JPS604849A - 窒素酸化物検出素子 - Google Patents
窒素酸化物検出素子Info
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- JPS604849A JPS604849A JP58113428A JP11342883A JPS604849A JP S604849 A JPS604849 A JP S604849A JP 58113428 A JP58113428 A JP 58113428A JP 11342883 A JP11342883 A JP 11342883A JP S604849 A JPS604849 A JP S604849A
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- nitrogen oxide
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- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、内燃機関の排気ガスとして排出される、Ｎ
Ｏ２等の窒素酸化物を検出する窒素酸化物検出素子に関
するものである。
Ｏ２等の窒素酸化物を検出する窒素酸化物検出素子に関
するものである。
従来より窒素酸化物を検出する素子として五酸化バナジ
ウム（Ｖ２Ｏ５）系酸化物半導体とか、酸化錫焼結体と
かが知られている。その中で酸化錫（ＳｎＯ２）焼結体
より成る窒素酸化物検出素子は、焼結が困難であり、得
られる素子自体の感度も低く、特にディーゼルエンジン
の排気ガスに含まれる水素（Ｈ２）や−酸化炭素（Ｃｏ
）に対して敏感なために、窒素酸化物検出素子として使
用する場合に誤差が大きいと言う問題点があった。
ウム（Ｖ２Ｏ５）系酸化物半導体とか、酸化錫焼結体と
かが知られている。その中で酸化錫（ＳｎＯ２）焼結体
より成る窒素酸化物検出素子は、焼結が困難であり、得
られる素子自体の感度も低く、特にディーゼルエンジン
の排気ガスに含まれる水素（Ｈ２）や−酸化炭素（Ｃｏ
）に対して敏感なために、窒素酸化物検出素子として使
用する場合に誤差が大きいと言う問題点があった。
本発明は、この窒素酸化物検出素子の改良にかかるもの
で、酸化錫焼結体系よりなる応答特性の優れた窒素酸化
物検出素子を提供する事を目的とする。
で、酸化錫焼結体系よりなる応答特性の優れた窒素酸化
物検出素子を提供する事を目的とする。
本発明者等は、酸化錫の焼結性を種々検討した結果、酸
化鋼（Ｃｕ Ｏ）及び又は酸化鉛（Ｚ ｎ Ｏ）を酸化
錫に配合して焼結する事により酸化錫の焼結性能が改善
され、耐久性のある酸化錫系焼結体が得られ、かつ得ら
れた酸化錫系焼結体に鉄系酸化物触媒を担持させた場合
、窒素酸化物に対して応答特性に優れ他の水素、−酸化
炭素、ハイドロ−カーホンに対しては、比較的鈍感な窒
素酸化物検出素子を得られる事を発見し、本発明を完成
したものである。
化鋼（Ｃｕ Ｏ）及び又は酸化鉛（Ｚ ｎ Ｏ）を酸化
錫に配合して焼結する事により酸化錫の焼結性能が改善
され、耐久性のある酸化錫系焼結体が得られ、かつ得ら
れた酸化錫系焼結体に鉄系酸化物触媒を担持させた場合
、窒素酸化物に対して応答特性に優れ他の水素、−酸化
炭素、ハイドロ−カーホンに対しては、比較的鈍感な窒
素酸化物検出素子を得られる事を発見し、本発明を完成
したものである。
即ち、本発明の窒素酸化物検出素子は、酸化錫（ＳｎＯ
２）、と、酸化銅（Ｃｕ Ｏ）および酸化亜鉛（Ｚ ｎ
Ｏ）の１種または２種とを主要素とし、それらの組成
比率が５ｎ０２ ］ ００重量部に対し、ＣｕＯおよび
ＺｎＯの１種または２種が０．１〜１０重量部である焼
結体と、該焼結体に担持された鉄系酸化物触媒とよりな
ることを特徴とするものである。
２）、と、酸化銅（Ｃｕ Ｏ）および酸化亜鉛（Ｚ ｎ
Ｏ）の１種または２種とを主要素とし、それらの組成
比率が５ｎ０２ ］ ００重量部に対し、ＣｕＯおよび
ＺｎＯの１種または２種が０．１〜１０重量部である焼
結体と、該焼結体に担持された鉄系酸化物触媒とよりな
ることを特徴とするものである。
本発明の焼結体の主要素を酸化錫、酸化銅および酸化亜
鉛とし、酸化銅及び酸化亜鉛の組成比率を酸化錫１００
重量部に対して、０．１〜１０重量部としている。これ
は、酸化銅及び酸化亜鉛の組成比率が０．１％未満の場
合には、酸化錫の焼結性つ（非席°に悪く、安定した焼
結体が得られないことによる。又、逆に酸化錫、酸化亜
鉛の組成比率が１０重量部を越える場合には、窒素酸化
物の検出感度が悪くなる。。
鉛とし、酸化銅及び酸化亜鉛の組成比率を酸化錫１００
重量部に対して、０．１〜１０重量部としている。これ
は、酸化銅及び酸化亜鉛の組成比率が０．１％未満の場
合には、酸化錫の焼結性つ（非席°に悪く、安定した焼
結体が得られないことによる。又、逆に酸化錫、酸化亜
鉛の組成比率が１０重量部を越える場合には、窒素酸化
物の検出感度が悪くなる。。
以下余白
第 １ 表
以下余白
参考までに焼結体の原料組成と嵩密度の関係を第１表に
示す。後記する実施例と同一の方法で、第１表に示す組
成をもつ７試料の原料粉末を凋整し、実施例と同一の方
法で焼結して焼結体を得た。
示す。後記する実施例と同一の方法で、第１表に示す組
成をもつ７試料の原料粉末を凋整し、実施例と同一の方
法で焼結して焼結体を得た。
得られた焼結体の嵩密度を第１表に合せて示す。
酸化銅及び酸化亜鉛の１〜２種を１〜１０重量部配合し
て得られた焼結体の嵩密度は５．０〜５，６ｇ／ ｃｒ
ｌと高い。しかし、酸化銅、酸化亜鉛が配合されていな
い隘７の試料の焼結体の嵩密度は３．１ｇ／ ｃｌと低
い。
て得られた焼結体の嵩密度は５．０〜５，６ｇ／ ｃｒ
ｌと高い。しかし、酸化銅、酸化亜鉛が配合されていな
い隘７の試料の焼結体の嵩密度は３．１ｇ／ ｃｌと低
い。
なお、酸化錫焼結体に対して、酸化アンチモンを添加す
る事により、焼結体の固有抵抗を任意に変更する事がで
きる。酸化アンチモン（Ｓｂ２０３）の配合割合は、１
０％程度以下であるのが好ましい。配合量が１０％異常
になっても、酸化アンチモン添加による酸化錫焼結体の
固有抵抗の変化は、大きくない。酸化アンチモンの添加
により酸化錫系焼結体の固有抵抗を数オームＣ１ｎ〜１
０８オーム印の範囲で自由に変えることができる。尚、
酸化アンチモンの添加は、窒素酸化物に対する感度およ
び酸化錫の焼結性能についてはほとんど影響がない。
る事により、焼結体の固有抵抗を任意に変更する事がで
きる。酸化アンチモン（Ｓｂ２０３）の配合割合は、１
０％程度以下であるのが好ましい。配合量が１０％異常
になっても、酸化アンチモン添加による酸化錫焼結体の
固有抵抗の変化は、大きくない。酸化アンチモンの添加
により酸化錫系焼結体の固有抵抗を数オームＣ１ｎ〜１
０８オーム印の範囲で自由に変えることができる。尚、
酸化アンチモンの添加は、窒素酸化物に対する感度およ
び酸化錫の焼結性能についてはほとんど影響がない。
参考までに、酸化アンチモンと配合量と得られる焼結体
の固有抵抗との関係線図を第１図に示す。
の固有抵抗との関係線図を第１図に示す。
第１図中白丸は焼結助剤として酸化銅を用いた場合の結
果を、黒丸は焼結助剤として酸化亜鉛を用いた場合の結
果を示す。また、試験した焼結体の組成を第２表に示す
。焼結体の製造方法は後で記す実施例と同一である。
果を、黒丸は焼結助剤として酸化亜鉛を用いた場合の結
果を示す。また、試験した焼結体の組成を第２表に示す
。焼結体の製造方法は後で記す実施例と同一である。
以下余白
第２表
本発明の窒素酸化物検出素子は、上記した酸化錫系焼結
体に鉄系酸化物触媒を担持さ七たものである。
体に鉄系酸化物触媒を担持さ七たものである。
本発明の窒素酸化物検出素子には、少なくとも２個の電
極が形成される。この電極は酸化錫系焼結体の窒素酸化
物による抵抗変化を検出するものである。電極としては
、白金線等を焼結体に埋設したり、あるいは、白金等を
蒸着して形成する事が出来る。
極が形成される。この電極は酸化錫系焼結体の窒素酸化
物による抵抗変化を検出するものである。電極としては
、白金線等を焼結体に埋設したり、あるいは、白金等を
蒸着して形成する事が出来る。
本発明の窒素酸化物検出素子の形状は、ボタン状、板状
等の素子自体が独立した一定の形状をもつものでもよい
し、又、アルミナ等の絶縁基板の表面に一体的に焼結し
て形成されたような、他の物に付着した形態のものでも
よい。本発明窒素酸化物検出素子は、３００℃程度の温
度ですぐれた窒素酸化物に対する感度を有するために、
検出素子自体を加熱するヒーターを必要とする。かかる
ヒーターとしては、素子に周囲に設けられた電熱線ある
いは、素子を固定するベース自体に加熱源を設け、ベー
ス自体を３００°Ｃ程度に加熱するものでもよい。
等の素子自体が独立した一定の形状をもつものでもよい
し、又、アルミナ等の絶縁基板の表面に一体的に焼結し
て形成されたような、他の物に付着した形態のものでも
よい。本発明窒素酸化物検出素子は、３００℃程度の温
度ですぐれた窒素酸化物に対する感度を有するために、
検出素子自体を加熱するヒーターを必要とする。かかる
ヒーターとしては、素子に周囲に設けられた電熱線ある
いは、素子を固定するベース自体に加熱源を設け、ベー
ス自体を３００°Ｃ程度に加熱するものでもよい。
本発明の窒素酸化物検出素子の嵩都度は、５．０〜５．
７ｇ／ｃＩ１１程度である。又、気孔率は、容積％で、
２０〜３５％である。
７ｇ／ｃＩ１１程度である。又、気孔率は、容積％で、
２０〜３５％である。
この窒素酸化物検出素子は、、３００℃程度の温度にお
いて、−酸化窒素（Ｎｏ）濃度ＬＯｐｐｍ程度の雰囲気
に接触すると抵抗変化率でマイナス６０％程度の抵抗変
化が生じ、窒素酸化物に対して極めて高感度となる。こ
れに対して、１０ｐｐｍ程度の水素あるいは、−酸化炭
素を含む雰囲気に接触した場合、３００℃程度の温度に
おいては、水素に対しては、プラス１５％程度の抵抗変
化率、−酸化炭素に対しては、はとんど、抵抗変化率は
変化しない程度でほとんど抵抗変化が生じない。
いて、−酸化窒素（Ｎｏ）濃度ＬＯｐｐｍ程度の雰囲気
に接触すると抵抗変化率でマイナス６０％程度の抵抗変
化が生じ、窒素酸化物に対して極めて高感度となる。こ
れに対して、１０ｐｐｍ程度の水素あるいは、−酸化炭
素を含む雰囲気に接触した場合、３００℃程度の温度に
おいては、水素に対しては、プラス１５％程度の抵抗変
化率、−酸化炭素に対しては、はとんど、抵抗変化率は
変化しない程度でほとんど抵抗変化が生じない。
以Ｆ、本実施例により説明する。
実施例１
本発明の第１実施例である窒素酸化物検出素子１を用い
た窒素酸化物濃度検出器の斜視図を第２図に示す。この
酸化物濃度検出器はボタン状の窒素酸化物検出素子１と
、この素子１中に埋設された白金ロジウム合金線よりな
る２個の電極２と、円盤状のアルミナ焼結体よりなるベ
ース３と、このベースを貫通して配設された４本の柱状
電線４と、カンタル線をコイル状に巻いたヒータ５とよ
りなる。素子１の２個の電極２は各々柱状電線４に結線
され、残りに２本の電線４に対しては、ヒータ５の両端
が接線ささている。
た窒素酸化物濃度検出器の斜視図を第２図に示す。この
酸化物濃度検出器はボタン状の窒素酸化物検出素子１と
、この素子１中に埋設された白金ロジウム合金線よりな
る２個の電極２と、円盤状のアルミナ焼結体よりなるベ
ース３と、このベースを貫通して配設された４本の柱状
電線４と、カンタル線をコイル状に巻いたヒータ５とよ
りなる。素子１の２個の電極２は各々柱状電線４に結線
され、残りに２本の電線４に対しては、ヒータ５の両端
が接線ささている。
窒素酸化物検出素子１は、粒径約１ミクロンの酸化錫１
００重量部に対して、粒径約１ミクロンの酸化銅１重量
部、粒径約１ミクロンの酸化アンチモン０．２５重量部
を配合し、こさらを湿式混合した後、ポリビニルアルコ
ールをバインダーとして添加配合した原料粉末を金型に
挿入し、電極２トシて２本の白金ロジウム合金線を挿入
してｌ ｃｆあたり、１０００ ｋｇの圧力で圧縮して
圧密体を形成し、１０００℃の温度で、２時間焼結して
、多孔質焼結体とし、その後、この焼結体を硝酸第２鉄
水液中に浸漬して含浸さぜ、該溶液中より取り出した後
、５５０°Ｃの温度で焼き付けて鉄系酸化物触媒を担持
させたものである。この素子１の拡大図を第３図に示す
。
００重量部に対して、粒径約１ミクロンの酸化銅１重量
部、粒径約１ミクロンの酸化アンチモン０．２５重量部
を配合し、こさらを湿式混合した後、ポリビニルアルコ
ールをバインダーとして添加配合した原料粉末を金型に
挿入し、電極２トシて２本の白金ロジウム合金線を挿入
してｌ ｃｆあたり、１０００ ｋｇの圧力で圧縮して
圧密体を形成し、１０００℃の温度で、２時間焼結して
、多孔質焼結体とし、その後、この焼結体を硝酸第２鉄
水液中に浸漬して含浸さぜ、該溶液中より取り出した後
、５５０°Ｃの温度で焼き付けて鉄系酸化物触媒を担持
させたものである。この素子１の拡大図を第３図に示す
。
この窒素酸化物濃度検出器を用いて、３００ ’Ｃで、
酸化窒素ガス濃度がＯｐｐｍから１ｏｏｐｐｍの濃度範
囲にあるガスを用い、それらガスに接触させて窒素酸化
物検出素子１の抵抗変化を測定した。
酸化窒素ガス濃度がＯｐｐｍから１ｏｏｐｐｍの濃度範
囲にあるガスを用い、それらガスに接触させて窒素酸化
物検出素子１の抵抗変化を測定した。
この結果を第４図に示す。第４図では横軸にＮＯガス濃
度を縦軸に抵抗変化を示す。ここで抵抗変化率とは、酸
化窒素ガス濃度０％の時の抵抗Ｒ。
度を縦軸に抵抗変化を示す。ここで抵抗変化率とは、酸
化窒素ガス濃度０％の時の抵抗Ｒ。
と所定の酸化窒素ガスの濃度の時の抵抗Ｒｇよりめられ
、 （Ｒｏ−Ｒｇ）／ＲｏＸ１００ で表される。
、 （Ｒｏ−Ｒｇ）／ＲｏＸ１００ で表される。
この窒素酸化物濃度検出器では、酸化窒素ガス濃度が０
から約３０ｐｐｍ程度までは、抵抗変化率が酸化窒素ガ
ス濃度と共に直線的に変化している。
から約３０ｐｐｍ程度までは、抵抗変化率が酸化窒素ガ
ス濃度と共に直線的に変化している。
そして、酸化窒素ガス濃度が３０ｐｐｍの時、抵抗変化
率は、約マイナス１００％程度となる。
率は、約マイナス１００％程度となる。
次に酸化窒素ガス濃度を１０ｐｐｍに固定し、素子１の
温度を２００℃から５００℃に変えた場合の抵抗変化率
を測定した結果を第５図に示す。第５図より素子１の温
度が３００ ”ｃ程度のとき、酸化窒素に対して最も感
度が高くなることがわかる。
温度を２００℃から５００℃に変えた場合の抵抗変化率
を測定した結果を第５図に示す。第５図より素子１の温
度が３００ ”ｃ程度のとき、酸化窒素に対して最も感
度が高くなることがわかる。
なお、本検出器の水素、および−酸化炭素による抵抗変
化をみるため、水素１０ｐｐｍ及び−酸化炭素１０ｐｐ
−それぞれのガスについて、抵抗変化率を測定した。こ
の結果をまとめて第６図に示す。
化をみるため、水素１０ｐｐｍ及び−酸化炭素１０ｐｐ
−それぞれのガスについて、抵抗変化率を測定した。こ
の結果をまとめて第６図に示す。
第６図より本実施例の素子１には、素子温度３゜Ｏ°Ｃ
程度において、水素ガスおよび一酸化炭素ガスによる抵
抗変化率が水素ガスで＋１５％程度、−酸化炭素ガスで
ほぼ９％と非常に小さいのが分かる。
程度において、水素ガスおよび一酸化炭素ガスによる抵
抗変化率が水素ガスで＋１５％程度、−酸化炭素ガスで
ほぼ９％と非常に小さいのが分かる。
参考までに市販されている酸化錫系焼結体よりなる窒素
酸化物検出素子を用い、第２図に示す窒素酸化物検出器
と同様な検出器を作り、この検出器で、酸化窒素、水素
、−酸化炭素に対する抵抗変化率を測定した。この結果
を第７図に示す。測定はいずれも酸化窒素ガス濃度１１
００ｐｐ、水素ガス濃度１１００ｐｐ、−酸化炭素ガス
濃度１１００ｐｐとした３種類のガスを用い、ヒータ電
圧を調節することにより素子温度を変化させて素子抵抗
変化を測定した。第８図に本発明の窒素酸化物検出素子
にＮｏ １００ ｐｐｍに対するガス応答特性を示す。
酸化物検出素子を用い、第２図に示す窒素酸化物検出器
と同様な検出器を作り、この検出器で、酸化窒素、水素
、−酸化炭素に対する抵抗変化率を測定した。この結果
を第７図に示す。測定はいずれも酸化窒素ガス濃度１１
００ｐｐ、水素ガス濃度１１００ｐｐ、−酸化炭素ガス
濃度１１００ｐｐとした３種類のガスを用い、ヒータ電
圧を調節することにより素子温度を変化させて素子抵抗
変化を測定した。第８図に本発明の窒素酸化物検出素子
にＮｏ １００ ｐｐｍに対するガス応答特性を示す。
迅速な応答を示し脱離特性も良好である。
第７図の線図と本発明の窒素酸化物検出素子を用い′ど
測定した第５図、第６図、第８図の線図より、本発明の
窒素酸化物検出素子が酸化窒素に対して感度が高く、迅
速かつ選択的に酸化窒素を検出することがわかる。
測定した第５図、第６図、第８図の線図より、本発明の
窒素酸化物検出素子が酸化窒素に対して感度が高く、迅
速かつ選択的に酸化窒素を検出することがわかる。
実施例２
本実施例は窒素酸化物検出素子として酸化錫焼結体に含
浸する触媒としてニッケル、鉄、マンガン、バナジウム
の硝酸塩水溶液に含浸担持したもの及び塩化白金酸水溶
液に含浸担持したものを用い酸化窒素１１００ｐｐに対
する応答特性を比較した。鉄触媒の応答特性は第８図に
示す通りである。
浸する触媒としてニッケル、鉄、マンガン、バナジウム
の硝酸塩水溶液に含浸担持したもの及び塩化白金酸水溶
液に含浸担持したものを用い酸化窒素１１００ｐｐに対
する応答特性を比較した。鉄触媒の応答特性は第８図に
示す通りである。
他のニッケル、マンガン、バナジウムの硝ＵＮＩ 塩水
溶液に含浸して担持したものは全く感度を示さなかった
。更に塩化白金酸を含浸したものは、第９図に示すよう
に応答が遅く抵抗が一定値にならずどんどん上昇してい
き脱離特性も悪い。本発明の検出素子は応答特性の優れ
た検出素子であることがわかる。
溶液に含浸して担持したものは全く感度を示さなかった
。更に塩化白金酸を含浸したものは、第９図に示すよう
に応答が遅く抵抗が一定値にならずどんどん上昇してい
き脱離特性も悪い。本発明の検出素子は応答特性の優れ
た検出素子であることがわかる。
実施例３
本実施例は本発明の窒素酸化物検出素子をセラミックス
製ベースに一体的に焼結して窒素酸化物検出器としたも
のである。この検出器の平面図を第１０図に、側面図を
第１１図に、裏面図を第１２図に示す。
製ベースに一体的に焼結して窒素酸化物検出器としたも
のである。この検出器の平面図を第１０図に、側面図を
第１１図に、裏面図を第１２図に示す。
この検出２”ｒｌｒまアルミづ一製のセラミ・ンクスペ
ース６と、この上面中央に一体的に焼付けられた窒素酸
化物検出素子８と、この素子８の上面に蒸着により形成
された２個の電極７およびベース６の裏面に焼付けられ
たセラミックス製ヒータ９とよりなる。
ース６と、この上面中央に一体的に焼付けられた窒素酸
化物検出素子８と、この素子８の上面に蒸着により形成
された２個の電極７およびベース６の裏面に焼付けられ
たセラミックス製ヒータ９とよりなる。
素子８はＳ ｎ Ｏ２−Ｃ＋ｘ Ｏ−Ｓ ｂ ２０３の
組成のペーストをベース６の上面に塗布シ、８００ ’
Ｃで１時間焼結して焼結体とし、さらに実施例１と同様
にして鉄系酸化物触媒を１ｕ持させたものである。
組成のペーストをベース６の上面に塗布シ、８００ ’
Ｃで１時間焼結して焼結体とし、さらに実施例１と同様
にして鉄系酸化物触媒を１ｕ持させたものである。
この窒素酸化物検出素子は１０ｐｐｍの酸化窒素ガスに
対して４０％の抵抗変化率を示した。
対して４０％の抵抗変化率を示した。
なお、硝酸第２鉄Ｆｅ （ＮＯ３）３ ・３Ｈ２Ｄ溶液
を含浸し焼付けたサンプルのＸＰＳ分析を行なった結果
、Ｆ ｅ ３０ ａの鉄系酸化物の形で５ｎ０２表面に
担持されていることがわかった。
を含浸し焼付けたサンプルのＸＰＳ分析を行なった結果
、Ｆ ｅ ３０ ａの鉄系酸化物の形で５ｎ０２表面に
担持されていることがわかった。
第１図は焼結体中の酸化テンチモン配合量と焼結体の固
有抵抗の関係を示す線図、第２図は第１図実施例に示す
、窒素酸化物検出器の斜視図、第３図は第２図の検出器
に用いられた本発明の窒素酸化物検出素子の拡大平面図
、第４図は第２図の検出器で測定されたＮｏガス濃度と
抵抗変化率の関係を示す線図、第５図は同じく素子温度
と抵抗変化率の関係を示す線図、第６図はＨ２ガスＣＯ
ガスによる素子温度と抵抗変化率の関係を示す線図、第
７図は参考例として用いた従来公知の素子を用いた検出
器により測定されたＨ２ガス、ＣＯＯ１２ＮＯガスによ
るヒータ電圧と抵抗変化率との関係を示す線図、第８，
９図は本発明の説明に供する線図、第１０図〜第１２図
は本発明の第３実施例に示す検出器を示し、第１０図は
その平面図、第１１図はその側面図、第１２図はその裏
面図である。 １．８・・・窒素酸化物検出素子、２．７・・・電極、
３．９・・・ヒータ、５．６・・・ベース。 代理人弁理士 岡 部 隆 第４図 ＮＯ力°°ス濃！（ＰＰｍ） 第５図 奏÷１彦（°Ｃ） 第１０図 ６ 第１１図 第１２図
有抵抗の関係を示す線図、第２図は第１図実施例に示す
、窒素酸化物検出器の斜視図、第３図は第２図の検出器
に用いられた本発明の窒素酸化物検出素子の拡大平面図
、第４図は第２図の検出器で測定されたＮｏガス濃度と
抵抗変化率の関係を示す線図、第５図は同じく素子温度
と抵抗変化率の関係を示す線図、第６図はＨ２ガスＣＯ
ガスによる素子温度と抵抗変化率の関係を示す線図、第
７図は参考例として用いた従来公知の素子を用いた検出
器により測定されたＨ２ガス、ＣＯＯ１２ＮＯガスによ
るヒータ電圧と抵抗変化率との関係を示す線図、第８，
９図は本発明の説明に供する線図、第１０図〜第１２図
は本発明の第３実施例に示す検出器を示し、第１０図は
その平面図、第１１図はその側面図、第１２図はその裏
面図である。 １．８・・・窒素酸化物検出素子、２．７・・・電極、
３．９・・・ヒータ、５．６・・・ベース。 代理人弁理士 岡 部 隆 第４図 ＮＯ力°°ス濃！（ＰＰｍ） 第５図 奏÷１彦（°Ｃ） 第１０図 ６ 第１１図 第１２図
Claims (4)
- （１）酸化錫（ＳｎＯ２）と、酸化銅（Ｃｕｂ）および
酸化亜鉛（Ｚ ｎ Ｏ）の１種または２種とを主要素と
し、それらの組成比率が５ｎ０２１００ＩＩＺ量部に対
し、ＣｕＯおよびＺｎＯの１種または２種が０．１〜１
０重量部である焼結体と、該焼結体に担持された鉄系酸
化物触媒とよりなることを特徴とする窒素酸化物検出素
子。 - （２）焼結体は５ｎ０２１００重量部に対し、１０重量
部以下の酸化アンチモン（Ｓｂ２０３）を含む特許請求
の範囲第１項記載の窒素酸化物検出素子。 - （３）焼結体の嵩密度が５．０〜５．７ｇ／ｃＪである
特許請求の範囲第１項記載の窒素酸化物検出素子。 - （４）焼結体の気孔率が容積％で２０〜３５％である特
許請求の範囲第１項記載の窒素酸化物検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113428A JPS604849A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 窒素酸化物検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58113428A JPS604849A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 窒素酸化物検出素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604849A true JPS604849A (ja) | 1985-01-11 |
Family
ID=14611976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58113428A Pending JPS604849A (ja) | 1983-06-22 | 1983-06-22 | 窒素酸化物検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604849A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03118459A (ja) * | 1989-09-30 | 1991-05-21 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 排ガスセンサ |
| KR20020037185A (ko) * | 2000-11-13 | 2002-05-18 | 정명식 | 감도 및 선택성이 우수한 가스센서 및 이의 제조방법 |
| JP2003073819A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-12 | Vacuum Metallurgical Co Ltd | 錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法 |
| JP2013507526A (ja) * | 2009-10-15 | 2013-03-04 | ユミコア エセ．アー． | 酸化スズセラミックスパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
| WO2024166525A1 (ja) * | 2023-02-07 | 2024-08-15 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | 酸素ガス検出素子及び酸素ガス検出素子の使用方法 |
-
1983
- 1983-06-22 JP JP58113428A patent/JPS604849A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03118459A (ja) * | 1989-09-30 | 1991-05-21 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 排ガスセンサ |
| KR20020037185A (ko) * | 2000-11-13 | 2002-05-18 | 정명식 | 감도 및 선택성이 우수한 가스센서 및 이의 제조방법 |
| JP2003073819A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-12 | Vacuum Metallurgical Co Ltd | 錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法 |
| JP4724330B2 (ja) * | 2001-09-07 | 2011-07-13 | 株式会社アルバック | 錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法 |
| JP2013507526A (ja) * | 2009-10-15 | 2013-03-04 | ユミコア エセ．アー． | 酸化スズセラミックスパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
| WO2024166525A1 (ja) * | 2023-02-07 | 2024-08-15 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | 酸素ガス検出素子及び酸素ガス検出素子の使用方法 |
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