JP2003133099A - Ｘ線装置及びレーザ装置 - Google Patents
Ｘ線装置及びレーザ装置Info
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- JP2003133099A JP2003133099A JP2001325997A JP2001325997A JP2003133099A JP 2003133099 A JP2003133099 A JP 2003133099A JP 2001325997 A JP2001325997 A JP 2001325997A JP 2001325997 A JP2001325997 A JP 2001325997A JP 2003133099 A JP2003133099 A JP 2003133099A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高圧電源のトランスをサイズを抑えて装置の
小型化が可能となるＸ線装置を提供する。 【解決手段】 Ｘ線発生用の高電圧が印加される電極１
０ａ、１０ｂを有するＸ線発生管１０と、Ｘ線発生管１
０の電極１０ａ、１０ｂに印加する高電圧を発生するた
めの高圧電源２０とを備えたＸ線装置において、高圧電
源２０を、１次巻線及びＸ線発生管１０の電極１０ａ、
１０ｂに接続された２次巻線を有するフライバックトラ
ンス２１と、フライバックトランス２１の２次巻線側に
パルス状のフライバック電圧を発生させるためのパルス
状の励磁用電圧をフライバックトランス２１の１次巻線
側に印加する励磁用電圧印加手段２２とを用い、フライ
バックトランス２１の２次巻線側に発生したパルス状の
フライバック電圧ＶｏをＸ線発生管１０に印加するよう
に構成する。
小型化が可能となるＸ線装置を提供する。 【解決手段】 Ｘ線発生用の高電圧が印加される電極１
０ａ、１０ｂを有するＸ線発生管１０と、Ｘ線発生管１
０の電極１０ａ、１０ｂに印加する高電圧を発生するた
めの高圧電源２０とを備えたＸ線装置において、高圧電
源２０を、１次巻線及びＸ線発生管１０の電極１０ａ、
１０ｂに接続された２次巻線を有するフライバックトラ
ンス２１と、フライバックトランス２１の２次巻線側に
パルス状のフライバック電圧を発生させるためのパルス
状の励磁用電圧をフライバックトランス２１の１次巻線
側に印加する励磁用電圧印加手段２２とを用い、フライ
バックトランス２１の２次巻線側に発生したパルス状の
フライバック電圧ＶｏをＸ線発生管１０に印加するよう
に構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パルス状の高電圧
を発生するための高圧電源を備えたＸ線装置及びレーザ
装置に関するものである。
を発生するための高圧電源を備えたＸ線装置及びレーザ
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｘ線発生管に高電圧を印加するＸ
線装置として、例えば１：１０００程度の巻線比で作製
されたトランスを用い、このトランスの一次側に印加し
た交流電圧を数ｋＶ〜数百ｋＶまで昇圧してＸ線発生管
に印加するものが知られている。この高電圧の印加によ
り、Ｘ線発生管内で加速された電子をターゲット電極に
衝突させ、所定強度のＸ線を発生させる。また、レーザ
発振用の放電管に高電圧を印加するレーザ装置として、
上記Ｘ線装置の場合と同様に交流電圧をトランスで昇圧
した高電圧を放電管に印加するものが知られている。こ
の高電圧の印加により、所定のガスが封入された放電管
内で放電を発生させ、この放電で生じた放電管内の光の
強度を共振器等で所定のしきい値レベル以上になるよう
に強めることにより、レーザ発振させて外部にレーザ光
として取り出す。
線装置として、例えば１：１０００程度の巻線比で作製
されたトランスを用い、このトランスの一次側に印加し
た交流電圧を数ｋＶ〜数百ｋＶまで昇圧してＸ線発生管
に印加するものが知られている。この高電圧の印加によ
り、Ｘ線発生管内で加速された電子をターゲット電極に
衝突させ、所定強度のＸ線を発生させる。また、レーザ
発振用の放電管に高電圧を印加するレーザ装置として、
上記Ｘ線装置の場合と同様に交流電圧をトランスで昇圧
した高電圧を放電管に印加するものが知られている。こ
の高電圧の印加により、所定のガスが封入された放電管
内で放電を発生させ、この放電で生じた放電管内の光の
強度を共振器等で所定のしきい値レベル以上になるよう
に強めることにより、レーザ発振させて外部にレーザ光
として取り出す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
Ｘ線装置では、Ｘ線発生管に印加する高電圧を得るため
に巻線比の大きいトランスを用いる必要があったので、
高圧電源のサイズが大きくなり、Ｘ線装置の小型化を図
ることが難しかった。また、上記従来のレーザ装置で
は、電源のトランスの２次側から出力される出力電圧の
大きさにかかわらず、放電管の内部ガスの種類やガス圧
などによって放電管の放電維持電圧が決まるため、トラ
ンスの出力電圧が変動するとそれに応じて放電管に供給
される電流が変動し、放電及びレーザ発振が不安定にな
るおそれがあった。そのため、従来のレーザ装置におい
て安定した放電及びレーザ発振を得るためには、放電管
に供給する電流を定電流化する回路を設ける必要があっ
た。
Ｘ線装置では、Ｘ線発生管に印加する高電圧を得るため
に巻線比の大きいトランスを用いる必要があったので、
高圧電源のサイズが大きくなり、Ｘ線装置の小型化を図
ることが難しかった。また、上記従来のレーザ装置で
は、電源のトランスの２次側から出力される出力電圧の
大きさにかかわらず、放電管の内部ガスの種類やガス圧
などによって放電管の放電維持電圧が決まるため、トラ
ンスの出力電圧が変動するとそれに応じて放電管に供給
される電流が変動し、放電及びレーザ発振が不安定にな
るおそれがあった。そのため、従来のレーザ装置におい
て安定した放電及びレーザ発振を得るためには、放電管
に供給する電流を定電流化する回路を設ける必要があっ
た。
【０００４】本発明は以上の問題点に鑑みなされたもの
であり、その第１の目的は、高圧電源のトランスをサイ
ズを抑えて装置の小型化が可能となるＸ線装置を提供す
ることである。また、本発明の第２の目的は、トランス
の２次巻線側から供給される電流を定電流化するための
回路を付加することなく、安定したレーザ発振が可能と
なるレーザ装置を提供することである。
であり、その第１の目的は、高圧電源のトランスをサイ
ズを抑えて装置の小型化が可能となるＸ線装置を提供す
ることである。また、本発明の第２の目的は、トランス
の２次巻線側から供給される電流を定電流化するための
回路を付加することなく、安定したレーザ発振が可能と
なるレーザ装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、請求項１の発明は、Ｘ線発生用の高電圧が印
加される電極を有するＸ線発生管と、該Ｘ線発生管の電
極に印加する高電圧を発生するための高圧電源とを備え
たＸ線装置であって、該高圧電源を、１次巻線及び該Ｘ
線発生管の電極に接続された２次巻線を有するトランス
と、該トランスの２次巻線側にパルス状のフライバック
電圧を発生させるためのパルス状の励磁用電圧を該トラ
ンスの１次巻線側に印加する励磁用電圧印加手段とを用
い、該トランスの２次巻線側に発生したパルス状のフラ
イバック電圧を該Ｘ線発生管に印加するように構成した
ことを特徴とするものである。
るために、請求項１の発明は、Ｘ線発生用の高電圧が印
加される電極を有するＸ線発生管と、該Ｘ線発生管の電
極に印加する高電圧を発生するための高圧電源とを備え
たＸ線装置であって、該高圧電源を、１次巻線及び該Ｘ
線発生管の電極に接続された２次巻線を有するトランス
と、該トランスの２次巻線側にパルス状のフライバック
電圧を発生させるためのパルス状の励磁用電圧を該トラ
ンスの１次巻線側に印加する励磁用電圧印加手段とを用
い、該トランスの２次巻線側に発生したパルス状のフラ
イバック電圧を該Ｘ線発生管に印加するように構成した
ことを特徴とするものである。
【０００６】請求項１のＸ線装置では、トランスの１次
巻線側にパルス状の励磁用電圧を印加し、励磁用電圧が
オンになっている間、励磁エネルギーをトランスに蓄積
させる。そして、パルス状の励磁用電圧がオフになった
ときに、トランスに蓄積された励磁エネルギーが電気エ
ネルギーとして放出され、２次巻線側からパルス状の高
電圧であるフライバック電圧が出力される。このフライ
バック電圧がＸ線発生管の電極にそのまま印加される。
巻線側にパルス状の励磁用電圧を印加し、励磁用電圧が
オンになっている間、励磁エネルギーをトランスに蓄積
させる。そして、パルス状の励磁用電圧がオフになった
ときに、トランスに蓄積された励磁エネルギーが電気エ
ネルギーとして放出され、２次巻線側からパルス状の高
電圧であるフライバック電圧が出力される。このフライ
バック電圧がＸ線発生管の電極にそのまま印加される。
【０００７】上記第２の目的を達成するために、請求項
２の発明は、レーザ発振用の高電圧が印加される電極を
有する放電管と、該放電管の電極に印加するパルス状の
高電圧を発生するための高圧電源とを備えたレーザ装置
であって、該高圧電源を、１次巻線及び該放電管の電極
に接続された２次巻線を有するトランスと、該トランス
の２次巻線側にパルス状のフライバック電圧を発生させ
るためのパルス状の励磁用電圧を該トランスの１次巻線
側に印加する励磁用電圧印加手段とを用い、該トランス
の２次巻線側に発生したパルス状のフライバック電圧を
該放電管に印加するように構成したことを特徴とするも
のである。
２の発明は、レーザ発振用の高電圧が印加される電極を
有する放電管と、該放電管の電極に印加するパルス状の
高電圧を発生するための高圧電源とを備えたレーザ装置
であって、該高圧電源を、１次巻線及び該放電管の電極
に接続された２次巻線を有するトランスと、該トランス
の２次巻線側にパルス状のフライバック電圧を発生させ
るためのパルス状の励磁用電圧を該トランスの１次巻線
側に印加する励磁用電圧印加手段とを用い、該トランス
の２次巻線側に発生したパルス状のフライバック電圧を
該放電管に印加するように構成したことを特徴とするも
のである。
【０００８】請求項２のレーザ装置では、トランスの１
次巻線側にパルス状の励磁用電圧を印加し、励磁用電圧
がオンになっている間、励磁エネルギーをトランスに蓄
積させる。そして、パルス状の励磁用電圧がオフになっ
たときに、トランスに蓄積された励磁エネルギーが電気
エネルギーとして放出され、２次巻線側からパルス状の
高電圧であるフライバック電圧が出力される。このフラ
イバック電圧が放電管の電極にそのまま印加される。こ
こで、上記トランスの２次巻線側から取り出すことがで
きる最大の電力は、１次巻線に加える入力電力によって
決まるが、２次巻線から出力されるフライバック電圧及
び２次巻線から放電管に供給される電流は、放電管の放
電維持電圧に合うように出力されるので、極めて安定し
た放電が得られる。
次巻線側にパルス状の励磁用電圧を印加し、励磁用電圧
がオンになっている間、励磁エネルギーをトランスに蓄
積させる。そして、パルス状の励磁用電圧がオフになっ
たときに、トランスに蓄積された励磁エネルギーが電気
エネルギーとして放出され、２次巻線側からパルス状の
高電圧であるフライバック電圧が出力される。このフラ
イバック電圧が放電管の電極にそのまま印加される。こ
こで、上記トランスの２次巻線側から取り出すことがで
きる最大の電力は、１次巻線に加える入力電力によって
決まるが、２次巻線から出力されるフライバック電圧及
び２次巻線から放電管に供給される電流は、放電管の放
電維持電圧に合うように出力されるので、極めて安定し
た放電が得られる。
【０００９】
【発明の実施の形態】〔実施形態１〕まず、本発明をＸ
線装置に適用した実施形態について説明する。図１は、
本実施形態のＸ線装置の概略構成図である。このＸ線装
置は、Ｘ線発生用の高電圧が印加されるターゲット電極
１０ａ及びフィラメント電極１０ｂを有するＸ線発生管
１０と、Ｘ線発生管１０の電極１０ａ，１０ｂ間に印加
するパルス状の高電圧を発生するための高圧電源２０と
を備えている。Ｘ線発生管１０のフィラメント電極１０
ｂには、フィラメント電源１１から熱電子を放出するた
めのフィラメント電圧が印加されている。フィラメント
電極１０ｂから放出された電子は、ターゲット電極１０
ａとフィラメント電極１０ｂとの間に印加されたパルス
状の高電圧により加速され、ターゲット電極１０ａに衝
突し、これにより、ターゲット電極１０ａからパルス状
のＸ線が発生する。
線装置に適用した実施形態について説明する。図１は、
本実施形態のＸ線装置の概略構成図である。このＸ線装
置は、Ｘ線発生用の高電圧が印加されるターゲット電極
１０ａ及びフィラメント電極１０ｂを有するＸ線発生管
１０と、Ｘ線発生管１０の電極１０ａ，１０ｂ間に印加
するパルス状の高電圧を発生するための高圧電源２０と
を備えている。Ｘ線発生管１０のフィラメント電極１０
ｂには、フィラメント電源１１から熱電子を放出するた
めのフィラメント電圧が印加されている。フィラメント
電極１０ｂから放出された電子は、ターゲット電極１０
ａとフィラメント電極１０ｂとの間に印加されたパルス
状の高電圧により加速され、ターゲット電極１０ａに衝
突し、これにより、ターゲット電極１０ａからパルス状
のＸ線が発生する。
【００１０】上記高圧電源２０は、１次巻線及びＸ線発
生管１０の電極に接続された２次巻線を有するフライバ
ックトランス２１と、フライバックトランス２１の２次
巻線側にフライバック電圧Ｖｏを発生させるためのパル
ス状の励磁用電圧Ｖｉを入力電圧としてフライバックト
ランス２１の１次巻線側に印加する励磁用電圧印加手段
２２とを用いて構成されている。上記フライバックトラ
ンス２１は、１次巻線と２次巻線との巻数比が１：１０
０程度のものを用いることができる。また、上記励磁用
電圧印加手段２２は、数十Ｖ〜数百Ｖで数Ａ程度の直流
電圧を出力することができる直流電源２２１と、直流電
源２２１から供給される直流電圧をスイッチングしてパ
ルス状の励磁用電圧Ｖｉを発生させるＦＥＴなどからな
るスイッチング素子２２２とを用いて構成されている。
このスイッチング素子２２２のスイッチング動作は、外
部から入力された駆動制御パルス信号Ｖｃで制御され
る。上記構成のＸ線装置において、フライバックトラン
ス２１の１次巻線側にパルス状の励磁用電圧Ｖｉを印加
し、励磁用電圧Ｖｃがオンになっている間、励磁エネル
ギーをトランスに蓄積させる。そして、パルス状の励磁
用電圧Ｖｃがオフになったときに、フライバックトラン
ス２１に蓄積された励磁エネルギーが電気エネルギーと
して放出され、２次巻線側からパルス状の高電圧である
フライバック電圧Ｖｏ（例えば、ピーク電圧で３００ｋ
Ｖ）が出力され、Ｘ線発生管１０のターゲット電極１０
ａにそのまま印加される。
生管１０の電極に接続された２次巻線を有するフライバ
ックトランス２１と、フライバックトランス２１の２次
巻線側にフライバック電圧Ｖｏを発生させるためのパル
ス状の励磁用電圧Ｖｉを入力電圧としてフライバックト
ランス２１の１次巻線側に印加する励磁用電圧印加手段
２２とを用いて構成されている。上記フライバックトラ
ンス２１は、１次巻線と２次巻線との巻数比が１：１０
０程度のものを用いることができる。また、上記励磁用
電圧印加手段２２は、数十Ｖ〜数百Ｖで数Ａ程度の直流
電圧を出力することができる直流電源２２１と、直流電
源２２１から供給される直流電圧をスイッチングしてパ
ルス状の励磁用電圧Ｖｉを発生させるＦＥＴなどからな
るスイッチング素子２２２とを用いて構成されている。
このスイッチング素子２２２のスイッチング動作は、外
部から入力された駆動制御パルス信号Ｖｃで制御され
る。上記構成のＸ線装置において、フライバックトラン
ス２１の１次巻線側にパルス状の励磁用電圧Ｖｉを印加
し、励磁用電圧Ｖｃがオンになっている間、励磁エネル
ギーをトランスに蓄積させる。そして、パルス状の励磁
用電圧Ｖｃがオフになったときに、フライバックトラン
ス２１に蓄積された励磁エネルギーが電気エネルギーと
して放出され、２次巻線側からパルス状の高電圧である
フライバック電圧Ｖｏ（例えば、ピーク電圧で３００ｋ
Ｖ）が出力され、Ｘ線発生管１０のターゲット電極１０
ａにそのまま印加される。
【００１１】以上、本実施形態によれば、高圧電源に
１：１０００のように高い巻数比のトランスを用いなく
ても、トランスの２次巻線側からパルス状の高電圧であ
るフライバック電圧を出力させてＸ線発生管の電極にそ
のまま印加することができるので、高圧電源のトランス
をサイズを抑えて装置の小型化が可能となる
１：１０００のように高い巻数比のトランスを用いなく
ても、トランスの２次巻線側からパルス状の高電圧であ
るフライバック電圧を出力させてＸ線発生管の電極にそ
のまま印加することができるので、高圧電源のトランス
をサイズを抑えて装置の小型化が可能となる
【００１２】〔実施形態２〕次に、本発明をレーザ装置
に適用した実施形態について説明する。図２は、本実施
形態のレーザ装置の概略構成図である。このレーザ装置
は、レーザ発振用の高電圧が印加される電極３０ａ，３
０ｂを有する放電管３０と、放電管３０の電極３０ａ，
３０ｂ間に印加するパルス状の高電圧を発生するための
高圧電源２０とを備えている。上記放電管３０には、レ
ーザ光の波長に応じて所定の種類のガスが所定の圧力で
封入されている。この放電管３０の電極３０ａ，３０ｂ
間で発生した放電で光を発生させるとともに、この光を
共振器３１で共振させることによって光の強度を高める
ことにより、レーザ発振を発生させる。このレーザ発振
状態にある光の一部がレーザ光として外部に取り出され
る。また、上記高圧電源２０の構成は、前述のＸ線装置
の場合と同様であるので、同じ符号を付して説明を省略
する。
に適用した実施形態について説明する。図２は、本実施
形態のレーザ装置の概略構成図である。このレーザ装置
は、レーザ発振用の高電圧が印加される電極３０ａ，３
０ｂを有する放電管３０と、放電管３０の電極３０ａ，
３０ｂ間に印加するパルス状の高電圧を発生するための
高圧電源２０とを備えている。上記放電管３０には、レ
ーザ光の波長に応じて所定の種類のガスが所定の圧力で
封入されている。この放電管３０の電極３０ａ，３０ｂ
間で発生した放電で光を発生させるとともに、この光を
共振器３１で共振させることによって光の強度を高める
ことにより、レーザ発振を発生させる。このレーザ発振
状態にある光の一部がレーザ光として外部に取り出され
る。また、上記高圧電源２０の構成は、前述のＸ線装置
の場合と同様であるので、同じ符号を付して説明を省略
する。
【００１３】上記構成のレーザ装置において、フライバ
ックトランス２１の１次巻線側にパルス状の励磁用電圧
Ｖｉを印加し、励磁用電圧Ｖｃがオンになっている間、
励磁エネルギーをトランスに蓄積させる。そして、パル
ス状の励磁用電圧Ｖｃがオフになったときに、フライバ
ックトランス２１に蓄積された励磁エネルギーが電気エ
ネルギーとして放出され、２次巻線側からパルス状の高
電圧であるフライバック電圧Ｖｏが出力され、放電管３
０の電極３０ａにそのまま印加される。ここで、上記フ
ライバックトランス２１の２次巻線から出力されるフラ
イバック電圧及び２次巻線から放電管に供給される電流
は、放電管の放電維持電圧Ｖｏ’に合うように出力され
るので、極めて安定した放電が得られる。
ックトランス２１の１次巻線側にパルス状の励磁用電圧
Ｖｉを印加し、励磁用電圧Ｖｃがオンになっている間、
励磁エネルギーをトランスに蓄積させる。そして、パル
ス状の励磁用電圧Ｖｃがオフになったときに、フライバ
ックトランス２１に蓄積された励磁エネルギーが電気エ
ネルギーとして放出され、２次巻線側からパルス状の高
電圧であるフライバック電圧Ｖｏが出力され、放電管３
０の電極３０ａにそのまま印加される。ここで、上記フ
ライバックトランス２１の２次巻線から出力されるフラ
イバック電圧及び２次巻線から放電管に供給される電流
は、放電管の放電維持電圧Ｖｏ’に合うように出力され
るので、極めて安定した放電が得られる。
【００１４】以上、本実施形態によれば、極めて安定し
た放電が得られるので、トランスの２次巻線側から供給
される電流を定電流化するための回路を付加することな
く、安定したレーザ発振が可能となる。
た放電が得られるので、トランスの２次巻線側から供給
される電流を定電流化するための回路を付加することな
く、安定したレーザ発振が可能となる。
【００１５】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、高圧電源に
１：１０００のように高い巻数比のトランスを用いなく
ても、トランスの２次巻線側からパルス状の高電圧であ
るフライバック電圧を出力させてＸ線発生管の電極にそ
のまま印加することができるので、高圧電源のトランス
をサイズを抑えて装置の小型化が可能となるという効果
がある。
１：１０００のように高い巻数比のトランスを用いなく
ても、トランスの２次巻線側からパルス状の高電圧であ
るフライバック電圧を出力させてＸ線発生管の電極にそ
のまま印加することができるので、高圧電源のトランス
をサイズを抑えて装置の小型化が可能となるという効果
がある。
【００１６】請求項２の発明によれば、高圧電源のトラ
ンスの２次巻線側に発生するフライバック電圧及び２次
巻線から放電管に供給される電流が放電管の放電維持電
圧に合うように出力され、極めて安定した放電が得られ
るので、トランスの２次巻線側から供給される電流を定
電流化するための回路を付加することなく、安定したレ
ーザ発振が可能となるという効果がある。
ンスの２次巻線側に発生するフライバック電圧及び２次
巻線から放電管に供給される電流が放電管の放電維持電
圧に合うように出力され、極めて安定した放電が得られ
るので、トランスの２次巻線側から供給される電流を定
電流化するための回路を付加することなく、安定したレ
ーザ発振が可能となるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施形態に係るＸ線装置の概略
構成図。
構成図。
【図２】本発明の第２の実施形態に係るレーザ装置の概
略構成図。
略構成図。
１０ Ｘ線発生管
１０ａ ターゲット電極
１０ｂ フィラメント電極
１１ フィラメント電源
２０ 高圧電源
２１ フライバックトランス
２２ 励磁用電圧印加手段
２２１ 直流電源
２２２ スイッチング素子
３０ 放電管
３０ａ，３０ｂ 電極
３１ 共振器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 4C092 AA01 AB27 BB05 BB12 BB31
BB32 BB35
5F071 GG05 JJ01 JJ05
5H007 BB04 CA02 CB07 CC32
Claims (2)
- 【請求項１】Ｘ線発生用の高電圧が印加される電極を有
するＸ線発生管と、該Ｘ線発生管の電極に印加する高電
圧を発生するための高圧電源とを備えたＸ線装置であっ
て、 該高圧電源を、１次巻線及び該Ｘ線発生管の電極に接続
された２次巻線を有するトランスと、該トランスの２次
巻線側にパルス状のフライバック電圧を発生させるため
のパルス状の励磁用電圧を該トランスの１次巻線側に印
加する励磁用電圧印加手段とを用い、該トランスの２次
巻線側に発生したパルス状のフライバック電圧を該Ｘ線
発生管に印加するように構成したことを特徴とするＸ線
装置。 - 【請求項２】レーザ発振用の高電圧が印加される電極を
有する放電管と、該放電管の電極に印加する高電圧を発
生するための高圧電源とを備えたレーザ装置であって、 該高圧電源を、１次巻線及び該放電管の電極に接続され
た２次巻線を有するトランスと、該トランスの２次巻線
側にパルス状のフライバック電圧を発生させるためのパ
ルス状の励磁用電圧を該トランスの１次巻線側に印加す
る励磁用電圧印加手段とを用い、該トランスの２次巻線
側に発生したパルス状のフライバック電圧を該放電管に
印加するように構成したことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001325997A JP2003133099A (ja) | 2001-10-24 | 2001-10-24 | Ｘ線装置及びレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001325997A JP2003133099A (ja) | 2001-10-24 | 2001-10-24 | Ｘ線装置及びレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003133099A true JP2003133099A (ja) | 2003-05-09 |
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ID=19142456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003133099A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005041389A1 (ja) * | 2003-10-28 | 2007-04-26 | 日本碍子株式会社 | パルス発生回路 |
-
2001
- 2001-10-24 JP JP2001325997A patent/JP2003133099A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005041389A1 (ja) * | 2003-10-28 | 2007-04-26 | 日本碍子株式会社 | パルス発生回路 |
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