JP2003155988A - ドライ真空ポンプおよびドライ真空ポンプの省エネ方法 - Google Patents
ドライ真空ポンプおよびドライ真空ポンプの省エネ方法Info
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- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
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- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04C2220/10—Vacuum
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来よりも更に消費電力を小とするドライ真
空ポンプを提供すること。 【解決手段】 最後段の排気室内に補助ポンプを接続さ
せたこと。
空ポンプを提供すること。 【解決手段】 最後段の排気室内に補助ポンプを接続さ
せたこと。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はドライ真空ポンプ、
特に省エネ型のドライ真空ポンプに関する。
特に省エネ型のドライ真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来例の多段式ルーツ型のドライ
真空ポンプ１を示すものであるが、図において本体２内
にはモータ３の回転軸によって回転駆動されるロータ
５、６、７、８、９、１０が図７及び図８で示すように
一対で成るが、これらが相反する方向に駆動される。最
終段のロータ１０が排気する最終段の排気空間には、サ
イレンサを兼ねる排気配管１２が接続されており、これ
の出口は逆止弁１３に接続されている。公知のように、
各ロータ１乃至１０の各対が相反する方向に回動するこ
とにより、吸入孔４より、これに接続される真空室を排
気し、排気ガスは排気配管１２を通り逆止弁１３を開弁
させて大気に吐出される。ロータは前段から後段に向か
うにつれて容積を小さくし、また後段の２つのロータ
９、１０は図７に示すように五葉とされている。このよ
うな後段のロータを小さくすることにより、この多段式
ルーツ型のドライ真空ポンプ１の消費電力を小としてい
る。すなわち、後段側では必要な排気容量が前段より小
さくなっているので、排気容量に合わせてロータを小さ
くして消費電力を小さくしている。
真空ポンプ１を示すものであるが、図において本体２内
にはモータ３の回転軸によって回転駆動されるロータ
５、６、７、８、９、１０が図７及び図８で示すように
一対で成るが、これらが相反する方向に駆動される。最
終段のロータ１０が排気する最終段の排気空間には、サ
イレンサを兼ねる排気配管１２が接続されており、これ
の出口は逆止弁１３に接続されている。公知のように、
各ロータ１乃至１０の各対が相反する方向に回動するこ
とにより、吸入孔４より、これに接続される真空室を排
気し、排気ガスは排気配管１２を通り逆止弁１３を開弁
させて大気に吐出される。ロータは前段から後段に向か
うにつれて容積を小さくし、また後段の２つのロータ
９、１０は図７に示すように五葉とされている。このよ
うな後段のロータを小さくすることにより、この多段式
ルーツ型のドライ真空ポンプ１の消費電力を小としてい
る。すなわち、後段側では必要な排気容量が前段より小
さくなっているので、排気容量に合わせてロータを小さ
くして消費電力を小さくしている。
【０００３】これにつき更に説明すれば、図９に示すよ
うに各ロータが同じ大きさであれば、図１２で示すよう
に吸入圧力に対し排気速度はａに示すように変化する
が、図１０で示すように前段の２つは同じ大きさとし、
中段はこれより小さく、更に後段の２つのロータは更に
小さくすれば、吸入圧力と排気速度との関係はｂのよう
に変化する。更に図１１で示すように、最後段のロータ
を更に小さくすれば、図１２においてｃで示すように排
気速度は変化する。図１３はこれら図９、１０及び図１
１の場合の吸入圧力に対する消費電力を示しているが、
ｃ’、ｂ’、ａ’で示すように、消費電力は図１１の場
合が最も小さく、次いで図１０が続き、図９が最も大き
い。
うに各ロータが同じ大きさであれば、図１２で示すよう
に吸入圧力に対し排気速度はａに示すように変化する
が、図１０で示すように前段の２つは同じ大きさとし、
中段はこれより小さく、更に後段の２つのロータは更に
小さくすれば、吸入圧力と排気速度との関係はｂのよう
に変化する。更に図１１で示すように、最後段のロータ
を更に小さくすれば、図１２においてｃで示すように排
気速度は変化する。図１３はこれら図９、１０及び図１
１の場合の吸入圧力に対する消費電力を示しているが、
ｃ’、ｂ’、ａ’で示すように、消費電力は図１１の場
合が最も小さく、次いで図１０が続き、図９が最も大き
い。
【０００４】以上のようにして省エネが行われるのであ
るが、この省エネの別の方式としては、モータ３を排気
容量に応じて制御することにより消費電力を小さくする
ことも考えられている。
るが、この省エネの別の方式としては、モータ３を排気
容量に応じて制御することにより消費電力を小さくする
ことも考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のような
問題点に鑑みてなされ、更に省エネを行うことができる
ドライ真空ポンプを提供することを課題とする。
問題点に鑑みてなされ、更に省エネを行うことができる
ドライ真空ポンプを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】以上の課題は、最後段の
排気室内に補助ポンプを接続させたことを特徴とするド
ライ真空ポンプ、又は、ドライ真空ポンプの排気配管に
並列に補助ポンプを設けることによりドライ真空ポンプ
の消費電力を低減するようにしたことを特徴とするドラ
イ真空ポンプの省エネ方法、又は、中間段の排気室内に
補助ポンプを接続させたことを特徴とするドライ真空ポ
ンプ、又は、ドライ真空ポンプの中間段の排気室内に補
助ポンプを接続させることによりドライ真空ポンプの消
費電力を低減するようにしたことを特徴とするドライ真
空ポンプの省エネ方法、によって解決される。
排気室内に補助ポンプを接続させたことを特徴とするド
ライ真空ポンプ、又は、ドライ真空ポンプの排気配管に
並列に補助ポンプを設けることによりドライ真空ポンプ
の消費電力を低減するようにしたことを特徴とするドラ
イ真空ポンプの省エネ方法、又は、中間段の排気室内に
補助ポンプを接続させたことを特徴とするドライ真空ポ
ンプ、又は、ドライ真空ポンプの中間段の排気室内に補
助ポンプを接続させることによりドライ真空ポンプの消
費電力を低減するようにしたことを特徴とするドライ真
空ポンプの省エネ方法、によって解決される。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図１〜図５を参照して説明する。なお、これら図にお
いては、従来例でその構造を明示したのでロータ等は簡
略化して示す。すなわち、図１に示す第１の実施の形態
では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０の本体２
１内には、モータ２２により回転駆動される、それぞれ
一対のロータＲ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 、Ｒ5 及びＲ
6 （例えば図８で示す形状とする）が設けられている。
また本体２１の左端上壁部には吸込口２３が設けられて
おり、最終段のロータＲ6 が排気する排気空間２４は、
サイレンサ２６を備えた排気配管２５が接続され、更に
配管２７を介して逆止弁２８に接続されている。この逆
止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして
本発明の第１の実施の形態によれば、最終排気空間２４
にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０が接続され
ている。
て図１〜図５を参照して説明する。なお、これら図にお
いては、従来例でその構造を明示したのでロータ等は簡
略化して示す。すなわち、図１に示す第１の実施の形態
では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ２０の本体２
１内には、モータ２２により回転駆動される、それぞれ
一対のロータＲ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 、Ｒ5 及びＲ
6 （例えば図８で示す形状とする）が設けられている。
また本体２１の左端上壁部には吸込口２３が設けられて
おり、最終段のロータＲ6 が排気する排気空間２４は、
サイレンサ２６を備えた排気配管２５が接続され、更に
配管２７を介して逆止弁２８に接続されている。この逆
止弁２８は大気側への方向を順方向としている。そして
本発明の第１の実施の形態によれば、最終排気空間２４
にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３０が接続され
ている。
【０００８】本発明の第１の実施の形態は以上のように
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータ
Ｒ1 乃至Ｒ6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力を流体を下流側へと移送させる。よって、吸入口２３
に接続された真空室は排気される。最後段の排気空間２
４の圧力は大気圧に最も近いのであるが、本発明によれ
ば補助ポンプ３０の駆動により、減圧に排気される。よ
って、最終段のロータＲ6 による排気作用の負担は大幅
に軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力は従来
より大幅に小とすることができる。例えば、定格消費電
力３．７ｋｗのポンプであれば、補助ポンプ３０の排気
速度はこのポンプ２０の１％以下でも充分に上述の省エ
ネを行うことができる。もっともポンプ２０の使用条件
によって異なり、例えばパージガスの流量やプロセスガ
ス流量によって上述の範囲内で変更される。なお、ドラ
イ真空ポンプ２０の排気量が１０００Ｌ／ｍｉｎ（６０
ｍ3 ／ｈｒ）であるとすると、補助ポンプ３０の排気量
は１０乃至２０Ｌ／ｍｉｎですむ。この程度のダイアフ
ラムポンプの定格電力は１００ｗ程度である。図６の多
段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１を用いた場合には、
定格消費電力は１．４乃至１．５ｋｗ程度まで省エネす
ることができる。これに対し補助ポンプ３０を用いるこ
とにより、約５００ｗにまで低下させることができた。
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータ
Ｒ1 乃至Ｒ6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力を流体を下流側へと移送させる。よって、吸入口２３
に接続された真空室は排気される。最後段の排気空間２
４の圧力は大気圧に最も近いのであるが、本発明によれ
ば補助ポンプ３０の駆動により、減圧に排気される。よ
って、最終段のロータＲ6 による排気作用の負担は大幅
に軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力は従来
より大幅に小とすることができる。例えば、定格消費電
力３．７ｋｗのポンプであれば、補助ポンプ３０の排気
速度はこのポンプ２０の１％以下でも充分に上述の省エ
ネを行うことができる。もっともポンプ２０の使用条件
によって異なり、例えばパージガスの流量やプロセスガ
ス流量によって上述の範囲内で変更される。なお、ドラ
イ真空ポンプ２０の排気量が１０００Ｌ／ｍｉｎ（６０
ｍ3 ／ｈｒ）であるとすると、補助ポンプ３０の排気量
は１０乃至２０Ｌ／ｍｉｎですむ。この程度のダイアフ
ラムポンプの定格電力は１００ｗ程度である。図６の多
段式ルーツ型のドライ真空ポンプ１を用いた場合には、
定格消費電力は１．４乃至１．５ｋｗ程度まで省エネす
ることができる。これに対し補助ポンプ３０を用いるこ
とにより、約５００ｗにまで低下させることができた。
【０００９】図２は本発明の第２の実施の形態のドライ
真空ポンプ２０’を示すものであるが、第１の実施の形
態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳
細な説明は省略する。
真空ポンプ２０’を示すものであるが、第１の実施の形
態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳
細な説明は省略する。
【００１０】すなわち本実施の形態によれば、最後段の
排気空間２４は本体２１’の開口に接続された配管４０
を介してサイレンサ２６を備えた排気配管２５に接続さ
れ、配管２７を介して逆止弁２８に接続されて大気へと
連なる。更に排気配管２５と並列に補助ポンプ３０が接
続される。この補助ポンプ３０の吐出口は配管４１を介
して逆止弁２８の大気側に接続される。この実施の形態
においては、補助ポンプ３０は排気配管２５に並列して
接続されているので、大容量のガスを排気する時は排気
配管２５に流れ、補助ポンプ３０が故障してもドライ真
空ポンプ２０の性能は維持される。
排気空間２４は本体２１’の開口に接続された配管４０
を介してサイレンサ２６を備えた排気配管２５に接続さ
れ、配管２７を介して逆止弁２８に接続されて大気へと
連なる。更に排気配管２５と並列に補助ポンプ３０が接
続される。この補助ポンプ３０の吐出口は配管４１を介
して逆止弁２８の大気側に接続される。この実施の形態
においては、補助ポンプ３０は排気配管２５に並列して
接続されているので、大容量のガスを排気する時は排気
配管２５に流れ、補助ポンプ３０が故障してもドライ真
空ポンプ２０の性能は維持される。
【００１１】図３は本発明の第３の実施の形態のドライ
真空ポンプ２０’を示すものであるが、上記実施の形態
に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細
な説明は省略する。すなわち、本実施の形態によれば、
補助ポンプ３０は逆止弁２８に並列に接続される。排気
空間２４には、配管２５、サイレンサ２６、配管２７を
介して補助ポンプ３０が接続されているので、上記実施
の形態と同様な効果を奏することは明らかである。
真空ポンプ２０’を示すものであるが、上記実施の形態
に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細
な説明は省略する。すなわち、本実施の形態によれば、
補助ポンプ３０は逆止弁２８に並列に接続される。排気
空間２４には、配管２５、サイレンサ２６、配管２７を
介して補助ポンプ３０が接続されているので、上記実施
の形態と同様な効果を奏することは明らかである。
【００１２】図４に示す第４の実施の形態では、多段式
ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ａの本体２１Ａ内に
は、モータ２２により回転駆動される、それぞれ一対の
ロータＲ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 、Ｒ5 及びＲ6 が設けら
れている。また本体２１’の左端上壁部には吸込口２３
が設けられており、最終段のロータＲ6 が排気する空間
２４は、サイレンサ２６を備えた排気配管２５が接続さ
れ、更に配管２７を介して逆止弁２８に接続されてい
る。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としてい
る。そして本発明の第４の実施の形態によれば、中間排
気空間２４’にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３
０’が配管４０’を介して接続されている。すなわち本
体２１’には配管２５、４０’用に別々に排気孔が形成
されている。なお、更に上流側の排気空間２４”に対応
して排気孔を形成して、これに配管４０”を接続するよ
うにしてもよい。
ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ａの本体２１Ａ内に
は、モータ２２により回転駆動される、それぞれ一対の
ロータＲ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 、Ｒ5 及びＲ6 が設けら
れている。また本体２１’の左端上壁部には吸込口２３
が設けられており、最終段のロータＲ6 が排気する空間
２４は、サイレンサ２６を備えた排気配管２５が接続さ
れ、更に配管２７を介して逆止弁２８に接続されてい
る。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向としてい
る。そして本発明の第４の実施の形態によれば、中間排
気空間２４’にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ３
０’が配管４０’を介して接続されている。すなわち本
体２１’には配管２５、４０’用に別々に排気孔が形成
されている。なお、更に上流側の排気空間２４”に対応
して排気孔を形成して、これに配管４０”を接続するよ
うにしてもよい。
【００１３】本発明の第４の実施の形態は以上のように
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータ
Ｒ1 乃至Ｒ6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸込口２３
に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２
４’の圧力は大気圧に近いのであるが、本発明の実施の
形態でも補助ポンプ３０’の駆動により、減圧に排気さ
れる。よって、中間段のロータＲ5 による排気作用の負
担は軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力は従
来より大幅に小とすることができる。
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータ
Ｒ1 乃至Ｒ6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸込口２３
に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２
４’の圧力は大気圧に近いのであるが、本発明の実施の
形態でも補助ポンプ３０’の駆動により、減圧に排気さ
れる。よって、中間段のロータＲ5 による排気作用の負
担は軽減される。すなわち、モータ２２の消費電力は従
来より大幅に小とすることができる。
【００１４】図５に示す第５の実施の形態では、多段式
ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ｂの本体２１Ｂ内に
は、モータ２２により回転駆動される、それぞれ一対の
ロータＲ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 、Ｒ5 及びＲ6 が設けら
れている。また本体２１Ｂの左端上壁部には吸込口２３
が設けられており、最終段のロータＲ6 が排気する排気
空間２４は、サイレンサ２６を備えた排気配管２５が接
続され、更に配管２７を介して逆止弁２８に接続されて
いる。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向として
いる。そして本発明の第５の実施の形態によれば、中間
段の排気空間２４’にダイアフラムポンプで成る補助ポ
ンプ３０’が配管５０を介して接続されている。
ルーツ型のドライ真空ポンプ２０Ｂの本体２１Ｂ内に
は、モータ２２により回転駆動される、それぞれ一対の
ロータＲ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 、Ｒ5 及びＲ6 が設けら
れている。また本体２１Ｂの左端上壁部には吸込口２３
が設けられており、最終段のロータＲ6 が排気する排気
空間２４は、サイレンサ２６を備えた排気配管２５が接
続され、更に配管２７を介して逆止弁２８に接続されて
いる。この逆止弁２８は大気側への方向を順方向として
いる。そして本発明の第５の実施の形態によれば、中間
段の排気空間２４’にダイアフラムポンプで成る補助ポ
ンプ３０’が配管５０を介して接続されている。
【００１５】本発明の第５の実施の形態は以上のように
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータ
Ｒ1 乃至Ｒ6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸入口２３
に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２
４’の圧力は上流側より大気圧に近いのであるが、本発
明の第５の実施の形態によれば補助ポンプ３０の駆動に
より、減圧に排気される。よって、中間段のロータＲ4
による排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、
モータ２２の消費電力は従来より大幅に小とすることが
できる。
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ２２を駆動すると、上述したように各ロータ
Ｒ1 乃至Ｒ6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸入口２３
に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間２
４’の圧力は上流側より大気圧に近いのであるが、本発
明の第５の実施の形態によれば補助ポンプ３０の駆動に
より、減圧に排気される。よって、中間段のロータＲ4
による排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、
モータ２２の消費電力は従来より大幅に小とすることが
できる。
【００１６】以上、本発明の各実施の形態について説明
したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、
本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能であ
る。
したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、
本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能であ
る。
【００１７】例えば以上の実施の形態では、それぞれ対
をなすロータＲ1 乃至Ｒ6 は全て同型同大としたが、こ
れに代えて図６及び図１０、１１に示すように前段から
後段に向かうにつれてロータの容積を小さくしてもよ
い。この場合には、以上の実施の形態よりも更に消費電
力を小さくできることは明らかである。また、多段式ル
ーツ型のドライ真空ポンプに限らず、容積移送型のドラ
イ真空ポンプ、例えばスクリュー型やクロー型でも同様
の効果が得られる。
をなすロータＲ1 乃至Ｒ6 は全て同型同大としたが、こ
れに代えて図６及び図１０、１１に示すように前段から
後段に向かうにつれてロータの容積を小さくしてもよ
い。この場合には、以上の実施の形態よりも更に消費電
力を小さくできることは明らかである。また、多段式ル
ーツ型のドライ真空ポンプに限らず、容積移送型のドラ
イ真空ポンプ、例えばスクリュー型やクロー型でも同様
の効果が得られる。
【００１８】更にまた、以上の実施の形態では、補助ポ
ンプとしてダイアフラムポンプを説明したが、これに限
ることなく他のドライポンプ、例えばベーンポンプ、ピ
ストンポンプ、スクロールポンプ等を用いてもよい。
ンプとしてダイアフラムポンプを説明したが、これに限
ることなく他のドライポンプ、例えばベーンポンプ、ピ
ストンポンプ、スクロールポンプ等を用いてもよい。
【００１９】また以上の実施の形態では、補助ポンプ３
０、３０’は本体２１、２１’、２１Ａ、２１Ｂの周壁
に形成した排気孔に配管を介して接続されたが、配管を
介することなく、単に排気孔のみ形成し、本体内部に補
助ポンプ機構を設けるようにしてもよい。
０、３０’は本体２１、２１’、２１Ａ、２１Ｂの周壁
に形成した排気孔に配管を介して接続されたが、配管を
介することなく、単に排気孔のみ形成し、本体内部に補
助ポンプ機構を設けるようにしてもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように本発明のドライ真空ポ
ンプおよびドライ真空ポンプの省エネ方法によれば、従
来より大幅に省エネすることができる。
ンプおよびドライ真空ポンプの省エネ方法によれば、従
来より大幅に省エネすることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態による多段式ルーツ
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
【図２】本発明の第２の実施の形態による多段式ルーツ
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
【図３】本発明の第３の実施の形態による多段式ルーツ
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
【図４】本発明の第４の実施の形態による多段式ルーツ
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
【図５】本発明の第５の実施の形態による多段式ルーツ
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
【図６】従来例の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの
部分破断側面図である。
部分破断側面図である。
【図７】図６における［７］−［７］線方向断面図であ
る。
る。
【図８】図６における［８］−［８］線方向断面図であ
る。
る。
【図９】多段のロータの大きさが等しい場合を示す模式
図である。
図である。
【図１０】前段、中段、後段とでロータの大きさを変え
た場合の模式図である。
た場合の模式図である。
【図１１】前段、中段及び後段において図１０に比べ更
に後段の２つのロータを小さくした場合を示す模式図で
ある。
に後段の２つのロータを小さくした場合を示す模式図で
ある。
【図１２】図９、図１０及び図１１のロータを用いた場
合の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの吸入圧力と排
気速度との関係を示す特性図である。
合の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの吸入圧力と排
気速度との関係を示す特性図である。
【図１３】同吸入圧力と消費電力との関係を示すチャー
トである。
トである。
２０、２０’、２０”、２０Ａ、２０Ｂ ドライ真空
ポンプ ２２ モータ２４ 最後段の排気空間２４’ 、２４” 中間段の排気室 Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 、Ｒ5 、Ｒ6 ロータ ３０、３０’ 補助ポンプ
ポンプ ２２ モータ２４ 最後段の排気空間２４’ 、２４” 中間段の排気室 Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、Ｒ4 、Ｒ5 、Ｒ6 ロータ ３０、３０’ 補助ポンプ
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(72)発明者 矢作 充
神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 株式会社
アルバック内
(72)発明者 田島 孝彦
神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 株式会社
アルバック内
(72)発明者 相川 純一
神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 株式会社
アルバック内
(72)発明者 田中 智成
神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 株式会社
アルバック内
Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA09 AA17 AB06 AB08
BB42 CC01
Claims (14)
- 【請求項１】 最後段の排気室内に補助ポンプを接続さ
せたことを特徴とするドライ真空ポンプ。 - 【請求項２】 後段部の少なくとも一個のロータを前段
部より小さくして前段部より排気容積を小さくしたこと
を特徴とする請求項１に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記最後段の排気室には排気配管が接続
され、更に該排気配管の出口は大気への方向を順方向と
する逆止弁が接続されていることを特徴とする請求項１
又は２に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項４】 前記補助ポンプの吐出口は前記逆止弁の
大気側に接続されていることを特徴とする請求項３に記
載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項５】 前記補助ポンプは前記逆止弁に並列に接
続されていることを特徴とする請求項４に記載のドライ
真空ポンプ。 - 【請求項６】 前記補助ポンプはダイアフラムポンプで
あることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の
ドライ真空ポンプ。 - 【請求項７】 ドライ真空ポンプの排気配管に並列に補
助ポンプを設けることによりドライ真空ポンプの消費電
力を低減するようにしたことを特徴とするドライ真空ポ
ンプの省エネ方法。 - 【請求項８】 中間段の排気室内に補助ポンプを接続さ
せたことを特徴とするドライ真空ポンプ。 - 【請求項９】 後段部の少なくとも一個のロータを前段
部より小さくして前段部より排気容積を小さくしたこと
を特徴とする請求項８に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項１０】 最後段の排気室には排気配管が接続さ
れ、更に該排気配管の出口は大気への方向を順方向とす
る逆止弁が接続されていることを特徴とする請求項８又
は請求項９に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項１１】 前記補助ポンプの吐出口は前記逆止弁
の大気側に接続されていることを特徴とする請求項１０
に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項１２】 前記補助ポンプは前記逆止弁に並列に
接続されていることを特徴とする請求項１１に記載のド
ライ真空ポンプ。 - 【請求項１３】 前記補助ポンプはダイアフラムポンプ
であることを特徴とする請求項８〜１２のいずれかに記
載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項１４】 ドライ真空ポンプの中間段の排気室内
に補助ポンプを接続させることによりドライ真空ポンプ
の消費電力を低減するようにしたことを特徴とするドラ
イ真空ポンプの省エネ方法。
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|---|---|---|---|
| JP2001327229A JP4045362B2 (ja) | 2001-09-06 | 2001-10-25 | 多段式容積移送型ドライ真空ポンプ |
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| CNB028157117A CN100348865C (zh) | 2001-09-06 | 2002-09-05 | 真空排气装置以及真空排气装置的运转方法 |
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| US12/070,265 US20080145238A1 (en) | 2001-09-06 | 2008-02-15 | Vacuum exhaust apparatus and drive method of vacuum exhaust apparatus |
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|---|---|---|---|---|
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| JP2007127048A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気装置 |
| JP2017031892A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | アルバック機工株式会社 | 真空排気装置及びその運転方法 |
| JP2017531125A (ja) * | 2014-09-26 | 2017-10-19 | アテリエ ビスク ソシエテ アノニムＡｔｅｌｉｅｒ Ｂｕｓｃｈ ＳＡ | 真空を生成するための圧送システムおよびこの圧送システムによる圧送方法 |
-
2001
- 2001-10-25 JP JP2001327229A patent/JP4045362B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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