JP2003148468A - 制御型磁気軸受 - Google Patents

制御型磁気軸受

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JP2003148468A JP2001343322A JP2001343322A JP2003148468A JP 2003148468 A JP2003148468 A JP 2003148468A JP 2001343322 A JP2001343322 A JP 2001343322A JP 2001343322 A JP2001343322 A JP 2001343322A JP 2003148468 A JP2003148468 A JP 2003148468A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 適切に制御を行うことができるようラジアル
センサが配置された制御型磁気軸受を提供する。 【解決手段】 ラジアルセンサ4によって検出された回
転体Rのラジアル方向の変位に基づいて電磁石3を制御
する制御型磁気軸受において、前記電磁石3は、回転体
軸方向に分割された電磁石分割体3a,3c;3b,3
dの組み合わせによって構成され、前記ラジアルセンサ
4は、両電磁石分割体3a,3c;3b,3dの間に配
置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、制御型磁気軸受に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】制御型磁気軸受では、電磁石の制御とし
て、回転体のラジアル方向の変位を検出するラジアルセ
ンサで回転体の目標位置に対するずれ変位を検出し、そ
のずれ量をゼロにするよう電磁石に電流を流すフィード
バック制御を行っている。したがって、理想的には、回
転体の変位検出位置と電磁石位置とは回転体に対して同
じ位置(コロケーション)に配置すべきである。
【0003】しかし、構造上、変位検出位置と電磁石位
置とを同じ位置に配置することは困難な場合が多いこ
と、変位検出位置と電磁石位置とが多少異なっても、ほ
とんどの場合さほど問題とはならないことなどの理由か
ら、一般にはそのような配置はなされない(ノンコロケ
ーション)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ノンコロケ
ーション配置であると、次のような問題が発生する。す
なわち、回転体は、曲げモード固有振動数を有し、制御
型磁気軸受の制御系は回転体の曲げモード固有振動数を
発振させないように制御を行う。ところが、固有振動数
は、回転体が回転を始めると前回り固有振動数と後回り
固有振動数と呼ばれる振動数に分岐し、それぞれの値は
回転数とともに変化する。
【0005】このため、回転体の回転数が変化すると、
回転体Rの曲げモード(1次曲げモード)が、図7
(a)のような曲げモード形状Aから、図7(b)のよ
うな曲げモード形状Bに変化する。曲げモード形状が変
化すると、曲げモードの節dの位置も回転体軸方向に変
化する。
【0006】節dの位置が変化しても、節d、電磁石5
1、及びラジアルセンサ52の位置関係が図7(a)の
ままであれば問題はないが、節dの位置が変化して、節
d、電磁石51、及びラジアルセンサ52の位置関係が
図7(b)のようになると問題である。
【0007】図7(a)のように、節dからみて電磁石
51の位置とセンサ52の位置とが、軸方向にみて同じ
側にある場合、曲げモード形状Aの曲がり方向は、電磁
石51及びセンサ52からみていずれも離れた向きとな
っているため、センサ52では回転体Rが離れているこ
とを検知して電磁石51の回転体吸引力を大きくする制
御が行われる。この制御に問題はない。
【0008】一方、図7(b)のように、電磁石51と
センサ52の間に節dが位置すると、センサ52による
検出位置では曲げモード形状Bはセンサ52から離れる
方向に曲がっているが、逆に、電磁石51の位置では曲
げモード形状Bは電磁石51に近づく方向に曲がってい
る。このような状態では、電磁石51は回転体吸引力を
弱めるように制御されるべきであるが、実際には、セン
サ52の検知に基づき、電磁石51は回転体吸引力が大
きくなるように制御され、曲げ形状が大きくなってしま
う。これは、磁気軸受の制御としては全く逆の不適切な
制御となる。
【0009】本発明はかかる問題に鑑みてなされたもの
であって、適切に制御を行うことができるようラジアル
センサが配置された制御型磁気軸受を提供することを目
的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】第1の本発明は、ラジア
ルセンサによって検出された回転体のラジアル方向の変
位に基づいて電磁石を制御する制御型磁気軸受におい
て、前記電磁石は、回転体軸方向に分割された電磁石分
割体の組み合わせによって構成され、前記ラジアルセン
サは、両電磁石分割体の間に配置されていることを特徴
とする。
【0011】ラジアルセンサを、回転体軸方向に分割さ
れた電磁石分割体の間に配置することで、ラジアルセン
サの位置と電磁石の位置を一致させることができ、回転
体の回転数が変化して曲げモードの節の位置が変化して
も、適切な制御を行うことができる。
【0012】また、前記電磁石は、前記回転体を挟んで
ラジアル方向に対をなして配置されて1組とされ、組を
なす両電磁石にそれぞれ備えられた両ラジアルセンサに
よって検出された回転体の変位に基づいて、当該組をな
す両電磁石の電磁石分割体が制御されるのが好ましい。
電磁石を電磁石分割体の組み合わせによって構成するこ
とで電磁石分割体が多数となるが、かかる構成を採用す
ることで、各電磁石分割体の制御を容易に行うことがで
きる。
【0013】また、第2の本発明は、ラジアルセンサに
よって検出された回転体のラジアル方向の変位に基づい
て電磁石を制御する制御型磁気軸受において、前記ラジ
アルセンサは、前記電磁石を挟んで軸方向両側に対をな
して配置され、対のラジアルセンサの出力に基づき、電
磁石の位置に対応した検出位置における回転体の変位を
演算する演算手段を備えていることを特徴とする。
【0014】電磁石とラジアルセンサの位置が一致して
いなくとも、電磁石の軸方向両側で対をなすラジアルセ
ンサの各出力から電磁石に対応する位置における回転体
の変位を演算すれば、電磁石とラジアルセンサの位置が
一致しているのと同様の状態となり、回転体の回転数が
変化して曲げモードの節の位置が変化しても、適切な制
御を行うことができる。
【0015】また、前記回転体の回転数を検出する回転
数センサを更に備え、前記演算手段は、前記回転数セン
サによって検出された回転数に応じて、前記検出位置を
軸方向に異ならせて回転体の変位を演算するのが好まし
い。回転数に応じて検出位置を異ならせた方が電磁石を
適切に制御できる場合があり、回転数センサと演算手段
によって検出位置を異ならせて回転体の変位を演算する
ことで、電磁石の適切な制御が実現できる。
【0016】そして、回転体の回転数に対する曲げモー
ド節の位置を記憶するメモリを更に備え、前記演算手段
は、前記回転数センサによって検出された回転数に基づ
いて求めた曲げモード節の位置を前記検出位置として回
転体の変位を演算するのが好ましい。回転体回転数に応
じて変化する曲げモード節の位置と検出位置とを一致さ
せると、回転体の変位量をラジアルセンサが検知しない
ため、回転体の発振を防止でき、適切な制御が行える。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。図1〜図3は第1実施形態に係る制
御型磁気軸受を示している。回転体軸方向からみた概略
平面図である図1において示す制御型磁気軸受の電磁石
ユニット1は、回転体Rの周囲に配置される円筒状のハ
ウジング2を備え、このハウジング2に、電磁石3と、
ラジアルセンサ4とが取り付けられている。
【0018】電磁石3は、回転体Rをラジアル方向に非
接触保持するためのラジアル磁気軸受を構成している。
電磁石3は複数個取り付けられており、ここでは、ラジ
アル方向2軸(X−X’,Y−Y’)分、計4個設けら
れており、X−X’軸方向に対をなす2個の電磁石3,
3で1組をなし、Y−Y’軸方向に対をなす2個の電磁
石で他の1組をなしている。各電磁石3は、複数の電磁
石分割体3a,3b,3c,3dの組み合わせによって
構成されており、各電磁石分割体3a,3b,3c,3
dは、それぞれヘテロポーラ型の電磁石として構成され
ている。
【0019】電磁石分割体3a,3b,3c,3dは、
図1に示すように周方向に2列並設されているととも
に、図2に示すように軸方向にも2段並設され、各電磁
石3は計4つの電磁石分割体によって構成されている。
これらの4つの電磁石分割体の組み合わせで実質的に一
つの電磁石と同様に作用する。
【0020】前記ラジアルセンサ4は、各電磁石3に1
個ずつ設けられており、本実施形態では、4つの電磁石
分割体3a,3b,3c,3dの中央位置に配置されて
いる。すなわち、ラジアルセンサ4は、周方向に並んだ
2つの電磁石分割体3a,3c(又は3b,3d)の周
方向中間位置であって、回転体Rの軸方向に並んだ2つ
の電磁石分割体3a,3b(又は3c,3d)の軸方向
中間位置に配置されている。
【0021】図3に示すように、かかる配置のセンサ4
で検出された回転体Rの変位(振れ回り量)は、A/D
コンバータ6によってアナログ変位信号からデジタル変
位信号に変換されDSP(デジタルシグナルプロセッ
サ)7に入力される。DPS7には、X−X’方向に組
をなす電磁石3,3のセンサ4,4、及びY−Y’方向
に組をなす電磁石3,3のセンサ4,4からそれぞれ信
号が入力され、DSP7は、X−X’方向に組をなす両
センサ4,4の信号から回転体RのX−X’方向の変位
を求め、Y−Y’方向に組をなすセンサ4,4の信号か
ら回転体RのY−Y’方向の変位を求める。
【0022】DSP7は、回転体Rの変位を減少させる
べく、電磁石3の制御信号を出力する。出力された制御
信号は、D/Aコンバータ8によってアナログ値に変換
され、増幅器9によって増幅されて電磁石3を構成する
各電磁石分割体3a,3b,3c,3dに巻装されたコ
イルに制御電流として与えられる。電磁石3の制御は、
各組毎に行われ、X−X’方向の変位はX−X’方向に
組をなす電磁石3,3によって制御され、Y−Y’方向
の変位はY−Y’方向に組をなす電磁石3,3によって
制御される。また、1つの電磁石3を構成する電磁石分
割体3a,3b,3c,3dに与えられる制御電流は、
すべて共通で与えてもよいし、あるいは各電磁石分割体
3a,3b,3c,3dに対して独立して与えてもよ
い。
【0023】前述のように、ラジアルセンサ4は、複数
の電磁石分割体の組み合わせからなる電磁石3の中央位
置にあるため、ラジアルセンサ4で検出する回転体Rの
変位検出位置と電磁石3の位置とが回転体軸方向におい
て一致することになり、理想的なコロケーションのセン
サ配置となる。したがって、回転体Rの回転数が変化し
て曲げモードの節の位置が変化しても、曲げモードの節
がセンサ4と電磁石3の間に位置することがないので、
適切な制御が行える。
【0024】また、ラジアルセンサ4は、複数の電磁石
分割体の組み合わせからなる電磁石3の中央位置にある
ため、ラジアルセンサ変位検出位置と電磁石の位置とは
回転体周方向においても一致することになり、周方向に
おいても適切な制御が行える。
【0025】図4及び図5は、第2の実施形態に係る制
御型磁気軸受を示している。この第2実施形態では、ラ
ジアルセンサとして、電磁石3の回転体軸方向一方側に
配置された第1ラジアルセンサ4aと電磁石3の回転体
軸方向他方側に配置された第2ラジアルセンサ4bとが
設けられており、第1及び第2のラジアルセンサ4a,
4bとが電磁石3を挟んで対をなしている。なお、第1
及び第2ラジアルセンサ4a,4bは電磁石3の周方向
中央位置に配置されている。
【0026】図5に示すように、軸方向に並設された第
1及び第2のラジアルセンサ4a,4bは、それぞれ回
転体Rの変位を検出し、各ラジアルセンサ4a,4bの
出力は、A/Dコンバータ6,6を介してDSP7に入
力される。DSP7では、対をなすラジアルセンサ4
a,4bの出力から、電磁石3の位置に対応した検出位
置Hにおける回転体Rの変位を演算する。この演算は、
両ラジアルセンサ4a,4bの出力値を平均化すること
によって行うことができる。
【0027】両ラジアルセンサ4a,4bの出力値を平
均化することにより、両ラジアルセンサ4a,4bの間
に位置する電磁石3の位置に対応した位置(以下「仮想
センサ位置」ともいう)Hにおける回転体Rの変位を求
めることができる。このようにDSP7は、コロケーシ
ョンとなる仮想センサ位置Hにおける回転体Rの変位を
演算により求める演算手段としても機能する。
【0028】したがって、スペース等の問題から軸方向
2段の電磁石分割体の間にラジアルセンサを配置できな
い場合や、電磁石3を軸方向2段に分割できない場合等
においては、ラジアルセンサをコロケーションセンサ配
置としなくとも、電磁石3の軸方向両側にそれぞれ設け
ることで、演算によりコロケーションセンサ出力と同等
な回転体R変位量を求めることができる。
【0029】両ラジアルセンサ4a,4bの出力値を単
に平均化する場合には、前記仮想センサ位置Hは両ラジ
アルセンサ4a,4b間の中央位置となるが、両出力値
を平均化する場合に、各出力値に異なる重みを付けた重
み付け平均化演算を行うことで、仮想センサ位置Hを軸
方向に変化させることができる。
【0030】例えば、図6に示すように、仮想センサ位
置Hを第1センサ4a寄りの位置H1とする場合には、
第1ラジアルセンサ4aの出力値を大きく(重み付け)
して第2ラジアルセンサ4aの出力値との平均値を算出
することにより、算出された値は両ラジアルセンサ4
a,4bの中央位置Hより第1ラジアルセンサ4a側の
仮想センサ位置H1における変位量となる。
【0031】さらに、仮想センサ位置Hの軸方向移動が
可能であることを利用して、回転体Rの回転数変化によ
って変化する曲げモードの節dの変化に、仮想センサ位
置Hを追随させて変化させる演算を行うこともできる。
【0032】例えば、曲げモードの節dの位置とセンサ
位置(仮想センサ位置H)とが一致していると、回転体
Rの変位(振動)量をラジアルセンサが検知しないた
め、発振を防止できる。したがって、センサは、曲げモ
ードの節の位置に一致させて配置するのが理想的である
が、回転体Rの曲げモードの節dの位置は回転数によっ
て軸方向に変化するため、位置固定されたラジアルセン
サでは、曲げモードの節dの移動に対応できない。一
方、ラジアルセンサを位置変更自在とすると構造が複雑
となる。
【0033】これに対し、軸方向に対をなすラジアルセ
ンサ4a,4bによって仮想センサ位置Hにおける変位
を演算する方式にあっては、前述のように仮想センサ位
置Hを演算によって変化させることができる。
【0034】そして、予め測定された曲げモードの節の
位置の回転体回転数による変化データが記憶されたメモ
リ10と、回転体Rの回転数を測定する回転数センサ1
1とを設けておくことで(図5参照)、DSP7では、
回転数センサ11で測定した回転数に基づいて現在の節
d1の位置を求め、現在の節の位置d1と仮想センサ位
置H1とを一致させつつ、電磁石3の制御をすることが
でき、発振を防止できる。
【0035】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではない。例えば、上記実施形態では電磁石分割
体としてヘテロポーラ電磁石を例示して説明したが、ホ
モポーラ型電磁石を採用することもできる。
【0036】
【発明の効果】第1の本発明によれば、ラジアルセンサ
を、回転体軸方向に分割された電磁石分割体の間に配置
したので、ラジアルセンサの位置と電磁石の位置を一致
させることができ、回転体の回転数が変化して曲げモー
ドの節の位置が変化しても、適切な制御を行うことがで
きる。また、回転体を挟んでラジアル方向に対となって
組をなす両電磁石にそれぞれ備えられた両ラジアルセン
サによって検出された回転体の変位に基づいて、当該組
をなす両電磁石の電磁石分割体を制御することで、各電
磁石分割体の制御を容易に行うことができる。
【0037】また、第2の本発明によれば、電磁石とラ
ジアルセンサの位置が一致していなくとも、電磁石の軸
方向両側で対をなすラジアルセンサの各出力から演算に
より電磁石に対応する位置における回転体の変位を求め
ることができ、回転体の回転数が変化して曲げモードの
節の位置が変化しても、適切な制御を行うことができ
る。また、回転数センサと演算手段によって検出位置を
異ならせて回転体の変位を演算すれば、電磁石の適切な
制御が実現でき、さらに、回転体回転数に応じて変化す
る曲げモード節の位置と検出位置とを一致させると、回
転体の変位量をラジアルセンサが検知しないため、回転
体の発振を防止でき、適切な制御が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態に係る制御型磁気軸受の電磁石ユ
ニットを回転体軸方向からみた平面図である。
【図2】第1実施形態の制御型磁気軸受の側断面図であ
る。
【図3】第1実施形態の制御型磁気軸受の制御装置の構
成図である。
【図4】第2実施形態に係る制御型磁気軸受の側断面図
である。
【図5】第2実施形態の制御型磁気軸受の制御装置の構
成図である。
【図6】第2実施形態において仮想センサ位置を曲げモ
ードの節に追随させる場合の概念図である。
【図7】電磁石とラジアルセンサの位置が異なる場合の
問題点を説明する説明図である。
【符号の説明】
3 電磁石 3a 電磁石分割体 3b 電磁石分割体 3c 電磁石分割体 3d 電磁石分割体 4 ラジアルセンサ 4a 第1ラジアルセンサ 4b 第2ラジアルセンサ 7 DSP(演算手段) R 回転体 H 仮想センサ位置(検出位置) d 曲げモード節

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ラジアルセンサによって検出された回転体
    のラジアル方向の変位に基づいて電磁石を制御する制御
    型磁気軸受において、 前記電磁石は、回転体軸方向に分割された電磁石分割体
    の組み合わせによって構成され、 前記ラジアルセンサは、両電磁石分割体の間に配置され
    ていることを特徴とする制御型磁気軸受。
  2. 【請求項2】前記電磁石は、前記回転体を挟んでラジア
    ル方向に対をなして配置されて1組とされ、 組をなす両電磁石にそれぞれ備えられた両ラジアルセン
    サによって検出された回転体の変位に基づいて、当該組
    をなす両電磁石の電磁石分割体が制御されることを特徴
    とする請求項1記載の制御型磁気軸受。
  3. 【請求項3】ラジアルセンサによって検出された回転体
    のラジアル方向の変位に基づいて電磁石を制御する制御
    型磁気軸受において、 前記ラジアルセンサは、前記電磁石を挟んで軸方向両側
    に対をなして配置され、 対のラジアルセンサの出力に基づき、電磁石の位置に対
    応した検出位置における回転体の変位を演算する演算手
    段を備えていることを特徴とする制御型磁気軸受。
  4. 【請求項4】前記回転体の回転数を検出する回転数セン
    サを更に備え、 前記演算手段は、前記回転数センサによって検出された
    回転数に応じて、前記検出位置を軸方向に異ならせて回
    転体の変位を演算することを特徴とする請求項3記載の
    制御型磁気軸受。
  5. 【請求項5】回転体の回転数に対する曲げモード節の位
    置を記憶するメモリを更に備え、 前記演算手段は、前記回転数センサによって検出された
    回転数に基づいて求めた曲げモード節の位置を前記検出
    位置として回転体の変位を演算することを特徴とする請
    求項4記載の制御型磁気軸受。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005032675A1 (de) * 2005-07-13 2007-01-25 Renk Ag Aktives Magnetlager mit integrierter Wegsensorik
US8003299B2 (en) 2004-04-30 2011-08-23 Eastman Kodak Company Photosensitive original printing plate for relief printing, method for producing relief printing plate, and light-shielding ink for performing the method
EP3023655A1 (en) * 2014-11-24 2016-05-25 ABB Technology AG Active magnetic bearing arrangement and method
WO2017006844A1 (ja) * 2015-07-07 2017-01-12 エドワーズ株式会社 電磁石ユニット、磁気軸受装置及び真空ポンプ
CN113833757A (zh) * 2021-09-23 2021-12-24 北京航空航天大学 一种五自由度转子轴向位移自传感磁悬浮轴承

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8003299B2 (en) 2004-04-30 2011-08-23 Eastman Kodak Company Photosensitive original printing plate for relief printing, method for producing relief printing plate, and light-shielding ink for performing the method
DE102005032675A1 (de) * 2005-07-13 2007-01-25 Renk Ag Aktives Magnetlager mit integrierter Wegsensorik
EP3023655A1 (en) * 2014-11-24 2016-05-25 ABB Technology AG Active magnetic bearing arrangement and method
WO2017006844A1 (ja) * 2015-07-07 2017-01-12 エドワーズ株式会社 電磁石ユニット、磁気軸受装置及び真空ポンプ
JP2017020520A (ja) * 2015-07-07 2017-01-26 エドワーズ株式会社 電磁石ユニット、磁気軸受装置及び真空ポンプ
CN113833757A (zh) * 2021-09-23 2021-12-24 北京航空航天大学 一种五自由度转子轴向位移自传感磁悬浮轴承

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