JP2003124794A - 半導体集積回路およびそれを用いた半導体装置 - Google Patents
半導体集積回路およびそれを用いた半導体装置Info
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Abstract
おけるリーク電流を削減する。 【解決手段】 所定のデータ処理を行う複数の論理組合
せ回路3〜5が低閾値のスイッチング機能を有する半導
体素子によって構成された論理回路ブロック2と、各論
理組合せ回路3〜5に対する電源電圧を所定のタイミン
グで制御し、論理回路ブロック2の半導体素子よりも高
閾値のスイッチング機能を有する半導体素子によって構
成されたシーケンス制御回路1とが設けられており、シ
ーケンス制御回路1には、論理回路ブロック2の各論理
組合せ回路3〜5に供給されるクロック信号の周波数に
基づいて、各論理組合せ回路3〜5に供給する電源電圧
を制御するレギュレータ11が設けられている。
Description
データ処理を行う複数の論理回路ブロックと、各論理回
路ブロックに対して、所定のタイミングにてパワーダウ
ン処理を行うシーケンス制御回路とを有する半導体集積
回路およびそれを用いた半導体装置に関し、特に、論理
回路におけるリーク電流を削減するとともに、論理回路
ブロックとシーケンス制御回路とを積層して、ワンチッ
プ化した半導体集積回路およびそれを用いた半導体装置
に関する。
駆動されており、携帯機器には、形状の小型化および電
池に対する充電後の使用時間を延長するために、低電力
で駆動される半導体集積回路が内蔵されている。特開平
6−350435号公報には、このような半導体集積回
路の一例が開示されており、その半導体集積回路のブロ
ック図を図9に示す。尚、以下において、動作開始の閾
値電圧が高い場合を高閾値、低い場合を低閾値とする。
所定のデータ処理等を行う3つの論理回路ブロック11
1〜113と、各論理回路ブロック111〜113に対
して所定のタイミングでパワーダウン信号を発生するシ
ーケンス制御回路ブロック(シーケンサ)101と、外
部回路からのクロック信号を各論理回路ブロック111
〜113の論理組合せ回路131〜133に伝送するク
ロック端子160とを有している。
サ)101には、低閾値のトランジスタ設けられてお
り、各論理回路ブロック111〜113のそれぞれの制
御回路121〜123に対して、パワーダウン信号を所
定のタイミングで供給する。
れぞれ同様の構成になっており、低閾値のCMOSトラ
ンジスタを有する論理組合せ回路131〜133と、各
論理組合せ回路131〜133とVDD(電源)との間
に設けられた高閾値のPMOSトランジスタ141〜1
43と、各論理組合せ回路131〜133とGND(接
地:アース)との間にそれぞれ設けられた高閾値のNM
OSトランジスタ151〜153と、高閾値のPMOS
トランジスタ141〜143および高閾値のNMOSト
ランジスタ151〜153のON/OFF動作の制御を
行う制御回路121〜123とをそれぞれ有している。
143は、ソース端子がVDDに接続され、ゲート端子
およびドレイン端子は、制御回路121〜123および
論理組合せ回路131〜133にそれぞれ接続されてい
る。高閾値の各NMOSトランジスタ151〜153
は、ドレイン端子が論理組合せ回路131〜133に接
続され、ゲート端子およびソース端子は、制御回路12
1〜123およびGNDにそれぞれ接続されている。
集積回路のシーケンス制御回路ブロック101は、所定
のタイミングにて各制御回路121〜123にパワーダ
ウン信号を出力する。シーケンス制御回路ブロック10
1から所定のタイミングで出力されたパワーダウン信号
は、各論理回路ブロック111〜113の制御回路12
1〜123にそれぞれ入力されると、制御回路121〜
123から高閾値のPMOSトランジスタ141〜14
3および高閾値のNMOSトランジスタ151〜153
のそれぞれのゲート端子にそれぞれ所定の信号が入力さ
れる。所定の信号が入力された高閾値の各PMOSトラ
ンジスタ141〜143および高閾値の各NMOSトラ
ンジスタ151〜153は、それぞれOFF状態とな
り、論理組合せ回路131〜133がそれぞれパワーダ
ウン状態になる。
は、低閾値のCMOSトランジスタを有する論理組合せ
回路と電源との間に高閾値のPMOSトランジスタが設
けられており、この論理組合せ回路とGNDとの間に高
閾値のNMOSトランジスタが設けられて、これらの高
閾値のPMOSトランジスタおよびNMOSトランジス
タをOFF状態にすることにより、論理組合せ回路のパ
ワーダウンを行っている。
せ回路を有する複数の論理回路をブロック化して、各論
理回路ブロック111〜113に、それぞれのブロック
毎にパワーダウン制御手段を設けるとともに、各論理回
路ブロック111〜113内のそれぞれの論理組合せ回
路131〜133のパワーダウンを選択的に制御するシ
ーケンサであるシーケンス制御回路ブロック101が設
けられている。
は、シーケンス制御回路ブロック101により各論理回
路ブロック111〜113のパワーダウンが選択的に制
御され、各論理回路ブロック111〜113がそれぞれ
データ処理等の動作を行う際に、データ処理を行う必要
のない他の論理回路ブロックを選択的にパワーダウンさ
せることができる。この結果、このような半導体集積回
路およびそれを用いた装置では、動作時に、回路動作に
影響を与えることなく、消費電力を低減することができ
る。
ク111〜113の制御回路121〜123が、それぞ
れ直列接続された2個のインバータから成る一例を示す
半導体集積回路のブロック図である。論理回路ブロック
111〜113の制御回路は、インバータ164および
171、インバータ165および172、インバータ1
66および173の直列接続から成るそれぞれの回路で
構成されている。各論理回路ブロック111〜113の
制御回路の1段目のインバータ171〜173の入力端
子には、シーケンス制御回路ブロック101からの制御
線201〜203がそれぞれ接続されている。
ンス制御回路ブロック101からHIGHレベルの出力
信号が各制御線201〜203をそれぞれ介して、各論
理回路ブロック111〜113のインバータ171〜1
73にそれぞれ入力されると、高閾値の各PMOSトラ
ンジスタ141〜143のゲート端子には、HIGHレ
ベルの信号がそれぞれ入力され、高閾値の各NMOSト
ランジスタ151〜153のゲート端子には、LOWレ
ベルの信号がそれぞれ入力される。この結果、高閾値の
PMOSトランジスタ141〜143および高閾値のN
MOSトランジスタ151〜153は、それぞれOFF
状態となり、論理組合せ回路131〜133がそれぞれ
パワーダウンされる。
ロック111〜113にクロック信号を入力するクロッ
ク端子161〜163を論理回路ブロック111〜11
3毎に分離して、各クロック端子161〜163から、
それぞれ対応する各論理回路ブロック111〜113
に、周波数の異なるクロック信号をそれぞれ供給するこ
ともできる。
ような構成の半導体集積回路装置では、次のような問題
がある。
ス制御回路ブロック101が複数の低閾値のトランジス
タを有しているために、この低閾値のトランジスタから
のリーク電流が増加することである。ここで、リーク電
流とは、PMOSトランジスタまたはNMOSトランジ
スタの一方がOFF状態の場合に、電源端子からGND
に流れる電流であり、特に、PMOSトランジスタおよ
びNMOSトランジスタの動作開始電圧が低い低閾値電
圧の場合、および、SOI(SiliconOn In
sulator)基板を用いたLSIの場合に、リーク
電流による消費電力の増加が顕著になる。
れる外部回路からのクロック信号の周波数が低い場合、
各論理組合せ回路131〜133の電源電圧を低くして
も、回路動作に支障はないが、各論理組合せ回路131
〜133の電源電圧がそれぞれ一定値(VDD)である
ために、論理組合せ回路131〜133の電源電圧を低
くできる場合に比べて、消費電流が増加するという問題
がある。
OFF状態であるパワーダウン状態からパワー復帰状態
である動作状態に復帰する場合、各論理組合せ回路13
1〜133の電源電圧をそれぞれOFFにすると、各論
理組合せ回路131〜133は、電圧電源電圧をOFF
にする直前のON状態での動作状態を、それぞれ保持す
ることができないという問題がある。
あり、その目的は、シーケンス制御回路および論理組合
せ回路におけるリーク電流を削減し、論理組合せ回路が
パワー復帰状態の際に、パワーダウン状態になる前の動
作状態に復帰できる半導体集積回路およびそれを用いた
半導体装置を提供することにある。
は、それぞれが所定のデータ処理を行う複数の論理組合
せ回路を有し、各論理組合せ回路が低閾値のスイッチン
グ機能を有する半導体素子によって構成された論理回路
ブロックと、該論理回路ブロックの半導体素子よりも高
閾値のスイッチング機能を有する半導体素子によって構
成されており、各論理組合せ回路に対する電源電圧を所
定のタイミングで制御するシーケンス制御回路とを具備
し、該シーケンス制御回路は、該論理回路ブロックの各
論理組合せ回路に供給されるクロック信号の周波数に基
づいて、各論理組合せ回路に供給する電源電圧を制御す
るレギュレータが設けられていることを特徴とする。
ブロックの各論理組合せ回路のデータを保持するととも
に、前記レギュレータに電源制御信号を供給するレジス
タが設けられている。
素子がSOIプロセスによって形成されている。
素子がバルクプロセスによって形成されている。
素子がバイポーラプロセスによって形成されている。
せ回路をそれぞれ構成する各半導体素子がSOIプロセ
スによって形成されている。
ずれかに記載の半導体集積回路を内蔵し、前記シーケン
ス制御回路および前記論理回路ブロックが1つのパッケ
ージに実装されていることを特徴とする。
の実施の形態を説明する。
導体集積回路のブロック図である。
所定のデータ処理を行う3つの論理組合せ回路3〜5と
クロック端子61〜63とを有する論理回路ブロック2
と、レギュレータ11を内蔵し、各論理組合せ回路3〜
5に対して所定のタイミングでパワーダウンを行うシー
ケンス制御回路(シーケンサ)1とを有している。
icon On Insulator)プロセスにより形
成された閾値電圧が高い高閾値のスイッチング機能を有
する半導体素子(例えば、トランジスタ)によって構成
されており、レギュレータ11が内蔵されている。シー
ケンス制御回路1の電源端子および接地端子は、第1の
電源電圧VDD1およびGND(接地)にそれぞれ接続
されている。シーケンス制御回路1に内蔵されたレギュ
レータ11は、電源信号線12a〜14aを介して、各
論理組合せ回路3〜5に第2の電源電圧12〜14をそ
れぞれ供給する。
より形成された閾値電圧が低い低閾値のスイッチング機
能を有する半導体素子(例えば、トランジスタ)によっ
て、それぞれ構成された3つの論理組合せ回路3〜5を
有している。論理回路ブロック2の各論理組合せ回路3
〜5の電源端子には、電源信号線12a〜14aがそれ
それ接続されており、レギュレータ11からの第2の電
源電圧12〜14が電源信号線12a〜14aを介して
それぞれ供給される。各論理組合せ回路3〜5の接地端
子は、GND(接地)にそれぞれ接続されている。各論
理組合せ回路3〜5の入力端子には、対応するクロック
端子61〜63を介して外部回路からのクロック信号が
それぞれ入力される。尚、各クロック端子61〜63に
は、それぞれ異なる周波数のクロック信号が供給されて
も良い。
説明する。図1に示す論理回路ブロック2の各論理組合
せ回路3〜5の入力端子には、それぞれのクロック端子
61〜63を介して、それぞれ異なる周波数のクロック
信号が入力される。これらの異なる周波数のクロック信
号に基づいて、シーケンス制御回路1のレギュレータ1
1から所定の電圧値を有する第2の電源電圧12〜14
がそれぞれの論理組合せ回路3〜5に供給される。この
結果、各論理組合せ回路3〜5は、無駄な電力を消費す
ることなく、効率の良いデータ処理等の動作を行うこと
ができる。
は、論理回路ブロック2の各論理組合せ回路3〜5が、
シーケンス制御回路1の半導体素子よりも閾値電圧の低
いそれぞれ低閾値のスイッチング機能を有する半導体素
子によって構成されており、低電圧での動作が可能にな
っている。この結果、シーケンス制御回路1に内蔵され
たレギュレータ11から論理回路ブロック2の各論理組
合せ回路3〜5に供給される第2の電源電圧が、レギュ
レータ11によって、低電圧に制御されることにより、
各論理組合せ回路3〜5のリーク電流が削減される。
61〜63より論理組合せ回路3〜5に供給されるクロ
ック信号の周波数に応じて、各論理組合せ回路3〜5に
対して、第2の電源電圧を選択的に供給する。例えば、
レギュレータ11は、論理組合せ回路3〜5のいずれか
に供給されるクロック信号の周波数が低く、論理組合せ
回路3〜5のいずれかが低速動作の場合には、論理組合
せ回路3〜5のいずれかに第2の電源電圧12〜14と
して低電圧を供給し、論理組合せ回路3〜5いずれかに
供給されるクロック信号の周波数が高く、論理組合せ回
路3〜5のいずれかが高速動作の場合には、論理組合せ
回路3〜5のいずれかに第2の電源電圧12〜14とし
て高電圧を供給する。さらに、論理組合せ回路3〜5の
いずれかにクロック信号が供給されず、論理組合せ回路
3〜5のいずれかがOFF状態の場合には、論理組合せ
回路3〜5のいずれかに第2の電源電圧12〜14とし
て0(V)を供給する。これにより、レギュレータ11
は、出力信号である第2の電源電圧12〜14をそれぞ
れの論理組合せ回路3〜5に対して、それぞれ異なる電
圧値を選択的に供給できるように構成されている。
に、レギュレータ11から各論理組合せ回路3〜5にそ
れぞれ供給される駆動電圧と、クロック信号の周波数と
の関係を図7に示す。図7の横軸は、周波数(f1<f
2)を示し、縦軸は、駆動電圧(V1<V2)を示す。
図7より、駆動電圧とクロック信号の周波数とは、比例
関係を示し、クロック信号の周波数(f1)が低い場合
は、駆動電圧(V1)を低く、クロック信号の周波数
(f2)が高い場合は、駆動電圧(V2)を高く設定す
れば良い。これにより、クロック端子61〜63に供給
されるクロック信号の周波数に応じて、各論理組合せ回
路3〜5に供給するそれぞれの駆動電圧は、一義的に設
定される。
ケンス制御回路101が低閾値のトランジスタを有して
いるのに対し、本発明の第1の実施形態の半導体集積回
路では、シーケンス制御回路1が高閾値のスイッチング
機能を有する半導体素子によって構成されているため
に、シーケンス制御回路1のリーク電流を削減できると
ともに、シーケンス制御回路1がレギュレータ11を用
いて、論理回路ブロック2の駆動電圧である第2の電源
電圧の供給を制御することにより、論理回路ブロック2
のリーク電流も削減することができる。
では、シーケンス制御回路1および論理回路ブロック2
の両方のリーク電流の削減を行うために、従来の半導体
集積回路に対して、大幅なリーク電流の抑制が可能とな
る。
制御回路1が、バルクプロセスによって形成された高閾
値のスイッチング機能を有する半導体素子によって構成
されている。その他の構成については、図1に示す半導
体集積回路の構成と同様になっている。これにより、図
2に示す半導体集積回路は、図1に示す半導体集積回路
と同様の効果が得られる。
制御回路1が、バイポーラプロセスによって形成された
高閾値のスイッチング機能を有する半導体素子によって
構成されている。その他の構成については、図1に示す
半導体集積回路の構成と同様になっている。これによ
り、図3に示す半導体集積回路は、図1に示す半導体集
積回路と同様の効果が得られる。
導体集積回路のブロック図である。
所定のデータ処理を行う3つの論理組合せ回路22〜2
4とクロック端子61〜63とを有する論理回路ブロッ
ク2と、レギュレータ11およびレジスタ21を内蔵
し、各論理組合せ回路22〜24に対して所定のタイミ
ングでバッテリーダウンを行うシーケンス制御回路(シ
ーケンサ)1とを有している。
icon On Insulator)プロセスにより形
成された閾値電圧が高い高閾値のスイッチング機能を有
する半導体素子(例えば、トランジスタ)によって構成
されており、レギュレータ11およびレジスタ21が内
蔵されている。シーケンス制御回路1の電源端子および
接地端子は、第1の電源電圧VDD1およびGND(接
地)にそれぞれ接続されている。
タ21は、データ線25〜27を介して、論理組合せ回
路22〜24から送信される記憶データを受信し、記憶
データを保持する。また、レジスタ21は、信号線51
〜53を介して、論理組合せ回路22〜24にパワーダ
ウン要求信号を送信し、論理組合せ回路22〜24から
パワー復帰要求信号を受信する。さらに、レジスタ21
は、電源信号線41aを介してレギュレータ11に電源
制御信号41を出力する。
電源制御信号41に基づいて、各論理組合せ回路22〜
24のON/OFF制御を行うとともに、電源信号線2
8a〜30aを介して、各論理組合せ回路22〜24
に、各論理組合せ回路22〜24に供給されるクロック
信号の周波数に基づいて第2の電源電圧28〜30をそ
れぞれ供給する。尚、第2の電源電圧28〜30である
駆動電圧と論理組合せ回路22〜24に供給されるクロ
ック信号の周波数との関係は、図7に示すように、図1
の半導体集積回路と同様の関係がある。
より形成された閾値電圧が低い低閾値のスイッチング機
能を有する半導体素子(例えば、トランジスタ)によっ
て、それぞれ構成された3つの論理組合せ回路22〜2
4を有している。論理回路ブロック2の各論理組合せ回
路22〜24は、データ線25〜27を介して、レジス
タ21とそれぞれの記憶データの送信および受信を行
う。また、各論理組合せ回路22〜24は、レジスタ2
1との間に、信号線51〜53を介して、パワーダウン
要求信号およびパワー復帰要求信号をそれぞれ受信およ
び送信する。各論理組合せ回路22〜24の電源端子に
は、電源信号線28a〜30aがそれぞれ接続されてお
り、レギュレータ11からの第2の電源電圧28〜30
が電源信号線28a〜30aを介してそれぞれ供給され
る。各論理組合せ回路22〜24の接地端子は、GND
(接地)にそれぞれ接続されている。各論理組合せ回路
22〜24の入力端子には、対応するクロック端子61
〜63を介して外部回路からのクロック信号がそれぞれ
入力される。尚、各クロック端子61〜63には、それ
ぞれ異なる周波数のクロック信号が供給されても良い。
2〜24が、パワーダウン状態になる場合、および、パ
ワー復帰状態になる場合の回路動作を、例えば、論理組
合せ回路23について説明する。
状態になる動作を説明する。
レジスタ21より信号線52を介して、パワーダウン要
求信号を論理組合せ回路23に送信する。
求信号を受信すると、論理組合せ回路23内に記憶され
ている記憶データをデータ線26に出力する。
を介して、記憶データを受信し、記憶データをレジスタ
21に記憶する。
記憶データを記憶すると、電源信号線41aを介してレ
ギュレータ11に、論理組合せ回路23に駆動電圧の供
給を停止する電源制御信号(OFF信号)を送信する。
FF信号)を受信すると、電源信号線29aに第2の電
源電圧29である駆動電圧(0V)を出力する。
aを介して第2の電源電圧29である駆動電圧(0V)
を受信すると、パワーダウン状態となり動作を停止す
る。
になる動作を説明する。
してレギュレータ11に、論理組合せ回路23に駆動電
圧の供給する電源制御信号(ON信号)を送信する。
N信号)を受信すると、クロック端子62に供給される
クロック信号の周波数に基づいて、電源信号線29aに
第2の電源電圧29である所定の駆動電圧を出力する。
aを介して所定の駆動電圧が供給されると、信号線52
を介してパワー復帰要求信号をシーケンス制御回路1の
レジスタ21に送信する。
受信すると、論理組合せ回路23がパワーダウン状態に
なる前に、レジスタ21に記憶された記憶データをデー
タ線26を介して、論理組合せ回路23に供給する。
信し、再度、記憶してパワーダウン状態になる前の動作
状態に復帰する。
理組合せ回路22〜24のいずれかがパワーダウン状態
では、パワーダウン状態になる前のいずれかの論理組合
せ回路22〜24の記憶データを、レジスタ21に保持
させる。レジスタ21は、レジスタ21にて記憶データ
を保持する間に、レジスタ21からレギュレータ11に
電源制御信号を供給し、レギュレータ11が、いずれか
の論理組合せ回路22〜24に第2の電源電圧28〜3
0を供給しないように制御することにより、論理組合せ
回路22〜24の消費電流およびリーク電流を削減でき
る。
いずれかの論理組合せ回路22〜24が、パワーダウン
状態からパワー復帰状態である動作状態に復帰する場合
には、レジスタ21が保持していた記憶データを、いず
れかの論理組合せ回路22〜24に戻すことにより、い
ずれかの論理組合せ回路22〜24をパワーダウン状態
になる前の動作状態に復帰させることが可能となる。
制御回路1が、バルクプロセスによって形成された高閾
値のスイッチング機能を有する半導体素子によって構成
されている。その他の構成については、図4に示す半導
体集積回路の構成と同様になっている。これにより、図
5に示す半導体集積回路は、図4に示す半導体集積回路
と同様の効果が得られる。
制御回路1が、バイポーラプロセスによって形成された
高閾値のスイッチング機能を有する半導体素子によって
構成されている。その他の構成については、図4に示す
半導体集積回路の構成と同様になっている。これによ
り、図6に示す半導体集積回路は、図4に示す半導体集
積回路と同様の効果が得られる。
半導体装置の断面図である。
フレーム33の上面にシーケンス制御回路1が形成さ
れ、リードフレーム33の下面に論理回路ブロック2が
形成され、シーケンス制御回路1および論理回路ブロッ
ク2が、金ワイヤ32のワイヤボンディングによって、
それぞれリードフレームの端子部分33aに電気的に接
続されている。さらに、図8の半導体装置は、シーケン
ス制御回路1および論理回路ブロック2を保護するため
にリードフレームの端子部分33aの一部までモールド
樹脂31によって封止され、ワンチップ化されている。
モールド樹脂31より外側のリードフレームの端子部分
33aは、屈曲形状に成形されて延出されている。
FPパッケージの構成例を説明したが、CSPパッケー
ジの構成でも同様に実現できることは言うまでもない。
タ処理を行う複数の論理組合せ回路が低閾値のスイッチ
ング機能を有する半導体素子によって構成された論理回
路ブロックと、各論理組合せ回路に対する電源電圧を所
定のタイミングで制御し、論理回路ブロックの半導体素
子よりも高閾値のスイッチング機能を有する半導体素子
によって構成されたシーケンス制御回路とが設けられて
おり、シーケンス制御回路には、論理回路ブロックの各
論理組合せ回路に供給されるクロック信号の周波数に基
づいて、各論理組合せ回路に供給する電源電圧を制御す
るレギュレータが設けられていることによって、シーケ
ンス制御回路および論理回路ブロックの各論理組合せ回
路におけるリーク電流が削減される。
のブロック図である。
スによって形成されている半導体集積回路のブロック図
である。
ロセスによって形成されている半導体集積回路のブロッ
ク図である。
のブロック図である。
スによって形成されている半導体集積回路のブロック図
である。
ロセスによって形成されている半導体集積回路のブロッ
ク図である。
波数と駆動電圧との関係を示すグラフである。
断面図である。
バータで構成したブロック図である。
を、論理組合せ回路毎に独立させたブロック図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 それぞれが所定のデータ処理を行う複数
の論理組合せ回路を有し、各論理組合せ回路が低閾値の
スイッチング機能を有する半導体素子によって構成され
た論理回路ブロックと、 該論理回路ブロックの半導体素子よりも高閾値のスイッ
チング機能を有する半導体素子によって構成されてお
り、各論理組合せ回路に対する電源電圧を所定のタイミ
ングで制御するシーケンス制御回路とを具備し、 該シーケンス制御回路は、該論理回路ブロックの各論理
組合せ回路に供給されるクロック信号の周波数に基づい
て、各論理組合せ回路に供給する電源電圧を制御するレ
ギュレータが設けられていることを特徴とする半導体集
積回路。 - 【請求項2】 前記シーケンス制御回路は、前記論理回
路ブロックの各論理組合せ回路のデータを保持するとと
もに、前記レギュレータに電源制御信号を供給するレジ
スタが設けられている請求項1に記載の半導体集積回
路。 - 【請求項3】 前記シーケンス制御回路を構成する半導
体素子がSOIプロセスによって形成されている請求項
1に記載の半導体集積回路。 - 【請求項4】 前記シーケンス制御回路を構成する半導
体素子がバルクプロセスによって形成されている請求項
1に記載の半導体集積回路。 - 【請求項5】 前記シーケンス制御回路を構成する半導
体素子がバイポーラプロセスによって形成されている請
求項1に記載の半導体集積回路。 - 【請求項6】 前記論理回路ブロックにおける各論理組
合せ回路をそれぞれ構成する各半導体素子がSOIプロ
セスによって形成されている請求項1に記載の半導体集
積回路。 - 【請求項7】 請求項1〜6のいずれかに記載の半導体
集積回路を内蔵し、前記シーケンス制御回路および前記
論理回路ブロックが1つのパッケージに実装されている
ことを特徴とする半導体装置。
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