JP2003050247A - 衝撃記録装置およびその製造方法 - Google Patents
衝撃記録装置およびその製造方法Info
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- JP2003050247A JP2003050247A JP2001238764A JP2001238764A JP2003050247A JP 2003050247 A JP2003050247 A JP 2003050247A JP 2001238764 A JP2001238764 A JP 2001238764A JP 2001238764 A JP2001238764 A JP 2001238764A JP 2003050247 A JP2003050247 A JP 2003050247A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 近年の携帯電話や携帯情報端末など電子機器
は小型化・低消費電力化してきており、衝撃記録のため
に上記のような装置を端末一台一台に組み込むことは難
しかった。 【解決手段】 重り１および梁３と、この梁３の一方を
固定するベース部４とからなり、外部からの衝撃により
発生する力によって梁に曲げ応力をもたらすものであっ
て、重り１の少なくとも一つの側面は湾曲し、少なくと
も一つの三角形の突起部２を有するとともに、この側面
と対向する側には固定壁５を備え、この固定壁５は重り
１の側面と同様に湾曲し、さらに少なくとも１ヵ所に三
角形の突起部６を設けたものである。
は小型化・低消費電力化してきており、衝撃記録のため
に上記のような装置を端末一台一台に組み込むことは難
しかった。 【解決手段】 重り１および梁３と、この梁３の一方を
固定するベース部４とからなり、外部からの衝撃により
発生する力によって梁に曲げ応力をもたらすものであっ
て、重り１の少なくとも一つの側面は湾曲し、少なくと
も一つの三角形の突起部２を有するとともに、この側面
と対向する側には固定壁５を備え、この固定壁５は重り
１の側面と同様に湾曲し、さらに少なくとも１ヵ所に三
角形の突起部６を設けたものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話、携帯情
報端末など、精密な電子機器に搭載され、物体に加わっ
た衝撃を記録するための衝撃記録装置およびその製造方
法に関するものである。
報端末など、精密な電子機器に搭載され、物体に加わっ
た衝撃を記録するための衝撃記録装置およびその製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の電子機器は過大な衝撃を嫌うもの
が多く、衝撃によって故障が発生した場合に、故障の原
因が衝撃であるのかを事後に判断することは難しい。そ
こで従来、精密な電子機器が使用中や搬送中に過大な衝
撃を受けたかどうかを記録するための衝撃記録装置とし
ては次のようなものがある。
が多く、衝撃によって故障が発生した場合に、故障の原
因が衝撃であるのかを事後に判断することは難しい。そ
こで従来、精密な電子機器が使用中や搬送中に過大な衝
撃を受けたかどうかを記録するための衝撃記録装置とし
ては次のようなものがある。
【０００３】衝撃によって発生する加速度を加速度セン
サによって検知し、これを電気信号に変えて外部の電子
回路のメモリなどに記録する方法である。しかし、この
方法は常に記録を行うために加速度センサを駆動するた
めや信号を増幅させるためやメモリに記録させるための
外部回路が必要で、装置自体も大型なものになってい
た。
サによって検知し、これを電気信号に変えて外部の電子
回路のメモリなどに記録する方法である。しかし、この
方法は常に記録を行うために加速度センサを駆動するた
めや信号を増幅させるためやメモリに記録させるための
外部回路が必要で、装置自体も大型なものになってい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、携帯電
話や携帯情報端末など電子機器は、小型化・低消費電力
化してきており、衝撃記録のために衝撃記録装置を端末
一台一台に組み込むことは難しかった。
話や携帯情報端末など電子機器は、小型化・低消費電力
化してきており、衝撃記録のために衝撃記録装置を端末
一台一台に組み込むことは難しかった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め本発明は、以下の構成を有するものである。
め本発明は、以下の構成を有するものである。
【０００６】請求項１に記載の発明は、特に、重りの少
なくとも一方の側面は湾曲し、少なくとも一つの三角形
の突起部を有するとともに、この側面と対向する側に固
定壁を備え、この固定壁は上記重りの側面と同様に湾曲
し、さらに少なくとも１ヵ所に三角形の突起部を設けた
もので、重りの側面とこれに対向する固定壁にそれぞれ
三角形の突起部が設けられていることにより、外部より
衝撃が加わったとき重りが慣性力によって、おもりは固
定壁の湾曲した側面に沿って移動し、このとき重りの湾
曲した側面にも三角形の突起部が設けられているので、
重りは衝撃の強さにより段階的に動くことになり、さら
に突起によって一度段階的に動いた重りはさらなる衝撃
が加わらない限りその場所にとどまるので、重りのとど
まっている場所を観測すれば加わった衝撃の強さがわか
るという作用を有する。
なくとも一方の側面は湾曲し、少なくとも一つの三角形
の突起部を有するとともに、この側面と対向する側に固
定壁を備え、この固定壁は上記重りの側面と同様に湾曲
し、さらに少なくとも１ヵ所に三角形の突起部を設けた
もので、重りの側面とこれに対向する固定壁にそれぞれ
三角形の突起部が設けられていることにより、外部より
衝撃が加わったとき重りが慣性力によって、おもりは固
定壁の湾曲した側面に沿って移動し、このとき重りの湾
曲した側面にも三角形の突起部が設けられているので、
重りは衝撃の強さにより段階的に動くことになり、さら
に突起によって一度段階的に動いた重りはさらなる衝撃
が加わらない限りその場所にとどまるので、重りのとど
まっている場所を観測すれば加わった衝撃の強さがわか
るという作用を有する。
【０００７】請求項２に記載の発明は、特に、梁は、少
なくとも一部が湾曲した形状であるもので、衝撃により
重りが動いたとき、重りの側面の突起部と固定壁の突起
部とが重なった時に、梁が湾曲しているため、重りは突
起部の障害を乗り越え易くなるという作用を有する。
なくとも一部が湾曲した形状であるもので、衝撃により
重りが動いたとき、重りの側面の突起部と固定壁の突起
部とが重なった時に、梁が湾曲しているため、重りは突
起部の障害を乗り越え易くなるという作用を有する。
【０００８】請求項３に記載の発明は、特に、重りの端
部と固定壁の端部の三角形の突起は、それぞれ少なくと
も一つの角が鋭角で、互いに鋭角の角度が逆向きになる
よう配置したもので、衝撃が加わったときに発生する慣
性力の方向には重りが移動するが、一度重りが動くと逆
側には重りが戻らなくなるので確実に衝撃の強さを記録
できるという作用を有する。
部と固定壁の端部の三角形の突起は、それぞれ少なくと
も一つの角が鋭角で、互いに鋭角の角度が逆向きになる
よう配置したもので、衝撃が加わったときに発生する慣
性力の方向には重りが移動するが、一度重りが動くと逆
側には重りが戻らなくなるので確実に衝撃の強さを記録
できるという作用を有する。
【０００９】請求項４に記載の発明は、特に、三角形の
突起部の側面は、導体層を設け、この導体層は、重り、
梁、固定台および固定壁の上面に設けた引出電極により
外部の回路と接続したもので、衝撃により重りは慣性力
を受け、突起部に接触した状態で留まるが、突起部の側
面に導体を設けてこれを外部回路と接続させておくこと
で、どの位置に重りが留まっているか判定できるように
なるという作用を有する。
突起部の側面は、導体層を設け、この導体層は、重り、
梁、固定台および固定壁の上面に設けた引出電極により
外部の回路と接続したもので、衝撃により重りは慣性力
を受け、突起部に接触した状態で留まるが、突起部の側
面に導体を設けてこれを外部回路と接続させておくこと
で、どの位置に重りが留まっているか判定できるように
なるという作用を有する。
【００１０】請求項５に記載の発明は、特に、重り、
梁、固定台、固定壁は、シリコンからなるもので、すべ
ての部分が同じシリコン基板から切出されていることに
より、それぞれの部分を後から組み合わせる必要がな
く、フォトリソグラフィーなどの方法で高精度に構成で
きるとともに、シリコン基板は後述するドライエッチン
グによって容易に所望する形状に切出すことができると
いう作用を有する。
梁、固定台、固定壁は、シリコンからなるもので、すべ
ての部分が同じシリコン基板から切出されていることに
より、それぞれの部分を後から組み合わせる必要がな
く、フォトリソグラフィーなどの方法で高精度に構成で
きるとともに、シリコン基板は後述するドライエッチン
グによって容易に所望する形状に切出すことができると
いう作用を有する。
【００１１】請求項６に記載の発明は、特に、重りおよ
び固定壁に設けられた三角形の突起の側面は、重りの運
動方向と平行な方向に一様に複数の溝を設けたもので、
それぞれの側面に重りの運動方向と平行な方向に一様に
複数の溝が設けられているので、重りの運動時にこの溝
がガイドとなり、梁のねじれなどによって好ましくない
方向に重りが運動するのを防ぐことができるという作用
を有する。
び固定壁に設けられた三角形の突起の側面は、重りの運
動方向と平行な方向に一様に複数の溝を設けたもので、
それぞれの側面に重りの運動方向と平行な方向に一様に
複数の溝が設けられているので、重りの運動時にこの溝
がガイドとなり、梁のねじれなどによって好ましくない
方向に重りが運動するのを防ぐことができるという作用
を有する。
【００１２】請求項７に記載の発明は、特に、重り、
梁、固定台、固定壁はすべて同一のシリコン基板よりド
ライエッチング法によって切出され、このドライエッチ
ングを行う際に、ＳＦ6ガスによるシリコンのエッチン
グと、Ｃ4Ｆ8、ＣＨＦ3、Ｃ3Ｆ8のいずれかのガスによ
る保護膜形成を周期的に繰り返すことにより、三角形の
突起部の側面に一様な複数の溝を形成するもので、シリ
コンのエッチングと保護膜の形成を周期的に繰り返すの
で、加工した側面には周期的な溝、つまり三角形の突起
部の側面には重りの運動方向と平行な方向へ周期的な溝
が形成できるという作用を有する。
梁、固定台、固定壁はすべて同一のシリコン基板よりド
ライエッチング法によって切出され、このドライエッチ
ングを行う際に、ＳＦ6ガスによるシリコンのエッチン
グと、Ｃ4Ｆ8、ＣＨＦ3、Ｃ3Ｆ8のいずれかのガスによ
る保護膜形成を周期的に繰り返すことにより、三角形の
突起部の側面に一様な複数の溝を形成するもので、シリ
コンのエッチングと保護膜の形成を周期的に繰り返すの
で、加工した側面には周期的な溝、つまり三角形の突起
部の側面には重りの運動方向と平行な方向へ周期的な溝
が形成できるという作用を有する。
【００１３】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下に、本発明
の実施の形態１における衝撃記録装置について図面を用
いて説明する。
の実施の形態１における衝撃記録装置について図面を用
いて説明する。
【００１４】図１は本発明の実施の形態１における衝撃
記録装置の斜視図である。
記録装置の斜視図である。
【００１５】図において、１は重りで、２は重り１の側
面に設けられた三角形の突起部で、これらは梁３によっ
てベース部４に接続されている。ここで梁３は図のよう
に一部が湾曲した構造である。また、ベース部４におい
て、重り１の突起部２に対向する側面にも突起部６を設
けている。そして、これらはすべて単一のシリコン基板
より切出されたものである。図２はこの衝撃記録装置の
断面図で、重り１の側面７の突起部２と固定壁５の側面
の突起部６は互いに頂点の角度が鋭角で逆方向になって
いる。さらに、固定壁５の側面と重り１の側面７は湾曲
した形状となっている。
面に設けられた三角形の突起部で、これらは梁３によっ
てベース部４に接続されている。ここで梁３は図のよう
に一部が湾曲した構造である。また、ベース部４におい
て、重り１の突起部２に対向する側面にも突起部６を設
けている。そして、これらはすべて単一のシリコン基板
より切出されたものである。図２はこの衝撃記録装置の
断面図で、重り１の側面７の突起部２と固定壁５の側面
の突起部６は互いに頂点の角度が鋭角で逆方向になって
いる。さらに、固定壁５の側面と重り１の側面７は湾曲
した形状となっている。
【００１６】以下に、衝撃記録装置の動作について図面
を用いて説明する。
を用いて説明する。
【００１７】図３は本装置に衝撃が右側から加わった時
の様子で、衝撃が右から加わることにより重り１は慣性
力によって、その場にとどまろうとするので結果的に重
り１は右側へ移動しようとする。このとき、ある一定の
慣性力が重り１にかかると重り１の側面に設けられた突
起部２と固定壁５の側面に設けられた突起部６が接触す
る。慣性力がさらに大きなものであると、図４に示すよ
うに、梁３がさらに湾曲し、突起部２はついに固定壁側
の突起部６を乗り越える。ここで梁３に湾曲を設けなく
ても衝撃の大きさが一定以上であれば、梁３にたわみが
発生するので、同様の動作はするが、本実施の形態のよ
うに梁３の少なくとも一部を湾曲させておくことで、図
面では上下の方向へ梁３が伸び縮みしやすくなり突起部
２は固定壁の突起部６を乗り越えやすくなるのである。
次に、衝撃の大きさがこれまでであれば、梁３は元の位
置に戻ろうとするが、重りの突起部２と固定壁の突起部
６は頂点の角度が鋭角であり、さらに反対の方向を向い
ているため、図５に示すように重り１は元の位置に戻る
ことができなくなるのである。なお、重り１の突起部２
が固定壁の突起部６を乗り越えると、梁３の湾曲度は元
に戻るのでさらに、突起部同士の引っかかりが確実なも
のとなる。
の様子で、衝撃が右から加わることにより重り１は慣性
力によって、その場にとどまろうとするので結果的に重
り１は右側へ移動しようとする。このとき、ある一定の
慣性力が重り１にかかると重り１の側面に設けられた突
起部２と固定壁５の側面に設けられた突起部６が接触す
る。慣性力がさらに大きなものであると、図４に示すよ
うに、梁３がさらに湾曲し、突起部２はついに固定壁側
の突起部６を乗り越える。ここで梁３に湾曲を設けなく
ても衝撃の大きさが一定以上であれば、梁３にたわみが
発生するので、同様の動作はするが、本実施の形態のよ
うに梁３の少なくとも一部を湾曲させておくことで、図
面では上下の方向へ梁３が伸び縮みしやすくなり突起部
２は固定壁の突起部６を乗り越えやすくなるのである。
次に、衝撃の大きさがこれまでであれば、梁３は元の位
置に戻ろうとするが、重りの突起部２と固定壁の突起部
６は頂点の角度が鋭角であり、さらに反対の方向を向い
ているため、図５に示すように重り１は元の位置に戻る
ことができなくなるのである。なお、重り１の突起部２
が固定壁の突起部６を乗り越えると、梁３の湾曲度は元
に戻るのでさらに、突起部同士の引っかかりが確実なも
のとなる。
【００１８】さて、衝撃が大きなものであると、重り１
の移動量は大きなものとなり、図６に示すようにより遠
い箇所に設けられた突起部に引っかかり、固定される。
の移動量は大きなものとなり、図６に示すようにより遠
い箇所に設けられた突起部に引っかかり、固定される。
【００１９】このようにして、衝撃が加わった後、重り
１の固定されている位置を見れば、どの程度の衝撃が加
わったかがわかるのである。
１の固定されている位置を見れば、どの程度の衝撃が加
わったかがわかるのである。
【００２０】さらに、上記のような構成に加えて、図７
に示すように固定壁の側面および重りの側面に一様に重
りの運動方向と平行な方向へ溝８を形成しておく（図７
では固定壁の側面の状態がわかるように、重りは図示せ
ず）。図８は重り９の側面と固定壁１０の側面の様子を
拡大した断面斜視図であるが、この図の示すように、溝
８は重り９の動く方向と平行に互いの側面に設けられて
いる。このことにより、重りの突起部と固定壁５の突起
部６が接触したとき、溝８はガイドの役割を果たし、重
りがねじれる方向へ動くことを防止する。
に示すように固定壁の側面および重りの側面に一様に重
りの運動方向と平行な方向へ溝８を形成しておく（図７
では固定壁の側面の状態がわかるように、重りは図示せ
ず）。図８は重り９の側面と固定壁１０の側面の様子を
拡大した断面斜視図であるが、この図の示すように、溝
８は重り９の動く方向と平行に互いの側面に設けられて
いる。このことにより、重りの突起部と固定壁５の突起
部６が接触したとき、溝８はガイドの役割を果たし、重
りがねじれる方向へ動くことを防止する。
【００２１】さらに、本実施の形態による衝撃記録装置
を図９に示すように、２つ以上互いに直角になるように
並べると、図面では左右の方向に加えて上下の方向の衝
撃までも記録できるようになる。
を図９に示すように、２つ以上互いに直角になるように
並べると、図面では左右の方向に加えて上下の方向の衝
撃までも記録できるようになる。
【００２２】以下に、本実施の形態における衝撃記録装
置の製造方法について説明する。図１０から図１４は本
実施の形態における衝撃記録装置の製造方法を説明する
断面図である。
置の製造方法について説明する。図１０から図１４は本
実施の形態における衝撃記録装置の製造方法を説明する
断面図である。
【００２３】まず、図１０に示すように所定の厚みのシ
リコン基板１１にレジスト１２を塗布し、重り、梁、固
定壁のパターンを形成する。
リコン基板１１にレジスト１２を塗布し、重り、梁、固
定壁のパターンを形成する。
【００２４】次にシリコン基板１１をドライエッチング
によって加工するが、エッチングは一度に行わず、ＳＦ
6ガスによるバイアスアシストプラズマエッチングとＣ4
Ｆ8ガスによるプラズマデポジッションを交互に行う。
によって加工するが、エッチングは一度に行わず、ＳＦ
6ガスによるバイアスアシストプラズマエッチングとＣ4
Ｆ8ガスによるプラズマデポジッションを交互に行う。
【００２５】このことをさらに詳しく説明すると、ま
ず、図１１に示すようにエッチングを行うが、このとき
のエッチング量は０．５〜１０マイクロメートル程度と
しておく。ＳＦ6によるバイアスアシストプラズマエッ
チングではシリコンは図１１に示すように等方的にエッ
チングされる。
ず、図１１に示すようにエッチングを行うが、このとき
のエッチング量は０．５〜１０マイクロメートル程度と
しておく。ＳＦ6によるバイアスアシストプラズマエッ
チングではシリコンは図１１に示すように等方的にエッ
チングされる。
【００２６】次に、図１２に示すようにプラズマデポジ
ッションによりポリマー重合したＣＦ2膜１３を全面に
形成する。
ッションによりポリマー重合したＣＦ2膜１３を全面に
形成する。
【００２７】次に、図１３に示すようにＳＦ6によるプ
ラズマエッチングを行う。このとき、ＳＦ6ガスによる
バイアスアシストプラズマエッチングは基板にバイアス
をかけているので側面に形成されたＣＦ2膜よりは底面
に形成されたＣＦ2膜の方を優先的にエッチングする。
これにより、底面のＣＦ2膜をエッチングした後、その
下面のシリコンのエッチングが進行するようになる。
ラズマエッチングを行う。このとき、ＳＦ6ガスによる
バイアスアシストプラズマエッチングは基板にバイアス
をかけているので側面に形成されたＣＦ2膜よりは底面
に形成されたＣＦ2膜の方を優先的にエッチングする。
これにより、底面のＣＦ2膜をエッチングした後、その
下面のシリコンのエッチングが進行するようになる。
【００２８】次にまた、Ｃ4Ｆ8によるプラズマデポジッ
ションを行う。このように、エッチングとデポジッショ
ンを一定の周期で繰り返し行うと、切出した側面は図１
４に示すように複数の溝が平行に一様に形成されたもの
となるのである。ここで、デポジッションガスとしてＣ
4Ｆ8の代わりにＣＨＦ3，Ｃ3Ｆ8を用いても同様の効果
は得られる。
ションを行う。このように、エッチングとデポジッショ
ンを一定の周期で繰り返し行うと、切出した側面は図１
４に示すように複数の溝が平行に一様に形成されたもの
となるのである。ここで、デポジッションガスとしてＣ
4Ｆ8の代わりにＣＨＦ3，Ｃ3Ｆ8を用いても同様の効果
は得られる。
【００２９】最後にレジストを除去すれば、本実施の形
態における衝撃記録装置が完成する。
態における衝撃記録装置が完成する。
【００３０】（実施の形態２）実施の形態２では、図１
５のように重り１７の突起部の側面および固定壁の突起
部の側面にたとえば金からなる導体１５，１６を設けて
おき、それぞれの突起部に対応するように電極１５，１
６を外部に引き出しておく。衝撃が加わった後には、突
起部はこれまで述べたように互いの突起部が接触して固
定されているので、互いの側面に設けられた導体１５，
１６が短絡することとなり、電気的な試験を行えば、外
部からであってもどの位置で重り１７が固定されている
かがわかる。
５のように重り１７の突起部の側面および固定壁の突起
部の側面にたとえば金からなる導体１５，１６を設けて
おき、それぞれの突起部に対応するように電極１５，１
６を外部に引き出しておく。衝撃が加わった後には、突
起部はこれまで述べたように互いの突起部が接触して固
定されているので、互いの側面に設けられた導体１５，
１６が短絡することとなり、電気的な試験を行えば、外
部からであってもどの位置で重り１７が固定されている
かがわかる。
【００３１】（実施の形態３）実施の形態３では、上記
に述べたような衝撃記録装置２４を携帯電話など衝撃を
嫌う電子機器２０にベース台を固定するようにセットす
る。このとき、図１６に示すように電子機器２０の外部
カバー２１に穴２３を開けておくなどして外部から容易
に観測できる位置にセットする。こうしておけば、衝撃
によって電子機器が故障した場合に、どの程度の衝撃に
よって故障が発生したか容易に知ることができる。
に述べたような衝撃記録装置２４を携帯電話など衝撃を
嫌う電子機器２０にベース台を固定するようにセットす
る。このとき、図１６に示すように電子機器２０の外部
カバー２１に穴２３を開けておくなどして外部から容易
に観測できる位置にセットする。こうしておけば、衝撃
によって電子機器が故障した場合に、どの程度の衝撃に
よって故障が発生したか容易に知ることができる。
【００３２】さらに、衝撃記録装置の電極が電子機器の
故障判断装置に電気的に接続しておけば、加わった衝撃
を電子機器の故障判断装置に伝えることができるので、
外部から見える箇所でなくてもセットでき、自己診断機
能を付加させることができる。
故障判断装置に電気的に接続しておけば、加わった衝撃
を電子機器の故障判断装置に伝えることができるので、
外部から見える箇所でなくてもセットでき、自己診断機
能を付加させることができる。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明は、衝撃が加わった
後もその衝撃度を記録しているので、後に衝撃の大きさ
を容易に知ることができる。さらに外部からはショート
状態を調べるだけで衝撃の大きさを知ることができるの
で、増幅回路など複雑な外部回路も必要ないので装置の
低消費電力化、小型化に貢献する。さらに、重り、梁、
固定壁、ベース台はすべて同一のシリコン基板から切出
されているので、フォトリソグラフィーなどの方法によ
って小さなものでも容易に高精度に形成できるので、装
置の小型化、低価格化に貢献する。
後もその衝撃度を記録しているので、後に衝撃の大きさ
を容易に知ることができる。さらに外部からはショート
状態を調べるだけで衝撃の大きさを知ることができるの
で、増幅回路など複雑な外部回路も必要ないので装置の
低消費電力化、小型化に貢献する。さらに、重り、梁、
固定壁、ベース台はすべて同一のシリコン基板から切出
されているので、フォトリソグラフィーなどの方法によ
って小さなものでも容易に高精度に形成できるので、装
置の小型化、低価格化に貢献する。
【図１】本発明の実施の形態１における衝撃記録装置の
斜視図
斜視図
【図２】同断面図
【図３】同断面図
【図４】同断面図
【図５】同断面図
【図６】同断面図
【図７】同要部であるベース部を拡大した斜視図
【図８】同ベース部の側面の状態を説明するための断面
斜視図
斜視図
【図９】本発明の他の実施の形態１における衝撃記録装
置の平面図
置の平面図
【図１０】同製造方法を説明するための断面図
【図１１】同断面図
【図１２】同断面図
【図１３】同断面図
【図１４】同断面図
【図１５】本発明の実施の形態２における衝撃記録装置
の断面図
の断面図
【図１６】本発明の実施の形態３における電子機器の模
式図
式図
１ 重り
２ 突起部
３ 梁
４ ベース部
５ 固定壁
６ 突起部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/3065 Ｇ０１Ｐ 15/00 Ｃ
Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｊ
Claims (7)
- 【請求項１】 重りと、この重りに設けた梁と、この梁
の一方を固定するベース部とからなり、上記重りは外部
からの衝撃により発生する慣性力によって梁に曲げ応力
をもたらすもので、上記重りの少なくとも一方の側面は
湾曲し、少なくとも一つの三角形の突起部を有するとと
もに、この側面と対向する側に固定壁を備え、この固定
壁は上記重りの側面と同様に湾曲し、さらに少なくとも
１ヵ所に三角形の突起部を設けた衝撃記録装置。 - 【請求項２】 梁は、少なくとも一部が湾曲した形状で
ある請求項１記載の衝撃記録装置。 - 【請求項３】 重りの端部と固定壁の端部の三角形の突
起は、それぞれ少なくとも一つの角が鋭角で、互いに鋭
角の角度が逆向きになるように配置した請求項１記載の
衝撃記録装置。 - 【請求項４】 三角形の突起部の側面は、導体層を設
け、この導体層は重り、梁、固定台および固定壁の上面
に設けた引出電極により外部の回路と接続した請求項１
記載の衝撃記録装置。 - 【請求項５】 重り、梁、固定台、固定壁は、シリコン
からなる請求項１記載の衝撃記録装置。 - 【請求項６】 重りおよび固定壁に設けられた三角形の
突起の側面は、重りの運動方向と並行な方向に一様に複
数の溝を設けた請求項５記載の衝撃記録装置。 - 【請求項７】 重りと、この重りに設けた梁と、この梁
の一方を固定する固定台とからなり、上記重りの少なく
とも一つの端面は少なくとも一つの三角形の突起部を有
するとともに、この端面と対向する側には固定壁を備
え、この固定壁の少なくとも１ヵ所に三角形の突起部を
設けた衝撃記録装置の製造方法であって、上記重り、
梁、固定台、固定壁は同一のシリコン基板よりドライエ
ッチング法によって切出され、このドライエッチングを
行う際に、ＳＦ6ガスによるシリコンのエッチングと、
Ｃ4Ｆ8、ＣＨＦ3、Ｃ3Ｆ8のいずれかのガスによる保護
膜形成を周期的に繰り返すことにより、三角形の突起部
の側面に一様な複数の溝を形成する衝撃記録装置の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001238764A JP2003050247A (ja) | 2001-08-07 | 2001-08-07 | 衝撃記録装置およびその製造方法 |
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| JP (1) | JP2003050247A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007504010A (ja) * | 2003-08-29 | 2007-03-01 | コミサリア、ア、レネルジ、アトミク | ピラーによって支持部へ取り付けられた懸架要素を含むマイクロメカニカル装置およびその製造方法 |
| JPWO2007034554A1 (ja) * | 2005-09-22 | 2009-03-19 | 富士通株式会社 | 外力検知方法、外力検知器及び電子機器 |
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-
2001
- 2001-08-07 JP JP2001238764A patent/JP2003050247A/ja active Pending
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