JP2003199371A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JP2003199371A JP2003199371A JP2001390880A JP2001390880A JP2003199371A JP 2003199371 A JP2003199371 A JP 2003199371A JP 2001390880 A JP2001390880 A JP 2001390880A JP 2001390880 A JP2001390880 A JP 2001390880A JP 2003199371 A JP2003199371 A JP 2003199371A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic motor
- ultrasonic
- voltage
- motor according
- vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構成が簡素化され、粗調、微調の使い分けも
可能となり、実用性を向上させることができる超音波モ
ータを提供する。 【解決手段】 超音波モータは、共振周波数の異なる複
数の超音波振動子Ａ，Ｂを結合した駆動子３を具備し、
一方の超音波振動子Ａの共振周波数と他方の超音波振動
子Ｂの共振周波数が整数比となるように選択する。
可能となり、実用性を向上させることができる超音波モ
ータを提供する。 【解決手段】 超音波モータは、共振周波数の異なる複
数の超音波振動子Ａ，Ｂを結合した駆動子３を具備し、
一方の超音波振動子Ａの共振周波数と他方の超音波振動
子Ｂの共振周波数が整数比となるように選択する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、共振周波数の異な
る振動子を組み合わせた超音波モータに係り、特に、複
数の振動子の共振周波数が他の整数比である超音波モー
タに関するものである。
る振動子を組み合わせた超音波モータに係り、特に、複
数の振動子の共振周波数が他の整数比である超音波モー
タに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、全く同じ二組の振動子に位相
の異なる交流を供給し、交点が楕円振動し駆動する超音
波モータが提案されている。
の異なる交流を供給し、交点が楕円振動し駆動する超音
波モータが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の超音波モータでは、振動子ごとに個別の駆動電源
が必須であった。
従来の超音波モータでは、振動子ごとに個別の駆動電源
が必須であった。
【０００４】本発明は、上記状況に鑑み、構成が簡素化
され、粗調、微調の使い分けも可能となり、実用性を向
上させることができる超音波モータを提供することを目
的とする。
され、粗調、微調の使い分けも可能となり、実用性を向
上させることができる超音波モータを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕超音波モータにおいて、共振周波数の異なる複数
の超音波振動子を結合した駆動子を具備することを特徴
とする。
成するために、 〔１〕超音波モータにおいて、共振周波数の異なる複数
の超音波振動子を結合した駆動子を具備することを特徴
とする。
【０００６】〔２〕上記〔１〕記載の超音波モータにお
いて、前記超音波振動子は、縦振動、もしくはたわみ振
動を生成することを特徴とする。
いて、前記超音波振動子は、縦振動、もしくはたわみ振
動を生成することを特徴とする。
【０００７】〔３〕上記〔１〕記載の超音波モータにお
いて、前記複数の超音波振動子のうち、一方の超音波振
動子の共振周波数と他方の超音波振動子の共振周波数が
整数比となるように選択することを特徴とする。
いて、前記複数の超音波振動子のうち、一方の超音波振
動子の共振周波数と他方の超音波振動子の共振周波数が
整数比となるように選択することを特徴とする。
【０００８】〔４〕上記〔１〕記載の超音波モータにお
いて、前記複数の超音波振動子のうち、一方の超音波振
動子の共振周波数と他方の超音波振動子の共振周波数を
異ならせるとともに、この共振周波数の異なる二つの振
動子を適切な角度で結合させた駆子を具備することを特
徴とする。
いて、前記複数の超音波振動子のうち、一方の超音波振
動子の共振周波数と他方の超音波振動子の共振周波数を
異ならせるとともに、この共振周波数の異なる二つの振
動子を適切な角度で結合させた駆子を具備することを特
徴とする。
【０００９】〔５〕上記〔４〕記載の超音波モータにお
いて、前記二つの振動子の振動の合成により、前記結合
点である駆動子の駆動点は、楕円以外の軌道を描き、こ
の軌道に沿った運動より接線方向の運動を取り出すこと
を特徴とする。
いて、前記二つの振動子の振動の合成により、前記結合
点である駆動子の駆動点は、楕円以外の軌道を描き、こ
の軌道に沿った運動より接線方向の運動を取り出すこと
を特徴とする。
【００１０】〔６〕上記〔１〕記載の超音波モータにお
いて、それぞれの振動子の共振周波数の交流電圧を印加
して超音波振動を励振することを特徴とする。
いて、それぞれの振動子の共振周波数の交流電圧を印加
して超音波振動を励振することを特徴とする。
【００１１】〔７〕上記〔１〕記載の超音波モータにお
いて、二組の振動子の端子を並列に接続し、１台のアン
プにより電力を印加することを特徴とする。
いて、二組の振動子の端子を並列に接続し、１台のアン
プにより電力を印加することを特徴とする。
【００１２】〔８〕上記〔７〕記載の超音波モータにお
いて、前記並列端子に供給する電圧には、フーリエ級数
展開したときに、二つの振動子の共振周波数の正弦波
（位相を考慮する）を含む波形の電圧を印加することを
特徴とする。
いて、前記並列端子に供給する電圧には、フーリエ級数
展開したときに、二つの振動子の共振周波数の正弦波
（位相を考慮する）を含む波形の電圧を印加することを
特徴とする。
【００１３】
〔９〕上記〔７〕記載の超音波モータにお
いて、前記供給電圧の波形を変えることにより、前記超
音波モータの駆動方法を逆転させることを特徴とする。
いて、前記供給電圧の波形を変えることにより、前記超
音波モータの駆動方法を逆転させることを特徴とする。
【００１４】〔１０〕上記〔７〕記載の超音波モータに
おいて、前記並列接続を解除し、一方の振動子のみに鋸
歯状の波形の電圧を印加することにより、インパクト駆
動機構として用いることを特徴とする。
おいて、前記並列接続を解除し、一方の振動子のみに鋸
歯状の波形の電圧を印加することにより、インパクト駆
動機構として用いることを特徴とする。
【００１５】〔１１〕上記〔１０〕記載の超音波モータ
において、前記鋸歯状の波形電圧の代わりにＤＣ電圧を
印加して精密位置決めを行うことを特徴とする。
において、前記鋸歯状の波形電圧の代わりにＤＣ電圧を
印加して精密位置決めを行うことを特徴とする。
【００１６】〔１２〕上記〔１０〕記載の超音波モータ
において、前記インパクト駆動機構とともに、微小変位
機構の機能を兼ね備えたことを特徴とする。
において、前記インパクト駆動機構とともに、微小変位
機構の機能を兼ね備えたことを特徴とする。
【００１７】本発明によれば、上記したように、二組の
振動子の駆動周波数を１: ２のように違えて、周期的に
電圧が変化する信号のフーリエ級数展開を利用すること
により、超音波モータの構成が一組の発振器、増幅器で
済むこととなった。
振動子の駆動周波数を１: ２のように違えて、周期的に
電圧が変化する信号のフーリエ級数展開を利用すること
により、超音波モータの構成が一組の発振器、増幅器で
済むこととなった。
【００１８】さらには、駆動子を８の字振動させて振動
方向ベクトルを増大させることにより、駆動効率向上が
図れると同時に、上記振動モータに加えインパクトモー
タを同時配設することで粗調、微調の使い分けも可能と
なり、実用性の向上を図ることができる。
方向ベクトルを増大させることにより、駆動効率向上が
図れると同時に、上記振動モータに加えインパクトモー
タを同時配設することで粗調、微調の使い分けも可能と
なり、実用性の向上を図ることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。 〔二組の振動子を用いた超音波モータ〕図１は本発明の
実施例を示す超音波モータの構成模式図である。
て詳細に説明する。 〔二組の振動子を用いた超音波モータ〕図１は本発明の
実施例を示す超音波モータの構成模式図である。
【００２０】この図において、１は振動子Ａ、２は振動
子Ｂ、３は駆動子（結合点）、４は駆動子３の摩擦駆動
面、５はスライダー（もしくはローター）である。
子Ｂ、３は駆動子（結合点）、４は駆動子３の摩擦駆動
面、５はスライダー（もしくはローター）である。
【００２１】この実施例では、振動子Ａと振動子Ｂは、
共振周波数の異なるランジュバン型振動子を二組用い
る。一方の振動子Ａの周波数は他方の振動子Ｂの周波数
の２倍となるように振動子Ａ，Ｂを設計する。この二組
の振動子Ａ，Ｂを、図１に示すように直行配置する。
共振周波数の異なるランジュバン型振動子を二組用い
る。一方の振動子Ａの周波数は他方の振動子Ｂの周波数
の２倍となるように振動子Ａ，Ｂを設計する。この二組
の振動子Ａ，Ｂを、図１に示すように直行配置する。
【００２２】振動子Ａをｓｉｎωｔで、振動子Ｂをｓｉ
ｎ２ωｔでそれぞれ振動させると、二組の振動子Ａ，Ｂ
が接続している部分、つまり、駆動子３は、図２に示す
ような８の字軌道を描きながら振動する。この駆動子３
に、図１に示すように、スライダー（もしくはロータ
ー）５を押し付けると、摩擦力を介して駆動子３の振動
の上側軌道のみがスライダー５に伝達される。また、振
動子Ｂに鋸歯状の電圧を印加することでインパクト駆動
機構とすることができ、微小な変位を得ることができ
る。さらに、振動子ＢにＤＣ電圧を印加することで、さ
らに微小な（ｎｍオーダー）位置決めが可能である。
ｎ２ωｔでそれぞれ振動させると、二組の振動子Ａ，Ｂ
が接続している部分、つまり、駆動子３は、図２に示す
ような８の字軌道を描きながら振動する。この駆動子３
に、図１に示すように、スライダー（もしくはロータ
ー）５を押し付けると、摩擦力を介して駆動子３の振動
の上側軌道のみがスライダー５に伝達される。また、振
動子Ｂに鋸歯状の電圧を印加することでインパクト駆動
機構とすることができ、微小な変位を得ることができ
る。さらに、振動子ＢにＤＣ電圧を印加することで、さ
らに微小な（ｎｍオーダー）位置決めが可能である。
【００２３】二組の振動子Ａ，Ｂの圧電振動子は、図３
に示すように、並列に接続して用いる。つまり、二組の
振動子ＡとＢへ、ともにファンクションジェネレータ６
から出力される駆動電圧がアンプ７を介して印加され、
二組の振動子ＡとＢはともに接地端子８へ接続されてい
る。
に示すように、並列に接続して用いる。つまり、二組の
振動子ＡとＢへ、ともにファンクションジェネレータ６
から出力される駆動電圧がアンプ７を介して印加され、
二組の振動子ＡとＢはともに接地端子８へ接続されてい
る。
【００２４】このとき、モータへの入力電圧は振動子Ａ
用のＶa ｓｉｎωｔと振動子Ｂ用のＶb ｓｉｎ２ωｔの
線形和となる。つまり、振動子を並列接続したものに図
４に示すような鋸歯状の電圧を印加すればよく、それぞ
れの振動子において共振周波数に一致した周波数成分の
みが振動子の励振に費やされる。
用のＶa ｓｉｎωｔと振動子Ｂ用のＶb ｓｉｎ２ωｔの
線形和となる。つまり、振動子を並列接続したものに図
４に示すような鋸歯状の電圧を印加すればよく、それぞ
れの振動子において共振周波数に一致した周波数成分の
みが振動子の励振に費やされる。
【００２５】よって、一組のファンクションジェネレー
タとリニアアンプで超音波モータの駆動が可能となる。
また、スライダー駆動方向を切り換えるには、図４に示
す波形と左右対称の波形の駆動電圧を印加すればよい。 〔具体例〕図５は本発明の具体例を示す二組の振動子を
用いた超音波モータの構成図である。
タとリニアアンプで超音波モータの駆動が可能となる。
また、スライダー駆動方向を切り換えるには、図４に示
す波形と左右対称の波形の駆動電圧を印加すればよい。 〔具体例〕図５は本発明の具体例を示す二組の振動子を
用いた超音波モータの構成図である。
【００２６】二つの振動子（ＡとＢ）１１，１２は円柱
状ランジュバン型振動子からなり、振動子Ａの共振周波
数（駆動周波数）は振動子Ｂのものに比べて半分になっ
ている。それぞれの振動子ＡとＢは縦方向（円柱の軸方
向）に振動し、それぞれ振動子中央のｎｏｄｅ部分で固
定する。ここでは、固定用プレート１３と１４で固定さ
れる。
状ランジュバン型振動子からなり、振動子Ａの共振周波
数（駆動周波数）は振動子Ｂのものに比べて半分になっ
ている。それぞれの振動子ＡとＢは縦方向（円柱の軸方
向）に振動し、それぞれ振動子中央のｎｏｄｅ部分で固
定する。ここでは、固定用プレート１３と１４で固定さ
れる。
【００２７】摩擦駆動面を有する部分である駆動子（結
合点）１５は、二つの「くびれ」１５ａと１５ｂを有
し、駆動方向と直交方向に弾性を持つことにより、二つ
の振動子ＡとＢによる振動が合成されて８の字軌道を描
き易くなっている。
合点）１５は、二つの「くびれ」１５ａと１５ｂを有
し、駆動方向と直交方向に弾性を持つことにより、二つ
の振動子ＡとＢによる振動が合成されて８の字軌道を描
き易くなっている。
【００２８】８の字軌道を描いている状態では、一般的
な超音波モータと同様に摩擦駆動面１６の摩擦力を介し
てスライダー（またはローター）１７を駆動し、定常状
態で１ｍ／ｓ程度の速度を得る。
な超音波モータと同様に摩擦駆動面１６の摩擦力を介し
てスライダー（またはローター）１７を駆動し、定常状
態で１ｍ／ｓ程度の速度を得る。
【００２９】送り速度を遅くしたいときや、微小変位を
得たい場合は、振動子Ｂのみに共振周波数よりも低い周
波数の鋸歯状の波形電圧を印加すると、インパクト駆動
機構と同じ原理で駆動する。また、さらに微小な位置決
め分解能が要求される場合には、振動子ＢにＤＣ電圧を
印加して変位を印加電圧にて制御する。
得たい場合は、振動子Ｂのみに共振周波数よりも低い周
波数の鋸歯状の波形電圧を印加すると、インパクト駆動
機構と同じ原理で駆動する。また、さらに微小な位置決
め分解能が要求される場合には、振動子ＢにＤＣ電圧を
印加して変位を印加電圧にて制御する。
【００３０】それぞれの振動子の印加電圧位相に対する
振動変位位相の遅れがない場合、並列接続した端子に鋸
歯状の波形電圧を印加すればよい。
振動変位位相の遅れがない場合、並列接続した端子に鋸
歯状の波形電圧を印加すればよい。
【００３１】一方、片方の振動子のみに位相の遅れ（ま
たは進み）が９０度になるように設計した場合、印加す
る電圧（それぞれの振動子に印加する電圧の線形和）
は、Ｖa ｓｉｎωｔ＋Ｖb ｓｉｎ（２ωｔ＋π／２）＝
Ｖa ｓｉｎ＋Ｖb ｃｏｓ２ωｔとなり、矩形波を用いる
ことができ、駆動回路をより簡素化することができる。
たは進み）が９０度になるように設計した場合、印加す
る電圧（それぞれの振動子に印加する電圧の線形和）
は、Ｖa ｓｉｎωｔ＋Ｖb ｓｉｎ（２ωｔ＋π／２）＝
Ｖa ｓｉｎ＋Ｖb ｃｏｓ２ωｔとなり、矩形波を用いる
ことができ、駆動回路をより簡素化することができる。
【００３２】また、スライダ駆動方向を反転するために
は、デューティー比を変化させればよい。
は、デューティー比を変化させればよい。
【００３３】上記したように、
（１）それぞれの超音波振動子に印加される共振周波数
が異なるとは、一方が他方の２倍もしくは整数比で表さ
れることを示している。
が異なるとは、一方が他方の２倍もしくは整数比で表さ
れることを示している。
【００３４】（２）上記振動子において、共振周波数は
それぞれの振動子の最も低次のモードの振動周波数だけ
でなく、高次のモードでもよい。目的とするモードを励
振するために、トランスデューサーの電気入力端子にバ
ンドパスフィルタ（ＢＰＦ）を設けることも可能であ
る。
それぞれの振動子の最も低次のモードの振動周波数だけ
でなく、高次のモードでもよい。目的とするモードを励
振するために、トランスデューサーの電気入力端子にバ
ンドパスフィルタ（ＢＰＦ）を設けることも可能であ
る。
【００３５】（３）二つの振動子による振動方向は同一
直線上の配置にならないようにする。
直線上の配置にならないようにする。
【００３６】（４）周波数が異なる振動子の振動を結合
する駆動子（結合点）では楕円以外の軌跡を描いて運動
する。この軌跡の形状を利用して、接線方向の一方の向
きの運動のみを取り出して超音波モータとする。
する駆動子（結合点）では楕円以外の軌跡を描いて運動
する。この軌跡の形状を利用して、接線方向の一方の向
きの運動のみを取り出して超音波モータとする。
【００３７】（５）各振動子では共振周波数の正弦波の
みが選択され、振動の励起に使用される。また、振動子
が高次のモードを持つ場合には、フィルタ等を用いて他
のモードが励振されないようにする。
みが選択され、振動の励起に使用される。また、振動子
が高次のモードを持つ場合には、フィルタ等を用いて他
のモードが励振されないようにする。
【００３８】（６）電圧を印加する際、振動子の共振周
波数の正弦波が自動的に選択されるため、二つの振動子
は並列に接続し、電圧を供給するアンプは１台で済むよ
うにする。
波数の正弦波が自動的に選択されるため、二つの振動子
は並列に接続し、電圧を供給するアンプは１台で済むよ
うにする。
【００３９】（７）二つの振動子の駆動電圧を単一の電
源から供給する場合、電圧波形は、そのフーリエ級数に
それぞれの印加電圧波形を含んでいればよい。よって、
振動子駆動アンプの出力波形に矩形波や鋸歯状波等を用
いることができる。特に、矩形波を用いる場合は電源の
構成を簡易化することができる。
源から供給する場合、電圧波形は、そのフーリエ級数に
それぞれの印加電圧波形を含んでいればよい。よって、
振動子駆動アンプの出力波形に矩形波や鋸歯状波等を用
いることができる。特に、矩形波を用いる場合は電源の
構成を簡易化することができる。
【００４０】（８）接線方向運動の向きを反転させるた
めには、電圧波形を変形させるだけでよい。どちらかの
振動子に入力される正弦波の位相が１８０度変化すれば
よい。
めには、電圧波形を変形させるだけでよい。どちらかの
振動子に入力される正弦波の位相が１８０度変化すれば
よい。
【００４１】（９）並列接続を解除し、一方の振動子の
みに鋸歯状波を印加することで、従来の「圧電インパク
ト駆動機構」として利用できる。さらに、他方の振動子
にＤＣバイアスを印加することで、摩擦力を調整でき、
駆動特性を制御することができる。
みに鋸歯状波を印加することで、従来の「圧電インパク
ト駆動機構」として利用できる。さらに、他方の振動子
にＤＣバイアスを印加することで、摩擦力を調整でき、
駆動特性を制御することができる。
【００４２】（１０）鋸歯状波の代わりにＤＣバイアス
を印加することで、振動子の圧電素子の長さの変化を利
用した精密位置決め機構とすることができる。
を印加することで、振動子の圧電素子の長さの変化を利
用した精密位置決め機構とすることができる。
【００４３】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００４４】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。
【００４５】（Ａ）一組の発振器・増幅器で二つの圧電
振動子の駆動が可能である。すなわち、使用する二組の
振動子の駆動周波数が異なることと、周期的に電圧が変
化する信号のフーリエ級数展開を利用することで、一組
の発振器・増幅器で二つの圧電振動子の駆動を可能とし
ている。これにより、従来のものに比べて、発振器・増
幅器の数を半分にすることができる。
振動子の駆動が可能である。すなわち、使用する二組の
振動子の駆動周波数が異なることと、周期的に電圧が変
化する信号のフーリエ級数展開を利用することで、一組
の発振器・増幅器で二つの圧電振動子の駆動を可能とし
ている。これにより、従来のものに比べて、発振器・増
幅器の数を半分にすることができる。
【００４６】（Ｂ）圧電インパクト駆動を兼ね備えてい
る。すなわち、片方の振動子がモータ送り方向と平行な
変位を持っているため、従来の発明である「圧電インパ
クト駆動」が可能である。さらに、他方の振動子がモー
タ送り方向と直交方向の変位を持っているため、予圧を
調整して摩擦を制御することで駆動条件を制御でき、変
位量を精密に設計することができる。
る。すなわち、片方の振動子がモータ送り方向と平行な
変位を持っているため、従来の発明である「圧電インパ
クト駆動」が可能である。さらに、他方の振動子がモー
タ送り方向と直交方向の変位を持っているため、予圧を
調整して摩擦を制御することで駆動条件を制御でき、変
位量を精密に設計することができる。
【図１】本発明の実施例を示す超音波モータの構成模式
図である。
図である。
【図２】本発明の実施例を示す超音波モータの駆動子
（摩擦駆動部分）の８の字駆動を示す図である。
（摩擦駆動部分）の８の字駆動を示す図である。
【図３】本発明の実施例を示す二組の振動子の圧電振動
子の配線を示す図である。
子の配線を示す図である。
【図４】並列接続した振動子への印加電圧波形を示す図
である。
である。
【図５】本発明の具体例を示す二組の振動子を用いた超
音波モータの構成図である。
音波モータの構成図である。
１，１１ 振動子Ａ
２，１２ 振動子Ｂ
３，１５ 駆動子（結合点）
４ 駆動子の摩擦駆動面
５，１７ スライダー（ローター）
６ ファンクションジェネレータ
７ アンプ
８ 接地端子
１３，１４ 固定用プレート
１５ａ，１５ｂ くびれ
１６ 摩擦駆動面
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5H680 BB02 BB13 BC10 CC02 DD02
DD14 DD15 DD23 DD43 DD65
EE04 FF26 FF36
Claims (12)
- 【請求項１】 共振周波数の異なる複数の超音波振動子
を結合した駆動子を具備することを特徴とする超音波モ
ータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の超音波モータにおいて、
前記超音波振動子は、縦振動、もしくはたわみ振動を生
成することを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項３】 請求項１記載の超音波モータにおいて、
前記複数の超音波振動子のうち、一方の超音波振動子の
共振周波数と他方の超音波振動子の共振周波数が整数比
になるように選択することを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項４】 請求項１記載の超音波モータにおいて、
前記複数の超音波振動子のうち、一方の超音波振動子の
共振周波数と他方の超音波振動子の共振周波数を異なら
せるとともに、該共振周波数の異なる二つの振動子を適
切な角度で結合させた駆動子を具備することを特徴とす
る超音波モータ。 - 【請求項５】 請求項４記載の超音波モータにおいて、
前記二つの振動子の振動の合成により、前記駆動子の駆
動点は、楕円以外の軌道を描き、該軌道に沿った運動よ
り接線方向の運動を取り出すことを特徴とする超音波モ
ータ。 - 【請求項６】 請求項１記載の超音波モータにおいて、
それぞれの振動子の共振周波数の交流電圧を印加して超
音波振動を励振することを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項７】 請求項１記載の超音波モータにおいて、
二組の振動子の端子を並列に接続し、１台のアンプによ
り電力を印加することを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項８】 請求項７記載の超音波モータにおいて、
前記並列端子に供給する電圧には、フーリエ級数展開し
たときに、二つの振動子の共振周波数の正弦波を含む波
形の電圧を印加することを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項９】 請求項７記載の超音波モータにおいて、
前記供給電圧の波形を変えることにより、前記超音波モ
ータの駆動方法を逆転させることを特徴とする超音波モ
ータ。 - 【請求項１０】 請求項７記載の超音波モータにおい
て、前記並列接続を解除し、一方の振動子のみに鋸歯状
の波形の電圧を印加することにより、インパクト駆動機
構として用いることを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項１１】 請求項１０記載の超音波モータにおい
て、前記鋸歯状の波形電圧の代わりにＤＣ電圧を印加し
て精密位置決めを行うことを特徴とする超音波モータ。 - 【請求項１２】 請求項１０記載の超音波モータにおい
て、前記インパクト駆動機構とともに、微小変位機構の
機能を兼ね備えたことを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001390880A JP2003199371A (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001390880A JP2003199371A (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003199371A true JP2003199371A (ja) | 2003-07-11 |
| JP2003199371A5 JP2003199371A5 (ja) | 2004-11-25 |
Family
ID=27598632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001390880A Pending JP2003199371A (ja) | 2001-12-25 | 2001-12-25 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003199371A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008253107A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujinon Corp | 駆動装置 |
| US7772744B2 (en) | 2006-03-13 | 2010-08-10 | Fujinon Corporation | Ultrasonic actuator which acts on a rotor to rotate the rotor |
| JP2012143150A (ja) * | 2006-01-17 | 2012-07-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
| US11448622B2 (en) | 2018-09-11 | 2022-09-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic device and inspection device |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63167685A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-11 | Marcon Electronics Co Ltd | 圧電アクチユエ−タ |
| JPH09308271A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Toshiba Corp | 超音波モータの駆動方法及び装置 |
| JPH1169852A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-03-09 | Sharp Corp | 超音波モータ |
| JPH11143541A (ja) * | 1997-11-04 | 1999-05-28 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決め装置 |
-
2001
- 2001-12-25 JP JP2001390880A patent/JP2003199371A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63167685A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-11 | Marcon Electronics Co Ltd | 圧電アクチユエ−タ |
| JPH09308271A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Toshiba Corp | 超音波モータの駆動方法及び装置 |
| JPH1169852A (ja) * | 1997-08-25 | 1999-03-09 | Sharp Corp | 超音波モータ |
| JPH11143541A (ja) * | 1997-11-04 | 1999-05-28 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 圧電素子による衝撃力を用いた精密位置決め装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012143150A (ja) * | 2006-01-17 | 2012-07-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを用いた電子機器 |
| US7772744B2 (en) | 2006-03-13 | 2010-08-10 | Fujinon Corporation | Ultrasonic actuator which acts on a rotor to rotate the rotor |
| JP2008253107A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Fujinon Corp | 駆動装置 |
| US11448622B2 (en) | 2018-09-11 | 2022-09-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic device and inspection device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Spanner | Survey of the various operating principles of ultrasonic piezomotors | |
| JPS62247870A (ja) | 超音波振動子の駆動制御方法 | |
| Takano et al. | Same phase drive-type ultrasonic motors using two degenerate bending vibration modes of a disk | |
| JPS63294281A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JP3730467B2 (ja) | 超音波振動子及び複合振動発生超音波振動子 | |
| JP2003199371A (ja) | 超音波モータ | |
| JP2004304963A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JPS61221584A (ja) | 振動波モ−タの駆動回路 | |
| JP3029677B2 (ja) | 超音波トランスデューサ及びその駆動方法ならびに超音波アクチュエータ | |
| JPS6128482A (ja) | 超音波振動発生方法及びその装置 | |
| JP2972433B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPH08242592A (ja) | 超音波アクチュエータ | |
| JP2008278721A (ja) | 超音波アクチュエータ装置 | |
| Tohda et al. | Ultrasonic linear motor using a multilayered piezoelectric actuator | |
| JP2971971B2 (ja) | 超音波アクチュエータ | |
| Shafik et al. | Computer Simulation and Modelling of Standing Wave Piezoelectric Ultrasonic Motor Using a Single Flexural Vibration Ring Transducer | |
| JP2538027B2 (ja) | 平面型超音波アクチュエ―タ | |
| Takano et al. | Ultrasonic linear motors for application to driving a light pick-up element | |
| Zhang et al. | Micromachined piezoelectric traveling wave micromotors for intelligent systems | |
| JP2874174B2 (ja) | 超音波振動子及び超音波モータ | |
| JPH04185288A (ja) | 超音波モータの駆動回路 | |
| JP2004289914A (ja) | 超音波モータ | |
| Maruko et al. | Piezoelectric linear motor with two motional functions of small displacement and large displacement | |
| JP2004194363A (ja) | 駆動装置及びアクチュエータ | |
| JPH01315269A (ja) | 超音波モータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20031031 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031210 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031210 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040129 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061010 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061128 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070605 |