JP2003073819A - 錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法 - Google Patents
錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 密度が高く、かつ、比抵抗の低い透明導
電性薄膜形成用錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲッ
ト、及びこのターゲットの製造方法の提供。 【解決手段】 酸化錫及び酸化アンチモンを主成分とす
る焼結体ターゲットにおいて、酸化亜鉛を５〜２０重量
％の配合量で含有せしめる。酸化錫粉末、酸化アンチモ
ン粉末、混合粉末中の含有量が５〜２０重量％である酸
化亜鉛粉末とを混合し、得られた混合粉末をコールドプ
レス法又は泥漿鋳込み法により成形した後、焼成して焼
結体を得る。この焼結体ターゲットの比抵抗は５０ｍΩ
・ｃｍ以下であり、かつ、相対密度は９０％以上であ
る。
電性薄膜形成用錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲッ
ト、及びこのターゲットの製造方法の提供。 【解決手段】 酸化錫及び酸化アンチモンを主成分とす
る焼結体ターゲットにおいて、酸化亜鉛を５〜２０重量
％の配合量で含有せしめる。酸化錫粉末、酸化アンチモ
ン粉末、混合粉末中の含有量が５〜２０重量％である酸
化亜鉛粉末とを混合し、得られた混合粉末をコールドプ
レス法又は泥漿鋳込み法により成形した後、焼成して焼
結体を得る。この焼結体ターゲットの比抵抗は５０ｍΩ
・ｃｍ以下であり、かつ、相対密度は９０％以上であ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、錫−アンチモン酸
化物焼結体ターゲット及びその製造方法に関し、特にス
パッタリング法により透明導電性薄膜を形成するための
原料として用いられる錫−アンチモン酸化物焼結体ター
ゲット及びその製造方法に関する。
化物焼結体ターゲット及びその製造方法に関し、特にス
パッタリング法により透明導電性薄膜を形成するための
原料として用いられる錫−アンチモン酸化物焼結体ター
ゲット及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ディスプレイ機器の透明電極や太
陽電池等の分野において、多岐にわたって透明導電性薄
膜の需要が高まっている。透明導電性薄膜には、可視光
線の透過率が高く、電気抵抗率が低いという特性が要求
され、そのような機能を持つ薄膜を形成するための原料
の一つに錫−アンチモン酸化物ターゲットがある。この
ような透明導電性薄膜は、蒸着法、スパッタリング法、
ＣＶＤ法等により形成するのが一般的である。中でも、
安定した膜を大きな面積で製作できるスパッタリング法
が主流になっている。
陽電池等の分野において、多岐にわたって透明導電性薄
膜の需要が高まっている。透明導電性薄膜には、可視光
線の透過率が高く、電気抵抗率が低いという特性が要求
され、そのような機能を持つ薄膜を形成するための原料
の一つに錫−アンチモン酸化物ターゲットがある。この
ような透明導電性薄膜は、蒸着法、スパッタリング法、
ＣＶＤ法等により形成するのが一般的である。中でも、
安定した膜を大きな面積で製作できるスパッタリング法
が主流になっている。
【０００３】スパッタリング法による成膜法とは、スパ
ッタリングターゲットに主にアルゴンイオンを衝突さ
せ、スパッタによりターゲット材と同じ材料を基板に付
着、堆積させる成膜法である。従って、錫−アンチモン
酸化物膜を得るために、スパッタリング法では錫−アン
チモン酸化物の焼結体をスパッタリングターゲットとし
て用いる。ところが、錫−アンチモン酸化物焼結体の場
合、酸化錫の焼結性が悪いため、プレス成形（コールド
プレス法）して焼結させるだけでは低密度のものしか製
作できず、高密度の焼結体を得ることは困難であった。
そこで、このような難焼結材に対しては、一般に、加熱
中プレス成形して焼結させること（ホットプレス法）に
より密度の高い焼結体を得ている。
ッタリングターゲットに主にアルゴンイオンを衝突さ
せ、スパッタによりターゲット材と同じ材料を基板に付
着、堆積させる成膜法である。従って、錫−アンチモン
酸化物膜を得るために、スパッタリング法では錫−アン
チモン酸化物の焼結体をスパッタリングターゲットとし
て用いる。ところが、錫−アンチモン酸化物焼結体の場
合、酸化錫の焼結性が悪いため、プレス成形（コールド
プレス法）して焼結させるだけでは低密度のものしか製
作できず、高密度の焼結体を得ることは困難であった。
そこで、このような難焼結材に対しては、一般に、加熱
中プレス成形して焼結させること（ホットプレス法）に
より密度の高い焼結体を得ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ホットプレス
法はバッチ式であるために生産性が悪く、しかも、この
方法では、真空装置、加熱装置、加圧装置が一体化され
た装置を用いることが必要であり、コストも高くなる。
例えば、特開２００１−３９７７１号公報には、硫化亜
鉛と二酸化ケイ素とを主成分とし、これに酸化亜鉛を加
えた混合粉末を用いて、ホットプレス法により焼結体ス
パッタリングターゲットを製作する方法が開示されてい
るが、この方法には上記のような問題がある。また、コ
ールドプレス法による成形後、焼結して得られる従来の
錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲットは、低密度であ
ることが大きく影響して電気抵抗が高い。そのため、こ
のターゲットを用いた場合、スパッタ量が多くなり、成
膜速度が速いＤＣスパッタに利用するのは困難であると
いう問題がある。
法はバッチ式であるために生産性が悪く、しかも、この
方法では、真空装置、加熱装置、加圧装置が一体化され
た装置を用いることが必要であり、コストも高くなる。
例えば、特開２００１−３９７７１号公報には、硫化亜
鉛と二酸化ケイ素とを主成分とし、これに酸化亜鉛を加
えた混合粉末を用いて、ホットプレス法により焼結体ス
パッタリングターゲットを製作する方法が開示されてい
るが、この方法には上記のような問題がある。また、コ
ールドプレス法による成形後、焼結して得られる従来の
錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲットは、低密度であ
ることが大きく影響して電気抵抗が高い。そのため、こ
のターゲットを用いた場合、スパッタ量が多くなり、成
膜速度が速いＤＣスパッタに利用するのは困難であると
いう問題がある。
【０００５】本発明の課題は、上記従来技術の問題点を
解決することにあり、密度が高く、かつ、比抵抗の低い
透明導電性薄膜形成用錫−アンチモン酸化物焼結体ター
ゲット、及びこのターゲットを、大掛かりなホットプレ
ス法を用いずに、原料酸化物粉末を混合、成形、加熱焼
結を行って製造する方法を提供することにある。
解決することにあり、密度が高く、かつ、比抵抗の低い
透明導電性薄膜形成用錫−アンチモン酸化物焼結体ター
ゲット、及びこのターゲットを、大掛かりなホットプレ
ス法を用いずに、原料酸化物粉末を混合、成形、加熱焼
結を行って製造する方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、錫−アンチ
モン酸化物にドープする第三元素について鋭意検討を重
ねた結果、特定量の酸化亜鉛をドープして、コールドプ
レス法や泥漿鋳込み法等により成形体を形成し、その後
に焼結する方法を用いれば、密度及び比抵抗の両方につ
いて満足の得られる錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲ
ットが得られることを見出し、本発明を完成するに至っ
た。本発明の錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット
は、酸化錫及び酸化アンチモンを主成分とする焼結体タ
ーゲットにおいて、該焼結体ターゲット重量基準で５〜
２０重量％、好ましくは５〜１５重量％の酸化亜鉛を含
んでいるものである。この焼結体ターゲットの比抵抗は
５０ｍΩ・ｃｍ以下であり、かつ、その相対密度は９０
％以上である。
モン酸化物にドープする第三元素について鋭意検討を重
ねた結果、特定量の酸化亜鉛をドープして、コールドプ
レス法や泥漿鋳込み法等により成形体を形成し、その後
に焼結する方法を用いれば、密度及び比抵抗の両方につ
いて満足の得られる錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲ
ットが得られることを見出し、本発明を完成するに至っ
た。本発明の錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット
は、酸化錫及び酸化アンチモンを主成分とする焼結体タ
ーゲットにおいて、該焼結体ターゲット重量基準で５〜
２０重量％、好ましくは５〜１５重量％の酸化亜鉛を含
んでいるものである。この焼結体ターゲットの比抵抗は
５０ｍΩ・ｃｍ以下であり、かつ、その相対密度は９０
％以上である。
【０００７】酸化亜鉛の含有量が５重量％未満である
と、満足な密度が得られず、また、比抵抗も高くなる傾
向がある。この含有量が２０重量％を越えると、得られ
る焼結体ターゲット表面付近に酸化亜鉛の偏析が起こ
り、表層と内部とで組成にずれが生じるようになり、深
さ方向の組成が均一でないターゲットとなり好ましくな
い。また、本発明のターゲット製造方法は、酸化錫及び
酸化アンチモンを主成分とする錫−アンチモン酸化物焼
結体ターゲットの製造方法において、酸化錫粉末及び酸
化アンチモン粉末と、混合粉末中の含有量が５〜２０重
量％、好ましくは５〜１５重量％である酸化亜鉛粉末と
を混合し、得られた混合粉末を公知のコールドプレス法
又は泥漿鋳込み法により既知の成形条件下で成形した
後、この成形体を焼成して焼結体を得ることからなる。
得られた焼結体ターゲットの比抵抗及び相対密度は上記
の通りである。
と、満足な密度が得られず、また、比抵抗も高くなる傾
向がある。この含有量が２０重量％を越えると、得られ
る焼結体ターゲット表面付近に酸化亜鉛の偏析が起こ
り、表層と内部とで組成にずれが生じるようになり、深
さ方向の組成が均一でないターゲットとなり好ましくな
い。また、本発明のターゲット製造方法は、酸化錫及び
酸化アンチモンを主成分とする錫−アンチモン酸化物焼
結体ターゲットの製造方法において、酸化錫粉末及び酸
化アンチモン粉末と、混合粉末中の含有量が５〜２０重
量％、好ましくは５〜１５重量％である酸化亜鉛粉末と
を混合し、得られた混合粉末を公知のコールドプレス法
又は泥漿鋳込み法により既知の成形条件下で成形した
後、この成形体を焼成して焼結体を得ることからなる。
得られた焼結体ターゲットの比抵抗及び相対密度は上記
の通りである。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて
詳細に説明する。 （実施例１）市販の酸化錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛
の粉末を、それぞれ、重量％で８９：６：５になるよう
に計５００ｇ秤量し、φ１０ｍｍのジルコニアボール５
００ｇと共にナイロン製ポットに入れ、ボールミルで２
０時間混合した。得られた混合粉末をナイロン製ポット
より取り出し、オーブンで乾燥した後、再度ナイロン製
ポットを用いて乾式で１０時間ボールミル粉砕を行っ
た。粉砕された粉末を５００μｍのふるいで分級した
後、φ１５０ｍｍのゴム型に充填し、室温において２ｔ
ｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧成形を行って成形体を得た。
その後、１５００℃で５時間焼成して焼結体を得た。こ
の時の焼結体の比重は、６．０ｇ／ｍｌで、密度１００
％に対する比重の相対密度は９０％であり、比抵抗は３
０ｍΩ・ｃｍであった。
詳細に説明する。 （実施例１）市販の酸化錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛
の粉末を、それぞれ、重量％で８９：６：５になるよう
に計５００ｇ秤量し、φ１０ｍｍのジルコニアボール５
００ｇと共にナイロン製ポットに入れ、ボールミルで２
０時間混合した。得られた混合粉末をナイロン製ポット
より取り出し、オーブンで乾燥した後、再度ナイロン製
ポットを用いて乾式で１０時間ボールミル粉砕を行っ
た。粉砕された粉末を５００μｍのふるいで分級した
後、φ１５０ｍｍのゴム型に充填し、室温において２ｔ
ｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧成形を行って成形体を得た。
その後、１５００℃で５時間焼成して焼結体を得た。こ
の時の焼結体の比重は、６．０ｇ／ｍｌで、密度１００
％に対する比重の相対密度は９０％であり、比抵抗は３
０ｍΩ・ｃｍであった。
【０００９】（実施例２）実施例１と同じ市販の酸化
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で８９：６：５になるように計５００ｇ秤量し、φ
１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン製
ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得られ
た混合粉末に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セル
ナＤ−３０５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学
（株）製、商品名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０
ｇ）とを加えた後、さらに１０時間混合した。得られた
泥漿を鋳込み用型に鋳込み、成形体を得た。この成形体
をオーブンで乾燥した後、１５００℃で５時間焼成し、
焼結体を得た。この時の焼結体の比重は、６．１ｇ／ｍ
ｌで、密度１００％に対する比重の相対密度は９１％で
あり、比抵抗は１０ｍΩ・ｃｍであった。
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で８９：６：５になるように計５００ｇ秤量し、φ
１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン製
ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得られ
た混合粉末に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セル
ナＤ−３０５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学
（株）製、商品名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０
ｇ）とを加えた後、さらに１０時間混合した。得られた
泥漿を鋳込み用型に鋳込み、成形体を得た。この成形体
をオーブンで乾燥した後、１５００℃で５時間焼成し、
焼結体を得た。この時の焼結体の比重は、６．１ｇ／ｍ
ｌで、密度１００％に対する比重の相対密度は９１％で
あり、比抵抗は１０ｍΩ・ｃｍであった。
【００１０】（実施例３）実施例１と同じ市販の酸化
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で８４：６：１０になるように計５００ｇ秤量し、
φ１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン
製ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得ら
れた混合粉末をナイロン製ポットより取り出し、オーブ
ンで乾燥した後、再度ナイロン製ポットを用いて乾式で
１０時間ボールミル粉砕を行った。粉砕された粉末を５
００μｍのふるいで分級した後、φ１５０ｍｍのゴム型
に充填し、室温において２ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧
成形を行って成形体を得た。その後、１５００℃で５時
間焼成して焼結体を得た。この時の焼結体の比重は、
６．０ｇ／ｍｌで、密度１００％に対する比重の相対密
度は９０％であり、比抵抗は１２ｍΩ・ｃｍであった。
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で８４：６：１０になるように計５００ｇ秤量し、
φ１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン
製ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得ら
れた混合粉末をナイロン製ポットより取り出し、オーブ
ンで乾燥した後、再度ナイロン製ポットを用いて乾式で
１０時間ボールミル粉砕を行った。粉砕された粉末を５
００μｍのふるいで分級した後、φ１５０ｍｍのゴム型
に充填し、室温において２ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧
成形を行って成形体を得た。その後、１５００℃で５時
間焼成して焼結体を得た。この時の焼結体の比重は、
６．０ｇ／ｍｌで、密度１００％に対する比重の相対密
度は９０％であり、比抵抗は１２ｍΩ・ｃｍであった。
【００１１】（実施例４）実施例１と同じ市販の酸化
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で８４：６：１０になるように計５００ｇ秤量し、
φ１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン
製ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得ら
れた混合粉末に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セ
ルナＤ−３０５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学
（株）製、商品名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０
ｇ）とを加えた後、さらに１０時間混合した。得られた
泥漿を鋳込み用型に鋳込み、成形体を得た。この成形体
を乾燥後、１５００℃で５時間焼成して焼結体を得た。
この時の焼結体の比重は、６．２ｇ／ｍｌで、密度１０
０％に対する比重の相対密度は９３％であり、比抵抗は
３ｍΩ・ｃｍであった。
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で８４：６：１０になるように計５００ｇ秤量し、
φ１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン
製ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得ら
れた混合粉末に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セ
ルナＤ−３０５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学
（株）製、商品名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０
ｇ）とを加えた後、さらに１０時間混合した。得られた
泥漿を鋳込み用型に鋳込み、成形体を得た。この成形体
を乾燥後、１５００℃で５時間焼成して焼結体を得た。
この時の焼結体の比重は、６．２ｇ／ｍｌで、密度１０
０％に対する比重の相対密度は９３％であり、比抵抗は
３ｍΩ・ｃｍであった。
【００１２】（実施例５）市販の酸化錫、酸化アンチモ
ン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重量％で７９：６：
１５になるように計５００ｇ秤量し、φ１０ｍｍのジル
コニアボール５００ｇと共にナイロン製ポットに入れ、
ボールミルで２０時間混合した。得られた混合粉末をナ
イロン製ポットより取り出し、オーブンで乾燥した後、
再度ナイロン製ポットを用いて乾式で１０時間ボールミ
ル粉砕を行った。粉砕された粉末を５００μｍのふるい
で分級した後、φ１５０ｍｍのゴム型に充填し、室温に
おいて２ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧成形を行って成形
体を得た。その後、１５００℃で５時間焼成して焼結体
を得た。この時の焼結体の比重は、６．１ｇ／ｍｌで、
密度１００％に対する比重の相対密度は９３％であり、
比抵抗は９ｍΩ・ｃｍであった。
ン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重量％で７９：６：
１５になるように計５００ｇ秤量し、φ１０ｍｍのジル
コニアボール５００ｇと共にナイロン製ポットに入れ、
ボールミルで２０時間混合した。得られた混合粉末をナ
イロン製ポットより取り出し、オーブンで乾燥した後、
再度ナイロン製ポットを用いて乾式で１０時間ボールミ
ル粉砕を行った。粉砕された粉末を５００μｍのふるい
で分級した後、φ１５０ｍｍのゴム型に充填し、室温に
おいて２ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧成形を行って成形
体を得た。その後、１５００℃で５時間焼成して焼結体
を得た。この時の焼結体の比重は、６．１ｇ／ｍｌで、
密度１００％に対する比重の相対密度は９３％であり、
比抵抗は９ｍΩ・ｃｍであった。
【００１３】（実施例６）実施例１と同じ市販の酸化
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で７９：６：１５になるように計５００ｇ秤量し、
φ１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン
製ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得ら
れた混合粉末に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セ
ルナＤ−３０５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学
（株）製、商品名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０
ｇ）とを加えた後、さらに１０時間混合した。得られた
泥漿を鋳込み用型に鋳込み、成形体を得た。この成形体
を乾燥後、１５００℃で５時間焼成して焼結体を得た。
この時の焼結体の比重は、６．２ｇ／ｍｌで、密度１０
０％に対する比重の相対密度は９５％であり、比抵抗は
２ｍΩ・ｃｍであった。
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で７９：６：１５になるように計５００ｇ秤量し、
φ１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン
製ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得ら
れた混合粉末に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セ
ルナＤ−３０５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学
（株）製、商品名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０
ｇ）とを加えた後、さらに１０時間混合した。得られた
泥漿を鋳込み用型に鋳込み、成形体を得た。この成形体
を乾燥後、１５００℃で５時間焼成して焼結体を得た。
この時の焼結体の比重は、６．２ｇ／ｍｌで、密度１０
０％に対する比重の相対密度は９５％であり、比抵抗は
２ｍΩ・ｃｍであった。
【００１４】（比較例１）実施例１と同じ市販の酸化
錫、酸化アンチモンの粉末を、それぞれ、重量％で９
４：６になるように計５００ｇ秤量し、φ１０ｍｍのジ
ルコニアボール５００ｇと共にナイロン製ポットに入
れ、ボールミルで２０時間混合した。得られた混合粉末
をナイロン製ポットより取り出し、オーブンで乾燥した
後、再度ナイロン製ポットを用いて乾式で１０時間ボー
ルミル粉砕を行った。粉砕された粉末を５００μｍのふ
るいで分級した後、φ１５０ｍｍのゴム型に充填し、室
温において２ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧成形を行って
成形体を得た。その後、１５００℃で５時間焼成して焼
結体を得た。この時の焼結体の比重は、３．８ｇ／ｍｌ
で、密度１００％に対する比重の相対密度は５７％であ
り、比抵抗は∞であった。
錫、酸化アンチモンの粉末を、それぞれ、重量％で９
４：６になるように計５００ｇ秤量し、φ１０ｍｍのジ
ルコニアボール５００ｇと共にナイロン製ポットに入
れ、ボールミルで２０時間混合した。得られた混合粉末
をナイロン製ポットより取り出し、オーブンで乾燥した
後、再度ナイロン製ポットを用いて乾式で１０時間ボー
ルミル粉砕を行った。粉砕された粉末を５００μｍのふ
るいで分級した後、φ１５０ｍｍのゴム型に充填し、室
温において２ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧成形を行って
成形体を得た。その後、１５００℃で５時間焼成して焼
結体を得た。この時の焼結体の比重は、３．８ｇ／ｍｌ
で、密度１００％に対する比重の相対密度は５７％であ
り、比抵抗は∞であった。
【００１５】（比較例２）実施例１と同じ市販の酸化
錫、酸化アンチモンの粉末を、それぞれ、重量％で９
４：６になるように計５００ｇ秤量し、φ１０ｍｍのジ
ルコニアボール５００ｇと共にナイロン製ポットに入
れ、ボールミルで２０時間混合した。得られた混合粉末
に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セルナＤ−３０
５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学（株）製、商品
名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０ｇ）とを加えた
後、さらに１０時間混合した。得られた泥漿を鋳込み用
型に鋳込み、成形体を得た。この成形体を乾燥後、１５
００℃で５時間焼成して焼結体を得た。この時の焼結体
の比重は、４．０ｇ／ｍｌで、密度１００％に対する比
重の相対密度は６０％であり、比抵抗は∞であった。
錫、酸化アンチモンの粉末を、それぞれ、重量％で９
４：６になるように計５００ｇ秤量し、φ１０ｍｍのジ
ルコニアボール５００ｇと共にナイロン製ポットに入
れ、ボールミルで２０時間混合した。得られた混合粉末
に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セルナＤ−３０
５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学（株）製、商品
名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０ｇ）とを加えた
後、さらに１０時間混合した。得られた泥漿を鋳込み用
型に鋳込み、成形体を得た。この成形体を乾燥後、１５
００℃で５時間焼成して焼結体を得た。この時の焼結体
の比重は、４．０ｇ／ｍｌで、密度１００％に対する比
重の相対密度は６０％であり、比抵抗は∞であった。
【００１６】（比較例３）実施例１と同じ市販の酸化
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で９３：６：１になるように計５００ｇ秤量し、φ
１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン製
ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得られ
た混合粉末をナイロン製ポットより取り出し、オーブン
で乾燥した後、再度ナイロン製ポットを用いて乾式で１
０時間ボールミル粉砕を行った。粉砕された粉末を５０
０μｍのふるいで分級した後、φ１５０ｍｍのゴム型に
充填し、室温において２ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧成
形を行って成形体を得た。その後、１５００℃で５時間
焼成して焼結体を得た。この時の焼結体の比重は、５．
８ｇ／ｍｌで、密度１００％に対する比重の相対密度は
８６％であり、比抵抗は５００ｍΩ・ｃｍであった。
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で９３：６：１になるように計５００ｇ秤量し、φ
１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン製
ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得られ
た混合粉末をナイロン製ポットより取り出し、オーブン
で乾燥した後、再度ナイロン製ポットを用いて乾式で１
０時間ボールミル粉砕を行った。粉砕された粉末を５０
０μｍのふるいで分級した後、φ１５０ｍｍのゴム型に
充填し、室温において２ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力で加圧成
形を行って成形体を得た。その後、１５００℃で５時間
焼成して焼結体を得た。この時の焼結体の比重は、５．
８ｇ／ｍｌで、密度１００％に対する比重の相対密度は
８６％であり、比抵抗は５００ｍΩ・ｃｍであった。
【００１７】（比較例４）実施例１と同じ市販の酸化
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で９３：６：１になるように計５００ｇ秤量し、φ
１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン製
ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得られ
た混合粉末に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セル
ナＤ−３０５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学
（株）製、商品名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０
ｇ）とを加えた後、さらに１０時間混合した。得られた
泥漿を鋳込み用型に鋳込み、成形体を得た。この成形体
を乾燥後、１５００℃で５時間焼成して焼結体を得た。
この時の焼結体の比重は、５．９ｇ／ｍｌで、密度１０
０％に対する比重の相対密度は８８％であり、比抵抗は
４００ｍΩ・ｃｍであった。
錫、酸化アンチモン、酸化亜鉛の粉末を、それぞれ、重
量％で９３：６：１になるように計５００ｇ秤量し、φ
１０ｍｍのジルコニアボール５００ｇと共にナイロン製
ポットに入れ、ボールミルで２０時間混合した。得られ
た混合粉末に分散剤（中京油脂（株）製、商品名：セル
ナＤ−３０５、２．５ｇ）とバインダー（三井化学
（株）製、商品名：バインドセラムＷＡ６１０、５．０
ｇ）とを加えた後、さらに１０時間混合した。得られた
泥漿を鋳込み用型に鋳込み、成形体を得た。この成形体
を乾燥後、１５００℃で５時間焼成して焼結体を得た。
この時の焼結体の比重は、５．９ｇ／ｍｌで、密度１０
０％に対する比重の相対密度は８８％であり、比抵抗は
４００ｍΩ・ｃｍであった。
【００１８】上記実施例及び比較例の結果をまとめて表
１に示す。（表１）
１に示す。（表１）
【００１９】表１から明らかなように、酸化亜鉛の含有
量の多い方が焼結体の密度が高く、また、比抵抗が小さ
くなる。しかし、酸化亜鉛の含有量が２０重量％を越え
ると、焼結体ターゲット表面付近に酸化亜鉛の偏析が起
こり、表層と内部とで組成にずれが生じるようになり、
深さ方向の組成が均一でないターゲットとなる。一方、
酸化亜鉛の含有量が少ないと焼結体の密度が低く、比抵
抗が高い。上記実施例で得られた焼結体を機械加工によ
り円板状に加工した後、バッキングプレートに接合して
スパッタリングターゲットとした。この錫−アンチモン
酸化物焼結体ターゲットを用いて、公知の成膜条件でス
パッタリング法を行ったところ、基板上に透明導電性の
錫−アンチモン酸化物薄膜を効率よく形成することがで
きた。
量の多い方が焼結体の密度が高く、また、比抵抗が小さ
くなる。しかし、酸化亜鉛の含有量が２０重量％を越え
ると、焼結体ターゲット表面付近に酸化亜鉛の偏析が起
こり、表層と内部とで組成にずれが生じるようになり、
深さ方向の組成が均一でないターゲットとなる。一方、
酸化亜鉛の含有量が少ないと焼結体の密度が低く、比抵
抗が高い。上記実施例で得られた焼結体を機械加工によ
り円板状に加工した後、バッキングプレートに接合して
スパッタリングターゲットとした。この錫−アンチモン
酸化物焼結体ターゲットを用いて、公知の成膜条件でス
パッタリング法を行ったところ、基板上に透明導電性の
錫−アンチモン酸化物薄膜を効率よく形成することがで
きた。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、酸化亜鉛を５〜２０重
量％の配合量で含有せしめることにより、コールドプレ
ス法や泥漿鋳込み法によって、密度が高く、かつ、比抵
抗の小さい錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲットを製
造し、提供することができる。得られたターゲットを用
いて有用な透明導電性薄膜を形成することができる。
量％の配合量で含有せしめることにより、コールドプレ
ス法や泥漿鋳込み法によって、密度が高く、かつ、比抵
抗の小さい錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲットを製
造し、提供することができる。得られたターゲットを用
いて有用な透明導電性薄膜を形成することができる。
Claims (3)
- 【請求項１】 酸化錫及び酸化アンチモンを主成分とす
る焼結体ターゲットにおいて、該焼結体ターゲット重量
基準で５〜２０重量％の酸化亜鉛を含んでいることを特
徴とする錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット。 - 【請求項２】 前記焼結体ターゲットの比抵抗が、５０
ｍΩ・ｃｍ以下であり、かつ、その相対密度が９０％以
上であることを特徴とする請求項１記載の錫−アンチモ
ン酸化物焼結体ターゲット。 - 【請求項３】 酸化錫及び酸化アンチモンを主成分とす
る焼結体ターゲットの製造方法において、酸化錫粉末及
び酸化アンチモン粉末と、混合粉末中の含有量が５〜１
５重量％である酸化亜鉛粉末とを混合し、得られた混合
粉末をコールドプレス法又は泥漿鋳込み法により成形し
た後、この成形体を焼成して焼結体を得ることを特徴と
する錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲットの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001271734A JP4724330B2 (ja) | 2001-09-07 | 2001-09-07 | 錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001271734A JP4724330B2 (ja) | 2001-09-07 | 2001-09-07 | 錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003073819A true JP2003073819A (ja) | 2003-03-12 |
| JP4724330B2 JP4724330B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=19097203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001271734A Expired - Lifetime JP4724330B2 (ja) | 2001-09-07 | 2001-09-07 | 錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4724330B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100340698C (zh) * | 2003-11-25 | 2007-10-03 | 日矿金属株式会社 | 溅射靶及光信息记录介质及其制造方法 |
| KR100971866B1 (ko) | 2007-12-27 | 2010-07-22 | 권보경 | 스퍼터링 타겟에 사용되는 주석-안티몬 합금과 그의 제조방법 |
| JP2013507526A (ja) * | 2009-10-15 | 2013-03-04 | ユミコア エセ．アー． | 酸化スズセラミックスパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
| CN108516820A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-09-11 | 郑州大学 | 一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺 |
Citations (6)
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| JPS59225501A (ja) * | 1983-06-04 | 1984-12-18 | 日本コントロ−ル株式会社 | 大容量抵抗器の抵抗体 |
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| JPH04228466A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-08-18 | Sony Tektronix Corp | 酸化スズ焼結体の製造方法 |
| JPH0754132A (ja) * | 1993-08-11 | 1995-02-28 | Tosoh Corp | Ｉｔｏ焼結体及びスパッタリングターゲット |
| WO2000040769A1 (fr) * | 1998-12-28 | 2000-07-13 | Japan Energy Corporation | Cible de pulverisation cathodique |
| JP2001216842A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Toyobo Co Ltd | 透明導電性フィルム、透明導電性シートおよびタッチパネル |
-
2001
- 2001-09-07 JP JP2001271734A patent/JP4724330B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4724330B2 (ja) | 2011-07-13 |
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