JP2003179392A - 電子部品実装装置 - Google Patents

電子部品実装装置

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JP2003179392A
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Kazuo Nagae
和男 長江
Hideki Uchida
英樹 内田
Kazuo Kido
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の電子部品保持手段の交換を一括して略
同時に行い、これにより電子部品保持手段の交換動作に
要する時間及び交換回数を削減する。 【解決手段】 電子部品保持ユニット12の交換を行う
際、複数の電子部品保持ユニット12を、ストックステ
ーション15,16によって一括して略同時に電子部品
装着ヘッド11から取り外し、又は取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を電子回
路基板に実装する電子部品実装装置に関し、詳しくはノ
ズルユニット又はメカニカルチャックユニット等の電子
部品保持手段の交換時間又は交換回数を削減し、高スル
ープット化を図るための構造に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、携帯電話やパソコンに代表される
デジタル機器は、時代の要求に伴い高機能化、軽量化、
小型化、薄型化が進んできており、商品サイクルも早く
なってきている。このため、電子部品実装装置には、よ
り一層の高密度化、高性能化とともに、更なる高スルー
プット化生産が要求されている。
【0003】このような要求に応えるべく、従来、図5
及び図6に示すように、電子部品実装装置30として、
電子部品供給部31に供給された電子部品(図示しな
い)を、電子部品装着ヘッド32及びノズルユニット又
はメカニカルチャックユニット33によって、電子回路
基板34に実装するものがある。
【0004】ノズルユニット又はメカニカルチャックユ
ニット33は、電子部品装着ヘッド32に昇降可能に複
数取り付けられており、ノズルユニットでは吸着によっ
て、又はメカニカルチャックユニット33では把持する
ことによって、電子部品を保持する。ノズルユニット又
はメカニカルチャックユニット33は、電子部品の大き
さ、重さに応じて交換される。
【0005】すなわち電子部品実装装置30は、電子部
品を保持したノズルユニット又はメカニカルチャックユ
ニット33を、X―Yロボット35による電子部品装着
ヘッド32の水平移動に伴って、搬送部36によって搬
入された電子回路基板34上の所定の位置まで移動させ
る。そして電子部品実装装置30は、ノズルユニット又
はメカニカルチャックユニット33をそれぞれ、電子回
路基板34に近接する位置まで下降させるとともに、ノ
ズルユニット又はメカニカルチャックユニット33によ
る電子部品の吸着又は把持を解除する。これにより電子
部品実装装置30は、電子部品を電子回路基板34に実
装する。
【0006】このような電子部品実装装置30において
は、電子回路基板34に実装する電子部品に合わせてノ
ズルユニット又はメカニカルチャックユニット33を交
換する際、電子部品装着ヘッド32が、取り付けられて
いるノズルユニット又はメカニカルチャックユニット3
3を、空のストックステーション37の各収納孔37a
に昇降動作に伴って収納させる。
【0007】次に、電子部品装着ヘッド32は、取り付
けられるべきノズルユニット又はメカニカルチャックユ
ニット33が収納されたストックステーション37の上
方に、X−Yロボット35によって移動される。そし
て、電子部品装着ヘッド32は、ストックステーション
37の各収納孔37aに収納されたノズルユニット又は
メカニカルチャックユニット33、すなわち次の工程で
実装される電子部品に対応したノズルユニット又はメカ
ニカルチャックユニット33を、昇降動作に伴って取り
付けられる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし上述した従来の
電子部品実装装置30では、複数のノズルユニット又は
メカニカルチャックユニット33の交換を必要とする場
合には、上述した交換動作を、条件によってはノズルユ
ニット又はメカニカルチャックユニット33の数と同じ
回数繰り返す必要があった。
【0009】したがって、ノズルユニット又はメカニカ
ルチャックユニット33の交換回数が多くなるととも
に、交換に多くの時間を費やしてしまい、高スループッ
ト化生産の妨げとなるという問題があった。
【0010】近年の傾向として、電子部品実装装置で実
装する電子部品の種類は、益々増加傾向にあり、各種の
電子部品の大きさ、重さ等に応じてノズルユニット又は
メカニカルチャックユニットを交換する機会も増えてい
る。このため、上述した問題が重大なものとなってい
る。
【0011】本発明は、複数の電子部品保持手段の交換
を一括して略同時に行うことができ、これにより電子部
品保持手段の交換動作に要する時間及び交換回数を削減
することができる電子部品実装装置を提供することを目
的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、下
記構成により達成される。 電子部品を電子回路基板に実装する電子部品実装装
置において、電子部品を供給する電子部品供給部と、電
子回路基板を搬送する搬送部と、所定方向に移動可能な
電子部品装着ヘッドと、前記電子部品装着ヘッドに着脱
可能に複数設けられ、電子部品を保持可能な電子部品保
持手段と、前記電子部品保持手段を着脱自在に収納する
収納孔を、前記電子部品装着ヘッドの各電子部品保持手
段に対応して複数設けられ、各電子部品保持手段をそれ
ぞれ、前記各収納孔に一括して収納可能であるととも
に、前記各収納孔にそれぞれ収納された各電子部品保持
手段を、前記電子部品装着ヘッドに一括して取り付け可
能な複数のストックステーションとを備えたことを特徴
とする電子部品実装装置。
【0013】 前記各ストックステーションの前記各
収納孔にそれぞれ収納される前記電子部品保持手段を、
前記電子部品装着ヘッドに一括して取り付け可能な所要
の配置に並べ替える並べ替え手段を備えたことを特徴と
する前記記載の電子部品実装装置。
【0014】 前記各ストックステーションをそれぞ
れ、前記電子部品装着ヘッドへの各電子部品保持手段の
着脱を行う着脱位置と、前記並べ替え手段による前記電
子部品保持手段の並べ替えを行う並べ替え位置とに移動
させるストックステーション移動手段を備えたことを特
徴とする前記記載の電子部品実装装置。
【0015】 前記各ストックステーションの各収納
孔のピッチ寸法が、前記電子部品装着ヘッドへの前記各
電子部品保持手段の取付ピッチ寸法と、略同一又は倍数
関係であることを特徴とする前記〜のいずれか記載
の電子部品実装装置。
【0016】 前記各ストックステーションはそれぞ
れ、単体で着脱可能であることを特徴とする前記〜
のいずれか記載の電子部品実装装置。
【0017】
【作用】本発明に係る電子部品実装装置においては、電
子部品装着ヘッド及び電子部品保持手段が、電子部品供
給部に供給された電子部品を、電子回路基板に実装す
る。すなわち、各電子部品保持手段がそれぞれ、電子部
品を保持した状態で、電子部品装着ヘッドが所定方向に
移動され、各電子部品保持手段をそれぞれ、搬送部によ
って搬入された電子回路基板上の所定の位置まで移動さ
せる。そして各電子部品保持手段がそれぞれ、電子部品
の保持を解除することにより、電子部品が電子回路基板
に実装される。
【0018】電子回路基板に実装する電子部品に合わせ
て各電子部品保持手段を交換する際、電子部品装着ヘッ
ドは、取り付けられている各電子部品保持手段をそれぞ
れ、ストックステーションの各収納孔に一括して略同時
に収納させる。次に、電子部品装着ヘッドは、ストック
ステーションの各収納孔に収納された各電子部品保持手
段、すなわち例えば次の工程で実装される電子部品に対
応した各電子部品保持手段をそれぞれ、一括して略同時
に取り付けられる。これにより、各電子部品保持手段の
交換が一括して行われる。
【0019】本発明に係る電子部品実装装置において
は、電子回路基板に実装する電子部品に合わせて各電子
部品保持手段を交換する際、並べ替え手段が、各ストッ
クステーションの各収納孔にそれぞれ収納される電子部
品保持手段を、電子部品装着ヘッドに一括して取り付け
可能な所要の配置に並べ替える。
【0020】本発明に係る電子部品実装装置において
は、電子回路基板に実装する電子部品に合わせて各電子
部品保持手段を交換する際、ストックステーション移動
手段が、各ストックステーションをそれぞれ、電子部品
装着ヘッドへの各電子部品保持手段の着脱を行う着脱位
置に移動させる。また、並べ替え手段による電子部品保
持手段の並べ替えが行われる際、ストックステーション
移動手段が、各ストックステーションをそれぞれ、並べ
替え位置に移動させる。
【0021】本発明に係る電子部品実装装置において
は、各ストックステーションの各収納孔のピッチ寸法
が、電子部品装着ヘッドへの各電子部品保持手段の取付
ピッチ寸法と、略同一又は倍数関係である。例えば倍数
とした場合、すなわち例えば電子部品保持手段が2個
で、収納孔が4個の場合、例えば先端径の小さい電子部
品保持手段が対象であると、電子部品装着ヘッドを電子
部品保持手段の取付ピッチ寸法の半ピッチ分ずらすだけ
で、隣接する収納孔に電子部品保持手段が移動する。
【0022】本発明に係る電子部品実装装置において、
各ストックステーションはそれぞれ、単体で着脱可能で
あるので、例えば電子部品実装装置の外部で電子部品保
持手段を予め適切に配列させたストックステーションと
適宜交換すると、各ストックステーションでの電子部品
保持手段の並べ替えが不要となる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下図示実施形態により、本発明
を説明する。図1は、本発明の一実施形態である電子部
品実装装置を示す要部概略平面図である。また図2は、
図1の電子部品実装装置の電子部品装着ヘッド及びスト
ックステーションを示す側面図であり、図3は、図1の
電子部品実装装置の着脱専用ヘッド及びストックステー
ションを示す側面図である。図4は、図1の電子部品実
装装置のストックステーションを示す側面図であり、
(a)は取り外し前の状態を、(b)は単体で取り外し
た状態をそれぞれ示す。
【0024】図1〜図3を参照すると、電子部品実装装
置10は、電子部品供給部(図示しない)に供給された
電子部品(図示しない)を、電子部品装着ヘッド11及
び電子部品保持ユニット12によって、搬送部(図示し
ない)上の電子回路基板(図示しない)に実装する。電
子部品保持ユニット12は、電子部品装着ヘッド11に
昇降可能に複数(本実施形態では4個)取り付けられて
おり、電子部品の大きさ、重さに応じて交換される。
【0025】すなわち電子部品実装装置10は、電子部
品を各電子部品保持ユニット12によってそれぞれ保持
する。次に、電子部品実装装置10は、X―Yロボット
13による電子部品装着ヘッド11の水平移動に伴っ
て、搬送部によって搬入された電子回路基板上の所定の
位置まで、各電子部品保持ユニット12を移動させる。
そして電子部品実装装置10は、各電子部品保持ユニッ
ト12をそれぞれ、電子回路基板に近接する位置まで下
降させるとともに、各電子部品保持ユニット12による
電子部品の保持を解除する。これにより電子部品実装装
置10は、電子部品を電子回路基板に実装する。
【0026】電子部品供給部は、IC、コネクタ、コン
デンサ、抵抗器等の電子部品を、所定の位置に供給す
る。搬送部は、電子回路基板を所定の位置に搬入し、又
は所定の位置から装置外に搬出する。電子部品装着ヘッ
ド11は、X―Yロボット13によってX方向(図1
中、上下方向)及びY方向(図1中、左右方向)に水平
移動可能、かつ、所定の位置に位置決め可能に設けられ
る。
【0027】各電子部品保持ユニット12はそれぞれ、
電子部品装着ヘッド11に設けられたチャック機構14
の開閉動作により、電子部品装着ヘッド11に着脱可能
に取り付けられる。各電子部品保持ユニット12はそれ
ぞれ、ノズルユニット又はメカニカルチャックユニット
からなり、ノズルユニットによる吸着、又はメカニカル
チャックユニットによる把持によって、電子部品を保持
する。各電子部品保持ユニット12はそれぞれ、電子部
品装着ヘッド11に対してそれぞれ独立(又は同期)し
て昇降動作することにより、電子部品を保持又は解放可
能である。
【0028】電子部品実装装置10には、電子部品装着
ヘッド11への電子部品保持ユニット12の一括受け渡
しを行うため、ストックステーション15,16が設け
られる。
【0029】すなわちストックステーション15,16
は、シリンダ17によってガイドレール18上を図1中
左右方向に移動可能に、図1中上下一対設けられる。す
なわち、各ストックステーション15,16はそれぞ
れ、電子部品装着ヘッド11への電子部品保持ユニット
12の着脱を行う位置(図1中符号Aで示す位置、図2
に示す位置、以下、着脱位置Aという)と、各ストック
ステーション15,16での電子部品保持ユニット12
の並べ替えを行う位置(図1中符号Bで示す位置、図3
に示す位置、以下、並べ替え位置Bという)との間で、
シリンダ17の進退に伴って移動され、各位置A又はB
に位置決めされる。
【0030】各ストックステーション15,16はそれ
ぞれ、図4(a)及び(b)に示すように、シリンダ1
7のシリンダロッド17a先端に固定されたブラケット
19に、着脱可能に嵌合されており、単体で迅速かつ容
易に着脱可能である。
【0031】したがって、例えば電子部品実装装置10
の外部で電子部品保持ユニット12を予め適切に配列さ
せたストックステーションと適宜交換することにより、
後述するX−Yロボット20の着脱専用ヘッド21によ
る各ストックステーション15,16での電子部品保持
ユニット12の並べ替えを不要とすることもできる。
【0032】再び図1〜図3を参照すると、各ストック
ステーション15,16はそれぞれ、電子部品保持ユニ
ット12を着脱自在に収納する収納孔15a,16a
を、電子部品装着ヘッド11の各電子部品保持ユニット
12に対応して複数設けられる。
【0033】収納孔15a,16aの数は、本実施形態
では、電子部品保持ユニット12の数より2個多い6個
であり、余分の2個の収納孔15a,16aは、電子部
品保持ユニット12の並べ替え時の仮置き用として使用
される。各収納孔15a,16aには、電子部品装着ヘ
ッド11に取り付けられる数よりも多種類の電子部品保
持ユニット12を収納することにより、各種バリエーシ
ョンに対応可能となる。
【0034】各ストックステーション15,16の各収
納孔15a,16aのピッチ寸法は、電子部品装着ヘッ
ド11への各電子部品保持ユニット12の取付ピッチ寸
法と略同一又は倍数関係である。例えば倍数とした場
合、すなわち例えば電子部品保持ユニット12が2個
で、収納孔15a,16aが4個の場合、例えば先端径
の小さい電子部品保持ユニット12が対象であると、電
子部品装着ヘッド11を電子部品保持ユニット12の取
付ピッチ寸法の半ピッチ分ずらすだけで、隣接する収納
孔15a,16aに電子部品保持ユニット12を移動さ
せることができる。
【0035】各ストックステーション15,16はそれ
ぞれ、各電子部品保持ユニット12をそれぞれ、各収納
孔15a,16aに一括して受け入れ可能であるととも
に、各収納孔15a,16aにそれぞれ収納された各電
子部品保持ユニット12を、電子部品装着ヘッド11に
一括して送り出し可能である。
【0036】すなわち、図1中上側のストックステーシ
ョン15は、各収納孔15aが空の状態で着脱位置Aに
位置され、電子部品装着ヘッド11に取り付けられてい
る電子部品保持ユニット12を、電子部品装着ヘッド1
1の昇降動作に伴って一括して略同時に受け入れ、各収
納孔15aにそれぞれ収納する。
【0037】電子部品保持ユニット12を受け入れたス
トックステーション15は、並べ替え位置Bに移動され
る。同位置Bにおいて、X−Yロボット20の着脱専用
ヘッド21による電子部品保持ユニット12の並べ替え
が行われる。
【0038】図1中下側のストックステーション16
は、次の工程で実装される電子部品に対応した電子部品
保持ユニット12を、各収納孔16aに収納した状態
で、着脱位置Aに位置され、電子部品装着ヘッド11に
電子部品保持ユニット12を、電子部品装着ヘッド11
の昇降動作に伴って一括して略同時に取り付かせる。
【0039】電子部品保持ユニット12を電子部品装着
ヘッド11に取り付かせて空となったストックステーシ
ョン16は、並べ替え位置Bに移動される。同位置Bに
おいて、X−Yロボット20の着脱専用ヘッド21によ
る電子部品保持ユニット12の並べ替えが行われる。
【0040】X−Yロボット20は、電子部品保持ユニ
ット12を着脱可能な着脱専用ヘッド21を駆動するこ
とにより、並べ替え位置Bにおいて、各ストックステー
ション15,16の各収納孔15a,16aにそれぞれ
収納された電子部品保持ユニット12の並べ替えを行
う。すなわちX−Yロボット20は、次に電子部品装着
ヘッド11に取り付けようとする電子部品保持ユニット
12を、電子部品装着ヘッド11に一括で取り付け可能
な所要の配置に、着脱専用ヘッド21によって並べ替え
る。
【0041】なお、電子部品保持ユニット12の並べ替
え時の仮置き用として、装置外に仮置き台(図示しな
い)を設置することもできる。
【0042】本実施形態の作用を説明する。電子部品実
装装置10において、電子回路基板に実装する電子部品
に合わせて各電子部品保持ユニット12を交換する際、
電子部品装着ヘッド11は、各収納孔15a,16aが
空の状態で着脱位置Aに位置された図1中上側のストッ
クステーション15に、取り付けられている各電子部品
保持ユニット12をそれぞれ、昇降動作に伴って一括し
て略同時に収納させる。
【0043】次に、電子部品装着ヘッド11は、着脱位
置Aに位置された図1中下側のストックステーション1
6の上方に、X−Yロボット13によって移動される。
【0044】そして、電子部品装着ヘッド11は、スト
ックステーション16の各収納孔16aに収納された各
電子部品保持ユニット12、すなわち次の工程で実装さ
れる電子部品に対応した各電子部品保持ユニット12を
それぞれ、昇降動作に伴って一括して略同時に取り付け
られる。これにより、各電子部品保持ユニット12の交
換が一括して行われる。
【0045】なお、上述した全ての動作は、電子部品実
装装置10の稼動中であっても、又は電子回路基板の変
更に伴い、電子部品や電子部品保持ユニット12を交換
する段取り替え時のような、電子部品実装装置10の停
止中であっても、可能である。また、上述の動作は、デ
ータ記憶・演算部(図示しない)への入力データに基づ
いて、電子部品保持ユニット12の交換回数が最小限と
なるように、適切に制御される。
【0046】以上のように上記実施形態によれば、電子
部品保持ユニット12の交換を行う際、複数の電子部品
保持ユニット12が、ストックステーション15,16
によって一括して略同時に電子部品装着ヘッド11から
取り外され、又は取り付けられる。したがって、複数の
電子部品保持ユニット12の交換を、一括して略同時に
行うことができる。これにより、電子部品保持ユニット
12の交換動作に要する時間及び交換回数を削減するこ
とができ、高スループット化生産を実現することができ
る。
【0047】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、各電子部品保
持手段をそれぞれ、各収納孔に一括して収納可能である
とともに、各収納孔にそれぞれ収納された各電子部品保
持手段を、電子部品装着ヘッドに一括して取り付け可能
な複数のストックステーションを備える。したがって、
複数の電子部品保持手段の交換を一括して略同時に行う
ことができる。これにより、電子部品保持手段の交換動
作に要する時間及び交換回数を削減することができ、高
スループット化生産を実現することができる。
【0048】また、請求項2の発明によれば、各ストッ
クステーションの各収納孔にそれぞれ収納される電子部
品保持手段を、電子部品装着ヘッドに一括して取り付け
可能な所要の配置に並べ替える並べ替え手段を備える。
したがって、電子部品保持手段の交換動作に要する時間
及び交換回数を更に削減することができ、更なる高スル
ープット化を図ることができる。
【0049】また、請求項3の発明によれば、各ストッ
クステーションをそれぞれ、電子部品装着ヘッドへの各
電子部品保持手段の着脱を行う着脱位置と、並べ替え手
段による電子部品保持手段の並べ替えを行う並べ替え位
置とに移動させるストックステーション移動手段を備え
る。したがって、電子部品保持手段の交換動作に要する
時間及び交換回数を更に削減することができ、更なる高
スループット化を図ることができる。
【0050】また、請求項4の発明によれば、各ストッ
クステーションの各収納孔のピッチ寸法が、電子部品装
着ヘッドへの各電子部品保持手段の取付ピッチ寸法と、
略同一又は倍数関係である。したがって、例えば倍数と
した場合、すなわち例えば電子部品保持手段が2個で、
収納孔が4個の場合、例えば先端径の小さい電子部品保
持手段が対象であると、電子部品装着ヘッドを電子部品
保持手段の取付ピッチ寸法の半ピッチ分ずらすだけで、
隣接する収納孔に電子部品保持手段を移動させることが
できる。これにより、電子部品装着ヘッドの移動量を最
小限に抑えることができ、動作時間を短縮することがで
きる。
【0051】また、請求項5の発明によれば、各ストッ
クステーションはそれぞれ、単体で着脱可能であるの
で、例えば電子部品実装装置の外部で電子部品保持手段
を予め適切に配列させたストックステーションと適宜交
換することにより、各ストックステーションでの電子部
品保持手段の並べ替えを不要とすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態である電子部品実装装置を
示す要部概略平面図である。
【図2】図1の電子部品実装装置の電子部品装着ヘッド
及びストックステーションを示す側面図である。
【図3】図1の電子部品実装装置の着脱専用ヘッド及び
ストックステーションを示す側面図である。
【図4】図1の電子部品実装装置のストックステーショ
ンを示す側面図である。
【図5】従来の電子部品実装装置を示す全体斜視図であ
る。
【図6】図5の電子部品実装装置の電子部品装着ヘッド
及びストックステーションを示す側面図である。
【符号の説明】
10 電子部品実装装置 11 電子部品装着ヘッド 12 電子部品保持手段(電子部品保持ユニット) 13 X−Yロボット 15,16 ストックステーション 15a,16a 収納孔 17 ストックステーション移動手段(シリンダ) 18 ストックステーション移動手段(ガイドレール) 19 ブラケット 20 並べ替え手段(X−Yロボット) 21 並べ替え手段(着脱専用ヘッド)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 内田 英樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 城戸 一夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5E313 AA01 AA11 EE05 EE24 EE25 EE34 FF24 FF28

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子部品を電子回路基板に実装する電子
    部品実装装置において、 電子部品を供給する電子部品供給部と、 電子回路基板を搬送する搬送部と、 所定方向に移動可能な電子部品装着ヘッドと、 前記電子部品装着ヘッドに着脱可能に複数設けられ、電
    子部品を保持可能な電子部品保持手段と、 前記電子部品保持手段を着脱自在に収納する収納孔を、
    前記電子部品装着ヘッドの各電子部品保持手段に対応し
    て複数設けられ、各電子部品保持手段をそれぞれ、前記
    各収納孔に一括して収納可能であるとともに、前記各収
    納孔にそれぞれ収納された各電子部品保持手段を、前記
    電子部品装着ヘッドに一括して取り付け可能な複数のス
    トックステーションとを備えたことを特徴とする電子部
    品実装装置。
  2. 【請求項2】 前記各ストックステーションの前記各収
    納孔にそれぞれ収納される前記電子部品保持手段を、前
    記電子部品装着ヘッドに一括して取り付け可能な所要の
    配置に並べ替える並べ替え手段を備えたことを特徴とす
    る請求項1記載の電子部品実装装置。
  3. 【請求項3】 前記各ストックステーションをそれぞ
    れ、前記電子部品装着ヘッドへの各電子部品保持手段の
    着脱を行う着脱位置と、前記並べ替え手段による前記電
    子部品保持手段の並べ替えを行う並べ替え位置とに移動
    させるストックステーション移動手段を備えたことを特
    徴とする請求項2記載の電子部品実装装置。
  4. 【請求項4】 前記各ストックステーションの各収納孔
    のピッチ寸法が、前記電子部品装着ヘッドへの前記各電
    子部品保持手段の取付ピッチ寸法と、略同一又は倍数関
    係であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか記載
    の電子部品実装装置。
  5. 【請求項5】 前記各ストックステーションはそれぞ
    れ、単体で着脱可能であることを特徴とする請求項1〜
    4のいずれか記載の電子部品実装装置。
JP2001376992A 2001-12-11 2001-12-11 電子部品実装装置 Expired - Fee Related JP3970009B2 (ja)

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