JP2003039248A

JP2003039248A - 電解加工方法、並びに動圧軸受装置の製造方法及びその製造方法により製造された動圧軸受装置

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Publication number: JP2003039248A
Application number: JP2001228667A
Authority: JP
Inventors: Motoki Usui; 本基臼井; Toshimasa Kobayashi; 寿政小林
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2001-07-27
Filing date: 2001-07-27
Publication date: 2003-02-12
Also published as: CN1400077A

Abstract

(57)【要約】【課題】簡易な構成で、高精度な凹部を安価に電解加
工することを可能にする。【解決手段】電解液に対して、超音波振動発生手段３
７による超音波振動を与えつつ電解加工を行うことによ
って、電極工具３５を被加工物２３’に近接させて電解
液の通路を構成する隙間を狭めた場合においても、電解
液に付与された超音波振動により良好な電解加工を維持
させて、電極工具３５側に設けられたパターンの形状を
被加工物２３’側に精度良く形成可能としたもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電極工具と被加工
物とを電解液を介して対向配置し通電することによって
被加工物の電解加工を行うようにした電解加工方法及び
動圧軸受用溝の製造方法及びその製造方法により製造さ
れた動圧軸受装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電解加工は、電解溶出を被加工物の所要
の部位に集中することによって行われるものであるが、
例えば図１２に示されているような電解加工装置が従来
から知られている。図１２に示されている電解加工装置
では、ベース１上に絶縁物２を介して設置された治具３
に被加工物４が載置されているとともに、当該被加工物
４に近接するようにして電極工具５が対向配置されてい
る。そして、上記被加工物４が、図示を省略した電解加
工用電源の正極（＋極）側に接続され、電極工具５が負
極（−）側に接続されている。

【０００３】一方、外部側に蓄えられた電解液６は、電
解液供給手段としてのポンプ７によりフィルター８を介
して上記電極工具５と被加工物４との間の隙間に供給さ
れ、電極工具５と被加工物４との間に電解液６を流動さ
せながら両者間に通電が行われる。それによって被加工
物４が電気化学的に溶出していき、被加工物４の電解加
工が行われるようになっている。

【０００４】このとき、上記電極工具５には送り装置１
０が付設されており、被加工物４における加工の進行に
伴い電極工具５が被加工物４側に送り込まれていくこと
によって両者間に所定の加工間隙（平衡間隙）が維持さ
れ、結果的に、電極工具５の形状を反転した形状が被加
工物４に形成されるようになっている。電解加工によっ
て発生した気体は、ファン１１によって外部に排気され
る。また、ジュール熱により昇温された電解液中には種
々の電解生成物が含まれることとなるが、使用済みの電
解液１２は、遠心分離器１３を通して清浄化された後、
再び上述した電極工具５と被加工物４との間に供給され
るようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな一般の電解加工方法を用いて量産加工を行う工程に
は、以下のような問題がある。電極工具の幅に対して、被加工物の加工幅が大きく
なる傾向があり、しかもその加工幅にバラツキを生じや
すい。加工幅のバラツキを小さくするために、電極工具と
被加工物との間の隙間を小さくしていくと、電解液中に
存在する被加工物からの電解生成物などの各種パーティ
クルによって液詰まりを発生しやすくなり、加工不良を
招来することが多くなる。同様に、電極工具と被加工物との間の隙間を小さく
すると、電解液の流動が良好でなくなることから、加工
途中で電解液に劣化を生じやくすなり、電解液の入り口
側の加工量が深く、出口側に行くに従って加工深さが徐
々に浅くなってしまう。電解液や電解生成物の一部が被加工物に付着しやす
い。

【０００６】特に、潤滑流体の動圧を利用した動圧軸受
装置における動圧発生用溝の溝加工に電解加工を用いた
場合には、動圧特性に大きな影響を与える動圧発生用溝
の溝形状が必要な精度で得られなくなり、良好な動圧特
性が得られなくなってしまうとともに、生産性低下の原
因にもなる。また、加工後の製品に電解生成物や電解液
が付着したままになった場合には、動圧軸受装置により
支持される回転体の種類、例えばハードディスク駆動装
置（ＨＤＤ）などにおいては、化学的な汚れ物となって
使用不可能状態に至るおそれもある。

【０００７】そこで、本発明は、簡易な構成で、被加工
物を高精度かつ効率的に加工することができるようにし
た電解加工方法及び動圧軸受用溝の製造方法を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１にかかる電解加工方法では、電解液に対し
て、超音波振動発生手段により発生される超音波振動を
与えつつ電解加工を行うようにしていることから、電極
工具を被加工物に近接させた場合においても、電解液に
付与された超音波振動によって、被加工物から溶出した
電解生成物などの各種パーティクルが円滑に流動され、
良好な電解加工が維持されるようになっている。

【０００９】また、請求項２記載の電解加工方法では、
請求項１に加えて、超音波振動発生手段を前記電極工具
に取り付けておき、上記電極工具を被加工物に近接させ
ることによって、これら電極工具と被加工物との間の隙
間を、前記超音波振動発生手段により電極工具に与えら
れる振幅に近づけた状態で電解加工を行うようにしてい
ることから、電解液の流動性を確保しつつ加工精度が向
上されるようになっている。

【００１０】さらに、請求項３記載の電解加工方法で
は、請求項１に加えて、電解液として、界面活性剤との
混合液が用いられていることから、被加工物から溶出し
た電解生成物などの各種パーティクルが、電解液中の界
面活性剤に吸収されて電解液の円滑な流動が確保される
ようになっている。

【００１１】さらにまた、請求項４記載の電解加工方法
では、請求項１又は請求項２に加えて、電解加工用の通
電と、超音波振動用の通電とを独立して行い、また請求
項５記載の電解加工方法では、請求項４に加えて、電解
加工用の通電と、超音波振動用の通電とを、交互、又は
それらの各通電の少なくとも一部を重複して行うように
したことから、電解加工の状況に応じて、電解加工用の
通電と超音波振動用の通電とを適宜に切り替えることに
よって、常時、最良の加工状態が得られるようになって
いる。

【００１２】一方、請求項６記載の動圧軸受装置の製造
方法では、電解液に対して、超音波振動発生手段により
発生される超音波振動を与えつつ電解加工を行うように
していることから、電極工具を被加工物に近接させた場
合においても、電解液に付与された超音波振動によっ
て、被加工物から溶出した電解生成物などの各種パーテ
ィクルが円滑に流動され、良好な電解加工が維持される
ようになっている。

【００１３】また、請求項７記載の動圧軸受装置の製造
方法では、請求項６に加えて、超音波振動発生手段を前
記電極工具に取り付けておき、上記電極工具を被加工物
に近接させることによって、これら電極工具と被加工物
との間の隙間を、前記超音波振動発生手段により電極工
具に与えられる振幅に近づけた状態で電解加工を行うよ
うにしていることから、電解液の流動性を確保しつつ加
工精度が向上されるようになっている。

【００１４】さらに、請求項８記載の動圧軸受装置の製
造方法では、請求項６に加えて、電解液として、界面活
性剤の混合液が用いられていることから、被加工物から
溶出した電解生成物などの各種パーティクルが、電解液
中の界面活性剤に吸収されて電解液の円滑な流動が確保
されるようになっている。

【００１５】さらにまた、請求項９記載の動圧軸受装置
の製造方法では、請求項６又は請求項９に加えて、電解
加工用の通電と、超音波振動用の通電とを独立して行
い、また請求項１０記載の電解加工方法では、請求項９
に加えて、電解加工用の通電と、超音波振動用の通電と
を、交互、又はそれらの各通電の少なくとも一部を重複
して行うようにしたことから、電解加工の状況に応じ
て、電解加工用の通電と超音波振動用の通電とを適宜に
切り替えることによって、常時、最良の加工状態が得ら
れるようになっている。

【００１６】また、請求項１１記載の動圧軸受装置で
は、請求項６乃至請求項１０のいずかれに記載の動圧軸
受装置の製造方法により製造された軸部材又は軸受部材
を備えていることから、動圧軸受装置が高精度かつ効率
的に製造されるようになっている。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明するが、それに先立って、本発
明にかかる製造方法を適用する一例としてのハードディ
スク駆動装置（ＨＤＤ）の全体構造を説明しておく。

【００１８】図８に示されている軸回転のＨＤＤスピン
ドルモータの全体は、固定部材としてのステータ組１０
と、そのステータ組１０に対して図示上側から組み付け
られた回転部材としてのロータ組２０とから構成されて
いる。そのうちのステータ組１０は、図示を省略した固
定基台側にネジ止めされる固定フレーム１１を有してい
る。この固定フレーム１１は、軽量化を図るためにアル
ミ系金属材料から形成されているが、当該固定フレーム
１１の略中央部分に立設するようにして形成された環状
の軸受ホルダー１２の内周面側に、中空円筒状に形成さ
れた固定軸受部材としての軸受スリーブ１３が、圧入又
は焼嵌めによって上記軸受ホルダー１２に接合されてい
る。この軸受スリーブ１３は、小径の孔加工等を容易化
するためにリン青銅などの銅系材料から形成されてい
る。

【００１９】また、前記軸受ホルダー１２の外周取付面
には、電磁鋼板の積層体からなるステータコア１４が嵌
着されている。このステータコア１４に設けられた各突
極部には、駆動コイル１５がそれぞれ巻回されている。

【００２０】さらに、上記軸受スリーブ１３に設けられ
た中心孔内には、上述したロータ組２０を構成する回転
軸２１が回転自在に挿入されている。すなわち、上記軸
受スリーブ１３の内周壁部に形成された動圧面に対し
て、上記回転軸２１の外周面に形成された動圧面が、半
径方向に近接対向するように配置されており、それらの
微小隙間部分にラジアル動圧軸受部ＲＢが構成されてい
る。より詳細には、上記ラジアル動圧軸受部ＲＢにおけ
る軸受スリーブ１３側の動圧面と、回転軸２１側の動圧
面とは、数μｍの微少隙間を介して周状に対向配置され
ており、その微少隙間からなる軸受空間内に、潤滑オイ
ルや磁性流体やエアー等の潤滑流体が軸方向に連続する
ように注入又は介在されている。

【００２１】さらにまた、上記軸受スリーブ１３及び回
転軸２１の両動圧面の少なくとも一方側には、図示を省
略した例えばへリングボーン形状のラジアル動圧発生用
溝が、軸方向に２ブロックに分けられて環状に凹設され
ており、回転時に、当該ラジアル動圧発生用溝のポンピ
ング作用により潤滑流体が加圧されて動圧を生じ、その
潤滑流体の動圧によって、上記回転軸２１とともに後述
する回転ハブ２２がラジアル方向に、上記軸受スリーブ
１３に対して非接触状態で軸支持される構成になされて
いる。

【００２２】このとき、上記回転軸２１とともにロータ
組２０を構成している回転ハブ２２は、アルミ系金属か
らなる略カップ状部材からなり、当該回転ハブ２２の中
心部分に設けられた接合穴２２ａが、上記回転軸２１の
図示上端部分に対して圧入又は焼嵌めによって一体的に
接合されている。そして、この回転ハブ２２には、図示
を省略したクランパにより、磁気ディスク等の記録媒体
が固定されるようになっている。すなわち、上記回転ハ
ブ２２は、記録媒体ディスクを外周部に搭載する略円筒
状の胴部２２ｂを有しているとともに、その胴部２２ｂ
の図示下側の内周壁面側に、バックヨークを介して環状
駆動マグネット２２ｃが取り付けられている。上記環状
駆動マグネット２２ｃは、前述したステータコア１４の
外周側端面に対して環状に対向するように近接配置され
ている。

【００２３】一方、図９、図１０及び図１１にも示され
ているように、前記回転軸２１の図示下端側の先端部分
には、円盤状のスラストプレート２３がプレート固定ネ
ジ２４により固着されている。このスラストプレート２
３は、上述した軸受スリーブ１３の図示下端側の中心部
分に凹設された円筒状の窪み部１３ａ（図８参照）内に
収容されるように配置されていて、その軸受スリーブ１
３の窪み部１３ａ内において、上記スラストプレート２
３の図示上側面に設けられた動圧面が、軸受スリーブ１
３に設けられた動圧面に対して、軸方向に近接するよう
に対向配置されている。

【００２４】そして、上記スラストプレート２３の図示
上側の動圧面には、後述する電解加工方法によって、特
に図１０に示されているようなヘリングボーン形状に形
成されたスラスト動圧発生溝２３ａが形成されていて、
そのスラストプレート２３及び上記軸受スリーブ１３の
両動圧面どうしの対向隙間部分に、上側のスラスト動圧
軸受部ＳＢａが形成されている。

【００２５】さらにまた、上記スラストプレート２３の
図示下側の動圧面に近接するようにして、比較的大径の
円盤状部材からなるカウンタープレート１６が配置され
ている。このカウンタープレート１６は、上記軸受スリ
ーブ１３の下端側の開口部分を閉塞するように配置され
ていて、当該カウンタープレート１６の外周側部分が、
上記軸受スリーブ１３側に対して固定されている。

【００２６】そして、上記スラストプレート２３の図示
下側の動圧面には、後述する電解加工方法によって特に
図９に示されているようなヘリングボーン形状のスラス
ト動圧発生溝２３ｂが形成されていて、それによって、
図示下側のスラスト動圧軸受部ＳＢｂが形成されてい
る。

【００２７】このようにして軸方向に隣接して配置され
た一組のスラスト動圧軸受部ＳＢａ，ＳＢｂを構成して
いるスラストプレート２３側の両動圧面と、それに近接
対向する軸受スリーブ１３及びカウンタープレート１６
側の両動圧面とは、それぞれ数μｍの微少隙間を介して
軸方向に対向配置されているとともに、その微少隙間か
らなる軸受空間内に、オイルや磁性流体やエアー等の潤
滑流体が、前記スラストプレート２３の外周側通路を介
して軸方向に連続するように注入又は介在されていて、
回転時に、上述したスラストプレート２３に設けられた
スラスト動圧発生用溝２３ａ，２３ｂのポンピング作用
によって潤滑流体が加圧されて動圧を生じ、その潤滑流
体の動圧により、上述した回転軸２１及び回転ハブ２２
がスラスト方向に浮上した非接触の状態で軸支持される
ように構成されている。

【００２８】次に、上述したスラストプレート２３に対
して、スラスト動圧発生溝２３ａ，２３ｂを本発明によ
り製造するにあたって用いる電解加工装置の構造を説明
する。

【００２９】図１、図２及び図５に示されているよう
に、本体ベース部３１上に取り付けられたワーク支持治
具３２の略中央部分には、ワーク装着用の凹部が設けら
れており、そのワーク装着用凹部内に、前述した被加工
物としてのスラストプレート２３の素材（以下、スラス
トプレート素材という。）２３’が、落とし込まれるよ
うにして装着されている。

【００３０】また、上記スラストプレート素材２３’の
直上位置には、棒状部材からなる電極工具３５が、略鉛
直方向に立設するように配置されている。この電極工具
３５は、上述した本体ベース部３１の上方位置に延在し
ている本体アーム部３６に保持されており、当該電極工
具３５の図示下端部分が、上記スラストプレート素材２
３’との間に、隙間δを形成するように配置されてい
る。この隙間δについては後述する。

【００３１】このとき、上記電極工具３５の図示下端側
の先端面には、特に図３及び図４に示されているよう
に、前述したスラスト動圧発生溝２３ａ，２３ｂに対応
した形状のパターン３５ａが凸状をなすようにして形成
されている。このとき、上記パターン３５ａ以外の部分
は、樹脂等の絶縁体３５ｂで埋め込まれており、当該電
極工具３５の先端面が平坦面をなすように形成されてい
る。そして、そのパターン３５ａを含む先端面が、スラ
ストプレート素材２３’に対面するように配置されてい
る。さらに、この電極工具３５側には、例えば５Ｖ〜１
５Ｖ程度の出力電圧を有する直流電源の負極（−）が接
続されているとともに、その直流電源の正極（＋極）
が、被加工物としてのスラストプレート素材２３’側に
接続されている。

【００３２】一方、上記電極工具３５と、被加工物とし
てのスラストプレート素材２３’との間の隙間δには、
軸方向と略直交する方向に電解液が流動するように供給
されている。この電解液は、図示を省略した電解液供給
手段（ポンプ）によって送給される構成になされてい
る。このときの電解液としては、例えば、ＮaＮo₃ の３
０重量％溶液が用いられており、上記隙間δの一方側
（図５左方側）から他方側（図５右方側）に向かって流
動した電解液が、図示を省略した受け皿に蓄えられて循
環される構成になされている（図１２参照）。なお、こ
のときの電解液としては、３〜１０重量％のＫＯＨ、３
〜１０重量％のＮaＯＨ、５〜１５重量％のＮa₂Ｃo₃な
どを用いてもよい。

【００３３】このようにして、電極工具３５とスラスト
プレート素材２３’との間の隙間δ内に電解液を流動さ
せつつ、上記電極工具３５とスラストプレート素材２
３’との間に通電を行うことによって、上記スラストプ
レート素材２３’の表面から、上述した電極工具３５の
パターン３５ａに相当する部位が電気化学的に溶出して
いき、それによって、当該スラストプレート素材２３’
の電解加工が行われることとなる。

【００３４】このとき、上記電極工具３５の最上端部分
には、超音波振動発生手段を構成する加振器３７が取り
付けられている。本実施形態における加振器３７として
は、加振幅を２０〜２２μｍに程度に増幅するホーン型
のものが用いられており、上記電極工具３５を加振させ
ることによって、上述した電解液に対して超音波振動を
付与する構成になされている。

【００３５】そして、電解加工時においては、上述した
電極工具３５を、被加工物としてのスラストプレート素
材２３’に対して、従来の電解加工よりも大幅に近接さ
せており、上記電極工具３５とスラストプレート素材２
３’との間の隙間δが、上述した超音波加振器３７によ
る加振幅（２０〜２２μｍ）より僅かに大きくなる程度
となるように設定している。

【００３６】また、本実施形態では、電解加工用の通電
と、超音波振動用の通電とが独立して行われるように構
成されており、実際の通電態様としては、図６に示され
ているように矩形状のパルス電流を用いて、電解加工用
の通電Ｐａと、超音波振動用の通電Ｐｂとを交互に行っ
たり、図７に示されているように、比較的長幅の電解加
工用の通電Ｃａと、超音波振動用の通電Ｃｂとを、一部
重複するようにして行うようにしたりすることができ
る。

【００３７】さらに、本実施形態に用いられている前記
電解液としては、界面活性剤の混合液が採用されてい
る。本実施形態における界面活性剤は、非イオン性活性
剤のアルキルエーテル系のものが使用されており、

【００３８】実験によれば、界面活性剤が０％体積比の
場合に比して、０．０３％体積比以上混合させたの場合
には、残留メタルチップ数が格段に減少しており、界面
活性剤の洗浄作用を向上させることができる。なお、こ
の界面活性剤は、２％体積比程度混合すれば充分であ
る。

【００３９】このような構成を有する動圧軸受装置の製
造方法によれば、電極工具３５を、被加工物としてのス
ラストプレート素材２３’に近接させた場合において
も、電解液に付与された超音波振動によって、スラスト
プレート素材２３’から溶出した電解生成物などの各種
パーティクルが円滑に流動され、良好な電解加工が維持
されることとなり、電極工具３５側に設けられたパター
ン３５ａの形状が、スラストプレート素材２３’側に精
度良く形成される。

【００４０】特に、本実施形態における動圧軸受装置の
製造方法では、超音波振動発生手段としての加振器３７
を電極工具３５に取り付けておき、その電極工具３５を
被加工物としてのスラストプレート素材２３’に近接さ
せることによって、これら電極工具３５とスラストプレ
ート素材２３’との間の隙間δを、前記超音波加振器３
７により電極工具３５に与えられる振幅に近づけた状態
で電解加工を行うようにしていることから、電解液の流
動性を確保しつつ加工精度が向上されるようになってい
る。なお、上記加振器３７は、電極工具３５に取り付け
ることなく、電解液に振動を与えるように構成すること
も可能である。

【００４１】さらに、本実施形態における動圧軸受装置
の製造方法では、電解液として、界面活性剤との混合液
が用いられていることから、被加工物としてのスラスト
プレート素材２３’からの電解生成物などの各種パーテ
ィクルが、電解液中の界面活性剤に吸収されて円滑な流
動が確保されるようになっている。なお、このときの電
解液の供給を、上述した電極工具３５の内部を通して行
い、その供給した電解液が、中心部から半径方向外方に
広がるように流動する構成とすることもできる。

【００４２】さらにまた、本実施形態における動圧軸受
装置の製造方法では、電解加工用の通電と、超音波振動
用の通電とを独立して行い、また電解加工用の通電Ｐ
ａ，Ｃａと、超音波振動用の通電Ｐｂ，Ｃｂとを、交
互、又はそれらの各通電の少なくとも一部を重複して行
うようにしたことから、電解加工の状況に応じて、電解
加工用の通電と超音波振動用の通電とを適宜に切り替え
ることによって、常時、最良の加工状態が得られるよう
になっている。

【００４３】以上、本発明者によってなされた発明の実
施形態を具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変形可能であることはいうまでもない。

【００４４】例えば、上述した実施形態は、ハードディ
スク駆動用モータ（ＨＤＤ）の動圧軸受装置に対して本
発明を適用したものであるが、その他の動圧軸受装置、
更には、多種多様な被加工物への電解加工方法に対して
も同様に適用することができる。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１に
かかる電解加工方法は、電解液に対して、超音波振動発
生手段による超音波振動を与えつつ電解加工を行うこと
によって、電極工具を被加工物に近接させた場合におい
ても、電解液に付与された超音波振動により良好な電解
加工を維持させて、電極工具側に設けられたパターンの
形状を被加工物側に精度良く形成可能としたものである
から、簡易な構成で、高精度な電解加工を安価に行うこ
とでき、電解加工の実用性を大幅に向上させることがで
きる。

【００４６】また、請求項２記載の電解加工方法は、請
求項１に加えて、超音波振動発生手段を前記電極工具に
取り付けておき、上記電極工具を被加工物に近接させる
ことによって、これら電極工具と被加工物との間の隙間
を、前記超音波振動発生手段により電極工具に与えられ
る振幅に近づけた状態で電解加工を行うようにして、電
解液の流動性を確保しつつ加工精度を向上させるように
したものであるから、加工部分に効果的に振動を与える
ことができ、上述した効果をさらに向上させることがで
きる。

【００４７】さらに、請求項３記載の電解加工方法は、
請求項１に加えて、電解液として界面活性剤との混合液
を用いて、電解液の円滑な流動を確保させたものである
から、界面活性剤の洗浄作用も付加されて、上述した効
果を一層高めることができる。

【００４８】さらにまた、請求項４記載の電解加工方法
は、請求項１又は請求項２に加えて、電解加工用の通電
と、超音波振動用の通電とを独立して行い、また請求項
５記載の電解加工方法は、請求項４に加えて、電解加工
用の通電と、超音波振動用の通電とを、交互、又はそれ
らの各通電の少なくとも一部を重複して行うようにし
て、常時、最良の加工状態が得られるようにしたもので
あるから、上述した効果をさらに向上させることができ
る。

【００４９】一方、請求項６記載の動圧軸受装置の製造
方法は、電解液に対して、超音波振動発生手段による超
音波振動を与えつつ電解加工を行うことによって、電極
工具を被加工物に近接させた場合においても、電解液に
付与された超音波振動により良好な電解加工を維持させ
て、電極工具側に設けたパターンの形状を被加工物側に
精度良く形成可能としたものであるから、簡易な構成
で、高精度な動圧発生用溝を安価に行うことでき、動圧
軸受装置を極めて良好に製造することができる。

【００５０】また、請求項７記載の動圧軸受装置の製造
方法は、請求項６に加えて、超音波振動発生手段を前記
電極工具に取り付けておき、上記電極工具を被加工物に
近接させることによって、これら電極工具と被加工物と
の間の隙間を、前記超音波振動発生手段により電極工具
に与えられる振幅に近づけた状態で電解加工を行うよう
にして、電解液の流動性を確保しつつ加工精度を向上さ
せるようにしたものであるから、上述した効果をさらに
向上させることができる。

【００５１】さらに、請求項８記載の動圧軸受装置の製
造方法は、請求項６に加えて、電解液として界面活性剤
との混合液を用いて、電解液の円滑な流動を確保させた
ものであるから、上述した効果を一層高めることができ
る。

【００５２】さらにまた、請求項９記載の動圧軸受装置
の製造方法では、請求項６又は請求項７に加えて、電解
加工用の通電と、超音波振動用の通電とを独立して行
い、また請求項１０記載の電解加工方法は、請求項９に
加えて、電解加工用の通電と、超音波振動用の通電と
を、交互、又はそれらの各通電の少なくとも一部を重複
して行うようにして、常時、最良の加工状態が得られる
ようにしたものであるから、上述した効果をさらに向上
させることができる。

【００５３】一方、請求項１１記載の動圧軸受装置の製
造方法は、請求項６乃至請求項１０のいずかれに記載の
動圧軸受装置の製造方法により製造された軸部材又は軸
受部材を備えていることから、動圧軸受装置を高精度か
つ効率的に製造することができ、動圧軸受装置を極めて
安価に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施するための電解加工装置の一例の
概略構造を表した正面断面説明図である。

【図２】図１に表した本発明を実施するための電解加工
装置の概略構造を表した側面断面説明図である。

【図３】図１及び図２に表した電解加工装置に用いられ
る電極工具の先端部分におけるパターン構造を表した正
面説明図である。

【図４】図３中のIV−IV線に沿った断面説明図である。

【図５】図１乃至図４に表した電解加工装置の使用状態
を表した装置要部の外観説明図である。

【図６】図１乃至図５に表した電解加工装置における通
電状態の一例を表した線図である。

【図７】図１乃至図５に表した電解加工装置における通
電状態の他の例を表した線図である。

【図８】本発明の電解加工により製造された動圧軸受装
置を有する装置例としてのハードディスク駆動用モータ
（ＨＤＤ）の構造例を表した縦断面説明図である。

【図９】図８に表した動圧軸受装置に用いられているス
ラストプレートの構造例を表した底面説明図である。

【図１０】図８に表した動圧軸受装置に用いられている
スラストプレートの構造例を表した平面説明図である。

【図１１】図９及び図１０に表したスラストプレートの
縦断面説明図である。

【図１２】一般の電解加工装置の一例の概略構造を表し
た模式的な側面説明図である。

【符号の説明】

１０ステータ組２０ロータ組２１回転軸２２回転ハブ２３スラストプレート２３ａ，２３ｂスラスト動圧発生溝２３’ スラストプレート素材（被加工物）ＳＢａ，ＳＢｂスラスト動圧軸受部３１本体ベース部３２ワーク支持治具３５電極工具３５ａパターン４１加振器Ｐａ電解加工用通電Ｐｂ超音波振動用通電Ｃａ電解加工用通電Ｃｂ超音波振動用通電

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3C059 AA02 AB01 CF09 CJ06 HA00 HA14 3J011 AA20 BA04 CA02 DA02 JA02 JA03 KA02 KA03 LA05 MA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被加工物と適宜の隙間をおいて電極工具
を対向配置し、上記隙間内に電解液を流動させつつ介在
させながら、前記被加工物と電極工具との間に適宜の通
電を行わせることによって、上記被加工物の表面に対し
て所望の形状の凹部を電解加工するようにした電解加工
方法において、前記電解液に対して、超音波振動発生手段により発生さ
れる超音波振動を与えつつ電解加工を行うようにしたこ
とを特徴とする電解加工方法。
【請求項２】前記超音波振動発生手段を前記電極工具
に取り付けておき、上記電極工具を被加工物に近接させ
ることによって、これら電極工具と被加工物との間の隙
間を、前記超音波振動発生手段により電極工具に与えら
れる振幅に近づけた状態で電解加工を行うようにしたこ
とを特徴とする請求項１記載の電解加工方法。
【請求項３】前記電解液として、界面活性剤との混合
液が用いられていることを特徴とする請求項１記載の電
解加工方法。
【請求項４】前記電解加工用の通電と、前記超音波振
動用の通電とを、独立して行うようにしたことを特徴と
する請求項１又は請求項２記載の電解加工方法。
【請求項５】前記電解加工用の通電と、前記超音波振
動用の通電とを、交互、又はそれらの両通電の少なくと
も一部を重複して行うようにしたことを特徴とする請求
項４記載の電解加工方法。
【請求項６】潤滑流体の動圧を利用した動圧軸受装置
に用いられる軸部材又は軸受部材の素材を被加工物と
し、その被加工物に動圧発生用溝を形成する方法であっ
て、上記被加工物と適宜の隙間をおいて電極工具を対向配置
し、上記隙間内に電解液を流動させつつ介在させなが
ら、前記被加工物と電極工具との間に適宜の通電を行わ
せることによって、上記被加工物の表面に対して所望の
形状の動圧発生用溝を電解加工するようにした動圧軸受
装置の製造方法において、前記電解液に対して、超音波振動発生手段により発生さ
れる超音波振動を与えつつ電解加工を行うようにしたこ
とを特徴とする動圧軸受装置の製造方法。
【請求項７】前記超音波振動発生手段を前記電極工具
に取り付けておき、上記電極工具を被加工物に近接させ
ることによって、これら電極工具と被加工物との間の隙
間を、前記超音波振動発生手段により電極工具に与えら
れる振幅に近づけた状態で電解加工を行うようにしたこ
とを特徴とする請求項６記載の動圧軸受装置の製造方
法。
【請求項８】前記電解液として、界面活性剤との混合
液が用いられていることを特徴とする請求項６記載の動
圧軸受装置の製造方法。
【請求項９】前記電解加工用の通電と、前記超音波振
動用の通電とを、独立して行うようにしたことを特徴と
する請求項６又は請求項７記載の動圧軸受装置の製造方
法。
【請求項１０】前記電解加工用の通電と、前記超音波
振動用の通電とを、交互、又はそれらの両通電の少なく
とも一部を重複して行うようにしたことを特徴とする請
求項９記載の電解加工方法。
【請求項１１】請求項６乃至請求項１０のいずかれに
記載の動圧軸受装置の製造方法により製造された軸部材
又は軸受部材を備えていることを特徴とする動圧軸受装
置。