JP2003161858A - 石英系光導波路素子と光ファイバとの融着接続方法及び装置 - Google Patents
石英系光導波路素子と光ファイバとの融着接続方法及び装置Info
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- JP2003161858A JP2003161858A JP2001360743A JP2001360743A JP2003161858A JP 2003161858 A JP2003161858 A JP 2003161858A JP 2001360743 A JP2001360743 A JP 2001360743A JP 2001360743 A JP2001360743 A JP 2001360743A JP 2003161858 A JP2003161858 A JP 2003161858A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クラッドに不純物濃度の高い多成分系ガラス
をもつ石英系光導波路素子と光ファイバとを気泡を発生
させることなく融着接続できる融着接続方法を提供す
る。 【解決手段】 石英系光導波路素子６と光ファイバ９と
を加圧チャンバ４内に設置し、加圧チャンバ４内の気圧
を大気圧よりも高くするように上昇させ、石英系光導波
路素子６と光ファイバ９とを加熱により融着するもので
ある。
をもつ石英系光導波路素子と光ファイバとを気泡を発生
させることなく融着接続できる融着接続方法を提供す
る。 【解決手段】 石英系光導波路素子６と光ファイバ９と
を加圧チャンバ４内に設置し、加圧チャンバ４内の気圧
を大気圧よりも高くするように上昇させ、石英系光導波
路素子６と光ファイバ９とを加熱により融着するもので
ある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス導波路素子
と光ファイバとの融着接続方法に関するものである。
と光ファイバとの融着接続方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、一般的な石英系光導波路素子の
断面構造を示す図である。
断面構造を示す図である。
【０００３】図２に示すように、一般に石英系光導波路
素子６は、石英基板からなる下部クラッド３と、石英系
のガラスにＴi、Ｇeなどの不純物を添加して屈折率を高
くしてあるコア１ａ，１ｂと、ＳiＯ2を主成分とするガ
ラスにＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加してなる多成分系ガラスか
らなる上部クラッド２とで構成されている。
素子６は、石英基板からなる下部クラッド３と、石英系
のガラスにＴi、Ｇeなどの不純物を添加して屈折率を高
くしてあるコア１ａ，１ｂと、ＳiＯ2を主成分とするガ
ラスにＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加してなる多成分系ガラスか
らなる上部クラッド２とで構成されている。
【０００４】上部クラッド２は、火炎堆積法を用いて成
膜されている。
膜されている。
【０００５】火炎堆積法とは、ＳiＣl4、ＢＣl4、ＰＣl
4からなる原料ガスを酸水素炎中で加熱し、加水分解す
ることで生成されるガラス微粒子（ＳiＯ2を主成分とし
Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を含有する）を石英基板上に堆積し、１
３００℃以上の高温において焼結し透明ガラス化する方
法である。
4からなる原料ガスを酸水素炎中で加熱し、加水分解す
ることで生成されるガラス微粒子（ＳiＯ2を主成分とし
Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を含有する）を石英基板上に堆積し、１
３００℃以上の高温において焼結し透明ガラス化する方
法である。
【０００６】一般に火炎堆積法で成膜する多成分系ガラ
スは、不純物濃度が高くなると軟化温度が下がり、焼結
温度における粘度が低下する。
スは、不純物濃度が高くなると軟化温度が下がり、焼結
温度における粘度が低下する。
【０００７】この性質を利用して例えばコア１ａ，１ｂ
のようにコア間隙が狭い光回路パターンを有する光導波
路素子６を製作するとき、コア間隙を完全に埋め込むた
めに上部クラッド２となる多成分系ガラスの不純物濃度
を高く設定することがある。
のようにコア間隙が狭い光回路パターンを有する光導波
路素子６を製作するとき、コア間隙を完全に埋め込むた
めに上部クラッド２となる多成分系ガラスの不純物濃度
を高く設定することがある。
【０００８】ただし、多成分系ガラスの不純物濃度を高
くしすぎると、石英基板と多成分系ガラスとの熱膨張率
の差から焼結後の石英基板に大きな反りが発生し、基板
の割れ、ガラス膜の剥離等の原因となることがあり、多
成分系ガラスに添加する不純物濃度には上限がある。
くしすぎると、石英基板と多成分系ガラスとの熱膨張率
の差から焼結後の石英基板に大きな反りが発生し、基板
の割れ、ガラス膜の剥離等の原因となることがあり、多
成分系ガラスに添加する不純物濃度には上限がある。
【０００９】一方、石英系光導波路素子６を光通信シス
テムに利用する場合には光ファイバとの接続が必要とな
る。この接続方法の一つに石英系光導波路素子６と光フ
ァイバとを溶融一体化して永久接続する融着接続法があ
る。融着接続法は、接続部での反射戻り光がほとんど発
生しないことや、温度変化による結合効率の変動がほと
んどないことが特徴であり、高い信頼性が求められる用
途への利用が進められている。
テムに利用する場合には光ファイバとの接続が必要とな
る。この接続方法の一つに石英系光導波路素子６と光フ
ァイバとを溶融一体化して永久接続する融着接続法があ
る。融着接続法は、接続部での反射戻り光がほとんど発
生しないことや、温度変化による結合効率の変動がほと
んどないことが特徴であり、高い信頼性が求められる用
途への利用が進められている。
【００１０】図３は一般的な石英系光導波路素子６と光
ファイバ９との融着接続方法を示した図である。石英系
光導波路素子６に形成された光回路と、光ファイバ９と
を融着接続する場合、石英系光導波路素子６端面と光フ
ァイバ９とを突き合わせ、その突き合わせ部分１１にレ
ーザ光１０を照射し、突き合わせ部分１１を加熱融解す
ることにより融着接続を行っている。
ファイバ９との融着接続方法を示した図である。石英系
光導波路素子６に形成された光回路と、光ファイバ９と
を融着接続する場合、石英系光導波路素子６端面と光フ
ァイバ９とを突き合わせ、その突き合わせ部分１１にレ
ーザ光１０を照射し、突き合わせ部分１１を加熱融解す
ることにより融着接続を行っている。
【００１１】この場合、レーザ光１０の出力、照射時
間、照射間隔等の条件のほかに融着の対象となる石英系
光導波路素子６の上部クラッド２の不純物濃度条件は予
め決められている。
間、照射間隔等の条件のほかに融着の対象となる石英系
光導波路素子６の上部クラッド２の不純物濃度条件は予
め決められている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、石英系光導
波路素子６の上部クラッド２となる多成分系ガラスは一
般に不純物濃度が高くなると軟化温度が下がると共に、
膜中に溶解するＯ2、Ｈe等のガス成分が増加するため、
レーザ照射によって石英系光導波路素子６端面と光ファ
イバ９との突き合わせ部分１１を溶解したときに石英系
光導波路素子６のクラッド２に溶解しきれなくなったガ
ス成分が気泡となって発生し易くなる。
波路素子６の上部クラッド２となる多成分系ガラスは一
般に不純物濃度が高くなると軟化温度が下がると共に、
膜中に溶解するＯ2、Ｈe等のガス成分が増加するため、
レーザ照射によって石英系光導波路素子６端面と光ファ
イバ９との突き合わせ部分１１を溶解したときに石英系
光導波路素子６のクラッド２に溶解しきれなくなったガ
ス成分が気泡となって発生し易くなる。
【００１３】気泡が発生すると、融着部に気泡が残留
し、融着部の接続強度が低下し、さらに接続損失が増加
してしまう問題があった。
し、融着部の接続強度が低下し、さらに接続損失が増加
してしまう問題があった。
【００１４】このため、不純物濃度を高くして軟化温度
を下げた多成分系ガラスに対しては融着接続を適用でき
ないという課題があった。
を下げた多成分系ガラスに対しては融着接続を適用でき
ないという課題があった。
【００１５】そこで、本発明の目的は上記課題を解決
し、クラッドに不純物濃度の高い多成分系ガラスをもつ
石英系光導波路素子と光ファイバとを気泡を発生させる
ことなく融着接続できる融着接続方法とその装置を提供
することにある。
し、クラッドに不純物濃度の高い多成分系ガラスをもつ
石英系光導波路素子と光ファイバとを気泡を発生させる
ことなく融着接続できる融着接続方法とその装置を提供
することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、石英系光導波路素子と光ファイバとを加圧
チャンバ内に設置し、該加圧チャンバ内の気圧を大気圧
よりも高くするように上昇させ、上記石英系光導波路素
子と上記光ファイバとを加熱により融着するものであ
る。
に本発明は、石英系光導波路素子と光ファイバとを加圧
チャンバ内に設置し、該加圧チャンバ内の気圧を大気圧
よりも高くするように上昇させ、上記石英系光導波路素
子と上記光ファイバとを加熱により融着するものであ
る。
【００１７】また、上記石英系光導波路素子の上部クラ
ッドを、ＳiＯ2にＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加してなる多成分
系ガラスで形成し、かつ、上記Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5の成分比
をそれぞれ多成分系ガラス全体に対して８％〜１０％と
するとよい。
ッドを、ＳiＯ2にＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加してなる多成分
系ガラスで形成し、かつ、上記Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5の成分比
をそれぞれ多成分系ガラス全体に対して８％〜１０％と
するとよい。
【００１８】融着接続装置は、石英系光導波路素子と光
ファイバとを気密に収容する加圧チャンバと、該加圧チ
ャンバ内の気圧を少なくとも大気圧よりも高い気圧に上
昇させるための加圧手段と、上記加圧チャンバに設けら
れ上記石英系光導波路素子と光ファイバとを融着接続す
るためのレーザ光を上記加圧チャンバ外から導入するた
めの窓とを備えて構成した。
ファイバとを気密に収容する加圧チャンバと、該加圧チ
ャンバ内の気圧を少なくとも大気圧よりも高い気圧に上
昇させるための加圧手段と、上記加圧チャンバに設けら
れ上記石英系光導波路素子と光ファイバとを融着接続す
るためのレーザ光を上記加圧チャンバ外から導入するた
めの窓とを備えて構成した。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の好適実施の形態を添付図
面に基づいて詳述する。
面に基づいて詳述する。
【００２０】図１は、融着接続装置１２の側断面図を示
すものである。
すものである。
【００２１】図１に示すように、融着接続装置１２は、
石英系光導波路素子６と光ファイバ９とを気密に収容す
る加圧チャンバ４と、加圧チャンバ４内の気圧を少なく
とも大気圧よりも高い気圧に上昇させるための加圧手段
１３とからなる。
石英系光導波路素子６と光ファイバ９とを気密に収容す
る加圧チャンバ４と、加圧チャンバ４内の気圧を少なく
とも大気圧よりも高い気圧に上昇させるための加圧手段
１３とからなる。
【００２２】加圧チャンバ４は、円筒の両端を気密に塞
いだ形状に形成されており、加圧チャンバ４の周面には
Ｚn-Ｓeで形成された窓５が設けられている。
いだ形状に形成されており、加圧チャンバ４の周面には
Ｚn-Ｓeで形成された窓５が設けられている。
【００２３】窓５は、石英系光導波路素子６と光ファイ
バ９とを融着接続するためのレーザ光１０を加圧チャン
バ４外から導入するためのものであり、具体的には加圧
チャンバ４の上端に気密に設けられている。
バ９とを融着接続するためのレーザ光１０を加圧チャン
バ４外から導入するためのものであり、具体的には加圧
チャンバ４の上端に気密に設けられている。
【００２４】レーザ光１０は、加圧チャンバ４外の図示
しない光源から照射されるようになっており、具体的に
はＣＯ2レーザからなる。
しない光源から照射されるようになっており、具体的に
はＣＯ2レーザからなる。
【００２５】また、加圧チャンバ４内には、石英系光導
波路素子６と光ファイバ９とを突き合わせた状態で留め
るための固定治具８が着脱自在に設けられている。
波路素子６と光ファイバ９とを突き合わせた状態で留め
るための固定治具８が着脱自在に設けられている。
【００２６】固定治具８は、レーザ光１０の照射に支障
がないように窓５に臨む位置、すなわち、窓５に直径線
上で向かい合う位置（直下位置）に装着されるようにな
っており、石英系光導波路素子６に加熱するための予備
加熱用のヒータ７を有する。
がないように窓５に臨む位置、すなわち、窓５に直径線
上で向かい合う位置（直下位置）に装着されるようにな
っており、石英系光導波路素子６に加熱するための予備
加熱用のヒータ７を有する。
【００２７】ヒータ７は、具体的にはセラミックスヒー
タ７からなり、光導波路素子６の裏側に密着するように
なっている。そして、石英系光導波路素子６及び光ファ
イバ９の溶融温度が高くなる高圧下において、レーザ光
１０だけでは不足する熱量を補うようになっている。
タ７からなり、光導波路素子６の裏側に密着するように
なっている。そして、石英系光導波路素子６及び光ファ
イバ９の溶融温度が高くなる高圧下において、レーザ光
１０だけでは不足する熱量を補うようになっている。
【００２８】加圧手段１３は、圧縮機１５からなる。圧
縮機１５は、エア配管１６を介して加圧チャンバ４に接
続されており、加圧チャンバ４内に圧気を送り込めるよ
うになっている。
縮機１５は、エア配管１６を介して加圧チャンバ４に接
続されており、加圧チャンバ４内に圧気を送り込めるよ
うになっている。
【００２９】次に作用を述べる。
【００３０】不純物濃度の高い多成分系ガラスを用いて
形成された石英系光導波路素子６の端面と光ファイバ９
とを突き合わせ、固定治具８に設置する。固定治具８
は、石英系光導波路素子６の端面と光ファイバ９とを互
いに突き合わせた状態で留める。
形成された石英系光導波路素子６の端面と光ファイバ９
とを突き合わせ、固定治具８に設置する。固定治具８
は、石英系光導波路素子６の端面と光ファイバ９とを互
いに突き合わせた状態で留める。
【００３１】この後、固定治具８を加圧チャンバ４内の
所定の位置に装着し、加圧チャンバ４を気密に閉じる。
所定の位置に装着し、加圧チャンバ４を気密に閉じる。
【００３２】圧縮機１５を作動させ、加圧チャンバ４内
の気圧が大気圧よりも高い所定の気圧になったら、セラ
ミックスヒータ７に通電して石英系光導波路素子６に熱
を加えつつ、石英系光導波路素子６と光ファイバ９との
突き合わせ部分１１にレーザ光１０を照射する。レーザ
光１０の照射は、加圧チャンバ４の外から窓５を通じて
行う。
の気圧が大気圧よりも高い所定の気圧になったら、セラ
ミックスヒータ７に通電して石英系光導波路素子６に熱
を加えつつ、石英系光導波路素子６と光ファイバ９との
突き合わせ部分１１にレーザ光１０を照射する。レーザ
光１０の照射は、加圧チャンバ４の外から窓５を通じて
行う。
【００３３】このとき、加圧チャンバ４内の気圧は高い
ため、石英系光導波路素子６と光ファイバ９は大気圧下
での溶融温度より高い温度でなければ溶融しないように
なっているが、セラミックスヒータ７からも加熱されて
いるため容易に溶融される。
ため、石英系光導波路素子６と光ファイバ９は大気圧下
での溶融温度より高い温度でなければ溶融しないように
なっているが、セラミックスヒータ７からも加熱されて
いるため容易に溶融される。
【００３４】また、気圧が高い環境下では多成分系ガラ
スに溶解しているＯ2、Ｈe等のガス成分もほとんど気化
せず、融着接続される突き合わせ部分１１に気泡が発生
することもない。
スに溶解しているＯ2、Ｈe等のガス成分もほとんど気化
せず、融着接続される突き合わせ部分１１に気泡が発生
することもない。
【００３５】石英系光導波路素子６と光ファイバ９とが
融着されたら、レーザ光１０の照射を止めると共に、セ
ラミックスヒータ７への通電を止める。
融着されたら、レーザ光１０の照射を止めると共に、セ
ラミックスヒータ７への通電を止める。
【００３６】加圧チャンバ４内の内圧を高圧に維持した
まま石英系光導波路素子６と光ファイバ９とを自然に冷
ますことで、石英系光導波路素子６と光ファイバ９とは
気泡のない状態で融着接続される。
まま石英系光導波路素子６と光ファイバ９とを自然に冷
ますことで、石英系光導波路素子６と光ファイバ９とは
気泡のない状態で融着接続される。
【００３７】このように、石英系光導波路素子６と光フ
ァイバ９とを加圧チャンバ４内に設置し、加圧チャンバ
４内の気圧を大気圧よりも高くするように上昇させ、石
英系光導波路素子６と光ファイバ９とを加熱により融着
するようにしたため、不純物濃度の高い多成分系ガラス
を用いて形成された石英系光導波路素子６と光ファイバ
９とを気泡を発生させることなく良好に融着接続するこ
とができる。
ァイバ９とを加圧チャンバ４内に設置し、加圧チャンバ
４内の気圧を大気圧よりも高くするように上昇させ、石
英系光導波路素子６と光ファイバ９とを加熱により融着
するようにしたため、不純物濃度の高い多成分系ガラス
を用いて形成された石英系光導波路素子６と光ファイバ
９とを気泡を発生させることなく良好に融着接続するこ
とができる。
【００３８】また、融着接続装置１２を、石英系光導波
路素子６と光ファイバ９とを気密に収容する加圧チャン
バ４と、加圧チャンバ４内の気圧を少なくとも大気圧よ
りも高い気圧に上昇させるための加圧手段１３と、加圧
チャンバ４に設けられ石英系光導波路素子６と光ファイ
バ４とを融着接続するためのレーザ光１０を加圧チャン
バ４外から導入するための窓５とを備えて構成したた
め、不純物濃度の高い多成分系ガラスを用いて形成され
た石英系光導波路素子６と光ファイバ９とを容易に融着
接続することができる。
路素子６と光ファイバ９とを気密に収容する加圧チャン
バ４と、加圧チャンバ４内の気圧を少なくとも大気圧よ
りも高い気圧に上昇させるための加圧手段１３と、加圧
チャンバ４に設けられ石英系光導波路素子６と光ファイ
バ４とを融着接続するためのレーザ光１０を加圧チャン
バ４外から導入するための窓５とを備えて構成したた
め、不純物濃度の高い多成分系ガラスを用いて形成され
た石英系光導波路素子６と光ファイバ９とを容易に融着
接続することができる。
【００３９】本発明の効果を検証すべく実験を行ったの
で、実験結果について述べる。
で、実験結果について述べる。
【００４０】実験に用いる石英系光導波路素子６は、図
２に示すように、石英基板からなる下部クラッド３上に
導波路コア１ａ，１ｂとなるガラス膜をＥＢ蒸着法を用
いて厚さ８μｍに成膜し、この下部クラッド３上にフォ
トリソグラフィ技術を用いて光回路パターンを形成し、
この光回路パターンの上に火炎堆積法を用いて上部クラ
ッド２となる多成分系ガラスを成膜することで形成し
た。
２に示すように、石英基板からなる下部クラッド３上に
導波路コア１ａ，１ｂとなるガラス膜をＥＢ蒸着法を用
いて厚さ８μｍに成膜し、この下部クラッド３上にフォ
トリソグラフィ技術を用いて光回路パターンを形成し、
この光回路パターンの上に火炎堆積法を用いて上部クラ
ッド２となる多成分系ガラスを成膜することで形成し
た。
【００４１】このとき成膜した多成分系ガラスは、Ｓi
Ｏ2を主成分とするＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加したもので、
それぞれの成分比は多成分系ガラス全体に対し８％、８
％とした。
Ｏ2を主成分とするＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加したもので、
それぞれの成分比は多成分系ガラス全体に対し８％、８
％とした。
【００４２】多成分系ガラスの不純物濃度は石英基板と
多成分系ガラスの熱膨張率差による反り発生の問題のた
めに上限があり、上限は一般にＳiＯ2を主成分とするＢ
2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加した多成分系ガラスの場合、多成分
系ガラス全体に対しＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5をそれぞれ１０％づ
つ程度である。
多成分系ガラスの熱膨張率差による反り発生の問題のた
めに上限があり、上限は一般にＳiＯ2を主成分とするＢ
2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加した多成分系ガラスの場合、多成分
系ガラス全体に対しＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5をそれぞれ１０％づ
つ程度である。
【００４３】実験は図１に示す融着接続装置１２を用い
て行った。
て行った。
【００４４】まず、前記の方法により製作した石英系光
導波路素子６の端面と光ファイバ９とを突き合わせ、両
者を固定した後、加圧チャンバ４内に設置した。
導波路素子６の端面と光ファイバ９とを突き合わせ、両
者を固定した後、加圧チャンバ４内に設置した。
【００４５】加圧チャンバ４内の圧力を１２０００ｈＰ
ａ（大気圧の約１２倍）とした後、セラミックスヒータ
７を約５００℃に通電加熱し、レーザ光（ＣＯ2レー
ザ）１０を出力８Ｗで光導波路素子６と光ファイバ９と
の突き合わせ部１１に照射した。
ａ（大気圧の約１２倍）とした後、セラミックスヒータ
７を約５００℃に通電加熱し、レーザ光（ＣＯ2レー
ザ）１０を出力８Ｗで光導波路素子６と光ファイバ９と
の突き合わせ部１１に照射した。
【００４６】このようにして融着接続が完了した後、加
圧チャンバ４内圧力を保持したまま、予備加熱用のセラ
ミックスヒータ７を切り、１時間の冷却を行った。
圧チャンバ４内圧力を保持したまま、予備加熱用のセラ
ミックスヒータ７を切り、１時間の冷却を行った。
【００４７】この結果、融着接続部分に気泡は残らず、
接続損失は０．３ｄＢ、平均引張強度は１０００ｇであ
り、良好に融着接続されていることが確認できた。
接続損失は０．３ｄＢ、平均引張強度は１０００ｇであ
り、良好に融着接続されていることが確認できた。
【００４８】そして、上部クラッド２を、ＳiＯ2にＢ2
Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加してなる多成分系ガラスで形成し、
かつ、上記Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5の成分比をそれぞれ多成分系
ガラス全体に対して８％〜１０％とした石英系光導波路
素子６に対しては、光ファイバ９を極めて有効に融着接
続できることが認められた。
Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加してなる多成分系ガラスで形成し、
かつ、上記Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5の成分比をそれぞれ多成分系
ガラス全体に対して８％〜１０％とした石英系光導波路
素子６に対しては、光ファイバ９を極めて有効に融着接
続できることが認められた。
【００４９】一方、加圧チャンバ４内の圧力を大気圧
（１０１３ｈＰａ）とした以外は同様の方法、同様の条
件で融着接続を行ってみた。
（１０１３ｈＰａ）とした以外は同様の方法、同様の条
件で融着接続を行ってみた。
【００５０】その結果、融着接続部分に気泡が発生し、
接続損失は０．５ｄＢから１．０ｄＢで大きくばらつ
き、平均引張強度は４００ｇであった。
接続損失は０．５ｄＢから１．０ｄＢで大きくばらつ
き、平均引張強度は４００ｇであった。
【００５１】これにより、石英系光導波路素子６と光フ
ァイバ９との融着接続は少なくとも大気圧よりも高い圧
力中で行うことが必要であることが確認された。
ァイバ９との融着接続は少なくとも大気圧よりも高い圧
力中で行うことが必要であることが確認された。
【００５２】なお、窓５はＺn-Ｓeで形成するものとし
たがこれに限るものではない、加圧チャンバ内の高圧に
耐え、レーザ光１０を良好に透過するものであれば他の
材質であってもよい。
たがこれに限るものではない、加圧チャンバ内の高圧に
耐え、レーザ光１０を良好に透過するものであれば他の
材質であってもよい。
【００５３】また、加圧手段１３は、圧縮機１５に限る
ものではない。加圧チャンバ４内を所定の圧力に高めら
れるものであれば、ガスボンベ等他のものであってもよ
い。
ものではない。加圧チャンバ４内を所定の圧力に高めら
れるものであれば、ガスボンベ等他のものであってもよ
い。
【００５４】この場合、ガスは特に低い発火点で燃焼す
るなど融着を妨げるものでなければ窒素、空気、二酸化
炭素、酸素等どのようなものであってもよい。
るなど融着を妨げるものでなければ窒素、空気、二酸化
炭素、酸素等どのようなものであってもよい。
【００５５】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を奏する。 （１）クラッドに不純物濃度の高い多成分系ガラスをも
つ石英系光導波路素子と光ファイバとを気泡を発生させ
ることなく融着接続できる。
な優れた効果を奏する。 （１）クラッドに不純物濃度の高い多成分系ガラスをも
つ石英系光導波路素子と光ファイバとを気泡を発生させ
ることなく融着接続できる。
【図１】本発明の好適実施の形態を示す加圧チャンバの
側断面図である。
側断面図である。
【図２】一般的な石英系光導波路素子の断面構造を示す
概略説明図である。
概略説明図である。
【図３】一般的な融着接続方法を示す概略説明図であ
る。
る。
２ 上部クラッド
４ 加圧チャンバ
５ 窓
６ 石英系光導波路素子
９ 光ファイバ
１０ レーザ光
１２ 融着接続装置
１３ 加圧手段
Claims (3)
- 【請求項１】 石英系光導波路素子と光ファイバとを加
圧チャンバ内に設置し、該加圧チャンバ内の気圧を大気
圧よりも高くするように上昇させ、上記石英系光導波路
素子と上記光ファイバとを加熱により融着することを特
徴とする石英系光導波路素子と光ファイバとの融着接続
方法。 - 【請求項２】 上記石英系光導波路素子の上部クラッド
を、ＳiＯ2にＢ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5を添加してなる多成分系ガ
ラスで形成し、かつ、上記Ｂ2Ｏ3、Ｐ2Ｏ5の成分比をそ
れぞれ多成分系ガラス全体に対して８％〜１０％とした
請求項１に記載の石英系光導波路素子と光ファイバとの
融着接続方法。 - 【請求項３】 石英系光導波路素子と光ファイバとを気
密に収容する加圧チャンバと、該加圧チャンバ内の気圧
を少なくとも大気圧よりも高い気圧に上昇させるための
加圧手段と、上記加圧チャンバに設けられ上記石英系光
導波路素子と光ファイバとを融着接続するためのレーザ
光を上記加圧チャンバ外から導入するための窓とを備え
たことを特徴とする融着接続装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001360743A JP3823812B2 (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | 石英系光導波路素子と光ファイバとの融着接続方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001360743A JP3823812B2 (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | 石英系光導波路素子と光ファイバとの融着接続方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003161858A true JP2003161858A (ja) | 2003-06-06 |
| JP3823812B2 JP3823812B2 (ja) | 2006-09-20 |
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ID=19171504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001360743A Expired - Fee Related JP3823812B2 (ja) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | 石英系光導波路素子と光ファイバとの融着接続方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3823812B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007004506A1 (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-11 | Topcon Corporation | 光部品およびその製造方法 |
-
2001
- 2001-11-27 JP JP2001360743A patent/JP3823812B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007004506A1 (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-11 | Topcon Corporation | 光部品およびその製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3823812B2 (ja) | 2006-09-20 |
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