JP2003195787A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 基板上に窒化物層を形成し、
   前記窒化物層上に接して酸化物層を形成し、
   前記酸化物層上に絶縁層を形成し、
   前記絶縁層上に発光素子を形成し、
   前記発光素子を覆う層間絶縁膜を形成し、
   前記層間絶縁膜に支持体を接着した後、物理的手段により前記酸化物層の層内または前記窒化物層と前記酸化物層との界面において前記基板を剥離し、
   前記酸化物層に転写体を接着することを特徴とする発光装置の作製方法。
2. 基板上に窒化物層を形成し、
   前記窒化物層上に接して酸化物層を形成し、
   前記酸化物層上に絶縁層を形成し、
   前記絶縁層上に発光素子を形成し、
   前記発光素子を覆う層間絶縁膜を形成し、
   物理的手段により前記酸化物層の層内または前記窒化物層と前記酸化物層との界面において前記基板を剥離し、
   前記酸化物層に転写体を接着した後、前記層間絶縁膜に支持体を接着することを特徴とする発光装置の作製方法。
3. 請求項１または２において、前記窒化物層に代えて金属層または窒化金属層を形成することを特徴とする発光装置の作製方法。
4. 請求項１乃至３のいずれか一において、前記酸化物層として、酸化シリコン材料もしくは酸化金属材料からなる単層、またはこれらの積層を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
5. 請求項１乃至４のいずれか一において、前記支持体は、可撓性を有することを特徴とする発光装置の作製方法。
6. 請求項１乃至４のいずれか一において、前記支持体として、封止膜が設けられたプラスチック基板を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
7. 請求項１乃至６のいずれか一において、前記転写体は、可撓性を有することを特徴とする発光装置の作製方法。
8. 請求項１乃至６のいずれか一において、前記転写体として、封止膜が設けられたプラスチック基板を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
9. 請求項６または８において、前記封止膜として、第１のバリア膜と、前記第１のバリア膜上に形成された応力緩和膜と、前記応力緩和膜上に形成された第２のバリア膜とを積層した膜を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
10. 請求項９において、前記第１のバリア膜として、窒化珪素、窒化酸化珪素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、または窒化酸化珪化アルミニウム膜を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
11. 請求項９または１０において、前記第２のバリア膜として、窒化珪素、窒化酸化珪素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、または窒化酸化珪化アル ミニウム膜を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
12. 請求項９乃至１１のいずれか一において、前記応力緩和膜として、透光性を有する樹脂を用いることを特徴とする発光装置の作製方法。
13. 請求項１乃至１２のいずれか一において、前記発光素子は、薄膜トランジスタに接続された電極を陰極または陽極としていることを特徴とする発光装置の作製方法。