JP2003155988A - ドライ真空ポンプおよびドライ真空ポンプの省エネ方法 - Google Patents
ドライ真空ポンプおよびドライ真空ポンプの省エネ方法Info
- Publication number
- JP2003155988A JP2003155988A JP2001327229A JP2001327229A JP2003155988A JP 2003155988 A JP2003155988 A JP 2003155988A JP 2001327229 A JP2001327229 A JP 2001327229A JP 2001327229 A JP2001327229 A JP 2001327229A JP 2003155988 A JP2003155988 A JP 2003155988A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry vacuum
- vacuum pump
- pump
- exhaust
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
空ポンプを提供すること。 【解決手段】 最後段の排気室内に補助ポンプを接続さ
せたこと。
Description
特に省エネ型のドライ真空ポンプに関する。
真空ポンプ1を示すものであるが、図において本体2内
にはモータ3の回転軸によって回転駆動されるロータ
5、6、7、8、9、10が図7及び図8で示すように
一対で成るが、これらが相反する方向に駆動される。最
終段のロータ10が排気する最終段の排気空間には、サ
イレンサを兼ねる排気配管12が接続されており、これ
の出口は逆止弁13に接続されている。公知のように、
各ロータ1乃至10の各対が相反する方向に回動するこ
とにより、吸入孔4より、これに接続される真空室を排
気し、排気ガスは排気配管12を通り逆止弁13を開弁
させて大気に吐出される。ロータは前段から後段に向か
うにつれて容積を小さくし、また後段の2つのロータ
9、10は図7に示すように五葉とされている。このよ
うな後段のロータを小さくすることにより、この多段式
ルーツ型のドライ真空ポンプ1の消費電力を小としてい
る。すなわち、後段側では必要な排気容量が前段より小
さくなっているので、排気容量に合わせてロータを小さ
くして消費電力を小さくしている。
うに各ロータが同じ大きさであれば、図12で示すよう
に吸入圧力に対し排気速度はaに示すように変化する
が、図10で示すように前段の2つは同じ大きさとし、
中段はこれより小さく、更に後段の2つのロータは更に
小さくすれば、吸入圧力と排気速度との関係はbのよう
に変化する。更に図11で示すように、最後段のロータ
を更に小さくすれば、図12においてcで示すように排
気速度は変化する。図13はこれら図9、10及び図1
1の場合の吸入圧力に対する消費電力を示しているが、
c’、b’、a’で示すように、消費電力は図11の場
合が最も小さく、次いで図10が続き、図9が最も大き
い。
るが、この省エネの別の方式としては、モータ3を排気
容量に応じて制御することにより消費電力を小さくする
ことも考えられている。
問題点に鑑みてなされ、更に省エネを行うことができる
ドライ真空ポンプを提供することを課題とする。
排気室内に補助ポンプを接続させたことを特徴とするド
ライ真空ポンプ、又は、ドライ真空ポンプの排気配管に
並列に補助ポンプを設けることによりドライ真空ポンプ
の消費電力を低減するようにしたことを特徴とするドラ
イ真空ポンプの省エネ方法、又は、中間段の排気室内に
補助ポンプを接続させたことを特徴とするドライ真空ポ
ンプ、又は、ドライ真空ポンプの中間段の排気室内に補
助ポンプを接続させることによりドライ真空ポンプの消
費電力を低減するようにしたことを特徴とするドライ真
空ポンプの省エネ方法、によって解決される。
て図1〜図5を参照して説明する。なお、これら図にお
いては、従来例でその構造を明示したのでロータ等は簡
略化して示す。すなわち、図1に示す第1の実施の形態
では、多段式ルーツ型のドライ真空ポンプ20の本体2
1内には、モータ22により回転駆動される、それぞれ
一対のロータR1 、R2 、R3 、R4 、R5 及びR
6 (例えば図8で示す形状とする)が設けられている。
また本体21の左端上壁部には吸込口23が設けられて
おり、最終段のロータR6 が排気する排気空間24は、
サイレンサ26を備えた排気配管25が接続され、更に
配管27を介して逆止弁28に接続されている。この逆
止弁28は大気側への方向を順方向としている。そして
本発明の第1の実施の形態によれば、最終排気空間24
にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ30が接続され
ている。
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ22を駆動すると、上述したように各ロータ
R1 乃至R6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力を流体を下流側へと移送させる。よって、吸入口23
に接続された真空室は排気される。最後段の排気空間2
4の圧力は大気圧に最も近いのであるが、本発明によれ
ば補助ポンプ30の駆動により、減圧に排気される。よ
って、最終段のロータR6 による排気作用の負担は大幅
に軽減される。すなわち、モータ22の消費電力は従来
より大幅に小とすることができる。例えば、定格消費電
力3.7kwのポンプであれば、補助ポンプ30の排気
速度はこのポンプ20の1%以下でも充分に上述の省エ
ネを行うことができる。もっともポンプ20の使用条件
によって異なり、例えばパージガスの流量やプロセスガ
ス流量によって上述の範囲内で変更される。なお、ドラ
イ真空ポンプ20の排気量が1000L/min(60
m3 /hr)であるとすると、補助ポンプ30の排気量
は10乃至20L/minですむ。この程度のダイアフ
ラムポンプの定格電力は100w程度である。図6の多
段式ルーツ型のドライ真空ポンプ1を用いた場合には、
定格消費電力は1.4乃至1.5kw程度まで省エネす
ることができる。これに対し補助ポンプ30を用いるこ
とにより、約500wにまで低下させることができた。
真空ポンプ20’を示すものであるが、第1の実施の形
態に対応する部分については同一の符号を付し、その詳
細な説明は省略する。
排気空間24は本体21’の開口に接続された配管40
を介してサイレンサ26を備えた排気配管25に接続さ
れ、配管27を介して逆止弁28に接続されて大気へと
連なる。更に排気配管25と並列に補助ポンプ30が接
続される。この補助ポンプ30の吐出口は配管41を介
して逆止弁28の大気側に接続される。この実施の形態
においては、補助ポンプ30は排気配管25に並列して
接続されているので、大容量のガスを排気する時は排気
配管25に流れ、補助ポンプ30が故障してもドライ真
空ポンプ20の性能は維持される。
真空ポンプ20’を示すものであるが、上記実施の形態
に対応する部分については同一の符号を付し、その詳細
な説明は省略する。すなわち、本実施の形態によれば、
補助ポンプ30は逆止弁28に並列に接続される。排気
空間24には、配管25、サイレンサ26、配管27を
介して補助ポンプ30が接続されているので、上記実施
の形態と同様な効果を奏することは明らかである。
ルーツ型のドライ真空ポンプ20Aの本体21A内に
は、モータ22により回転駆動される、それぞれ一対の
ロータR1 、R2 、R3 、R4 、R5 及びR6 が設けら
れている。また本体21’の左端上壁部には吸込口23
が設けられており、最終段のロータR6 が排気する空間
24は、サイレンサ26を備えた排気配管25が接続さ
れ、更に配管27を介して逆止弁28に接続されてい
る。この逆止弁28は大気側への方向を順方向としてい
る。そして本発明の第4の実施の形態によれば、中間排
気空間24’にダイアフラムポンプで成る補助ポンプ3
0’が配管40’を介して接続されている。すなわち本
体21’には配管25、40’用に別々に排気孔が形成
されている。なお、更に上流側の排気空間24”に対応
して排気孔を形成して、これに配管40”を接続するよ
うにしてもよい。
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ22を駆動すると、上述したように各ロータ
R1 乃至R6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸込口23
に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間2
4’の圧力は大気圧に近いのであるが、本発明の実施の
形態でも補助ポンプ30’の駆動により、減圧に排気さ
れる。よって、中間段のロータR5 による排気作用の負
担は軽減される。すなわち、モータ22の消費電力は従
来より大幅に小とすることができる。
ルーツ型のドライ真空ポンプ20Bの本体21B内に
は、モータ22により回転駆動される、それぞれ一対の
ロータR1 、R2 、R3 、R4 、R5 及びR6 が設けら
れている。また本体21Bの左端上壁部には吸込口23
が設けられており、最終段のロータR6 が排気する排気
空間24は、サイレンサ26を備えた排気配管25が接
続され、更に配管27を介して逆止弁28に接続されて
いる。この逆止弁28は大気側への方向を順方向として
いる。そして本発明の第5の実施の形態によれば、中間
段の排気空間24’にダイアフラムポンプで成る補助ポ
ンプ30’が配管50を介して接続されている。
構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。モータ22を駆動すると、上述したように各ロータ
R1 乃至R6 により、それぞれが受け持つ排気空間の圧
力の流体を下流側へと移送させる。よって、吸入口23
に接続された真空室は排気される。中間段の排気空間2
4’の圧力は上流側より大気圧に近いのであるが、本発
明の第5の実施の形態によれば補助ポンプ30の駆動に
より、減圧に排気される。よって、中間段のロータR4
による排気作用の負担は大幅に軽減される。すなわち、
モータ22の消費電力は従来より大幅に小とすることが
できる。
したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、
本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能であ
る。
をなすロータR1 乃至R6 は全て同型同大としたが、こ
れに代えて図6及び図10、11に示すように前段から
後段に向かうにつれてロータの容積を小さくしてもよ
い。この場合には、以上の実施の形態よりも更に消費電
力を小さくできることは明らかである。また、多段式ル
ーツ型のドライ真空ポンプに限らず、容積移送型のドラ
イ真空ポンプ、例えばスクリュー型やクロー型でも同様
の効果が得られる。
ンプとしてダイアフラムポンプを説明したが、これに限
ることなく他のドライポンプ、例えばベーンポンプ、ピ
ストンポンプ、スクロールポンプ等を用いてもよい。
0、30’は本体21、21’、21A、21Bの周壁
に形成した排気孔に配管を介して接続されたが、配管を
介することなく、単に排気孔のみ形成し、本体内部に補
助ポンプ機構を設けるようにしてもよい。
ンプおよびドライ真空ポンプの省エネ方法によれば、従
来より大幅に省エネすることができる。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
型のドライ真空ポンプとその関連部分を示す模式図であ
る。
部分破断側面図である。
る。
る。
図である。
た場合の模式図である。
に後段の2つのロータを小さくした場合を示す模式図で
ある。
合の多段式ルーツ型のドライ真空ポンプの吸入圧力と排
気速度との関係を示す特性図である。
トである。
ポンプ 22 モータ24 最後段の排気空間24’ 、24” 中間段の排気室 R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 ロータ 30、30’ 補助ポンプ
Claims (14)
- 【請求項1】 最後段の排気室内に補助ポンプを接続さ
せたことを特徴とするドライ真空ポンプ。 - 【請求項2】 後段部の少なくとも一個のロータを前段
部より小さくして前段部より排気容積を小さくしたこと
を特徴とする請求項1に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項3】 前記最後段の排気室には排気配管が接続
され、更に該排気配管の出口は大気への方向を順方向と
する逆止弁が接続されていることを特徴とする請求項1
又は2に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項4】 前記補助ポンプの吐出口は前記逆止弁の
大気側に接続されていることを特徴とする請求項3に記
載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項5】 前記補助ポンプは前記逆止弁に並列に接
続されていることを特徴とする請求項4に記載のドライ
真空ポンプ。 - 【請求項6】 前記補助ポンプはダイアフラムポンプで
あることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の
ドライ真空ポンプ。 - 【請求項7】 ドライ真空ポンプの排気配管に並列に補
助ポンプを設けることによりドライ真空ポンプの消費電
力を低減するようにしたことを特徴とするドライ真空ポ
ンプの省エネ方法。 - 【請求項8】 中間段の排気室内に補助ポンプを接続さ
せたことを特徴とするドライ真空ポンプ。 - 【請求項9】 後段部の少なくとも一個のロータを前段
部より小さくして前段部より排気容積を小さくしたこと
を特徴とする請求項8に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項10】 最後段の排気室には排気配管が接続さ
れ、更に該排気配管の出口は大気への方向を順方向とす
る逆止弁が接続されていることを特徴とする請求項8又
は請求項9に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項11】 前記補助ポンプの吐出口は前記逆止弁
の大気側に接続されていることを特徴とする請求項10
に記載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項12】 前記補助ポンプは前記逆止弁に並列に
接続されていることを特徴とする請求項11に記載のド
ライ真空ポンプ。 - 【請求項13】 前記補助ポンプはダイアフラムポンプ
であることを特徴とする請求項8〜12のいずれかに記
載のドライ真空ポンプ。 - 【請求項14】 ドライ真空ポンプの中間段の排気室内
に補助ポンプを接続させることによりドライ真空ポンプ
の消費電力を低減するようにしたことを特徴とするドラ
イ真空ポンプの省エネ方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001327229A JP4045362B2 (ja) | 2001-09-06 | 2001-10-25 | 多段式容積移送型ドライ真空ポンプ |
PCT/JP2002/009048 WO2003023229A1 (fr) | 2001-09-06 | 2002-09-05 | Systeme de pompe a vide et procede de fonctionnement d'un systeme de pompe a vide |
US10/486,189 US20040173312A1 (en) | 2001-09-06 | 2002-09-05 | Vacuum exhaust apparatus and drive method of vacuum apparatus |
CNB028157117A CN100348865C (zh) | 2001-09-06 | 2002-09-05 | 真空排气装置以及真空排气装置的运转方法 |
KR1020047002269A KR100876318B1 (ko) | 2001-09-06 | 2002-09-05 | 진공배기장치 및 진공배기장치의 운전방법 |
TW091120409A TWI267581B (en) | 2001-09-06 | 2002-09-09 | Vacuum exhaust device and method for operating such vacuum exhaust device |
US12/070,265 US20080145238A1 (en) | 2001-09-06 | 2008-02-15 | Vacuum exhaust apparatus and drive method of vacuum exhaust apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001269742 | 2001-09-06 | ||
JP2001-269742 | 2001-09-06 | ||
JP2001327229A JP4045362B2 (ja) | 2001-09-06 | 2001-10-25 | 多段式容積移送型ドライ真空ポンプ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007229036A Division JP2008008302A (ja) | 2001-09-06 | 2007-09-04 | 多段式容積移送型ドライ真空ポンプの省エネ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003155988A true JP2003155988A (ja) | 2003-05-30 |
JP4045362B2 JP4045362B2 (ja) | 2008-02-13 |
Family
ID=26621744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001327229A Expired - Lifetime JP4045362B2 (ja) | 2001-09-06 | 2001-10-25 | 多段式容積移送型ドライ真空ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4045362B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007100562A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Shinko Seiki Co Ltd | 真空装置 |
JP2007127048A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気装置 |
JP2017031892A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | アルバック機工株式会社 | 真空排気装置及びその運転方法 |
JP2017531125A (ja) * | 2014-09-26 | 2017-10-19 | アテリエ ビスク ソシエテ アノニムAtelier Busch SA | 真空を生成するための圧送システムおよびこの圧送システムによる圧送方法 |
-
2001
- 2001-10-25 JP JP2001327229A patent/JP4045362B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007100562A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Shinko Seiki Co Ltd | 真空装置 |
JP2007127048A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Ulvac Japan Ltd | 真空排気装置 |
JP2017531125A (ja) * | 2014-09-26 | 2017-10-19 | アテリエ ビスク ソシエテ アノニムAtelier Busch SA | 真空を生成するための圧送システムおよびこの圧送システムによる圧送方法 |
EP3198148B1 (fr) | 2014-09-26 | 2020-02-26 | Ateliers Busch S.A. | Système de pompage pour générer un vide et procédé de pompage au moyen de ce système de pompage |
JP2017031892A (ja) * | 2015-08-03 | 2017-02-09 | アルバック機工株式会社 | 真空排気装置及びその運転方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4045362B2 (ja) | 2008-02-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100876318B1 (ko) | 진공배기장치 및 진공배기장치의 운전방법 | |
JP2005155540A (ja) | 多段ドライ真空ポンプ | |
CN103842657B (zh) | 爪式泵 | |
JP2001207984A (ja) | 真空排気装置 | |
JP4180265B2 (ja) | 真空排気装置の運転方法 | |
JP4365059B2 (ja) | 真空排気装置の運転方法 | |
JP2020513088A (ja) | 吸排気ユニットおよびその使用 | |
US7744356B2 (en) | Screw vacuum pump with male and female screw rotors having unequal leads | |
JP4718302B2 (ja) | 真空排気装置 | |
JPS6020595B2 (ja) | 機械ポンプ | |
JP2003155988A (ja) | ドライ真空ポンプおよびドライ真空ポンプの省エネ方法 | |
JP6615132B2 (ja) | 真空ポンプシステム | |
WO2011039812A1 (ja) | 容積移送型ドライ真空ポンプ | |
KR100537712B1 (ko) | 다중 로터 스크류 압축기를 위한 비대칭 포팅 | |
JP2003129957A (ja) | 真空排気方法および真空排気装置 | |
JPS61123777A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2008008302A (ja) | 多段式容積移送型ドライ真空ポンプの省エネ方法 | |
US4697994A (en) | Multistage discharge type rotary vacuum pump | |
JP2005171766A (ja) | ドライポンプ及びドライポンプの運転方法 | |
JP2002174174A (ja) | 真空排気装置 | |
JP5393577B2 (ja) | ドライ真空ポンプ装置、及び排気ユニット | |
JP2003083248A (ja) | 真空排気システム | |
JP2007263122A (ja) | 真空排気装置 | |
JP3325196B2 (ja) | スクリュ圧縮機 | |
JP2009091919A (ja) | 多段式真空ポンプ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061226 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071031 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20071101 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071102 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101130 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4045362 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131130 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |