JP2003197116A - 熱陰極構造体 - Google Patents
熱陰極構造体Info
- Publication number
- JP2003197116A JP2003197116A JP2002302416A JP2002302416A JP2003197116A JP 2003197116 A JP2003197116 A JP 2003197116A JP 2002302416 A JP2002302416 A JP 2002302416A JP 2002302416 A JP2002302416 A JP 2002302416A JP 2003197116 A JP2003197116 A JP 2003197116A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- thermionic emission
- hot cathode
- connection part
- electrode connection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】導電性セラミックスを材料とし、熱電子放射部
である発熱部と電極接合部からなる熱電子放射陰極を用
いた熱陰極構造体において、従来の熱陰極の加熱特性を
損なうことなく、かつ、電極接合部付近で破壊すること
なく長時間使用可能である構造を有する熱陰極構造体を
提供する。 【解決手段】導電性セラミックスからなる、らせん状の
溝を持つ円筒形の熱電子放射陰極を用い、円筒形の一部
をなす曲面の電極接合部に、該電極接合部に接触する曲
面を持つ電極が接するようにするとともに、（１）電極
に形成した溝に熱電子放射陰極の電極接合部を嵌め込む
（２）電極に形成した溝に導電性ペーストを介して電極
接合部を嵌め込むという特徴を有する。
である発熱部と電極接合部からなる熱電子放射陰極を用
いた熱陰極構造体において、従来の熱陰極の加熱特性を
損なうことなく、かつ、電極接合部付近で破壊すること
なく長時間使用可能である構造を有する熱陰極構造体を
提供する。 【解決手段】導電性セラミックスからなる、らせん状の
溝を持つ円筒形の熱電子放射陰極を用い、円筒形の一部
をなす曲面の電極接合部に、該電極接合部に接触する曲
面を持つ電極が接するようにするとともに、（１）電極
に形成した溝に熱電子放射陰極の電極接合部を嵌め込む
（２）電極に形成した溝に導電性ペーストを介して電極
接合部を嵌め込むという特徴を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、各種イオン源や三極
スパッタリング装置等の熱電子源として用いられる熱陰
極構造体に関する。
スパッタリング装置等の熱電子源として用いられる熱陰
極構造体に関する。
【０００２】
【従来技術】イオンビーム応用技術は半導体製造工程や
材料の表面改質等に利用されており、熱陰極を有する電
子衝撃型のイオン源が広く用いられている。これらの用
途では、イオンビームの大電流化および熱陰極の長寿命
化が望まれその解決策として端子部を絶縁材料で被覆す
るなどの構造を有する導電性セラミックスを発熱体とす
る熱陰極構造体が開示されている。（特開昭６３−２１
６２３２号公報）
材料の表面改質等に利用されており、熱陰極を有する電
子衝撃型のイオン源が広く用いられている。これらの用
途では、イオンビームの大電流化および熱陰極の長寿命
化が望まれその解決策として端子部を絶縁材料で被覆す
るなどの構造を有する導電性セラミックスを発熱体とす
る熱陰極構造体が開示されている。（特開昭６３−２１
６２３２号公報）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような構造を有する熱陰極構造体においても、熱電子放
射陰極が電極と接合している電極接合部付近で破壊する
という現象がしばしば発生し、熱陰極の寿命を著しく低
下させていた。
ような構造を有する熱陰極構造体においても、熱電子放
射陰極が電極と接合している電極接合部付近で破壊する
という現象がしばしば発生し、熱陰極の寿命を著しく低
下させていた。
【０００４】本発明は導電性セラミックスを材料とし、
熱電子放射部である発熱部と電極接合部からなる熱電子
放射陰極を用いた熱陰極構造体において、従来の熱陰極
の加熱特性を損なうことなく、かつ、電極接合部付近で
破壊することなく長時間使用可能である構造を有する熱
陰極構造体を提供することを目的とする。
熱電子放射部である発熱部と電極接合部からなる熱電子
放射陰極を用いた熱陰極構造体において、従来の熱陰極
の加熱特性を損なうことなく、かつ、電極接合部付近で
破壊することなく長時間使用可能である構造を有する熱
陰極構造体を提供することを目的とする。
【０００５】
【問題を解決するための手段】すなわち、本発明は導電
性セラミックスからなり、らせん状の溝を持つ円筒形熱
電子放射陰極に於いて、熱陰極加熱時の温度勾配による
熱応力と、異部材間の熱膨張差による応力による接続部
付近での破壊を防ぐ為に以下の手段を用いた。
性セラミックスからなり、らせん状の溝を持つ円筒形熱
電子放射陰極に於いて、熱陰極加熱時の温度勾配による
熱応力と、異部材間の熱膨張差による応力による接続部
付近での破壊を防ぐ為に以下の手段を用いた。
【０００６】そこで、導電性セラミックスからなる、ら
せん状の溝を持つ円筒形の熱電子放射陰極を用い、円筒
形の一部をなす曲面の電極接合部に、該電極接合部に接
触する曲面を持つ電極が接するようにする。本発明は、
さらに次の様な点を特徴としている。（１）電極に形成
した溝に熱電子放射陰極の電極接合部を嵌め込む。
（２）電極に形成した溝に導電性ペーストを介して電極
接合部を嵌め込む。
せん状の溝を持つ円筒形の熱電子放射陰極を用い、円筒
形の一部をなす曲面の電極接合部に、該電極接合部に接
触する曲面を持つ電極が接するようにする。本発明は、
さらに次の様な点を特徴としている。（１）電極に形成
した溝に熱電子放射陰極の電極接合部を嵌め込む。
（２）電極に形成した溝に導電性ペーストを介して電極
接合部を嵌め込む。
【０００７】以下、本発明について、さらに詳細に説明
する。従来使用されている熱電子放射陰極を利用した熱
陰極構造体の構造を図２に示す。
する。従来使用されている熱電子放射陰極を利用した熱
陰極構造体の構造を図２に示す。
【０００８】本発明の熱陰極構造体に用いる熱電子放射
陰極の材料である導電性セラミックスとは、アルカリ土
類金属および原子番号５７〜７１までのランタン系元素
の中から選ばれた少なくとも１種以上の元素の六ホウ化
物の焼結体である。また、その熱電子放射陰極の形状
は、円筒形でらせん状の溝を持ったもので、例えば一端
が閉じられた２本の平行らせん巻き状の円筒からなり、
一端部に電極接合部を持った磁界フリー型構造で特に顕
著な効果を有する。
陰極の材料である導電性セラミックスとは、アルカリ土
類金属および原子番号５７〜７１までのランタン系元素
の中から選ばれた少なくとも１種以上の元素の六ホウ化
物の焼結体である。また、その熱電子放射陰極の形状
は、円筒形でらせん状の溝を持ったもので、例えば一端
が閉じられた２本の平行らせん巻き状の円筒からなり、
一端部に電極接合部を持った磁界フリー型構造で特に顕
著な効果を有する。
【０００９】本発明でいう電極は、熱電子放射陰極と電
流導入端子部とを電気的に接続する役目があり、熱電子
放射陰極と密接に接合できる曲面と電流導入端子部と密
接に接合できる面を有している。例えば前記の一端が閉
じられた２本の平行らせん巻き状の円筒からなる磁界フ
リー型構造においては、電極の電極接合部との接する面
を、電極接合部の外径と同じ曲率の凹状の曲面にし、内
径と同じ曲率の凸状の曲面を有する半円柱状ワッシャー
を用いることにより、電極接合部を特殊な加工を施すこ
となくそのまま使用できるため、電極接合部の強度の低
下が無く特に顕著な耐熱応力効果を有する。円柱状ワッ
シャーを用いることが望ましいが、強度が許す範囲で電
極接合部の内面のみ平面に加工し、ボルトやナット等で
電極に固定することも可能である。その電極の材質は、
タングステン、モリブデン、タンタルなどの高融点金属
や、カーボンを使用できる。
流導入端子部とを電気的に接続する役目があり、熱電子
放射陰極と密接に接合できる曲面と電流導入端子部と密
接に接合できる面を有している。例えば前記の一端が閉
じられた２本の平行らせん巻き状の円筒からなる磁界フ
リー型構造においては、電極の電極接合部との接する面
を、電極接合部の外径と同じ曲率の凹状の曲面にし、内
径と同じ曲率の凸状の曲面を有する半円柱状ワッシャー
を用いることにより、電極接合部を特殊な加工を施すこ
となくそのまま使用できるため、電極接合部の強度の低
下が無く特に顕著な耐熱応力効果を有する。円柱状ワッ
シャーを用いることが望ましいが、強度が許す範囲で電
極接合部の内面のみ平面に加工し、ボルトやナット等で
電極に固定することも可能である。その電極の材質は、
タングステン、モリブデン、タンタルなどの高融点金属
や、カーボンを使用できる。
【００１０】本発明の熱陰極構造体は、電極に電極接合
部の嵌まり合う溝を形成し、導電性ペーストを用いて熱
電子放射陰極と電極を接続することでボルトやナット或
いはワッシャーといった使用部品の点数を減少すること
で、熱応力の要因を減少できる。ここで用いる導電性ペ
ーストはカーボンペーストや、溶媒に導電性フィラーを
混ぜたもの、あるいは非導電性ペーストに導電性フィラ
ーを混ぜたものなどが使用できる。
部の嵌まり合う溝を形成し、導電性ペーストを用いて熱
電子放射陰極と電極を接続することでボルトやナット或
いはワッシャーといった使用部品の点数を減少すること
で、熱応力の要因を減少できる。ここで用いる導電性ペ
ーストはカーボンペーストや、溶媒に導電性フィラーを
混ぜたもの、あるいは非導電性ペーストに導電性フィラ
ーを混ぜたものなどが使用できる。
【００１１】
【作用】熱電子放出陰極を発熱体とする熱陰極構造体
は、通電することにより発熱部が１０００〜１６００℃
に加熱され、その発熱部の表面より熱電子が放射され
る。この発熱部の輻射熱、伝導伝熱により、電極接合
部、電極、電流導入端子部、端子台およびボルトやナッ
ト等の治具の温度が上昇する。
は、通電することにより発熱部が１０００〜１６００℃
に加熱され、その発熱部の表面より熱電子が放射され
る。この発熱部の輻射熱、伝導伝熱により、電極接合
部、電極、電流導入端子部、端子台およびボルトやナッ
ト等の治具の温度が上昇する。
【００１２】特に、熱電子放射陰極における電極接合部
や電極での温度は、１０００℃近くなるのを初め、各部
材の温度はそれぞれ固有の物性と位置に応じて一様でな
い温度分布を示し、個々の熱膨張率に応じて膨張する。
このため、室温下で色々な部品を用いて組み立てられた
熱陰極構造体は、使用条件下で、複雑な応力を受ける。
従って、使用条件下で発生するこれらの複雑な応力に耐
える構造とすることは、熱陰極構造体を長寿命化するう
えで重要課題である。
や電極での温度は、１０００℃近くなるのを初め、各部
材の温度はそれぞれ固有の物性と位置に応じて一様でな
い温度分布を示し、個々の熱膨張率に応じて膨張する。
このため、室温下で色々な部品を用いて組み立てられた
熱陰極構造体は、使用条件下で、複雑な応力を受ける。
従って、使用条件下で発生するこれらの複雑な応力に耐
える構造とすることは、熱陰極構造体を長寿命化するう
えで重要課題である。
【００１３】図２に示すように従来の熱陰極構造体が熱
電子放射陰極２１を電極２４に接続するために電極２４
の接続する面に対応する平面の電極接合部２３を削り出
しており、熱電子放射陰極の円筒状の厚みより薄くせざ
るをえなかった。
電子放射陰極２１を電極２４に接続するために電極２４
の接続する面に対応する平面の電極接合部２３を削り出
しており、熱電子放射陰極の円筒状の厚みより薄くせざ
るをえなかった。
【００１４】熱陰極構造体では図１に示すように円筒形
の熱電子放射陰極１１の外面に接触する凹部を持つ電極
１４と内面に接触する凸部を持つ半円柱状ワッシャー１
６を用いることで、電極接合部１３を従来の用に削りだ
すこと無く熱電子放射陰極の円筒形状をそのまま使用可
能となり、かつ、電極接合部の曲面は接している電極の
曲面より大きく取ることができるので従来の熱陰極構造
体に比較して電極接合部の強度低下が少なく歪みによる
破壊が防止できる。
の熱電子放射陰極１１の外面に接触する凹部を持つ電極
１４と内面に接触する凸部を持つ半円柱状ワッシャー１
６を用いることで、電極接合部１３を従来の用に削りだ
すこと無く熱電子放射陰極の円筒形状をそのまま使用可
能となり、かつ、電極接合部の曲面は接している電極の
曲面より大きく取ることができるので従来の熱陰極構造
体に比較して電極接合部の強度低下が少なく歪みによる
破壊が防止できる。
【００１５】また、熱陰極構造体では、図３に示すよう
に熱電子放射陰極の発熱部３２の厚みより電極接合部３
３の厚みを厚くすることによって電極接合部３３の強度
を高め、熱電子放射陰極３１と電極３４との熱膨張率の
差等に起因する応力による破壊を回避することができ
る。
に熱電子放射陰極の発熱部３２の厚みより電極接合部３
３の厚みを厚くすることによって電極接合部３３の強度
を高め、熱電子放射陰極３１と電極３４との熱膨張率の
差等に起因する応力による破壊を回避することができ
る。
【００１６】本発明の熱陰極構造体では、図４に示すよ
うに円筒状の電極接合部４３に嵌まり合う溝を有する電
極４４を使用し、電極接合部４３を電極４４の溝に導電
性ペーストを介して嵌め込むことで、熱電子放射陰極４
１と電極４４の接続に使用する部品点数を少なくするこ
とが可能となり、個々の部品の特性に起因する複雑な応
力を回避できる。
うに円筒状の電極接合部４３に嵌まり合う溝を有する電
極４４を使用し、電極接合部４３を電極４４の溝に導電
性ペーストを介して嵌め込むことで、熱電子放射陰極４
１と電極４４の接続に使用する部品点数を少なくするこ
とが可能となり、個々の部品の特性に起因する複雑な応
力を回避できる。
【００１７】また熱陰極構造体では、図５に示すよう
に、電流導入端子部５５の下端が固定されて使用される
場合、電極の熱膨張が熱電子放射陰極に影響を及ぼす。
そのため円筒形の熱電子放射陰極５１の電極接合部５３
と電極５４の接続する面の延長上に電極導入端子部５５
と電極５４部の固定点５７がくることにより、電極５４
の形状叉は大きさに起因する熱膨張による応力を回避で
きる。
に、電流導入端子部５５の下端が固定されて使用される
場合、電極の熱膨張が熱電子放射陰極に影響を及ぼす。
そのため円筒形の熱電子放射陰極５１の電極接合部５３
と電極５４の接続する面の延長上に電極導入端子部５５
と電極５４部の固定点５７がくることにより、電極５４
の形状叉は大きさに起因する熱膨張による応力を回避で
きる。
【００１８】更に熱陰極構造体では、図６に示すように
電極接合部６３の溝を挟んで２つの電極６４が近くに隣
あうように配置することにより、円筒形の熱電子放射陰
極６１の横方向への熱膨張に起因する応力を弱めること
ができる。
電極接合部６３の溝を挟んで２つの電極６４が近くに隣
あうように配置することにより、円筒形の熱電子放射陰
極６１の横方向への熱膨張に起因する応力を弱めること
ができる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面に従って
具体的に説明する。図１は、本発明の熱陰極構造体の１
実施例を示す図である。気孔率約１０％のＬａＢ６焼結
体を用いてワイヤーカット放電加工法にて、外径１０ｍ
ｍ、内径７ｍｍ、長さ３５ｍｍの発熱部１２と長さ５ｍ
ｍの電極接続部１３からなる２本の平行らせん巻き状
で、円筒状の電子放射陰極１１を製作した。円筒状の電
子放射陰極１１の電極接続部１３の外面に接触する外径
１０ｍｍの円柱状の凹部を持つカーボン製の電極部１４
と、電極接続部１３の内面に接触する凸部を持つカーボ
ン製の半円柱状ワッシャー１６を用い、モリブデン製の
ネジとナット、タンタル製のワッシャーで熱電子放射陰
極１１と電極１４を固定し熱陰極構造体とした。
具体的に説明する。図１は、本発明の熱陰極構造体の１
実施例を示す図である。気孔率約１０％のＬａＢ６焼結
体を用いてワイヤーカット放電加工法にて、外径１０ｍ
ｍ、内径７ｍｍ、長さ３５ｍｍの発熱部１２と長さ５ｍ
ｍの電極接続部１３からなる２本の平行らせん巻き状
で、円筒状の電子放射陰極１１を製作した。円筒状の電
子放射陰極１１の電極接続部１３の外面に接触する外径
１０ｍｍの円柱状の凹部を持つカーボン製の電極部１４
と、電極接続部１３の内面に接触する凸部を持つカーボ
ン製の半円柱状ワッシャー１６を用い、モリブデン製の
ネジとナット、タンタル製のワッシャーで熱電子放射陰
極１１と電極１４を固定し熱陰極構造体とした。
【００２０】上記で得られた熱陰極構造体を１×１０-5
Torrの真空中において、ヒートサイクル試験を行った。
ヒートサイクル試験は、２分間の通電加熱と、１０分間
の冷却を１サイクルとした。また通電加熱温度は１５５
０℃とした。その結果、試験体は、１２８回のサイクル
終了後も何等異常は認められなかった。
Torrの真空中において、ヒートサイクル試験を行った。
ヒートサイクル試験は、２分間の通電加熱と、１０分間
の冷却を１サイクルとした。また通電加熱温度は１５５
０℃とした。その結果、試験体は、１２８回のサイクル
終了後も何等異常は認められなかった。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、熱電子放射陰極の電極
接合部付近の熱応力による割れの発生が無い長寿命の熱
陰極構造体が得られた。
接合部付近の熱応力による割れの発生が無い長寿命の熱
陰極構造体が得られた。
【図１】熱陰極構造体の構造を示す正面図と平面図。
【図２】従来の熱陰極構造体の構造を示す正面図と平面
図。
図。
【図３】熱陰極構造体の構造を示す部分破断面図。
【図４】本発明の熱陰極構造体の構造を示す斜視図。
（ａ）熱陰極構造体を示す斜視図。
（ｂ）電極接合部と電極の接続方法を示す模式図。
【図５】熱陰極構造体の構造を示す正面図。
【図６】熱陰極構造体の構造を示す斜視図。
１１、２１、３１、４１、５１、６１ 熱電子放射陰
極 １２、２２、３２、４２、５２、６２ 発熱部 １３、２３、３３、４３、５３、６３ 電極接合部 １４、２４、３４、４４、５４、６４ 電極 ５５ 電流端子導入
部 １６ 半円柱ワッシャ
ー ５７ 固定点
極 １２、２２、３２、４２、５２、６２ 発熱部 １３、２３、３３、４３、５３、６３ 電極接合部 １４、２４、３４、４４、５４、６４ 電極 ５５ 電流端子導入
部 １６ 半円柱ワッシャ
ー ５７ 固定点
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 4K029 DC31 DE02
5C030 BB02 BB15
Claims (2)
- 【請求項１】導電性セラミックスからなり、らせん状の
溝を持つ円筒形の熱陰極構造体に於いて、円筒形の一部
をなす曲面の電極接合部に、該電極接合部に接触する曲
面を持つ電極が接していて、前記電極接合部が電極に形
成した溝にはめ込むことを特徴とする熱陰極構造体。 - 【請求項２】電極接合部と電極の間に導電性ペーストを
介すことを特徴とする請求項１記載の熱陰極構造体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002302416A JP3604379B2 (ja) | 2002-10-17 | 2002-10-17 | 熱陰極構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002302416A JP3604379B2 (ja) | 2002-10-17 | 2002-10-17 | 熱陰極構造体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23678893A Division JP3374932B2 (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 熱陰極構造体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003197116A true JP2003197116A (ja) | 2003-07-11 |
| JP3604379B2 JP3604379B2 (ja) | 2004-12-22 |
Family
ID=27606688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002302416A Expired - Lifetime JP3604379B2 (ja) | 2002-10-17 | 2002-10-17 | 熱陰極構造体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3604379B2 (ja) |
-
2002
- 2002-10-17 JP JP2002302416A patent/JP3604379B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3604379B2 (ja) | 2004-12-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4817656B2 (ja) | 間接的に加熱されるカソードイオン源 | |
| KR100775884B1 (ko) | 세라믹스 기재와 전력 공급용 커넥터의 접합 구조 | |
| JP2922392B2 (ja) | 高圧放電ランプ | |
| US5444327A (en) | Anisotropic pyrolytic graphite heater | |
| US3248586A (en) | Discharge lamp electrode | |
| EP0380205B1 (en) | Fast warm-up cathode for high power vacuum tubes | |
| US4795940A (en) | Large area directly heated lanthanum hexaboride cathode structure having predetermined emission profile | |
| JP3374932B2 (ja) | 熱陰極構造体 | |
| JP2003197116A (ja) | 熱陰極構造体 | |
| JP2975543B2 (ja) | 熱陰極構造体 | |
| JPH0487138A (ja) | 伝導冷却形多段コレクタ | |
| US3450927A (en) | Thermionic cathode with heat shield having a heating current by-pass | |
| RU2770840C1 (ru) | Катодно-подогревательный узел для многолучевых клистронов | |
| JPH0614391Y2 (ja) | 磁界フリ−型熱陰極構造体 | |
| KR100205414B1 (ko) | 음극선관용 히터의 제조방법 | |
| JPH0216532B2 (ja) | ||
| JP2698537B2 (ja) | 加熱装置 | |
| US4687964A (en) | Apparatus for mounting a field emission cathode | |
| CN114360985A (zh) | 一种空心阴极高温加热器 | |
| US2855536A (en) | Cathode | |
| KR890002338B1 (ko) | 마그네트론 양극구체 | |
| JPH0950756A (ja) | 熱電子放射フィラメント及び熱陰極構造体 | |
| JP2022119333A (ja) | ヒータ一体型カソードチューブ及びホローカソード | |
| KR100304944B1 (ko) | 마그네트론의음극 | |
| KR200158742Y1 (ko) | 음극선관용 전자총 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040928 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040928 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111008 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121008 Year of fee payment: 8 |