JP2003185867A

JP2003185867A - Ｙ分岐光導波路

Info

Publication number: JP2003185867A
Application number: JP2002028630A
Authority: JP
Inventors: Naoki Hanajima; 直樹花島; Toru Kineri; 透木練
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2001-10-12
Filing date: 2002-02-05
Publication date: 2003-07-03

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、基板上に形成された主導波路に対し
て光を分岐し又は合波するＹ分岐光導波路に関し、埋め
込み特性が改善されると共に、分岐部での光の位相と振
幅の整合を最適化して低損失なＹ分岐光導波路を提供す
ることを目的とする。【解決手段】入射光導波路３端部に形成されたテーパ光
導波路１１と、テーパ光導波路１１の端面と間隙幅Ｌｇ
を介して対向配置されると共に、間隙幅Ｗｇを介して隣
り合って配置される出射光導波路５、６とから構成され
る分岐光導波路において、テーパ光導波路１１の端面の
幅を、出射光導波路５、６の幅の合計と間隙幅Ｗｇとを
加え合わせた長さよりも長くする。

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に形成され
た光導波路に対して光を分岐し又は合波するＹ分岐光導
波路に関する。

【０００１】

【従来の技術】Ｙ分岐光導波路に関する公知技術として
日本国特許第２８１７８９８号公報に以下の開示があ
る。従来のＹ分岐光導波回路は、クラッド層内において
主導波路の幅と分岐導波路の幅が等しく、かつ、分岐点
近傍の分岐導波路に囲まれたクサビ形の鋭角形状を有し
ている。しかしながら、一般的な光導波路の作製技術で
は導波路が近接している分岐点近傍を精度よく加工する
のは困難で分岐点近傍に形状変形が生じたり、クラッド
層形成材料が分岐点近傍に充填されずクラッド層に空隙
が生じたりする種々の不良のため、分岐部分での過剰損
失の増加や偏波依存性の劣化が生じてしまう。

【０００２】上記問題に対し上記特許は、拡大導波路と
分岐導波路との接続部において両導波路軸が一致した状
態で、両導波路の各端面が３〜１０μｍの間隙をもって
いずれもが互いに平行に対向し、かつ、各分岐導波路同
士を所定の間隔をもって分離する構成を開示している。
これにより、分岐点近傍でのパターン変形や導波路の埋
め込み不良を防止して、作製が容易で且つ再現性に優れ
た低損失の分岐合波光導波回路を実現できる。

【０００３】Ｙ分岐光導波路に関する別の公知技術とし
て特開２０００−１３１５４４号公報に以下の開示があ
る。当該公開公報では、従来のＹ分岐光導波路の例とし
て図６に示す４つの例を挙げている。まず、図６（ａ）
は、コアをＹ字形に単純に所定の分岐角度θで２分岐し
た構造で、入射路１０の路幅ａと分岐後の２つの各射出
路１２、１２の路幅ａとが等しく設定されている。とこ
ろが、この構成のＹ分岐光導波路は、先に述べたように
クサビ形の鋭角形状を有しているため、クラッド層形成
材料を分岐点近傍に充填することが難しいという問題が
ある。

【０００４】図６（ｂ）は、入射路１０の路幅ａ₁より
も射出路１２、１２の路幅ａ₂を狭く（ａ₁＞ａ₂）設定
するとともに、射出路１２、１２が入射路１０から分岐
する基端部分の谷中央に、凹状の窪み１６を形成した構
造を示している。ところが、この構成のＹ分岐光導波路
は、凹状の窪み１６により入射路１０と射出路１２、１
２の波面の整合を高めて、入射路１０と射出路１２、１
２との電磁界分布の結合効率を高くして上記図６（ａ）
の構成より損失を少なくできるものの、分岐角度θを大
きく設定した場合には、結合効率が劣化して損失が増加
するという問題を有している。

【０００５】図６（ｃ）は、入射路１０の幅を分岐部分
において拡幅し、その拡幅部１８から射出路１２、１２
を延出した構造である。ところが、この構成のＹ分岐光
導波路は、導波光の位相及び振幅の整合をとることがで
き結合効率は高くなるが、出射導波路１２，１２同士の
結合が大きくなり再現性を損なうという問題があった。

【０００６】図６（ｄ）は、入射路１０と各射出路１
２、１２との節となる部分２０の屈折率ｎ₂を入射路１
０および射出路１２、１２の屈折率ｎ₁と異ならせた
（ｎ₂＜ｎ₁）、いわゆるアンテナ結合形の光導波路であ
る。ところが、この構成のＹ分岐光導波路は、分岐角度
θを３°以上にしても損失が少ないという利点があるも
のの、射出路１２、１２の谷側が鋭角であり、しかも、
３種類の屈折率ｎ₀、ｎ₁、ｎ ₂を使う必要があるため、
製造が難しい。

【０００７】以上に鑑み、上記公開公報では、分岐角度
を比較的大きく設定しても損失が小さく、かつ小型化が
可能で、しかも製造容易なＹ分岐光導波路として、図７
に示す構造のＹ分岐光導波路を開示している。

【０００８】上記公開公報のＹ分岐光導波路は、基板上
に形成された所定の屈折率ｎ₀を有するクラッド層２
と、クラッド層２に囲まれて所定の屈折率ｎ₁（＞ｎ₀）
を有するコア４とが形成されている。上記のコア４の入
射路１０と射出路１２、１２とは全て同一の幅ａを有す
る。

【０００９】また、各射出路１２、１２が入射路１０か
ら分岐する基端部分の谷中央に、波面の整合をとるため
の凹状の窪み１６が形成され、かつ、各射出路１２、１
２の基端部分の左右外側にそれぞれ三角形状の突起部２
２が外方に張り出して形成されている。突起部２２は、
光が分岐される前の入射路１０における０次モードと分
岐された後の各射出路１２、１２における０次モードの
フィールド分布の整合を高めるために設けられている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
日本国特許第２８１７８９８号公報に開示されたＹ分岐
光導波路は、分岐部に間隙を設けることで、クラッド層
堆積時のガスの流れを良好にして、狭いギャップへの埋
め込みを容易にしているが、分岐部での位相・振幅の整
合については最適化されていない。

【００１１】一方、特開２０００−１３１５４４号公報
に開示されたＹ分岐光導波路は、分岐部での光電界の位
相・振幅の整合を考慮したものであるが、窪み１６や突
起部２２と各射出路１２、１２との間に狭いギャップが
形成されるため、コアを完全に埋め込むのは困難であ
る。

【００１２】本発明の目的は、埋め込み特性が改善され
ると共に、分岐部での光の位相と振幅の整合を最適化し
て低損失なＹ分岐光導波路を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的は、入射光導波
路端部に形成され所定角度で幅が拡がるテーパ光導波路
と、所定の分岐角度で前記テーパ光導波路の端面と第１
の間隙を介して対向配置されると共に、第２の間隙を介
して隣り合って配置される第１及び第２の出射光導波路
と、前記第１及び第２の間隙を埋め込んで全面に形成さ
れたクラッド層とを備え、前記テーパ光導波路の端面の
幅は、前記第１及び第２の出射光導波路の幅の合計と前
記第２の間隙の間隙幅とを加え合わせた長さより長いこ
とを特徴とするＹ分岐光導波路によって達成される。

【００１４】上記本発明のＹ分岐光導波路であって、前
記テーパ光導波路は、前記第１及び第２の出射光導波路
より外側に形成された突起部を有していることを特徴と
する。

【００１５】上記本発明のＹ分岐光導波路であって、前
記テーパ光導波路は、直線状に延びる側壁を有している
ことを特徴とする。

【００１６】また、上記目的は、入射光導波路端部に形
成されて幅が拡がるテーパ光導波路と、前記テーパ光導
波路の端面と第１の間隙を介して対向配置されると共
に、第２の間隙を介して隣り合って配置される第１及び
第２の出射光導波路と、前記第１及び第２の間隙を埋め
込んで全面に形成されたクラッド層とを備え、前記テー
パ光導波路の端面の幅は、前記第１及び第２の出射光導
波路の幅の合計と前記第２の間隙の間隙幅とを加え合わ
せた長さより短いことを特徴とするＹ分岐光導波路によ
って達成される。

【００１７】上記本発明のＹ分岐光導波路であって、前
記テーパ光導波路は、外側に凸の曲線状に延びる側壁を
有していることを特徴とする。

【００１８】上記本発明のＹ分岐光導波路であって、前
記側壁は、指数関数に従う曲線状に形成されていること
を特徴とする。

【００１９】

【発明の実施の形態】〔第１の実施の形態〕本発明の第
１の実施の形態によるＹ分岐光導波路について図１及び
図２を用いて説明する。まず、本実施の形態によるＹ分
岐光導波路の概略の構成を図１を用いて説明する。図１
は、Ｙ分岐光導波路が形成された石英ガラス基板１を基
板面法線方向に見た状態を示している。図１に示すＹ分
岐光導波路は、石英ガラス基板１上に形成された屈折率
ｎ₀のクラッド層２を有している。クラッド層２内には
クラッド層２の屈折率ｎ₀より大きい屈折率ｎ₁のコア４
が埋め込まれている。

【００２０】コア４はＹ字形の分岐部において、所定の
間隙（間隙幅Ｌｇ、Ｗｇ）で入射光導波路３と、２つの
出射光導波路５、６の３つに分割されて形成されてい
る。各間隙にはクラッド層２の形成材料が充填されてお
り、コア４は確実にクラッド層２で埋め込まれている。

【００２１】幅ａ₁で延びる入射光導波路３の出射光導
波路５、６側の端部には、端部に向かって所定角度αで
直線状に側壁が拡がるテーパ光導波路１１が形成されて
いる。テーパ光導波路１１の端面の幅Ｗｅは幅ａ₁より
広く、また、テーパ光導波路１１の長さＬｅは、幅
ａ₁、幅Ｗｅ、及び分岐角度αに基づいて規定される。

【００２２】出射光導波路５、６は同じ幅ａ₂を有して
いる。幅ａ₂は幅ａ₁と等しいかそれより狭く形成されて
いる。出射光導波路５、６は、テーパ光導波路１１の端
面中央の両側にテーパ光導波路１１の端面と間隙幅Ｌｇ
を介して上記所定角度αに等しい分岐角度αで配置され
ている。出射光導波路５、６のテーパ光導波路１１側の
各端面は、テーパ光導波路１１端面と平行に対向して配
置されている。出射光導波路５、６のテーパ光導波路１
１側の両端面は、所定の間隙幅Ｗｇで隣り合って配置さ
れている。

【００２３】このように、本実施形態によるＹ分岐光導
波路のコア４は、分岐部において所定間隙で３つに分割
されて形成されているので、素子形成時において、各間
隙にクラッド層２の形成材料を充填してコア４を確実に
埋め込むことができる。

【００２４】また、本実施形態によるＹ分岐光導波路
は、出射光導波路５、６の幅ａ₂の２倍と間隙幅Ｗｇと
を加え合わせた長さが、テーパ光導波路１１の端面の幅
Ｗｅより短くなるように規定されている。このため、テ
ーパ光導波路１１の一側壁の延長上と当該側壁側の出射
光導波路５又は６の一側壁との間の距離ｄは、必ずｄ≠
０であって、出射光導波路５、６端部がテーパ光導波路
１１端面の内側に位置するようになっている。

【００２５】このため、テーパ光導波路１１側端部の各
出射光導波路５、６より両外側に突起部８、９が形成さ
れる。突起部８、９により、光の分岐前後の振幅をより
正確に整合させることができる。

【００２６】このように、本実施の形態では、出射光導
波路５、６端部と対向するテーパ光導波路１１の両端に
突起部８、９を設けているため、光の振幅を正確に整合
させることができ、分岐損失を極めて小さくすることが
できる。

【００２７】次に、本実施の形態によるＹ分岐光導波路
の製造方法について簡単に説明する。例えば石英系ガラ
ス導波路の場合、石英ガラス基板１上に下部クラッド層
を成膜する。次いで、コア形成材料を成膜してパターニ
ングし、コア４を形成する。次いで、上部クラッド層を
成膜してコア４をクラッド形成材料で完全に埋め込んで
からアニール処理を経てＹ分岐光導波路が完成する。ク
ラッド層２やコア形成材料の成膜方法は、火炎堆積法、
スパッタリング、蒸着、各種ＣＶＤ法、あるいはゾルゲ
ル法等を用いることができる。また、屈折率と膜応力の
調整のために、Ｇｅ（ゲルマニウム）、Ｐ（リン）、Ｂ
（硼素）、Ｔｉ（チタン）、Ｆ（フッ素）などを適時添
加してももちろんよい。また、石英ガラス基板に代えて
Ｓｉ（シリコン）基板を用いることもできる。なお、本
実施の形態によるＹ分岐光導波路の構造は、ニオブ酸リ
チウムなどの光学結晶やガラス基板へのイオン拡散導波
路、リブ導波路、半導体基板上に形成された導波路等に
適用することも可能である。

【００２８】（実施例）次に、具体的実施例により説明
する。比屈折率差ΔｎをΔｎ＝０．３％とすると、シン
グルモードとなるコア寸法は８（μｍ）×８（μｍ）と
なる。分岐部の構成としては、テーパ光導波路１１の長
さＬｅ＝１５０μｍとした。テーパ光導波路１１の端面
の幅Ｗｅは、所定の分岐角度αに応じて最適化するもの
とし、Ｗｅ＝２０〜２６μｍとした。入射光導波路３の
幅ａ₁＝８μｍであり、出射光導波路５、６の幅ａ₂＝５
μｍとした。また、間隙幅Ｗｇ＝間隙幅Ｌｇ＝３μｍと
した。

【００２９】以上のような構成において、数種類の分岐
角度αについてＢＰＭ（ビーム伝搬法）により分岐部分
での過剰損失（（入力光パワー）−（両分岐の出力光パ
ワーの合計））を計算した。図２は、横軸に分岐角度
（度）をとり、縦軸に過剰損失（ｄＢ）をとったグラフ
である。図中、■印を結んで得られた曲線は本実施形態
によるＹ分岐光導波路の特性である。本実施形態による
Ｙ分岐光導波路の方が、◆印を結んで得られた従来のＹ
分岐光導波路と比較して過剰損失を抑えることができる
ことが分かる。

【００３０】以上説明したように、本実施の形態による
Ｙ分岐光導波路によれば、スリット構造をとることで埋
め込み特性が改善し、テーパ部の幅Ｗｅや光射出路の幅
を最適化することでテーパ部から分岐部での電磁界分布
の整合を改善し低損失な分岐導波路を得ることができ
る。

【００３１】〔第２の実施の形態〕本発明の第２の実施
の形態によるＹ分岐光導波路について図３乃至図５を用
いて説明する。まず、本実施の形態によるＹ分岐光導波
路の概略の構成を図３を用いて説明する。図３は、Ｙ分
岐光導波路が形成された石英ガラス基板１を基板面法線
方向に見た状態を示している。図３に示すＹ分岐光導波
路は、石英ガラス基板１上に形成された屈折率ｎ₀のク
ラッド層２を有している。クラッド層２内にはクラッド
層２の屈折率ｎ₀より大きい屈折率ｎ₁のコア４が埋め込
まれている。

【００３２】コア４はＹ字形の分岐部において、所定の
間隙（間隙幅Ｌｇ、Ｗｇ）で入射光導波路３と、２つの
出射光導波路５、６の３つに分割されて形成されてい
る。各間隙にはクラッド層２の形成材料が充填されてお
り、コア４は確実にクラッド層２で埋め込まれている。

【００３３】幅ａ₁で延びる入射光導波路３の出射光導
波路５、６側の端部には、端部に向かって、外側に凸の
指数関数に倣う曲線状に側壁が拡がって基板面法線方向
にみて釣鐘状のテーパ光導波路（以下、釣鐘状光導波路
と呼ぶ）１３が形成されている。釣鐘状光導波路１３の
端面の幅Ｗｅは幅ａ₁より広く、また、釣鐘状光導波路
１３の長さＬｅは、幅ａ₁と幅Ｗｅ、及び外側に凸の側
壁の曲線関数に基づいて規定される。

【００３４】出射光導波路５、６は同じ幅ａ₂を有して
いる。幅ａ₂は幅ａ₁とほぼ等しく形成されている。出射
光導波路５、６は、釣鐘状光導波路１３の端面中央の両
側に釣鐘状光導波路１３の端面と間隙幅Ｌｇを介して配
置されている。出射光導波路５、６の釣鐘状光導波路１
３側の各端面は、釣鐘状光導波路１３端面と平行に対向
して配置されている。出射光導波路５、６の釣鐘状光導
波路１３側の両端面は、所定の間隙幅Ｗｇで隣り合って
配置されている。

【００３５】このように、本実施形態によるＹ分岐光導
波路のコア４は、分岐部において所定間隙で３つに分割
されて形成されているので、素子形成時において、各間
隙にクラッド層２の形成材料を充填してコア４を確実に
埋め込むことができる。

【００３６】また、本実施形態によるＹ分岐光導波路
は、出射光導波路５、６の幅ａ₂の２倍と間隙幅Ｗｇと
を加え合わせた長さが、釣鐘状光導波路１３の端面の幅
Ｗｅより長くなるように規定されている。このため、釣
鐘状光導波路１３の一側壁の延長上と当該側壁側の出射
光導波路５又は６の一側壁との間の距離ｄは、必ずｄ≠
０であって、釣鐘状光導波路１３端面が出射光導波路
５、６端部の内側に位置するようになっている。

【００３７】このため、釣鐘状光導波路１３側端部の両
外側に各出射光導波路５、６による突起部１４、１５が
形成される。突起部１４、１５により、光の分岐前後の
振幅をより正確に整合させることができる。

【００３８】このように、本実施の形態では、釣鐘状光
導波路１３と対向する出射光導波路５、６端部の両端に
突起部１４、１５を設けているため、光の振幅を正確に
整合させることができ、分岐損失を極めて小さくするこ
とができる。

【００３９】なお、本実施の形態によるＹ分岐光導波路
の製造方法は第１の実施の形態で説明した製造方法と同
一であるので説明は省略する。

【００４０】（実施例）次に、具体的実施例により説明
する。比屈折率差ΔｎをΔｎ＝０．４％とすると、シン
グルモードとなるコア寸法は７．５（μｍ）×７．５
（μｍ）となる。分岐部の構成としては、釣鐘状光導波
路１３の長さＬｅ＝１８０μｍとした。釣鐘状光導波路
１３の端面の幅Ｗｅは、Ｗｅ＝１１〜１７μｍの範囲で
変化させた。分岐角度α（不図示）＝０．４度である。
出射光導波路５、６の幅ａ₂は、入射光導波路３の幅ａ₁
＝７．５μｍと同じ幅ａ₂＝７．５μｍとした。また、
間隙幅Ｗｇ＝２μｍ、間隙幅Ｌｇ＝３μｍとした。ま
た、釣鐘状光導波路１３の側壁形状を決める曲線とし
て、

【００４１】Ｗ（ｚ）＝Ｗｅ＋Ａ（ｅｘｐ（−τｚ／Ｌｅ）−１）Ａ＝（Ｗｅ−ａ₁）／ｅｘｐ（τ）−１

【００４２】を用いた。ｚ方向は入射光導波路の光導波
方向に平行な方向である。Ｙ分岐光導波路の過剰損失
（（入力光パワー）−（両分岐の出力光パワーの合
計））をＢＰＭ（ビーム伝搬法）により計算した。図４
は、横軸に釣鐘状光導波路１３の端面の幅Ｗｅ（μｍ）
をとり、縦軸に過剰損失（ｄＢ）をとったグラフであ
る。τ＝９としている。図４から明らかなように、過剰
損失が最小の約０．２ｄＢとなるのは、Ｗｅ＝１５μｍ
＜（２×幅ａ₂＋Ｗｇ）＝１７μｍとなる領域にあるこ
とがわかる。また、図４から明らかなように、過剰損失
が０．３ｄＢ以下を実現するには１４≦Ｗｅ≦１６であ
ればよい。図５は、上記の釣鐘状光導波路１３の側壁の
曲線を決める指数関数の指数τを横軸にとり、縦軸に過
剰損失（ｄＢ）をとったグラフである。図５から明らか
なように、指数τが大きくなるとテーパ領域の膨らみが
大きくなるため、損失低減の効果があることがわかる。

【００４３】以上説明したように、本実施の形態による
Ｙ分岐光導波路によれば、スリット構造をとることで埋
め込み特性が改善し、テーパ部の幅Ｗｅや光光射出路の
幅を最適化することでテーパ部から分岐部での電磁界分
布の整合を改善し低損失な分岐導波路を得ることができ
る。

【００４４】Ｙ分岐光導波路での過剰損失は、出射光導
波路とテーパ端の境界部分で生じる光電界分布の不整合
にその原因があり、良好な埋め込み特性を維持しつつこ
の不整合を小さくできることを上記第１及び第２の実施
の形態で示した。上記第１及び第２の実施の形態に示し
たように、埋め込み特性を改善するために間隙を複数設
けた構造を用いつつ、テーパ部の形状や、テーパ端の幅
Ｗｅ、出射光導波路幅ａ₂、間隙幅Ｌｇ、Ｗｇなどの相
互関係を最適化することによって、低損失なＹ分岐光導
波路が得られる。

【００４５】本発明は、上記実施の形態に限らず種々の
変形が可能である。上記第１及び第２の実施の形態で
は、テーパ光導波路１１、１３は端面でのみ最大幅Ｗｅ
になる形状に形成されているが、本発明はこれに限ら
ず、端面から入射光導波路３に向かって所定距離だけテ
ーパ光導波路１１、１３の幅Ｗｅが維持される形状にし
てももちろんよい。このようなテーパ光導波路１１、１
３を用いても上記実施の形態と同様の作用効果を奏する
ことができる。

【００４６】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、埋め込み
特性が改善されると共に、分岐部での光の位相と振幅の
整合を最適化して低損失なＹ分岐光導波路を実現でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態によるＹ分岐光導波
路の概略構成を示す図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態によるＹ分岐光導波
路の構成に基づく効果を示す図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態によるＹ分岐光導波
路の概略構成を示す図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態によるＹ分岐光導波
路の構成に基づく幅Ｗｅの最適範囲を示す図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態によるＹ分岐光導波
路の構成に基づく指数τの最適範囲を示す図である。

【図６】従来のＹ分岐光導波路の概略構成を示す図であ
る。

【図７】従来のＹ分岐光導波路の他の概略構成を示す図
である。

【符号の説明】

１基板２クラッド層３、１０入射光導波路４コア５、６出射光導波路８、９、１４、１５、２２突起部１１テーパ光導波路１３釣鐘状光導波路１６窪み１８拡幅部

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【手続補正書】

【提出日】平成１４年８月２７日（２００２．８．２
７）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】入射光導波路端部に形成され所定角度で幅
が拡がるテーパ光導波路と、所定の分岐角度で前記テーパ光導波路の端面と第１の間
隙を介して対向配置されると共に、第２の間隙を介して
隣り合って配置される第１及び第２の出射光導波路と、前記第１及び第２の間隙を埋め込んで全面に形成された
クラッド層とを備え、前記テーパ光導波路の端面の幅は、前記第１及び第２の
出射光導波路の幅の合計と前記第２の間隙の間隙幅とを
加え合わせた長さより長いことを特徴とするＹ分岐光導
波路。
【請求項２】請求項１記載のＹ分岐光導波路であって、前記テーパ光導波路は、前記第１及び第２の出射光導波
路より外側に形成された突起部を有していることを特徴
とするＹ分岐光導波路。
【請求項３】請求項１又は２に記載のＹ分岐光導波路で
あって、前記テーパ光導波路は、直線状に延びる側壁を有してい
ることを特徴とするＹ分岐光導波路。
【請求項４】入射光導波路端部に形成されて幅が拡がる
テーパ光導波路と、前記テーパ光導波路の端面と第１の間隙を介して対向配
置されると共に、第２の間隙を介して隣り合って配置さ
れる第１及び第２の出射光導波路と、前記第１及び第２の間隙を埋め込んで全面に形成された
クラッド層とを備え、前記テーパ光導波路の端面の幅は、前記第１及び第２の
出射光導波路の幅の合計と前記第２の間隙の間隙幅とを
加え合わせた長さより短いことを特徴とするＹ分岐光導
波路。
【請求項５】請求項４記載のＹ分岐光導波路であって、前記テーパ光導波路は、外側に凸の曲線状に延びる側壁
を有していることを特徴とするＹ分岐光導波路。
【請求項６】請求項５記載のＹ分岐光導波路であって、前記側壁は、指数関数に従う曲線状に形成されているこ
とを特徴とするＹ分岐光導波路。