |
| JP7310373B2 (ja) | 2019-07-03 | 2023-07-19 | 住友電気工業株式会社 | ガラス原料供給装置およびガラス原料供給装置のフィルタ交換方法 |
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