JP2003091881A

JP2003091881A - 光記録媒体

Info

Publication number: JP2003091881A
Application number: JP2001287238A
Authority: JP
Inventors: Sadaichirou Oka; 禎一郎岡; Takeshi Komaki; 壮小巻
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2001-09-20
Filing date: 2001-09-20
Publication date: 2003-03-28

Abstract

(57)【要約】【課題】光ディスク等の光記録媒体において、記録／
再生用のレーザ光の光効率を低下させることなく、光透
過層の厚み測定を容易とする。【解決手段】光記録媒体１０は、支持基体１２、情報
記録面１４、光透過層１６を備えてなり、光透過層１６
の表面には、情報記録面１４のうちのリードインエリア
１４Ａに対応する領域にハーフミラーコート１８が形成
され、記録／再生用のレーザ光をハーフミラーコート１
８に照射したとき、ここで反射された戻り光量と、ハー
フミラーコート１８を透過して、情報記録面１４のリー
ドインエリア１４Ａにおいて反射され、再度ハーフミラ
ーコート１８を通って出射する戻り光量とがほぼ等しく
なるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光ディスク等の
光記録媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、再生専用光ディスクや光記録ディ
スク等の光記録媒体では、動画情報等の膨大な情報を記
録ないし保存するため、記録密度向上による媒体の高容
量化が求められ、これに応えるために、高記録密度化の
ための研究開発が盛んに行われてきた。

【０００３】その中の一つとして、例えばＤＶＤ（Digi
al Versatile Disc）にみられるように、記録・再生
波長を短くし、且つ、記録・再生光学系の対物レンズの
開口数（ＮＡ）を大きくして、記録・再生時のレーザー
ビームスポット径を小さくすることが提案されている。
ＤＶＤをＣＤ(Compact Disc)と比較すると、記録・再
生波長を７８０ｎｍから６５０ｎｍに変更し、ＮＡを
０．４５から０．６に変更することにより、６〜８倍の
記録容量（４．７ＧＢ／面）を達成している。

【０００４】更に、最近、高品位の動画像を長時間記録す
るために、記録・再生波長を４０５ｎｍ程度まで短く
し、且つ、対物レンズの開口数を０．８５程度まで大き
くすることにより、ＤＶＤの４倍以上、即ち２０ＧＢ／
面以上の記録容量を達成しようとする試みが行われてい
る。

【０００５】しかし、このように高ＮＡ化すると、光記
録媒体において、光透過層の厚み誤差による球面収差
は、例えば３次球面収差だけでも対物レンズのＮＡの４
乗に比例して発生するので、僅かな厚み誤差が大きな球
面収差の発生原因となってしまうという問題点がある。

【０００６】このような問題点は、ＣＤでは全く考慮さ
れていなかったが、ＤＶＤにおいては、ディスク面内や
１周内の厚みバラツキを規定することによって球面収差
の発生を規制している。

【０００７】又、波長４０５ｎｍ、ＮＡ＝０．８５のシ
ステムでは、例えば特開２０００−２８５５２０号公
報、特開２０００−２９８８７９号公報等に開示されて
いるように、光透過層の厚みのばらつきを±３μｍ、±
２μｍとしたものが提案されている。

【０００８】しかしながら、このように高精度に光透過
層の厚みを制御することは非常に困難であり、これを実
現しようとすると製造工程における歩留まりが大きく悪
化したり、又場合によっては全数検査が必要となるため
に、製造コストが大幅に増大してしまうという問題点が
ある。

【０００９】これに対しては、更に例えば特開２０００
−１３１６０３号公報、特開平１０−２８９４６５号公
報等に開示されるように、ディスク個体間の基板厚さの
ばらつきが一定の範囲内であれば、光学式ヘッドの側に
おいて球面収差を補正する方法が提案されている。この
ための球面収差検知方法としては、特開平１１−１９５
２２９号公報、特開平１１−２５９９０６号公報等に開
示されるように、各種の球面収差検出手段がある。又、
特開２０００−３１５３２３号公報のように、製造後に
予め光透過層の厚さ、その屈折率情報を個々のディスク
毎に測定して記録しておく方法がある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記のような球面収差
の検出は、そのほとんどが、光ディスクにおける光透過
層表面及びその内側の情報記録面からの２つの反射光に
よるフォーカスエラー信号に基づくものである。

【００１１】光ディスクの情報記録面において反射され
て戻る反射光の光量は、光ディスクへの入射光量に対し
て１５〜８５％である。これに対して、光透過層表面の
反射率はおよそ４％であるため、光透過層表面からの戻
り光量は、前記情報記録面からの戻り光量に比べて１／
４〜１／２０程度になっている。

【００１２】又、通常、光学式ヘッドより射出された光
ビームには、光透過層で発生すべき球面収差の分の逆符
号の球面収差を含ませているが、光透過層の表面では球
面収差が存在しないために、前記逆符号の球面収差が発
生し、集光スポットを充分に絞ることができず、このた
め光透過層表面での反射光から発生するフォーカスエラ
ー信号等の信号の大きさは、上記の比率の更に１／２〜
１／４に小さくなってしまう。

【００１３】このように、光透過層表面での反射光から
得られる信号の大きさが情報記録面での反射光から得ら
れる信号の大きさよりも非常に小さくなってしまうと、
信号認識のための閾値の設定可能範囲が狭くなるのみな
らず、光透過層表面での反射光により得られる信号がノ
イズに埋もれて識別できない状態となることもあるとい
う問題点がある。

【００１４】更に、上記のような、製造後に予め光透過
層の厚さ、その屈折率情報を個々のディスク毎に測定し
て記録しておく方法（特開２０００−３１５３２３号）
では、ディスクの製造コストが上昇し、又大量生産に不
向きであるという問題点がある。

【００１５】この発明は上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、光透過層表面からの戻り光量を増大
して、確実に信号認識ができるようにした光記録媒体を
提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明者は、鋭意研究の
結果、情報記録面の情報記録及び再生に影響を与えるこ
となく、光透過層表面での反射率を増大させることによ
って、確実に信号認識ができるようにした光記録媒体を
発明した。

【００１７】即ち、以下の発明により、上記目的を達成
するものである。

【００１８】（１）支持基体上に情報記録面及びこれを
覆う光透過層を有する構成又は、支持基体たる光透過層
上に情報記録面を有する構成のうち一方の構成であり、
前記光透過層を通して、レーザ光が前記情報記録面に照
射される光記録媒体であって、前記情報記録面における
データエリアの一部及び非データエリアの一部の少なく
とも一方の領域に重なる、前記光透過層表面の領域から
の、前記レーザ光の波長における戻り光量が前記情報記
録面の領域からの戻り光量よりも大きくなるようにした
ことを特徴とする光記録媒体。

【００１９】(２)前記情報記録面の領域、及び、前記光
透過層表面の領域での、前記レーザ光の波長におけるそ
れぞれの反射率を、該光透過層表面の領域からの戻り光
量が前記情報記録面の領域からの戻り光量よりも大きく
なるようにしたことを特徴とする（１）の光記録媒体。

【００２０】（３）前記光透過層表面での領域の、前記
レーザ光の波長における戻り光量が、前記レーザ光の前
記光記録媒体に照射される光量の１０〜６０％となるよ
うにされたことを特徴とする（１）又は（２）の光記録
媒体。

【００２１】（４）前記非データエリアは、リードイン
エリア及びリードアウトエリアの少なくとも一方である
ことを特徴とする（１）、（２）、又は（３）の光記録
媒体。

【００２２】（５）支持基体上に情報記録面及びこれを
覆う光透過層を有する構成又は、支持基体たる光透過層
上に情報記録面を有する構成のうち一方の構成であり、
前記光透過層を通して、レーザ光が前記情報記録面に照
射される光記録媒体であって、前記レーザ光の波長にお
いて、前記情報記録面における一部又は全部の領域から
の戻り光による信号に対し、これに重なる前記光透過層
表面の領域からの戻り光による信号がほぼ等しくなるよ
うにしたことを特徴とする光記録媒体。

【００２３】（６）前記レーザ光の波長における前記光
透過層表面の領域での反射率は５〜４０％とされたこと
を特徴とする（５）の光記録媒体。

【００２４】（７）前記光透過層表面の領域には、ハー
フミラーコートが施されていることを特徴とする（１）
乃至（６）のいずれかの光記録媒体。

【００２５】（８）前記レーザ光の波長に対する、前記
情報記録面の非データエリアの一部又は全部の領域での
反射率を、該情報記録面でのデータエリアにおける反射
率よりも高くしたことを特徴とする（１）乃至（７）の
いずれかの光記録媒体。

【００２６】（９）前記光透過層表面の領域には、波長
選択性光透過型反射膜が施されていることを特徴とする
（５）又は（６）の光記録媒体。

【００２７】（１０）前記波長選択性光透過型反射膜
は、前記レーザ光の波長よりも１００ｎｍ以上の差のあ
る波長のレーザ光に対しては、反射率が１０％以下とな
るように設定されたことを特徴とする（９）の光記録媒
体。

【００２８】（１１）前記情報記録面には、波長の異な
る２種類のレーザ光のうちより短い波長のレーザ光によ
り情報記録又は再生が可能とされ、前記波長選択性光透
過型反射膜は、前記２種類のレーザ光のうち、より長い
波長のレーザ光に対する反射率が、前記情報記録面にお
ける一部又は全部の領域からの戻り光による信号と、こ
れに重なる前記光透過層表面の領域からの戻り光による
信号とがほぼ等しくなるように設定され、且つ、より短
い波長のレーザ光の反射率が１０％以下となるようにさ
れたことを特徴とする（１０）の光記録媒体。

【００２９】この発明においては、情報記録／再生に影
響の少ない領域での光透過層表面の反射率を向上させた
り、情報記録／再生に用いない波長のレーザ光のみを比
較的高い反射率で、光透過層表面において反射させたり
することによって、光透過層表面での反射光による信号
強度を増大させている。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例につ
いて詳細に説明する。

【００３１】図１に示されるように、本発明の実施の形
態の第１例に係る光記録媒体１０は、支持基体１２上に
情報記録面１４及びこれを覆う光透過層１６を設けたも
のであり、前記情報記録面１４は、ディスク状光記録媒
体１０の最も内側領域に設けられたリードインエリア１
４Ａと、その外側に設けられたデータエリア１４Ｂと、
最外周側に設けられたリードアウトエリア１４Ｃから構
成されている。

【００３２】前記光透過層１６の表面（図１において上
側）には、前記リードインエリア１４Ａに対応する範囲
でハーフミラーコート１８が形成されている。

【００３３】前記ハーフミラーコート１８での反射率
は、光記録媒体１０の情報記録／再生するためのレーザ
光の波長領域で、１０％〜６０％に設定されている。

【００３４】ここで、前記ハーフミラーコート１８は、
無機物、例えば金属元素、半金属元素、半導体元素、あ
るいはそれらの化合物を単独あるいは複合させて形成さ
れ、有機物ではフッ素系樹脂により形成されている。
又、反射率は、これら材料の屈折率ｎと膜厚によって調
整することができる。

【００３５】更に、上記のような材料を前記光透過層１
６上に形成する方法としては、無機物の場合、真空蒸着
法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、プラズ
マＣＶＤ法、スパッタリング法等があり、中でもスパッ
タリング法が好ましく、フッ素系樹脂の場合、スピンコ
ート、スプレーコート、ディッピング、ロールコート、
スクリーン印刷、等の方法があるが、上記のように光記
録媒体１０の一部に塗布する場合は、スクリーン印刷が
好ましい。

【００３６】上記のような光透過層１６の表面に形成さ
れたハーフミラーコート１８からの戻り光及び情報記録
面１４からの戻り光に基づいて、光透過層１６の厚みを
測定するが、この場合ハーフミラーコート１８において
反射された戻り光量と、ハーフミラーコート１８を透過
し、情報記録面１４において反射され、更にハーフミラ
ーコート１８を透過した戻り光量がほぼ等しくなるの
が、光透過層１６の厚み測定上好ましい。

【００３７】ハーフミラーコート１８における光吸収が
なく、その反射率をＲｍ、情報記録面１４における反射
率をＲｉとして、記録／再生光学系の対物レンズ（図示
省略）から光記録媒体１０に向けて照射された光の強度
をＰとすると、前記ハーフミラーコート１８において反
射して戻る光の強度はＰ×Ｒｍ、前記情報記録面１４に
おいて反射されて戻る光の強度はＰ×（１−Ｒｍ）²×
Ｒｉであり、これに、更に、球面収差によるハーフミラ
ーコート１８表面からの信号の減衰があればこれを考慮
し、前記２つの戻り光による信号の大きさがほぼ等しく
なるようにＲｍを設定する。

【００３８】従って、次の表１、表２のように、情報記
録面１４における異なる反射率に対応して、且つ、表面
からの信号が球面収差によって、１／２に減少し、１／
４に減少しというように考慮して、ハーフミラーコート
１８の最適反射率を設定すると、２つの信号強度がほぼ
等しくなり、良好な測定をすることができる。

【００３９】

【表１】

【００４０】

【表２】

【００４１】上記の光透過層１６の表面での反射率の設
定は光記録媒体の種類により異なる。

【００４２】再生専用のいわゆるＲＯＭ媒体では、情報
記録面はＡｌ等の高反射率の物質で構成されているた
め、それ自身の反射率は９０％程度になる。

【００４３】反射光量の測定にセンサを使う場合は、球
面収差による“ぼけ”量を考慮しないでよいので、ハー
フミラーコートの反射率は３７％前後が適しているが、
ＮＡ＝０．８５の光学系で得られるフォーカスエラー信
号（以下ＦＥＳ）を光透過層厚の検出に用いる場合は、
反射率６０％近くで上記の２つの光量が等しくなる（表
１参照）。

【００４４】他方、記録も可能な光記録媒体のうち、情
報記録面での反射率が一般的に低い相変化媒体では、最
も低い場合それ自身で１６％程度の反射率であることも
あり、ＮＡ＝０．８５の光学系で得られるＦＥＳを光透
過層厚の検出に用いる場合は、２０〜３０％の反射率の
ハーフミラーコートが適している（表２参照）。なお、
センサを使う場合は球面収差による“ぼけ”量を考慮し
なくてよいので、反射率１２％程度が適している。

【００４５】したがって、例えば球面収差による“ぼ
け”量を考慮しなくてよい光透過層厚の測定方法を用い
る光記録再生装置に適した光記録媒体は、光透過層表面
の反射率Ｒｍが、１２．５％≦Ｒｍ≦３７％であること
になる。しかし、光透過層厚の測定を、記録再生に用い
るレーザ光とは異なる波長の光を用いて行う場合には、
その光透過層厚の測定用の波長に対しては情報記録面自
体の反射率が異なっている場合がある。このような場合
を考慮すると、実際に用いられる前記光記録媒体の光透
過層表面の、光透過層厚測定用の波長に対する反射率
は、Ｒｍ＝５％〜４０％程度の範囲となりうる。

【００４６】またＮＡ＝０．８５の光学系で、球面収差
を考慮した場合の反射率６０％は、簡単な単層コートで
得るには困難な反射率であるため、４０％程度までが妥
当な値である。なお、多少コストがかかるが、６０％近
い反射率が必要な場合は、誘電体等の多層コートとすれ
ばよい。

【００４７】前記のＮＡ＝０．８５の光学系で情報記録
面において反射されて光学式ヘッドに戻ってくる光の強
度は、光学式ヘッドから光記録媒体に照射された光の強
度に対して、表２の右半分、第３、第５段に示されるよ
うに、８〜１０％程度しかない（光透過層表面からの光
の強度は２０〜３０％程度であるが、球面収差補正の残
留によるぼけのため、ＦＥＳの信号強度としては情報記
録面より得られるものとほぼ同じ大きさとなる）。

【００４８】例えば、表２において、情報記録面１４に
おける反射率が１６％の場合は、ハーフミラーコート１
８は、球面収差による減衰率が１／２、１／４のとき反
射率を２０％、３１％にそれぞれ設定すると、上記２つ
の反射光量がほぼ等しくなる。

【００４９】上記のように光記録媒体の情報記録面の反
射率が低いため、光学式ヘッドや光記録再生装置の構成
によっては、得られる２つのＦＥＳの大きさが共に不十
分となってしまう場合がある。この対策として、光透過
層厚の測定に用いる領域における情報記録面には、相変
化記録膜や誘電体膜は形成させず、Ａｌやその合金等の
反射膜のみが形成された領域とするとよい。

【００５０】例えば、光透過層厚測定領域における反射
膜のみの情報記録面における反射率を９０％、その領域
での光記録媒体への光入射面にあたる光透過層表面に施
すハーフミラーコートによる反射率を５０〜６０％とす
ると、情報記録面反射光の光学式ヘッドに戻る光強度は
射出光強度の２５〜１５％で、ＦＥＳ強度もこれに対応
したものとなり、光透過層表面にて反射された光が光学
式ヘッドに戻る光強度はこれよりも大きいが、ＦＥＳ強
度は情報記録面で得られたものと同程度となる。

【００５１】一方で同光記録媒体のデータエリアでの情
報記録面反射光の光学式ヘッドに戻る光強度は（ハーフ
ミラーコートがないため、ほとんどそのまま）１５％で
あり、３者の信号強度がほぼ等しくなるため、光透過層
厚検知のために光学式ヘッドより照射される光の強度あ
るいは検知されるＦＥＳの増幅率を全く変える（調整す
る）ことなく、一連の動作を行うことができる。

【００５２】なお、上記光記録媒体１０において、ハー
フミラーコート１８はリードインエリア１４Ａの全部又
は一部での光入射側において形成されているが、上記リ
ードインエリア１４Ａは、最内周エリアを含むものであ
り、リードインエリア１４Ａの一部である最内周エリア
にのみハーフミラーコート１８を形成した場合は、その
範囲においては内周側の規定を解消することができる。
又、上記のように最内周エリアのみにハーフミラーコー
トを施す場合は、ディスクの仕様を、パワー・キャリブ
レーションエリアをハーフミラーコート範囲の外側に設
けるように規定してリードインエリア１４Ａが最内周側
になるようにするとよい。

【００５３】又、上記のような、リードインエリア１４
Ａに加えて、リードアウトエリア１４Ｃにもハーフミラ
ーコート１８を施しても良い。

【００５４】このようにすると、光記録媒体１０におけ
る光透過層１６の厚みを内周部と外周部とでそれぞれ検
知して両者の平均をとることによって、光透過層の半径
方向の厚みのばらつきを吸収して測定することができ
る。又、リードアウトエリア１４Ｃにのみハーフミラー
コート１８を施すようにしても良い。

【００５５】更に、光透過層１６表面の反射率は、その
厚み測定に利用できる戻り光量が得られ、且つ、レーザ
光によって情報記録膜１４に記録されたデータが再生可
能であればよい。

【００５６】従って、情報記録面１４の反射率による
が、１０〜６０％の反射率のハーフミラーコートを情報
記録面１４の一部又は全部に対応する領域で、光透過層
１６の表面に施してもよく、更に、ハーフミラーコート
を施すことなく、光透過層１６の表面で上記の反射率を
得るようにしてもよい。

【００５７】次に、図２に示される本発明の実施の形態
の第２例に係る光記録媒体２０について説明する。

【００５８】この光記録媒体２０は、前述と同様に、支
持基体１２、情報記録面１４及び光透過層１６を含んで
構成されているが、前記ハーフミラーコート１８に代え
て、情報記録面１４の光入射側表面の全領域に亘って光
透過層１６の表面に波長選択性光透過型反射膜（以下選
択反射膜）２２を設け、前記情報記録面１４におけるデ
ータエリア１４Ｂの記録／再生用のレーザ光と異なる波
長のレーザ光のみが一部反射、一部透過するようにした
ものである。

【００５９】例えば、選択反射膜２２の反射特性を、波
長６５０ｎｍの光を一部反射、一部透過し、光情報記録
再生用の波長４０５ｎｍのレーザ光は、ほとんど反射し
ないように設定する。

【００６０】具体的には、図３に示されるように、選択
反射膜２２の反射特性が、波長５００ｎｍの付近で反射
率特性がほぼ０から３０％程度に変化するように設定す
る。

【００６１】これにより、波長６５０ｎｍの測定用レー
ザ光によって光記録媒体２０を照射すると、光透過層１
６表面の選択反射膜２２では約３０％の戻り光量が得ら
れ、透過光の７０％は、情報記録面１４において反射さ
れ、再度選択反射膜２２を透過し、外側に射出する。情
報記録面１４での反射率が６０％程度であれば、７０％
×０．６×０．７＝２９．４％となり、前記選択反射膜
２２で反射された光とこれを情報記録面１４側から透過
した光の量がほぼ等しくなる。

【００６２】この実施の形態の例においては、光記録媒
体２０における情報記録面１４全域に亘って選択反射膜
２２が形成されているので、該情報記録面１４の全域で
の光透過層１６の厚さを測定することができる。

【００６３】又、リードインエリア１４Ａのみ、データ
エリア１４Ｂのみ等を、任意の範囲で光透過層１６の厚
みを測定することができる。

【００６４】特に、選択反射膜２２の特性を、前述のよ
うに、４０５ｎｍの光をほぼ１００％透過し、６５０ｎ
ｍの光を一部反射、一部透過するように設定すると、記
録密度の低い光記録媒体の記録再生を行うレーザ光の波
長を６５０ｎｍと設定し、これよりも記録密度の高い光
記録媒体の情報記録再生を４０５ｎｍのレーザ光で行う
場合に、好都合である。

【００６５】即ち、高密度記録／再生のための光情報記
録再生装置としては、これよりも密度の低い光記録媒体
の記録／再生をするための波長の長いレーザ光源を備え
ているものもある。

【００６６】従って、この比較的波長の長いレーザ光源
を用いて高密度の光記録媒体における光透過層の厚さの
測定に利用することができる。又、この場合、高密度記
録／再生のための短い波長のレーザ光は、選択反射膜２
２でほとんど反射されることなく透過するので、エネル
ギ効率良く記録／再生に用いることができる。

【００６７】ここで、前記選択反射膜２２は、例えば、
無機物では、ＴｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＭｇＦ2等を単独又は
組合せて、例えばスパッタ法によって光透過層表面に成
膜して形成し、有機物では、フッ素系樹脂が好ましく、
スピンコート、スプレーコート、ディッピング、ロール
コート、スクリーン印刷、等の方法があるが、上記のよ
うに光記録媒体２０の全面に塗布する場合は、スピンコ
ートが好ましい。

【００６８】なお、本発明の光記録媒体は、支持基体上
に情報記録面及びこれを覆う光透過層を有する構成又
は、支持基体たる光透過層上に情報記録面を有する構成
のうちのどちらであってもよい。又、情報記録面は２層
であってもよい。

【００６９】

【実施例】以下本発明の実施例について詳細に説明す
る。

【００７０】

【実施例１】実施例１は、光透過層の表面に、リードイ
ンエリアの領域に対応してハーフミラーコートを施した
光記録媒体である。

【００７１】まず、グルーブを形成した、ＰＣ製、厚み
ｔ＝１．１mm、直径１２０mmのディスク状支持基体（基
板）の表面に、Ａ１98Ｐｄ1Ｃｕ1（原子比）からなる反
射膜をスパッタ法により形成した。グルーブの深さは、
波長λ＝４０５ｎｍにおける光路長で表わしてλ／６と
し、記録トラックピッチは０．３μｍである。前記反射
膜の表面に、Ａｌ2Ｏ3ターゲットを用いてスパッタ法に
より厚さ２０ｎｍの第２誘電体膜を形成し、更に、この
第２誘電体膜表面に相変化材料からなる合金ターゲット
を用い、スパッタ法により厚さ１２ｎｍの記録膜を形成
した。記録膜の組成比（原子比）は、Ｓｂ74Ｔｅ18（Ｇ
ｅ7Ｉｎ1）とした。

【００７２】次に、記録膜表面上に、ＺｎＳ（８０モル
％）−ＳｉＯ2（２０モル％）ターゲットを用いてスパ
ッタ法により厚さ１３０ｎｍの第１誘電体膜を形成し
た。

【００７３】前記第１誘電体膜表面に、紫外線硬化型樹
脂（２５℃における粘度５，０００ｍＰａ・ｓ）をスピ
ンコート法により塗布し、紫外線を照射して厚さ１００
μｍの光透過層を形成した。スピンコートの塗布条件と
して、ディスク状支持基体（基板）の中心孔を閉塞する
内周治具を用い、この治具上に樹脂を吐出し、２０００
ｒｐｍで８秒間振り切った。

【００７４】前記硬化した光透過層上のリードインエリ
ア対応部分に、ＺｎＳ（８０モル％）−ＳｉＯ2（２０
モル％）ターゲットを用いてスパッタ法により厚さ５０
ｎｍのハーフミラーコートを形成した。

【００７５】このときの、前記ハーフミラーコートにお
ける反射率は３５〜４０％程度であり、その他の領域に
おける光透過層表面の反射率は４％程度であった。

【００７６】なお、ハーフミラーコートの反射率は、そ
の屈折率ｎと膜厚によって調整することができる。

【００７７】又、成膜面の反射率は約３５％であり、ハ
ーフミラーコートを透過（６０〜６５％）して、成膜面
において反射（６０％×０．３５〜６５％×０．３５）
され、再度ハーフミラーコートを透過して表面に出射す
る光量は、入射光に対して１２．６〜１４．８％（６０
％×０．３５×０．６〜６５％×０．３５×０．６５）
となるが、この実施例１では、光透過層が存在しないこ
とによる逆符号の球面収差により、ハーフミラーコート
（膜）での反射光による信号が減少するため、その大き
さは成膜面より得られる信号の大きさとほぼ等しくな
る。

【００７８】なおここで示す成膜面とはスパッタ法によ
り成膜された誘電体膜と記録膜よりなる薄膜層であり、
これまでで述べてきた情報記録面の一例である。

【００７９】

【実施例２】図４に示されるように、支持基体上に、成
膜面１を成膜し、スタンパを用いる方法（詳細後述）に
よりスペーサ層を形成し、その上に成膜面０を成膜し、
最後に光透過層を形成し２層ディスクを形成した。この
方法を以下に述べる。

【００８０】実施例１で用いた支持基体上にＡｌ98Ｐｄ
1Ｃｕ1（原子比）からなる反射膜をスパッタ法により１
００ｎｍ形成した。

【００８１】次いで、反射膜上にＺｎＳ（８０モル％）
−ＳｉＯ2（２０モル％）ターゲットを用いてスパッタ
法により厚さ７０ｎｍの第４誘電体膜を形成し、この第
４誘電体膜上に相変化材料からなる合金ターゲットを用
い、スパッタ法により厚さ１２ｎｍの第２記録膜を形成
した。記録膜の組成比（原子比）は、Ａｇ4Ｇｅ2Ｉｎ3
Ｓｂ67Ｔｅ24とした。

【００８２】次いで、第２記録膜表面上にＺｎＳ（８０
モル％）−ＳｉＯ2（２０モル％）ターゲットを用いて
スパッタ法により厚さ１４０ｎｍの第３誘電体膜を形成
し、成膜面１を完成した。

【００８３】この成膜面１における第３誘電体膜上に
は、透明なアモルファスポリオレフィン（ＡＰＯ）樹脂
（ポリメチルペンテン、ポリエチレン、ポリプロピレン
等）から作成したスタンパを用いる方法により、グルー
ブの深さを、波長λ＝４０５ｎｍにおける光路長で表わ
してλ／６とし、記録トラックピッチを０．３μｍとし
た厚さ２０μｍのスペーサ層を形成した。スペーサ層の
形成には、日本化薬（株）社製ＭＰＺ２０３を用いた。

【００８４】前記のようなスタンパを用いる方法は、例
えは、特開平１−２８５０４０に開示されるように、元
のスタンパから、めっき処理により転写したスタンパを
作成し、これを用いて、ＰＣ基板の射出成形と同じ要領
でＡＰＯ基板（φ１２０、１．２ｔ）を作成し、これを
スタンパとして利用する方法である。ＡＰＯは他の樹脂
と密着性が低いため、容易に２Ｐ樹脂（フォトポリマ
ー：紫外線硬化型アクリル樹脂）と剥離することが可能
である。

【００８５】更に具体的には、成膜面１の上に、２Ｐ樹
脂（紫外線硬化型樹脂）を塗布し、この塗布面にＡＰＯ
基板（スタンパ）を圧接させ、ＡＰＯ基板側から紫外線
を照射し２Ｐ樹脂を硬化させた後に、２Ｐ樹脂層とＡＰ
Ｏ基板との間で剥離し、スペーサ層を形成する。

【００８６】次いで、前記スペーサ層上にＺｎＳ（５０
モル％）−ＳｉＯ2（５０モル％）ターゲットを用いて
スパッタ法により厚さ６０ｎｍとＺｎＳ（８０モル％）
−ＳｉＯ2（２０モル％）ターゲットを用いてスパッタ
法により厚さ７０ｎｍの誘電体膜を成膜し、合わせて第
２誘電体膜を形成した。

【００８７】この第２誘電体膜上に相変化材料からなる
合金ターゲットを用い、スパッタ法により厚さ６ｎｍの
第１記録膜を形成した。記録膜の組成比（原子比）は、
Ａｇ4Ｇｅ2Ｉｎ3Ｓｂ67Ｔｅ24とした。

【００８８】第１記録膜表面上には、ＺｎＳ（８０モル
％）−ＳｉＯ2（２０モル％）ターゲットを用いてスパ
ッタ法により厚さ１４０ｎｍの第１誘電体膜を形成し、
成膜面０を完成した。

【００８９】次いで、成膜面０における第１誘電体膜表
面に、紫外線硬化型樹脂（２５℃における粘度５，００
０ｍＰａ・ｓ）をスピンコートにより塗布し、紫外線を
照射することにより厚さ９０μｍの光透過層を得た。こ
の時の塗布条件として、ディスク状支持基体の中心孔を
閉塞する内周治具を用い、この治具上に樹脂を吐出し、
２０００ｒｐｍで１０秒間振り切った。

【００９０】次いで、光透過層上のリードインエリア部
分に、ＺｎＳ（８０モル％）−ＳｉＯ2（２０モル％）
ターゲットを用いてスパッタ法により厚さ１５ｎｍのハ
ーフミラーコートを形成した。

【００９１】このようにして作成した２層ディスクサン
プルは、ハーフミラーコート（膜）の反射率は２０〜２
５％程度あり、その他の部分は４％程度であった。又、
成膜面０の反射率は約１５％、透過率は７０％、吸収率
は１５％、及び成膜面１の反射率は３０％程度であっ
た。

【００９２】

【実施例３】以下の手順で、波長選択性光透過型反射膜
を有する光記録ディスクサンプルを作成した。

【００９３】グルーブを形成したディスク状支持基体
（グルーブの深さは、波長λ＝４０５ｎｍにおける光路
長で表わしてλ／６とし、記録トラックピッチは０．３
μｍとした）の表面にＡｌ98Ｐｄ1Ｃｕ1（原子比）から
なる反射膜をスパッタ法により１００ｎｍ形成した。

【００９４】次いで、反射膜表面にＡｌ2Ｏ3ターゲット
を用いてスパッタ法により厚さ２０ｎｍの第２誘電膜を
形成した。

【００９５】次いで、第２誘電体膜表面に、相変化材料
からなる合金ターゲットを用い、スパッタ法により厚さ
１２ｎｍの記録膜を形成した。記録膜の組成比（原子
比）は、Ｓｂ74Ｔｅ18（Ｇｅ7Ｉｎ1）とした。

【００９６】次いで、記録膜表面上にＺｎＳ（８０モル
％）−ＳｉＯ2（２０モル％）ターゲットを用いてスパ
ッタ法により厚さ１３０ｎｍの第１誘電体膜を形成し
た。

【００９７】次いで、第１誘電体膜表面に、紫外線硬化
型樹脂（２５℃における粘度５，０００ｍＰａ・Ｓ）を
スピンコートにより塗布し、紫外線を照射することによ
り厚さ１００μｍの光透過層を得た。この時の塗布条件
として、ディスク状支持基体の中心孔を閉塞する内周治
具を用い、この治具上に樹脂を吐出し、２０００ｒｐｍ
で８秒間振り切った。

【００９８】次いで、光透過層上にＡｌ2Ｏ3ターゲット
を用いてスパッタ法により厚さ１４０ｎｍを成膜し、次
いでその上にＭｇＦ2ターゲットを用いてスパッタ法で
厚さ４０ｎｍを成膜し、合わせて波長選択性光透過型反
射膜を形成した。

【００９９】前記波長選択性光透過型反射膜の表面にお
ける、記録又は再生に使用される波長４０５ｎｍにおけ
る反射率は６％程度であり、９４％が透過し、光エネル
ギーが効率良く記録再生に用いられる。

【０１００】又、波長６５０ｎｍの光に関して反射率が
１３％程度あり、表面の識別に効果的に利用できる。

【０１０１】

【実施例４】実施例３において、光透過層上にＡｌ2Ｏ3
とＭｇＦ2の代わりに、ＴｉＯ2ターゲットを用いるスパ
ッタ法で８０ｎｍ成膜し、図５、図６に示されるような
反射・透過特性の波長選択性光透過型反射膜を成膜し
た。

【０１０２】この第４実施例における波長選択性光透過
型反射膜での、波長４０５ｎｍ光の反射率は８％程度で
あり、波長６５０ｎｍでは反射率が３４％程度であっ
た。

【０１０３】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、光
記録媒体における光透過層の厚みを精度良く確実に測定
可能とすることができるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の第１例に係る光記録媒体
を要部を拡大して示す断面図

【図２】同実施の形態の第２例に係る光記録媒体を要部
を拡大して示す断面図

【図３】同光記録媒体における波長選択性光透過型反射
膜の反射特性を示す線図

【図４】本発明の第２実施例に係る光記録媒体の要部を
模式的に拡大して示す断面図

【図５】同第４実施例における波長選択性光透過型反射
膜の反射特性を示す線図

【図６】同波長選択性光透過型反射膜の光透過特性を示
す線図

【符号の説明】

１０、２０…光記録媒体１２…支持基体１４…情報記録面１４Ａ…リードインエリア１４Ｂ…データエリア１４Ｃ…リードアウトエリア１６…光透過層１８…ハーフミラーコート２２…波長選択性光透過型反射膜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持基体上に情報記録面及びこれを覆う光
透過層を有する構成又は、支持基体たる光透過層上に情
報記録面を有する構成のうち一方の構成であり、前記光
透過層を通して、レーザ光が前記情報記録面に照射され
る光記録媒体であって、前記情報記録面におけるデータエリアの一部及び非デー
タエリアの一部の少なくとも一方の領域に重なる、前記
光透過層表面の領域からの、前記レーザ光の波長におけ
る戻り光量が前記情報記録面の領域からの戻り光量より
も大きくなるようにしたことを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】請求項１において、前記情報記録面の領
域、及び、前記光透過層表面の領域での、前記レーザ光
の波長におけるそれぞれの反射率を、該光透過層表面の
領域からの戻り光量が前記情報記録面の領域からの戻り
光量よりも大きくなるようにしたことを特徴とする光記
録媒体。
【請求項３】請求項１又は２において、前記光透過層表
面の領域での、前記レーザ光の波長における戻り光量
が、前記レーザ光の前記光記録媒体に照射される光量の
１０〜６０％となるようにされたことを特徴とする光記
録媒体。
【請求項４】請求項１、２又は３において、前記非デー
タエリアは、リードインエリア及びリードアウトエリア
の少なくとも一方であることを特徴とする光記録媒体。
【請求項５】支持基体上に情報記録面及びこれを覆う光
透過層を有する構成又は、支持基体たる光透過層上に情
報記録面を有する構成のうち一方の構成であり、前記光
透過層を通して、レーザ光が前記情報記録面に照射され
る光記録媒体であって、前記レーザ光の波長において、前記情報記録面における
一部又は全部の領域からの戻り光による信号に対し、こ
れに重なる前記光透過層表面の領域からの戻り光による
信号がほぼ等しくなるようにしたことを特徴とする光記
録媒体。
【請求項６】請求項５において、前記レーザ光の波長に
おける前記光透過層表面の領域での反射率は５〜４０％
とされたことを特徴とする光記録媒体。
【請求項７】請求項１乃至６のいずれかにおいて、前記
光透過層表面の領域には、ハーフミラーコートが施され
ていることを特徴とする光記録媒体。
【請求項８】請求項１乃至７のいずれかにおいて、前記
レーザ光の波長に対する、前記情報記録面の非データエ
リアの一部又は全部の領域での反射率を、該情報記録面
でのデータエリアにおける反射率よりも高くしたことを
特徴とする光記録媒体。
【請求項９】請求項５又は６において、前記光透過層表
面の領域には、波長選択性光透過型反射膜が施されてい
ることを特徴とする光記録媒体。
【請求項１０】請求項９において、前記波長選択性光透
過型反射膜は、前記レーザ光の波長よりも１００ｎｍ以
上の差のある波長のレーザ光に対しては、反射率が１０
％以下となるように設定されたことを特徴とする光記録
媒体。
【請求項１１】請求項１０において、前記情報記録面に
は、波長の異なる２種類のレーザ光のうちより短い波長
のレーザ光により情報記録又は再生が可能とされ、前記
波長選択性光透過型反射膜は、前記２種類のレーザ光の
うち、より長い波長のレーザ光に対する反射率が、前記
情報記録面における一部又は全部の領域からの戻り光に
よる信号と、これに重なる前記光透過層表面の領域から
の戻り光による信号とがほぼ等しくなるように設定さ
れ、且つ、より短い波長のレーザ光の反射率が１０％以
下となるようにされたことを特徴とする光記録媒体。