JP2003105535A - スパッタリング用電源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 チャンバ内にアーク放電が検出された際にイ
ンダクタンスに流れる電流の上昇による様々な悪影響を
抑制すること。 【解決手段】 この逆電圧発生用コンデンサＣ１１とチ
ョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられた常
開の第１のスイッチング手段Ｑ１１，Ｑ１２と、整流回
路３３ａの出力側にチョークコイルＬ１１と直列に接続
された常閉の第２のスイッチング手段３５ａと、負極出
力端子OUT及び正極出力端子間に接続されるチャンバ内
にアーク放電が発生したことを検出すると第１のスイッ
チング手段Ｑ１１，Ｑ１２を導通させ、第２のスイッチ
ング手段３５ａを非導通制御する制御手段30とを具備し
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンパクトディス
ク（CD）やディジタル・ビデオ・ディスク（ＤＶＤ）製
造用のスパッタリング装置に用いられるスパッタリング
用電源装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンパクトディスク（CD）やディジタル
・ビデオ・ディスク（ＤＶＤ）製造用のスパッタリング
装置に用いられるスパッタリング用電源装置が特許第２
８３５３２２号、特許第２８３５３２３号、ＵＳＰ５，
５７６，９３９で知られている。

【０００３】コンパクトディスクやディジタル・ビデオ
・ディスクへの膜の形成は、マグネトロンスパッタ技術
により成膜している。このスパッタリング中にアーク放
電が発生すると、ターゲット材料が飛散してディスクに
付着するため、製品の歩留まりを下げる。このため、ス
パッタリング中にアーク放電が発生した場合には、逆電
圧を発生させてアーク放電の発生を抑制するようにして
いる。

【０００４】従来のスパッタリング用電源装置は、図３
のように構成される。つまり、例えば２００Ｖの３相交
流電源は、ダイオードブリッジ１１により全波整流され
た後、互いにブリッジ接続された４つのスイッチングト
ランジスタＱ１〜Ｑ４で構成されるスイッチ回路１２に
よりパルス幅が可変されてトランス１３の一次コイルに
入力される。このパルス幅はスイッチングトランジスタ
Ｑ１〜Ｑ４のオン時間を制御することにより行なわれ
る。

【０００５】このトランス１３の二次側には２つの二次
コイル１３ａ，１３ｂが設けられている。一方の二次コ
イル１３ａから出力されるパルス電圧は第１のダイオー
ドブリッジ１４で整流され、他方の二次コイル１３ｂは
ダイオードブリッジ１５で整流される。第１のダイオー
ドブリッジ１４と第２のダイオードブリッジ１５は直列
に接続されている。第１のダイオードブリッジ１４の端
部はチョークコイルＬ１、Ｌ２、ダイオードＤ１、Ｄ２
及び抵抗Ｒ１よりなる逆方向アーク防止回路１５、出力
端子OUTを介してターゲット１7に接続される。

【０００６】ダイオードブリッジ１１、スイッチ回路１
２、トランス１３、第１のダイオードブリッジ１４、第
２のダイオードブリッジ１５によりインバータＩＮＶが
構成される。

【０００７】さらに、第２のダイオードブリッジ１５の
端部は接地端子FGを介してチャンバ１8に接続される。

【０００８】また、トランス１３に設けられた第３の二
次コイル１３ｃの出力端子間には、第３のダイオードブ
リッジ１9が接続されている。この第３のダイオードブ
リッジ１9の一端は前述した第２のダイオードブリッジ
１5の端部と接続されている。さらに、この第３のダイ
オードブリッジ１９の両端には逆電圧発生用のコンデン
サ２０が接続される。このコンデンサ２０の一端は接地
端子FGに接続され、その他端はスイッチングトランジス
タＱ５、Ｑ６を介してチョークコイルＬ２と逆方向アー
ク防止回路１６との接続点に接続されている。

【０００９】出力端子OUTと接地端子FG間の電圧はコン
パレータよりなるアークセンサ２１で監視されている。
つまり、チャンバ１８内でスパッタ放電が行なわれてい
る間は、出力端子OUTと接地端子FG間の電圧は３００Ｖ
以上であり、チャンバ１８内でアーク放電が発生すると
出力端子OUTと接地端子FG間の電圧は１５０Ｖ以下とな
る。アークセンサ２１はチャンバ１８内でアーク放電が
発生したことを検出するとＨレベル信号を出力し、チャ
ンバ１８内でスパッタ放電が発生していることを検出す
るとＬレベル信号を出力する。

【００１０】このアークセンサ２１の出力はドライバ２
２を介してトランジスタＱ５のベースに、ドライバ２３
を介してトランジスタＱ６のベースに接続される。

【００１１】このような回路において、アークセンサ２
１でチャンバ１８内のアーク放電が検出されない間は、
第１のダイオードブリッジ１４と第２のダイオードブリ
ッジ１５との直列接続体の一端はチョークコイルＬ１，
Ｌ２、逆方向アーク防止回路１５を介して出力端子OUT
に負電圧が供給されてスパッタ放電が発生される。

【００１２】ところで、チャンバ１８内でのアーク放電
が発生すると、アークセンサ２１の出力がＬレベルとな
り、トランジスタＱ５，Ｑ６が導通し、出力端子OUTに
逆電圧発生用のコンデンサ２０に充電されていた正電圧
が所定時間供給されて、アーク放電の発生を抑制する処
理がなされる。

【００１３】このような装置においては、チャンバ１８
に供給する電力を一定に（定電力運転）するように、ス
イッチ回路１２のトランジスタＱ１〜Ｑ４のオン時間を
制御している。

【００１４】しかし、チャンバ１８内のアーク放電の発
生が検出されると、出力端子OUTの電位は小さくなるの
で、定電力運転していると出力電流を増加するようにス
イッチ回路１２の制御が行なわれてしまう。

【００１５】このため、アーク放電が発生した場合に
は、電力フィードバック制御は中止して、アーク放電が
発生する直前の電流値となるように定電流制御するよう
にしている。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、アーク放電
が発生すると、インバータＩＮＶの出力電圧がインダク
ンスＬ１，Ｌ２に加わるため、チョークコイルＬ１，Ｌ
２を流れる電流は上昇する。このようにチョークコイル
Ｌ１，Ｌ２を流れる電流の上昇は、前述した定電流制御
の影響が発揮される継続する。このようにチョークコイ
ルＬ１，Ｌ２を流れる電流が上昇されているときに、チ
ャンバ１８内のアーク放電が消滅すると、トランジスタ
Ｑ５，Ｑ６が遮断されるため、過大な電流がチャンバ１
８に流入する。このような過大な電流がチャンバ１８内
に流れ込むと、再度アーク放電を発生させたり、成膜品
質を悪化したり電源装置自体を破損しかねない。

【００１７】これに対してチョークコイルＬ１，Ｌ２の
インダクタンスを大きくとることも考えられるが、チョ
ークコイルＬ１，Ｌ２の外形が大きくなるばかりでな
く、電流制御の応答性も遅れるという事態が発生する。
このような電流制御の応答性の遅れは成膜品質が悪化し
たり装置が破損したりするという問題が発生する。

【００１８】また、チャンバ１８内にアーク放電が発生
したときに、前述したようなチョークコイルＬ１，Ｌ２
を流れる電流の上昇を回避するために、スイッチ回路１
２を構成するすべてのトランジスタＱ１〜Ｑ４をオフさ
せて、インダータＩＮＶを停止させるようにするものも
あるが、このようにインバータＩＮＶを停止させると復
帰時にトランス１３が偏磁して過電流が流れ、インバー
タＩＮＶが不安定な動作になるという問題がある。

【００１９】さらに、アーク遮断時にインダクタンスＬ
１，Ｌ２を流れる電流が、第１のダイオードブリッジ１
４と第２のダイオードブリッジ１５を介してコンデンサ
２０に流れ込むので、コンデンサ２０に充電されていた
逆電圧の電位が低下してしまうという問題があつた。

【００２０】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、チャンバ内にアーク放電が検出された
際にインダクタンスに流れる電流の上昇による上述した
ような様々な悪影響を抑制することができるスパッタリ
ング用電源装置を提供することにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】請求項1記載のスパッタ
リング用電源装置は、負極出力端子及び正極出力端子を
有するスパッタリング用電源装置において、それぞれブ
リッジ接続された複数のスイッチンング素子を有し、直
流電圧をパルス電圧に変換するスイッチング回路と、こ
のスイッチング回路からのパルス電圧が１次電圧として
供給され、パルス電圧を２次電圧として出力するトラン
スと、このトランスの二次側から出力されるパルス電圧
を整流する整流回路と、 この整流回路の一端と前記負
極出力端子との間に接続されるチョークコイルと、逆電
圧発生源と、この逆電圧発生源と前記チョークコイルと
前記負極出力端子との間に設けられた常開の第１のスイ
ッチング手段と、前記整流回路の他端に前記チョークコ
イルと直列に接続された常閉の第２のスイッチング手段
と、前記負極出力端子及び前記正極出力端子間に接続さ
れるチャンバ内にアーク放電が発生したことを検出する
と第１のスイッチング手段を導通させ、第２のスイッチ
ング手段を非導通制御する制御手段とを具備している。

【００２２】請求項２記載のスパッタリング用電源装置
は、請求項1記載のチョークコイルの前記整流回路側の
端部と前記第１のスイッチング手段の前記逆電圧発生源
側の端部との間に接続されたダイオードを備えたもので
ある。

【００２３】請求項３記載のスパッタリング用電源装置
は、負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリ
ング用電源装置において、それぞれブリッジ接続された
複数のスイッチンング素子を有し、直流電圧をパルス電
圧に変換するスイッチング回路と、このスイッチング回
路からのパルスが１次電圧として供給され、パルス電圧
を２次電圧として出力するトランスと、このトランスか
ら出力されるパルス電圧を整流する整流回路と、この整
流回路の一端と前記負極出力端子との間に接続されるチ
ョークコイルと、前記トランスの２次側に接続される逆
電圧発生用整流回路と、この逆電圧発生用整流回路の出
力より逆電圧を得る逆電圧源と、この逆電圧発生源と前
記チョークコイルと前記負極出力端子との間に設けられ
た常開の第１のスイッチング手段と、前記整流回路の他
端に前記チョークコイルと直列に接続された常閉の第２
のスイッチング手段と、前記逆電圧発生用整流回路とこ
の逆電圧発生用整流回路に隣接接続された整流回路との
間に接続される常閉の第３のスイッチング手段と、前記
負極出力端子及び前記正極出力端子間に接続されるチャ
ンバ内にアーク放電が発生したことを検出すると第１の
スイッチング手段を導通させ、第２及び第３のスイッチ
ング手段をそれぞれ非導通制御する制御手段とを具備し
ている。

【００２４】請求項４記載のスパッタリング用電源装置
は、請求項３記載の前記チョークコイルの前記整流回路
側の端部と前記第１のスイッチング手段の前記逆電圧発
生源側の端部との間に接続されたダイオードを備えたも
のである。

【００２５】請求項５記載のスパッタリング用電源装置
は、負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリ
ング用電源装置において、それぞれブリッジ接続された
複数のスイッチンング素子を有し、直流電圧をパルス電
圧に変換する互いに並列接続された複数のスイッチング
回路と、各スイッチング回路からのパルスが１次電圧と
して供給され、パルス電圧を２次電圧として出力するト
ランスと、このトランスから出力されるパルス電圧を整
流する各スイッチング回路に対応してそれぞれ設けられ
た互いに直列接続された整流回路と、各整流回路の一端
と前記負極出力端子との間にそれぞれ接続されるチョー
クコイルと、逆電圧発生源と、各整流回路の他端と各チ
ョークコイルの前記負極出力端子側端部との間にそれぞ
れ接続された常開の複数の第１のスイッチング手段と、
各整流回路、各チョークコイル、各第１のスイッチング
手段とでそれぞれ閉ループを形成するように接続された
常閉の複数の第２のスイッチング手段と、前記負極出力
端子及び前記正極出力端子間に接続されるチャンバ内に
アーク放電が発生したことを検出すると各第１のスイッ
チング手段を導通させ、各第２のスイッチング手段を非
導通制御する制御手段とを具備している。

【００２６】請求項６記載のスパッタリング用電源装置
は、請求項５記載の前記各チョークコイルの前記整流回
路側の端部と前記各第１のスイッチング手段の前記チョ
ークコイルに接続されていない端部端部との間にそれぞ
れ接続されたダイオードを備えたものである。

【００２７】請求項７記載のスパッタリング用電源装置
は、負極出力端子及び正極出力端子を有するスパッタリ
ング用電源装置において、それぞれブリッジ接続された
複数のスイッチンング素子を有し、直流電圧源をパルス
電圧に変換する互いに並列接続された複数のスイッチン
グ回路と、各スイッチング回路からのパルス電圧が１次
電圧として供給され、パルス電圧を２次電圧として出力
するトランスと、このトランスの二次側から出力される
パルス電圧を整流する各スイッチング回路に対応してそ
れぞれ設けられた互いに直列接続された整流回路と、こ
の整流回路の一端と前記負極出力端子との間にそれぞれ
接続されるチョークコイルと、前記トランスの２次側に
接続される逆電圧発生用整流回路と、この逆電圧発生用
整流回路の出力より逆電圧を得ている逆電圧源と、前記
整流回路の他端と各チョークコイルの前記負極出力端子
との間にそれぞれ接続された常開の複数の第１のスイッ
チング手段と、各整流回路、各チョークコイル、各第１
のスイッチング手段とでそれぞれ閉ループを形成するよ
うに常閉の複数の第２のスイッチング手段と、前記逆電
圧発生用整流回路と隣接接続された整流回路との間に接
続される常閉の第３のスイッチング手段と、前記負極出
力端子及び前記正極出力端子間に接続されるチャンバ内
にアーク放電が発生したことを検出すると各第１のスイ
ッチング手段を導通させ、各第２のスイッチング手段及
び第３のスイッチング手段をそれぞれ非導通制御する制
御手段とを具備し、前記逆電圧発生用整流回路と隣接接
続された整流回路には、第２のスイッチング手段は設け
られていないことを特徴とする。

【００２８】請求項８記載のスパッタリング用電源装置
は、請求項1ないし７いずれか一記載の前記負極出力端
子はスパッタリング装置のターゲットに接続されている
ものである。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の第１
の実施の形態について説明する。例えば２００Ｖの３相
交流電圧は、第１及び第２のダイオードブリッジ３１
ａ，３１ｂにそれぞれ入力される。そして、第１及び第
２のダイオードブリッジ（整流回路）３１ａ，３１ｂに
おいて３相交流電圧が全波整流された後、互いにブリッ
ジ接続された４つのスイッチングトランジスタＱ１〜Ｑ
４で構成されるスイッチ回路３２ａ，３２ｂにそれぞれ
入力される。

【００３０】スイッチ回路３２ａの両端はトランスＴ１
の一次コイルの両端、スイッチ回路３２ｂの両端はトラ
ンスＴ２の一次コイルの両端に接続される。各スイッチ
回路３２ａ，３２ｂを構成するトランジスタＱ１〜Ｑ４
は制御部３０からの制御信号によりオン・オフ制御され
る。そして、トランジスタＱ１〜Ｑ４を導通するオン時
間を制御することにより、トランスＴ１，Ｔ２の一次コ
イルに供給するパルス電圧のパルス幅が制御される。

【００３１】このトランスＴ１の二次コイルの両端には
第１のダイオードブリッジ３３ａが接続される。

【００３２】さらに、トランスＴ２の第１の二次コイル
には第２のダイオードブリッジ３３ｂが接続されると共
に、その第２の二次コイルには第３のダイオードブリッ
ジ３３ｃが接続される。

【００３３】第１のダイオードブリッジ３３ａの一端は
チョークコイルＬ１１、ダイオードＤ１、Ｄ２及び抵抗
Ｒ１よりなる逆方向アーク防止回路３４、出力端子OUT
を介してターゲット１7に接続される。

【００３４】さらに、第１のダイオードブリッジ３３ａ
の他端はＦＥＴ３５ａ（第２のスイッチング手段）、逆
電圧印加時に導通制御される常時開のトランジスタＱ１
１（第１のスイッチング手段）を介して前述したチョー
クコイルＬ１１と逆方向アーク防止回路３４との接続点
ａに接続される。

【００３５】さらに、チョークコイルＬ１１と第１のダ
イオードブリッジ３３ａとの接続点とトランジスタＱ１
１のコレクタ間には図示の極性でダイオードＤ１１が接
続されている。

【００３６】さらに、第２のダイオードブリッジ３３ｂ
の一端はチョークコイルＬ１２を介してトランジスタＱ
１１のコレクタに接続されると共に逆電圧印加時に導通
制御される常時開のトランジスタＱ１２（第１のスイッ
チング手段）のエミッタに接続される。

【００３７】さらに、チョークコイルＬ１２と第２のダ
イオードブリッジ３３ｂとの接続点とトランジスタＱ１
２のコレクタとの間には図示の極性でダイオードＤ１２
が接続されている。

【００３８】さらに、第２のダイオードブリッジ３３ｂ
の他端はＦＥＴ３６（第３のスイッチング手段）を介し
て第３のダイオードブリッジ（整流回路）３３ｃの一端
に接続される。

【００３９】ダイオードブリッジ３１ａ，３１ｂ、スイ
ッチ回路３２ａ，３２ｂ、トランスＴ１，Ｔ２、第１の
ダイオードブリッジ３３ａ、第２のダイオードブリッジ
３３ｂ、第３のダイオードブリッジ３３ｃによりインバ
ータＩＮＶ１が構成される。

【００４０】さらに、第３のダイオードブリッジ３３ｃ
の一端は接地端子FGを介してチャンバ１8に接続され
る。

【００４１】この第３のダイオードブリッジ３３ｃの他
端はチョークコイルＬ２１、逆電圧発生用コンデンサＣ
１１を介して接地端子FGに接続される。さらに、チョー
クコイルＬ２１とコンデンサＣ１１との接続点はレギュ
レータ３７に接続されると共にトランジスタＱ１２のコ
レクタに接続される。出力端子OUTと接地端子FG間の電
圧はコンパレータよりなるアークセンサ２１で監視され
ている。つまり、チャンバ１８内でスパッタ放電が行な
われている間は、出力端子OUTと接地端子FG間の電圧は
３００Ｖ以上であり、チャンバ１８内でアーク放電が発
生すると出力端子OUTと接地端子FG間の電圧は１５０Ｖ
以下となる。アークセンサ２１はチャンバ１８内でアー
ク放電が発生したことを検出するとＨレベル信号を出力
し、チャンバ１８内でスパッタ放電が発生していること
を検出するとＬレベル信号を出力する。

【００４２】このアークセンサ２１の出力はドライバ４
１，４２を介してトランジスタＱ１１，Ｑ１２のベース
にそれぞれ入力される。

【００４３】さらに、アークセンサ２１の出力はインバ
ータ５１により反転された後ＦＥＴ３５ａのゲートに入
力されると共に、インバータ５２により反転された後Ｆ
ＥＴ３６のゲートに入力される。

【００４４】次に、動作について説明する。アークセン
サ２１でチャンバ１８内のアーク放電が検出されない間
は、第１のダイオードブリッジ１４と第２のダイオード
ブリッジ１５との直列接続体の一端はインダクタンスＬ
１，Ｌ２、逆方向アーク防止回路１５を介して出力端子
OUTに負電圧が供給されてスパッタ放電が発生される。
従って、チャンバ１８内で成膜処理が行なわれる。

【００４５】ところで、チャンバ１８内でのアーク放電
が発生すると、アークセンサ２１の出力がＨレベルとな
り、トランジスタＱ１１，Ｑ１２が導通制御されると共
に、ＦＥＴ３５ａ，３６が非導通制御される。

【００４６】トランジスタＱ１１，Ｑ１２が導通される
ことにより、出力端子OUTに逆電圧発生用のコンデンサ
２０に充電されていた正電圧が所定時間供給されて、ア
ーク放電の発生を抑制する処理がなされる。

【００４７】また、ＦＥＴ３５ａ，３６を非導通制御す
ることにより、インバータＩＮＶ１の出力電流を遮断し
ている。このとき、チョークコイルＬ１１の両端に発生
する逆起電力により、ダイオードＤ１１、トランジスタ
Ｑ１１、チョークコイルＬ１１の閉回路に電流がながれ
るため、過大な電流をチャンバ１８内に流入させること
を防止することができる。この動作はダイオードＤ１
２、トランジスタＱ１２、チョークコイルＬ１２の閉回
路についても同様である。

【００４８】このようにアーク放電発生時に過大な電流
をチャンバ１８内に流入させることを防止できるので、
成膜品質及び生産性の低下や装置の破壊を未然に防止す
ることができる。

【００４９】また、アーク放電発生時にタンバータＩＮ
Ｖ１の出力電流を遮断するようにし、各チョークコイル
Ｌ１１，Ｌ１２の逆起電力により発生する電流をそれぞ
れダイオードＤ１１，Ｄ１２を介して回生させるように
してチャンバ１８に流入する電流の増加を抑制したの
で、特にチョークコイルＬ１１，Ｌ１２のインダクタン
ス値を大きくする必要はない。チョークコイルＬ１１，
Ｌ１２の外形が小さくできる。さらに、電流制御の応答
性も良くすることができるので、成膜品質が悪化や装置
が破損を防止することができる。

【００５０】さらに、アーク放電発生時にインバータＩ
ＮＶ１の出力を遮断するようにし、インバータＩＮＶ１
内のトランスＴ１，Ｔ２の一次側に設けられたスイッチ
回路３２ａ，３２ｂでの動作はアーク放電が検出される
前と同じようにスイッチング制御していても良いので、
復帰時にトランス１３が偏磁して過電流が流れ、インバ
ータＩＮＶが不安定な動作になるということはない。

【００５１】また、アーク放電が検出されると、第３の
ダイオードブリッジ３３ｃとこれに隣接接続された第２
のダイオードブリッジ２２ｂはＦＥＴ３６が非導通され
るため遮断される。このため、第２のダイオードブリッ
ジ３３ｂを介して逆電圧発生用コンデンサＣ１１に電流
が流れ込んで、逆電圧発生用コンデンサＣ１１に充電さ
れていた逆電圧が低下のを防止することができる。

【００５２】図２において、第１乃至第４のダイオード
ブリッジ１００ａ〜１００ｄ及びスイッチ回路１０１ａ
〜１０１ｄは２００Ｖ３相交流電源に対してそれぞれ並
列に接続され、各スイッチ回路１０１ａ〜１０１ｄはト
ランスＴ１１〜Ｔ１４の一次側に接続されている。ま
た、各トランスＴ１１〜Ｔ１４の二次側の接続は図１と
同様に接続されている。

【００５３】このように、４つのトランスＴ１１〜Ｔ１
４を用いることにより、例えば１０００Ｖの出力電圧を
得たい場合には、各トランスは直列接続されているの
で、各トランスに２５０Ｖずつ負担させるようにすれば
良い。

【００５４】また、図１ではインバータＩＮＶ１を２つ
のトランスＴ１，Ｔ２で構成したが、図２に示すように
４つのトランスＴ１１〜Ｔ１４で構成するようにした
が、３つまたは５つ以上のトランスで構成するようにし
ても良い。

【００５５】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、チ
ャンバ内にアーク放電が検出された際にインダクタンス
に流れる電流の上昇による上述したような様々な悪影響
を抑制することができるスパッタリング用電源装置を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るスパッタリン
グ用電源装置の回路図。

【図２】本発明の第２の実施の形態に係るスパッタリン
グ用電源装置の回路図。

【図３】従来のスパッタリング用電源装置の回路図。

【符号の説明】

３１ａ，３１ｂ…ダイオードブリッジ、 ３２ａ，３２ｂ…スイッチ回路、 Ｔ１，Ｔ２…トランス、 Ｌ１１，Ｌ１２…チョークコイル。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4K029 BD11 CA05 DC34 5H730 AA16 AS04 BB27 BB57 BB82 BB85 BB88 CC02 DD02 EE08 EE18 EE19 EE53 EE59 EE60 EE73 FD01 FG01 XX03 XX13 XX15 XX23 XX33 XX35

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 負極出力端子及び正極出力端子を有する
   スパッタリング用電源装置において、 それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子
   を有し、直流電圧をパルス電圧に変換するスイッチング
   回路と、 このスイッチング回路からのパルス電圧が１次電圧とし
   て供給され、パルス電圧を２次電圧として出力するトラ
   ンスと、 このトランスの二次側から出力されるパルス電圧を整流
   する整流回路と、 この整流回路の一端と前記負極出力端子との間に接続さ
   れるチョークコイルと、 逆電圧発生源と、 この逆電圧発生源と前記チョークコイルと前記負極出力
   端子との間に設けられた常開の第１のスイッチング手段
   と、 前記整流回路の他端に前記チョークコイルと直列に接続
   された常閉の第２のスイッチング手段と、 前記負極出力端子及び前記正極出力端子間に接続される
   チャンバ内にアーク放電が発生したことを検出すると第
   １のスイッチング手段を導通させ、第２のスイッチング
   手段を非導通制御する制御手段とを具備したスパッタリ
   ング用電源装置。
2. 【請求項２】 前記チョークコイルの前記整流回路側の
   端部と前記第１のスイッチング手段の前記逆電圧発生源
   側の端部との間に接続されたダイオードを備えた請求項
   1記載のスパッタリング用電源装置。
3. 【請求項３】 負極出力端子及び正極出力端子を有する
   スパッタリング用電源装置において、 それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子
   を有し、直流電圧をパルス電圧に変換するスイッチング
   回路と、 このスイッチング回路からのパルスが１次電圧として供
   給され、パルス電圧を２次電圧として出力するトランス
   と、 このトランスから出力されるパルス電圧を整流する整流
   回路と、 この整流回路の一端と前記負極出力端子との間に接続さ
   れるチョークコイルと、 前記トランスの２次側に接続される逆電圧発生用整流回
   路と、 この逆電圧発生用整流回路の出力より逆電圧を得る逆電
   圧源と、この逆電圧発生源と前記チョークコイルと前記
   負極出力端子との間に設けられた常開の第１のスイッチ
   ング手段と、 前記整流回路の他端に前記チョークコイルと直列に接続
   された常閉の第２のスイッチング手段と、 前記逆電圧発生用整流回路とこの逆電圧発生用整流回路
   に隣接接続された整流回路との間に接続される常閉の第
   ３のスイッチング手段と、 前記負極出力端子及び前記正極出力端子間に接続される
   チャンバ内にアーク放電が発生したことを検出すると第
   １のスイッチング手段を導通させ、第２及び第３のスイ
   ッチング手段をそれぞれ非導通制御する制御手段とを具
   備したスパッタリング用電源装置。
4. 【請求項４】 前記チョークコイルの前記整流回路側の
   端部と前記第１のスイッチング手段の前記逆電圧発生源
   側の端部との間に接続されたダイオードを備えた請求項
   ３記載のスパッタリング用電源装置
5. 【請求項５】 負極出力端子及び正極出力端子を有する
   スパッタリング用電源装置において、 それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子
   を有し、直流電圧をパルス電圧に変換する互いに並列接
   続された複数のスイッチング回路と、 各スイッチング回路からのパルスが１次電圧として供給
   され、パルス電圧を２次電圧として出力するトランス
   と、 このトランスから出力されるパルス電圧を整流する各ス
   イッチング回路に対応してそれぞれ設けられた互いに直
   列接続された整流回路と、 各整流回路の一端と前記負極出力端子との間にそれぞれ
   接続されるチョークコイルと、 逆電圧発生源と、 各整流回路の他端と各チョークコイルの前記負極出力端
   子側端部との間にそれぞれ接続された常開の複数の第１
   のスイッチング手段と、 各整流回路、各チョークコイル、各第１のスイッチング
   手段とでそれぞれ閉ループを形成するように接続された
   常閉の複数の第２のスイッチング手段と、 前記負極出力端子及び前記正極出力端子間に接続される
   チャンバ内にアーク放電が発生したことを検出すると各
   第１のスイッチング手段を導通させ、各第２のスイッチ
   ング手段を非導通制御する制御手段とを具備したスパッ
   タリング用電源装置。
6. 【請求項６】 前記各チョークコイルの前記整流回路側
   の端部と前記各第１のスイッチング手段の前記チョーク
   コイルに接続されていない端部との間にそれぞれ接続さ
   れたダイオードを備えた請求項５記載のスパッタリング
   用電源装置。
7. 【請求項７】 負極出力端子及び正極出力端子を有する
   スパッタリング用電源装置において、 それぞれブリッジ接続された複数のスイッチンング素子
   を有し、直流電圧源をパルス電圧に変換する互いに並列
   接続された複数のスイッチング回路と、 各スイッチング回路からのパルス電圧が１次電圧として
   供給され、パルス電圧を２次電圧として出力するトラン
   スと、 このトランスの二次側から出力されるパルス電圧を整流
   する各スイッチング回路に対応してそれぞれ設けられた
   互いに直列接続された整流回路と、 この整流回路の一端と前記負極出力端子との間にそれぞ
   れ接続されるチョークコイルと、 前記トランスの２次側に接続される逆電圧発生用整流回
   路と、 この逆電圧発生用整流回路の出力より逆電圧を得ている
   逆電圧源と、 前記整流回路の他端と各チョークコイルの前記負極出力
   端子との間にそれぞれ接続された常開の複数の第１のス
   イッチング手段と、 各整流回路、各チョークコイル、各第１のスイッチング
   手段とでそれぞれ閉ループを形成するように常閉の複数
   の第２のスイッチング手段と、 前記逆電圧発生用整流回路と隣接接続された整流回路と
   の間に接続される常閉の第３のスイッチング手段と、 前記負極出力端子及び前記正極出力端子間に接続される
   チャンバ内にアーク放電が発生したことを検出すると各
   第１のスイッチング手段を導通させ、各第２のスイッチ
   ング手段及び第３のスイッチング手段をそれぞれ非導通
   制御する制御手段とを具備し、前記逆電圧発生用整流回
   路と隣接接続された整流回路には、第２のスイッチング
   手段は設けられていないことを特徴とするスパッタリン
   グ用電源装置。
8. 【請求項８】 前記負極出力端子はスパッタリング装置
   のターゲットに接続されていることを特徴とする請求項
   1ないし７いずれか一記載のスパッタリング用電源装
   置。