JP2003163154A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 所定方向へ移動するステージと、該ステージと独立して移動可能なサブステージと、前記ステージを前記所定方向へ加減速する際に駆動力を発生する多相型の第１のアクチュエータと、前記ステージおよび前記サブステージの少なくとも一方に設けられ、前記ステージの等速移動時に前記ステージに前記所定方向への駆動力を発生する単相型の第２のアクチュエータとを有することを特徴とするステージ装置。
2. 前記第１のアクチュエータは１つの固定子に対し前記ステージとサブステージを独立して移動させ得る複数の可動子を有する多相リニアモータであり、前記第２のアクチュエータは前記ステージに前記サブステージに対する駆動力を与える単相リニアモータであることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
3. 所定方向に個別に移動可能な複数のステージと、前記複数のステージを駆動する電磁アクチュエータとを有し、前記電磁アクチュエータは固定子１つに対し複数のステージにそれぞれ締結された複数の可動子を有し、前記複数のステージの少なくとも１対の間はハード的実装手段でつながれていることを特徴とするステージ装置。
4. 前記複数のステージの各々の位置を計測する手段を有することを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
5. 前記複数のステージの少なくとも１対の間で非接触で給電および通信を行なう手段を有することを特徴とする請求項４に記載のステージ装置。
6. 前記複数のステージを案内するための前記所定方向に自由度のあるガイド面を有することを特徴とする請求項４または５に記載のステージ装置。
7. 前記ガイド面が前記電磁アクチュエータの固定子か、または該固定子と機械的に締結された部材に形成されていることを特徴とする請求項６に記載のステージ装置。
8. 前記複数のステージのガイドが共通であることを特徴とする請求項６または７に記載のステージ装置。
9. 前記複数の可動部のガイドが別であることを特徴とする請求項６または７に記載のステージ装置。
10. 前記複数のステージの少なくとも１対の間に互いに力を伝達可能な第２のアクチュエータを有することを特徴とする請求項４〜９のいずれか１つに記載のステージ装置。
11. 原版のパターンの一部を投影光学系を介して基板上に投影し、前記原版のパターンの所定の露光領域を前記基板上に露光する露光手段と、前記露光のために前記原版および／または基板を移動させる請求項１〜１０のいずれか１つに記載のステージを備えていることを特徴とする露光装置。
12. 請求項１１に記載の露光装置を含む各種プロセス用の製造装置群を半導体製造工場に設置する工程と、該製造装置群を用いて複数のプロセスによって半導体デバイスを製造する工程とを有することを特徴とする半導体デバイス製造方法。