JP3766013B2 - 制御型磁気軸受 - Google Patents

制御型磁気軸受 Download PDF

Info

Publication number
JP3766013B2
JP3766013B2 JP2001343322A JP2001343322A JP3766013B2 JP 3766013 B2 JP3766013 B2 JP 3766013B2 JP 2001343322 A JP2001343322 A JP 2001343322A JP 2001343322 A JP2001343322 A JP 2001343322A JP 3766013 B2 JP3766013 B2 JP 3766013B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electromagnet
rotating body
sensor
radial
displacement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001343322A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003148468A (ja
Inventor
良一 高畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JTEKT Corp
Original Assignee
JTEKT Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JTEKT Corp filed Critical JTEKT Corp
Priority to JP2001343322A priority Critical patent/JP3766013B2/ja
Publication of JP2003148468A publication Critical patent/JP2003148468A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3766013B2 publication Critical patent/JP3766013B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
    • F16C32/0446Determination of the actual position of the moving member, e.g. details of sensors
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0459Details of the magnetic circuit
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0474Active magnetic bearings for rotary movement
    • F16C32/048Active magnetic bearings for rotary movement with active support of two degrees of freedom, e.g. radial magnetic bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406Magnetic bearings
    • F16C32/044Active magnetic bearings
    • F16C32/0474Active magnetic bearings for rotary movement
    • F16C32/0487Active magnetic bearings for rotary movement with active support of four degrees of freedom

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、制御型磁気軸受に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
制御型磁気軸受では、電磁石の制御として、回転体のラジアル方向の変位を検出するラジアルセンサで回転体の目標位置に対するずれ変位を検出し、そのずれ量をゼロにするよう電磁石に電流を流すフィードバック制御を行っている。
したがって、理想的には、回転体の変位検出位置と電磁石位置とは回転体に対して同じ位置(コロケーション)に配置すべきである。
【0003】
しかし、構造上、変位検出位置と電磁石位置とを同じ位置に配置することは困難な場合が多いこと、変位検出位置と電磁石位置とが多少異なっても、ほとんどの場合さほど問題とはならないことなどの理由から、一般にはそのような配置はなされない(ノンコロケーション)。
【0004】
ところが、ノンコロケーション配置であると、次のような問題が発生する。すなわち、回転体は、曲げモード固有振動数を有し、制御型磁気軸受の制御系は回転体の曲げモード固有振動数を発振させないように制御を行う。ところが、固有振動数は、回転体が回転を始めると前回り固有振動数と後回り固有振動数と呼ばれる振動数に分岐し、それぞれの値は回転数とともに変化する。
【0005】
このため、回転体の回転数が変化すると、回転体Rの曲げモード(1次曲げモード)が、図7(a)のような曲げモード形状Aから、図7(b)のような曲げモード形状Bに変化する。曲げモード形状が変化すると、曲げモードの節dの位置も回転体軸方向に変化する。
【0006】
節dの位置が変化しても、節d、電磁石51、及びラジアルセンサ52の位置関係が図7(a)のままであれば問題はないが、節dの位置が変化して、節d、電磁石51、及びラジアルセンサ52の位置関係が図7(b)のようになると問題である。
【0007】
図7(a)のように、節dからみて電磁石51の位置とセンサ52の位置とが、軸方向にみて同じ側にある場合、曲げモード形状Aの曲がり方向は、電磁石51及びセンサ52からみていずれも離れた向きとなっているため、センサ52では回転体Rが離れていることを検知して電磁石51の回転体吸引力を大きくする制御が行われる。この制御に問題はない。
【0008】
一方、図7(b)のように、電磁石51とセンサ52の間に節dが位置すると、センサ52による検出位置では曲げモード形状Bはセンサ52から離れる方向に曲がっているが、逆に、電磁石51の位置では曲げモード形状Bは電磁石51に近づく方向に曲がっている。このような状態では、電磁石51は回転体吸引力を弱めるように制御されるべきであるが、実際には、センサ52の検知に基づき、電磁石51は回転体吸引力が大きくなるように制御され、曲げ形状が大きくなってしまう。これは、磁気軸受の制御としては全く逆の不適切な制御となる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、曲げモードの節dの位置とセンサ位置とが一致していると、回転体Rの変位(振動)量をラジアルセンサが検知しないため、発振を防止できる。したがって、センサは、曲げモードの節の位置に一致させて配置するのが理想的であるが、回転体Rの曲げモードの節dの位置は回転数によって軸方向に変化するため、位置固定されたラジアルセンサでは、曲げモードの節dの移動に対応できない。一方、ラジアルセンサを位置変更自在とすると構造が複雑となる。
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであって、構造を複雑化することなく回転体の発振を防止することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ラジアルセンサによって検出された回転体のラジアル方向の変位に基づいて電磁石を制御する制御型磁気軸受において、前記ラジアルセンサは、前記電磁石を挟んで軸方向両側に対をなして配置され、対のラジアルセンサの出力に基づき、電磁石の位置に対応した検出位置における回転体の変位を演算する演算手段と、前記回転体の回転数を検出する回転数センサとを備え、前記演算手段は、前記検出位置を前記回転体の回転数に応じて変化する曲げモードの節の位置に追随させるために、前記回転数センサによって検出された回転数に応じて、前記検出位置を軸方向に異ならせて回転体の変位を演算することを特徴とする。
【0011】
本発明によれば、演算によって、検出位置を回転体の回転数に応じて変化する曲げモードの節の位置に追随させることができるため、回転体の発振を防止することができる。
【0012】
そして、回転体の回転数に対する曲げモード節の位置を記憶するメモリを更に備え、前記演算手段は、前記回転数センサによって検出された回転数に基づいて求めた曲げモード節の位置を前記検出位置として回転体の変位を演算するのが好ましい。回転体回転数に応じて変化する曲げモード節の位置と検出位置とを一致させると、回転体の変位量をラジアルセンサが検知しないため、回転体の発振を防止でき、適切な制御が行える。
【0013】
以下は、本願で開示する参考発明である。
第1の参考発明は、ラジアルセンサによって検出された回転体のラジアル方向の変位に基づいて電磁石を制御する制御型磁気軸受において、前記電磁石は、回転体軸方向に分割された電磁石分割体の組み合わせによって構成され、前記ラジアルセンサは、両電磁石分割体の間に配置されていることを特徴とする。
【0014】
ラジアルセンサを、回転体軸方向に分割された電磁石分割体の間に配置することで、ラジアルセンサの位置と電磁石の位置を一致させることができ、回転体の回転数が変化して曲げモードの節の位置が変化しても、適切な制御を行うことができる。
【0015】
また、前記電磁石は、前記回転体を挟んでラジアル方向に対をなして配置されて1組とされ、組をなす両電磁石にそれぞれ備えられた両ラジアルセンサによって検出された回転体の変位に基づいて、当該組をなす両電磁石の電磁石分割体が制御されるのが好ましい。電磁石を電磁石分割体の組み合わせによって構成することで電磁石分割体が多数となるが、かかる構成を採用することで、各電磁石分割体の制御を容易に行うことができる。
【0016】
また、第2の参考発明は、ラジアルセンサによって検出された回転体のラジアル方向の変位に基づいて電磁石を制御する制御型磁気軸受において、前記ラジアルセンサは、前記電磁石を挟んで軸方向両側に対をなして配置され、対のラジアルセンサの出力に基づき、電磁石の位置に対応した検出位置における回転体の変位を演算する演算手段を備えていることを特徴とする。
電磁石とラジアルセンサの位置が一致していなくとも、電磁石の軸方向両側で対をなすラジアルセンサの各出力から電磁石に対応する位置における回転体の変位を演算すれば、電磁石とラジアルセンサの位置が一致しているのと同様の状態となり、回転体の回転数が変化して曲げモードの節の位置が変化しても、適切な制御を行うことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて参考発明及び本発明の実施形態を説明する。図1〜図3は前記参考発明の実施形態に係る制御型磁気軸受を示している。回転体軸方向からみた概略平面図である図1において示す制御型磁気軸受の電磁石ユニット1は、回転体Rの周囲に配置される円筒状のハウジング2を備え、このハウジング2に、電磁石3と、ラジアルセンサ4とが取り付けられている。
【0018】
電磁石3は、回転体Rをラジアル方向に非接触保持するためのラジアル磁気軸受を構成している。電磁石3は複数個取り付けられており、ここでは、ラジアル方向2軸(X−X’,Y−Y’)分、計4個設けられており、X−X’軸方向に対をなす2個の電磁石3,3で1組をなし、Y−Y’軸方向に対をなす2個の電磁石で他の1組をなしている。
各電磁石3は、複数の電磁石分割体3a,3b,3c,3dの組み合わせによって構成されており、各電磁石分割体3a,3b,3c,3dは、それぞれヘテロポーラ型の電磁石として構成されている。
【0019】
電磁石分割体3a,3b,3c,3dは、図1に示すように周方向に2列並設されているとともに、図2に示すように軸方向にも2段並設され、各電磁石3は計4つの電磁石分割体によって構成されている。これらの4つの電磁石分割体の組み合わせで実質的に一つの電磁石と同様に作用する。
【0020】
前記ラジアルセンサ4は、各電磁石3に1個ずつ設けられており、本実施形態では、4つの電磁石分割体3a,3b,3c,3dの中央位置に配置されている。すなわち、ラジアルセンサ4は、周方向に並んだ2つの電磁石分割体3a,3c(又は3b,3d)の周方向中間位置であって、回転体Rの軸方向に並んだ2つの電磁石分割体3a,3b(又は3c,3d)の軸方向中間位置に配置されている。
【0021】
図3に示すように、かかる配置のセンサ4で検出された回転体Rの変位(振れ回り量)は、A/Dコンバータ6によってアナログ変位信号からデジタル変位信号に変換されDSP(デジタルシグナルプロセッサ)7に入力される。DPS7には、X−X’方向に組をなす電磁石3,3のセンサ4,4、及びY−Y’方向に組をなす電磁石3,3のセンサ4,4からそれぞれ信号が入力され、DSP7は、X−X’方向に組をなす両センサ4,4の信号から回転体RのX−X’方向の変位を求め、Y−Y’方向に組をなすセンサ4,4の信号から回転体RのY−Y’方向の変位を求める。
【0022】
DSP7は、回転体Rの変位を減少させるべく、電磁石3の制御信号を出力する。出力された制御信号は、D/Aコンバータ8によってアナログ値に変換され、増幅器9によって増幅されて電磁石3を構成する各電磁石分割体3a,3b,3c,3dに巻装されたコイルに制御電流として与えられる。電磁石3の制御は、各組毎に行われ、X−X’方向の変位はX−X’方向に組をなす電磁石3,3によって制御され、Y−Y’方向の変位はY−Y’方向に組をなす電磁石3,3によって制御される。
また、1つの電磁石3を構成する電磁石分割体3a,3b,3c,3dに与えられる制御電流は、すべて共通で与えてもよいし、あるいは各電磁石分割体3a,3b,3c,3dに対して独立して与えてもよい。
【0023】
前述のように、ラジアルセンサ4は、複数の電磁石分割体の組み合わせからなる電磁石3の中央位置にあるため、ラジアルセンサ4で検出する回転体Rの変位検出位置と電磁石3の位置とが回転体軸方向において一致することになり、理想的なコロケーションのセンサ配置となる。したがって、回転体Rの回転数が変化して曲げモードの節の位置が変化しても、曲げモードの節がセンサ4と電磁石3の間に位置することがないので、適切な制御が行える。
【0024】
また、ラジアルセンサ4は、複数の電磁石分割体の組み合わせからなる電磁石3の中央位置にあるため、ラジアルセンサ変位検出位置と電磁石の位置とは回転体周方向においても一致することになり、周方向においても適切な制御が行える。
【0025】
図4及び図5は、本発明の実施形態に係る制御型磁気軸受を示している。この本発明の実施形態では、ラジアルセンサとして、電磁石3の回転体軸方向一方側に配置された第1ラジアルセンサ4aと電磁石3の回転体軸方向他方側に配置された第2ラジアルセンサ4bとが設けられており、第1及び第2のラジアルセンサ4a,4bとが電磁石3を挟んで対をなしている。なお、第1及び第2ラジアルセンサ4a,4bは電磁石3の周方向中央位置に配置されている。
【0026】
図5に示すように、軸方向に並設された第1及び第2のラジアルセンサ4a,4bは、それぞれ回転体Rの変位を検出し、各ラジアルセンサ4a,4bの出力は、A/Dコンバータ6,6を介してDSP7に入力される。DSP7では、対をなすラジアルセンサ4a,4bの出力から、電磁石3の位置に対応した検出位置Hにおける回転体Rの変位を演算する。この演算は、両ラジアルセンサ4a,4bの出力値を平均化することによって行うことができる。
【0027】
両ラジアルセンサ4a,4bの出力値を平均化することにより、両ラジアルセンサ4a,4bの間に位置する電磁石3の位置に対応した位置(以下「仮想センサ位置」ともいう)Hにおける回転体Rの変位を求めることができる。このようにDSP7は、コロケーションとなる仮想センサ位置Hにおける回転体Rの変位を演算により求める演算手段としても機能する。
【0028】
したがって、スペース等の問題から軸方向2段の電磁石分割体の間にラジアルセンサを配置できない場合や、電磁石3を軸方向2段に分割できない場合等においては、ラジアルセンサをコロケーションセンサ配置としなくとも、電磁石3の軸方向両側にそれぞれ設けることで、演算によりコロケーションセンサ出力と同等な回転体R変位量を求めることができる。
【0029】
両ラジアルセンサ4a,4bの出力値を単に平均化する場合には、前記仮想センサ位置Hは両ラジアルセンサ4a,4b間の中央位置となるが、両出力値を平均化する場合に、各出力値に異なる重みを付けた重み付け平均化演算を行うことで、仮想センサ位置Hを軸方向に変化させることができる。
【0030】
例えば、図6に示すように、仮想センサ位置Hを第1センサ4a寄りの位置H1とする場合には、第1ラジアルセンサ4aの出力値を大きく(重み付け)して第2ラジアルセンサ4aの出力値との平均値を算出することにより、算出された値は両ラジアルセンサ4a,4bの中央位置Hより第1ラジアルセンサ4a側の仮想センサ位置H1における変位量となる。
【0031】
さらに、仮想センサ位置Hの軸方向移動が可能であることを利用して、回転体Rの回転数変化によって変化する曲げモードの節dの変化に、仮想センサ位置Hを追随させて変化させる演算を行うこともできる。
【0032】
例えば、曲げモードの節dの位置とセンサ位置(仮想センサ位置H)とが一致していると、回転体Rの変位(振動)量をラジアルセンサが検知しないため、発振を防止できる。したがって、センサは、曲げモードの節の位置に一致させて配置するのが理想的であるが、回転体Rの曲げモードの節dの位置は回転数によって軸方向に変化するため、位置固定されたラジアルセンサでは、曲げモードの節dの移動に対応できない。一方、ラジアルセンサを位置変更自在とすると構造が複雑となる。
【0033】
これに対し、軸方向に対をなすラジアルセンサ4a,4bによって仮想センサ位置Hにおける変位を演算する方式にあっては、前述のように仮想センサ位置Hを演算によって変化させることができる。
【0034】
そして、予め測定された曲げモードの節の位置の回転体回転数による変化データが記憶されたメモリ10と、回転体Rの回転数を測定する回転数センサ11とを設けておくことで(図5参照)、DSP7では、回転数センサ11で測定した回転数に基づいて現在の節d1の位置を求め、現在の節の位置d1と仮想センサ位置H1とを一致させつつ、電磁石3の制御をすることができ、発振を防止できる。
【0035】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では電磁石分割体としてヘテロポーラ電磁石を例示して説明したが、ホモポーラ型電磁石を採用することもできる。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、演算によって、検出位置を回転体の回転数に応じて変化する曲げモードの節の位置に追随させることができるため、回転体の発振を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 参考発明の実施形態に係る制御型磁気軸受の電磁石ユニットを回転体軸方向からみた平面図である。
【図2】 参考発明の実施形態の制御型磁気軸受の側断面図である。
【図3】 参考発明の実施形態の制御型磁気軸受の制御装置の構成図である。
【図4】 本発明の実施形態に係る制御型磁気軸受の側断面図である。
【図5】 本発明の実施形態の制御型磁気軸受の制御装置の構成図である。
【図6】 本発明の実施形態において仮想センサ位置を曲げモードの節に追随させる場合の概念図である。
【図7】 電磁石とラジアルセンサの位置が異なる場合の問題点を説明する説明図である。
【符号の説明】
3 電磁石
3a 電磁石分割体
3b 電磁石分割体
3c 電磁石分割体
3d 電磁石分割体
4 ラジアルセンサ
4a 第1ラジアルセンサ
4b 第2ラジアルセンサ
7 DSP(演算手段)
R 回転体
H 仮想センサ位置(検出位置)
d 曲げモード節

Claims (2)

  1. ラジアルセンサによって検出された回転体のラジアル方向の変位に基づいて電磁石を制御する制御型磁気軸受において、
    前記ラジアルセンサは、前記電磁石を挟んで軸方向両側に対をなして配置され、
    対のラジアルセンサの出力に基づき、電磁石の位置に対応した検出位置における回転体の変位を演算する演算手段と、前記回転体の回転数を検出する回転数センサとを備え、
    前記演算手段は、前記検出位置を前記回転体の回転数に応じて変化する曲げモードの節の位置に追随させるために、前記回転数センサによって検出された回転数に応じて、前記検出位置を軸方向に異ならせて回転体の変位を演算することを特徴とする制御型磁気軸受。
  2. 回転体の回転数に対する曲げモード節の位置を記憶するメモリを更に備え、
    前記演算手段は、前記回転数センサによって検出された回転数に基づいて求めた曲げモード節の位置を前記検出位置として回転体の変位を演算することを特徴とする請求項1記載の制御型磁気軸受。
JP2001343322A 2001-11-08 2001-11-08 制御型磁気軸受 Expired - Fee Related JP3766013B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001343322A JP3766013B2 (ja) 2001-11-08 2001-11-08 制御型磁気軸受

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001343322A JP3766013B2 (ja) 2001-11-08 2001-11-08 制御型磁気軸受

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003148468A JP2003148468A (ja) 2003-05-21
JP3766013B2 true JP3766013B2 (ja) 2006-04-12

Family

ID=19157030

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001343322A Expired - Fee Related JP3766013B2 (ja) 2001-11-08 2001-11-08 制御型磁気軸受

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3766013B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11028853B2 (en) 2015-07-07 2021-06-08 Edwards Japan Limited Electromagnetic unit, magnetic bearing device, and vacuum pump

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4342373B2 (ja) 2004-04-30 2009-10-14 東京応化工業株式会社 凸版印刷用感光性印刷原版、凸版印刷版の製造方法、および該製造方法用遮光インク
DE102005032675A1 (de) * 2005-07-13 2007-01-25 Renk Ag Aktives Magnetlager mit integrierter Wegsensorik
EP3023655A1 (en) * 2014-11-24 2016-05-25 ABB Technology AG Active magnetic bearing arrangement and method
CN113833757B (zh) * 2021-09-23 2022-08-02 北京航空航天大学 一种五自由度转子轴向位移自传感磁悬浮轴承

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11028853B2 (en) 2015-07-07 2021-06-08 Edwards Japan Limited Electromagnetic unit, magnetic bearing device, and vacuum pump

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003148468A (ja) 2003-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5155402A (en) Bearing radially and axially supporting rotor of large radial dimensions
US10447119B2 (en) Encoder for a rotary motor
US7319320B2 (en) Rotation angle detecting device
JP5273481B2 (ja) 回動デバイス位置検知システムおよび方法
US6661225B2 (en) Revolution detecting device
US20040017190A1 (en) Apparatus and method for absolute angular position sensing
CN104802182A (zh) 致动器和多关节机器人臂
JP3766013B2 (ja) 制御型磁気軸受
CN107727088A (zh) 一种基于非线性自适应控制的全主动磁轴承系统惯性轴辨识方法
JPH1198784A (ja) 非同軸誘導モータ用同心制御装置
JP3605968B2 (ja) 回転角センサ
JPH03233317A (ja) 回転角度センサ
WO2022224381A1 (ja) ベアリングレスモータ
JP3689439B2 (ja) 磁気軸受装置
WO2021158265A1 (en) Position sensor system using equidistantly spaced magnetic sensor arrays
JP2001255335A (ja) 回転検出機能付軸受
JP4269669B2 (ja) 転がり軸受ユニット用荷重測定装置
JPH04315936A (ja) 回転体のアンバランス量測定装置
JP7406362B2 (ja) ポジションセンサ及びポジション検出方法
JPH0743486Y2 (ja) 磁気軸受の制御回路
WO2019142732A1 (ja) 回転角度検出装置
WO2024106107A1 (ja) 位置検出装置
JP2606256Y2 (ja) 磁気軸受装置
JP4775758B2 (ja) 磁気式エンコーダ装置
JPH02221808A (ja) 磁気軸受ジャイロ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040301

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20051019

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051101

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051219

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060110

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060125

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100203

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100203

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110203

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120203

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees