JP2003152313A - レジスト形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】電子部品や回路基板などに対するレジストの形
成を良好に行なうことのできるレジスト形成方法を提供
する。 【解決手段】液状または半流動体状のレジスト材を間欠
噴射するインクジェットプリンタヘッド１でドットパタ
ーンを形成しながらレジスト材を被対象物２に塗布する
レジスト形成方法において、インクジェットプリンタヘ
ッド１により一旦塗布された後定着工程を経て被対象物
に定着したレジスト材のドットパターンＡに対して、イ
ンクジェットプリンタヘッド１からの間欠噴射により少
なくとも１回ドットパターンＢを塗り重ねる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子部品表
面に金属端子をめっき形成するなどの処理する場合にそ
の形成箇所以外の部分の保護用レジストを形成するレジ
スト形成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のレジスト形成方法として
は、例えば特開平７−１０６７４０号公報に開示されて
いるように、例えば電子部品の保護層としてレジストを
形成するのに、インクジェットプリンタ式のレジスト塗
布装置が利用され、レジスト材からなるインクが間欠噴
射されて被対象物における所望塗布面にドットパターン
を形成することでレジストを形成するものとなってい
た。

【０００３】そして、この従来のものの場合、一回の塗
布工程でレジストを形成できるようにするため、比較的
流動性の高いレジスト材を塗布することによって、ドッ
トパターン状に塗布されたレジスト材が流動して自然に
広がることでドットパターン同士がつながるようにして
いた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、レジスト材が流動性の高いものであると、
必要以上にレジスト材が広がるおそれがあって、その広
がりについて制御することが難しいものであった。

【０００５】また、このような従来のものにおいて、あ
る程度流動性を抑えたレジスト材を塗布することで、不
当にレジスト材が広がらないようにすることも考えられ
るが、この場合、１回の塗布ではドットパターン同士が
つながらないおそれがあった。

【０００６】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
であって、電子部品や回路基板などに対するレジストの
形成を良好に行なうことのできるレジスト形成方法を提
供することを解決課題としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
レジスト形成方法は、液状または半流動体状のレジスト
材を間欠噴射するインクジェットプリンタヘッドでドッ
トパターンを形成しながら前記レジスト材を被対象物に
塗布するレジスト形成方法において、前記インクジェッ
トプリンタヘッドにより前記被対象物に一旦塗布された
レジスト材のドットパターンに対して、前記インクジェ
ットプリンタヘッドからのレジスト材の間欠噴射により
少なくとも１回ドットパターンを塗り重ねることを特徴
とする。

【０００８】請求項１に係るレジスト形成方法によれ
ば、従来、インクジェットプリンタヘッドからのレジス
ト材の間欠噴射で一度だけの塗布によりレジストの形成
を図っていたのに対して、少なくとも２回ドットパター
ンを塗り重ねるようにしているから、従来のようにドッ
トパターン同士が塗布後つながるような流動性の高いレ
ジスト材を用いなくてよく、このように流動性が高いレ
ジスト材を用いた場合に生じやすいレジスト材の必要以
上の拡散を抑制できるものとなる。また、そのような利
点がありながら、重ね塗りをすることにより、塗り残し
が生じないようにでき、レジストの形状なども精度の良
いものにできる。

【０００９】本発明の請求項２に係るレジスト形成方法
は、請求項１に記載のレジスト形成方法において、前記
インクジェットプリンタヘッドにより一旦塗布された後
定着工程を経て前記被対象物に定着したレジスト材のド
ットパターンに対して、前記インクジェットプリンタヘ
ッドからのレジスト材の間欠噴射により少なくとも１回
ドットパターンを塗り重ねることを特徴とする。

【００１０】請求項２に係るレジスト形成方法によれ
ば、インクジェットプリンタヘッドで被対象物に塗布さ
れたドットパターンが定着工程を経て一旦定着した状態
となった後、そのドットパターンに対して、さらにドッ
トパターンを重ね塗りするものであるから、重ね塗りさ
れてもドットパターンが不当に飛び散ったり流動したり
することもなく、後に塗布されたレジスト材は先に塗布
されたドットパターン間を埋めるように塗布されること
になり、不必要にレジスト材が広がらないようにでき
る。

【００１１】これにより、形状などにおいて精度良くレ
ジスト材を被対象物に形成することができることにな
る。

【００１２】すなわち、インクジェットプリンタヘッド
によりドットパターンを形成するようにレジスト材を塗
布するのに、作業を迅速に行なうため先に塗布したドッ
トパターンが定着する前にさらに重ねてドットパターン
を塗布する場合、すなわち先に塗布されたレジスト材に
流動性が残っているにもかかわらずさらに重ねてドット
パターンを塗布する場合、レジスト材としては塗布時の
流動性を考慮して適宜なものを採用しないと、後からの
塗布によって、レジスト材が飛び散ったり、流動してむ
やみに拡がっていくおそれがあるが、この請求項２に係
るレジスト形成方法では、先に塗布されたドットパター
ンが定着した後にさらにドットパターンを塗布するか
ら、そのような不具合の発生は解消できる。

【００１３】本発明の請求項３に係るレジスト形成方法
は、請求項２に記載のレジスト形成方法において、前記
定着工程は、前記レジスト材から溶媒が気化して除去さ
れることにより前記レジスト材を前記被対象物に定着さ
せることを特徴とする。

【００１４】請求項３に係るレジスト形成方法によれ
ば、被対象物に塗布されたレジスト材は溶媒が揮発や蒸
発などで気化することにより、流動性のない定着状態と
なるので、定着のための特別な設備や定着を促すような
操作をレジスト材に対して特に作用させなくても良く、
簡易なものとなる。

【００１５】本発明の請求項４に係るレジスト形成方法
は、請求項２に記載のレジスト形成方法において、前記
定着工程は、前記レジスト材に含まれる硬化促進剤で硬
化させることにより前記レジスト材を前記被対象物に定
着させることを特徴とする。

【００１６】請求項４に係るレジスト形成方法によれ
ば、硬化促進剤による硬化によりレジスト材を定着させ
るので、比較的迅速に定着させることができ、作業効率
の向上を図れる。

【００１７】本発明の請求項５に係るレジスト形成方法
は、前記請求項４に記載のレジスト形成方法において、
前記硬化促進剤は光硬化性のものであって、光の照射に
より前記レジスト材を硬化させることを特徴とする。

【００１８】請求項５に係るレジスト形成方法によれ
ば、光の照射による硬化によってレジスト材を定着させ
ることができるので、時間的な硬化の制御や、定着状態
の制御などを適宜行なえる。

【００１９】本発明の請求項６に係るレジスト形成方法
は、請求項１から５のいずれかに記載のレジスト形成方
法において、前記インクジェットプリンタヘッドから間
欠噴射される前記レジスト材の粘性を調整することによ
り前記ドットパターンの直径を制御することを特徴とす
る。

【００２０】請求項６に係るレジスト形成方法によれ
ば、レジスト材の粘性が高くなるほどドットパターンは
直径が小さく形成される傾向があるため、その粘性を制
御することにより、例えばドットパターンを列状につな
いで直線をなすレジストを形成する場合、その直線の幅
をレジスト材の粘性を変えることにより適宜設定するこ
とができる。

【００２１】本発明の請求項７に係るレジスト形成方法
は、請求項１から６のいずれかに記載のレジスト形成方
法において、前記インクジェットプリンタヘッドのイン
ク噴射方向に対して、レジスト材を塗布する被対象物の
凸角部の２面が共に臨むように、前記インクジェットプ
リンタヘッドと前記被対象物との相対姿勢を設定して、
前記インクジェットプリンタヘッドから被対象物の前記
凸角部に対してレジスト材を塗布することを特徴とす
る。

【００２２】請求項７に係るレジスト形成方法によれ
ば、被対象物の凸角部分の２面が共に、インクジェット
プリンタヘッドのインク噴射方向に対して臨んでいる状
態で、レジスト材を塗布するので、その凸角部の２面に
均等にレジスト材を塗布できるとともに、一方の面に不
当にレジスト材が偏って塗布されることも抑制でき、そ
の凸角部の２面間にレジスト材がつながらないような塗
布や、レジスト材が一方の面において不当に流動して広
がったりするような不具合なく、良好にかつ迅速にレジ
スト材の被対象物の凸角部での形成が行なえる。

【００２３】本発明の請求項８に係るレジスト形成方法
は、請求項１から７のいずれかに記載のレジスト形成方
法において、前記レジスト材のインクには、塗布後の加
熱処理により耐熱性レジストを形成することのできる耐
熱性素材を含有していることを特徴とする。

【００２４】請求項８に係るレジスト形成方法によれ
ば、耐熱性素材を含有していることで、レジストが形成
された被対象物に対して加熱処理すると、被対象物表面
に耐熱性レジストが形成されることになる。

【００２５】本発明の請求項９に係るレジスト形成方法
は、請求項１から８のいずれかに記載のレジスト形成方
法において、前記レジスト材を塗布する対象領域が塗布
された前記レジスト材で全て埋まるまで前記インクジェ
ットプリンタヘッドによって先に塗布されたドットパタ
ーンが定着した後塗り重ねることを特徴とする。

【００２６】請求項９に係るレジスト形成方法によれ
ば、レジスト材の塗布対象領域にレジスト材が隙間なく
塗布されることにより、後工程での不良発生を抑制でき
る。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図面に示す
実施形態に基づいて説明する。

【００２８】図１から図６は、本発明の実施形態に係
り、図１は、レジストを塗布する様子を側面視で示す概
略説明図、図２は、図１においてレジストを塗布する様
子を示す斜視図、図３は、２種のドットパターン
（ａ），（ｂ）と両パターンを重ね塗りした状態（ｃ）
とを示す平面図、図４は、レジスト材の粘性が強い場合
（ａ）とそれより弱い場合（ｂ）のドットパターンをそ
れぞれ示すの平面および縦断面図、図５は、チップ部品
の凸角部へレジスト材を塗布する様子を側面視で示す概
略説明図、図６は、図５と同様チップ部品の凸角部へレ
ジストを塗布する様子を示す斜視図である。

【００２９】図１および図２に、インクジェットプリン
タヘッド１からレジスト材のインクを間欠噴射すること
によって、被対象物としてのチップ部品２にレジストＲ
を形成する様子を示している。

【００３０】すなわち、例えば誘電体共振器のようなチ
ップ部品２をワークＷとしてＸ−Ｙテーブル３に載置支
持し、このＸ−Ｙテーブル３の上方に支持状態で配置さ
れたインクジェットプリンタヘッド１からチップ部品２
に対して液状または半流動体状のレジスト材を間欠噴射
するようにしている。

【００３１】インクジェットプリンタヘッド１およびＸ
−Ｙテーブル３のアクチュエータＡは、制御装置４によ
って駆動制御されるものである。

【００３２】インクジェットプリンタヘッド１は、その
具体的構成について図示しないが、間欠噴射される液状
のレジスト材のインクの一粒一粒に適宜大きさの電荷を
与え、一定電圧を印加している偏向板によりそのレジス
ト材のインク滴の進行方向を決定する制御が行なわれ
る。このレジスト材のインク滴の進行方向の制御と、前
記Ｘ−Ｙテーブル３によるチップ部品２のＸ方向やＹ方
向での位置制御とによって、チップ部品２上へのレジス
ト材のインク滴の塗布位置が決定される。

【００３３】この場合、チップ部品２の表面に塗布され
る一つのレジスト材のインク滴で形成されるドットパタ
ーンの直径は、０．２ｍｍ〜０．３ｍｍ程度の円形とな
っている。

【００３４】以下に、チップ部品２にレジストを形成す
る工程について説明する。

【００３５】まず、図３（ａ）に示すように、チップ部
品２上へレジストのインク滴が所定のドットパターンＡ
を成すよう、インクジェットプリンタヘッド１から間欠
噴射されて塗布される。次いで、この塗布されたドット
パターンＡを乾燥させる、すなわち液状のレジスト材か
ら溶媒を気化させることでチップ部品２表面に定着させ
る。この場合、塗布されたドットパターンＡを乾燥させ
る工程が定着工程である。

【００３６】この後、定着したドットパターンＡに対し
て、別のドットパターンＢ（図３（ｂ）参照）を重ねる
ように塗布する。すると、この両者のドットパターン
Ａ，Ｂを重ねた状態では、それぞれのドットパターン
Ａ，Ｂにおける隙間部分を埋めるように互いが位置する
ため、レジストを所望の形成領域において隙間なく形成
できることになる（図３（ｃ）参照）。なお、この場合
は、ドットパターンＡとドットパターンＢとを重ね塗り
することにより矩形状のレジストＲが形成されるように
している。

【００３７】なお、このように矩形状のレジストＲのみ
ならず、インクジェットプリンタヘッド１と、チップ部
品２とを相対的に移動させて先のドットに対して後のド
ットの重ね合わせる位置を適宜変えることによって、任
意の直線や曲線を描くようにドットパターンを塗布して
いくことが可能である。

【００３８】また、インクジェットプリンタヘッド１か
らのインクジェットの噴射方向と直交する平面部分に対
してだけドットパターンを塗布できるというものでな
く、比較的緩やかな凸角部分や、曲面部分に対してもそ
のまま塗布することは可能である。

【００３９】なお、レジスト材としてのインクジェット
用インクは、「１６−５６００」（品種名）（株式会社マ
ルコーニデータシステムズジャパンの製品）が代表例で
あり、溶質としてのインク成分に対して、溶媒として、
「２−Ｂｕｔａｎｏｎｅ（メチルエチルケトン：Ｃ₄Ｈ
₁₀Ｏ：３０〜６０％）」，「Ｍｅｔｈａｎｏｌ（メタノ
ール：ＣＨ₄Ｏ：２５〜４５％）」，「１−Ｍｅｈｏｘ
ｙ−２−Ｐｒｏｐａｎｏｌ（プロピレングリコールモノ
メチルエーテル：Ｃ₄Ｈ₁₀Ｏ₂：３〜７％）」，「Ｃｙｃ
ｌｏｈｅｘａｎｏｎｅ（シクロヘキサノン：Ｃ₆Ｈ
₁₀Ｏ；１〜３％）」の混合物を用いる。

【００４０】次に、塗布するレジスト材のインクの粘性
の調整について説明する。レジスト材は、そのインクの
希釈溶剤（例えば、メチルエチルケトン、メタノールな
どの有機溶剤）の混合割合を適宜調整することによっ
て、その粘性を所望のものに設定できる。

【００４１】これにより、レジスト材の粘性が高い場合
は、図４（ａ）に示すように、被対象物に塗布されたと
きにレジスト材のインク滴の横広がりが小さくなるの
で、そのドット径も小さくなる。希釈溶剤の混合割合を
多くすることで、インクの粘性は低下することになり、
その場合は、図４（ｂ）に示すように、レジスト材のイ
ンク滴が横に広がる傾向が高まるので、そのドット径は
粘性が高い場合より大きくなる。

【００４２】したがって、細い線のレジストを描きたい
場合には、粘性の高いレジスト材を使用し、それよりも
太い線のレジストを描きたい場合には、それよりも粘性
の低いレジスト材を使用することになり、形成する所望
の線幅の大小に対応してレジスト材の粘性を適宜設定す
ることになる。

【００４３】なお、粘度の調整が適正に行える範囲は、
３〜５ｍＰａ・ｓ（コンデンサティニュアス方式）、１
１〜１３ｍＰａ・ｓ（オンデマンド方式）である。

【００４４】次に、直方体状に外形を構成する上記チッ
プ部品２の隣り合う２面で構成される凸角部分、すなわ
ち稜線を形成する角部分に対するレジストＲの形成方法
について説明する。

【００４５】図５に示すように、Ｘ−Ｙテーブル３に治
具を介してチップ部品２をＸ−Ｙ平面に対してほぼ４５
°傾いた姿勢で保持する。そのときに、チップ部品２の
一つの辺ａが上側に臨み、かつその辺ａが水平に沿うよ
うにする。

【００４６】チップ部品２の各辺は、幾分かＲ状の面取
りがなされているのであって、上記のように姿勢を設定
して保持されているチップ部品２の上側に位置されてい
る前記辺ａは、上方に配置したインクジェットプリンタ
ヘッド１のインクジェットの噴射方向ｚに臨むようにな
っている。すなわち、図５及び図６に示すように、この
辺ａで交差するチップ部品２の２つの側面ｂ，ｃが共に
インクジェットの噴射方向ｚに臨むものとなっている。

【００４７】このように姿勢設定された状態で、前記両
側面における辺ａ近傍にレジストをインクジェットプリ
ンタヘッド１からのインクジェットの間欠噴射によりド
ットパターンとして塗布する。そして、一旦塗布された
ドットパターンを乾燥させることでチップ部品２に定着
させ、その定着されたドットパターンに一部位置ずれし
た状態で重なるようにさらにインクジェットプリンタヘ
ッド１からのインクジェットの間欠噴射によりドットパ
ターンを塗り重ねる。以上の工程を少なくとも１回以上
行なうことにより、チップ部品２の凸角部となる所定の
辺ａ近傍でその辺ａで交差する側面ｂ，ｃに対してレジ
ストＲを塗布形成するのである。

【００４８】次に、具体的に誘電体共振器の電極形成工
程の一部として本発明に係るレジスト形成方法を採用し
ていることについて説明する。

【００４９】図２に示すように、チップ部品２を成す誘
電体共振器の外表面に部分的に電極を形成するために、
電極を形成しない箇所についてレジストＲを塗布して形
成する。その形成は、上述した各実施の形態での説明と
同様である。その過程を順に説明する。

【００５０】（１）まず、セラミック材からなるチップ
部品２の表面に銅めっきを形成するための活性化膜を形
成するために、パラジウム溶液中に、そのチップ部品２
を浸漬処理する。

【００５１】（２）次に、上記処理が施されたチップ部
品２の表面の所定箇所に電極を形成する範囲を露出する
状態で、レジストＲを形成する。このレジストＲの形成
は、インクジェットプリンタヘッド１からのレジスト材
からなるインクの間欠噴射によって行なわれる。

【００５２】詳述すると、上述したように、チップ部品
２の表面の所望レジスト形成箇所にインクジェットプリ
ンタヘッド１からインクを間欠噴射して、ドットパター
ンを塗布した後、その塗布に伴うドットパターンについ
て溶媒が蒸発するなどの気化によって乾燥させること
で、ドットパターンをチップ部品２上に定着する。その
後、定着したドットパターンに対して、位置ずれさせた
状態でさらにインクジェットプリンタヘッド１からイン
クを間欠噴射してドットパターンを重ね塗りする。その
重ね塗りを一回、または再度乾燥させた状態のドットパ
ターンに重ね塗りすることを繰り返すことで、所望レジ
ストを膜状に形成する。

【００５３】（３）チップ部品２をめっき溶液中に浸す
ことで、レジストＲが形成されたチップ部品２の表面に
銅めっき膜を形成する。このとき、レジストＲが形成さ
れている箇所には銅めっき膜は形成されない。

【００５４】（４）そして、次の工程では、銅めっき膜
が形成されたチップ部品２のその銅めっきを安定したも
のに改質するため、チップ部品２全体を加熱処理する。

【００５５】以上の工程を経て、誘電体共振器のチップ
部品２の外面の所望箇所に銅めっきされた電極が形成さ
れることになる。また、レジストＲが形成されている箇
所は銅めっきされない、絶縁部分を形成している。

【００５６】チップ部品２において、熱処理を行なうも
のについては、インクジェットプリントヘッド１からの
レジスト材のインクを間欠噴射するに、そのインクに予
め耐熱性素材としてシリカ（ＳｉＯ₂）の微粉末あるい
はケイ素化合物を混合したもので、レジスト材のチップ
部品２への塗布を行なう。

【００５７】シリカとしては、「スノーテックス」（品種
名）（日産化学工業株式会社の製品）が代表例であり、
溶質として、コロイダルシリカ（２０％）（ＳｉＯ₂の
微粒子が溶媒に溶けて拡散している状態）、溶媒とし
て、水（８０％）の混合物を用いる。

【００５８】また、ケイ素化合物としては、「ＯＣＤ」
（品種名）（東京応化工業株式会社の製品）が代表例で
あり、溶質として、ケイ素化合物［Ｒ_nＳｉ（Ｏ
Ｈ）_4-n］（Ｒ＝アルキル基）（９パーセント）、溶媒
として、エタノール（７３％），酢酸エチル（１８％）
の混合物を用いる。

【００５９】この場合、チップ部品２に対する熱処理温
度６５０〜７００℃の加熱処理に伴いシリカなどが溶融
してガラス化するため、レジストとしての機能は維持さ
れるとともに、レジストの耐熱性も高まることになる。
なお、本発明者の実験によれば上記熱処理温度での熱処
理においても、レジスト材の絶縁性が維持されているこ
とを確認しており、該チップ部品２の特性の低下はない
と推測できる。そして、本発明者は、該レジスト材の場
合、１０００℃まで加熱しても通常の絶縁性が維持され
ていることを確認した。

【００６０】シリカなどを混合していないインクを用い
た場合、チップ部品を後工程で熱処理する際にレジスト
材において絶縁性が低下するという問題が生じていた
が、このように、レジスト材のインクにシリカの微粉末
を混合したことにより、熱処理後でもレジストの絶縁性
が高く維持される。また、単にシリカ微粉末のみをイン
クジェットプリンタヘッドからチップ部品表面に付着さ
せるよう噴射させる場合、つまりなどの不具合が発生し
てその吐出性に問題が生じるおそれがあるが、液状のレ
ジスト材と混合されているシリカ微粉末は、インクジェ
ットプリンタヘッド１から良好に吐出噴射される。

【００６１】なお、シリカなどに代えて、アルミナ（Ａ
ｌ₂Ｏ₃）の微粉末を耐熱性素材としてインクに混合して
も良い。

【００６２】本発明は、上述した実施の形態の構成に限
定されるものでなく、例えば以下に示すように、さまざ
まな変形例が考えられる。

【００６３】（１）上記実施の形態では、定着工程にお
いて、塗布されたレジスト材のドットパターンを乾燥、
すなわち溶媒の気化によってドットパターンの定着を図
ることを示したが、予めレジスト材のインクに硬化促進
剤を混合させておき、そのインクが被対象物に塗布され
た状態で、硬化促進剤によってレジスト材が硬化される
ことで定着させるようにしても良い。

【００６４】この硬化促進剤でレジスト材のインクを硬
化させるのに、光硬化性の硬化促進剤を用いることで、
塗布されたレジスト材のドットパターンに対して光を照
射して、そのレジスト材を硬化させてドットパターンを
定着させても良い。

【００６５】また、硬化促進剤でレジスト材のインクを
硬化させるのに、熱硬化性の硬化促進剤を用いること
で、被対象物と共に塗布されたレジスト材のドットパタ
ーンを加熱処理して、そのレジスト材を硬化させてドッ
トパターンを定着させても良い。

【００６６】（２）上記実施の形態では、誘電体共振器
などの電子部品についてレジストを形成するものを示し
たが、これに限定されるものでなく、電子部品としては
例えばコンデンサのチップ部品などにも本発明を適用で
きるとともに、電子部品以外では、例えばプリント基板
にレジストを形成する場合などにも本発明を適用でき
る。

【００６７】（３）上記実施の形態では、単一のインク
ジェットプリンタヘッドからのインクジェットによりレ
ジストを形成するものを示したが、複数のインクジェッ
トプリンタヘッドからのインクジェットによりレジスト
を形成しても良い。この場合、各インクジェットプリン
タヘッドが各別に対応する複数個の被対象物にそれぞれ
に同時にレジストを塗布するように制御しても良いとと
もに、一つの被対象物に複数のインクジェットプリンタ
ヘッドからのインクジェットでそれぞれのインクジェッ
トプリンタヘッドが対応した形成領域についてレジスト
を形成するようにしても良い。

【００６８】（４）上記実施の形態では、液状のレジス
ト材のインクをインクジェットプリンタヘッドから間欠
噴射することにより被対象物にドットパターンを塗布す
るものを示したが、例えばスラリー状の半流動体状のレ
ジスト材のインクを用いてもよい。

【００６９】

【発明の効果】本発明によれば、従来、インクジェット
プリンタヘッドからのレジスト材の間欠噴射で一度だけ
の塗布によりレジストの形成を図っていたのに対して、
少なくとも２回ドットパターンを塗り重ねるようにして
いるから、従来のようにドットパターン同士が塗布後つ
ながるような流動性の高いレジスト材を用いなくてよ
く、このように流動性が高いレジスト材を用いた場合に
生じやすいレジスト材の必要以上の拡散を抑制できるも
のとなる。また、そのような利点がありながら、重ね塗
りをすることにより、塗り残しが生じないようにでき、
レジストの形状なども精度の良いものにできるという効
果を奏する。

【００７０】また、インクジェットプリンタヘッドで被
対象物に塗布されたドットパターンが定着工程を経て一
旦定着した状態となった後、そのドットパターンに対し
て、さらにドットパターンを重ね塗りすると、重ね塗り
されてもドットパターンが不当に飛び散ったり流動した
りすることもなく、後に塗布されたレジスト材は先に塗
布されたドットパターン間を埋めるように塗布されるこ
とになり、不必要にレジスト材が広がらないようにでき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】レジストを塗布する様子を側面視で示す概略説
明図

【図２】レジストを塗布する様子を示す斜視図

【図３】２種のドットパターン（ａ），（ｂ）と両パタ
ーンを重ね塗りした状態（ｃ）とを示す平面図

【図４】レジスト材の粘性が強い場合（ａ）とそれより
弱い場合（ｂ）のドットパターンをそれぞれ示すの平面
および縦断面図

【図５】チップ部品の凸角部へレジスト材を塗布する様
子を側面視で示す概略説明図

【図６】図５においてレジストを塗布する様子を示す斜
視図

【符号の説明】

１ インクジェットプリンタヘッド ２ チップ部品（被対象物） Ａ，Ｂ ドットパターン Ｒ レジスト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C056 EC73 EC74 FA15 FB01 FB05 FC01 2C062 RA03 2H025 AA18 AB15 AB17 EA04 5E339 AC10 BC01 CC01 CD01 CE02 CE13 CE20 DD02 EE05 GG10

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液状または半流動体状のレジスト材を間
   欠噴射するインクジェットプリンタヘッドでドットパタ
   ーンを形成しながら前記レジスト材を被対象物に塗布す
   るレジスト形成方法において、 前記インクジェットプリンタヘッドにより前記被対象物
   に一旦塗布されたレジスト材のドットパターンに対し
   て、前記インクジェットプリンタヘッドからのレジスト
   材の間欠噴射により少なくとも１回ドットパターンを塗
   り重ねることを特徴とするレジスト形成方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のレジスト形成方法にお
   いて、 前記インクジェットプリンタヘッドにより一旦塗布され
   た後定着工程を経て前記被対象物に定着したレジスト材
   のドットパターンに対して、前記インクジェットプリン
   タヘッドからのレジスト材の間欠噴射により少なくとも
   １回ドットパターンを塗り重ねることを特徴とするレジ
   スト形成方法。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のレジスト形成方法にお
   いて、 前記定着工程は、前記レジスト材から溶媒が気化して除
   去されることにより前記レジスト材を前記被対象物に定
   着させることを特徴とするレジスト形成方法。
4. 【請求項４】 請求項２に記載のレジスト形成方法にお
   いて、 前記定着工程は、前記レジスト材に含まれる硬化促進剤
   で硬化させることにより前記レジスト材を前記被対象物
   に定着させることを特徴とするレジスト形成方法。
5. 【請求項５】 前記請求項４に記載のレジスト形成方法
   において、 前記硬化促進剤は光硬化性のものであって、光の照射に
   より前記レジスト材を硬化させることを特徴とするレジ
   スト形成方法。
6. 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載のレジ
   スト形成方法において、 前記インクジェットプリンタヘッドから間欠噴射される
   前記レジスト材の粘性を調整することにより前記ドット
   パターンの直径を制御することを特徴とするレジスト形
   成方法。
7. 【請求項７】 請求項１から６のいずれかに記載のレジ
   スト形成方法において、 前記インクジェットプリンタヘッドのインク噴射方向に
   対して、レジスト材を塗布する被対象物の凸角部の２面
   が共に臨むように、前記インクジェットプリンタヘッド
   と前記被対象物との相対姿勢を設定して、前記インクジ
   ェットプリンタヘッドから被対象物の前記凸角部に対し
   てレジスト材を塗布することを特徴とするレジスト形成
   方法。
8. 【請求項８】 請求項１から７のいずれかに記載のレジ
   スト形成方法において、 前記レジスト材のインクには、塗布後の加熱処理により
   耐熱性レジストを形成することのできる耐熱性素材を含
   有していることを特徴とするレジスト形成方法。
9. 【請求項９】 請求項１から８のいずれかに記載のレジ
   スト形成方法において、 前記レジスト材を塗布する対象領域が前記レジスト材で
   隙間なく埋まるまで前記インクジェットプリンタヘッド
   によって先に塗布されたドットパターンが定着した後塗
   り重ねることを特徴とするレジスト形成方法。